TWI327933B - Slit die and shim - Google Patents

Description

1327933 九、發明說明： 【發明所属之技術領域3 發明領域 本發明係有關於一種將塗布液吐出至液晶面板、電聚 顯示器面板等基板，而形成塗膜之模具塗布機（die coater) 之縫模(slit die)及墊隙片（shim)。特別是有關於一種使塗膜 之膜厚分布均一之縫模及墊隙片。 【先前技術2 發明背景 習知，在模具塗布機之狹縫，於第丨唇與第2唇(lip)夾 入平面墊隙片（flat shim)，形成狹縫。通常因供給之塗布液 壓力造成之狹縫間隙擴大或狹縫之長邊方向（以下稱為幅 度方向）之塗布液之吐出分布不同等，形成於基板上之塗膜 之膜厚分布呈狹縫之中央部厚，兩端部薄之山形，其精確 度為±5%左右，實用上沒問題。 而隨著近年之液晶面板或電漿顯示器面板之大型化， 對基板之塗布液之塗覆幅度擴大，同時膜厚分布亦要求高 精確度。 改善膜厚分布有使縫模之供給口從1點至幅度方向多 點化，而使吐出分布佳之方法。然而，因塗布液不同從 多點供給口供給而在縫模内部交會時不混合而於塗膜產 生紋路，對品質造成不良影響。 於專利文獻1提出以墊隙片形成之歧管（manifold)内部 寬度往唇前端面逐漸減少之構造。 5 1327933 於專利文獻2提出為防止塗膜端部之厚膜化，使狹縫 之吐出口之幅度較内部擴大而減少流至吐出口端部之塗布 液之構造。 然而，在該等構造，有不易以邏輯計算狹縫吐出口之 形狀，而必須以試誤法決定’且僅可控制端部附近之膜厚 之問題。 於專利文獻3提出於其中一唇設置複數螺絲，以調整狹 縫間隔之構造。 於專利文獻4提出將其中之一唇以2個塊構成，使該等 塊相對移動，以調整狹縫間隔之構造。 然而，該等有模之構造複雜化，於保養後，需再度調 整而繁雜之問題。 【專利文獻1】曰本專利公開公報平9-253555號 【專利文獻2】曰本專利公開公報2〇〇〇_丨53199號 【專利文獻3】曰本專利公開公報平9_i3i561號 【專利文獻4】日本專利公開公報2〇〇4 283820號 【發明内容3 發明概要 本發明即是鑑於前述習知問題點而發明者，其課題係 提供可獲得高《度m布，構造簡單，保養後之再 調整亦不需要之縫模及塾隙片。 為解決前述課題，本發明之縫模係於係於第丄辱及第2 唇之相對面形成有歧管，於前述第1唇與第2唇間爽入固定 有塾隙片，且職錢通於前述分歧管，町端開口作為 6 1327933 吐出口之狹縫者，其中於前述墊隙片設有厚度從兩端部朝 向中央部改變之斜面體(taper)。 前述斜面體於使狹縫端部之流量增加，中央部之流量 減少時，厚度可從前述墊隙片之兩端部朝向中央部變薄。 反之，使狹縫端部之流量減少，中央部之流量增加時， 前述斜面體之厚度從前述墊隙片兩端往中央部增厚。 前述墊隙片亦可在中央部於長邊方向分割成第1墊隙 片及第2墊隙片。 此時，較佳地，前述第1墊隙片及第2墊隙片之端面在 前述墊隙片之中央部相互卡合。 本發明之墊隙片係夾入第1唇與第2唇間，形成狹縫 者，並且設有厚度從前述墊隙片之兩端部往中央部改變之 斜面體。 根據本發明，由於僅以將斜面體墊隙片夾入第1唇與第 2唇間而固定之簡單構造，即可對中央部增減狹縫端部之流 量，故可獲得高精確度之膜厚分布，保養時之再調整亦不 需要。由於不需狹縫間隔之調整機構，故縫模之構造簡單。 【實施方式3 較佳實施例之詳細說明 以下，依所附圖式，說明本發明之實施形態。 第1圖係本發明缝模1之截面圖。此縫模1係於第1唇2 與第2唇3間夾入斜面體墊隙片4,以連結螺栓加以固定，而 於第1唇2與第2唇3間形成狹缝6者。 