JP2008178818A - スリットダイ及びシム - Google Patents
スリットダイ及びシム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008178818A JP2008178818A JP2007015046A JP2007015046A JP2008178818A JP 2008178818 A JP2008178818 A JP 2008178818A JP 2007015046 A JP2007015046 A JP 2007015046A JP 2007015046 A JP2007015046 A JP 2007015046A JP 2008178818 A JP2008178818 A JP 2008178818A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shim
- slit
- taper
- lip
- slit die
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
【課題】高精度の膜厚分布が得られ、構造が簡単で、メンテナンス後の再調整も不要なスリットダイを提供する。
【解決手段】第1と第2のリップ2,3の対向面にマニホールド7を形成し、第1と第2のリップ2,3の間にシム4を挟み込んで固定し、マニホールド7に連通し下端の開口を吐出口10としたスリット6を形成してなるスリットダイ1において、シム4の両端部から中央部に向かい厚さが変化するテーパを設ける。
【選択図】図2
【解決手段】第1と第2のリップ2,3の対向面にマニホールド7を形成し、第1と第2のリップ2,3の間にシム4を挟み込んで固定し、マニホールド7に連通し下端の開口を吐出口10としたスリット6を形成してなるスリットダイ1において、シム4の両端部から中央部に向かい厚さが変化するテーパを設ける。
【選択図】図2
Description
本発明は、液晶パネル、プラズマディスプレイパネル等の基板に塗布液を吐出して塗膜を形成するダイコータのスリットダイ及びシムに関する。特に、塗膜の膜厚分布を均一にするスリットダイ及びシムに関する。
従来、ダイコータのスリットダイには第1と第2のリップにフラットシムが挟み込まれてスリットが形成されている。通常、供給される塗布液の圧力によるスリット隙間の拡大や、スリットの長手方向(以下、巾方向という。)の塗布液の吐出分布の相違等により、基板上に形成される塗膜の膜厚分布は、スリットの中央部が厚くて両端部が薄い山形になるが、その精度は±5%程度であり、実用上問題はなかった。
ところが、近年における液晶パネルやプラズマディスプレイパネルの大型化に伴って、基板への塗布液の塗工巾が拡大するとともに、膜厚分布も高精度が要求されている。
膜厚分布を改善するには、スリットダイの供給ポートを1点から巾方向に多点化して吐出分布を良くする方法がある。しかし、塗布液によっては、多点の供給ポートから供給されてスリットダイ内部で合流するときに混じり合わずに塗膜に筋が発生し、品質に悪影響を及ぼしていた。
また、特許文献1には、シムによって形成されるマニホールドの内幅をリップ先端面に向かって徐々に減少させる構造が提案されている。
特許文献2には、塗膜の端部の厚膜化を防止するために、スリットの吐出口の巾を奥よりも広げて吐出口の端部に流れる塗布液を少なくする構造が提案されている。
しかし、これらの構造では、スリット吐出口の形状を理論的に計算で求めることが難しく、試行錯誤で決定しなければならないし、端部近傍の膜厚しか制御できないという問題があった。
特許文献2には、塗膜の端部の厚膜化を防止するために、スリットの吐出口の巾を奥よりも広げて吐出口の端部に流れる塗布液を少なくする構造が提案されている。
しかし、これらの構造では、スリット吐出口の形状を理論的に計算で求めることが難しく、試行錯誤で決定しなければならないし、端部近傍の膜厚しか制御できないという問題があった。
特許文献3には、一方のリップに複数のねじを設けてスリットの間隔を調整する構造が提案されている。
特許文献4には、一方のリップを2つのブロックで構成してこれらのブロックを相対的に移動させてスリットの間隔を調整する構造が提案されている。
しかし、これらは、ダイの構造が複雑化し、メンテナンス後に再度調整が必要であり煩雑であるという問題があった。
特開平9−253555号公報
特開2000−153199号公報
特開平9−131561号公報
特開2004−283820号公報
特許文献4には、一方のリップを2つのブロックで構成してこれらのブロックを相対的に移動させてスリットの間隔を調整する構造が提案されている。
しかし、これらは、ダイの構造が複雑化し、メンテナンス後に再度調整が必要であり煩雑であるという問題があった。
本発明は前記従来の問題点に鑑みてなされたもので、高精度の膜厚分布が得られ、構造が簡単で、メンテナンス後の再調整も不要なスリットダイ及びシムを提供することを課題とする。
前記課題を解決するために、本発明に係るスリットダイは、
第1と第2のリップの対向面にマニホールドを形成し、前記第1と第2のリップの間にシムを挟み込んで固定し、前記マニホールドに連通し下端の開口を吐出口としたスリットを形成してなるスリットダイにおいて、前記シムに両端部から中央部に向かい厚さが変化するテーパを設けたものである。
第1と第2のリップの対向面にマニホールドを形成し、前記第1と第2のリップの間にシムを挟み込んで固定し、前記マニホールドに連通し下端の開口を吐出口としたスリットを形成してなるスリットダイにおいて、前記シムに両端部から中央部に向かい厚さが変化するテーパを設けたものである。
前記テーパは、スリットの端部の流量を増加させ中央部の流量を減少させるときは、前記シムの両端部から中央部に向かい厚さが薄くすることができる。
また、逆に、スリットの端部の流量を減少させ中央部の流量を増加させるときは、前記テーパは、前記シムの両端部から中央部に向かい厚さを厚くすることができる。
また、逆に、スリットの端部の流量を減少させ中央部の流量を増加させるときは、前記テーパは、前記シムの両端部から中央部に向かい厚さを厚くすることができる。
