KR100987184B1 - 슬릿 노즐 - Google Patents

Abstract

슬릿 노즐의 토출구의 갭(Gap)을 확장하거나 축소하는 장치가 하나의 세트로 이루어진 갭 조절장치로 작업자가 용이하게 갭 조절을 수행하며 슬릿 노즐의 토출구 전체 영역에서 정밀하게 갭을 확장하거나 축소할 수 있는 슬릿 노즐을 개시한다.

본 발명의 슬릿 노즐은, 제1 플레이트, 제1 플레이트와 결합되는 제2 플레이트로 이루어지며 토출구가 제공된 본체, 본체의 길이 방향을 따라 이동할 수 있으며 토출구의 갭을 확장시키거나 축소시키는 장치가 하나의 세트로 이루어진 갭 조절장치를 포함한다.

슬릿 노즐, 토출구, Gap, 슬릿 코터, 갭 확장, 갭 축소

Description

슬릿 노즐{Slit nozzle}

본 발명은 슬릿 노즐에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 슬릿 노즐의 토출구의 갭(Gap)을 확장하거나 축소하는 장치가 하나의 세트로 이루어진 갭 조절장치를 구비하여 작업자가 용이하게 갭 조절을 수행할 수 있으며 슬릿 노즐의 토출구 전체 영역에서 정밀하게 갭을 확장하거나 축소할 수 있는 슬릿 노즐에 관한 것이다.

일반적으로 평판표시소자용 기판에는 포토리소그라피(Photolithography) 작업을 거치면서 회로 패턴이 형성된다. 포토리소그라피 작업은 기판 위에 일정한 두께로 감광액(포토레지스트)을 도포한 다음 감광층을 노광, 현상하고 에칭하는 공정들을 진행하면서 기판에 회로 패턴이 형성되도록 하는 것이다.

이러한 포토리소그라피 작업은 특히 감광액을 도포하는 공정에서 기판의 박막 위에 일정한 두께로 균일하게 감광층을 형성하는 것이 중요하다. 감광층은 기준치보다 두께가 두껍거나 얇게 이루어지면 식각이 불균일하게 형성될 수 있다.

이와 같이 기판에 감광액을 도포하는 작업은 스핀코터(spin coater)를 이용한 스핀코팅방식과 슬릿코터(Slit coater)를 이용한 스핀레스 코팅방식이 알려져 있다.

이러한 두가지의 코팅 방식 중에서 스핀코팅방식은 작업 여건(기판의 회전속도와 용제 증발)에 따라 표면이 불규칙하게 형성되므로 슬릿 코터를 이용한 스핀레스 코팅방식이 주로 이용된다. 스핀레스 코팅방식은 슬릿 코터의 슬릿 노즐로 감광액을 도포하면서 기판의 박막 위에 일정 두께로 포토리소그라피용 감광층(포토레지스트층)을 형성하는 것이다.

이러한 스핀레스 코팅방식에 있어서, 감광액을 기판에 균일하게 도포하기 위하여 슬릿 노즐의 토출구의 갭을 일정하게 유지할 필요가 있다. 그러나 슬릿 노즐의 길이가 길어질 경우에 면 전체에 기울기를 주어 정밀하게 가공해야 하기 때문에 가공의 어려움이 있고, 토출구의 갭을 전체 영역에서 정밀하게 세팅하기가 용이하지 않은 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로써, 본 발명의 목적은 토출구의 갭을 조절하기 위한 가공 작업을 간단하게 하여 생산비용을 줄임과 동시에 작업자가 간단한 조작을 통하여 슬릿 노즐의 토출구의 갭을 전 영역에서 확대 또는 축소시켜 일정하게 조절할 수 있어 세팅 작업이 용이한 슬릿 노즐을 제공하는데 있다.

