JP4752275B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
塗布液タンク(16)は塗布液タンク加圧弁(12)を開く事で、圧縮クリーンエアー(11)により加圧される。圧縮クリーンエアー(11)の圧力調節は減圧弁(13)と圧力計(14)によって行い、圧力計(14)と塗布液タンク(16)の間には異物を捕集するためのフィルター(15)が設けられている。
図1、図4及び図5に示す通り、図示されてないローダーユニットの搬送ロボットによって、ガラス基板(51)は精密テーブル(44)上に載置され、真空吸着される。塗布液タンク加圧弁(12)は予め開いており、塗布液タンク(17)は常時加圧されている。スリットダイ(1)は図示されていない精密定盤上で予め組み付けられ、天板(41)に固定されている。この時、スリットダイ(1)の調節ボルトA(38)は回転角度0°、調節ボルトB(37)、調節ボルトC(34)は全て締め付けトルク0Nmの状態としている。
2・・・マニホールド側ブロック
3・・・調節ボルト側ブロック
4・・・マニホールド
5・・・スリット
6・・・供給口
7・・・排出口
8・・・リップ
11・・・圧縮クリーンエアー
12・・・塗布液タンク加圧弁
13・・・減圧弁
14・・・圧力計
15・・・フィルター
16・・・塗布液タンク
17・・・塗布液
18・・・塗布液吸入弁
19・・・一次フィルター
20・・・ポンプ
21・・・塗布液供給弁
22・・・ニ次フィルター
23・・・エアー抜き弁
24・・・廃液タンク
31・・・固定ボルト
32・・・スリットダイ底面側
33・・・スリットダイ先端側
34・・・調節ボルトC
35・・・固定押しボルト
36・・・座グリ穴
37・・・調節ボルトB
38・・・調節ボルトA
39・・・ヒンジ部
40・・・弾性変形支点部
41・・・天板
42・・・垂直方向精密駆動装置
43・・・水平方向精密駆動装置
44・・・精密テーブル
45・・・サイドプレート
51・・・ガラス基板
52・・・塗布ビード
53・・・塗布膜
61・・・ネジブッシュ
62・・・止めネジ
S ・・・塗布開始上位置
T ・・・塗布開始位置
U ・・・塗布終了位置
V ・・・塗布終了上位置
h ・・・弾性変形支点部肉厚
θ ・・・調節ボルトA中心線傾斜角度
X ・・・調節ボルトA中心線
Y ・・・リップ面垂直方向
Claims (2)
- 水平に載置された基板に対し該基板の上方から塗布をおこなう塗布装置であって、
複数の金属製構造物を組み合わせて一定の容積を有するマニホールドとマニホールドに接続された極狭幅のスリットを形成し、該スリットの出口部両側には狭幅のリップを有し、該マニホールドへ外部より液を供給する経路とマニホールドから外部へエアーを排出する経路を有する事を特徴とするスリットダイであって、スリットダイ長手方向に沿って配列された該スリットの短手方向隙間を調節する事が可能な複数の調節ボルトAを有し、該調節ボルトAの頭部はスリットダイ先端側、該調節ボルトAの先端部は該スリットダイ底面側を向いており、且つスリットダイ短手方向に対して該調節ボルトの頭部がスリットから離れて行く方向に傾斜しており、尚且つ調節ボルトAの中心線Xとリップのフラット面に対して垂直な方向Yとのなす角度が15°〜30°の範囲にあるスリットダイを備え、
該スリットダイが該基板の上面に、前記スリットの出口が基板に対して垂直方向となるように搭載され、
基板に塗布をおこなう際に該スリットダイが下降して前記基板に近づき、塗布終了後に該スリットダイが上昇し前記基板から離れる垂直方向精密駆動装置を備える
ことを特徴とする塗布装置。 - 前記スリットダイにおいて
前記調節ボルトAよりスリットダイ底面側にスリットダイ長手方向に沿って配列された該スリットの短手方向隙間を調節することが可能な複数の調節ボルトB、調節ボルトBよりスリットダイ底面側にスリットダイ長手方向に沿って配列された該スリットの短手方向隙間を調節する事が可能な複数の調節ボルトC、調節ボルトCよりスリットダイ底面側にスリットダイ長手方向に沿って配列された複数の固定ボルトが、スリットダイ底面側に向かってこの順に設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
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