前記シムを中央部で長手方向に第1シムと第2シムに分割してもよい。
この場合、前記シムの中央部で前記第1シムと第2シムの端面を互いに係合させることが好ましい。
この場合、前記シムの中央部で前記第1シムと第2シムの端面を互いに係合させることが好ましい。
本発明に係るシムは、第1と第2のリップ間に挟み込まれてスリットを形成するシムであって、前記シムの両端部から中央部に向かい厚さが変化するテーパを設けたものである。
本発明によれば、テーパシムを第1と第2のリップ間に挟み込んで固定するだけの簡単な構造でスリットの端部の流量を中央部に対して増減させることができるので、高精度の膜厚分布を得ることができ、メンテナンス時の再調整も不要である。スリット間隔の調整機構が不要であるので、スリットダイの構造が簡単になる。
以下、本発明の実施の形態を添付図面に従って説明する。
図1は、本発明にかかるスリットダイ1の断面図である。このスリットダイ1は、第1リップ2と第2リップ3の間にテーパシム4を挟み込んで連結ボルト5で固定し、第1リップ2と第2リップ3の間にスリット6を形成したものである。
図2に示すように、第1リップ2は、ステンレス鋼製の長尺のブロックからなり、第2リップ3との対向面には長手方向に延びる溝状のマニホールド7が形成されている。マニホールド7の中央には、その上壁から第1リップ2の上面の供給ポート8に至る塗布液供給路9が形成されている。
第2リップ3は、第1リップ2と同様に、ステンレス鋼製の長尺のブロックからなり、第1リップ2と縦横寸法は同一であるが、厚さが第1リップ2より薄く形成されている。
第1リップ2と第2リップ3の下端面はスリット6の下端開口である吐出口10が突出するように傾斜面11,12で形成されている。
テーパシム4は、ステンレス鋼板からなり、前記第1リップ2と第2リップ3と縦横の寸法がほぼ同一で、前記第1リップ2のマニホールド7とその下方の部分に対応する部分に切欠き13が設けられて、全体的に門形に形成されている。テーパシム4の上端面から切欠き13の上縁までの高さは、前記第1リップ2の上端面からマニホールド7の上壁縁までの高さと同一である。また、テーパシム4の切欠き13の両端縁間の間隔は、前記第1リップ2のマニホールド7の長手方向の長さと同一である。
テーパシム4は、その中央部でスリット6の長手方向に第1シム4aと第2シム4bに分割されている。第1シム4aの端縁には矩形の凹部14が形成され、第2シム4bの端縁には前記凹部14と係合する矩形の凸部15が形成されている。この第1シム4aと第2シム4bの係合構造はこれに限らず、半円形の凹部と凸部としてもよいし、L字形に切り欠いたものでもよい。第1シム4aと第2シム4bは、それらの第2リップ3と対向する面に、それぞれ端部から中央部に向かい厚さが薄く変化するテーパが設けられている。このテーパは、例えば中央部の厚さを1としたときに端部の厚さが1.1になるように精密加工により形成されている。
前記第1リップ2、第2リップ3、テーパシム4には、連結ボルト5を挿通する多数の孔16が3列で長手方向に一定間隔で形成されている。第1リップ2と第2リップ3の間にテーパシム4を挟み込み、各孔16に連結ボルト5を通して締め付けることで、第1リップ2と第2リップ3の間にテーパシム4の厚さに相当する隙間のスリット6が形成されている。第1シム4aと第2シム4bは凹部14と凸部15で係合しているので、ずれることはなく、また相互に密着させることにより塗布液の漏れが生じないようにすることができる。スリット6の下端開口は吐出口10を形成し、この吐出口10はスリット6、マニホールド7、塗布液供給路9を介して、供給ポート8に連通している。
次に、前記構成からなるスリットダイ1の作用について説明する。
図示しない塗布液タンクより塗布液が供給ポート8に供給されると、塗布液は塗布液供給路9を通ってマニホールド7に導入され、マニホールド7の中央部から両端部に広がり、スリット6を介して吐出口10から吐出する。スリットダイ1又はスリットダイ1の下方に位置するテーブル17をスリット6の長手方向に直角な方向に相対的に移動させると、スリット6の吐出口10から吐出する塗布液はテーブル17に載置された基板18上に塗布される。
テーパシム4には、前述のように中央部が薄くなるテーパが設けられているので、図3に示すように、スリット6の中央部の隙間は端部の隙間より狭くなっている。このため、スリット6の中央部から吐出する塗布液の流量は端部から吐出する流量よりも少なくなる。また、図3中2点鎖線で示すように、スリット6の中央部の隙間は塗布液の吐出圧力により広がるが、従来のフラットシムに比べて広がりは少ない。この結果、図4(a)に示すようにスリット6の中央部で厚くて両端部で薄い山形になっていた基板18上の塗膜19の膜厚分布は、図4(b)に示すように、均一に調整されて平坦な膜厚分布となる。
図5は、図2のテーパシム4の変形例であるテーパシム4’を示す。膜厚分布がスリット6の中央部で薄くて両端部で厚くなる場合には、図2に示すテーパシム4の代わりに、このような両端部から中央部に向かい厚さが厚くなるテーパが設けられたテーパシム4’を使用する。テーパは、例えば中央部の厚さを1としたときに端部の厚さが0.9になるように精密加工により形成されている。このテーパシム4’も、前記テーパシム4と同様に、その中央部でスリット6の長手方向に第1シム4a’と第2シム4b’に分割されている。第1シム4a’の端縁には凹部14が形成され、第2シム4b’の端縁には前記凹部14と係合する凸部15が形成されている。
このように中央部が厚くなるテーパが設けられたテーパシム4’を使用すると、スリット6の中央部の隙間は端部の隙間より広くなる。このため、スリット6の中央部から図6に示すように吐出する塗布液の流量は端部から吐出する流量よりも大きくなる。また、スリット6の中央部の隙間は塗布液の吐出圧力によりさらに広がろうとするが、従来のフラットシムに比べて広がりは少ない。この結果、図7(a)に示すようにスリット6の中央部で薄くて両端部で厚い山形になっていた基板18上の塗膜の膜厚分布は、図7(b)に示すように、均一に調整されて平坦な膜厚分布となる。
