KR101583747B1 - 액 공급 유닛 - Google Patents

Abstract

본 발명은 토출구의 간격을 미세하게 조절할 수 있는 액 공급 유닛에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 액 공급 유닛은, 제1바디와; 상기 제1바디와의 사이에 제1방향을 따라 토출구가 형성되도록 상기 제1바디와 결합되는 제2바디와; 상기 토출구의 간격을 조절하는 간격 조절 부재를 포함하되, 상기 제1바디의 외측벽에는 상기 제1방향을 따라 상기 외측벽에서 상기 토출구를 향해 하향 경사진 틈이 제공되고, 상기 간격 조절 부재는 상기 외측벽에서 상기 틈을 향해 상향 경사진 개구부를 통해 삽입되며, 상기 제1방향을 따라 복수개 제공되는 갭 조절 볼트를 가진다.
본 발명의 실시예에 따른 액 공급 유닛에 의하면 갭 조절 볼트가 위치하는 부위와 아닌 부위의 갭 변형량의 차이가 작아 균일하게 처리액의 토출의 가능하여 미세 공정에서 기판 처리의 품질 향상을 기대할 수 있는 효과가 있다.

Description

액 공급 유닛{UNIT FOR PROVIDING LIQUID}

본 발명은 액을 공급하기 위한 유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 토출구의 간격을 미세하게 조절할 수 있는 액 공급 유닛에 관한 것이다.

일반적으로 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 유기 EL 등과 같은 평판 디스플레이 패널(이하; 기판)의 제조 공정은 실리콘 반도체 제조공정과 유사하여 기판상에 증착된 박막을 패터닝하기 위해 포토 리소그라피에 따른 일련의 공정, PR(photo resistor)도포, 노광, 현상, 식각(etching), 세정(cleaning)과 같은 단위공정이 필연적으로 이루어진다.

이와 같은 기판을 제조하기 위해 수행되는 단위 공정들 중 도포 또는 현상 공정은 기판 상부에 위치된 슬릿 노즐이 기판의 일단에서 타단까지 일정 속도로 이동되면서 기판 상에 포토레지스트 또는 처리액을 토출하면서 이루어진다. 이 때 포토레지스트가 기판 상에 설정된 두께로 균일하게 도포 혹은 스프레이 되기 위해서는, 슬릿 노즐이 기판 표면으로부터 설정된 거리만큼 정확하게 이격되도록 배치되는 것과, 포토레지스트가 토출되는 토출구의 갭(gap)이 일정해야 하는 것이 매우 중요하다.

도 1에 도시된 바와 같이, 기존의 슬릿 노즐(1)은 포토레지스트가 분사되는 토출구(2)의 갭을 조정하기 위한 갭 조정장치가 설치되어 있다. 기존의 슬릿 노즐(1)에 설치된 갭 조정장치는 갭 축소를 위한 나사(3)와, 갭 확대를 위한 나사(4)가 각각 개별적으로 구비되어 있다. 따라서, 2개의 나사(3,4)를 설치하기 위한 공간이 필요하고, 특히 갭 축소 또는 확대시 각각의 나사를 모두 회전 조정해야 하므로 갭 조정 작업의 불편함이 있을 뿐만 아니라, 특히 갭 축소 또는 확대 조정 간격은 나사에 형성된 피치에 종속되므로 미세 조정에 어려움이 있다.

본 발명은 처리액이 분사되는 토출구의 갭을 미세하게 조정할 수 있는 액 공급 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 갭 조절 볼트가 위치하는 부위와 아닌 부위의 갭 변형량의 차이가 작아 균일하게 처리액의 토출의 가능하여 미세 공정에서 기판 처리의 품질 향상을 기대할 수 있는 액 공급 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 액 공급 유닛을 제공한다. 본 발명의 실시예에 따른 액 공급 유닛은, 제1바디와; 상기 제1바디와의 사이에 제1방향을 따라 토출구가 형성되도록 상기 제1바디와 결합되는 제2바디와; 상기 토출구의 간격을 조절하는 간격 조절 부재를 포함하되, 상기 제1바디의 외측벽에는 상기 제1방향을 따라 상기 외측벽에서 상기 토출구를 향해 하향 경사진 틈이 제공되고, 상기 간격 조절 부재는 상기 외측벽에서 상기 틈을 향해 상향 경사진 개구부를 통해 삽입되며, 상기 제1방향을 따라 복수개 제공되는 갭 조절 볼트를 가진다.

