JP2023003459A - スリットノズル、スリットノズルの調整方法および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明に係るスリットノズルを装備する基板処理装置の一実施形態である塗布装置の全体構成を模式的に示す図である。この塗布装置1は、図1の左手側から右手側に向けて水平姿勢で搬送される基板Sの表面Sfに塗布液を塗布するスリットコータである。例えば、ガラス基板や半導体基板等各種の基板Sの表面Sfに、レジスト膜の材料を含む塗布液、電極材料を含む塗布液等、各種の処理液を塗布し均一な塗布膜を形成する目的に、この塗布装置1を好適に利用することができる。
図2Aは図1の塗布装置で使用されるスリットノズルの第1実施形態の主要構成を模式的に示す分解組立図であり、図2Bは当該スリットノズルを鉛直下方から見た図であり、図2Cは図2B中のC-C線断面図である。なお、理解容易の目的で、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。この点については、以下の図面においても同様である。
図4は、本発明に係るスリットノズルの第2実施形態の一部を示す図である。この第2実施形態が第1実施形態と大きく相違する点は、1つのブロック体721に対して2本の調整ボルト725を適用可能となっていることである。より詳しくは、各ブロック体721に対し、2つの貫通孔721d、721dがY方向に並設されている。第2本体部712に対し、第1実施形態の2倍に取付用ねじ穴712fが設けられている。したがって、第1実施形態よりも、きめ細かく開口寸法Wを調整することができる。
図5は、本発明に係るスリットノズルの第3実施形態の一部を示す図である。この第3実施形態が第2実施形態と大きく相違する点は、ブロック体721の突出部721bにおいて、貫通孔721d、721dの間にスリット721hが設けられることで、突出部721bが2つの突出部位721b1、721b2に区画されている点である。このように区画された突出部位721b1、721b2は、それぞれ独立して曲げ変形可能となっている。したがって、例えば突出部位721b1に設けられる貫通孔721dに適用された調整ボルト725による開口寸法Wの調整は、他方の突出部位721b2の影響を受けることなく、実行される。したがって、開口寸法Wの調整をさらに高精度に行うことができる。
図6は、本発明に係るスリットノズルの第4実施形態の一部を示す図である。上記第3実施形態では、突出部721bの分割数は2であるが、3以上であってもよい。つまり、N本(図6ではN=2)のスリット721hを導入することで、(N+1)個の突出部位721b1、721b2、721b3、…を形成し、ブロック体721をいわゆる櫛歯状に仕上げてもよい。そして、各突出部位721b1、721b2、721b3、…に貫通孔721dを配置し、調整ボルト725を適用可能に構成してもよい。この第4実施形態によれば、1つのブロック体721により開口寸法Wの調整が可能な範囲がY方向に広がる。
図7Aは図1の塗布装置で使用されるスリットノズルの第5実施形態の主要構成を模式的に示す分解組立図であり、図7Bは第5実施形態に係るスリットノズルを鉛直下方から見た図であり、図7Cは図7B中のC-C線断面図である。この第5実施形態に係るスリットノズル71Bが第1実施形態と大きく相違する点は、調整機構720が開口寸法Wを部分的に狭小調整するための狭小調整機構726を有している点であり、その他の構成は基本的に第1実施形態と同一である。したがって、以下においては、相違点を中心に説明し、同一構成および動作については同一符号を付して構成説明を省略する。
上記第1実施形態ないし第4実施形態では、調整機構720は広大調整機構724のみで構成され、上記第5実施形態では調整機構720は狭小調整機構726のみで構成されているが、一定条件を満足させることで広大調整機構724および狭小調整機構726の混合使用が可能である。その一定条件とは、貫通孔721cが調整ボルト725およびねじ棒727のいずれも挿通可能であり、本発明の「共通設置部位」として機能することである。さらに、調整ボルト725のねじ部725bおよびねじ棒727のいずれもが調整用ねじ穴712gに螺合可能となるように構成することである。このような条件においては、第2本体部712に対し、広大調整機構724および狭小調整機構726を任意の取付領域に適用することができる。
図9は、本発明に係るスリットノズルの第7実施形態の一部を示す図である。この第7実施形態は、1つのブロック体721に対して2つの貫通孔721d1、721d2が並設されている点で第2実施形態と共通する。しかしながら、貫通孔721d1は広大調整機構724(=調整ボルト725)を装着するための「広大用貫通孔」であり、貫通孔721d2は狭小調整機構726(=ねじ棒727+ナット728)を装着するための「狭小用貫通孔」である。したがって、貫通孔721d1、721d2の一方を用いることで、第2本体部712の被調整領域に対して広大動作および狭小動作の一方が選択的実行される。
