JPH11309402A

JPH11309402A - ノズル、凹凸基材への塗液の塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイの製造装置および方法

Info

Publication number: JPH11309402A
Application number: JP21694298A
Authority: JP
Inventors: Hideki Ikeuchi; 秀樹池内; Yoshiyuki Kitamura; 義之北村; Takao Sano; 高男佐野
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1998-02-25
Filing date: 1998-07-31
Publication date: 1999-11-09
Anticipated expiration: 2018-07-31
Also published as: JP3728109B2

Abstract

(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイのように一定の凹凸状
パターンが形成された基材の凹部に所定の塗液を塗布す
るに際し、各吐出孔から均一に塗液を吐出して、各凹部
に塗布される量を均一にし、それによって、高生産性と
高品質を可能とするノズル並びに凹凸基材への塗液の塗
布装置および方法並びにプラズマディスプレイの製造装
置および方法を提供する。【解決手段】表面に一定ピッチで凹凸部が形成されて
いる基材を固定するテーブルと、マニホールド部および
基材の凹凸部と対面して複数の吐出孔を有し、かつ、該
吐出孔の開口方向の軸を含む断面形状が、各々その開口
軸に対して軸対称であるノズルと、ノズルに塗液を供給
する供給手段と、テーブルとノズルを３次元的に相対移
動させる移動手段とを備えたことを特徴とする凹凸基材
への塗液の塗布装置、およびその塗布方法、並びにそれ
を用いたプラズマディスプレイの製造装置および方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に凹凸状の
特定のパターンが形成されたもの、特に一定形状の隔壁
を等ピッチで配置したプラズマディスプレイパネルや、
ストライプ形ブラックマトリックス式のカラー受像管の
パネル内面等における一定パターンの塗布に適用でき
る、ノズル、凹凸基板への塗液の塗布装置および塗布方
法、並びにこれらの装置および方法を使用したプラズマ
ディスプレイの製造装置および製造方法の改良に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、ディスプレイはその方式において
次第に多様化してきている。現在注目されているものの
一つが、従来のブラウン管よりも大型で薄型軽量化が可
能なプラズマディスプレイである。これは、一定ピッチ
で一方向に延びる隔壁によりストライプ状の凹凸部をガ
ラス基板上に形成し、該凹凸部の凹部に赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）、青（Ｂ）の蛍光体を充填し、任意の部位を紫外
線により発光させ、所定のカラーパターンを表示するも
のである。

【０００３】蛍光体がストライプ状に構成されていると
いう構造は、ストライプ形ブラックマトリックス式のカ
ラー受像管のパネルも有している。

【０００４】このような構造のものを高い生産性と高品
質で製造するには、蛍光体を一定のパターン状に、塗り
分ける技術が重要となる。

【０００５】通常は、隔壁パターンを形成後、特開平５
−１４４３７５号公報に示されるように一色の蛍光体を
全面スクリーン印刷し、必要な部分のみフォトリソグラ
フィー法で残すようにして、高精度のパターンが得られ
るようにしている。しかし、この方法では、Ｒ、Ｇ、Ｂ
の各蛍光体パターンを形成するために、各色の塗布、露
光、現像、乾燥等の工程を３回繰り返す必要があり、コ
ストがかかる上、生産性に著しく劣るという欠点を持
つ。

【０００６】単にガラス基板上にストライプ状の着色パ
ターンを形成する他の方法としては、ノズルを用いる特
開平５−１１１０５号公報や特開平５−１４２４０７公
報等に記載されている方法があるが、表面が平坦な基板
を対象に先端が平坦なノズルで３色同時に塗布するもの
であるため、表面に凹凸が形成されているものに対して
はこの技術をそのまま用いることはできない。

【０００７】また、特開昭５２−１３４３６８号公報、
特開昭５４−１３２５０号公報、特開昭５４−１３２５
１号公報等には、ストライプ形ブラックマトリックス式
のカラー受像管のパネル内面の、凸状となっているブラ
ックマトリックス間の凹部に所定の蛍光体を塗布する方
法として、蛇行防止等の制御装置を有する改良されたノ
ズル装置を用いることが示されている。しかし、一本の
ノズルを用いているために、表面の複数の凹凸部に対し
て同時に塗布する方法には適用できず、塗布のために時
間がかかるという問題がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、プラ
ズマディスプレイの隔壁のように一定の凹凸状パターン
が形成された基材の複数の凹部に、複数の吐出孔を有す
るノズルから所定の塗液を塗布するに際し、各吐出孔か
ら均一に塗液を吐出して、各凹部に塗布される量を均一
にすることにあり、この均一な塗布を常に実現すること
によって、高生産性と高品質を可能とするノズル並び
に、凹凸基材への塗液の塗布装置および塗布方法並びに
プラズマディスプレイの製造装置および製造方法を提供
することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の凹凸基材への塗液の塗布装置は、表面に一
定ピッチで凹凸部が形成されている基材を固定するテー
ブルと、マニホールド部および基材の凹凸部と対面して
複数の吐出孔を有し、かつ、該吐出孔の開口方向の軸を
含む断面形状が、各々その開口軸に対して軸対称である
ノズルと、ノズルに塗液を供給する供給手段と、テーブ
ルとノズルを３次元的に相対移動させる移動手段とを備
えたことを特徴とするものである（第１の塗布装置）。

【００１０】また、上記装置において、前記ノズルがマ
ニホールド部を有する部材と、前記吐出孔を有する部材
とが接合された構成であってもよい（第２の塗布装
置）。

【００１１】また、上記装置において、前記ノズルの、
少なくとも前記吐出孔が開口している領域は平行度０．
１ｍｍ以下の板状体であることが好ましい（第３の塗布
装置）。

【００１２】また、上記装置において、前記吐出孔の直
径をｄとすると、吐出孔の開口軸を含む断面形状の出口
部縁の半径はｄ／２以下であり、かつ、前記出口部縁の
全周における半径のばらつきは±ｄ／２０以下であるこ
とが好ましい（第４の塗布装置）

【００１３】また、上記第１〜第４の塗布装置において
は、前記ノズルの吐出孔の内壁の表面粗さの最大高さＲ
ｍａｘが１μｍ以下であることが好ましい。

【００１４】さらに、本発明に係る凹凸基材への塗液の
塗布装置は、表面に一定ピッチで凹凸部が形成されてい
る基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面して
複数の吐出孔を有するノズルと、ノズルに塗液を供給す
る供給手段と、テーブルとノズルを３次元的に相対移動
させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置
において、前記ノズルの吐出孔の直径は５０〜５００μ
ｍであり、各孔の直径のばらつきが±５％以下であるこ
とを特徴とするものである（第５の塗布装置）。

