KR102535156B1 - 슬릿 노즐 및 기판 처리 장치 - Google Patents

Abstract

슬릿 노즐 및 이를 구비하는 기판 처리 장치에 있어서, 토출구의 중앙부와 단부 사이에서 토출량을 균일화하기 위한 작업을 효율적으로 행해지도록 한다. 본 발명에 따른 슬릿 노즐은, 한 쌍의 립부가 갭을 두고 서로 대향함으로써 슬릿형상으로 개구하는 토출구를 형성하는 노즐 본체와, 한 쌍의 립부를 상대적으로 접근 방향 및 이격 방향으로 변위시켜 토출구의 개구폭을 조정하는 조정 기구를 구비하고 있다. 한 쌍의 립부 중 적어도 한쪽에 있어서, 다른 쪽의 립부와 대향하는 대향면과는 반대측의 면에 토출구의 길이 방향과 평행하게 홈이 형성되어 있고, 조정 기구는, 노즐 본체 중 홈을 사이에 두고 대향하는 부위의 간격을 증감하도록 노즐 본체를 변형시킴으로써 개구폭을 조정한다. 조정 기구는 길이 방향으로 배열된 복수의 조정 나사를 가지며, 조정 나사와 대향면의 거리는, 토출구의 단부에 대응하는 위치에서 중앙부보다 크다.

Description

슬릿 노즐 및 기판 처리 장치{SLIT NOZZLE AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

이 발명은, 슬릿형상의 토출구를 갖는 슬릿 노즐, 및, 당해 슬릿 노즐을 이용하여 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 또한, 상기 기판에는, 반도체 기판, 포토마스크용 기판, 액정 표시용 기판, 유기 EL 표시용 기판, 플라즈마 표시용 기판, FED(Field Emission Display)용 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판 등이 포함된다.

반도체 장치나 액정 표시 장치 등의 전자 디바이스 등의 제조 공정에서는, 기판의 표면에 처리액을 공급하고, 당해 처리액을 기판에 도포하는 기판 처리 장치가 이용되고 있다. 어느 기판 처리 장치는, 기판을 부상시킨 상태로 당해 기판을 반송하면서, 처리액을 슬릿 노즐에 송급(送給)하고 슬릿 노즐의 토출구에서 기판의 표면으로 토출해, 기판의 거의 전체에 처리액을 도포한다. 또, 다른 기판 처리 장치는, 스테이지 상에서 기판을 흡착 유지하면서, 슬릿 노즐의 토출구에서 기판의 표면을 향해 처리액을 토출한 상태로 슬릿 노즐을 기판에 대해 상대 이동시켜, 기판의 거의 전체에 처리액을 도포한다.

근년, 제품의 고품질화에 대한 요구에 수반하여, 기판 처리 장치에 의해 도포되는 처리액의 막두께의 균일성을 높이는 것이 중요해지고 있다. 이 목적을 위해서, 슬릿형상의 토출구에 있어서의 개구 치수를, 슬릿의 길이 방향을 따른 위치마다 개별적으로 조정하는 것을 가능하게 하기 위한 구성이 제안되고 있다. 예를 들면 일본국 특허공개 2008-246280호 공보(특허문헌 1)에는, 2개의 부재를 조합하여 그들 사이의 갭을 토출구로 하는 구성에 있어서의 조정 기구로서, 차동 나사를 길이 방향으로 복수 배열한 종래의 구성(도 8)과, 한쪽 부재를 길이 방향으로 분할하여 토출구의 중앙부와 단부에서 독립된 갭 조정을 가능하게 한 발명에 따른 구성(도 2)이 개시되어 있다.

일본국 특허공개 2008-246280호 공보

전자 디바이스의 미세화나 재료의 효율적 이용 등의 견지로부터, 도포의 균일성에 관해 지금까지 이상으로 높은 수준이 요구되도록 되어 와 있다. 이 때문에, 토출구의 길이 방향에 걸친 전역에 있어서, 토출량을 미세하게 조정하는 것이 필요해지고 있다. 이 점에서, 상기 종래 기술에 대해, 또 다른 개선이 요망된다. 특히, 길이 방향에 있어서의 토출구의 중앙부 부근과 단부 부근에서는, 토출구의 개구폭을 같게 변화시켰다고 해도 토출량의 변화는 반드시 같은 것은 아니다. 즉, 개구폭의 조정에 대한 토출량의 응답 감도가, 토출구의 중앙부와 단부에서 상이하다. 이 때문에, 토출구의 중앙부에서 단부까지 토출량을 균일하게 맞추기 위한 미세 조정의 작업이 번잡하게 되기 쉽상이다.

