KR100739477B1 - 평판 디스플레이 제조에 사용되는 슬릿 노즐 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조를 위하여 기판 상에 유체를 스프레이하는 평판 디스플레이 제조를 위한 슬릿 노즐(Slit Nozzle)에 관한 것으로, 평판 디스플레이 패널용 기판 표면에 약액을 공급하는 슬릿 노즐은 기판의 폭 방향에 대응하여 길게 형성되고, 일측에 약액이 공급되는 적어도 하나의 공급구를 갖는 몸체부; 상기 몸체부 하단에 형성되는 그리고 상기 공급구를 통해 상기 몸체 내부로 유입된 약액이 분사되는 토출구; 상기 몸체부의 일측면에 일정 간격으로 설치되어 상기 토출구의 갭을 조정하기 위한 갭 조정장치를 포함할 수 있다. 이 갭 조정장치는 상기 몸체부의 일측면으로부터 상기 토출구 방향으로 나사 체결되는 제1피치의 외경나사부와, 상기 제1피치보다 작은 제2피치를 갖는 내경나사부를 갖는 조정너트 그리고 상기 조정너트의 내경나사부를 통해 상기 몸체부에 나사 체결되어 고정되는 고정스크류를 포함할 수 있다.

슬릿노즐, 갭 조정

Description

평판 디스플레이 제조에 사용되는 슬릿 노즐{SLIT NOZZLE USED IN MANUFACTURING FLAT PANAL DISPLAY DEVICES}

도 1은 기존의 슬릿 노즐에 적용된 갭 조정장치를 보여주는 슬릿 노즐의 단면도;

도 2는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널용 기판(이하 기판) 제조 공정에서 기판 표면에 현상액을 도포하기 위한 슬릿 노즐을 갖는 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 도시한 평면도;

도 3 및 도 4는 슬릿 노즐에 설치되는 갭 조정장치를 보여주는 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *

120 : 슬릿 노즐

122 : 몸체

128 : 토출구

130 : 갭 조정장치

132 : 조정너트

124 : 고정 스크류

126 : 고정핀

본 발명은 평판 디스플레이 제조를 위한 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 평판표시소자 제조를 위하여 기판 상에 유체를 스프레이하는 평판 디스플레이 제조를 위한 슬릿 노즐(Slit Nozzle)에 관한 것이다.

일반적으로 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 유기 EL 등과 같은 평판 디스플레이 패널(이하; 기판)의 제조 공정은 실리콘(Silicon) 반도체 제조공정과 유사하여 기판 상에 증착된 박막을 패터닝(Patterning)하기 위해 채용안 사진석판인쇄법(Photo lithography)에 따른 일련의 공정, PR(Photo Resistor)도포, 노광, 현상, 식각(Etching), 세정(Cleaning)과 같은 단위공정이 필연적으로 이루어진다.

이와 같은 기판을 제조하기 위해 수행되는 단위 공정들 중 도포(또는 현상)공정은 기판 상부에 위치된 슬릿노즐이 기판의 일단에서 타단까지 일정속도로 이동되면서 기판 상에 포토레지스트(또는 현상액)를 토출하면서 이루어진다. 이 때 포토레지스트(또는, 현상액)가 기판 상에 설정된 두께로 균일하게 도포(스프레이)되기 위해서는, 슬릿노즐이 기판 표면으로부터 설정된 거리만큼 정확하게 이격되도록 배치되는 것과, 포토레지스트(현상액)가 토출되는 토출구의 갭(gap)이 일정해야 하는 것이 매우 중요하다.

도 1에 도시된 바와 같이, 기존의 슬릿노즐(200)은 포토레지스트(또는 현상액)가 분사되는 토출구(210)의 갭을 조정하기 위한 갭 조정장치(220)가 설치되어 있다. 기존의 슬릿 노즐(200)에 설치된 갭 조정장치(220)는 갭 축소를 위한 나사(222)와, 갭 확대를 위한 나사(224)가 각각 개별적으로 구비되어 있다.

