KR20230000430A - 슬릿 노즐, 슬릿 노즐의 조정 방법 및 기판 처리 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 슬릿형상의 토출구를 갖는 슬릿 노즐 및 이를 구비한 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 장치에 있어서, 토출구의 개구 치수의 조정 허용도를 높여, 슬릿 노즐을 장기 사용 가능하게 하는 기술을 제공한다.
[해결 수단] 이 발명은, 슬릿 노즐의 제2 본체부에 부착 가능한 조정 본체부와, 조정 본체부로부터 토출구 측으로 돌출 설치된 돌출부를 갖고, 조정 본체부의 제2 본체부로의 부착에 의해, 돌출부가, 제2 본체부에 대해 슬릿 노즐의 제1 본체부의 반대측에서, 대향 방향에 있어서 제2 갭을 사이에 두고 제2 본체부와 대향하는 블록체와, 제2 갭의 감소에 의해 토출구의 근방에 있어서 제2 본체부를 제1 본체부로부터 이격시켜 개구 치수를 넓히는 광대(廣大) 동작과, 제2 갭의 증대에 의해 토출구의 근방에 있어서 제2 본체부를 제1 본체부에 근접시켜 개구 치수를 좁히는 협소 동작 중 적어도 한쪽을 실행시켜 개구 치수를 조정하는 갭 조정부를 구비하고 있다.

Description

슬릿 노즐, 슬릿 노즐의 조정 방법 및 기판 처리 장치{SLIT NOZZLE, ADJUSTING METHOD FOR SLIT NOZZLE AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

이 발명은, 슬릿형상의 토출구를 갖는 슬릿 노즐, 당해 슬릿 노즐의 조정 방법 및 당해 슬릿 노즐을 이용하여 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 또한, 상기 기판에는, 반도체 기판, 포토마스크용 기판, 액정 표시용 기판, 유기 EL 표시용 기판, 플라즈마 표시용 기판, FED(Field Emission Display)용 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판 등이 포함된다.

반도체 장치나 액정 표시 장치 등의 전자 디바이스 등의 제조 공정에서는, 기판의 표면에 처리액을 공급하고, 당해 처리액을 기판에 도포하는 기판 처리 장치가 이용되고 있다. 기판 처리 장치는, 기판을 부상(浮上)시킨 상태에서 당해 기판을 반송하면서 처리액을 슬릿 노즐에 송급(送給)하고 슬릿 노즐의 토출구로부터 기판의 표면에 토출하여 기판의 거의 전체에 처리액을 도포한다. 또, 다른 기판 처리 장치는, 스테이지 상에서 기판을 흡착 유지하면서, 슬릿 노즐의 토출구로부터 기판의 표면을 향해 토출한 상태에서 슬릿 노즐을 기판에 대해 상대 이동시켜 기판의 거의 전체에 처리액을 도포한다.

최근 제품의 고품질화에 수반하여, 기판 처리 장치에 의해 도포되는 처리액의 막두께의 균일성을 높이는 것이 중요해지고 있다. 이 목적을 위해서, 슬릿형상의 토출구에 있어서의 개구 치수를, 슬릿의 길이 방향을 따른 위치마다 개별적으로 조정하는 것을 가능하게 하기 위한 구성이 제안되고 있다. 예를 들면 일본국 특허공개 2021-45720호 공보에는, 차동(差動) 나사 등의 조정 나사가 복수 개, 토출구의 길이 방향을 따라 배열되어 있다. 그리고, 각 조정 나사의 회전에 따라 제1 립부 및 제2 립부가 서로 접근 및 이격 가능하게 되어 있다. 이에 의해, 세밀한 개구 치수의 조정이 가능하게 되어 있다.

그러나, 상기 조정 기구는 슬릿 노즐의 제조 단계에서 장착되어 있기 때문에, 개구 치수의 조정 범위는 슬릿 노즐의 노즐 본체의 구성에 의존한다. 따라서, 슬릿 노즐의 제조 후에 있어서, 상기 조정 범위를 넘어 슬릿 노즐의 개구 치수를 조정하고 싶다고 해도, 그 요망에 대응하는 것은 어려워, 슬릿 노즐을 다시 만들 필요가 있었다.

또, 전자 디바이스의 미세화나 재료의 효율적 이용 등의 견지로부터, 도포의 균일성에 관하여 지금까지 이상으로 높은 수준이 요구되도록 되어와 있다. 이 때문에, 토출구의 길이 방향에 걸치는 전역에 있어서, 토출량을 세밀하게 조정하는 것이 필요해지고 있다. 그러나, 상기 종래 기술에서는, 조정 나사를 단위 회전량(예를 들면 1회전)만큼 회전시킴으로써 조정되는 범위, 이른바 조정의 분해능은 고정되어 있다. 즉, 개구 치수의 조정 정밀도는 제조 단계에서 정해져 있다. 그 때문에, 슬릿 노즐의 제조 후에 있어서, 제조 단계에서 일의적으로 정해져 있는 정밀도를 넘어 개구 치수를 조정하는 것은 곤란하여, 상기 요망에 대응할 수 없는 경우가 있었다.

이들과 같이, 종래의 슬릿 노즐 및 이를 구비한 기판 처리 장치에서는, 토출구의 개구 치수를 조정할 수 있는 범위나 정밀도 등이 제한되어 있었다. 그 결과, 슬릿 노즐의 사용 가능 범위가 좁아, 이 점이 슬릿 노즐의 장기 사용을 저해하는 요인의 하나가 되고 있었다.

이 발명은 상기 과제를 감안한 것이며, 슬릿형상의 토출구를 갖는 슬릿 노즐 및 이를 구비한 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 장치에 있어서, 토출구의 개구 치수의 조정 허용도를 높여, 슬릿 노즐을 장기 사용 가능하게 하는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제1 양태는, 슬릿 노즐로서, 제1 본체부와 제2 본체부가 제1 갭을 사이에 두고 서로 대향함으로써, 슬릿형상으로 개구되는 토출구를 형성하는 노즐 본체와, 제1 본체부 및 제2 본체부의 대향 방향으로 제2 본체부를 변위시켜 토출구의 개구 치수를 조정하는 조정 기구를 구비하고, 조정 기구는, 제2 본체부에 부착 가능한 조정 본체부와, 조정 본체부로부터 토출구 측으로 돌출 설치된 돌출부를 갖고, 조정 본체부의 제2 본체부로의 부착에 의해, 돌출부가, 제2 본체부에 대해 제1 본체부의 반대측에서, 대향 방향에 있어서 제2 갭을 사이에 두고 제2 본체부와 대향하는 블록체와, 제2 갭의 감소에 의해 토출구의 근방에 있어서 제2 본체부를 제1 본체부로부터 이격시켜 개구 치수를 넓히는 광대(廣大) 동작과, 제2 갭의 증대에 의해 토출구의 근방에 있어서 제2 본체부를 제1 본체부에 근접시켜 개구 치수를 좁히는 협소 동작 중 적어도 한쪽을 실행시켜 개구 치수를 조정하는 갭 조정부를 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명의 제2 양태는, 제1 본체부와 제2 본체부를 제1 갭을 사이에 두고 서로 대향시킴으로써 슬릿형상으로 개구되는 토출구의 개구 치수를 조정하는 슬릿 노즐의 조정 방법으로서, 제2 본체부에 부착 가능한 조정 본체부와, 조정 본체부로부터 토출구 측으로 돌출 설치된 돌출부를 갖는, 블록체를 준비하는 제1 공정과, 돌출부가, 제2 본체부에 대해 제1 본체부의 반대측에서, 제1 본체부 및 제2 본체부의 대향 방향에 있어서 제2 본체부로부터 제2 갭을 사이에 두고 대향하도록, 블록체의 조정 본체부를 제2 본체부에 부착하는 제2 공정과, 제2 공정 후에, 제2 갭의 감소에 의해 토출구의 근방에 있어서 제2 본체부를 제1 본체부로부터 이격시켜 개구 치수를 넓히는 광대 동작과, 제2 갭의 증대에 의해 토출구의 근방에 있어서 제2 본체부를 제1 본체부에 근접시켜 개구 치수를 좁히는 협소 동작 중 적어도 한쪽을 실행시켜 개구 치수를 조정하는 제3 공정을 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명의 제3 양태는, 기판 처리 장치로서, 상기 슬릿 노즐과, 슬릿 노즐의 토출구와 대향시켜 기판을 배치함과 더불어, 슬릿 노즐과 기판을 대향 방향으로 상대 이동시키는 상대 이동 기구와, 슬릿 노즐에 처리액을 공급하는 처리액 공급 기구를 구비하고, 토출구로부터 토출한 처리액을 기판의 표면에 도포하는 것을 특징으로 하고 있다.

이상과 같이, 본 발명에서는, 제1 본체부와 제2 본체부가 제1 갭을 사이에 두고 서로 대향함으로써, 슬릿형상으로 개구되는 토출구가 형성되어 있다. 토출구의 개구 치수를 조정할 때에는, 제2 본체부에 블록체가 장착된다. 보다 상세하게는, 제2 갭을 사이에 두고 돌출부가 제2 본체부와 대향하도록, 제2 갭에 대해 조정 본체부가 부착된다. 그 후에, 제2 갭의 감소나 증대에 의해, 토출구의 근방에 있어서 제2 본체부가 제1 본체부로부터 이격 또는 근접하여 개구 치수가 조정된다. 이와 같이, 노즐 본체 이외의 부품(블록체)을 부착하고, 개구 치수를 조정하고 있다. 따라서, 블록체에 대응한 범위에서 개구 치수를 조정할 수 있고, 조정 허용도를 높일 수 있다. 그 결과, 슬릿 노즐을 장기 사용하는 것이 가능하게 되어 있다.