일 예에 의하면, 상기 틈과 상기 개구부는 서로 수직하게 형성된다.

일 예에 의하면, 상기 갭 조절 볼트는, 상기 개구부에 나사 체결되는 제1피치의 외경나사부와 상기 제1피치보다 작은 제2피치를 갖는 내경나사부를 갖는 조정너트와; 상기 조정너트의 내경나사부를 통해 상기 제1바디에 나사 체결되어 고정되는 고정스크류를 포함한다.

일 예에 의하면, 상기 개구부에는 상기 조정너트가 나사 결합되는 제1나사홈과, 상기 제1나사홈으로부터 연장되어 형성되고 상기 고정스크류가 나사 결합되어 고정되는 제2나사홈이 형성된다.

본 발명의 실시예에 따른 액 공급 유닛은 토출구의 갭 조정을 위해 하나의 나사만을 사용함으로써 갭 조정이 용이하면서도 토출구의 갭을 미세하게 조정할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 액 공급 유닛은 갭 조절 볼트가 위치하는 부위와 아닌 부위의 갭 변형량의 차이가 작아 균일하게 처리액의 토출의 가능하여 미세 공정에서 기판 처리의 품질 향상을 기대할 수 있는 장점이 있다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 전술한 발명의 내용과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 일반적인 슬릿 노즐에 적용된 갭 조정장치를 보여주는 슬릿 노즐의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 액 공급 유닛을 갖는 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 액 공급 유닛을 보여주는 도면이다.
도 4는 도 3에서 갭 조절 볼트가 결합된 상태의 도면이다.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 각 도면은 명확한 설명을 위해 일부가 간략하거나 과장되게 표현되었다. 각 도면의 구성 요소들에 참조 번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 도시되었음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 액 공급 유닛을 갖는 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 도시한 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 액 공급 유닛을 보여주는 도면이고, 도 4는 도 3에서 갭 조절 볼트가 결합된 상태의 도면이다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 액 공급 유닛(10)은 기판(S)의 폭에 알맞도록 넓은 폭을 갖는 몸체(100)를 포함한다. 몸체(100)는 제1바디(100a)와 제2바디(100b)를 갖는다. 몸체(100)는 처리액 공급원(미도시됨)과 연결된 배관(20)을 통해 처리액을 제공받기 위한 공급구(124)들을 갖추고 있다. 공급구(124)는 몸체(100)의 폭 방향을 따라 다수개 형성되어 있으며, 도시하지 않은 공급원과 연결되어 처리액을 도입하도록 구성된다.

한편, 몸체(100)의 내부에는 공급구(124)를 통해 공급된 처리액을 몸체(100)의 폭 방향을 따라 확산 및 머무르는 버퍼부(126)가 형성된다. 버퍼부(126)는 반원형의 단면을 가지며, 몸체(100)의 폭 방향을 따라 양 옆으로 길게 형성될 수 있다. 몸체(100)에는 버퍼부(126)로부터 하부로 뻗어 있는 토출구(101)를 구비한다. 토출구(101)는 몸체(100)의 폭 방향을 따라 양옆으로 슬릿 형태로 길게 형성된다. 도 3에서와 같이, 토출구(101)는 좁은 단면을 가지며 버퍼부(126)로 공급된 처리액을 아래의 기판(S)의 표면상으로 직접적으로 분사하는 역할을 한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 기판 처리 장치(400)는 베이스(316)를 갖는다. 베이스(316) 상부에는 기판(S)이 놓여지는 테이블이 위치된다. 기판(S)의 상부에는 액 공급 유닛(10)이 위치되며, 액 공급 유닛(10)의 양단은 가이드 레일(314)에 슬라이드 이동 가능하게 결합된 브라켓(312)에 고정된다. 액 공급 유닛(10)은 수평 구동부(미도시됨)에 의해 가이드 레일(314)을 따라 기판(S)의 일단에서 타단까지 수평 이동하게 되면서, 기판(S) 표면으로 소정의 처리액을 도포하게 된다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 액 공급 유닛(10)은 제1바디(100a), 제2바디(100b) 및 간격 조절 부재(200)를 포함한다.