또한, 본 발명은 슬릿 노즐의 토출구의 갭을 확대하거나 축소할 수 있는 갭 조절 장치를 이용하여 슬릿 노즐의 길이 방향을 따라 이동시키면서 작업자가 원하는 부분의 토출구의 갭을 조절할 수 있는 슬릿 노즐을 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 제1 플레이트, 상기 제1 플레이트와 결합되는 제2 플레이트로 이루어지며 토출구가 제공된 본체, 상기 본체의 일측에 배치되며 상기 토출구의 갭을 축소시키는 갭 축소 조절부와 상기 토출구의 갭을 확장시키는 갭 확장 조절부가 하나의 세트로 이루어진 갭 조절장치를 포함하는 슬릿 노즐을 제공한다.

상기 갭 축소 조절부는 상기 본체에 제공되는 제1 안내홈에 끼워지며 테이퍼부를 구비한 기준 너트부재, 상기 기준 너트부재에 나사 결합되는 갭 축소 조임부재, 상기 갭 축소 조임부재의 외주에 결합되어 상기 갭 축소 조임부재의 가압에 따라 상기 기준 너트부재의 테이퍼부에 밀착되는 갭 축소용 테이퍼 블럭을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 갭 확장 조절부는 상기 갭 축소 조절부의 갭 축소 조임부재의 외주에 나사 결합되는 갭 확대 조임부재, 상기 갭 확대 조임부재의 외주에 나사 결합되며 상기 본체에 제공되는 제2 안내홈에 끼워져 상기 토출구의 갭을 확장하는 갭 확대용 테이퍼 블럭을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 제1 안내홈은 상기 본체의 측면에 길이 방향으로 제공되고, 상기 기준 너트부재가 이탈되는 것을 방지하는 이동 제한턱이 제공되는 것이 바람직하다.

상기 제2 안내홈은 상기 본체의 측면에 길이 방향으로 제공되고, 상기 갭 확장용 테이퍼 블럭이 이탈되는 것을 방지하는 또 다른 이동 제한턱이 제공되는 것이 바람직하다.

상기 기준 너트부재의 테이퍼부는 상기 갭 축소 조임부재의 길이 방향을 향하여 경사지게 이루어지는 것이 바람직하다.

상기 갭 축소 조임부재는 상기 갭 축소용 테이퍼 블럭을 가압할 수 있는 가압부가 제공되는 것이 바람직하다.

상기 갭 확대 조임부재는 상기 갭 확대용 테이퍼 블럭을 가압할 수 있도록 또 다른 가압부가 제공되는 것이 바람직하다.

상기 갭 축소 조임부재는 그 외주면에 상기 갭 확대 조임부재의 이동을 제한하는 록킹부재가 제공되는 것이 바람직하다.

상기 갭 확대용 테이퍼 블럭은 상기 갭 확대 조임부재의 외주에 결합지는 결합부, 상기 결합부에서 연장되며 상기 제2 안내홈에 끼워져 길이 방향을 따라 이동하는 안내부, 상기 결합부에서 연장되어 본체의 저면에 제공된 테이퍼부와 밀착되는 또 다른 테이퍼부를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 갭 조절장치는 상기 본체의 길이 방향으로 이동되는 것이 바람직하다.

이와 같은 본 발명은 슬릿 노즐의 토출구의 갭을 확대하거나 축소할 수 있는 한 세트의 갭 조절 장치를 이용하여 슬릿 노즐의 길이 방향을 따라 이동시키면서 작업자가 원하는 부분의 토출구의 갭을 확대하거나 축소하여 갭의 균일성을 조절하는 작업을 용이하고 정밀하게 할 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명 하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 도면으로, 슬릿 코터를 도시하고 있다. 슬릿 코터는 기판(G)이 놓여지는 작업대(1), 작업대(1)의 상부 양측에 설치되는 구동부(3, 도 1에서는 보이는 부분에만 부호를 부여함)들, 구동부(3)들에 결합되는 이동부(4), 이동부(4)에 결합되는 노즐지지부재(5), 노즐지지부재(5)에 결합되는 슬릿 노즐(7), 그리고 슬릿 노즐(7)에 결합되어 슬릿 노즐(7)의 토출구의 갭(Gap)을 확장하거나 축소하는 갭 조절장치를 포함한다.