도 1은, 본 발명에 따른 슬릿 노즐을 장비(裝備)하는 기판 처리 장치의 일실시 형태인 도포 장치의 전체 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2a는, 도 1의 도포 장치에서 사용되는 슬릿 노즐의 제1 실시 형태의 주요 구성을 모식적으로 나타내는 분해 조립도이다.
도 2b는, 슬릿 노즐을 연직 하방에서 본 도면이다.
도 2c는, 도 2b 중의 C-C선 단면도이다.
도 3은, 제1 실시 형태에 있어서 외부 장착 방식의 조정 기구를 채용한 것에 의한 작용 효과를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는, 본 발명에 따른 슬릿 노즐의 제2 실시 형태의 일부를 나타내는 도면이다.
도 5는, 본 발명에 따른 슬릿 노즐의 제3 실시 형태의 일부를 나타내는 도면이다.
도 6은, 본 발명에 따른 슬릿 노즐의 제4 실시 형태의 일부를 나타내는 도면이다.
도 7a는, 도 1의 도포 장치에서 사용되는 슬릿 노즐의 제5 실시 형태의 주요 구성을 모식적으로 나타내는 분해 조립도이다.
도 7b는, 실시 형태에 따른 슬릿 노즐을 연직 하방에서 본 도면이다.
도 7c는, 도 7b 중의 C-C선 단면도이다.
도 8a는, 도 1의 도포 장치에서 사용되는 슬릿 노즐의 제6 실시 형태를 연직 하방에서 본 도면이다.
도 8b는, 도 8a 중의 B-B선 단면도이다.
도 8c는, 도 8a 중의 C-C선 단면도이다.
도 9는, 본 발명에 따른 슬릿 노즐의 제7 실시 형태의 일부를 나타내는 도면이다.
도 10a는, 본 발명에 따른 슬릿 노즐의 제8 실시 형태의 일부를 나타내는 도면이다.
도 10b는, 제8 실시 형태의 부분 단면도이다.
도 11은, 본 발명에 따른 슬릿 노즐의 제9 실시 형태를 나타내는 도면이다.

＜도포 장치의 전체 구성＞

도 1은, 본 발명에 따른 슬릿 노즐을 장비하는 기판 처리 장치의 일실시 형태인 도포 장치의 전체 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다. 이 도포 장치(1)는, 도 1의 좌측으로부터 우측을 향해 수평 자세로 반송되는 기판(S)의 표면(Sf)에 도포액을 도포하는 슬릿 코터이다. 예를 들면, 유리 기판이나 반도체 기판 등 각종 기판(S)의 표면(Sf)에, 레지스트막의 재료를 포함하는 도포액, 전극 재료를 포함하는 도포액 등, 각종 처리액을 도포하여 균일한 도포막을 형성할 목적으로, 이 도포 장치(1)를 적합하게 이용할 수 있다.

또한, 이하의 각 도면에 있어서 장치 각 부의 배치 관계를 명확하게 하기 위해서, 도 1에 나타내는 바와 같이 오른손 좌표계 XYZ 직교 좌표를 설정한다. 기판(S)의 반송 방향을 「X방향」이라고 하고, 도 1의 좌측으로부터 우측을 향하는 수평 방향을 「+X방향」이라고 칭하고, 역방향을 「-X방향」이라고 칭한다. 또, X방향과 직교하는 수평 방향 Y 중, 장치의 정면측(도면에 있어서 앞쪽)을 「-Y방향」이라고 칭함과 더불어, 장치의 배면측을 「+Y방향」이라고 칭한다. 또한, 연직 방향 Z에 있어서의 상방향 및 하방향을 각각 「+Z방향」 및 「-Z방향」이라고 칭한다.

우선 도 1을 이용하여 이 도포 장치(1)의 구성 및 동작의 개요를 설명하고, 그 후에 본 발명의 기술적 특징을 구비하는 슬릿 노즐의 상세한 구조 및 개구 치수의 조정 동작에 대해 설명한다. 도포 장치(1)에서는, 기판(S)의 반송 방향(Dt), 즉 (+X방향)을 따라, 입력 컨베이어(100), 입력 이재부(移載部)(2), 부상 스테이지부(3), 출력 이재부(4), 출력 컨베이어(110)가 이 순서로 근접하여 배치되어 있고, 이하에 상세하게 설명하는 바와 같이, 이들에 의해 대략 수평 방향으로 연장되는 기판(S)의 반송 경로가 형성되어 있다.

처리 대상인 기판(S)은 도 1의 좌측으로부터 입력 컨베이어(100)로 반입된다. 입력 컨베이어(100)는, 롤러 컨베이어(101)와, 이를 회전 구동하는 회전 구동 기구(102)를 구비하고 있고, 롤러 컨베이어(101)의 회전에 의해 기판(S)은 수평 자세로 하류측, 즉 (+X)방향으로 반송된다. 입력 이재부(2)는, 롤러 컨베이어(21)와, 이를 회전 구동하는 기능 및 승강시키는 기능을 갖는 회전·승강 구동 기구(22)를 구비하고 있다. 롤러 컨베이어(21)가 회전함으로써, 기판(S)은 추가로 (+X)방향으로 반송된다. 또, 롤러 컨베이어(21)가 승강함으로써 기판(S)의 연직 방향 위치가 변경된다. 이와 같이 구성된 입력 이재부(2)에 의해, 기판(S)은 입력 컨베이어(100)로부터 부상 스테이지부(3)로 이재된다.

부상 스테이지부(3)는, 기판의 반송 방향(Dt)을 따라 3분할된 평판형상의 스테이지를 구비한다. 즉, 부상 스테이지부(3)는 입구 부상 스테이지(31), 도포 스테이지(32) 및 출구 부상 스테이지(33)를 구비하고 있고, 이들 각 스테이지의 표면은 서로 동일 평면의 일부를 이루고 있다. 입구 부상 스테이지(31) 및 출구 부상 스테이지(33) 각각의 표면에는 부상 제어 기구(35)로부터 공급되는 압축 공기를 분출하는 분출 구멍이 매트릭스형상으로 다수 형성되어 있고, 분출되는 기류로부터 부여되는 부력에 의해 기판(S)이 부상한다. 이렇게 하여 기판(S)의 이면(Sb)이 스테이지 표면으로부터 이격한 상태에서 수평 자세로 지지된다. 기판(S)의 이면(Sb)과 스테이지 표면의 거리, 즉 부상량은, 예를 들면 10마이크로 미터~500마이크로 미터로 할 수 있다.

한편, 도포 스테이지(32)의 표면에서는, 압축 공기를 분출하는 분출 구멍과, 기판(S)의 이면(Sb)과 스테이지 표면 사이의 공기를 흡인하는 흡인 구멍이 번갈아 배치되어 있다. 부상 제어 기구(35)가 분출 구멍으로부터의 압축 공기의 분출량과 흡인 구멍으로부터의 흡인량을 제어함으로써, 기판(S)의 이면(Sb)과 도포 스테이지(32)의 표면의 거리가 정밀하게 제어된다. 이에 의해, 도포 스테이지(32)의 상방을 통과하는 기판(S)의 표면(Sf)의 연직 방향 위치가 규정값으로 제어된다. 부상 스테이지부(3)의 구체적 구성으로서는, 예를 들면 일본국 특허 제5346643호에 기재된 것을 적용 가능하다. 또한, 도포 스테이지(32)에서의 부상량에 대해서는 뒤에서 상세하게 설명하는 센서(61, 62)에 의한 검출 결과에 의거하여 제어 유닛(9)에 의해 산출되고, 또 기류 제어에 의해 고정밀도로 조정 가능하게 되어 있다.

또한, 입구 부상 스테이지(31)에는, 도면에는 나타내어져 있지 않은 리프트 핀이 배치되어 있고, 부상 스테이지부(3)에는 이 리프트 핀을 승강시키는 리프트 핀 구동 기구(34)가 설치되어 있다.

입력 이재부(2)를 통해 부상 스테이지부(3)에 반입되는 기판(S)은, 롤러 컨베이어(21)의 회전에 의해 (+X)방향으로의 추진력이 부여되어, 입구 부상 스테이지(31) 상에 반송된다. 입구 부상 스테이지(31), 도포 스테이지(32) 및 출구 부상 스테이지(33)는 기판(S)을 부상 상태로 지지하는데, 기판(S)을 수평 방향으로 이동시키는 기능을 갖고 있지 않다. 부상 스테이지부(3)에 있어서의 기판(S)의 반송은, 입구 부상 스테이지(31), 도포 스테이지(32) 및 출구 부상 스테이지(33)의 하방에 배치된 기판 반송부(5)에 의해 행해진다.

