JP2015192992A - ノズル及び塗液の排出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】供給される塗液に突発的に異物が含まれていても、異物起因のストライプ状の塗膜の欠損と塗膜厚さの変動を起こさず、かつ均一で同じ厚さの良品製造を高い生産性を維持したまま継続できるストライプ状塗膜形成用のノズルを提供する。
【解決手段】塗液が供給される供給口１６と、供給された塗液を拡幅する第１マニホールド２１及び第２マニホールド２２と、これら第１マニホールド２１、２２を連通する連絡流路１３と、最下流に位置する第２マニホールド２２内の塗液を分配して塗液を外部に吐出するための複数の吐出流路１１とを備えている。連絡流路１３における前記塗液の流れ方向に直交する断面を一対の第１仮想平行線で挟んだ場合の間隔である横断長さの最小値が、吐出流路１１における前記塗液の流れ方向に直交する断面を一対の第２仮想平行線で挟んだ場合の間隔である横断長さの最小値以下となるように構成されている。
【選択図】 図２

Description

本発明は、例えばカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ、有機ＥＬ、プラズマディスプレイ等のディスプレイ用部材を製造する分野に加えて、光学フィルター、プリント基板、集積回路、半導体等の製造分野にも使用されるものであり、詳しくは、ガラス基板等の被塗布部材の表面に塗膜を形成するために、塗液を吐出するノズルに関する。また、このノズルにおける塗液の排出方法に関する。

例えば、カラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ、有機ＥＬ等の製造には、ガラス基板等の被塗布部材上に等ピッチに配置された隔壁（バンク）間に塗液を充填して、直線ストライプ状の塗膜を形成する工程が含まれる。

このようなストライプ状の塗膜を被塗布部材上に形成するための手段として、複数（多数）の吐出流路がストライプ状の塗膜の配置ピッチにあわせて長手方向に配置されているノズルがある（例えば、特許文献１）。このノズルの各吐出流路から塗液を吐出しながら、被塗布部材を一方向に移動させると、被塗布部材上にストライプ状の塗膜を形成することができる。

特開２００７−１８７９４８号公報

図１５（Ａ）は、従来のノズル９０の断面図であり、図１５（Ｂ）は、このノズル９０により塗液９５が塗布された被塗布部材９６の説明図である。前記のとおり、全ての吐出流路９１から塗液９５が吐出されれば、所望のストライプ状の塗膜９７を被塗布部材９６上に形成することができる。しかし、ノズル９０に供給される塗液９５に、塗液の固化物や塵等の異物Ｇが突発的にわずかに含まれることがあり、その際、この異物Ｇが、図１５（Ａ）に示すように、１本の吐出流路９１を塞いでしまうと、その吐出流路９１からは塗液９５が吐出されなくなる。また、続けてノズル９０に供給される塗液９５は、異物Ｇで塞がれていない５本の吐出流路９１を流れることになるので吐出流量が増え、ストライプ状の塗膜９７の厚さも大きくなる。よって、この場合の被塗布部材９６は、図１５（Ｂ）に示すように、１つのストライプ状の塗膜９７が欠損し、残りのストライプ状の塗膜９７の厚さも本来とは異なるという、２重の意味での不良品となってしまう。実際のノズル９０には、多数の吐出流路９１が設けられているが、塗液に突発的に含まれる異物によりたった一つの吐出流路９１でこのような塗液９５の吐出不能が起こっても、ストライプ状の塗膜の欠損と塗膜厚さの変動が発生して、被塗布部材９６は不良品となってしまう。
したがって、塗液に突発的に含まれる異物に対応する手段をもたず、不良品を発生させ続けてしまうと、歩留まり及び生産数量の低下と製品ロスの拡大の他に、不良品を発生するノズルを正常ノズルに交換して製品生産を再開するまでの稼働時間ロスも発生し、生産性とコストに莫大な損失をもたらす。
通常は、このような不良品の発生を防止するために、ノズルに供給される塗液に問題となる異物が含まれないよう、ノズルの上流側にフィルターを設ける。しかしフィルターからノズルまでの流路中に残存する異物、塗液の含有成分のフィルター通過後の凝集物、形を変えてフィルターを通過するゲル状物、フィルター下流側に付着する異物等が、上記の塗液に突発的に含まれる異物になってしまい、不良品の発生率を多少は低下できても、皆無にすることはできない。またフィルターを使用すると、ポンプ等のノズルへの塗液供給装置に対する圧力損失が大きくなって、塗液供給装置の応答性低下を招く。それによって応答性を必要としない低速度での塗膜形成しか行えず、塗液に突発的に含まれるわずかな異物のために、生産性を高められないという問題もある。
すなわち、ストライプ状の塗膜を形成するノズルに対して、供給される塗液に突発的にわずかに含まれる異物に対応して、それに起因するストライプ状の塗膜の欠損と塗膜厚さの変動を防いで、不良品の発生を皆無にするとともに、高い生産性を維持することが可能な有効な手段はないのが実状である。

そこで、本発明の目的は、供給される塗液に突発的に異物が含まれていても、異物起因のストライプ状の塗膜の欠損と塗膜厚さの変動を起こさず、かつ均一で同じ厚さの良品製造を高い生産性を維持したまま継続できるストライプ状塗膜形成用のノズルを提供することにある。また、このノズルにおける塗液の排出方法を提供する。

本発明のノズルは、塗液が供給される供給口と、供給された塗液を拡幅する複数のマニホールドと、塗液の上下流方向で隣り合う前記マニホールドを連通する連絡流路と、最下流に位置する前記マニホールド内の塗液を分配して塗液を外部に吐出するための複数の吐出流路と、を備え、前記連絡流路における前記塗液の流れ方向に直交する断面を一対の第１仮想平行線で挟んだ場合の間隔である横断長さの最小値が、前記吐出流路における前記塗液の流れ方向に直交する断面を一対の第２仮想平行線で挟んだ場合の間隔である横断長さの最小値以下となるように構成されている。