작업대(1)는 기판(G)에 포토레지스트를 도포하기 위한 작업면이 제공된다. 구동부(3)는 작업대(1)의 양측 윗면에 쌍을 이루며 서로 나란하게 배치되는 것이 바람직하다.

본 발명의 실시 예의 구동부(3)는 리니어 모터(Linear motor)로 이루어지는 것이 바람직하다. 구동부(3)에는 이동부(4)가 결합된다. 구동부(3)는 이동부(4)를 선형 이동시킬 수 있는 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. 이러한 구동부(3)는 이동부(4)를 이동시킬 때 진동을 최소화시키면서 균일한 속도로 이동할 수 있는 구조로 이루어지는 것이면 어느 것이나 적용이 가능하다.

노즐지지부재(5)는 이동부(4)에 기판(G)을 가로지르는 방향으로 설치된다. 노즐 지지부재(5)는 이동부(4)가 이동함에 따라서 구동부(3)에 의하여 선형적으로 이동이 가능하게 설치된다. 또한, 노즐지지부재(5)는 이동부(4)에 설치된 모터(M)에 의하여 승, 하강 할 수 있는 구조로 배치된다.

따라서 노즐지지부재(5)는 구동부(3)에 의하여 선형이동하면서 동시에 모 터(M)의 구동에 의하여 승, 하강 할 수 있는 구조로 이동부(4)에 결합되는 것이다. 경우에 따라서는 노즐지지부재(5)가 겐트리를 이루어 이동부(4)를 포함하는 하나의 부재로 이루어지는 것도 가능하다.

노즐지지부재(5)는 그 가운데 부분에 포토레지스트를 기판(G)에 도포할 수 있는 슬릿 노즐(7)이 결합된다. 즉, 본 발명의 실시 예에서는 기판(G)이 작업대(1)에 고정된 상태에서 슬릿 노즐(7)이 이동되면서 기판(G)에 포토레지스트가 도포되는 예를 설명한다.

본 발명의 실시 예에서는 기판(G)이 고정되어 있는 상태에서 슬릿 노즐(7)이 이동되는 구조를 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 기판(G)이 이동되고 슬릿 노즐이 고정된 타입에도 적용이 가능하다.

슬릿 노즐(7)의 일측에는 갭 조절장치가 결합된다. 갭 조절장치는 갭을 확장하거나 축소시키는 장치가 하나의 세트로 이루어지며, 슬릿 노즐(7)의 토출구의 갭(Gap)을 확장하거나 또는 축소시켜 슬릿 노즐(7)의 갭을 일정하게 하기 위한 것이다.

슬릿 노즐(7)은 제1 플레이트(9), 이 제1 플레이트(9)에 결합되는 제2 플레이트(11)로 이루어진 본체(13)를 포함한다. 상술한 제2 플레이트(11)에는 약액 챔버(15)가 제공될 수 있다. 제1 플레이트(9)와 제2 플레이트(11)는 서로 결합하여 약액 챔버(15)에 수용된 약액을 토출하는 토출구(13a)가 제공된다.

갭 조절장치는, 도 2와 도 3에 도시하고 있는 바와 같이, 제1 플레이트(9)의 측면에 제공되는 제1 안내홈(9a)과 제2 안내홈(9b), 제1 안내홈(9a)에 삽입되는 기 준 너트부재(17), 이 기준 너트부재(17)에 나사 결합되는 갭 축소 조임부재(19), 갭 축소 조임부재(19)의 외주에 결합되는 갭 축소용 테이퍼 블럭(21), 갭 축소 조임부재(19)의 외주에 결합되는 갭 확대 조임부재(23), 갭 확대 조임부재(23)의 외주에 결합되어 토출구(13a)의 갭을 확대시키는 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)을 포함한다.

제1 안내홈(9a)은 제1 플레이트(9)의 측면에 길이 방향으로 배치되며 기준 너트부재(17)가 이 제1 안내홈(9a)을 따라 이동될 수 있다. 그리고 제1 안내홈(9a)은 제1 플레이트(9)의 측면에 수직인 방향으로 이동 제한턱(9c)이 제공된다. 이러한 이동 제한턱(9c)은 기준 너트부재(17)가 제1 안내홈(9a)을 따라 이동할 수 있으며 동시에 수직 방향으로는 이탈되지 않도록 하는 것이다.