제1바디(100a)와 제2바디(100b)는 결합되어 액 공급 유닛(10)의 몸체(100)를 이룬다. 제1바디(100a)의 외측벽(104)에는 제1방향(D1)을 따라 외측벽(104)에서 토출구(101)를 향해 하향 경사진 틈(102)이 제공된다.

제2바디(100b)는 제1바디(100a)와의 사이에 제1방향(D1)을 따라 토출구(101)가 형성되도록 제1바디(100a)와 결합된다.

간격 조절 부재(200)는 토출구(101)의 간격을 조절한다. 간격 조절 부재(200)는 제1방향(D1)을 따라 복수개가 제공되는 갭 조절 볼트(210)를 갖는다. 갭 조절 볼트(210)는 제1바디(100a)의 일측면에 일정 간격으로 다수 배치된다.

갭 조절 볼트(210)는 외측벽(104)에서 틈(102)을 향해 상향 경사진 개구부(103)를 통해 삽입된다. 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 틈(102)과 개구부(103)는 서로 수직하게 형성된다.

갭 조절 볼트(210)는 조정너트(211)와 고정스크류(212)를 포함한다.

조정너트(211)는 개구부(103)에 나사 체결되는 제1피치(P1)의 외경나사부(211a)와 제1피치(P1)보다 작은 제2피치(P2)를 갖는 내경나사부(211b)를 갖는다. 예를 들어, 제1피치(P1)는 1.5mm, 제2피치(P2)는 1mm일 수 있다. 고정스크류(212)는 조정너트(211)의 내경나사부(211b)를 통해 제1바디(100a)에 나사 체결되어 고정된다.

개구부(103)에는 제1나사홈(110)과 제2나사홈(120)이 형성된다. 제1나사홈(110)에는 조정너트(211)가 나사 결합된다. 제2나사홈(120)은 제1나사홈(110)으로부터 연장되어 형성된다. 제2나사홈(120)에는 고정스크류(212)가 나사 결합된다.

조정너트(211)의 일단에는 육각의 런치공구 또는 일자형 드라이버를 가지고 돌릴 수 있도록 육각의 내경홈(133a)과 드라이버홈(133b)을 갖는다.

고정 스크류(212)는 머리가 없는 타입으로 조정너트(211)의 내경나사부(211b)를 통해 제1바디(100a)에 나사 체결된다. 도시되지는 않았지만, 고정 스크류(212)는 제1바디(100a)의 다른 측면에 형성된 관통공을 통해 삽입되는 고정핀에 의해 고정될 수 있다. 이때, 고정 스크류(212)에는 고정핀이 위치될 수 있는 스톱퍼 홈이 형성될 수 있다.

고정 스크류(212)는 제1나사홈(110)으로부터 연장되어 형성된 제2나사홈(120)에 체결되는 일단부(234a)와, 조정너트(211)의 내경나사부(211b)에 체결되는 타단부(234b)를 갖는다. 그리고 그 타단부에는 육각 런치공구로 돌릴 수 있도록 육각홈(235)이 형성될 수 있다.

한편, 제1나사홈(110)과 제2나사홈(120) 사이에는 고정스크류(212)의 나사축과 직교하는 방향으로 토출구(101)를 향해 하향 경사진 틈(102)이 형성된다.

상기와 같은 구성으로 이루어진 액 공급 유닛(10)의 갭 조절은 다음과 같이 이루어진다.