【００１５】さらにまた、本発明に係る凹凸基材への塗
液の塗布装置は、表面に一定ピッチで凹凸部が形成され
ている基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面
して複数の吐出孔を有するノズルと、ノズルに塗液を供
給する供給手段と、テーブルとノズルを３次元的に相対
移動させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布
装置において、前記ノズルは、直径がｄで長さがＬの吐
出孔を有しており、該吐出孔の直径と長さの基準値をそ
れぞれｄ０、Ｌ０とすると、各吐出孔の直径ｄと長さＬ
は 0.7 （ｄ０⁴／Ｌ０）≦ｄ⁴／Ｌ≦1.3 （ｄ０⁴／Ｌ０）（１）を満たすことを特徴とするものである（第６の塗布装
置）。ここで、より好ましくは、前記各吐出孔の直径ｄ
と長さＬが 0.95（ｄ０⁴／Ｌ０）≦ｄ⁴／Ｌ≦1.05（ｄ０⁴／Ｌ０）（２）を満たすことが望ましい。

【００１６】また、上記のような本発明に係る凹凸基材
への塗液の塗布装置においては、前記ノズルの隣接する
吐出孔の直径と長さ、あるいは、両端に位置する吐出孔
の直径と長さをそれぞれ、ｄ１、Ｌ１、ｄ２、Ｌ２とす
ると、ｄ１、ｄ２、Ｌ１、Ｌ２が０．９≦（ｄ１／ｄ２）⁴（Ｌ２／Ｌ１）≦１．１（３）を満たすことが好ましい。

【００１７】上記第１の装置においては、吐出孔壁面の
開口軸方向の長さは、吐出孔の全周にわたり一定とな
り、塗液が吐出孔壁面から受ける管摩擦抵抗は塗液に均
等に働く。これにより、塗液の速度分布は軸対称とな
り、吐出した塗液が曲がったり、ぴくついたり、あるい
は旋回することはない。

【００１８】上記第２の装置においては、あらかじめマ
ニホールド部を加工したマニホールド部材と、吐出孔を
加工した吐出孔部材を接合するものである。吐出孔を加
工した後に、吐出孔部材の両面の表面粗度をむら無く均
一に仕上げることができるため、均一で安定した塗液の
吐出が可能となる。

【００１９】上記第３の装置においては、少なくとも吐
出孔が開口している領域は平行度０．１ｍｍ以下の板状
体とする。そのようにすることで、各々の吐出孔の長さ
が等しくなり、塗液が各々の吐出孔を通過するときの圧
力損失を合わせることができる。これにより、各々の吐
出量のばらつきは小さくなり、精度の高い安定した塗布
が可能となる。

【００２０】上記第４の装置においては、吐出孔の出口
部縁の形状とばらつきの規制により、塗液をさらに安定
して吐出することが可能となる。

【００２１】また、これら第１〜第４の装置において、
ノズルの吐出孔の内壁の表面粗さの最大高さＲｍａｘが
１μｍ以下とすれば、該吐出孔内壁の表面は十分な平滑
性を有するので、吐出孔中に塗液中の粒子等が凝集して
塊を形成することはなく、塗液は吐出孔中を円滑に流れ
る。

【００２２】上記第５の装置においては、ノズルの吐出
孔の直径のばらつきが±５％以下とされる。この直径の
ばらつきの規制により、均一な吐出量の精度の高い塗布
が可能となる。孔の直径のばらつきが±５％を越える
と、吐出量のばらつきが大きくなり、精度の高い塗布作
業が困難となる。

【００２３】またこのとき、孔径は、５０〜５００μｍ
の範囲から選択される。孔径が５０μｍ未満であると、
塗布液が短時間のうちに詰まるおそれがあり、長時間安
定して塗布作業ができない。５００μｍを越えると、常
圧の状態で液が滴下し、間欠的な塗布作業を維持できな
いおそれがある。

【００２４】上記第６の装置においては、ノズルの吐出
孔における圧力損失のばらつきが±３０％以下に抑えら
れる。つまり、ノズルの吐出孔の直径と長さの基準値を
それぞれｄ０、Ｌ０とすると、各吐出孔の直径ｄと長さ
Ｌは 0.7 （ｄ０⁴／Ｌ０）≦ｄ⁴／Ｌ≦1.3 （ｄ０⁴／Ｌ０）（１）を満たすように調整される。このような圧力損失のばら
つきの規制により、均一な吐出量の精度の高い塗布が可
能になる。

【００２５】ここで、より好ましくは、前記各吐出孔の
直径ｄと長さＬが 0.95（ｄ０⁴／Ｌ０）≦ｄ⁴／Ｌ≦1.05（ｄ０⁴／Ｌ０）（２）を満たすことであり、これによって、ノズルの吐出孔に
おける圧力損失のばらつきが±５％以下に抑えられ、一
層均一な吐出量の精度の高い塗布が可能になる。

【００２６】このような調整は、具体的には次のように
して行なう。ノズルは、板状体に吐出孔をあけたものや
パイプを複数ならべたもので構成されるので、吐出孔の
孔径を測定して許容値外のものがあるときには、１）板
状体に吐出孔を設けるものにおいては、吐出孔の孔径の
小さなものに対して、その孔が存在する部分だけを削っ
て厚さを小さくする。このときの小さくする厚さは、塗
液が吐出孔を通過するときの圧力損失を合わせることで
求められる。すなわち、基準となる孔径がｄ０、板厚が
Ｌ０ならば、孔径がｄ（＞ｄ０）の部分の厚さＬはＬ＝Ｌ０×（ｄ／ｄ０）⁴ で求められる。一度孔をあけた板の厚さを厚くすること
はできないから、必ず孔径の小さいものを対象にして、
その部分の厚みを薄くするのがポイントである。このよ
うにして、吐出孔の圧力損失のばらつきを±３０％以
下、好ましくは±５％以下に抑えることができ、均一な
吐出量をもって塗布することができる。２）吐出孔がパ
イプで形成される場合も、パイプの長さＬを上式で求め
られるものにし、そのようにして選んだものでノズルを
作るか、作った後にパイプの長さを削るようにする。

【００２７】実際の調整においては、厚さ／長さＬには
圧力損失のばらつきが±３０％以下（好ましくは±５
％）となるばらつきの許容範囲が必要となり、前述の式
（１）、さらには（２）式、 0.7 （ｄ０⁴／Ｌ０）≦ｄ⁴／Ｌ≦1.3 （ｄ０⁴／Ｌ０）（１） 0.95（ｄ０⁴／Ｌ０）≦ｄ⁴／Ｌ≦1.05（ｄ０⁴／Ｌ０）（２）を満たすようにする。ここで、基準値ｄ０、Ｌ０には、
複数個の孔の直径、長さの平均値等を採用してもよい。