따라서, 2개의 나사(222,224)를 설치하기 위한 공간이 필요하고, 특히 갭 축소 또는 확대시 각각의 나사를 모두 회전 조정해야 하므로 갭 조정 작업의 불편함이 있을 뿐만 아니라, 특히 갭 축소 또는 확대 조정 간격은 나사에 형성된 피치에 종속되므로 미세 조정에 어려움이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 처리액의 토출량의 소량 변화가 가능한 새로운 형태의 평판 디스플레이 패널용 기판 제조를 위한 슬릿 노즐(Slit Nozzle)을 제공하는데 있다. 본 발명의 또 다른 목적은 처리액이 분사되는 토출구의 갭을 미세하게 조정할 수 있는 새로운 형태의 평판 디스플레이 패널용 기판 제조를 위한 슬릿 노즐(Slit Nozzle)을 제공하는데 있다. 본 발명의 또 다른 목적은 토출구의 갭 조정 작업이 쉬운 새로운 형태의 평판 디스플레이 패널용 기판 제조를 위한 슬릿 노즐(Slit Nozzle)을 제공하는데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 평판 디스플레이 패널용 기판 표면에 약액을 공급하는 슬릿 노즐은 기판의 폭 방향에 대응하여 길게 형성되고, 일측에 약액이 공급되는 적어도 하나의 공급구를 갖는 몸체부; 상기 몸체부 하단에 형성되는 그리고 상기 공급구를 통해 상기 몸체 내부로 유입된 약액이 분사되는 토출구; 상기 몸체부의 일측면에 일정 간격으로 설치되어 상기 토출구의 갭을 조정하기 위한 갭 조정장치를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 갭 조정장치는 상기 몸체부의 일측면으로부터 상기 토출구 방향으로 나사 체결되는 제1피치의 외경나사부와, 상기 제1피치보다 작은 제2피치를 갖는 내경나사부를 갖는 조정너트; 상기 조정너트의 내경나사부를 통해 상기 몸체부에 나사 체결되어 고정되는 고정스크류를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 갭 조정장치는 상기 몸체부의 일측면으로부터 상기 토출구 방향으로 형성된 제1나사홈; 상기 제1나사홈으로부터 연장되어 형성된 제2나사홈; 상기 제1나사홈에 체결되는 제1피치의 외경나사부와, 그리고 상기 제1피치보다 작은 제2피치의 내경 나사부를 갖는 조정너트; 및 일단은 상기 내경 나사부를 통해 상기 제2나사홈에 체결 고정되고 타단은 상기 조정너트의 내경 나사부에 체결되는 고정스크류를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 몸체부는 일측면으로부터 상기 토출구 방향으로 형성된 그리고 상기 조정너트가 나사 결합되는 제1나사홈과, 상기 제1나사홈으로부터 연장되어 형성되고 상기 고정스크류가 나사 결합되어 고정되는 제2나사홈을 갖을 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 갭 조정장치는 상기 고정스크류의 임의 회동을 방지하기 위해 상기 제2나사홈에 위치된 상기 고정스크류의 일단을 고정하는 고정핀을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1나사홈과 상기 제2나사홈 사이는 상기 고정스크류의 나사축과 직교하는 방향으로 일부가 절개된 절개부를 갖을 수 있 다.

예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 4에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.

본 발명의 기본적인 의도는 동일축에 피치 차이가 나는 다른 나사를 사용하여 그 피치 차이를 이용한 미세한 갭 조정이 가능한 슬릿 노즐을 제공하는데 있다.

도 2는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 패널용 기판(이하 기판) 제조 공정에서 기판 표면에 현상액을 도포하기 위한 슬릿 노즐을 갖는 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 개략적으로 보여주는 평면도이다. 도 3 및 도 4는 슬릿 노즐에 설치되는 갭 조정장치를 보여주는 도면이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 기판 처리 장치(100)는 베이스(116)를 갖는다. 이 베이스(116) 상부에는 기판이 놓여지는 테이블이 위치된다. 기판 상부에는 슬릿 노즐(120)이 위치되며, 이 슬릿 노즐(120)의 양단은 가이드 레일(114)에 슬라이드 이동 가능하게 결합된 브라켓(140)에 고정된다. 슬릿 노즐(120)은 수평 구동부(미도시됨)에 의해 가이드 레일(114)을 따라 기판의 일단에서 타단까지 수평 이동하게 되면서, 기판(10) 표면으로 소정의 현상액(또는 처리액)을 도포하게 된다.