기판 반송부(5)는, 기판(S)의 하면 주연부에 부분적으로 맞닿음으로써 기판(S)을 하방으로부터 지지하는 척 기구(51)와, 척 기구(51) 상단의 흡착 부재에 설치된 흡착 패드(도시 생략)에 부압을 부여하여 기판(S)을 흡착 유지시키는 기능 및 척 기구(51)를 X방향으로 왕복 주행시키는 기능을 갖는 흡착·주행 제어 기구(52)를 구비하고 있다. 척 기구(51)가 기판(S)을 유지한 상태에서는, 기판(S)의 이면(Sb)은 부상 스테이지부(3)의 각 스테이지의 표면보다 높은 위치에 위치하고 있다. 따라서, 기판(S)은, 척 기구(51)에 의해 주연부가 흡착 유지되면서, 부상 스테이지부(3)로부터 부여되는 부력에 의해 전체적으로 수평 자세를 유지한다. 또한, 척 기구(51)에 의해 기판(S)의 이면(Sb)을 부분적으로 유지한 단계에서 기판(S)의 표면의 연직 방향 위치를 검출하기 위해서 판두께 측정용의 센서(61)가 롤러 컨베이어(21)의 근방에 배치되어 있다. 이 센서(61)의 바로 아래 위치에 기판(S)을 유지하고 있지 않은 상태의 척(도시 생략)이 위치함으로써, 센서(61)는 흡착 부재의 표면, 즉 흡착면의 연직 방향 위치를 검출 가능하게 되어 있다.

입력 이재부(2)로부터 부상 스테이지부(3)로 반입된 기판(S)을 척 기구(51)가 유지하고, 이 상태에서 척 기구(51)가 (+X)방향으로 이동함으로써, 기판(S)이 입구 부상 스테이지(31)의 상방으로부터 도포 스테이지(32)의 상방을 경유하여 출구 부상 스테이지(33)의 상방으로 반송된다. 반송된 기판(S)은, 출구 부상 스테이지(33)의 (+X)측에 배치된 출력 이재부(4)에 수도(受渡)된다.

출력 이재부(4)는, 롤러 컨베이어(41)와, 이를 회전 구동하는 기능 및 승강시키는 기능을 갖는 회전·승강 구동 기구(42)를 구비하고 있다. 롤러 컨베이어(41)가 회전함으로써, 기판(S)에 (+X)방향으로의 추진력이 부여되고, 기판(S)은 반송 방향(Dt)을 따라 추가로 반송된다. 또, 롤러 컨베이어(41)가 승강함으로써 기판(S)의 연직 방향 위치가 변경된다. 출력 이재부(4)에 의해, 기판(S)은 출구 부상 스테이지(33)의 상방으로부터 출력 컨베이어(110)로 이재된다.

출력 컨베이어(110)는, 롤러 컨베이어(111)와, 이를 회전 구동하는 회전 구동 기구(112)를 구비하고 있고, 롤러 컨베이어(111)의 회전에 의해 기판(S)은 추가로 (+X)방향으로 반송되며, 최종적으로 도포 장치(1) 외로 배출된다. 또한, 입력 컨베이어(100) 및 출력 컨베이어(110)는 도포 장치(1)의 구성의 일부로서 설치되어도 되는데, 도포 장치(1)와는 별체의 것이어도 된다. 또 예를 들면, 도포 장치(1)의 상류측에 설치되는 별도 유닛의 기판 배출 기구가 입력 컨베이어(100)로서 이용되어도 된다. 또, 도포 장치(1)의 하류측에 설치되는 별도 유닛의 기판 받아들임 기구가 출력 컨베이어(110)로서 이용되어도 된다.

이와 같이 하여 반송되는 기판(S)의 반송 경로 상에, 기판(S)의 표면(Sf)에 도포액을 도포하기 위한 도포 기구(7)가 배치된다. 도포 기구(7)는 슬릿 노즐(71)을 갖고 있다. 또, 도시를 생략하지만, 슬릿 노즐(71)에는 위치 결정 기구가 접속되어 있고, 위치 결정 기구에 의해 슬릿 노즐(71)은 도포 스테이지(32)의 상방의 도포 위치(도 1 중에서 실선으로 나타내어지는 위치)나 메인터넌스 위치에 위치 결정된다. 또한, 슬릿 노즐(71)에는, 본 발명의 「처리액 공급 기구」의 일례에 상당하는 도포액 공급 기구(8)가 접속되어 있고, 도포액 공급 기구(8)로부터 도포액이 공급되고, 노즐 하부에 하향으로 개구되는 토출구로부터 도포액이 토출된다. 본 실시 형태에서는, 기판(S)은, 본 발명의 「상대 이동 기구」의 일례에 상당하는 흡착·주행 제어 기구(52)에 의해 슬릿 노즐(71)에 대해 상대적으로 이동되고, 도포액의 도포가 실행된다. 또한, 슬릿 노즐(71)의 실시 형태에 대해서는 뒤에서 상세하게 설명한다.

슬릿 노즐(71)에는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판(S)의 부상 높이를 비접촉으로 검지하기 위한 부상 높이 검출 센서(62)가 설치되어 있다. 이 부상 높이 검출 센서(62)에 의해, 부상한 기판(S)과, 도포 스테이지(32)의 스테이지면의 표면의 이격 거리를 측정하는 것이 가능하며, 그 검출값에 따라, 제어 유닛(9)을 통해, 슬릿 노즐(71)이 하강하는 위치를 조정할 수 있다. 또한, 부상 높이 검출 센서(62)로서는, 광학식 센서나, 초음파식 센서 등을 이용할 수 있다.

슬릿 노즐(71)에 대해 소정의 메인터넌스를 행하기 위해서, 도 1에 나타내는 바와 같이, 도포 기구(7)에는 노즐 세정 대기 유닛(79)이 설치되어 있다. 노즐 세정 대기 유닛(79)은, 주로 롤러(791), 세정부(792), 롤러 배트(793) 등을 갖고 있다. 그리고, 슬릿 노즐(71)이 메인터넌스 위치에 위치 결정된 상태에서, 이들에 의해 노즐 세정 및 액 저류 형성을 행하고, 슬릿 노즐(71)의 토출구를 다음의 도포 처리에 적합한 상태로 조정한다.

이 외에, 도포 장치(1)에는, 장치 각 부의 동작을 제어하기 위한 제어 유닛(9)이 설치되어 있다. 제어 유닛(9)은, 소정의 프로그램이나 각종 레시피 등을 기억하는 기억부, 당해 프로그램을 실행함으로써 장치 각 부로 하여금 소정의 동작을 실행하게 하는 CPU 등의 연산 처리부, 액정 패널 등의 표시부 및 키보드 등의 입력부를 갖고 있다.

이하, 슬릿 노즐(71)의 구체적인 구성예 및 토출구의 개구 치수의 조정 방법 등에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 여기서 말하는 개구 치수의 조정이란, 개구 치수가 일정하거나 혹은 미리 정해진 규정값이 되는 것을 목표로 하는 조정이 아닌, 토출의 결과로서 기판(S)의 표면에 형성되는 도포막의 두께를 균일하게 하는 것을 목표로 하는 조정이다.

＜제1 실시 형태＞

도 2a는 도 1의 도포 장치에서 사용되는 슬릿 노즐의 제1 실시 형태의 주요 구성을 모식적으로 나타내는 분해 조립도이고, 도 2b는 당해 슬릿 노즐을 연직 하방에서 본 도면이며, 도 2c는 도 2b 중의 C-C선 단면도이다. 또한, 이해 용이의 목적으로, 필요에 따라 각 부의 치수나 수를 과장 또는 간략화하여 그리고 있다. 이 점에 대해서는, 이하의 도면에 있어서도 동일하다.

슬릿 노즐(71)의 제1 실시 형태인 슬릿 노즐(71A)에서는, 노즐 사용 개시 전 및 사용 개시 후를 불문하고, 임의의 타이밍에 조정 기구가 노즐 본체에 장착되어, 오퍼레이터 또는 사용자(이하, 단순히 「오퍼레이터」라고 칭한다)에 의한 개구 치수의 부분적인 광대 조정 동작(이하 「광대 동작」이라고 한다)이 가능하게 되어 있다. 이하, 도 2a~도 2c를 참조하면서 슬릿 노즐(71A)의 구성 및 개구 치수의 광대 동작에 대해 설명한다.

슬릿 노즐(71)은, 도 2a에 나타내는 바와 같이, 제1 본체부(711), 제2 본체부(712), 제1 측판(713) 및 제2 측판(714)을 갖고 있다. 일점 쇄선 화살표로 나타내는 바와 같이, 제1 본체부(711)와 제2 본체부(712)가 X방향(본 발명의 「대향 방향」에 상당)으로 대향하는 상태에서 결합되고, 그 결합체의 (-Y)측단면에 제1 측판(713)이, 또 (+Y)측단면에 제2 측판(714)이 각각 결합되어 노즐 본체(710)가 구성된다. 이 노즐 본체(710)에 대해 조정 기구(720)가 부착 가능하게 되어 있다.

노즐 본체(710)의 각 부재는, 예를 들면 스테인리스강이나 알루미늄 등의 금속 블록으로부터 깎아내어진 것이다. 또, 각 부재는 예를 들면 볼트와 같은 적절한 고정 결합 부재로 고정 결합됨으로써 서로 결합되는데, 그러한 결합 구조는 공지이다. 이에, 도면을 보기 쉽게 하기 위해서, 여기에서는 고정 볼트나 이를 삽입 통과시키기 위한 나사 구멍 등, 고정 결합에 관련된 구성의 기재를 생략하는 것으로 한다. 한편, 조정 기구(720)를 부착하기 위한 나사 구멍이나 고정 볼트, 그리고 조정 기구(720)의 구성 요소인 조정용 볼트 등에 대해서는, 상세하게 도시 설명한다. 이 점은 후술하는 다른 실시 형태에 있어서도 동일하게 한다.