前記スリットダイ1では、第1リップ2と第2リップ3にテーパシム4,4’を挟み込んで固定するだけで、スリット6の隙間が調整できる。このため、第1リップ2と第2リップ3を分解してメンテナンスする時でも、同様に組み立てるだけで隙間調整ができるので、再調整が不要である。従来の調整ボルト等を用いたスリット間隔の調整機構も不要であるので、スリットダイ1の構造が簡単になる。
実施例として、従来のテーパの無いシム(厚さ0.8mm)と本発明のテーパシム(両端部厚さ0.84mm、中央部厚さ0.8mm)で塗布を行った結果、図8に示すように、膜厚分布が従来は±5%であったものが、本発明では±2%まで改善された。
1 スリットダイ
2 第1リップ
3 第2リップ
4,4’ テーパシム
4a,4a’ 第1シム
4b,4b’ 第2シム
6 スリット
7 マニホールド
10 吐出口
14 凹部
15 凸部
2 第1リップ
3 第2リップ
4,4’ テーパシム
4a,4a’ 第1シム
4b,4b’ 第2シム
6 スリット
7 マニホールド
10 吐出口
14 凹部
15 凸部
Claims (6)
- 第1と第2のリップの対向面にマニホールドを形成し、前記第1と第2のリップの間にシムを挟み込んで固定し、前記マニホールドに連通し下端の開口を吐出口としたスリットを形成してなるスリットダイにおいて、前記シムに両端部から中央部に向かい厚さが変化するテーパを設けたことを特徴とするスリットダイ。
- 前記テーパは、前記シムの両端部から中央部に向かい厚さが薄くなることを特徴とする請求項1に記載のスリットダイ。
- 前記テーパは、前記シムの両端部から中央部に向かい厚さを厚くなることを特徴とする請求項1に記載のスリットダイ。
- 前記シムを中央部で長手方向に第1シムと第2シムに分割したことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のスリットダイ。
- 前記シムの中央部で前記第1シムと第2シムの端面を互いに係合させたことを特徴とする請求項4に記載のスリットダイ。
- 第1と第2のリップ間に挟み込まれてスリットを形成するシムであって、前記シムの両端部から中央部に向かい厚さが変化するテーパを設けたことを特徴とするシム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007015046A JP2008178818A (ja) | 2007-01-25 | 2007-01-25 | スリットダイ及びシム |
TW096143226A TWI327933B (en) | 2007-01-25 | 2007-11-15 | Slit die and shim |
CN2008100031540A CN101229537B (zh) | 2007-01-25 | 2008-01-11 | 缝模及垫片 |
KR1020080007441A KR100966708B1 (ko) | 2007-01-25 | 2008-01-24 | 슬릿 다이 및 심 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007015046A JP2008178818A (ja) | 2007-01-25 | 2007-01-25 | スリットダイ及びシム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008178818A true JP2008178818A (ja) | 2008-08-07 |
Family
ID=39723126
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007015046A Pending JP2008178818A (ja) | 2007-01-25 | 2007-01-25 | スリットダイ及びシム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008178818A (ja) |
KR (1) | KR100966708B1 (ja) |
CN (1) | CN101229537B (ja) |
TW (1) | TWI327933B (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009018227A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Nitto Denko Corp | ダイコーター及びダイコーター調整方法、並びに光学フィルムの製造方法 |
JP2010086811A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Toshiba Corp | 塗工装置および塗工方法 |
JP2013212492A (ja) * | 2012-03-07 | 2013-10-17 | Nitto Denko Corp | シム部材、ダイコーター及び塗布膜の製造方法 |
JP2014008425A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-20 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置およびノズル |
JP2014039911A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Dainippon Printing Co Ltd | ダイヘッド |
JP2014100653A (ja) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Jfe Steel Corp | 連続塗布装置および連続塗布方法 |
JP2015044138A (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-12 | 株式会社ジェイテクト | ウエブ塗工装置 |
JP2021109162A (ja) * | 2020-01-15 | 2021-08-02 | 株式会社Screenホールディングス | スリットノズルおよび基板処理装置 |