제2 안내홈(9b)은 제1 안내홈(9a)과 일정한 간격이 띄워지는 위치에 배치된다. 제2 안내홈(9b)은 하단부가 경사면을 이루는 또 다른 이동 제한턱(9d)이 제공된다. 제2 안내홈(9b)에 제공된 경사진 이동 제한턱(9d)은 외측면으로 이탈되지 않으면서 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)이 홈을 따라 이동될 수 있도록 하는 것이다.

기준 너트부재(17)는 중앙부에 갭 축소 조임부재(19)가 결합되는 나사홈(18, 도 3에 도시하고 있음)이 제공되고, 일부가 연장되어 갭 축소 조임부재(19)의 길이 방향으로 일측이 경사진 테이퍼부(17a)가 제공된다. 이러한 테이퍼부(17a)는 기준 너트부재(17)의 하부에 배치되는 것이 바람직하다.

갭 축소 조임부재(19)는 제1 플레이트(9)의 측면으로 돌출되는 모양으로 배치되며 일측이 상술한 기준 너트부재(17)의 나사홈에 나사 결합된다. 이러한 갭 축 소 조임부재(19)는 기준 너트부재(17)가 고정된 상태에서 축 방향(제1 플레이트의 측면 방향)으로 전진 및 후진할 수 있다. 그리고 갭 축소 조임부재(19)는 중간부에 갭 축소용 테이퍼 블럭(21)을 기준 너트부재(17) 방향으로 가압할 수 있는 걸림턱으로 이루어진 가압부(19a)가 제공된다.

갭 축소용 테이퍼 블럭(21)은 갭 축소 조임부재의 외주에 나사 결합으로 배치되며 가압부(19a)에 의하여 기준 너트부재(17) 방향으로 이동될 수 있다. 그리고 갭 축소용 테이퍼 블럭(21)은 상술한 기준 너트부재(17)의 테이퍼부(17a)에 대응하는 면이 경사진 테이퍼면으로 이루어진다. 이러한 갭 축소용 테이퍼 블럭(21)은 갭 축소 조임부재(19)에 의하여 기준 너트부재(17) 방향으로 이동하게 되면 기준 너트부재(17)의 테이퍼부(17a)를 가압하여 갭이 축소되는 방향으로 제1 플레이트(9)의 끝 부분을 이동시키게 된다.

갭 확대 조임부재(23)는 갭 축소 조임부재의 외주에 나사 결합되며 갭 확대용 테이퍼 블럭을 가압하기 위한 또 다른 걸림턱으로 이루어진 가압부(23a)가 제공된다. 또한 갭 축소 조임부재(19)의 외주에는 갭 확대 조임부재(23)가 풀리는 것을 방지하거나 이동을 제한하는 록킹부재(27)가 결합될 수 있다. 이러한 록킹부재(27)는 갭 확대 조임부재(23)를 조인 후에 미세한 진동 등에 의하여 갭 확대 조임부재(23)가 풀리는 것을 방지하기 위한 것이다.

갭 확대용 테이퍼 블럭(25)은, 갭 확대 조임부재의 외주면에 나사 결합되는 결합부(25a), 이 결합부(25a)에서 연장되어 제2 안내홈(9b)에 끼워지는 안내부(25b), 그리고 결합부(25a)에서 연장되어 제1 플레이트(9)의 하단부에 밀착되는 테이퍼부(25c)를 포함한다. 상술한 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)의 결합부(25a)는 갭 확대 조임부재(23)의 가압부(23a)에 가압될 수 있으며 제1 플레이트(9)와 일정한 거리가 띄워지는 위치에 배치되는 것이 바람직하다. 그리고 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)의 안내부(25b)는 제2 안내홈(9b)에 끼워져 이탈되지 않으면서 홈을 따라 이동할 수 있다. 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)의 테이퍼부(25c)는 제1 플레이트(9)의 저면이 테이퍼지고 이 부분과 서로 밀착되어 배치된다. 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)의 테이퍼부(25c)는 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)이 토출구 방향으로 이동하게 될 때 제1 플레이트(9)의 하부의 테이퍼 진 부분에 밀착되어 제1 플레이트(9)의 하부를 위쪽으로 당겨 토출구(13a)를 확대시키게 역할을 한다.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 갭 조절 장치를 통하여 슬릿 노즐(7)의 토출구(13a)의 갭을 축소시키는 과정을 도 4를 통하여 설명하면 다음과 같다.