8…塗布液供給機構(処理液供給部)
52…吸着・走行制御機構(相対移動機構)
71,71A,71B,71C…スリットノズル
710…ノズル本体
712g…調整用ねじ穴
715…吐出口
720…調整機構
721…ブロック体
721a…(ブロック体の)調整本体部
721b…(ブロック体の)突出部
721d,721d1,721d2…貫通孔(広大設置部位、狭小設置部位)
721b1,721b2,721b3…突出部位
721e…凹部(狭小設置部位)
721h…スリット
722…ギャップ調整部
723…固定ボルト
724…広大調整機構
725…調整ボルト
725a…(調整ボルトの)頭部
725b…(調整ボルトの)ねじ部
726…狭小調整機構
727…ねじ棒
728…ナット
G1…第1ギャップ
G2…第2ギャップ
S…基板
W…開口寸法
X…対向方向
Claims (16)
- 第1本体部と第2本体部とが第1ギャップを隔てて互いに対向することで、スリット状に開口する吐出口を形成するノズル本体と、
前記第1本体部および前記第2本体部の対向方向に前記第2本体部を変位させて前記吐出口の開口寸法を調整する調整機構と、を備え、
前記調整機構は、
前記第2本体部に取り付け可能な調整本体部と、前記調整本体部から吐出口側に突設された突出部とを有し、前記調整本体部の前記第2本体部への取付により、前記突出部が、前記第2本体部に対して前記第1本体部の反対側で、前記対向方向において第2ギャップを隔てて前記第2本体部と対向するブロック体と、
前記第2ギャップの減少により前記吐出口の近傍において前記第2本体部を前記第1本体部から離間させて前記開口寸法を広げる広大動作と、前記第2ギャップの増大により前記吐出口の近傍において前記第2本体部を前記第1本体部に近接させて前記開口寸法を狭める狭小動作との少なくとも一方を実行させて前記開口寸法を調整するギャップ調整部と、
を備えることを特徴とするスリットノズル。 - 請求項1に記載のスリットノズルであって、
前記ギャップ調整部は、前記広大動作を実行するための広大調整機構を有し、
前記突出部は、前記対向方向に貫通して設けられた貫通孔を、前記広大調整機構を設置するための広大設置部位として機能させ、
前記広大調整機構は、頭部と、前記頭部の座面から前記対向方向に延設されるとともに前記第2本体部に螺合可能となっているねじ部とを有するボルトを有し、前記突出部に対して前記第2本体部の反対側から前記ボルトを前記広大設置部位に挿通して前記頭部の座面で前記突出部を係止した状態で、前記ボルトの回転により前記ねじ部が前記第2本体部に螺入されることによって、前記第2本体部を前記突出部側に引き寄せて前記開口寸法を広げる、スリットノズル。 - 請求項2に記載のスリットノズルであって、
前記突出部は前記広大設置部位を複数個有し、
前記複数の広大設置部位が前記対向方向と直交する方向に並設されるとともに、前記広大設置部位毎に前記広大調整機構の設置が可能となっている、スリットノズル。 - 請求項3に記載のスリットノズルであって、
前記突出部は、前記対向方向と直交する方向において互いに隣接する前記広大設置部位の間に形成されるスリットにより複数の区画される、スリットノズル。 - 請求項1に記載のスリットノズルであって、
前記ギャップ調整部は、前記狭小動作を実行するための狭小調整機構を有し、
前記突出部は、前記第2本体部と対向する対向面に対して前記第2本体部の反対側に設けられる凹部または貫通孔を、前記狭小調整機構を設置するための狭小設置部位として機能させ、
前記狭小調整機構は、前記対向方向に延設されたねじ棒と、前記ねじ棒の中央部に螺合するナットと、を有し、前記ねじ棒の先端部が前記第2本体部に係合されるとともに前記ねじ棒の後端部が前記狭小設置部位に挿入された状態で、前記ナットを前記突出部に当接させたまま前記ナットの回転により前記ねじ棒を前記第2本体部側に変位させることによって、前記第2本体部を前記第1本体部側に押し遣って前記開口寸法を狭める、スリットノズル。 - 請求項5に記載のスリットノズルであって、
前記突出部は前記狭小設置部位を複数個有し、
前記複数の狭小設置部位が前記対向方向と直交する方向に並設されるとともに、前記狭小設置部位毎に前記狭小調整機構の設置が可能となっている、スリットノズル。 - 請求項6に記載のスリットノズルであって、
前記突出部は、前記対向方向と直交する方向において互いに隣接する前記狭小設置部位の間に形成されるスリットにより複数の区画される、スリットノズル。 - 請求項1に記載のスリットノズルであって、
前記ギャップ調整部は、前記広大動作を実行するための広大調整機構と、前記狭小動作を実行するための狭小調整機構とを選択的に設置可能となっており、
前記突出部は、前記対向方向に貫通する貫通孔を前記広大調整機構および前記狭小調整機構を選択的に設置するための共通設置部位として機能させ、