이 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 슬릿형상의 토출구를 갖는 슬릿 노즐 및 이를 구비하여 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 장치에 있어서, 토출구의 중앙부와 단부 사이에서 토출량을 균일화하기 위한 작업을 효율적으로 행할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따른 슬릿 노즐의 일 양태는, 상기 목적을 달성하기 위해, 평탄한 대향면을 각각이 갖는 한 쌍의 립부가, 상기 대향면끼리가 갭을 두고 대향하도록 배치됨으로써 슬릿형상으로 개구하는 토출구를 형성하는 노즐 본체와, 상기 한 쌍의 립부를 상대적으로 접근 방향 및 이격 방향으로 변위시켜 상기 토출구의 개구폭을 조정하는 조정 기구를 구비하고, 상기 한 쌍의 립부 중 적어도 한쪽에 있어서, 상기 대향면에서 봤을 때 다른 쪽의 상기 립부와는 반대측의 면에, 상기 토출구의 길이 방향과 평행한 방향을 따른 홈이 형성되어 있으며, 상기 조정 기구는, 상기 길이 방향을 따라 배열된 복수의 조정 나사를 가지며, 각각의 상기 조정 나사는, 상기 홈의 깊이 방향과 교차하는 방향으로 상기 홈에 걸쳐 상기 노즐 본체에 나사 결합되어, 상기 홈의 폭을 증감하도록 상기 노즐 본체를 변형시킴으로써 상기 개구폭을 변화시키고, 상기 대향면과 직교하는 직교 방향에 있어서의 상기 조정 나사와 상기 대향면의 거리는, 상기 길이 방향에 있어서의 상기 토출구의 단부에 대응하는 위치에서, 상기 길이 방향에 있어서의 상기 토출구의 중앙부에 대응하는 위치보다 크다.

이와 같이 구성된 발명에서는, 홈에 걸쳐 설치된 조정 나사의 나사 삽입량의 증감에 의해, 그 근방에 있어서 립부의 변형이 생긴다. 이에 의해 대향면끼리의 간격이 변화함으로써, 결과적으로 토출구의 개구폭이 변화한다. 이 경우, 조정 나사와 대향면의 거리가 클수록, 보다 작은 힘으로 립부를 변형시킬 수 있다. 그 이유는, 조정 나사의 체결에 의해 변형되는 노즐 본체의 부위를 작용점으로 생각했을 때, 상기 거리가 클수록 작용점 주위에 있어서의 힘의 모멘트가 커지기 때문이다.

슬릿 노즐로부터 액체를 토출시킬 때, 토출구의 길이 방향에 있어서의 전역에서 균일한 토출량을 실현하는 것은 어렵다. 특히 토출구의 중앙부 근방과 단부 근방에서, 토출량에 차가 생기는 경우가 있다. 보다 구체적으로는, 토출구의 단부 근방에서는, 예를 들면 토출구 주위의 노즐 내벽과의 마찰이 증가함으로써 액체의 유통에 대한 저항이 커지는 것 등의 원인에 의해, 토출량의 편차가 생기기 쉽다. 이 때문에, 토출구의 중앙부에서 단부까지 균일한 토출량을 얻기 위해서는, 특히 단부 근방에서 개구폭의 미세 조정이 필요해진다.

상기 구성을 갖는 본 발명에서는, 토출구의 중앙부에 비해 그 단부에 있어서 조정 나사를 대향면으로부터 멀어지게 해서 배치하고 있다. 그 때문에, 보다 작은 체결력으로 토출구의 개구폭을 변화시킬 수 있다. 한편, 예를 들면 그 회전량으로 나타낼 수 있는 조정 나사의 나사 삽입량의 변화가 같으면, 개구폭의 변화는 중앙부보다 단부에 있어서 작다. 이들 특징은, 단부에 있어서의 미세 조정을 용이하게 하는 효과를 갖고 있다. 즉, 본 발명에서는, 토출구의 단부 근방에서 그 개구폭의 미세 조정을 용이하게 함으로써, 토출구의 중앙부와 단부 사이에서 토출량을 균일화하기 위한 작업을 효율적으로 행하는 것이 가능해진다.

또, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 일 양태는, 상기 목적을 달성하기 위해, 상기 구성을 갖는 슬릿 노즐과, 상기 슬릿 노즐의 상기 토출구와 대향시켜 기판을 배치함과 더불어, 상기 슬릿 노즐과 상기 기판을 상기 길이 방향과 교차하는 방향으로 상대 이동시키는 상대 이동 기구와, 상기 슬릿 노즐에 처리액을 공급하는 액체 공급부를 구비하고, 상기 토출구로부터 토출한 상기 처리액을 상기 기판의 표면에 도포한다.