本発明によれば、前記連絡流路における前記横断長さの最小値が、前記吐出流路における前記横断長さの最小値以下となることから、吐出流路を通過不能であって当該吐出流路を塞ぐような大きさの異物は、連絡流路も通過不能となって連絡流路の上流側で捕捉される。このため、前記異物を、最下流に位置するマニホールドへ流れないようにすることができ、この最下流に位置するマニホールドに繋がっている吐出流路を異物が塞いでストライプ状塗膜の欠損が起こるのを防ぐことが可能となる。また、塗液に突発的にわずかに含まれる異物で連絡流路の一部が通過不能となっても、それ以外の連絡流路の部分を通過した塗液が最下流に位置するマニホールドで長手方向に均一に分配されるので、塗液が各吐出流路から均等に、本来の吐出流量で吐出されて、均一で同じ厚さのストライプ状の塗膜を継続して形成することができる。
しかも、塗液が上記の通過可能な連絡流路を通過する時の通過流量の増加もわずかなために圧力損失の増加もわずかであり、それによって塗液供給装置の応答性が損なわれず、高速での塗膜形成が可能となる。
なお、連絡流路を通過可能である大きさの異物は、吐出流路を通過可能となるため、連絡流路の上流側で捕捉されなくてもよい。
また、ノズルがマニホールドを三つ以上有しており、連絡流路が二段以上設けられる場合、少なくとも一段の連絡流路における前記横断長さの最小値が、吐出流路における前記横断長さの最小値以下となるように構成されていればよい。

また、前記ノズルは、前記ノズル長手方向に沿った対向面を各々備えている第１ブロックと第２ブロックとを有し、前記第１ブロックの前記対向面及び前記第２ブロックの前記対向面の一方又は双方に、前記マニホールド、前記連絡流路及び前記吐出流路を形成するための凹部が設けられているのが好ましい。
この場合、前記対向面に連絡流路等を形成するための凹部を形成することで、連絡流路の上流側で異物を捕捉するための構成を容易に得ることが可能となる。

または、前記ノズルは、前記ノズル長手方向に沿った対向面を各々備えている第１ブロックと第２ブロックと、前記第１ブロックと前記第２ブロックとの間に介在するシムと、有し、前記第１ブロックの前記対向面及び前記第２ブロックの前記対向面の一方又は双方に、前記マニホールドを形成するための凹部が設けられ、前記シムに前記連絡流路又は前記吐出流路を形成するためのスリットが設けられているのが好ましい。
この場合、前記第１ブロックと前記第２ブロックとの間に前記シムを介在させることで、連絡流路の上流側で異物を捕捉するための構成を容易に得ることが可能となる。そして、例えば異物の大きさに応じて、異なる寸法のスリットを有するシムを交換することで、連絡流路や吐出流路の断面形状が変更可能となる。

また、前記ノズルには、さらに前記最下流に位置するマニホールドから外部に通じて、塗液の流出を行うための流出流路が設けられているのが好ましい。
この場合、何らかの理由で、塗液が供給される前に最下流に位置するマニホールドに初期異物が存在しても、追加して設けられた流出流路を通じて排出することが可能になる。

また、本発明の塗液の排出方法は、前記ノズルの前記最下流に位置するマニホールドから、前記流出流路を通じて塗液を排出する塗液の排出方法であって、前記最下流に位置するマニホールドへの塗液の供給を行いながら、前記流出流路を通じて塗液を排出するものである。
ここで、前記最下流に位置するマニホールドへの塗液の供給は、（１）前記供給口から塗液を供給して行う手段、（２）前記吐出流路を通じて塗液を供給して行う手段、（３）外部から最下流に位置するマニホールドに通じる流入流路を通じて塗液を供給して行う手段、のいずれも好ましい。そのいずれの場合であっても、最下流に位置するマニホールドに塗液が供給されるので、何らかの理由で最下流に位置するマニホールドに初期異物が残存していても、この初期異物を供給される塗液と共に、流出流路を通じて外部に確実に排出することが可能となる。

本発明によれば、吐出流路を塞ぐ原因となるような異物が、供給される塗液に突発的にわずかに含まれていても、異物が、吐出流路よりも横断長さの最小値が小さい連絡流路の一部で捕捉される。これによって、異物が最下流に位置するマニホールドへ流れないようにすることができ、この最下流に位置するマニホールドに繋がっている吐出流路を異物が塞いでストライプ状塗膜の欠損を起こすのを防ぐことが可能となる。
さらに、供給される塗液に突発的に含まれる異物で連絡流路の一部が通過不能となっても、それ以外の連絡流路の部分を通過した塗液が、最下流に位置するマニホールドで長手方向に均一に分配されるので、塗液が各吐出流路から均等に同じ吐出流量で吐出されて、均一で同じ厚さのストライプ状の塗膜を、変わりなく形成することが可能となる。
しかも、塗液が上記の通過可能な連絡流路を通過する時の通過流量の増加もわずかなために圧力損失の増加もごくわずかであり、それによって塗液供給装置の応答性が損なわれず、高速での塗膜形成が可能となり、高い生産性を維持できる。
その結果、吐出流路を塞ぐ原因となるような異物が、供給される塗液に突発的に含まれることがあっても、ストライプ状の塗膜の欠損と塗膜厚さの変動を起こさず、かつ均一で同じ厚さの良品となるストライプ状塗膜を継続して、高い生産性を維持して形成することが可能となる。

さらに、最下流に位置するマニホールドから外部に通じて、塗液の流出を行うための流出流路が設けられたノズルを用いれば、最下流に位置するマニホールドに、何らかの理由で塗液が供給される前に初期異物が存在あるいは残存する場合でも、この最下流に位置するマニホールドに塗液を供給しながら、流出流路を通じて外部にその塗液を排出することにより、塗液と共に初期異物も外部に排出することが可能となる。これにより、いかなる場合であっても、最下流に位置するマニホールドに繋がっている吐出流路を異物が塞いでストライプ状塗膜の欠損を起こすのを、防ぐことが可能となる。この結果、どのような状況下であっても、良品となるストライプ状塗膜を継続して高い生産性を維持しながら形成することが可能となる。