제1 본체부(711)의 제2 본체부(712)와 대향하는 측의 주면, 즉 (+X)측의 주면 중 하반분은, YZ 평면과 평행한 평탄면(711a)이 되도록 마무리되어 있다. 이하에서는, 이 평탄면(711a)을 「제1 평탄면」이라고 칭한다. 제1 본체부(711)의 제2 본체부(712)와 대향하는 측의 주면 중 상반분도, YZ 평면과 평행한 평탄면(711b)이 되도록 마무리되어 있다. 또, 제1 본체부(711)의 하부는 하향으로 돌출하여 제1 립부(711c)를 형성하고 있다. 평탄면(711a, 711b)은, Y방향을 길이 방향으로 함과 더불어 X방향을 깊이 방향으로 하는 대략 반원기둥 형상의 홈(711d)에 의해 구획되어 있다. 이 홈(711d)은, 도포액의 유로에 있어서의 매니폴드로서 기능하는 것이다.

한편, 제2 본체부(712)의 제1 본체부(711)와 대향하는 측의 주면, 즉 (-X)측의 주면은, YZ 평면과 평행한 단일한 평탄면(712a)이 되고 있다. 이하에서는, 이 평탄면(712a)을 「제2 평탄면」이라고 칭한다. 또, 제2 본체부(712)의 하부는 하향으로 돌출하여 제2 립부(712c)를 형성하고 있다. 평탄면(711b)과, 제2 평탄면(712a) 중 상반분이 밀착하도록, 제1 본체부(711)와 제2 본체부(712)가 결합된다.

제1 평탄면(711a)은, 평탄면(711b)으로부터 약간 (-X)측으로 후퇴하고 있다. 이 때문에, 제1 본체부(711)와 제2 본체부(712)가 결합된 상태에서는, 제1 평탄면(711a)과 제2 평탄면(712a)은, 미소한 제1 갭(G1)을 사이에 두고 평행하게 대향하게 된다. 이와 같이 서로 대향하는 대향면(제1 평탄면(711a), 제2 평탄면(712a)) 사이의 갭 부분이 매니폴드로부터의 도포액의 유로가 되고, 그 하단이 기판(S)의 표면(Sf)을 향해 하향으로 개구되는 토출구(715)로서 기능한다. 토출구(715)는, Y방향을 길이 방향으로 하고, X방향에 있어서의 개구 치수(W)가 미소한 슬릿형상의 개구이다.

제2 본체부(712)에서는, 제2 립부(712c)의 근방에 있어서, 상하 2단으로 나뉘어 나사 구멍열이 형성되어 있다. 상방측의 나사 구멍열에서는, 복수(본 실시 형태에서는, 24개)의 부착용 나사 구멍(712f)이 Y방향으로 열상(列狀)으로 배치되어 있다. 한편, 하방측의 나사 구멍열에서는, 복수(본 실시 형태에서는, 12개)의 조정용 나사 구멍(712g)이 Y방향으로 열상으로 배치되어 있다. 보다 상세하게는, 도 2a에 나타내는 바와 같이, Y방향에 있어서 최상류에 위치하는 조정용 나사 구멍(712g)이, Y방향에 있어서 최상류측에서 서로 인접하는 2개의 부착용 나사 구멍(712f)으로부터 등거리의 하방 위치에 배치되어 있다. 즉, (+X)방향측에서 보면, 상기 부착용 나사 구멍(712f, 712f)과 조정용 나사 구멍(712g)은 각각 역이등변 삼각형의 꼭짓점에 위치하고 있다. 이 역이등변 삼각형 형상의 영역이 다음에 설명하는 조정 기구(720)의 블록체(721)의 부착 영역으로서 기능한다. 또, 부착용 나사 구멍(712f, 712f)과 조정용 나사 구멍(712g)의 조합은, (+Y)방향으로 복수 반복되고, 제2 본체부(712)의 제2 립부(712c)의 근방 부위가 Y방향 전체에 걸쳐 블록체(721)의 부착 영역으로서 기능한다. 즉, 제2 평탄면(712a)의 Y방향 치수를 12로 나눈 길이 단위로, 최대 12개의 블록체(721)가 노즐 본체(710)의 (+X)방향측의 측면에 대해 부착 가능하게 되어 있다.

블록체(721)는, 도 2a 중의 부분 확대도에 나타내는 바와 같이, 조정 본체부(721a)와, 돌출부(721b)를 갖고 있다. 블록체(721)는, 예를 들면 스테인리스강이나 알루미늄 등의 금속 블록으로부터 깎아내어진 것이다. 블록체(721)에서는, 조정 본체부(721a)에 2개의 관통 구멍(721c, 721c)이 X방향으로 관통하여 형성됨과 더불어, 돌출부(721b)에 1개의 관통 구멍(721d)이 X방향으로 관통하여 형성되어 있다. 이들 3개의 관통 구멍(721c, 721c, 721d)은, 블록체(721)의 각 부착 영역에 대응하고 있다. 즉, 관통 구멍(721c, 721c, 721d)은, 각각 역이등변 삼각형 형상의 꼭짓점에 상당하는 위치에 형성되어 있다. 이들 중 조정 본체부(721a)에 형성된 관통 구멍(721c, 721c)은, 각각 부착 영역을 구성하는 2개의 부착용 나사 구멍(712f, 712f)에 대응하고 있다. 이 때문에, 관통 구멍(721c, 721c)이 각각 부착용 나사 구멍(712f, 712f)과 X방향으로 늘어서도록, 조정 본체부(721a)를 위치 결정한 상태에서, 고정 볼트(723, 723)에 의해 블록체(721)를 제2 본체부(712)에 부착할 수 있다. 즉, 고정 볼트(723, 723)가 각각 관통 구멍(721c, 721c)을 통해 제2 본체부(712)에 삽입되고, 부착용 나사 구멍(712f, 712f)에 새겨진 암나사와 결합함으로써, 블록체(721)가 단단히 제2 본체부(712)에 고정된다. 이렇게 하여, 블록체(721)의 조정 본체부(721a)가 노즐 본체(710)에 부착된다.

이 조정 본체부(721a)의 하단부 중 (+X)방향측의 부위에서는, 돌출부(721b)가 토출구(715) 측, 즉 연직 하방(-Z)으로 돌출 설치되어 있다. 이 때문에, 도 2c에 나타내는 바와 같이, 제2 본체부(712)로의 조정 본체부(721a)의 부착에 의해, 돌출부(721b)가 제2 본체부(712)에 대해 제1 본체부(711)의 반대측, 즉 (+X)방향측에서, 대향 방향 X에 있어서 제2 본체부(712)로부터 제2 갭(G2)을 사이에 두고 제2 본체부(712)와 대향한다.

이와 같이 제2 본체부(712)와 대향하는 돌출부(721b)에는, 조정용 관통 구멍(721d)이 X방향으로 관통하여 형성되어 있다. 관통 구멍(721d)은, 도 2a에 나타내는 바와 같이, 부착용의 관통 구멍(721c, 721c)으로부터 등거리의 하방 위치에 배치되어 있다. 즉, (+X)방향측에서 보면, 블록체(721)에 형성된 3개의 관통 구멍(721c, 721c, 721d)도, 부착 영역과 동일 형상(역이등변 삼각형)의 꼭짓점에 위치하고 있다.

돌출부(721b)에 대해, 상기 제2 갭(G2)을 조정함으로써 토출구(715)의 개구 치수(W)를 조정하는 갭 조정부(722)가 장착 가능하게 되어 있다. 이 제1 실시 형태에서는, 상기한 바와 같이, 개구 치수(W)를 부분적으로 광대 조정하기 위해서, 갭 조정부(722)는, 조정 볼트(725)로 구성되는 광대 조정 기구(724)를 갖고 있다.

조정 볼트(725)는, 도 2c에 나타내는 바와 같이, 머리부(725a)와, 머리부(725a)의 좌면(座面)으로부터 대향 방향(-X)으로 연장 설치된 나사부(725b)를 갖고 있다. 나사부(725b)는, 제2 립부(712c)의 근방에서, 제2 본체부(712)의 조정용 나사 구멍(712g)에 결합 가능하게 되어 있다. 예를 들면 도 2a에 나타내는 바와 같이, Y방향으로 연장되는 토출구(715) 중 5개소에서 개구 치수(W)를 현상황보다 광대시킬 필요가 생기면, 다음과 같이 하여 개구 치수(W)의 광대 동작이 오퍼레이터에 의해 실행된다. 또한, 설명의 편의로부터, 개구 치수(W)를 조정하는 개소에 대응하는 부착 영역을 이하 「피조정 영역」이라고 칭한다.