【００２８】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布装置において、ノズルの隣接する吐出孔の直径と長
さ、あるいは、両端に位置する吐出孔の直径と長さにつ
いて前述の（３）式、０．９≦（ｄ１／ｄ２）⁴（Ｌ２／Ｌ１）≦１．１（３）を満たすようにすれば、隣接する吐出孔の圧力損失の
比、あるいは、両端に位置する吐出孔の圧力損失の比が
±１０％以下に抑えられる。この圧力損失の規制によ
り、むら（塗布むら、輝度むら）なく均一に塗布するこ
とが可能になる。

【００２９】隣接する吐出孔の圧力損失の比が大きい
と、そこでむらが発生する。両端に位置する吐出孔から
の塗布においても、同様の問題が発生する。すなわち、
塗布すべき部分がまだ残っている場合には、次の塗布す
べき開始位置までノズルをノズルの幅方向に塗布幅分
（ノズルピッチ×孔数）移動して、再び塗布作業を行
う。このとき、先の塗布作業においてノズルの最終孔で
塗布した凹部と、次の塗布作業でノズルの第１孔で塗布
する凹部が隣り合うため、ノズルの両端に位置する吐出
孔の圧力損失の比も規制することが好ましいのである。

【００３０】本発明に係るプラズマディスプレイの製造
装置は、塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの色に発光
する蛍光体粉末を含むペーストであって、上記第１から
第６のいずれかの塗布装置を用いてプラズマディスプレ
イを製造することを特徴とする装置からなる。上記第１
から第６のいずれかの塗布装置を用いることにより、吐
出量が均一で安定した塗布を行うことができ、優れた品
質のプラズマディスプレイを安定して製造することがで
きる。

【００３１】本発明に係る凹凸基材への塗液の塗布方法
は、表面に一定のピッチで凹凸部が形成されている基材
と、マニホールド部および基材の凹凸部と対面して複数
の吐出孔を有し、かつ、該吐出孔の開口方向の軸を含む
断面形状が、各々その開口軸に対して軸対称であるノズ
ルとを相対的に移動させ、かつ前記ノズルに塗液を供給
して吐出孔から塗液を吐出し、基材の凹部に所定厚さの
塗液を塗布することを特徴とする方法からなる（第１の
方法）。

【００３２】また、上記方法において、前記ノズルがマ
ニホールド部を有する部材と、前記吐出孔を有する部材
とが接合された構成であってもよい（第２の方法）。

【００３３】また、上記方法において、前記ノズルの、
少なくとも前記吐出孔が開口している領域は平行度０．
１ｍｍ以下の板状体であることが好ましい（第３の方
法）。

【００３４】また、上記方法において、前記吐出孔の直
径をｄとすると、吐出孔の開口軸を含む断面形状の出口
部縁の半径はｄ／２以下であり、かつ、前記出口部縁の
全周における半径のばらつきは±ｄ／２０以下であるこ
とが好ましい（第４の方法）。

【００３５】これらの方法においては、前記ノズルの吐
出孔の内壁面が、表面粗さの最大高さＲｍａｘが１μｍ
以下の平滑な面であることが好ましい。

【００３６】また、本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布方法は、表面に一定のピッチで凹凸部が形成されてい
る基材と、基材の凹凸部と対面して複数の吐出孔を有す
るノズルとを相対的に移動させ、かつ前記ノズルに塗液
を供給して吐出孔から塗液を吐出し、基材の凹部に所定
厚さの塗液を塗布する塗布方法であって、前記ノズル
に、その吐出孔の直径が５０〜５００μｍであり、各孔
の直径のばらつきが±５％以下であるものを用いて塗布
することを特徴とする方法からなる（第５の方法）。

【００３７】さらに、本発明に係る凹凸基材への塗液の
塗布方法は、表面に一定のピッチで凹凸部が形成されて
いる基材と、基材の凹凸部と対面して複数の吐出孔を有
するノズルとを相対的に移動させ、かつ前記ノズルに塗
液を供給して吐出孔から塗液を吐出し、基材の凹部に所
定厚さの塗液を塗布する塗布方法であって、ノズルに、
直径がｄで長さがＬの吐出孔を有しており、該孔の直径
と長さの基準値をそれぞれｄ０、Ｌ０とすると、各吐出
孔の直径ｄと長さＬが 0.7 （ｄ０⁴／Ｌ０）≦ｄ⁴／Ｌ≦1.3 （ｄ０⁴／Ｌ０）（１）を満たすものを用いて塗布することを特徴とする方法か
らなる（第６の方法）。このような圧力損失のばらつき
の規制により、均一な吐出量の精度の高い塗布が可能に
なる。

【００３８】ここで、より好ましくは、前記各吐出孔の
直径ｄと長さＬが 0.95（ｄ０⁴／Ｌ０）≦ｄ⁴／Ｌ≦1.05（ｄ０⁴／Ｌ０）（２）を満たすノズルを用いて塗布することであり、これによ
って、ノズルの吐出孔における圧力損失のばらつきが一
層小さく抑えられ、一層均一な吐出量の精度の高い塗布
が可能になる。

【００３９】さらに本発明に係る凹凸基材への塗液の塗
布方法においては、前記ノズルに、隣接する吐出孔の直
径と長さ、あるいは、両端に位置する吐出孔の直径と長
さをそれぞれ、ｄ１、Ｌ１、ｄ２、Ｌ２とすると、ｄ
１、ｄ２、Ｌ１、Ｌ２が０．９≦（ｄ１／ｄ２）⁴（Ｌ２／Ｌ１）≦１．１（３）を満たすものを用いて塗布することが好ましい。

【００４０】さらにまた、本発明に係るプラズマディス
プレイの製造方法は、塗液が赤色、緑色、青色のいずれ
かの色に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、
上記第１から第６のいずれかの塗布方法を用いてプラズ
マディスプレイを製造することを特徴とする方法からな
る。上記第１から第６のいずれかの塗布方法を用いるこ
とにより、吐出量が均一で安定した塗布を行うことがで
き、優れた品質のプラズマディスプレイを安定かつ高い
生産性で製造することができる。

【００４１】本発明のノズルは、塗液を貯蔵するマニホ
ールド部と、塗液を吐出するためにマニホールド部の内
側から外側に開口する複数の吐出孔を有し、かつ、前記
吐出孔の開口方向の軸を含む断面形状が、各々その開口
軸に対して軸対称であることを特徴とするものである
（第１のノズル）。

【００４２】上記において、ノズルは、マニホールド部
を有する部材と、吐出孔を有する部材が接合された構成
であってもよい（第２のノズル）。また、ノズルの、少
なくとも前記吐出孔が開口している領域は平行度０．１
ｍｍ以下の板状体であることが好ましい（第３のノズ
ル）。さらに、吐出孔の直径をｄとすると、吐出孔の開
口軸を含む断面形状の出口部縁の半径はｄ／２以下であ
り、かつ、前記出口部縁の全周における半径のばらつき
は±ｄ／２０以下であることが好ましい（第４のノズ
ル）。