本発明のノズルを備えている塗布装置を示す概略構成図である。 ノズルをＸ方向から見た場合の断面図である。 ノズルをＹ方向から見た場合の断面図である。 （Ａ）は、図２に示すノズルが有する一つ連絡流路を、塗液の流れ方向から見た場合の断面の説明図であり、（Ｂ）は、当該ノズルが有する一つの吐出流路を、塗液の流れ方向から見た場合の断面の説明図である。 （Ａ）は、他の形態のノズルが有する一つ連絡流路を、塗液の流れ方向から見た場合の断面の説明図であり、（Ｂ）は、当該ノズルが有する一つの吐出流路を、塗液の流れ方向から見た場合の断面の説明図である。 他の形態のノズルをＸ方向から見た場合の断面図である。 （Ａ）は、図６に示すノズルが有する連絡流路を、塗液の流れ方向から見た場合の断面の説明図であり、（Ｂ）は、当該ノズルが有する一つの吐出流路を、塗液の流れ方向から見た場合の断面の説明図である。 図２に示すノズルを分解した状態を示す斜視図である。 図６に示すノズルを分解した状態を示す斜視図である。 図２に示すノズルがシムを有して構成される場合の分解斜視図である。 図１０に示すノズルの変形例を示す分解斜視図である。 図６に示すノズルがシムを有して構成される場合の分解斜視図である。 他の形態のノズルをＸ方向から見た場合の断面図である。 他の形態のノズルをＸ方向から見た場合の断面図である。 （Ａ）は、従来のノズルの断面図であり、（Ｂ）は被塗布部材の説明図である。 他の形態のノズルをＸ方向から見た場合の断面図である。 他の形態のノズルにおける塗液の供給と排出の状況を示すＸ方向から見た場合の断面図である。 他の形態のノズルをＸ方向から見た場合の断面図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〔塗布装置の構成について〕
図１は、本発明のノズル３を備えている塗布装置１を示す概略構成図である。この塗布装置１は、ガラス等の基板（被塗布部材）Ｗを載せるステージ２と、このステージ２上の基板Ｗに対して塗液を吐出するノズル３と、塗液を溜めるタンク９と、このタンク９の塗液をノズル３に送るポンプ８と、ステージ２上の基板Ｗとノズル３との内の一方を他方に対して移動させる駆動装置４とを備えている。本実施形態の駆動装置４は、固定状態にあるノズル３に対してステージ２を水平方向に移動させるアクチュエータを備えている。更に、駆動装置４は、ノズル３を垂直方向に移動させるアクチュエータも有している。また、塗布装置１は、各部の動作を制御する制御装置５を備えている。

ポンプ８とノズル３とは、塗液の流路を構成する配管１７によって繋がっている。なお、本実施形態では、基板Ｗとノズル３との相対的な水平移動方向をＸ方向、このＸ方向に直交する水平方向であってノズル３の長手方向をＹ方向と定義する。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する垂直方向（高さ方向）となる。そして、ノズル３はＹ方向に長く構成されており、ノズル３の長手方向（以下、ノズル長手方向ともいう。）がＹ方向となる。また、このＹ方向に基板Ｗの幅方向が一致するようにして、基板Ｗはステージ２上に載せられる。

ノズル３は、後にも説明するが、複数（多数）の吐出流路１１を有しており、各吐出流路１１から塗液が吐出される。
以上の構成を有する塗布装置１によれば、タンク９内の塗液をポンプ８によりノズル３へ供給することで、ノズル３の吐出流路１１の下端（先端）である吐出口１２から塗液を吐出させる吐出動作を行うことができる。そして、吐出口１２と基板Ｗとの間に平行な間隙を形成した状態で、前記吐出動作に合わせて駆動装置４により基板ＷをＸ方向に移動させることで、基板Ｗ上に塗液によるストライプ状の塗膜Ｍを形成することができる。

〔ノズル３について（その１）〕
図２は、ノズル３をＸ方向から見た場合の断面図である。図３は、ノズル３をＹ方向から見た場合の断面図である。このノズル３は、金属製やセラミック製等のブロックからなり、塗液が供給される供給口１６、第１マニホールド２１、第２マニホールド２２、連絡流路１３及び吐出流路１１を備えている。
供給口１６は、ノズル３のＹ方向中央位置に設けられており、図１に示す配管１７が接続されている。供給口１６は、上流側の第１マニホールド２１において開口している。

第１マニホールド２１は、Ｙ方向に長い空間部からなり、供給口１６から供給された塗液をＹ方向両側及びＸ方向に拡幅する。つまり、供給口１６から第１マニホールド２１に供給された塗液は、この第１マニホールド２１内で広がる。
連絡流路１３は、塗液の上下流方向で隣り合うマニホールドを連通する流路であり、本実施形態では、第１マニホールド２１と第２マニホールド２２とを繋ぐ流路である。図２に示す連絡流路１３は、細い流路により構成されている。

第２マニホールド２２も、Ｙ方向に長い空間部からなり、連絡流路１３から供給された塗液をＹ方向及びＸ方向に拡幅する。つまり、連絡流路１３から第２マニホールド２２に供給された塗液は、この第２マニホールド２２内で広がる。
なお、本実施形態では、第１マニホールド２１と第２マニホールド２２とは同じ形状であるが、異なっていてもよい。

吐出流路１１は、ノズル３の下端において、Ｙ方向に並んで複数（図２では５個）設けられている。これら吐出流路１１は、最下流に位置する第２マニホールド２２で長手方向に均等に分配された塗液を外部に吐出するための流路である。ノズル３の下端には、被塗布部材７側へ突出している複数の突出部１５が設けられている。突出部１５は吐出流路１１と同数設けられており、一つの突出部１５内に一つの吐出流路１１が設けられている。そして、吐出流路１１の下端（先端）が、吐出口１２となっている。
なお、図２に示す実施形態では、説明を容易とするために吐出流路１１が５個設けられている場合を説明しているが、実際のノズル３には、多数（例えば２０００個）の吐出流路１１が形成されている。

図４（Ａ）は、図２に示すノズル３が有する一つの連絡流路１３を、塗液の流れ方向から見た場合の断面の説明図であり、図４（Ｂ）は、当該ノズル３が有する一つの吐出流路１１を、塗液の流れ方向から見た場合の断面の説明図である。本実施形態では、複数の連絡流路１３はすべて同じ断面形状とされており、また、複数の吐出流路１１はすべて同じ断面形状とされている。

ここで、本発明において、連絡流路１３の前記断面（流れ方向に直交する断面）を、あらゆる方向から一対の仮想平行線により挟み、この一対の仮想平行線の間隔が最小となる場合の当該間隔を、この連絡流路１３の前記断面における横断長さの最小値という。そこで、図４（Ａ）に示す連絡流路１３の場合、この連絡流路１３の断面をＸ方向から一対の仮想平行線Ｌ１−１、Ｌ１−２により挟んだ場合のＸ方向の間隔が、連絡流路１３の前記断面における横断長さの最小値Ｄｘ１となる。
また、吐出流路１１の前記断面（流れ方向に直交する断面）を、あらゆる方向から一対の仮想平行線により挟み、この一対の仮想平行線の間隔が最小となる場合の当該間隔を、この吐出流路１１の前記断面における横断長さの最小値という。そこで、図４（Ｂ）に示す吐出流路１１の場合、この吐出流路１１の断面をＸ方向から一対の仮想平行線Ｌ２−１、Ｌ２−２により挟んだ場合のＸ方向の間隔が、吐出流路１１の前記断面における横断長さの最小値Ｄｘ２となる。
そして、連絡流路１３における前記横断長さの最小値Ｄｘ１が、吐出流路１１における前記横断長さの最小値Ｄｘ２以下（Ｄｘ１≦Ｄｘ２）となるように構成されている。なお、本実施形態では、連絡流路１３における前記横断長さの最小値Ｄｘ１が、吐出流路１１における前記横断長さの最小値Ｄｘ２よりも小さくなっている（Ｄｘ１＜Ｄｘ２）。