우선, 도 4에서와 같이 갭 조절 볼트(210)가 제1바디(100a)에 체결된 상태에서, 조정너트(211)를 조이면(조임방향), 조정너트(211)는 제1바디(100a)의 제1나사홈(110)를 따라 회전하면서 조임방향으로 진행되는데, 이때 고정스크류(212)는 조정너트(211)의 외경나사부(211a)와 내경나사부(211bb)의 피치 차이(0.5mm)만큼 풀림 방향으로 이동하려 하기 때문에 고정스크류(212)가 고정된 제1바디(100a)의 일부분이 풀림방향으로 당겨지게 되고, 결국 토출구(101)의 갭이 확대되는 효과를 갖게 되는 것이다.

이와는 반대로, 조정너트(211)를 풀면(풀림방향), 조정너트(211)는 제1바디(100a)의 제1나사홈(110)를 따라 풀림방향으로 진행되는데, 이때 고정스크류(212)는 조정너트(211)의 외경나사부(211a)와 내경나사부(211b)의 피치 차이(0.5mm)만큼 조임 방향으로 이동하려 하기 때문에 고정스크류(212)가 고정된 제1바디(100a)의 일부분이 조임방향으로 밀려나게 되고, 결국 토출구(101)의 갭이 축소되는 효과를 얻게 되는 것이다.

이와 같이, 본 발명의 액 공급 유닛(10)은 조정너트(211) 하나를 풀거나 조이는 것으로 토출구(101)의 갭 조정이 가능하다. 특히, 본 발명은 조정너트(211)의 외경나사부(211a)와 내경나사부(211b)의 피치 차이를 줄일수록 고정스크류(212)가 이동하려는 거리 역시 축소됨으로써 토출구의 갭을 미세하게 조정할 수 있다.

따라서, 본 발명은 토출구의 갭 조정을 위해 하나의 나사만을 사용함으로써 갭 조정이 용이하면서도 토출구의 갭을 미세하게 조정할 수 있다. 또한, 본 발명은 갭 조절 볼트가 위치하는 부위와 아닌 부위의 갭 변형량의 차이가 매우 작아 균일하게 처리액의 토출의 가능하므로 미세 공정에서 기판 처리의 품질 향상을 기대할 수 있는 장점이 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

10 : 액 공급 유닛 100a : 제1바디
100b : 제2바디 101 : 토출구
102 : 틈 103 : 개구부
110 : 제1나사홈 120 : 제2나사홈
200 : 간격 조절 부재 210 : 갭 조절 볼트
211 : 조정너트 211a : 외경나사부
211b : 내경나사부 212 : 고정스크류
400 : 기판 처리 장치

Claims (4)

1. 제1바디 및 상기 제1바디와의 사이에 제1방향을 따라 토출구가 형성되도록 상기 제1바디와 결합되는 제2바디를 가지는 몸체;
   상기 몸체의 내부에 제공되어 처리액이 머무르는 버퍼부와;
   상기 토출구의 간격을 조절하는 간격 조절 부재를 포함하되,
   상기 제1바디의 외측벽에는 상기 제1방향을 따라 상기 외측벽에서 상기 토출구를 향해 하향 경사진 틈이 제공되고,
   상기 간격 조절 부재는 상기 외측벽에서 상기 틈을 향해 상향 경사진 개구부를 통해 삽입되며 상기 제1방향을 따라 복수개 제공되는 갭 조절 볼트를 가지고,
   상기 개구부는 상기 몸체 내부에서 상기 버퍼부보다 상부에 제공되며;
   상기 갭 조절 볼트는,
   상기 개구부에 나사 체결되는 제1피치의 외경나사부와 상기 제1피치보다 작은 제2피치를 갖는 내경나사부를 갖는 조정너트와;
   상기 조정너트의 내경나사부를 통해 상기 제1바디에 나사 체결되어 고정되는 고정스크류를 포함하는 액 공급 유닛.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 틈과 상기 개구부는 서로 수직하게 형성되는 액 공급 유닛.
3. 삭제
4. 제 1항에 있어서,
   상기 개구부에는 상기 조정너트가 나사 결합되는 제1나사홈과, 상기 제1나사홈으로부터 연장되어 형성되고 상기 고정스크류가 나사 결합되어 고정되는 제2나사홈이 형성되는 액 공급 유닛.

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