【００４３】また、本発明に係るノズルにおいても、そ
の吐出孔の内壁面が、表面粗さの最大高さＲｍａｘが１
μｍ以下の平滑な面であることが好ましい。

【００４４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の望ましい実施の形
態を図面に基づいて説明する。図４において、ノズル８
１は、塗液を貯蔵するマニホールド部８２と、塗液を吐
出する複数の吐出孔８３を有する。吐出孔８３は、マニ
ホールド部８２の内側から外側に開口しており、吐出孔
８３の開口方向の軸８７を含む断面形状は、各々の吐出
孔８３において、その開口軸８７に対して軸対称であ
る。そのようにすることで、吐出孔壁面の長さは、吐出
孔の全周にわたり一定となり、塗液が吐出孔壁面からう
ける管摩擦抵抗は塗液に均等に働く。これにより、塗液
の速度分布は軸対称となり、吐出した塗液が曲がった
り、ぴくついたり、あるいは旋回することはない。

【００４５】図５は、本発明の他の実施態様に係るノズ
ルの概略縦断面図である。この態様のものは、あらかじ
めマニホールド部８２を加工したマニホールド部材８４
と、吐出孔８３を加工した吐出孔部材８５を接合して構
成したノズルである。吐出孔８３を加工した後に、吐出
孔部材８５の両面の表面粗度をむら無く均一に仕上げる
ことができる。これにより、均一で安定した塗液の吐出
が可能となる。吐出孔部材８５とマニホールド部材８４
の接合方法としては、接着剤、拡散接合、レーザー溶接
やボルト等による締結等がある。

【００４６】図６、図７は、本発明のさらに他の実施態
様に係るノズルの概略縦断面図である。この態様のもの
は、吐出孔８３を有する吐出孔部材８５の、少なくとも
吐出孔８３が開口している領域は板状体８６である。板
状体８６の平行度は０．１ｍｍ以下であるのが好まし
い。そのようにすることで、各々の吐出孔８３の長さが
等しくなり、塗液が各々の吐出孔８３を通過するときの
圧力損失を合わせることができる。これにより、各々の
吐出量のばらつきは小さくなり、精度の高い安定した塗
布が可能となる。

【００４７】図８に示すように、塗液をさらに安定して
吐出するために、吐出孔８３の直径をｄとすると、吐出
孔８３の開口軸を含む断面形状の出口部縁の半径はｄ／
２以下であり、かつ、出口部縁の全周における半径のば
らつきは±ｄ／２０以下であることが好ましい。

【００４８】吐出孔８３の形状としては、図９の円形、
図１０の長円形もしくは楕円形、図１１の角形、図１２
の双子円形、図１３の多角形、または、図１４の先細り
もしくは先太り等によるものがある。

【００４９】吐出孔８３の加工方法としては、ドリル加
工、ドリル加工＋リーマ通し、放電加工、フォトエッチ
ング、電鋳等の精密微細加工によるものがある。とくに
吐出孔の内壁面の表面粗さを小さく抑えることが好まし
く、内壁の表面粗さの最大高さＲｍａｘが１μｍ以下に
なるように仕上げることが好ましい。

【００５０】吐出孔部材８５およびマニホールド部材８
４の材質としては、ステンレス、ニッケル等の金属や、
セラミックス等の非金属によるものがある。

【００５１】吐出孔８３の孔径は、前述の如く５０〜５
００μｍの範囲に設定され、これら吐出孔８３の孔径が
実測されて、目標値（あるいは平均値）に対し、ばらつ
きが±５％を越える孔について、調整加工が施される。
−５％よりも下回る孔径を有する吐出孔については、孔
径を大きくすることにより容易に調整加工することが可
能であるが、＋５％を越えた孔径に対しては、孔径を小
さくする加工が困難であるので、孔径の基準値として、
実測されたものの最大値、あるいは比較的大きい値を採
用し、孔径を大きくすることによる調整加工が可能とな
るようにしてもよい。

【００５２】また、前述の（１）式による、各吐出孔８
３の圧力損失を±３０％以内（好ましくは前述の（２）
式による±５％以内）に揃える調整においては、たとえ
ば図１５に示すように、圧力損失のばらつきが±３０％
（好ましくは±５％）を越える孔が存在する部分の板厚
を調整する。たとえば、孔径の最大値を基準値にとり、
該基準値の孔径に対し、−３０％（好ましくは−５％）
よりも下回る孔径を有する吐出孔８３については、その
吐出孔８３が存在する部分の上あるいは下面を削り（削
り取り部８８）、その部分の板厚を薄くして吐出孔８３
の長さＬを小さくし、それによって圧力損失のばらつき
を±３０％以内（好ましくは±５％以内）に抑えること
ができる。

【００５３】図１６は、本発明のさらに他の実施態様に
係るノズルの概略縦断面図である。吐出孔に一定孔径と
長さのパイプ８９を接合したものである。これにより、
パイプ８９の先端を削り、パイプの長さ（吐出孔の長さ
Ｌ）を調整することにより、圧力損失のばらつきを抑え
ることができる。

【００５４】本発明においては、前述の如く、さらにノ
ズルが、隣接する吐出孔の直径と長さ、あるいは、両端
に位置する吐出孔の直径と長さをそれぞれ、ｄ１、Ｌ
１、ｄ２、Ｌ２とすると、ｄ１、ｄ２、Ｌ１、Ｌ２が０．９≦（ｄ１／ｄ２）⁴（Ｌ２／Ｌ１）≦１．１（３）を満たすものであることが好ましく、これによって塗布
むら、輝度むらをさらに小さく抑えることができる。

【００５５】次に図１は、本発明の一実施態様に係る塗
布装置の全体斜視図、図２は図１のテーブル６とノズル
２０回りの模式図、図３は図１のノズル２０を下側から
みた拡大平面図である。

【００５６】まず、塗液の塗布装置の全体構成について
説明する。図１は、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルの製造に適用される塗布装置の一例を示してい
る。この塗布装置は基台２を備えている。基台２上に
は、一対のガイド溝レール８が設けられており、このガ
イド溝レール８上にはテーブル６が配置されている。こ
のテーブル６の上面には、表面に凹凸が一定ピッチで一
方向にストライプ状に形成された基材４が、真空吸引に
よってテーブル面に固定可能となるように、サクション
面を構成する複数の吸着孔７が設けられている。また、
基材４は図示しないリフトピンによってテーブル６上を
昇降する。さらにテーブル６はスライド脚９を介してガ
イド溝レール８上をＸ軸方向に往復動自在となってい
る。