この図４に示す実施形態では、連絡流路１３に関する一対の仮想平行線Ｌ１−１、Ｌ１−２と、吐出流路１１に関する一対の仮想平行線Ｌ２−１、Ｌ２−２とが、共にＹ方向に沿った直線（平行線）である場合について説明したが、連絡流路１３に関する一対の仮想平行線Ｌ１−１、Ｌ１−２と、吐出流路１１に関する一対の仮想平行線Ｌ２−１、Ｌ２−２とは、異なる方向（ねじれの関係を有する方向）であってもよい。

例えば、図５（Ａ）は、他の形態のノズル３が有する一つの連絡流路１３を、塗液の流れ方向から見た場合の断面の説明図であり、図５（Ｂ）は、当該ノズル３が有する一つの吐出流路１１を、塗液の流れ方向から見た場合の断面の説明図である。
図５（Ａ）に示す連絡流路１３の前記断面を、Ｘ方向及びＹ方向に対して共に傾斜する方向から、一対の仮想平行線Ｌ１−１、Ｌ１−２により挟んだ場合の間隔が、この連絡流路１３における横断長さの最小値Ｄｘ１となる。
また、図５（Ｂ）に示す吐出流路１１の前記断面をＹ方向から一対の仮想平行線Ｌ２−１、Ｌ２−２により挟んだ場合のＹ方向の間隔が、この吐出流路１１における横断長さの最小値Ｄｘ２となる。
そして、連絡流路１３における前記横断長さの最小値Ｄｘ１が、吐出流路１１における前記横断長さの最小値Ｄｘ２以下（Ｄｘ１≦Ｄｘ２）となるように構成されている。

このように、図４及び図５に示す実施形態それぞれにおいて、連絡流路１３における横断長さの最小値Ｄｘ１が、吐出流路１１における横断長さの最小値Ｄｘ２以下となるように構成されていることから、吐出流路１１を通過不能でありこの吐出流路１１を塞ぐような大きさの異物Ｇは、図２に示すように、連絡流路１３も通過不能であり連絡流路１３の上流側で捕捉される。このため、前記異物Ｇは、最下流に位置する第２マニホールド２２へ流れないようにすることができ、この第２マニホールド２２に繋がっている吐出流路１１を異物Ｇが塞いでしまうのを防ぐことが可能となる。なお、連絡流路１３を通過可能である大きさの異物ｇは、吐出流路１１を通過可能となるため、連絡流路１３の上流側で捕捉されなくてもよい。
なお、図５に示すように、連絡流路１３及び吐出流路１１の断面形状は、矩形以外であってもよく、楕円や台形等であってもよい。

〔ノズル３について（その２）〕
図６は、他の形態のノズル３をＸ方向から見た場合の断面図である。図６に示すノズル３と、図２に示すノズル３とを比較すると、連絡流路１３が異なるが、その他は同じである。図６に示すノズル３の連絡流路１３は、第１マニホールド２１と第２マニホールド２２とを繋ぐ流路が、一つの帯状の流路（スリット）により構成されている。なお、図６に示すノズル３をＹ方向から見た断面は、図３に示す断面と同じである。

図７（Ａ）は、図６に示すノズル３が有する帯状の連絡流路１３を、塗液の流れ方向から見た場合の断面の説明図であり、図７（Ｂ）は、当該ノズル３が有する一つの吐出流路１１を、塗液の流れ方向から見た場合の断面の説明図である。本実施形態では、複数の吐出流路１１はすべて同じ断面形状とされている。

ここで、本発明において、連絡流路１３の前記断面（流れ方向に直交する断面）を、あらゆる方向から一対の仮想平行線により挟み、この一対の仮想平行線の間隔が最小となる場合の当該間隔を、この連絡流路１３の前記断面における横断長さの最小値という。そこで、図７（Ａ）に示す連絡流路１３の場合、この連絡流路１３の断面をＸ方向から一対の仮想平行線Ｌ１−１、Ｌ１−２により挟んだ場合のＸ方向の間隔が、連絡流路１３の前記断面における横断長さの最小値Ｄｘ１となる。
また、吐出流路１１の前記断面（流れ方向に直交する断面）を、あらゆる方向から一対の仮想平行線により挟み、この一対の仮想平行線の間隔が最小となる場合の当該間隔を、この吐出流路１１の前記断面における横断長さの最小値という。そこで、図７（Ｂ）に示す吐出流路１１の場合、この吐出流路１１の断面をＸ方向から一対の仮想平行線Ｌ２−１、Ｌ２−２により挟んだ場合のＸ方向の間隔が、吐出流路１１の前記断面における横断長さの最小値Ｄｘ２となる。
そして、連絡流路１３における前記横断長さの最小値Ｄｘ１が、吐出流路１１における前記横断長さの最小値Ｄｘ２以下（Ｄｘ１≦Ｄｘ２）となるように構成されている。なお、本実施形態では、連絡流路１３における前記横断長さの最小値Ｄｘ１が、吐出流路１１における前記横断長さの最小値Ｄｘ２よりも小さくなっている（Ｄｘ１＜Ｄｘ２）。

このように、連絡流路１３における前記横断長さの最小値Ｄｘ１が、吐出流路１１における前記横断長さの最小値Ｄｘ２以下となるように構成されていることから、吐出流路１１を通過不能でありこの吐出流路１１を塞ぐような大きさの異物Ｇは、図６に示すように、連絡流路１３も通過不能となって連絡流路１３の上流側で捕捉される。このため、前記異物Ｇは、最下流に位置する第２マニホールド２２へ流れないようにすることができ、この第２マニホールド２２に繋がっている吐出流路１１を異物Ｇが塞いでしまうのを防ぐことが可能となる。なお、連絡流路１３を通過可能である大きさの異物ｇは、吐出流路１１を通過可能となるため、連絡流路１３の上流側で捕捉されなくてもよい。

また、図６に示す実施形態の場合、連絡流路１３のＹ方向長さ寸法Ｂ３は、第１マニホールド２１のＹ方向長さ寸法Ｂ１、及び、第２マニホールド２２のＹ方向長さ寸法Ｂ２よりも小さく設定されており、第１マニホールド２１と第２マニホールド２２との間のＹ方向の両側部では、これら第１マニホールド２１と第２マニホールド２２とが連絡流路１３により繋がっておらず、壁部２３、２４が設けられている。
また、図６に示す実施形態では、連絡流路１３は一つの帯状の流路から構成されているが、これ以外として、図示しないが、連絡流路１３は、複数の帯状の流路（スリット）から構成されていてもよい。