도 2 내지 도 3을 참조하면, 슬릿 노즐(120)은 기판(10)의 폭에 알맞도록 넓은 폭을 갖는 몸체(122)를 포함한다. 몸체(122)는 현상액 공급원(미도시됨)과 연결된 배관(20)을 통해 현상액을 제공받기 위한 공급구(124)들을 갖추고 있다. 공급구(124)는 몸체(122)의 폭 방향을 따라 다수개 형성되어 있으며, 도시하지 않은 공급원과 연결되어 현상액을 도입하도록 구성된다. 한편, 몸체(122)의 내부에는 공급구(124)를 통해 공급된 현상액을 몸체(122)의 폭 방향을 따라 확산 및 머무르는 버퍼부(126)가 형성되어 있다. 이 버퍼부(126)는 반원형의 단면을 갖는 것으로, 몸체(122)의 폭 방향을 따라 양 옆으로 길게 형성될 수 있다. 그리고 몸체(122)에는 버퍼부(126)로부터 하부로 뻗어 있는 토출구(128)를 구비한다. 토출구(128)는 몸체(122)의 폭 방향을 따라 양옆으로 슬릿 형태로 길게 형성되는 것으로, 도 3에서와 같이 좁은 단면을 가지며, 버퍼부(126)로 공급된 현상액을 아래의 기판 표면상으로 직접적으로 분사하는 역할을 한다.

한편, 슬릿 노즐(120)은 토출구(128)의 갭을 조정하기 위한 복수의 갭 조정장치(130)를 갖는다. 이 갭 조정장치(130)는 몸체(122)의 일측면(122a)에 일정 간격으로 설치된다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 갭 조정장치(130)는 조정너트(132), 고정 스크류(134) 그리고 고정핀(136)을 포함한다.

조정너트(132)는 몸체(122)의 일측면으로부터 토출구 방향으로 나사 체결되는 제1피치(예를 들어 1.5mm)의 외경나사부(132a)와, 제1피치보다 작은 제2피치(예 를 들어 1mm)를 갖는 내경나사부(132b)를 갖는다. 이 조정너트(132)는 몸체(122)의 일측면(122a)으로부터 토출구(128) 방향으로 형성된 제 1 나사홈(138a)에 나사 결합된다. 조정너트(132)의 일단에는 육각의 런치공구 또는 일자형 드라이버를 가지고 돌릴 수 있도록 육각의 내경홈(133a)과 드라이버홈(133b)을 갖는다.

고정 스크류(134)는 머리가 없는 타입으로, 조정너트(132)의 내경나사부(132b)를 통해 몸체(122)에 나사 체결되며, 이 고정 스크류(134)는 몸체(122)의 다른 측면(122b)에 형성된 관통공(138d)을 통해 삽입되는 고정핀(136)에 의해 고정된다. 고정 스크류(134)는 고정핀이 위치될 수 있는 스톱퍼 홈(135a)을 갖는다. 이 고정 스크류(134)는 제1나사홈(138a)으로부터 연장되어 형성된 제2나사홈(138b)에 체결되는 일단부(134a)와, 조정너트(132)의 내경나사부(132b)에 체결되는 타단부(134b)를 갖는다. 그리고 그 타단부에는 육각 런치공구로 돌릴 수 있도록 육각홈(135)이 형성되어 있다.

한편, 제1나사홈(138a)과 제2나사홈(138b) 사이에는 고정스크류(134)의 나사축과 직교하는 방향으로 일부 절개된 절개부(138c)를 갖는다.