如第2圖所示，第1唇2由不鏽鋼製之長尺塊體構成，於 7 1327933 與第2唇3之相對面形成於長邊方向延伸之溝狀歧管7。於歧 管7之中央形成其上壁炱第1唇2上面之供給口 8之塗布液供 給路牲9。 第2唇3與第1唇2同樣地’由不鏽鋼製之長尺塊體構 成，與第1唇2之縱橫尺寸相同’厚度形成較第1唇2薄。 第1唇2與第2唇3之下端面以傾斜面11、12形成，俾使 狹縫6之下端開口吐出口 突出。 斜面體墊隙片4由不鏽鋼板構成，縱橫尺寸與前述第1 唇2及第2唇3大致相同，於前述第1唇2之歧管7及對應於其 下方之部份設置切口 13，全體形成門形。從斜面體墊隙片4 之上端面至切口 13之上緣之高度與從前述第1唇2之上端面 至歧管7之上壁緣之高度相同。斜面體墊隙片4之切口 13之 兩端緣間之間隔與前述第1唇2之歧管7之長邊方向長度相 同0 斜面體墊隙片4在其中央部於狹縫6之長邊方向分割成 第1塾隙片4a及第2墊隙片4b。於第1墊隙片4a之端緣形成矩 形凹部14 ’於第2墊隙片4b之端緣形成與前述凹部14卡合之 矩形凸部15。此第1墊隙片4a及第2墊隙片4b之卡合構造不 限於此，可為半圓形之凹部及凸部，亦可為切成[字形者。 於第1墊隙片4a及第2墊隙片4b之與第2唇3相對之面形成厚 又刀別從端部往中央部變薄之斜面體。此斜面體以精密加 工形成當中央部之厚度為1時，端部之厚度為1.1。 於前述第1唇2、第2唇3、斜面體墊隙片4在長邊方向以 弋間隔形成3列插通連結螺栓5之多數孔丨6。於第丨唇2與 8 1327933 第2魯3間夾入斜面體塾隙片4 ’藉使連結螺栓5通過各孔16 而鎖固，而於第1唇2與第2唇3間形成相當於斜面體塾隙片4 厚度之間隙的狹縫6。由於第1墊隙片4 a與第2墊隙片4 b以凹 部14及凸部15卡合，故不致移位，且相互密合，而不致產 生塗布液之外漏。狹縫6之下端開口形成吐出口 1〇，此吐出 口 10藉由狹縫6、歧管7、塗布液供給路徑9，連通於供給口 8 〇 接著，就由前述結構構成之縫模1之作用作說明。 當從圖中未示之塗布液槽將塗布液供給至供终口8 時’塗布液通過塗布液供給路徑9，導入至歧管7,從歧技7 之中央部向兩端部擴展，藉由狹縫6，從吐出口 1〇吐出。卷 使位於縫模1或縫模1下方之工作台Π於與狹縫6之+邊方 向形成直角之方向相對移動時，從狹縫6之吐出口 1〇吐出 塗布液可塗布於載置在工作台17之基板18上。 由於於斜面體塾隙片4如前述設置中央部變薄夕μ 吟 < 斜面 體，故如第3圖所示，狹縫6之中央部之間隙較端部之門隔 狹窄。因此，從狹縫6之中央部吐出之塗布液之流量較從端 部吐出之流量少。如第3圖中之兩點鏈線所示，狹縫6 央部之間隙因塗布液之吐出壓力而擴大，但擴大較習2令 平面墊隙片少。結果’如第4⑷圖所示’呈在狹縫。之 部厚’兩卿薄之山狀基板18±賴厚分布如&⑻， 不，均一地調整而形成平坦之膜厚分布。 圖斤 第5圖係顯示第2圖之斜面體墊隙片4之變形例： 體塾隙片4’。當膜厚分布在狹縫6之中央部薄， 9 1327933 時，使用設置有此種厚度從兩端部往中央部增厚之斜面體 之斜面體墊隙片4’取代第2圖所示之斜面體墊隙片4。斜面 體以精密加工形成當中央部之厚度為1時，端部之厚度為 0.9。此斜面體墊隙片4’亦與前述斜面體墊隙片4同樣地在其 中央部於狹縫6之長邊方向分割成第1墊隙片4a’及第2墊隙 片4b’。於第1墊隙片4a’之端緣形成凹部14,於第2墊隙片4b’ 之端緣形成與前述凹部14卡合之凸部15。 如此，當使用設有中央部增厚之斜面體之斜面體墊隙 片4’時，狹縫6之中央部之間隙較端部之間隙狹窄。因此， 如第6圖所示，從狹縫6之中央部吐出之塗布液之流量較從 端部吐出之流量大。狹縫6之中央部之間隙因塗布液之吐出 壓力而更擴大，但擴大較習知之平墊隙片少。