CN114887829A (zh) * | 2022-03-29 | 2022-08-12 | 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司 | 涂布垫片及涂布模头 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102039255A (zh) * | 2011-01-28 | 2011-05-04 | 福建南平南孚电池有限公司 | 锂电池极片的涂布装置及方法 |
JP6030078B2 (ja) * | 2014-01-23 | 2016-11-24 | 富士フイルム株式会社 | 塗布フィルムの製造方法 |
CN105537066B (zh) * | 2016-02-29 | 2018-06-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种用于涂胶刀头的调节垫片、涂胶刀头及涂胶机 |
CN108772256A (zh) * | 2018-06-21 | 2018-11-09 | 桑顿新能源科技有限公司 | 一种挤压涂布垫片及挤压涂布机 |
CN215390401U (zh) * | 2019-12-19 | 2022-01-04 | 株式会社斯库林集团 | 狭缝喷嘴以及基板处理装置 |
JP7163334B2 (ja) * | 2020-03-13 | 2022-10-31 | 東レエンジニアリング株式会社 | スリットダイ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0480012A (ja) * | 1990-07-24 | 1992-03-13 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 嵌合型デッケル |
JPH071547A (ja) * | 1993-06-21 | 1995-01-06 | Sekisui Chem Co Ltd | 合成樹脂シ−ト押出成形用金型 |
JPH078879A (ja) * | 1993-06-23 | 1995-01-13 | Hirata Corp | 流体塗布装置 |
WO2005028123A1 (en) * | 2003-09-17 | 2005-03-31 | 3M Innovative Properties Company | Methods for forming a coating layer having substantially uniform thickness, and die coaters |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002066420A (ja) | 2000-08-31 | 2002-03-05 | Toppan Printing Co Ltd | 品種切替えに容易なスロットダイヘッド |
JP2004283779A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-14 | Hirata Corp | 液体塗布装置および液体塗布方法 |
JP2005152885A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-06-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | スリットノズル |
CN100400172C (zh) * | 2004-12-30 | 2008-07-09 | 刘大佼 | 共挤压涂布两种涂层的方法 |
CN2828415Y (zh) * | 2005-10-18 | 2006-10-18 | 倪静丰 | 一种弹性垫圈 |
JP4826320B2 (ja) | 2006-04-07 | 2011-11-30 | 大日本印刷株式会社 | ダイヘッド |
-
2007
- 2007-01-25 JP JP2007015046A patent/JP2008178818A/ja active Pending
- 2007-11-15 TW TW096143226A patent/TWI327933B/zh not_active IP Right Cessation
-
2008
- 2008-01-11 CN CN2008100031540A patent/CN101229537B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-01-24 KR KR1020080007441A patent/KR100966708B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0480012A (ja) * | 1990-07-24 | 1992-03-13 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 嵌合型デッケル |
JPH071547A (ja) * | 1993-06-21 | 1995-01-06 | Sekisui Chem Co Ltd | 合成樹脂シ−ト押出成形用金型 |
JPH078879A (ja) * | 1993-06-23 | 1995-01-13 | Hirata Corp | 流体塗布装置 |
WO2005028123A1 (en) * | 2003-09-17 | 2005-03-31 | 3M Innovative Properties Company | Methods for forming a coating layer having substantially uniform thickness, and die coaters |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009018227A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Nitto Denko Corp | ダイコーター及びダイコーター調整方法、並びに光学フィルムの製造方法 |