슬릿 노즐(71A)로부터 도포액을 토출한 결과, 기판(S)의 표면에 형성되는 도포막의 두께를 해석한 바, 예를 들면 도 2a에 나타내는 바와 같이 5개의 피조정 영역에서 개구 치수(W)를 광대 조정하는 것이 요망되는 경우가 있다. 즉, 오퍼레이터는, 제2 본체부(712)의 피조정 영역에 형성된 부착용 나사 구멍(712f, 712f)과 관통 구멍(721c, 721c)이 1:1로 대응하도록, 블록체(721)를 배치한다. 그 상태에서, 오퍼레이터는, 고정 볼트(723, 723)를 각각 관통 구멍(721c, 721c)을 통해 제2 본체부(712)에 삽입하고, 부착용 나사 구멍(712f, 712f)에 형성된 암나사와 결합시킨다. 이에 의해, 도 2c에 나타내는 바와 같이, 돌출부(721b)가 제2 갭(G2)을 사이에 두고 제2 본체부(712)와 대향한다. 게다가, 조정용 관통 구멍(721d)과 조정용 나사 구멍(712g)이 X방향으로 정렬된다. 이에, 오퍼레이터는, 돌출부(721b)에 대해 제2 본체부(712)의 반대측(도 2c의 우측)으로부터 조정 볼트(725)를 조정용 관통 구멍(721d)(본 발명의 「광대 설치 부위」의 일례에 상당)에 삽입 통과시켜 나사부(725b)를 제2 본체부(712)의 조정용 나사 구멍(712g)에 삽입한다. 그리고, 머리부(725a)의 좌면에서 돌출부(721b)가 걸린 시점으로부터, 추가로 오퍼레이터가 조정 볼트(725)를 회전시켜 상기 삽입을 진행시키면, 제2 갭(G2)이 감소한다. 보다 구체적으로는, 조정 볼트(725)의 회전량에 따른 거리만큼, 제2 본체부(712) 중 제2 립부(712c)의 근방 부위가 돌출부(721b) 측(도 2c 중의 우측)으로 끌어당겨져 제2 갭(G2)이 감소한다. 그 결과, 제2 립부(712c)가 제1 립부(711c)로부터 (+X)방향으로 멀어져, 개구 치수(W)가 넓어진다(광대 동작).

이상과 같이, 제1 실시 형태에 의하면, 토출구(715)를 구성하는 제1 본체부(711) 및 제2 본체부(712) 이외의 부품(블록체(721))을 외부 장착 방식으로 부착하여, 개구 치수(W)를 조정하고 있다. 따라서, 블록체(721)에 대응한 범위에서 개구 치수(W)를 조정할 수 있고, 조정 허용도를 높일 수 있다. 그 결과, 슬릿 노즐(71A)의 장기 사용이 가능하게 되어 있다.

또, 개구 치수(W)를 조정하는 조정 기구를 외부 장착하고 있기 때문에, 다음과 같은 작용 효과도 얻어진다. 이 점에 대해, 도 3을 참조하면서 설명한다.

도 3은, 제1 실시 형태에 있어서 외부 장착 방식의 조정 기구를 채용한 것에 의한 작용 효과를 설명하기 위한 도면이다. 동 도면 중의 부호 ΔW는, 조정 볼트(725)의 삽입에 수반하는 개구 치수(W)의 변화량을 나타내고 있다. 이 변화량 ΔW는 블록체(721)의 단면 구조에 의존하고 있다. 즉, 블록체(721)의 선택에 따라 변화량 ΔW를 다르게 할 수 있어, 상기한 바와 같이 블록체(721)에 대응한 범위에서 개구 치수(W)를 조정 가능하게 되어 있다. 이 점에 대해, 더욱 상세하게 설명한다.

블록체(721)는 조정 본체부(721a)와 돌출부(721b)로 구성되어 있다. 그리고, 조정 볼트(725)의 삽입 시에는, 도 2c에 나타내는 바와 같이, 제2 본체부(712)의 토출구 근방 부위와 돌출부(721b)가 서로 근접하여 제2 갭(G2)이 감소한다. 그 갭 감소 특성은 돌출부(721b)의 굽힘 강성에 따라 변화한다. 즉, 블록체(721)의 단면 구조에 따라 갭 감소 특성이 상이하고, 토출구(715)의 개구 치수(W)를 조정할 수 있는 범위도 상이하다. 따라서, 예를 들면 도 3에 나타내는 바와 같이, 서로 단면 구조가 상이한 3종류의 블록체(721)를 준비해 두고, 개구 치수(W)의 조정 범위에 따라 적절한 블록체(721)를 선택할 수 있다.

예를 들면, 도 3 중의 하단에 나타내는 바와 같이 2차 단면 모멘트 Ic가 가장 크며, 높은 굽힘 강성을 갖는 블록체(721)를 이용하면, 그 밖의 블록체(721)를 이용하는 경우보다 돌출부(721b)가 구부러지기 어려워, 제2 본체부(712)의 토출구 근방 부위가 커진다. 따라서, 개구 치수(W)를 크게 조정하는, 예를 들면 +20%의 범위에서 조정하고 싶은 경우에는, 돌출부(721b)의 단면적이 비교적 큰 블록체(721)를 이용하는 것이 적합하다. 단, 이 경우, 조정 볼트(725)의 단위 회전량당 개구 치수(W)의 조정량 ΔWc는 가장 큰, 바꾸어 말하면 조정의 분해능이 낮아, 정밀한 개구 치수(W)의 조정에는 적합하지 않다.

이에 반해, 정밀 조정의 관점에서 검토하면, 도 3 중의 상단에 나타내는 바와 같이 2차 단면 모멘트 Ia는 가장 작지만, 조정 볼트(725)의 단위 회전량당 개구 치수(W)의 조정량 ΔWa도 작아, 높은 분해능을 갖는 블록체(721)를 이용하는 것이 유리하다. 또, 도 3의 중단에 나타내는 바와 같이, 중간 정도의 2차 단면 모멘트 Ib 및 조정량 ΔWb를 갖는 블록체(721)를 이용함으로써, 개구 치수(W) 및 정밀도를 밸런스 좋게 조정할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 3종류의 블록체(721)를 미리 준비하고 있는데, 준비하는 블록체(721)의 종류 수는 이에 한정되는 것이 아니고, 임의이다. 또, 본 실시 형태에서는, 단면 형상의 변경에 의해 굽힘 강성을 다르게 하고 있지만, 블록체(721)의 재질이나 크기 등을 다르게 하거나, 혹은 재질, 크기 및 형상 등을 임의로 조합하여 굽힘 강성을 다르게 해도 된다.

또한, 제1 실시 형태에서는, 조정 기구(720)가 5개의 광대 조정 기구(724)를 포함하고 있는데, 광대 조정 기구(724)의 개수는 이에 한정되는 것이 아니고, 피조정 영역의 크기나 개수 등에 따라 상기 개수를 1 내지 최대 개수(제1 실시 형태에서는, 12) 사이에서 변경 가능하다.

＜제2 실시 형태＞

도 4는, 본 발명에 따른 슬릿 노즐의 제2 실시 형태의 일부를 나타내는 도면이다. 이 제2 실시 형태가 제1 실시 형태와 크게 다른 점은, 1개의 블록체(721)에 대해 2개의 조정 볼트(725)를 적용 가능하게 되어 있는 것이다. 보다 상세하게는, 각 블록체(721)에 대해, 2개의 관통 구멍(721d, 721d)이 Y방향으로 병행 형성되어 있다. 제2 본체부(712)에 대해, 제1 실시 형태의 2배로 부착용 나사 구멍(712f)이 형성되어 있다. 따라서, 제1 실시 형태보다, 세밀하게 개구 치수(W)를 조정할 수 있다.

＜제3 실시 형태＞

도 5는, 본 발명에 따른 슬릿 노즐의 제3 실시 형태의 일부를 나타내는 도면이다. 이 제3 실시 형태가 제2 실시 형태와 크게 다른 점은, 블록체(721)의 돌출부(721b)에 있어서, 관통 구멍(721d, 721d) 사이에 슬릿(721h)이 형성됨으로써, 돌출부(721b)가 2개의 돌출 부위(721b1, 721b2)로 구획되어 있는 점이다. 이와 같이 구획된 돌출 부위(721b1, 721b2)는, 각각 독립적으로 굽힘 변형 가능하게 되어 있다. 따라서, 예를 들면 돌출 부위(721b1)에 형성되는 관통 구멍(721d)에 적용된 조정 볼트(725)에 의한 개구 치수(W)의 조정은, 다른 쪽의 돌출 부위(721b2)의 영향을 받는 일 없이 실행된다. 따라서, 개구 치수(W)의 조정을 더욱 고정밀도로 행할 수 있다.

＜제4 실시 형태＞

도 6은, 본 발명에 따른 슬릿 노즐의 제4 실시 형태의 일부를 나타내는 도면이다. 상기 제3 실시 형태에서는, 돌출부(721b)의 분할 수는 2인데, 3 이상이어도 된다. 즉, N개(도 6에서는 N=2)의 슬릿(721h)을 도입함으로써, (N+1)개의 돌출 부위(721b1, 721b2, 721b3, …)를 형성하고, 블록체(721)를 이른바 빗살 형상으로 마무리해도 된다. 그리고, 각 돌출 부위(721b1, 721b2, 721b3, …)에 관통 구멍(721d)을 배치하고, 조정 볼트(725)를 적용 가능하게 구성해도 된다. 이 제4 실시 형태에 의하면, 1개의 블록체(721)에 의해 개구 치수(W)의 조정이 가능한 범위가 Y방향으로 넓어진다.

＜제5 실시 형태＞

도 7a는 도 1의 도포 장치에서 사용되는 슬릿 노즐의 제5 실시 형태의 주요 구성을 모식적으로 나타내는 분해 조립도이고, 도 7b는 제5 실시 형태에 따른 슬릿 노즐을 연직 하방에서 본 도면이며, 도 7c는 도 7b 중의 C-C선 단면도이다. 이 제5 실시 형태에 따른 슬릿 노즐(71B)이 제1 실시 형태와 크게 다른 점은, 조정 기구(720)가 개구 치수(W)를 부분적으로 협소 조정하기 위한 협소 조정 기구(726)를 갖고 있는 점이며, 그 밖의 구성은 기본적으로 제1 실시 형태와 동일하다. 따라서, 이하에 있어서는, 차이점을 중심으로 설명하고, 동일 구성 및 동작에 대해서는 동일 부호를 달아 구성 설명을 생략한다.