〔ノズル３の構成について〕
図８は、図２に示すノズル３を分解した状態を示す斜視図である。このノズル３は、第１ブロック３１と第２ブロック３２とを有しており、これら第１ブロック３１と第２ブロック３２とは、分割可能であり、Ｙ方向及びＺ方向に沿った対向面３１ａ、３２ａを有している。つまり、これら対向面３１ａ、３２ａが接触するようにして第１ブロック３１と第２ブロック３２とを組み合わせることでノズル３は構成される。
そして、本実施形態では、第１ブロック３１の対向面３１ａに、第１マニホールド２１を形成するための凹部２１ａ、第２マニホールド２２を形成するための凹部２２ａ、連絡流路１３を形成するための凹部１３ａ、及び、吐出流路１１を形成するための凹部１１ａが設けられている。凹部１３ａ及び凹部１１ａはＺ方向に細長い溝からなる。
これに対して、第２ブロック３２の対向面３２ａは、平坦面となっており、この対向面３２ａと対向面３１ａとを合わせることで、前記各凹部と前記平坦面とによって囲まれた領域により、第１マニホールド２１、第２マニホールド２２、連絡流路１３及び吐出流路１１が形成される。

図９は、図６に示すノズル３を分解した状態を示す斜視図である。このノズル３は、第１ブロック３１と第２ブロック３２とを有しており、これら第１ブロック３１と第２ブロック３２とは、分割可能であり、Ｙ方向及びＺ方向に沿った対向面３１ａ、３２ａを有している。つまり、これら対向面３１ａ、３２ａが接触するようにして第１ブロック３１と第２ブロック３２とを組み合わせることでノズル３は構成される。
そして、本実施形態では、第１ブロック３１の対向面３１ａに、第１マニホールド２１を形成するための凹部２１ａ、第２マニホールド２２を形成するための凹部２２ａ、連絡流路１３を形成するための凹部１３ａ、及び、吐出流路１１を形成するための凹部１１ａが設けられている。凹部１３ａは、Ｙ方向に広い溝からなり、凹部１１ａはＹ方向に狭くＺ方向に細長い溝からなる。
これに対して、第２ブロック３２の対向面３２ａは、平坦面となっており、この対向面３２ａと対向面３１ａとを合わせることで、前記各凹部と前記平坦面とによって囲まれた領域により、第１マニホールド２１、第２マニホールド２２、連絡流路１３及び吐出流路１１が形成される。

図８及び図９に示す形態のように、ノズル３は、Ｙ方向及びＺ方向に沿った対向面３１ａ、３２ａを有する第１ブロック３１と第２ブロック３２とを有し、第１ブロック３１の対向面３１ａに、マニホールド２１、２２、連絡流路１３及び吐出流路１１を形成するための凹部２１ａ、２２ａ、１３ａ、１１ａが設けられていることで、これらブロック３１、３２を組み合わせることにより、図２に示すように、連絡流路１３の上流側である第１マニホールド２１で異物Ｇを捕捉するための構成を容易に得ることが可能となる。

なお、図８及び図９に示す形態において、凹部２１ａ、２２ａ、１３ａ、１１ａのうちの一部が第１ブロック３１の対向面３１ａに形成され、残りが第２ブロック３２の対向面３２ａに形成されていてもよい。つまり、第１ブロック３１と第２ブロック３２との内の一方又は双方の対向面（３１ａ、３２ａ）に、第１マニホールド２１等を形成するための凹部２１ａ等が設けられていてもよい。

図８と図９に示す各形態のように、ノズル３を第１ブロック３１と第２ブロック３２とを組み合わせて構成する以外に、これらブロック３１、３２の間に板状部材であるシム３３を介在させてもよい（図１０、図１１、図１２参照）。
図１０は、図２に示すノズル３がシム３３を有して構成される場合の分解斜視図である。このノズル３は、Ｙ方向及びＺ方向に沿った対向面３１ａ、３２ａを有する第１ブロック３１と第２ブロック３２の他に、これら第１ブロック３１と第２ブロック３２との間に介在するシム３３を有している。そして、第１ブロック３１の対向面３１ａに、第１マニホールド２１を形成するための凹部２１ａ及び第２マニホールド２２を形成するための凹部２２ａが設けられており、シム３３に連絡流路１３を形成するためのスリット１３ｂ及び吐出流路１１を形成するためのスリット１１ｂが設けられている。

このように、シム３３には複数（本実施形態では５本）のスリット１４が形成されており、各スリット１４の一部が、連絡流路１３用のスリット１３ｂとなり、このスリット１４の他部が、吐出流路１１用のスリット１１ｂとなっている。
第１ブロック３１の対向面３１ａは、凹部２１ａ、２２ａを除いて平坦面からなり、図８に示す第１ブロック３１よりも構成を簡略化できる。

図１１は、図１０に示すノズル３の変形例を示す分解斜視図である。図１１に示すノズル３では、第１ブロック３１の対向面３１ａに、第１マニホールド２１を形成するための凹部２１ａ、第２マニホールド２２を形成するための凹部２２ａ、及び、連絡流路１３を形成するための凹部１３ａが設けられている。そして、シム３３には、吐出流路１１を形成するためのスリット１１ｂが設けられている。なお、図示しないが、シム３３に連絡流路１３を形成するためにスリットが設けられており、第１ブロック３１の対向面３１ａに吐出流路１１を形成するための凹部が形成されていてもよい。

図１２は、図６に示すノズル３がシム３３を有して構成される場合の分解斜視図である。このノズル３は、第１ブロック３１と第２ブロック３２の他に、これら第１ブロック３１と第２ブロック３２との間に介在するシム３３を有している。そして、第１ブロック３１の対向面３１ａに、第１マニホールド２１を形成するための凹部２１ａ、第２マニホールド２２を形成するための凹部２２ａ、及び、連絡流路１３を形成するための凹部１３ａが設けられており、シム３３に吐出流路１１を形成するためのスリット１１ｂが設けられている。なお、図示しないが、シム３３に連絡流路１３を形成するための孔が設けられており、第１ブロック３１の対向面３１ａに吐出流路１１を形成するための凹部が形成されていてもよい。

図１０、図１１、図１２に示す各形態によれば、第１ブロック３１と第２ブロック３２との間にシム３３を介在させることで、図２及び図６に示すように、連絡流路１３の上流側である第１マニホールド２１で異物Ｇを捕捉するための構成を容易に得ることが可能となる。
更に、異物Ｇの大きさに応じて、異なる厚さのシム３３に交換することで、連絡流路１３や吐出流路１１の断面形状（Ｘ方向寸法）が変更可能となる。また、異物Ｇの大きさに応じて、異なる寸法（Ｙ方向寸法）のスリット１４を有するシム３３に交換することで、連絡流路１３や吐出流路１１の断面形状（Ｙ方向寸法）を変更することが可能となる。