이와 같은 구성으로 이루어진 슬릿 노즐의 갭 조정은 다음과 같이 이루어진다.

우선, 도 4에서와 같이 슬릿 노즐(120)의 몸체(122)에 체결된 상태에서, 조정너트(132)를 조이면(조임방향), 조정너트(132)는 몸체(122)의 제1나사부(138a)를 따라 회전하면서 조임방향으로 진행되는데, 이때 고정스크류(134)는 조정너트(132)의 외경나사부(132a)와 내경나사부(132b)의 피치 차이(0.5mm)만큼 풀림 방향으로 이동하려 하기 때문에 고정스크류(134)가 고정된 몸체(122)의 일부분이 풀림방향으로 당겨지게 되고, 결국 토출구(128)의 갭이 확대되는 효과를 갖게 되는 것이다.

이와는 반대로, 조정너트(132)를 풀면(풀림방향), 조정너트(132)는 몸체(122)의 제1나사부(138a)를 따라 풀림방향으로 진행되는데, 이때 고정스크류(134)는 조정너트(132)의 외경나사부(132a)와 내경나사부(132b)의 피치 차이(0.5mm)만큼 조임 방향으로 이동하려 하기 때문에 고정스크류(134)가 고정된 몸체(122)의 일부분이 조임방향으로 밀려나게 되고, 결국 토출구(128)의 갭이 축소되는 효과를 얻게 되는 것이다.

이와 같이, 본 발명의 슬릿 노즐은 조정너트 하나를 풀거나 조이는 것으로 토출구의 캡 조정이 가능하며, 특히 조정너트의 외경나사부와 내경나사부의 피치 차이를 줄일수록 고정스크류가 이동하려는 거리역시 축소됨으로써 토출구의 갭을 미세하게 조정할 수 있는 것이다.

이상에서, 본 발명에 따른 슬릿 노즐의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

상술한 바와 같이, 본 발명은 토출구의 갭 조정을 위해 하나의 나사만을 사용함으로써 갭 조정장치가 차지하는 공간을 줄일 수 있다. 토출구의 갭 조정이 조정너트의 외경나사부와 내경나사부의 피치 차이에 의해 조정되므로, 이들 나사부의 피치 차이를 줄일수록 미세 조정이 가능하다. 따라서, 슬릿 노즐의 도포 균일성 확 보가 가능하다.

Claims (4)

1. 삭제
2. 삭제
3. 평판 디스플레이 패널용 기판 표면에 약액을 공급하는 슬릿 노즐에 있어서:

   기판의 폭 방향에 대응하여 길게 형성되고, 일측에 약액이 공급되는 적어도 하나의 공급구를 갖는 몸체부;

   상기 몸체부 하단에 형성되는 그리고 상기 공급구를 통해 상기 몸체 내부로 유입된 약액이 분사되는 토출구;

   상기 몸체부의 일측면에 일정 간격으로 설치되어 상기 토출구의 갭을 조정하기 위해, 상기 몸체부의 일측면으로부터 상기 토출구 방향으로 나사 체결되는 제1피치의 외경나사부와, 상기 제1피치보다 작은 제2피치를 갖는 내경나사부를 갖는 조정너트와, 상기 조정너트의 내경나사부를 통해 상기 몸체부에 나사 체결되어 고정되는 고정스크류를 포함하는 갭 조정장치를 포함하되;

   상기 몸체부는 일측면으로부터 상기 토출구 방향으로 형성된 그리고 상기 조정너트가 나사 결합되는 제1나사홈과, 상기 제1나사홈으로부터 연장되어 형성되고 상기 고정스크류가 나사 결합되어 고정되는 제2나사홈을 포함하며,

   상기 갭 조정장치는 상기 고정스크류의 임의 회동을 방지하기 위해 상기 제2나사홈에 위치된 상기 고정스크류의 일단을 고정하는 고정핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.
4. 제3항에 있어서,

   상기 제1나사홈과 상기 제2나사홈 사이는 상기 고정스크류의 나사축과 직교하는 방향으로 일부가 절개된 절개부를 갖는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.

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