【００５７】一対のガイド溝レール８間には、図２に示
す送りねじ機構を構成するフィードスクリュー１０が、
テーブル６の下面に固定されたナット状のコネクタ１１
を貫通して延びている。フィードスクリュー１０の両端
部は軸受１２に回転自在に支持され、さらに片方の一端
にはＡＣサーボモータ１６が連結されている。

【００５８】図１に示すように、テーブル６の上方に
は、塗液吐出装置であるノズル２０がホルダー２２を介
して昇降機構３０、幅方向移動機構３６に連結してい
る。昇降機構３０は昇降可能な昇降ブラケット２８を備
えており、昇降機構３０のケーシング内部で一対のガイ
ドロッドに昇降自在に取り付けられている。また、この
ケーシング内にはガイドロッド間に位置してボールねじ
からなるフィードスクリュー（図示しない）もまた回転
自在に配置されており、ナット型のコネクタを介して昇
降ブラケット２８と連結されている。さらにフィードス
クリューの上端には図示しないＡＣサーボモータが接続
されており、このＡＣサーボモータの回転によって昇降
ブラケット２８を任意に昇降動作させることができるよ
うになっている。

【００５９】さらに、昇降機構３０はＹ軸移動ブラケッ
ト３２（アクチュエータ）を介して幅方向移動機構３６
に接続されている。幅方向移動機構３６はＹ軸移動ブラ
ケット３２をノズル２０の幅方向、すなわちＹ軸方向に
往復自在に移動させるものである。動作のために必要な
ガイドロッド、フィードスクリュー、ナット型コネクタ
ー、ＡＣサーボモータ等は、ケーシング内に昇降機構３
０と同じように配置されている。幅方向移動機構３６は
支柱３４により基台２上に固定されている。

【００６０】これらの構成によって、ノズル２０はＺ軸
とＹ軸方向に自在に移動させることができる。

【００６１】ノズル２０は、テーブル６の往復動方向と
直交する方向、つまりＹ軸方向に水平に延びているが、
これを直接保持するコの字形のホルダー２２は昇降ブラ
ケット２８内にて回転自在に支持されており、垂直面内
で自在に図中の矢印方向に回転することができる。

【００６２】このホルダ２２の上方には水平バー２４も
昇降ブラケット２８に固定されている。この水平バー２
４の両端部には、電磁作動型のリニアアクチュエータ２
６が取り付けられている。このリニアアクチュエータ２
６は水平バー２４の下面から突出する伸縮ロッドを有し
ており、これら伸縮ロッドがホルダ２２の両端部に接触
することによってホルダ２２の回転角度を規制すること
ができ、結果としてノズル２０の傾き度を任意に設定す
ることができる。

【００６３】さらに図１を参照すると、基台２の上面に
は逆Ｌ字形のセンサ支柱３８が固定されており、その先
端にはテーブル６上の基材４の凸部頂上の位置（高さ）
を測定する高さセンサ４０が取り付けられている。ま
た、高さセンサ４０の隣には、基材４の隔壁間の凹部の
位置を検知するカメラ７２が支柱７０に取り付けられて
いる。図２に示すように、カメラ７２は画像処理装置７
４に電気的に接続されており、隔壁間の凹部位置の変化
を定量的に求めることができる。

【００６４】さらに、テーブル６の一端には、センサー
ブラケット６４を介して、ノズル２０の開口部のある下
端面（開口部面）のテーブル６に対する垂直方向の位置
を検出するセンサー６６が取り付けられている。

【００６５】図２に示すように、ノズル２０はそのマニ
ホールド４１内に塗液４２が充填されており、開口部で
ある吐出孔４４が開口部先端面４５上で長手方向に一直
線状にならんでいる（図３参照）。そしてこの吐出孔４
４より塗液４２が吐出される。ノズル４０には供給ホー
ス４６が接続されており、さらに吐出用電磁切換え弁４
８、供給ユニット５０、吸引ホース５２、吸引用電磁切
換え弁５４、塗液タンク５６へと連なっている。塗液タ
ンク５６には塗液４２が蓄えられている。塗液４２は、
赤色、緑色、青色のいずれかの色に発光する蛍光体粉末
を含むペーストからなる。

【００６６】供給ユニット５０の具体例としては、ピス
トン、ダイヤフラム型等の定容量ポンプ、チュービング
ポンプ、ギアポンプ、モーノポンプ、さらには液体を気
体の圧力で押し出す圧送コントローラ等がある。供給装
置コントローラ５８からの制御信号をうけて、供給ユニ
ット５０や、各々の電磁切換え弁の動作を行なわせ、塗
液タンク５６から塗液４２を吸引して、ノズル２０に塗
液４２を供給することができる。塗液タンク５６から定
容量ポンプへの塗液４２の吸引動作を安定化させるため
に、塗液タンク５６を密閉容器にして、空気、不活性ガ
スである窒素等の気体で圧力を付加してもよい。空気、
窒素等で常に一定の圧力を付加するには、塗液タンク５
６を空気、窒素等の供給装置に接続して圧力制御すれば
よい。圧力の大きさは０．０１〜１ＭＰａ、特に０．０
２〜０．５ＭＰａが好ましい。

【００６７】供給装置コントローラ５８はさらに、全体
コントローラ６０に電気的に接続されている。この全体
コントローラ６０には、モータコントローラ６２、高さ
センサー４０の電気入力等、カメラ７２の画像処理装置
７４からの情報等、すべての制御情報が電気的に接続さ
れており、全体のシーケンス制御を司れるようになって
いる。全体コントローラ６０は、コンピュータでも、シ
ーケンサでも、制御機能を持つものならばどのようなも
のでもよい。

【００６８】またモータコントローラ６２には、テーブ
ル６を駆動するＡＣサーボモータ１６や、昇降機構３０
と幅方向移動機構３６のそれぞれのアクチュエータ７
６、７８（たとえば、ＡＣサーボモータ）、さらにはテ
ーブル６の移動位置を検出する位置センサ６８からの信
号、ノズル２０の作動位置を検出するＹ、Ｚ軸の各々の
リニアセンサ（図示しない）からの信号などが入力され
る。なお、位置センサ６８を使用する代わりに、ＡＣサ
ーボモータ１６にエンコーダを組み込み、このエンコー
ダから出力されるパルス信号に基づき、テーブル６の位
置を検出することも可能である。

【００６９】次にこの塗布装置を使った塗布方法につい
て説明する。まず塗布装置における各作動部の原点復帰
が行われるとテーブル６、ノズル２０は各々Ｘ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸の準備位置に移動する。この時、塗液タンク５
６〜ノズル２０まで塗液はすでに充満されており、吐出
用電磁切換え弁４８は開、吸引用電磁切換え弁５４は閉
の状態にする。そして、テーブル６の表面には図示しな
いリフトピンが上昇し、図示しないローダから隔壁が一
定ピッチのストライプ状に形成されている基材４がリフ
トピン上部に載置される。