前記広大調整機構は、頭部と、前記頭部の座面から前記対向方向に延設されるとともに前記第2本体部に螺合可能となっているねじ部とを有するボルトを有し、前記突出部に対して前記第2本体部の反対側から前記ボルトを前記共通設置部位に挿通して前記頭部の座面で前記突出部を係止した状態で、前記ボルトの回転により前記ねじ部が前記第2本体部に螺入されることによって、前記第2本体部を前記突出部側に引き寄せて前記開口寸法を広げ、
前記狭小調整機構は、前記対向方向に延設されたねじ棒と、前記ねじ棒の中央部に螺合するナットと、を有し、前記ねじ棒の先端部が前記第2本体部に係合されるとともに前記ねじ棒の後端部が前記共通設置部位に挿入された状態で、前記ナットを前記突出部に当接させたまま前記ナットの回転により前記ねじ棒を前記第2本体部側に変位させることによって、前記第2本体部を前記第1本体部側に押し遣って前記開口寸法を狭める、スリットノズル。 - 請求項8に記載のスリットノズルであって、
前記突出部は前記共通設置部位を複数個有し、
前記複数の共通設置部位が前記対向方向と直交する方向に並設されるとともに、前記共通設置部位毎に前記広大調整機構または前記狭小調整機構の設置が可能となっている、スリットノズル。 - 請求項9に記載のスリットノズルであって、
前記突出部は、前記対向方向と直交する方向において互いに隣接する前記共通設置部位の間に形成されるスリットにより複数の区画される、スリットノズル。 - 請求項1に記載のスリットノズルであって、
前記ギャップ調整部は、前記広大動作を実行するための広大調整機構と、前記狭小動作を実行するための狭小調整機構とのうち少なくとも一方を設置可能となっており、
前記突出部は、前記対向方向に貫通して設けられた広大用貫通孔を、前記広大調整機構を設置するための広大設置部位として機能させるとともに、前記第2本体部と対向する対向面に対して前記第2本体部の反対側に設けられる凹部または前記対向方向に貫通して設けられた狭小用貫通孔を、前記狭小調整機構を設置するための狭小設置部位として機能させ、
前記広大調整機構は、頭部と、前記頭部の座面から前記対向方向に延設されるとともに前記第2本体部に螺合可能となっているねじ部とを有するボルトを有し、前記突出部に対して前記第2本体部の反対側から前記ボルトを前記広大設置部位に挿通して前記頭部の座面で前記突出部を係止した状態で、前記ボルトの回転により前記ねじ部が前記第2本体部に螺入されることによって、前記第2本体部を前記突出部側に引き寄せて前記開口寸法を広げ、
前記狭小調整機構は、前記対向方向に延設されたねじ棒と、前記ねじ棒の中央部に螺合するナットと、を有し、前記ねじ棒の先端部が前記第2本体部に係合されるとともに前記ねじ棒の後端部が前記狭小設置部位に挿入された状態で、前記ナットを前記突出部に当接させたまま前記ナットの回転により前記ねじ棒を前記第2本体部側に変位させることによって、前記第2本体部を前記第1本体部側に押し遣って前記開口寸法を狭める、スリットノズル。 - 請求項11に記載のスリットノズルであって、
前記広大設置部位および前記狭小設置部位は前記対向方向と直交する方向に並設されている、スリットノズル。 - 請求項12に記載のスリットノズルであって、
前記突出部は、前記対向方向において互いに隣接する前記広大設置部位および前記狭小設置部位の間に形成されるスリットにより複数の区画される、スリットノズル。 - 第1本体部と第2本体部とを第1ギャップを隔てて互いに対向させることでスリット状に開口する吐出口の開口寸法を調整するスリットノズルの調整方法であって、
前記第2本体部に取り付け可能な調整本体部と、前記調整本体部から吐出口側に突設された突出部とを有する、ブロック体を準備する第1工程と、
前記突出部が、前記第2本体部に対して前記第1本体部の反対側で、前記第1本体部および前記第2本体部の対向方向において前記第2本体部から第2ギャップを隔てて対向するように、前記ブロック体の前記調整本体部を前記第2本体部に取り付ける第2工程と、
前記第2工程後に、前記第2ギャップの減少により前記吐出口の近傍において前記第2本体部を前記第1本体部から離間させて前記開口寸法を広げる広大動作と、前記第2ギャップの増大により前記吐出口の近傍において前記第2本体部を前記第1本体部に近接させて前記開口寸法を狭める狭小動作との少なくとも一方を実行させて前記開口寸法を調整する第3工程と、
を備えることを特徴とするスリットノズルの調整方法。 - 請求項14に記載のスリットノズルの調整方法であって、
前記第1工程では、前記突出部の曲げ剛性が互いに異なる複数種類の前記ブロック体が準備され、
前記第2工程では、前記複数種類のブロック体から前記第3工程での前記開口寸法の調整に用いられるブロック体が選択される、
スリットノズルの調整方法。 - 請求項1ないし13のいずれか一項に記載のスリットノズルと、
前記スリットノズルの前記吐出口と対向させて基板を配置するとともに、前記スリットノズルと前記基板とを前記対向方向に相対移動させる相対移動機構と、
前記スリットノズルに処理液を供給する処理液供給機構と、
を備え、
前記吐出口から吐出した前記処理液を前記基板の表面に塗布することを特徴とする基板処理装置。
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