먼저 작업자가 갭을 축소시키기 위한 부분으로 제1 안내홈(9a)과 제2 안내홈(9b)을 따라 갭 조절장치를 이동시킨다.

그리고 갭 확대용 조임부재(23)와 록킹부재(27)를 풀어 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)이 자유로운 상태가 되도록 한다.

갭 축소 조임부재(19)를 기준 너트부재(17) 측으로 이동하는 방향을 회전시킨다. 그리면 갭 축소 조임부재(19)의 가압부(19a)가 갭 축소용 테이퍼 블럭(21)을 가압하여 기준 너트부재(17) 방향으로 이동시킨다(도 4에서 점선 화살표 방향).

이때 갭 축소용 테이퍼 블럭(21)의 테이퍼진 면이 기준 너트부재(17)의 테이퍼부(7a)를 따라 이동하면서 제1 플레이트(9)의 하단부 측면을 하측(도 4 기준)방 향으로 이동시킨다(도 4에서 실선 화살표 방향). 따라서 토출구(13a)의 간격은 좁아지게 되는 것이다.

계속해서 작업자가 갭을 확장할 필요가 있는 부분으로 제1 안내홈(9a)과 제2 안내홈(9b)을 따라 갭 조절장치를 이동시킨다. 그리고 갭 축소 조임부재(19)를 풀어 갭 축소용 테이퍼 블럭(21)을 기준 너트부재(17) 반대 방향으로 이동시킨다.

그리고 도 5에 도시하고 있는 바와 같이, 갭 확대용 조임부재(23)를 회전시켜 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)을 기준 너트부재(17) 방향으로 이동시킨다(도 5에서 점선 화살표 방향). 그러면 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)의 테이퍼부(25c)가 제1 플레이트(9)의 저면 일측에 밀착되면서 제1 플레이트(9)의 저면 일부를 위쪽(도 5에서 실선 화살표 방향)으로 밀어낸다. 따라서 토출구(13a)가 확장되는 것이다.

따라서 본 발명의 실시 예인 한 세트의 갭 조절장치로 슬릿 노즐의 어느 위치에서도 토출구의 갭을 확장하거나 축소시킬 수 있다. 그러므로 본 발명의 실시 예의 갭 조절 장치를 이용하여 슬릿 노즐의 길이 방향을 따라 이동시키면서 작업자가 원하는 부분의 토출구의 갭을 확대하거나 축소하여 갭의 균일성을 조절하는 작업을 용이하고 정밀하게 할 수 있다.

도 6은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 슬릿 노즐의 토출구의 갭 조절 장치가 다수로 배치된 상태를 도시하고 있다. 즉, 본 발명은 다수의 갭 조절장치가 슬릿 노즐의 길이 방향을 따라 이동되면서 토출구의 갭을 조절할 수 있다. 이러한 본 발명의 실시 예는 여러 개의 갭 조절장치가 간격이 띄워져 배치되어 슬릿 노즐의 토출구의 갭을 전체 영역에서 조절할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 슬릿 코터의 전체 형상을 개략적으로 도시한 구성도이다.

도 2는 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 슬릿 노즐에 갭 조절 장치가 제공된 상태를 도시한 도면이다.

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ부를 잘라서 본 단면도이다.

도 4는 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 슬릿 노즐의 토출구를 축소시키는 과정을 설명하기 위한 도면이다.