협소 조정 기구(726)는, 제2 본체부(712)의 조정용 나사 구멍(712g)에 결합 가능한 수나사가 새겨진 나사봉(727)과, 나사봉(727)의 중간부에 결합된 너트(728)를 갖고 있다. 너트(728)는, 도 7c에 나타내는 바와 같이, 제2 본체부(712)와 돌출부(721b) 사이에서 형성되는 제2 갭(G2) 사이에 위치하고 있다. 한편, 나사봉(727)은 (+X)방향측으로부터 관통 구멍(721d)에 삽입되고, 너트(728)와 결합되면서 제2 본체부(712)에 이송된다. 그리고, 나사봉(727)의 선단부가 조정용 나사 구멍(712g)에 삽입된다. 이에 의해, 나사봉(727)은, 블록체(721)의 관통 구멍(721d)에 헐겁게 삽입된 상태에서 제2 본체부(712)의 토출구 근방 부위와 일체화된다. 여기서, 오퍼레이터가 너트(728)를 회전 조작하여 (+X)방향으로 이동시키면, 개구 치수(W)의 협소 조정이 실행된다. 보다 상세하게는, (+X)방향으로 이동하는 너트(728)는 돌출부(721b)의 (-X)방향측의 측면과 맞닿는다. 그 이후에도, 너트(728)를 돌출부(721b)에 맞닿게 한 채 너트(728)가 회전하면, 나사봉(727)은 제2 본체부(712)와 연결된 채 (-X)방향으로 이동한다. 이 이동에 수반하여 제2 갭(G2)이 증대한다. 즉, 너트(728)의 회전량에 따른 거리만큼, 나사봉(727)이 (-X)방향으로 이동하고, 제2 본체부(712)의 토출구 근방 부위를 (-X)방향으로 밀어내면서 제2 갭(G2)이 증대한다. 그 결과, 제2 립부(712c)가 제1 립부(711c)에 가까워져, 개구 치수(W)가 좁아진다(협소 동작).

이상과 같이, 제5 실시 형태에 의하면, 제1 실시 형태와 동일한 작용 효과가 얻어진다. 즉, 슬릿 노즐(71B)로부터 도포액을 토출한 결과, 기판(S)(도 1)의 표면에 형성되는 도포막의 두께를 해석한 바, 도 7a에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 5개의 피조정 영역에서 개구 치수(W)를 협소 조정하는 것이 요망되는 경우가 있다. 이에, 제5 실시 형태에서는, 각 피조정 영역에 있어서, 토출구(715)를 구성하는 제1 본체부(711) 및 제2 본체부(712) 이외의 부품(블록체(721))을 외부 장착 방식으로 부착하고, 너트(728)의 조작에 의해 개구 치수(W)를 조정하고 있다. 따라서, 블록체(721)에 대응한 범위에서 개구 치수(W)를 조정할 수 있고, 조정 허용도를 높일 수 있다. 그 결과, 슬릿 노즐(71B)의 장기 사용이 가능하게 되어 있다.

또, 개구 치수(W)를 조정하는 조정 기구를 외부 장착하고 있기 때문에, 제1 실시 형태와 동일하게, 서로 상이한 굽힘 강성을 갖는 블록체(721)를 준비해 두고, 블록체(721)의 선택에 따라 변화량 ΔW를 상이하게 할 수 있다. 따라서, 상기한 바와 같이 블록체(721)에 대응한 범위(조정 가능 범위 및 분해능)에서 개구 치수(W)를 조정할 수 있다.

또, 상기 제5 실시 형태에서는, 1개의 블록체(721)에 대해 1개의 관통 구멍(721d)을 형성하고, 1개의 협소 조정 기구(726)(=나사봉(727)+너트(728))를 적용하고 있다. 그러나, 제2 실시 형태와 동일하게, 2개의 관통 구멍(721d)을 병행 설치하고, 각 관통 구멍(721d)에 대해 협소 조정 기구(726)를 적용해도 된다. 또, 제3 실시 형태와 동일하게 돌출부(721b)에 슬릿(721h)을 형성하거나, 제4 실시 형태와 동일하게 빗살 형상의 블록체(721)를 이용해도 된다. 이들에 의해, 개구 치수(W)의 조정 정밀도의 향상이나 조정 가능 범위의 확대가 가능해진다.

또한, 제5 실시 형태에서는, 조정 기구(720)가 5개의 협소 조정 기구(726)를 포함하고 있는데, 협소 조정 기구(726)의 개수는 이에 한정되는 것이 아니고, 피조정 영역의 크기나 개수 등에 따라 상기 개수를 1 내지 최대 개수(제1 실시 형태에서는, 12) 사이에서 변경 가능하다.

＜제6 실시 형태＞

상기 제1 실시 형태~제4 실시 형태에서는, 조정 기구(720)는 광대 조정 기구(724)만으로 구성되고, 상기 제5 실시 형태에서는 조정 기구(720)는 협소 조정 기구(726)만으로 구성되어 있는데, 일정 조건을 만족시킴으로써 광대 조정 기구(724) 및 협소 조정 기구(726)의 혼합 사용이 가능하다. 그 일정 조건이란, 관통 구멍(721c)이 조정 볼트(725) 및 나사봉(727) 모두 삽입 통과 가능하여, 본 발명의 「공통 설치 부위」로서 기능하는 것이다. 또한, 조정 볼트(725)의 나사부(725b) 및 나사봉(727) 모두가 조정용 나사 구멍(712g)에 결합 가능하게 되도록 구성하는 것이다. 이러한 조건에 있어서는, 제2 본체부(712)에 대해, 광대 조정 기구(724) 및 협소 조정 기구(726)를 임의의 부착 영역에 적용할 수 있다.

도 8a는, 도 1의 도포 장치에서 사용되는 슬릿 노즐의 제6 실시 형태를 연직 하방에서 본 도면이고, 도 8b는 도 8a 중의 B-B선 단면도이다. 도 8c는 도 8a 중의 C-C선 단면도이다. 제6 실시 형태에 따른 슬릿 노즐(71C)로부터 도포액을 토출한 결과, 기판(S)(도 1)의 표면에 형성되는 도포막의 두께를 해석한 바, 예를 들면 Y방향에 있어서 토출구(715)의 상류측(도 8a의 좌측)에서 개구 치수(W)를 좁히는 한편, 하류측(도 8a의 우측)에서 개구 치수(W)를 넓히고 싶은 경우가 있다. 이러한 요망을 만족하기 위해서, 슬릿 노즐(71C)에서는, 예를 들면 도 8a에 나타내는 바와 같이, (-Y)방향측의 피조정 영역에 협소 조정 기구(726)가 적용됨과 더불어, (+Y)방향측의 피조정 영역에 광대 조정 기구(724)가 적용되어 있다. 즉, 개구 치수(W)를 넓히고 싶은 (+Y)방향측의 피조정 영역에서는, 도 8b에 나타내는 바와 같이, 제1 실시 형태와 동일하게 하여, 광대 동작이 실행된다. 또, 개구 치수(W)를 좁히고 싶은 (-Y)방향측의 피조정 영역에서는, 도 8c에 나타내는 바와 같이, 제5 실시 형태와 동일하게 하여, 협소 동작이 실행된다.

이상과 같이, 제6 실시 형태에 의하면, 1개의 토출구(715)에 대해 광대 동작 및 협소 동작을 조합하여 행할 수 있다. 따라서, 토출구(715)의 개구 치수(W)의 조정 허용도가 더욱 높아져, 슬릿 노즐(71C)을 더욱 장기간에 걸쳐 사용할 수 있다.

또, 상기 제6 실시 형태에서는, 1개의 블록체(721)에 대해 1개의 관통 구멍(721d)을 형성하고, 당해 관통 구멍(721d)에 대해 광대 조정 기구(724)(=조정 볼트(725)) 또는 협소 조정 기구(726)(=나사봉(727)+너트(728))를 적용하고 있다. 그러나, 제2 실시 형태와 동일하게, 2개의 관통 구멍(721d)을 병행 형성하고, 각 관통 구멍(721d)에 대해 광대 조정 기구(724) 또는 협소 조정 기구(726)를 선택적으로 적용해도 된다. 또, 제3 실시 형태와 동일하게 돌출부(721b)에 슬릿(721h)을 형성하거나, 제4 실시 형태와 동일하게 빗살 형상의 블록체(721)를 이용해도 된다. 이들에 의해, 개구 치수(W)의 조정 정밀도의 향상이나 조정 가능 범위의 확대가 가능해진다.

＜제7 실시 형태＞

도 9는, 본 발명에 따른 슬릿 노즐의 제7 실시 형태의 일부를 나타내는 도면이다. 이 제7 실시 형태는, 1개의 블록체(721)에 대해 2개의 관통 구멍(721d1, 721d2)이 병행 형성되어 있는 점에서 제2 실시 형태와 공통된다. 그러나, 관통 구멍(721d1)은 광대 조정 기구(724)(=조정 볼트(725))를 장착하기 위한 「광대용 관통 구멍」이고, 관통 구멍(721d2)은 협소 조정 기구(726)(=나사봉(727)+너트(728))를 장착하기 위한 「협소용 관통 구멍」이다. 따라서, 관통 구멍(721d1, 721d2) 중 한쪽을 이용함으로써, 제2 본체부(712)의 피조정 영역에 대해 광대 동작 및 협소 동작 중 한쪽이 선택적 실행된다.