例えば、図１０において、シム３３の厚さ方向がＸ方向となることから、シム３３の厚さｔが、連絡流路１３用のスリット１３ｂのスリット幅（Ｙ方向の寸法）ｙ１以下である場合（ｔ≦ｙ１）、連絡流路１３の断面におけるＸ方向の横断長さが、当該断面の最小値となり、吐出流路１１の断面におけるＸ方向の横断長さが、当該断面の最小値となり、これら最小値同士は、シム３３の厚さｔと等しくなる。したがって、異物Ｇの大きさに応じて、異なる厚さｔ寸法を有するシム３３に交換することで、連絡流路１３及び吐出流路１１それぞれにおける横断長さの最小値を変更することが可能となる。

また、シム３３が厚く、連絡流路１３用のスリット１３ｂのスリット幅（Ｙ方向の寸法）ｙ１、及び、吐出流路１１用のスリット１１ｂのスリット幅（Ｙ方向の寸法）ｙ２が、それぞれの断面における横断長さの最小値となる場合、異物Ｇの大きさに応じて、これらスリット幅ｙ１、ｙ２が異なるシム３３に交換することで、連絡流路１３及び吐出流路１１それぞれにおける横断長さの最小値を変更することが可能となる。

また、前記各形態において、連絡流路１３における塗液の流れ方向に直交する断面の総面積Ａ１は、吐出流路１１における塗液の流れ方向に直交する断面の総面積Ａ２よりも大きくなるように構成されている（Ａ１＞Ａ２）。なお、図２に示す形態の場合、前記Ａ１＞Ａ２の関係を得るために、例えば、連絡流路１３の数を、吐出流路１１の数よりも多くなるようにすればよい。
これにより、連絡流路１３の圧力損失を吐出流路１１の圧力損失よりも小さくすることができる。なお、このような関係を有するように圧力損失を設定するためには、前記のとおりＡ１＞Ａ２とする他に、連絡流路１３における塗液の流れ方向長さ（流路長）を、吐出流路１１における塗液の流れ方向長さ（流路長）よりも短くすればよい。

また、前記各形態では、連絡流路１３は、塗液の流れ方向に沿って断面形状が変化しない直線状の流路となっているが、塗液の流れ方向の上流側から下流側に向かって断面（断面積）が小さくなる流路や、これとは反対に塗液の流れ方向の上流側から下流側に向かって断面（断面積）が大きくなる流路であってもよい。

以上、各形態のノズル３によれば、吐出流路１１を塞ぐ原因となるような異物Ｇが、供給される塗液に突発的にわずかに含まれていても、横断長さの最小値Ｄｘ２を有する吐出流路１１よりも小さな横断長さの最小値Ｄｘ１を有する連絡流路１３のいずれかで異物Ｇが捕捉されるので、最下流に位置する第２マニホールド２２へ異物Ｇが流れないようにすることができ、最下流に位置する第２マニホールド２２に繋がっている吐出流路１１を異物Ｇが塞いで、ストライプ状塗膜の欠損を起こすのを防ぐことが可能となる。
さらに上記の異物Ｇで連絡流路１３のいずれかで塗液が通過不能となっても、残りの通過可能な連絡流路１３や連絡流路１３の一部分を通過した塗液が、最下流に位置する第２マニホールドで長手方向（Ｙ方向）に均一に分配されるので、塗液がすべての吐出流路１１から均一に同じ吐出流量で吐出されて、均一で同じ厚さのストライプ状の塗膜を継続して形成することが可能となる。
しかも、塗液が上記の通過可能な連絡流路１３を通過する時の流量の増加はわずかであり、それに伴い圧力損失の増加もわずかとなるので、塗液供給装置である図１のポンプ８の応答性が損なわれず、高速でのストライプ状の塗膜形成が可能となり、高い生産性を維持できる。

図２に示す実施形態では、連絡流路１３が直線的な流路により構成されている場合について説明したが、連絡流路１３は直線形状以外に、湾曲した形状であってもよい。例えば図１３に示すようにクランク形状であってもよく、また、このクランク形状の場合、図１３に示すように、折れ曲がった曲がり部１９が含まれる以外に、図示しないが、円弧状の曲がり部が含まれていてもよい。このように連絡流路１３が湾曲した形状である場合、細長い異物の捕捉性能を高めることが可能となる。

〔ノズル３について（その３）〕
図１６は、より好ましい他の形態のノズル３をＸ方向から見た場合の断面図である。図１６に示すノズル３は、最下流に位置する第２マニホールド２２から外部に通じて、塗液の流出を行うための流出流路４０が追加して設けられている他は、図２に示すノズル３と全く同じである。追加して設けられた流出流路４０については、流出流路４０における横断長さの最小値Ｄｘ３が、連絡流路１３における横断長さの最小値Ｄｘ１と、吐出流路１１における横断長さの最小値Ｄｘ２に対して、はるかに大きくなるように構成されている（Ｄｘ３＞＞Ｄｘ２＞Ｄｘ１）。これによって、何らかの理由で最下流に位置する第２マニホールド２２に初期異物Ｇ’が存在し、これが大きなサイズで連絡流路１３はもちろんのこと、吐出流路１１を通じても外部に排出できない場合であっても、流出流路４０を通じて塗液と共にノズル３の外部に排出することが可能となる。
ここで、流出流路４０における横断長さの最小値Ｄｘ３については、連絡流路１３における横断長さの最小値Ｄｘ１、吐出流路１１における横断長さの最小値Ｄｘ２と同様に上記したとおりに、定義される。

なお、そのような大きなサイズの初期異物Ｇ’が第２マニホールド２２に存在あるいは残存する理由としては、ノズル３の組立時における混入が挙げられる。例えば、図３と図８に示されているように、ノズル３は第２マニホールド２２のあるブロック３１ともう一つのブロック３２を、各々の対向面３１ａ、３２ａを対向させて組み立てられる。この際、空気中に漂う塵や、他の部分から移動してきた異物が、第２マニホールド２２に閉じ込められることがある。さらに洗浄不足で第２マニホールド２２にある異物が除去されずにそのまま残存することもある。このように第２マニホールド２２に初期異物Ｇ’が存在あるいは残存することは、実際にはたびたびある。この初期異物Ｇ’はそのまま放置されると、吐出流路１１を塞いでしまうので、ストライプ状の塗膜の欠損を生じさせる。したがって、良品となるストライプ状塗膜を高い生産性を維持して形成するには、この初期異物Ｇ’をあらかじめ第２マニホールド２２の外部に排出することが必要となる。