【００７０】次にリフトピンを下降させて基材４をテー
ブル６の上面に載置し、図示しないアライメント装置に
よってテーブル６上の位置決めが行われた後に基材２を
吸着する。

【００７１】次にテーブル６はカメラ７２と、高さセン
サー４０の真下に基材４の隔壁（凸部頂上）がくるまで
移動し、停止する。カメラ７２はテーブル６上に位置決
めされた基材４上の隔壁端部を写し出すようにあらかじ
め位置調整されており、画像処理によって一番端の凹部
の位置を検出し、カメラ基準点からの位置変化量ｌａを
求める。一方、カメラ７２の基準点と、所定のＹ軸座標
位置Ｙａにある時のホルダ２２に固定されたノズル２０
の最端部に位置する吐出孔４４間の長さｌｂは、事前の
調整時に測定し、情報として全体コントローラ６０に入
力しているので、画像処理装置７４からカメラ基準点か
らの隔壁凹部の位置変化量ｌａが電送されると、ノズル
２０の最端部に位置する吐出孔４４が隔壁端部の凹部の
真上となるＹ軸座標値Ｙｃを計算し（例えば、Ｙｃ＝Ｙ
ａ＋ｌｂ−ｌａ）、ノズル２０をその位置に移動させ
る。なお、カメラ７２は、ノズル２０やホルダ２２に取
り付けても同じ機能を持たせることができる。

【００７２】この間に高さセンサ４０は基材４の隔壁頂
上部の垂直方向の位置を検知し、テーブル６上面との位
置の差から基材４の隔壁頂上部の高さを算出する。この
高さに、あらかじめ与えておいたノズル２０開口部〜基
材４の隔壁頂上部間の間隙値を加算して、ノズル２０の
Ｚ軸リニアセンサー上での下降すべき値を演算し、その
位置にノズルを移動する。これによって、テーブル６上
での隔壁頂上部位置が基材ごとに変化しても、塗布に重
要なノズル２０開口部〜基材上の隔壁頂上部間の間隙を
常に一定に保てるようになる。

【００７３】次にテーブル６をノズル２０の方へ向けて
動作を開始させ、ノズル２０の開口部の真下に基材４の
塗布開始位置が到達する前に所定の塗布速度まで増速さ
せておく。テーブル６の動作開始位置と塗布開始位置ま
での距離は塗布速度まで増速できるよう十分確保できて
いなければならない。

【００７４】さらに基材４の塗布開始位置がノズル２０
の開口部の真下に至るまでの所に、テーブル６の位置を
検知する位置センサー６８を配置しておき、テーブル６
がこの位置に達したら、供給ユニット５０の動作を開始
して塗液４２のノズル２０への供給を開始する。ノズル
２０開口部より吐出される塗液４２が基材４に達するに
は、基材〜ノズル開口部間の間隙だけ時間遅れが生じ
る。そのため、事前に塗液４２をノズル２０に供給する
ことによって、基材４の塗布開始位置がノズル２０開口
部の丁度真下に来たところでノズル２０から吐出された
所定量の塗液４２が基板４に到達するので、ほとんど厚
みむらゼロの状態で塗布を開始することができる。塗液
４２の供給を開始する位置は位置センサー６８の設置場
所を変えて調整することができる。この位置センサー６
８の代わりに、モータあるいはフィードスクリューにエ
ンコーダを接続したり、テーブルにリニアセンサーを付
けたりすると、エンコーダやリニアセンサーの値で検知
しても同様なことが可能となる。

【００７５】塗布は、基材４の塗布終了位置がノズル２
０の開口部の真下付近に来るまで行われる。すなわち、
基材４はいつもテーブル６上の定められた位置に置かれ
ているから、基材４の塗布終了位置がノズル２０の開口
部の（ａ）たとえば真下にくる５ｍｍ前や、（ｂ）丁度
真下になる位置に相当するテーブル６の位置に、位置セ
ンサーやそのエンコーダ値をあらかじめ設定しておき、
テーブル６が（ａ）に対応する位置にきたら、全体コン
トローラ６０から供給装置コントローラ５８に停止指令
を出して塗液４２のノズル２０への供給を停止して、
（ｂ）の位置までスキージ塗工し、次いでテーブル６が
（ｂ）に対応する位置にきたら、ノズル２０を上昇させ
て完全に塗液４２をたちきる。塗液４２が比較的高粘度
の液体である場合には、単に塗液の供給を停止しただけ
では、残圧によるノズル２０開口部からの塗液吐出まで
も瞬時に停止することは難しい。そのために、塗液の供
給を停止するとと同時にノズル２０内のマニホールド４
１圧力を大気圧にすると、短時間で開口部からの塗液の
吐出停止が可能となるので、供給ユニットにこのような
機能をもたせるか、あるいは、供給ユニットの吐出電磁
切換え弁４８〜ノズル２０の間に大気開放バルブを設け
るのが望ましい。

【００７６】さて、塗布終了位置を通過しても、テーブ
ル６は動作を続け、終点位置にきたら停止する。このと
き塗布すべき部分がまだ残っている場合には、次の塗布
すべき開始位置までノズルをＹ軸方向に塗布幅分（ノズ
ルピッチ×穴数）移動して、以下テーブル６を反対方向
に移動させることを除いては同じ手順で塗布を行う。１
回目と同一のテーブル６の移動方向で塗布を行なうのな
ら、ノズル２０は次の塗布すべき開始位置までＹ軸方向
に移動、テーブル６はＸ軸準備位置まで復帰させる。

【００７７】そして塗布工程が完了したら、基材４をア
ンローダで移載する場所までテーブル６を移動して停止
させ、基材４の吸着を解除するとともに大気開放した後
に、リフトピンを上昇させて基材４をテーブル６の面か
ら引き離し、持ち上げる。

【００７８】このとき図示されないアンローダによって
基材４の下面が保持され、次の工程に基材４を搬送す
る。基材４をアンローダに受け渡したら、テーブル６は
リフトピンを下降させ原点位置に復帰する。

【００７９】このとき、吐出用電磁切換え弁４８を閉、
吸引用電磁切換え弁５４を開状態にして供給ユニット５
０を動作させ、塗液タンク５６から１枚の基材の塗布に
必要な量だけ塗液を供給する。

【００８０】なお、前述の塗液塗布装置の全体構成にお
いて、高さセンサー４０としては、レーザ、超音波等を
利用した非接触測定形式のもの、ダイヤルゲージ、差動
トランス等を利用した接触測定形式のもの等、測定可能
な原理のものならいかなるものを用いてもよい。

【００８１】また、塗液吐出装置の開口部の凹部に対す
る相対位置を検知する検知手段は、基材の凹部とノズル
の孔を各々別個に検知するカメラを用いた画像処理装置
により構成してもよい。

