KR100987184B1 - 슬릿 노즐 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 삭제
- 제1 플레이트, 상기 제1 플레이트와 결합되는 제2 플레이트로 이루어지며 토출구가 제공된 본체,상기 본체의 일측에 배치되며 상기 토출구의 갭을 축소시키는 갭 축소 조절부와 상기 토출구의 갭을 확장시키는 갭 확장 조절부가 하나의 세트로 이루어진 갭 조절장치를 포함하며,상기 갭 축소 조절부는상기 본체에 제공되는 제1 안내홈에 끼워지며 테이퍼부를 구비한 기준 너트부재,상기 기준 너트부재에 나사 결합되는 갭 축소 조임부재,상기 갭 축소 조임부재의 외주에 결합되어 상기 갭 축소 조임부재의 가압에 따라 상기 기준 너트부재의 테이퍼부에 밀착되는 갭 축소용 테이퍼 블럭을 포함하는 슬릿 노즐.
- 제1 플레이트, 상기 제1 플레이트와 결합되는 제2 플레이트로 이루어지며 토출구가 제공된 본체,상기 본체의 일측에 배치되며 상기 토출구의 갭을 축소시키는 갭 축소 조절부와 상기 토출구의 갭을 확장시키는 갭 확장 조절부가 하나의 세트로 이루어진 갭 조절장치를 포함하며,상기 갭 확장 조절부는상기 갭 축소 조절부의 갭 축소 조임부재의 외주에 나사 결합되는 갭 확대 조임부재,상기 갭 확대 조임부재의 외주에 나사 결합되며 상기 본체에 제공되는 제2 안내홈에 끼워져 상기 토출구의 갭을 확장하는 갭 확대용 테이퍼 블럭,을 포함하는 슬릿 노즐.
- 청구항 2에 있어서,상기 제1 안내홈은상기 본체의 측면에 길이 방향으로 제공되고, 상기 기준 너트부재가 이탈되는 것을 방지하는 이동 제한턱이 제공되는 슬릿 노즐.
- 청구항 3에 있어서,상기 제2 안내홈은상기 본체의 측면에 길이 방향으로 제공되고, 상기 갭 확장용 테이퍼 블럭이 이탈되는 것을 방지하는 또 다른 이동 제한턱이 제공되는 슬릿 노즐.
- 청구항 2에 있어서,상기 기준 너트부재의 테이퍼부는상기 갭 축소 조임부재의 길이 방향을 향하여 경사지게 이루어지는 슬릿 노 즐.
- 청구항 2에 있어서,상기 갭 축소 조임부재는상기 갭 축소용 테이퍼 블럭을 가압할 수 있는 가압부가 제공되는 슬릿 노즐.
- 청구항 3에 있어서,상기 갭 확대 조임부재는상기 갭 확대용 테이퍼 블럭을 가압할 수 있도록 또 다른 가압부가 제공되는 슬릿 노즐.
- 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,상기 갭 축소 조임부재는그 외주면에 상기 갭 확대 조임부재의 이동을 제한하는 록킹부재가 제공되는 슬릿 노즐.
- 청구항 3에 있어서,상기 갭 확대용 테이퍼 블럭은상기 갭 확대 조임부재의 외주에 결합지는 결합부,상기 결합부에서 연장되며 상기 제2 안내홈에 끼워져 길이 방향을 따라 이동하는 안내부,상기 결합부에서 연장되어 본체의 저면에 제공된 테이퍼부와 밀착되는 또 다른 테이퍼부,를 포함하는 슬릿 노즐.
- 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,상기 갭 조절장치는상기 본체의 길이 방향으로 이동되거나 또는 복수로 설치되는 슬릿 노즐.
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EP4371672A1 (en) * | 2022-07-29 | 2024-05-22 | LG Energy Solution, Ltd. | Slot die coater |
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Patent Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JP2006346649A (ja) | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Toray Eng Co Ltd | 塗工装置 |
KR100756563B1 (ko) | 2006-08-09 | 2007-09-07 | 주식회사 디엠에스 | 슬릿형 코팅장치 |
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