이와 같이 구성된 발명에서는, 상기와 같은 구성을 이용하여 개구폭이 조정된 슬릿 노즐로부터 기판에 처리액이 공급됨으로써, 길이 방향에 있어서 막두께가 균일한 막을 안정적으로 형성할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명의 슬릿 노즐에서는, 토출구의 개구폭의 미세 조정이, 토출구의 중앙부보다 단부 근방에 있어서 행하기 쉬운 구조로 되어 있다. 이 때문에, 토출구의 중앙부와 단부 사이에서 토출량을 균일화하기 위한 작업을, 효율적으로 행하는 것이 가능하다.

도 1은, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 일실시형태를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2는, 슬릿 노즐의 제1 실시형태를 모식적으로 나타내는 분해 조립도이다.
도 3은, 제1 실시형태의 슬릿 노즐의 삼면도이다.
도 4는, 홈의 깊이 프로파일을 예시하는 도면이다.
도 5a는, 슬릿 노즐의 단면도이다.
도 5b는, 슬릿 노즐의 단면도이다.
도 6은, 제1 실시형태의 슬릿 노즐의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 7은, 슬릿 노즐의 제2 실시형태를 모식적으로 나타내는 분해 조립도이다.
도 8은, 슬릿 노즐의 제3 실시형태를 모식적으로 나타내는 분해 조립도이다.
도 9는, 제3 실시형태의 슬릿 노즐의 삼면도이다.
도 10a는, 제3 실시형태의 슬릿 노즐의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 10b는, 제3 실시형태의 슬릿 노즐의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 11a는, 슬릿 노즐의 제4 실시형태를 나타내는 도면이다.
도 11b는, 슬릿 노즐의 제4 실시형태를 나타내는 도면이다.

＜도포 장치의 전체 구성＞

도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 일실시형태인 도포 장치의 전체 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다. 이 도포 장치(1)는, 도 1의 좌측에서 우측을 향해 수평 자세로 반송되는 기판(S)의 표면(Sf)에, 유체인 도포액(처리액)을 도포하는 슬릿 코터이다. 예를 들면, 유리 기판이나 반도체 기판 등 각종의 기판(S)의 표면(Sf)에, 레지스트막의 재료를 포함하는 도포액, 전극 재료를 포함하는 도포액 등, 각종 처리액을 도포해 균일한 도포막을 형성할 목적으로, 이 도포 장치(1)를 적합하게 이용할 수 있다.

또한, 이하의 각 도면에 있어서 장치 각 부의 위치 관계를 명확하게 하기 위해서, 도 1에 나타내는 바와 같이 오른손 좌표계 XYZ 직교 좌표를 설정한다. 기판(S)의 반송 방향을 「X방향」으로 하고, 도 1의 좌측에서 우측을 향하는 수평 방향을 「+X방향」이라 칭하고, 역방향을 「-X방향」이라 칭한다. 또, X방향과 직교하는 수평 방향 Y 중, 장치의 정면측(도면에 있어서 앞쪽)을 「-Y방향」이라 칭함과 더불어, 장치의 배면측을 「+Y방향」이라 칭한다. 또한, 연직 방향 Z에 있어서의 상방향 및 하방향을 각각 「+Z방향」 및 「-Z방향」이라 칭한다.

우선 도 1을 이용하여 이 도포 장치(1)의 구성 및 동작의 개요를 설명하고, 그 후에 본 발명의 기술적 특징을 구비하는 슬릿 노즐의 상세한 구조 및 개구 치수의 조정 동작에 대해 설명한다. 도포 장치(1)에서는, 기판(S)의 반송 방향 Dt, 즉 (+X)방향을 따라, 입력 컨베이어(100), 입력 이재부(2), 부상 스테이지부(3), 출력 이재부(4), 출력 컨베이어(110)가 이 순서로 근접하게 배치되어 있다. 이하에 상세하게 설명하는 바와 같이, 이들에 의해 대략 수평 방향으로 연장되는 기판(S)의 반송 경로가 형성되어 있다.