【００８２】さらにまた、前記実施態様では基材はＸ軸
方向に移動し、ノズルがＹ軸、Ｚ軸方向に移動する場合
での適用例について記述したが、ノズル２０と基材４が
相対的に３次元的に移動できる構造、形式のものである
のなら、テーブル、ノズルの移動方向はいかなる組み合
わせのものでもよい。

【００８３】たとえば、前述の実施態様では、塗布はテ
ーブルの移動、凹凸のピッチ方向への移動は、ノズルの
移動によって行う例を示したが、塗布をノズルの移動、
凹凸のピッチ方向への移動をテーブルの移動で行っても
よい。

【００８４】さらに、本発明における基材としては、ガ
ラス板の他、鉄板、アルミ板等、枚葉状のものならどの
ようなものでもよい。また、一種類の塗液を塗布する場
合について詳しく言及したが、赤、青、緑等の３色の蛍
光体を同時に塗布する場合にも本発明は適用できる。

【００８５】

【実施例】実施例１厚さ０．５ｍｍの板にφ１００μｍの貫通孔を０．５ｍ
ｍピッチで５０ヶ加工して設けた。マニホールド部にレ
ーザ溶接する前に、孔径を全部測定したところ、φ９４
〜１１０μｍの範囲でばらついていた。

【００８６】孔径の最大値を基準値ｄ₀（＝１１０μ
ｍ）、板厚を長さの基準値Ｌ₀（＝０．５ｍｍ）にとっ
た。前述の式（１）にしたがって各孔ごとにＬを計算
し、板厚より小さくする必要がある箇所については、図
１５に示したようにマニホールド側になる方を板面を５
ｍｍの幅にわたって削り、所定のＬになるように調整し
た。

【００８７】加工した板をマニホールド部にレーザ溶接
してノズルを作成し、実際に５ポイズの塗液を吐出して
吐出量分布を測定した。これによって、吐出量のばらつ
きを４７％から±５％以下に低減することができた。

【００８８】実施例２内径がφ１６０μｍ、長さが１０ｍｍの多数のパイプを
１ｍｍピッチで３０個マニホールド部に固定する図１６
のタイプのノズルで、パイプをマニホールド部に固定す
る前に、直径ｄと、長さＬを実測した。

【００８９】基準値は直径ｄ₀＝φ１５０μｍ、長さＬ
₀＝５ｍｍにとり、式（１）を満たすものだけを選んで
マニホールド部に組み込み固定してノズルを構成した。

【００９０】その結果、パイプを選択しないものの吐出
量ばらつきが±１５％あったものが、上記のように選択
して組み込んだために吐出量ばらつきを±５％以下にす
ることができた。

【００９１】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明のノズル並
びに凹凸基材への塗液の塗布装置および方法によれば、
複数の吐出孔から吐出される塗液の各吐出孔間の吐出量
ばらつきを小さくすることができ、品質を向上するとと
もに、長時間にわたって安定で均一な塗布が可能とな
る。

【００９２】本発明のプラズマディスプレイの製造装置
および方法によれば、上記凹凸基材への塗液の塗布装置
および方法を使用しているので、品質の高いプラズマデ
ィスプレイパネルを、高い生産性で製造することが可能
となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様に係る塗液の塗布装置の全
体斜視図である。