제7 실시 형태에 있어서도, 제3 실시 형태와 동일하게 돌출부(721b)에 슬릿(721h)을 형성하거나, 제4 실시 형태와 동일하게 빗살 형상의 블록체(721)를 이용해도 된다. 이들에 의해, 개구 치수(W)의 조정 정밀도의 향상이나 조정 가능 범위의 확대가 가능해진다.

또한, 본 발명은 상기한 실시 형태에 한정되는 것이 아니고, 그 취지를 일탈하지 않는 한 상술한 것 이외에 다양한 변경을 행하는 것이 가능하다. 예를 들면 제5 실시 형태 및 제6 실시 형태에서는, 협소 조정 기구(726)를 적용하기 위해서 돌출부(721b)에 형성된 관통 구멍(721d)을 본 발명의 「협소 설치 부위」로서 이용하고 있는데, 이 대신에 오목부를 형성해도 된다(제8 실시 형태).

도 10a는, 본 발명에 따른 슬릿 노즐의 제8 실시 형태의 일부를 나타내는 도면이다. 또, 도 10b는, 제8 실시 형태의 부분 단면도이다. 이 제8 실시 형태에서는, 협소 조정 기구(726)를 블록체(721)에 적용하기 위해서, 오목부(721e)가 협소 설치 부위로서 돌출부(721b)에 형성되어 있다. 오목부(721e)는, 돌출부(721b)의 (-X)방향측의 측면으로부터 (+X)방향으로 연장 설치되고, 나사봉(727)의 (+X)방향측의 단부를 헐겁게 삽입 가능하게 설치되어 있다.

또, 상기 실시 형태에서는, 광대 조정용으로서 조정 볼트(725)를 이용하고, 협소 조정 기구(726)로서 나사봉(727) 및 너트(728)의 조합을 이용하고 있다. 여기서, 예를 들면 도 11에 나타내는 바와 같이, 나사봉의 중앙부에 너트형상 부재를 고착한 스터드 볼트(729)를 이용해도 된다(제9 실시 형태). 너트형상 부재로부터 X방향의 양단으로 연장되는 나사부(729a, 729b)는, 서로 역방향으로 수나사가 새겨져 있다. 또, 각각에 대응하여 제2 본체부(712)와 돌출부(721b)에 암나사가 새겨져 있다. 이 때문에, 오퍼레이터가 너트형상 부재를 한 방향으로 회전시키면, 동 도면의 실선에 나타내는 바와 같이, 제2 갭(G2)이 넓어진다. 이때, 제2 본체부(712)의 토출구 근방 부위가 (-X)방향으로 밀어내어지고, 그 결과, 제2 립부(712c)가 제1 립부(711c)에 가까워져, 개구 치수(W)가 좁아진다(협소 동작). 반대로, 오퍼레이터가 너트형상 부재를 역방향으로 회전시키면, 동 도면의 점선에 나타내는 바와 같이, 제2 갭(G2)이 감소한다. 이때, 제2 본체부(712)의 토출구 근방 부위가 돌출부(721b)측으로 끌어당겨지고, 그 결과, 제2 립부(712c)가 제1 립부(711c)로부터 (+X)방향으로 멀어져, 개구 치수(W)가 넓어진다(광대 동작).

또, 상기 제4 실시 형태에서는 블록체(721)를 3개의 고정 볼트(723)로 제2 본체부(712)에 부착하고, 제4 실시 형태 이외의 실시 형태에서는 블록체(721)를 2개의 고정 볼트(723)로 제2 본체부(712)에 부착하고 있다. 여기서, 제2 본체부(712)로의 블록체(721)의 부착 양태는 이들에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 고정 볼트(723)의 개수는 1개 또는 4개 이상이어도 된다. 또, 볼트 이외의 수단에 의해 블록체(721)를 3개의 고정 볼트(723)로 제2 본체부(712)에 부착해도 된다.

또, 상기 실시 형태에서는, 제2 본체부(712)에만 조정 기구(720)를 외부 장착하고 있다. 단, 추가로 다른 조정 기구(720)를 제1 본체부(711)에 부착하여, 제1 본체부(711)의 토출구 근방 부위에 대해서도 변위시키도록 구성해도 된다.

또, 상기 실시 형태에서는, 상기한 조정 기구(720) 이외의 조정 기구를 갖지 않는 슬릿 노즐에 대해 본 발명을 적용하고 있는데, 예를 들면 일본국 특허공개 2021-45720호 공보에 기재되어 있는 바와 같이, 조정 기구가 본래적으로 장착된 슬릿 노즐에 대해, 상기한 조정 기구(720)를 외부 장착하여 개구 치수(W)를 조정해도 된다. 즉, 조정 기구가 본래적으로 장착되어 있는지 여부를 불문하고, 종래부터 시장에 유통되어 있는 슬릿 노즐 전반에 대해, 본 발명을 적용할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는 슬릿 노즐(71)의 하방에서 기판(S)을 반송함으로써 슬릿 노즐(71)과 기판(S)의 상대 이동이 실현되고 있다. 그러나, 이들의 상대 이동의 실현 방법은 상기에 한정되지 않는다. 예를 들면 스테이지 상에 유지된 기판에 대해 슬릿 노즐이 주사 이동하는 구성에 있어서도, 본 발명은 유효하게 기능한다. 또, 기판의 반송 형식은 상기와 같은 부상식의 것에 한정되지 않고, 예를 들면 롤러 반송, 벨트 반송, 이동 스테이지에 의한 반송 등 각종의 것을 적용 가능하다.

이 발명은, 슬릿형상의 토출구를 갖는 슬릿 노즐, 당해 슬릿 노즐의 조정 방법 및 당해 슬릿 노즐을 이용하여 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 장치 전반에 적용할 수 있다.

1: 도포 장치(기판 처리 장치)
8: 도포액 공급 기구(처리액 공급부)
52: 흡착·주행 제어 기구(상대 이동 기구)
71, 71A, 71B, 71C: 슬릿 노즐
710: 노즐 본체
712g: 조정용 나사 구멍
715: 토출구
720: 조정 기구
721: 블록체
721a: (블록체의)조정 본체부
721b: (블록체의)돌출부
721d, 721d1, 721d2: 관통 구멍(광대 설치 부위, 협소 설치 부위)
721b1, 721b2, 721b3: 돌출 부위
721e: 오목부(협소 설치 부위)
721h: 슬릿
722: 갭 조정부
723: 고정 볼트
724: 광대 조정 기구
725: 조정 볼트
725a: (조정 볼트의)머리부
725b: (조정 볼트의)나사부
726: 협소 조정 기구
727: 나사봉
728: 너트
G1: 제1 갭
G2: 제2 갭
S: 기판
W: 개구 치수
X: 대향 방향

Claims (16)