JP2010086811A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Toshiba Corp | 塗工装置および塗工方法 |
JP2013212492A (ja) * | 2012-03-07 | 2013-10-17 | Nitto Denko Corp | シム部材、ダイコーター及び塗布膜の製造方法 |
KR101842729B1 (ko) | 2012-06-27 | 2018-03-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 도포 장치 및 노즐 |
TWI565523B (zh) * | 2012-06-27 | 2017-01-11 | 東京威力科創股份有限公司 | 塗布裝置及噴嘴 |
US9744551B2 (en) | 2012-06-27 | 2017-08-29 | Tokyo Electron Limited | Coating apparatus and nozzle |
JP2014008425A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-20 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置およびノズル |
JP2014039911A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Dainippon Printing Co Ltd | ダイヘッド |
JP2014100653A (ja) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Jfe Steel Corp | 連続塗布装置および連続塗布方法 |
JP2015044138A (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-12 | 株式会社ジェイテクト | ウエブ塗工装置 |
JP2021109162A (ja) * | 2020-01-15 | 2021-08-02 | 株式会社Screenホールディングス | スリットノズルおよび基板処理装置 |
JP7257976B2 (ja) | 2020-01-15 | 2023-04-14 | 株式会社Screenホールディングス | スリットノズルおよび基板処理装置 |
CN114887829A (zh) * | 2022-03-29 | 2022-08-12 | 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司 | 涂布垫片及涂布模头 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101229537A (zh) | 2008-07-30 |
TWI327933B (en) | 2010-08-01 |
CN101229537B (zh) | 2010-11-17 |
TW200831195A (en) | 2008-08-01 |
KR20080070549A (ko) | 2008-07-30 |
KR100966708B1 (ko) | 2010-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008178818A (ja) | スリットダイ及びシム | |
US8485121B2 (en) | Coating tool for applying a fluid film onto a substrate | |
JP2009273997A (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
JP2006205031A (ja) | スリットダイ及び塗布装置 | |
WO2021181968A1 (ja) | スリットダイ | |
JP4592450B2 (ja) | ダイヘッド及びスリットギャップ調整方法 | |
JP2008043875A (ja) | ダイヘッド | |
EP3656887B1 (en) | Method for manufacturing molten metal plated steel strip | |
JP2007275779A (ja) | ダイヘッド | |
CN115245889B (zh) | 模头 | |
KR20150045591A (ko) | 기판 코터 장치용 슬릿 노즐 및 이를 구비한 기판 코터 장치 | |
KR20180039819A (ko) | 슬릿 노즐 | |
JP5857577B2 (ja) | 塗工ダイヘッド | |
JP6007673B2 (ja) | ダイヘッド | |
JPH06142591A (ja) | 塗工液ノズル | |
JP2014184351A (ja) | ダイヘッド | |
JP2006142247A (ja) | ダイヘッド | |
US11702745B2 (en) | Nozzle and nozzle head | |
JP2009028685A (ja) | ダイコーティング装置 | |
JP2006181448A (ja) | ダイヘッド | |
JP2015182019A (ja) | 塗布工具 | |
JP2004314053A (ja) | 塗布液吐出用ダイヘッド | |
CN115106247B (zh) | 涂布装置 | |
JP2000033312A (ja) | 塗布装置 | |
JP2006181440A (ja) | ダイヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090714 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110809 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120207 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120605 |