도 5는 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 슬릿 노즐의 토출구를 확장시키는 과정을 설명하기 위한 도면이다.

도 6은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 갭 조절 장치가 간격을 두고 설치되는 예를 도시한 도면이다.

Claims (11)

1. 삭제
2. 제1 플레이트, 상기 제1 플레이트와 결합되는 제2 플레이트로 이루어지며 토출구가 제공된 본체,

   상기 본체의 일측에 배치되며 상기 토출구의 갭을 축소시키는 갭 축소 조절부와 상기 토출구의 갭을 확장시키는 갭 확장 조절부가 하나의 세트로 이루어진 갭 조절장치를 포함하며,

   상기 갭 축소 조절부는

   상기 본체에 제공되는 제1 안내홈에 끼워지며 테이퍼부를 구비한 기준 너트부재,

   상기 기준 너트부재에 나사 결합되는 갭 축소 조임부재,

   상기 갭 축소 조임부재의 외주에 결합되어 상기 갭 축소 조임부재의 가압에 따라 상기 기준 너트부재의 테이퍼부에 밀착되는 갭 축소용 테이퍼 블럭

   을 포함하는 슬릿 노즐.
3. 제1 플레이트, 상기 제1 플레이트와 결합되는 제2 플레이트로 이루어지며 토출구가 제공된 본체,

   상기 본체의 일측에 배치되며 상기 토출구의 갭을 축소시키는 갭 축소 조절부와 상기 토출구의 갭을 확장시키는 갭 확장 조절부가 하나의 세트로 이루어진 갭 조절장치를 포함하며,

   상기 갭 확장 조절부는

   상기 갭 축소 조절부의 갭 축소 조임부재의 외주에 나사 결합되는 갭 확대 조임부재,

   상기 갭 확대 조임부재의 외주에 나사 결합되며 상기 본체에 제공되는 제2 안내홈에 끼워져 상기 토출구의 갭을 확장하는 갭 확대용 테이퍼 블럭,

   을 포함하는 슬릿 노즐.
4. 청구항 2에 있어서,

   상기 제1 안내홈은

   상기 본체의 측면에 길이 방향으로 제공되고, 상기 기준 너트부재가 이탈되는 것을 방지하는 이동 제한턱이 제공되는 슬릿 노즐.
5. 청구항 3에 있어서,

   상기 제2 안내홈은

   상기 본체의 측면에 길이 방향으로 제공되고, 상기 갭 확장용 테이퍼 블럭이 이탈되는 것을 방지하는 또 다른 이동 제한턱이 제공되는 슬릿 노즐.
6. 청구항 2에 있어서,

   상기 기준 너트부재의 테이퍼부는

   상기 갭 축소 조임부재의 길이 방향을 향하여 경사지게 이루어지는 슬릿 노 즐.
7. 청구항 2에 있어서,

   상기 갭 축소 조임부재는

   상기 갭 축소용 테이퍼 블럭을 가압할 수 있는 가압부가 제공되는 슬릿 노즐.
8. 청구항 3에 있어서,

   상기 갭 확대 조임부재는

   상기 갭 확대용 테이퍼 블럭을 가압할 수 있도록 또 다른 가압부가 제공되는 슬릿 노즐.
9. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,

   상기 갭 축소 조임부재는

   그 외주면에 상기 갭 확대 조임부재의 이동을 제한하는 록킹부재가 제공되는 슬릿 노즐.
10. 청구항 3에 있어서,

    상기 갭 확대용 테이퍼 블럭은

    상기 갭 확대 조임부재의 외주에 결합지는 결합부,

    상기 결합부에서 연장되며 상기 제2 안내홈에 끼워져 길이 방향을 따라 이동하는 안내부,

    상기 결합부에서 연장되어 본체의 저면에 제공된 테이퍼부와 밀착되는 또 다른 테이퍼부,

    를 포함하는 슬릿 노즐.
11. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,

    상기 갭 조절장치는

    상기 본체의 길이 방향으로 이동되거나 또는 복수로 설치되는 슬릿 노즐.

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