1. 제1 본체부와 제2 본체부가 제1 갭을 사이에 두고 서로 대향함으로써, 슬릿형상으로 개구되는 토출구를 형성하는 노즐 본체와,
   상기 제1 본체부 및 상기 제2 본체부의 대향 방향으로 상기 제2 본체부를 변위시켜 상기 토출구의 개구 치수를 조정하는 조정 기구를 구비하고,
   상기 조정 기구는,
   상기 제2 본체부에 부착 가능한 조정 본체부와, 상기 조정 본체부로부터 토출구 측으로 돌출 설치된 돌출부를 갖고, 상기 조정 본체부의 상기 제2 본체부로의 부착에 의해, 상기 돌출부가, 상기 제2 본체부에 대해 상기 제1 본체부의 반대측에서, 상기 대향 방향에 있어서 제2 갭을 사이에 두고 상기 제2 본체부와 대향하는 블록체와,
   상기 제2 갭의 감소에 의해 상기 토출구의 근방에 있어서 상기 제2 본체부를 상기 제1 본체부로부터 이격시켜 상기 개구 치수를 넓히는 광대(廣大) 동작과, 상기 제2 갭의 증대에 의해 상기 토출구의 근방에 있어서 상기 제2 본체부를 상기 제1 본체부에 근접시켜 상기 개구 치수를 좁히는 협소 동작 중 적어도 한쪽을 실행시켜 상기 개구 치수를 조정하는 갭 조정부
   를 구비하는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 갭 조정부는, 상기 광대 동작을 실행하기 위한 광대 조정 기구를 갖고,
   상기 돌출부는, 상기 대향 방향으로 관통하여 형성된 관통 구멍을, 상기 광대 조정 기구를 설치하기 위한 광대 설치 부위로서 기능시키고,
   상기 광대 조정 기구는, 머리부와, 상기 머리부의 좌면(座面)으로부터 상기 대향 방향으로 연장 설치됨과 더불어 상기 제2 본체부에 결합 가능하게 되어 있는 나사부를 갖는 볼트를 갖고, 상기 돌출부에 대해 상기 제2 본체부의 반대측으로부터 상기 볼트를 상기 광대 설치 부위에 삽입 통과시켜 상기 머리부의 좌면에서 상기 돌출부를 건 상태에서, 상기 볼트의 회전에 의해 상기 나사부가 상기 제2 본체부에 삽입됨으로써, 상기 제2 본체부를 상기 돌출부 측으로 끌어당겨 상기 개구 치수를 넓히는, 슬릿 노즐.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 돌출부는 상기 광대 설치 부위를 복수 개 갖고,
   상기 복수의 광대 설치 부위가 상기 대향 방향과 직교하는 방향으로 병행 설치됨과 더불어, 상기 광대 설치 부위마다 상기 광대 조정 기구의 설치가 가능하게 되어 있는, 슬릿 노즐.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 돌출부는, 상기 대향 방향과 직교하는 방향에 있어서 서로 인접하는 상기 광대 설치 부위 사이에 형성되는 슬릿에 의해 복수로 구획되는, 슬릿 노즐.
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 갭 조정부는, 상기 협소 동작을 실행하기 위한 협소 조정 기구를 갖고,
   상기 돌출부는, 상기 제2 본체부와 대향하는 대향면에 대해 상기 제2 본체부의 반대측에 형성되는 오목부 또는 관통 구멍을, 상기 협소 조정 기구를 설치하기 위한 협소 설치 부위로서 기능시키고,
   상기 협소 조정 기구는, 상기 대향 방향으로 연장 설치된 나사봉과, 상기 나사봉의 중앙부에 결합하는 너트를 갖고, 상기 나사봉의 선단부가 상기 제2 본체부에 결합됨과 더불어 상기 나사봉의 후단부가 상기 협소 설치 부위에 삽입된 상태에서, 상기 너트를 상기 돌출부에 맞닿게 한 채 상기 너트의 회전에 의해 상기 나사봉을 상기 제2 본체부 측으로 변위시킴으로써, 상기 제2 본체부를 상기 제1 본체부 측으로 밀어내어 상기 개구 치수를 좁히는, 슬릿 노즐.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 돌출부는 상기 협소 설치 부위를 복수 개 갖고,
   상기 복수의 협소 설치 부위가 상기 대향 방향과 직교하는 방향으로 병행 설치됨과 더불어, 상기 협소 설치 부위마다 상기 협소 조정 기구의 설치가 가능하게 되어 있는, 슬릿 노즐.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 돌출부는, 상기 대향 방향과 직교하는 방향에 있어서 서로 인접하는 상기 협소 설치 부위 사이에 형성되는 슬릿에 의해 복수로 구획되는, 슬릿 노즐.
8. 청구항 1에 있어서,
   상기 갭 조정부는, 상기 광대 동작을 실행하기 위한 광대 조정 기구와, 상기 협소 동작을 실행하기 위한 협소 조정 기구를 선택적으로 설치 가능하게 되어 있고,
   상기 돌출부는, 상기 대향 방향으로 관통하는 관통 구멍을 상기 광대 조정 기구 및 상기 협소 조정 기구를 선택적으로 설치하기 위한 공통 설치 부위로서 기능시키고,
   상기 광대 조정 기구는, 머리부와, 상기 머리부의 좌면으로부터 상기 대향 방향으로 연장 설치됨과 더불어 상기 제2 본체부에 결합 가능하게 되어 있는 나사부를 갖는 볼트를 갖고, 상기 돌출부에 대해 상기 제2 본체부의 반대측으로부터 상기 볼트를 상기 공통 설치 부위에 삽입 통과시켜 상기 머리부의 좌면에서 상기 돌출부를 건 상태에서, 상기 볼트의 회전에 의해 상기 나사부가 상기 제2 본체부에 삽입됨으로써, 상기 제2 본체부를 상기 돌출부 측으로 끌어당겨 상기 개구 치수를 넓히고,
   상기 협소 조정 기구는, 상기 대향 방향으로 연장 설치된 나사봉과, 상기 나사봉의 중앙부에 결합하는 너트를 갖고, 상기 나사봉의 선단부가 상기 제2 본체부에 결합됨과 더불어 상기 나사봉의 후단부가 상기 공통 설치 부위에 삽입된 상태에서, 상기 너트를 상기 돌출부에 맞닿게 한 채 상기 너트의 회전에 의해 상기 나사봉을 상기 제2 본체부 측으로 변위시킴으로써, 상기 제2 본체부를 상기 제1 본체부 측으로 밀어내어 상기 개구 치수를 좁히는, 슬릿 노즐.
9. 청구항 8에 있어서,
   상기 돌출부는 상기 공통 설치 부위를 복수 개 갖고,
   상기 복수의 공통 설치 부위가 상기 대향 방향과 직교하는 방향으로 병행 설치됨과 더불어, 상기 공통 설치 부위마다 상기 광대 조정 기구 또는 상기 협소 조정 기구의 설치가 가능하게 되어 있는, 슬릿 노즐.
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 돌출부는, 상기 대향 방향과 직교하는 방향에 있어서 서로 인접하는 상기 공통 설치 부위 사이에 형성되는 슬릿에 의해 복수로 구획되는, 슬릿 노즐.
11. 청구항 1에 있어서,
    상기 갭 조정부는, 상기 광대 동작을 실행하기 위한 광대 조정 기구와, 상기 협소 동작을 실행하기 위한 협소 조정 기구 중 적어도 한쪽을 설치 가능하게 되어 있고,
    상기 돌출부는, 상기 대향 방향으로 관통하여 형성된 광대용 관통 구멍을, 상기 광대 조정 기구를 설치하기 위한 광대 설치 부위로서 기능시킴과 더불어, 상기 제2 본체부와 대향하는 대향면에 대해 상기 제2 본체부의 반대측에 형성되는 오목부 또는 상기 대향 방향으로 관통하여 형성된 협소용 관통 구멍을, 상기 협소 조정 기구를 설치하기 위한 협소 설치 부위로서 기능시키고,
    상기 광대 조정 기구는, 머리부와, 상기 머리부의 좌면으로부터 상기 대향 방향으로 연장 설치됨과 더불어 상기 제2 본체부에 결합 가능하게 되어 있는 나사부를 갖는 볼트를 갖고, 상기 돌출부에 대해 상기 제2 본체부의 반대측으로부터 상기 볼트를 상기 광대 설치 부위에 삽입 통과시켜 상기 머리부의 좌면에서 상기 돌출부를 건 상태에서, 상기 볼트의 회전에 의해 상기 나사부가 상기 제2 본체부에 삽입됨으로써, 상기 제2 본체부를 상기 돌출부 측으로 끌어당겨 상기 개구 치수를 넓히고,
    상기 협소 조정 기구는, 상기 대향 방향으로 연장 설치된 나사봉과, 상기 나사봉의 중앙부에 결합하는 너트를 갖고, 상기 나사봉의 선단부가 상기 제2 본체부에 결합됨과 더불어 상기 나사봉의 후단부가 상기 협소 설치 부위에 삽입된 상태에서, 상기 너트를 상기 돌출부에 맞닿게 한 채 상기 너트의 회전에 의해 상기 나사봉을 상기 제2 본체부 측으로 변위시킴으로써, 상기 제2 본체부를 상기 제1 본체부 측으로 밀어내어 상기 개구 치수를 좁히는, 슬릿 노즐.
12. 청구항 11에 있어서,
    상기 광대 설치 부위 및 상기 협소 설치 부위는 상기 대향 방향과 직교하는 방향으로 병행 설치되어 있는, 슬릿 노즐.
13. 청구항 12에 있어서,
    상기 돌출부는, 상기 대향 방향에 있어서 서로 인접하는 상기 광대 설치 부위 및 상기 협소 설치 부위 사이에 형성되는 슬릿에 의해 복수로 구획되는, 슬릿 노즐.
14. 제1 본체부와 제2 본체부를 제1 갭을 사이에 두고 서로 대향시킴으로써 슬릿형상으로 개구되는 토출구의 개구 치수를 조정하는 슬릿 노즐의 조정 방법으로서,
    상기 제2 본체부에 부착 가능한 조정 본체부와, 상기 조정 본체부로부터 토출구 측으로 돌출 설치된 돌출부를 갖는, 블록체를 준비하는 제1 공정과,
    상기 돌출부가, 상기 제2 본체부에 대해 상기 제1 본체부의 반대측에서, 상기 제1 본체부 및 상기 제2 본체부의 대향 방향에 있어서 상기 제2 본체부로부터 제2 갭을 사이에 두고 대향하도록, 상기 블록체의 상기 조정 본체부를 상기 제2 본체부에 부착하는 제2 공정과,
    상기 제2 공정 후에, 상기 제2 갭의 감소에 의해 상기 토출구의 근방에 있어서 상기 제2 본체부를 상기 제1 본체부로부터 이격시켜 상기 개구 치수를 넓히는 광대 동작과, 상기 제2 갭의 증대에 의해 상기 토출구의 근방에 있어서 상기 제2 본체부를 상기 제1 본체부에 근접시켜 상기 개구 치수를 좁히는 협소 동작 중 적어도 한쪽을 실행시켜 상기 개구 치수를 조정하는 제3 공정
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐의 조정 방법.
15. 청구항 14에 있어서,
    상기 제1 공정에서는, 상기 돌출부의 굽힘 강성이 서로 상이한 복수 종류의 상기 블록체가 준비되고,
    상기 제2 공정에서는, 상기 복수 종류의 블록체로부터 상기 제3 공정에서의 상기 개구 치수의 조정에 이용되는 블록체가 선택되는, 슬릿 노즐의 조정 방법.
16. 청구항 1 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 기재된 슬릿 노즐과,
    상기 슬릿 노즐의 상기 토출구와 대향시켜 기판을 배치함과 더불어, 상기 슬릿 노즐과 상기 기판을 상기 대향 방향으로 상대 이동시키는 상대 이동 기구와,
    상기 슬릿 노즐에 처리액을 공급하는 처리액 공급 기구
    를 구비하고,
    상기 토출구로부터 토출한 상기 처리액을 상기 기판의 표면에 도포하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.

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