【図２】図１の装置のテーブルとノズル周りの構成を示
す模式図である。

【図３】図１の装置におけるノズルを下側からみた拡大
平面図である。

【図４】本発明の一実施態様に係るノズルの縦断面図で
ある。

【図５】本発明の他の実施態様に係るノズルの概略縦断
面図である。

【図６】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの概
略縦断面図である。

【図７】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの概
略縦断面図である。

【図８】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの要
部の概略縦断面図である。

【図９】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの要
部の概略縦断面図である。

【図１０】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの
要部の概略縦断面図である。

【図１１】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの
要部の概略縦断面図である。

【図１２】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの
要部の概略縦断面図である。

【図１３】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの
要部の概略縦断面図である。

【図１４】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの
要部の概略縦断面図である。

【図１５】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの
要部の概略縦断面図である。

【図１６】本発明のさらに他の実施態様に係るノズルの
概略縦断面図である。

【符号の説明】

２基台４基材６テーブル８ガイド溝レール１０フィードスクリュー１６ＡＣサーボモータ２０ノズル２６リニアアクチュエータ３０昇降機構３６幅方向移動機構４０高さセンサー４２塗液４４吐出孔４５吐出孔面５０供給ユニット５６塗液タンク５８供給装置コントローラ６０全体コントローラ６６センサー７２カメラ８１ノズル８２マニホールド部８３吐出孔８４マニホールド部材８５吐出孔部材８６板状体８７開口軸８８削り取り部８９パイプ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面に一定ピッチで凹凸部が形成されてい
る基材を固定するテーブルと、マニホールド部および基
材の凹凸部と対面して複数の吐出孔を有し、かつ、該吐
出孔の開口方向の軸を含む断面形状が、各々その開口軸
に対して軸対称であるノズルと、ノズルに塗液を供給す
る供給手段と、テーブルとノズルを３次元的に相対移動
させる移動手段とを備えたことを特徴とする凹凸基材へ
の塗液の塗布装置。
【請求項２】前記ノズルがマニホールド部を有する部材
と、前記吐出孔を有する部材とが接合された構成である
ことを特徴とする請求項１に記載の凹凸基材への塗液の
塗布装置。
【請求項３】前記ノズルの、少なくとも前記吐出孔が開
口している領域は平行度０．１ｍｍ以下の板状体である
ことを特徴とする請求項１または２に記載の凹凸基材へ
の塗液の塗布装置。
【請求項４】前記吐出孔の直径をｄとすると、吐出孔の
開口軸を含む断面形状の出口部縁の半径はｄ／２以下で
あり、かつ、前記出口部縁の全周における半径のばらつ
きは±ｄ／２０以下であることを特徴とする請求項１な
いし３のいずれかに記載の凹凸基材への塗液の塗布装
置。
【請求項５】前記ノズルの吐出孔の内壁の表面粗さの最
大高さＲｍａｘが１μｍ以下であることを特徴とする請
求項１ないし４のいずれかに記載の凹凸基材への塗液の
塗布装置。
【請求項６】表面に一定ピッチで凹凸部が形成されてい
る基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面して
複数の吐出孔を有するノズルと、ノズルに塗液を供給す
る供給手段と、テーブルとノズルを３次元的に相対移動
させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置
において、前記ノズルの吐出孔の直径は５０〜５００μ
ｍであり、各孔の直径のばらつきが±５％以下であるこ
とを特徴とする、凹凸基材への塗液の塗布装置。
【請求項７】表面に一定ピッチで凹凸部が形成されてい
る基材を固定するテーブルと、基材の凹凸部と対面して
複数の吐出孔を有するノズルと、ノズルに塗液を供給す
る供給手段と、テーブルとノズルを３次元的に相対移動
させる移動手段とを備えた凹凸基材への塗液の塗布装置
において、前記ノズルは、直径がｄで長さがＬの吐出孔
を有しており、該吐出孔の直径と長さの基準値をそれぞ
れｄ０、Ｌ０とすると、各吐出孔の直径ｄと長さＬは 0.7 （ｄ０⁴／Ｌ０）≦ｄ⁴／Ｌ≦1.3 （ｄ０⁴／Ｌ０）を満たすことを特徴とする、凹凸基材への塗液の塗布装
置。
【請求項８】前記各吐出孔の直径ｄと長さＬが 0.95（ｄ０⁴／Ｌ０）≦ｄ⁴／Ｌ≦1.05（ｄ０⁴／Ｌ０）を満たすことを特徴とする、請求項７に記載の凹凸基材
への塗液の塗布装置。
【請求項９】前記ノズルの隣接する吐出孔の直径と長
さ、あるいは、両端に位置する吐出孔の直径と長さをそ
れぞれ、ｄ１、Ｌ１、ｄ２、Ｌ２とすると、ｄ１、ｄ
２、Ｌ１、Ｌ２が０．９≦（ｄ１／ｄ２）⁴（Ｌ２／Ｌ１）≦１．１を満たすことを特徴とする、請求項７に記載の凹凸基材
への塗液の塗布装置。
【請求項１０】塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの色
に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、請求項
１ないし９のいずれかに記載の塗液の塗布装置を用いた
ことを特徴とするプラズマディスプレイの製造装置。
【請求項１１】表面に一定のピッチで凹凸部が形成され
ている基材と、マニホールド部および基材の凹凸部と対
面して複数の吐出孔を有し、かつ、該吐出孔の開口方向
の軸を含む断面形状が、各々その開口軸に対して軸対称
であるノズルとを相対的に移動させ、かつ前記ノズルに
塗液を供給して吐出孔から塗液を吐出し、基材の凹部に
所定厚さの塗液を塗布することを特徴とする、凹凸基材
への塗液の塗布方法。
【請求項１２】前記ノズルがマニホールド部を有する部
材と、前記吐出孔を有する部材とが接合された構成であ
ることを特徴とする請求項１１に記載の凹凸基材への塗
液の塗布方法。
【請求項１３】前記ノズルの、少なくとも前記吐出孔が
開口している領域は平行度０．１ｍｍ以下の板状体であ
ることを特徴とする請求項１１または１２に記載の凹凸
基材への塗液の塗布方法。
【請求項１４】前記吐出孔の直径をｄとすると、吐出孔
の開口軸を含む断面形状の出口部縁の半径はｄ／２以下
であり、かつ、前記出口部縁の全周における半径のばら
つきは±ｄ／２０以下であることを特徴とする請求項１
１ないし１３のいずれかに記載の凹凸基材への塗液の塗
布方法。
【請求項１５】前記ノズルの吐出孔の内壁の表面粗さの
最大高さＲｍａｘが１μｍ以下であることを特徴とす
る、請求項１１ないし１４のいずれかに記載の凹凸基材
への塗液の塗布方法。
【請求項１６】表面に一定のピッチで凹凸部が形成され
ている基材と、基材の凹凸部と対面して複数の吐出孔を
有するノズルとを相対的に移動させ、かつ前記ノズルに
塗液を供給して吐出孔から塗液を吐出し、基材の凹部に
所定厚さの塗液を塗布する塗布方法であって、前記ノズ
ルに、その吐出孔の直径が５０〜５００μｍであり、各
孔の直径のばらつきが±５％以下であるものを用いて塗
布することを特徴とする、凹凸基材への塗液の塗布方
法。
【請求項１７】表面に一定のピッチで凹凸部が形成され
ている基材と、基材の凹凸部と対面して複数の吐出孔を
有する前記ノズルとを相対的に移動させ、かつ前記ノズ
ルに塗液を供給して吐出孔から塗液を吐出し、基材の凹
部に所定厚さの塗液を塗布する塗布方法であって、ノズ
ルに、直径がｄで長さがＬの吐出孔を有しており、該吐
出孔の直径と長さの基準値をそれぞれｄ０、Ｌ０とする
と、各吐出孔の直径ｄと長さＬが 0.7 （ｄ０⁴／Ｌ０）≦ｄ⁴／Ｌ≦1.3 （ｄ０⁴／Ｌ０）を満たすものを用いて塗布することを特徴とする、凹凸
基材への塗液の塗布方法。
【請求項１８】前記各吐出孔の直径ｄと長さＬが 0.95（ｄ０⁴／Ｌ０）≦ｄ⁴／Ｌ≦1.05（ｄ０⁴／Ｌ０）を満たすノズルを用いて塗布することを特徴とする、請
求項１７に記載の凹凸基材への塗液の塗布方法。
【請求項１９】前記ノズルに、隣接する吐出孔の直径と
長さ、あるいは、両端に位置する吐出孔の直径と長さを
それぞれ、ｄ１、Ｌ１、ｄ２、Ｌ２とすると、ｄ１、ｄ
２、Ｌ１、Ｌ２が０．９≦（ｄ１／ｄ２）⁴（Ｌ２／Ｌ１）≦１．１を満たすものを用いて塗布することを特徴とする、請求
項１７に記載の凹凸基材への塗液の塗布方法。
【請求項２０】塗液が赤色、緑色、青色のいずれかの色
に発光する蛍光体粉末を含むペーストであって、請求項
１１ないし１９のいずれかに記載の塗布方法を用いるこ
とを特徴とする、プラズマディスプレイの製造方法。
【請求項２１】マニホールド部と、該マニホールド部の
内側から外側に開口する複数の吐出孔を有し、かつ、前
記吐出孔の開口方向の軸を含む断面形状が、各々その開
口軸に対して軸対称であることを特徴とするノズル。
【請求項２２】前記ノズルがマニホールド部を有する部
材と、前記吐出孔を有する部材とが接合された構成であ
ることを特徴とする請求項２１に記載のノズル。
【請求項２３】前記ノズルの、少なくとも前記吐出孔が
開口している領域は平行度０．１ｍｍ以下の板状体であ
ることを特徴とする請求項２１または２２に記載のノズ
ル。
【請求項２４】前記吐出孔の直径をｄとすると、吐出孔
の開口軸を含む断面形状の出口部縁の半径はｄ／２以下
であり、かつ、前記出口部縁の全周における半径のばら
つきは±ｄ／２０以下であることを特徴とする請求項２
１ないし２３のいずれかに記載のノズル。
【請求項２５】吐出孔の内壁の表面粗さの最大高さＲｍ
ａｘが１μｍ以下であることを特徴とする、請求項２１
ないし２４のいずれかに記載のノズル。