ノズル３の最下流に位置する第２マニホールド２２から流出流路４０を通じて、初期異物Ｇ’を外部に排出するための塗液の排出方法は、図１６に示すノズル３の最下流に位置する第２マニホールド２２から、流出流路４０を通じて、塗液を排出する塗液の排出方法であって、最下流に位置する第２マニホールド２２への塗液の供給を行いながら、流出流路４０を通じて塗液を排出する。初期異物Ｇ’単体では移動できないために、キャリアーとなる塗液と共に排出することが必要となる。すなわち、第２マニホールド２２に塗液の供給を行いながら、流出流路４０を通じて塗液を排出すると、塗液と一緒に初期異物Ｇ’が移動するので、最終的に初期異物Ｇ’が外部に排出されることになる。

第２マニホールド２２への塗液の供給の第１の方法は、通常のように供給口１６から塗液を供給して行う方法である。このように供給された塗液は、さらに下流に位置する連絡流路１３を通じて、第２マニホールド２２に供給される。この塗液の供給によって、第２マニホールド２２内の塗液は流出流路４０と吐出流路１１の両方からノズル３の外部に排出されるが、上記のように流出流路４０の横断長さの最小値Ｄｘ３が、吐出流路１１の横断長さの最小値Ｄｘ２よりもはるかに大きいため、供給された塗液の大半は流出流路４０を通じて排出され、それと一緒に初期異物Ｇ’も流出流路４０を通じて外部に排出される。なおこの時、吐出流路１１の下端である吐出口１２に蓋をして、第２マニホールド２２に供給される塗液の全量が、流出流路４０を通じて、外部に排出されるようにしても良い。

第２マニホールド２２への塗液の供給の第２の方法は、図１７に示すように吐出流路１１を通じて塗液を供給して行う方法である。図１７はノズル３で塗液の供給と排出状況を示すＸ方向から見た場合の断面図である。図１７では、吐出流路１１を通じて塗液を供給できるよう、吐出口１２が浸される塗液４３を貯蔵する塗液槽４２をさらに設けていることが示されている。具体的には、供給口１６を閉鎖した状態で、流出流路４０に繋がる図示しない真空ポンプを作動させると、第２マニホールド２２が減圧されるので、そこに吐出流路１１を通じて塗液槽４２から塗液４３が供給されると共に、第２マニホールド２２にある塗液が流出流路４０を通じて外部に排出される。したがって、塗液と一緒に第２マニホールド２２にある初期異物Ｇ’も外部に排出される。また減圧の代わりに、吐出口１２から加圧した塗液を、吐出流路１１を通じて第２マニホールド２２に供給しても良い。
さらに、吐出流路１１を通じて第２マニホールド２２に塗液を供給することにより、初期異物Ｇ’が吐出流路１１を塞ぐ確率をさらに低下させる相乗効果も生じる。

第２マニホールド２２への塗液の供給の第３の方法は、図１８に示すように、外部から、最下流に位置する第２マニホールド２２に通じる流入流路４１を通じて、塗液を供給して行う方法である。なお、流入流路４１は、流出流路４０と別に設けられたものである。
図１８は、他の形態のノズル３をＸ方向から見た場合の断面図であり、図１６に示すノズル３に対して、第２マニホールド２２に通じる流入流路４１が追加して設けられている。なお、流入流路４１は図１８に示すように、第２マニホールド２２の流出流路４０とはＹ方向の逆側端部に設けられていることが好ましい。
このように、第２マニホールド２２の一端に設けられた流入流路４１を通じて塗液を供給することにより、第２マニホールド２２内の塗液は吐出流路１１と流出流路４０の両方から排出される。そして、上記したように流出流路４０の横断長さの最小値Ｄｘ３は、吐出流路１１の横断長さの最小値Ｄｘ２よりもはるかに大きいため、供給された塗液の大半は流出流路４０を通じて排出され、それと共に初期異物Ｇ’も流出流路４０を通じて外部に排出される。この時、第２マニホールド２２では図１８に矢印で示した方向に塗液の大半が向かう流れが生じて流速が大きくなるので、初期異物Ｇ’が第２マニホールド２２のどこにあっても確実に排出することが可能となる。
さらに、吐出流路１１の下端である吐出口１２に蓋をして、第２マニホールド２２に供給される塗液の全量が流出流路４０を通じて、外部に排出されるようにしても良い。
これにより、第２マニホールド２２に供給される塗液の全量が、流出流路４０を通じて排出されるため、この塗液と共に初期異物Ｇ’を外部に排出することが可能となる。一方、吐出流路１１からは塗液が全く排出されないため、初期異物Ｇ’が吐出流路１１を塞ぐ確率を一層低下させることが可能となる。なお、吐出口１２への蓋として、吐出口１２をしっかりとシールできるように、柔らかなゴムやスポンジなどの部材を適用することが好ましい。

なお、前記の初期異物Ｇ’を外部に排出する動作（排出動作）は、ノズル３（吐出流路１１）から吐出する塗液を基板Ｗへ塗布する塗布動作に対して、独立して行われる。つまり、例えば排出動作は塗布動作の前に行われて、排出動作を行う際には塗布動作は行われず、また、塗布動作を行う際には排出動作は行われない。
また、流出流路４０の下流側には図外のバルブが設けられており、前記塗布動作の際には、このバルブが閉じた状態にある。そして、前記排出動作を行う際に、このバルブが開かれる。

今回開示した実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の権利範囲は、上述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された構成と均等の範囲内でのすべての変更が含まれる。
例えば、前記各形態では、ノズル３は二つの第１マニホールド２１、第２マニホールド２２を有する場合について説明したが、マニホールドの数は三つ以上であってもよい。例えば、図１４に示すように、三つの第１マニホールド２１、第２マニホールド２２、第３マニホールド２５が設けられている場合、塗液の上下流方向で隣り合うマニホールド間をそれぞれ連通するように、二段の連絡流路１３−１、１３−２が設けられる。

さらに、この場合、最も上流側に位置する連絡流路１３−１における塗液の流れ方向に直交する断面を一対の第１仮想平行線で挟んだ場合の間隔である横断長さの最小値Ｄｙ０が、最も下流側に位置する第３マニホールド２５に繋がっている吐出流路１１における塗液の流れ方向に直交する断面を一対の第２仮想平行線で挟んだ場合の間隔である横断長さの最小値Ｄｙ２以下となるように構成されてもよく、又は、最も下流側に位置する連絡流路１３−２における前記横断長さの最小値Ｄｙ１が、第３マニホールド２５に繋がっている吐出流路１１における前記横断長さの最小値Ｄｙ２以下となるように構成されてもよい。