結果，如第 7(a)圖所示，在狹縫6之中央部薄，兩端部厚之山形之基板 18上之膜厚分布如第7(b)圖所示，均一地調整而形成平坦之 膜厚分布。 在前述縫模1中，只要於第1唇2與第2唇3間夾入錐體墊 隙片4、4’，即可調整狹縫6之間隙。因此，分解第1唇2及 第2唇3而保養時，同樣地只要組裝，即可調整間隙，故不 需再調整。由於亦不需要習知使用調整螺栓之狹縫間隔調 整機構，故縫模1之構造簡單。 實施例係以習知無斜面體之塾隙片（厚度0.8mm)及本 發明斜面體墊隙片（兩端部厚度0.84mm、中央部厚度 0.8mm)，進行塗布之結果，如第8圖所示，習知膜厚分布為 ±5%，本發明為±2%。 10 1327933 【圖式簡單說明3 第1圖係本發明缝模之截面圖。 第2圖係第1圖之縫模之分解立體圖。 第3圖係使用第2圖之斜面體墊隙片之第1圖之I-Ι線截 面圖。 第4(a)圖係使用習知之平面墊隙片時之塗膜之截面圖， 第4(b)圖係使用第2圖之斜面體墊隙片時之塗膜之截面圖。 第5圖係顯示斜面體墊隙片之變形例之立體圖。 第6圖係使用第5圖之斜面體墊隙片之第1圖之I-Ι線截 面圖。 第7(a)圖係使用習知之平面墊隙片時之塗膜之截面 圖，第7(b)圖係使用第2圖之斜面體墊隙片時之塗膜之截面 圖。 第8圖係顯示使用習知墊隙片與本發明斜面體墊隙片 時之膜厚之圖表。 【主要元件符號說明】 1.. .縫模 2.. .第1唇 3.. .第2唇 4.. .斜面體墊隙片 4’...斜面體墊隙片 4a...第1墊隙片 4a’...第1墊隙片 4b...第2墊隙片 4b’...第2墊隙片 5.. .連結螺栓 6.. .狹縫 7.. .歧管 8.. .供給口 9.. .塗布液供給路徑 10.. .吐出口 11.. .傾斜面 11 1327933 12.. .傾斜面 13···切口 14.. .凹部 15.. .凸部 16.. .孔 17.. .工作台 18.. .基板 12

Claims (1)

1327933 ‘ _ 厂丨 - - 第96143226號專利申請案申請專利範圍替換本 2010年5月 ^ 十、申請專利範圍： 1. 一種缝模，係於第1唇及第2唇之相對面形成有歧管，於 前述第1唇與第2唇間夾入固定有墊隙片，且形成有連通 於前述分歧管，以下端開口作為吐出口之狹縫者，且於 前述墊隙片設有厚度從兩端部往中央部改變之斜面體 (taper)。 2. 如申請專利範圍第1項之縫模，其中前述斜面體厚度從 前述墊隙片之兩端部往中央部變薄。 3. 如申請專利範圍第1項之缝模，其中前述斜面體厚度從 前述墊隙片之兩端部往中央部增厚。 . 4.如申請專利範圍第1項至第3項中任一項之縫模，其中前 . 述墊隙片在中央部於長邊方向分割成第1墊隙片及第2 1 墊隙片。 5. 如申請專利範圍第4項之縫模，其中前述第1墊隙片及第 2墊隙片之端面在前述墊隙片之中央部相互卡合。 6. —種墊隙片，係夾入第1唇與第2唇間，形成狹縫者，並 且設有厚度從前述墊隙片之兩端部往中央部改變之斜 面體。 13 1327933 七、指定代表圖： (一） 本案指定代表圖為：第（2 )圖。 (二） 本代表圖之元件符號簡單說明： 1.. .縫模 2.. .第1唇 3.. .第2唇 4.. .斜面體墊隙片 4a...第1墊隙片 4b...第2墊隙片 5.. .連結螺栓 7.. .歧管 8.. .供給口 9.. .塗布液供給路徑 11.. .傾斜面 12.. .傾斜面 13···切口 14.. .凹部 15…凸部 16···孔 八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式：