なお、ノズル３に複数段の連絡流路１３−１、１３−２が設けられている場合、最も下流側に位置する連絡流路１３−２における前記横断長さの最小値Ｄｙ１を、第３マニホールド２５に繋がっている吐出流路１１における前記横断長さの最小値Ｄｙ２以下とし、更に、この最も下流側に位置する第３マニホールド２５の容積を、これよりも上流側に位置する第１マニホールド２１、第２マニホールド２２の容積よりも小さくする、つまり、最も下流側に位置する第３マニホールド２５の容積を最小とするのが好ましい。
これにより、最も下流側に位置する第３マニホールド２５内部での塗液の滞留時間が短くなり、塗液の含有成分が凝集して問題となる大きさの凝集物（異物）に成長する時間的余裕を与えなくなるので、吐出流路１１における凝集物の詰まり防止をより一層効果的に行うことが可能になる。

また連絡流路１３については、図６に示す流路のＹ方向長さ寸法Ｂ３を大きくして１本の流路にしてもよいし、Ｙ方向長さ寸法Ｂ３が小さい多数本の流路にしてもよい。ただし、Ｙ方向長さ寸法Ｂ３が異物の長さ寸法よりも大きいと、塗液は連絡流路１３の入口にある異物により一旦分離されてから連絡流路１３に入り込み、異物の下流側で合流するので、粘度の高い塗液では合流した痕跡がストライプ状の塗膜の表面に表れることがある。そのような不都合をなくし、幅広い特性の塗液に本発明のノズル３を適用できるように、連絡流路１３は流路のＹ方向長さ寸法Ｂ３を小さくして複数設けることがより好ましい。
さらに連絡流路１３のＹ方向長さ寸法Ｂ３が小さい場合、より多数の連絡流路１３を設ける方がより好ましい。これは、異物がいくつかの連絡流路の塗液の流れを阻止する時に、他の連絡流路での流量の増大がごくわずかになって、圧力損失増もごくわずかになるので、塗液供給装置であるポンプ８の応答性を高いまま維持することができ、高速度でのストライプ状の塗膜形成が可能となるためである。

また流出流路４０（流入流路４１）については、流出流路４０（流入流路４１）における横断長さの最小値Ｄｘ３が、連絡流路１３における横断長さの最小値Ｄｘ１と、吐出流路１１における横断長さの最小値Ｄｘ２に対して、はるかに大きくなるように構成されていればよく、流出流路４０（流入流路４１）の断面形状は特に限定されない。例えば、矩形や円形、台形であってもよい。
さらにまた前記実施態様では、流出流路４０（流入流路４１）が第２マニホールド２２の一端に１つだけ設けられている例を示したが、流出流路４０（流入流路４１）は第２マニホールド２２に複数設けられていてもよい。流出流路４０（流入流路４１）が設けられる位置も第２マニホールド２２の端部に限定されず、例えば、第２マニホールド２２の中央部に設けられていてもよい。

１：塗布装置 ２：ステージ ３：ノズル
４：駆動装置 ５：制御装置 ７：被塗布部材
８：ポンプ ９：タンク １１：吐出流路
１１ａ：凹部 １１ｂ：スリット １２：吐出口
１３、１３−１、１３−２：連絡流路 １３ａ：凹部
１３ｂ：スリット １４：スリット １５：突出部
１６：供給口 １７：配管 １９：曲がり部
２１：第１マニホールド ２１ａ：凹部 ２２：第２マニホールド
２２ａ：凹部 ２３、２４：壁部 ２５：第３マニホールド
３１：第１ブロック ３１ａ：対向面 ３２：第２ブロック
３２ａ：対向面 ３３：シム ４０：流出流路
４１：流入流路 ４２：塗液槽 ４３：塗液
Ｌ１−１、Ｌ１−２：仮想平行線 Ｌ２−１、Ｌ２−２：仮想平行線
Ｄｘ１：間隔 Ｄｘ２：間隔 Ｗ：基板 Ｍ：塗膜

Claims (8)

1. 塗液が供給される供給口と、
   供給された塗液をノズル長手方向に拡幅する複数のマニホールドと、
   塗液の上下流方向で隣り合う前記マニホールドを連通する連絡流路と、
   最下流に位置する前記マニホールド内の塗液を分配して塗液を外部に吐出するための複数の吐出流路と、
   を備え、
   前記連絡流路における前記塗液の流れ方向に直交する断面を一対の第１仮想平行線で挟んだ場合の間隔である横断長さの最小値が、前記吐出流路における前記塗液の流れ方向に直交する断面を一対の第２仮想平行線で挟んだ場合の間隔である横断長さの最小値以下となるように構成されていることを特徴とするノズル。
2. 前記ノズル長手方向に沿った対向面を各々備えている第１ブロックと第２ブロックとを有し、
   前記第１ブロックの前記対向面及び前記第２ブロックの前記対向面の一方又は双方に、前記マニホールド、前記連絡流路及び前記吐出流路を形成するための凹部が設けられている請求項１に記載のノズル。
3. 前記ノズル長手方向に沿った対向面を各々備えている第１ブロックと第２ブロックと、前記第１ブロックと前記第２ブロックとの間に介在するシムと、有し、
   前記第１ブロックの前記対向面及び前記第２ブロックの前記対向面の一方又は双方に、前記マニホールドを形成するための凹部が設けられ、
   前記シムに前記連絡流路又は前記吐出流路を形成するためのスリットが設けられている請求項１に記載のノズル。
4. さらに前記最下流に位置するマニホールドから外部に通じて、塗液の流出を行うための流出流路が設けられている、請求項１〜３のいずれかに記載のノズル。
5. 請求項４に記載のノズルの前記最下流に位置するマニホールドから、前記流出流路を通じて塗液を排出する塗液の排出方法であって、前記最下流に位置するマニホールドへの塗液の供給を行いながら、前記流出流路を通じて塗液を排出することを特徴する塗液の排出方法。
6. 前記最下流に位置するマニホールドへの塗液の供給は、前記供給口から塗液を供給して行う請求項５に記載の塗液の排出方法。
7. 前記最下流に位置するマニホールドへの塗液の供給は、前記吐出流路を通じて塗液を供給して行う請求項５に記載の塗液の排出方法。
8. 前記最下流に位置するマニホールドへの塗液の供給は、外部から最下流に位置するマニホールドに通じる流入流路を通じて塗液を供給して行う請求項５に記載の塗液の排出方法。

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