처리 대상인 기판(S)은, 도 1의 좌측에서 입력 컨베이어(100)로 반입된다. 입력 컨베이어(100)는, 롤러 컨베이어(101)와, 이를 회전 구동하는 회전 구동 기구(102)를 구비하고 있다. 롤러 컨베이어(101)의 회전에 의해, 기판(S)은 수평 자세로 하류측, 즉 (+X)방향으로 반송된다. 입력 이재부(2)는, 롤러 컨베이어(21)와, 이를 회전 구동하는 기능 및 승강시키는 기능을 갖는 회전·승강 구동 기구(22)를 구비하고 있다. 롤러 컨베이어(21)가 회전함으로써, 기판(S)은 추가로 (+X)방향으로 반송된다. 또, 롤러 컨베이어(21)가 승강함으로써 기판(S)의 연직 방향 위치가 변경된다. 이와 같이 구성된 입력 이재부(2)에 의해, 기판(S)은 입력 컨베이어(100)에서 부상 스테이지부(3)로 이재된다.

부상 스테이지부(3)는, 기판의 반송 방향 Dt를 따라 3분할된 평판형상의 스테이지를 구비한다. 즉, 부상 스테이지부(3)는, 입구 부상 스테이지(31), 도포 스테이지(32) 및 출구 부상 스테이지(33)를 구비하고 있다. 이들 각 스테이지의 표면은, 서로 동일 평면의 일부를 이루고 있다. 입구 부상 스테이지(31) 및 출구 부상 스테이지(33)의 각각의 표면에는, 부상 제어 기구(35)로부터 공급되는 압축 공기를 분출하는 분출 구멍이, 매트릭스형상으로 다수 형성되어 있다. 분출되는 기류로부터 부여되는 부력에 의해, 기판(S)이 부상한다. 이렇게 하여 기판(S)의 이면(Sb)이 스테이지 표면으로부터 이격한 상태에서 수평 자세로 지지된다. 기판(S)의 이면(Sb)과 스테이지 표면의 거리, 즉 기판(S)의 부상량은, 예를 들면 10마이크로미터 내지 500마이크로미터로 할 수 있다.

한편, 도포 스테이지(32)의 표면에서는, 압축 공기를 분출하는 분출 구멍과, 기판(S)의 이면(Sb)과 스테이지 표면 사이의 공기를 흡인하는 흡인 구멍이 교대로 배치되어 있다. 부상 제어 기구(35)가 분출 구멍으로부터의 압축 공기의 분출량과 흡인 구멍으로부터의 흡인량을 제어함으로써, 기판(S)의 이면(Sb)과 도포 스테이지(32)의 표면의 거리가 정밀하게 제어된다. 이에 의해, 도포 스테이지(32)의 상방을 통과하는 기판(S)의 표면(Sf)의 연직 방향 위치가 규정값으로 제어된다. 부상 스테이지부(3)의 구체적 구성으로서는, 예를 들면 일본국 특허 제5346643호에 기재된 것을 적용할 수 있다. 또한, 도포 스테이지(32)에서의 부상량에 대해서는, 뒤에서 상세하게 설명하는 센서(61, 62)에 의한 검출 결과에 의거하여 제어 유닛(9)에 의해 산출되고, 또 기류 제어에 의해 고정밀도로 조정 가능하게 되어 있다.

또한, 입구 부상 스테이지(31)에는, 도면에는 나타나 있지 않은 리프트 핀이 배치되어 있으며, 부상 스테이지부(3)에는 이 리프트 핀을 승강시키는 리프트 핀 구동 기구(34)가 설치되어 있다.

입력 이재부(2)를 개재하여 부상 스테이지부(3)에 반입되는 기판(S)은, 롤러 컨베이어(21)의 회전에 의해 (+X)방향으로의 추진력이 부여되고, 입구 부상 스테이지(31) 상으로 반송된다. 입구 부상 스테이지(31), 도포 스테이지(32) 및 출구 부상 스테이지(33)는, 기판(S)을 부상 상태로 지지하는데, 기판(S)을 수평 방향으로 이동시키는 기능을 갖고 있지 않다. 부상 스테이지부(3)에 있어서의 기판(S)의 반송은, 입구 부상 스테이지(31), 도포 스테이지(32) 및 출구 부상 스테이지(33)의 하방에 배치된 기판 반송부(5)에 의해 행해진다.

기판 반송부(5)는, 척 기구(51)와 흡착·주행 제어 기구(52)를 구비하고 있다. 척 기구(51)는, 기판(S)의 하면 주연부에 부분적으로 맞닿음으로써 기판(S)을 하방으로부터 지지한다. 흡착·주행 제어 기구(52)는, 척 기구(51) 상단의 흡착 부재에 설치된 흡착 패드(도시 생략)에 부압을 부여하여 기판(S)을 흡착 유지시키는 기능, 및 척 기구(51)를 X방향으로 왕복 주행시키는 기능을 갖는다. 척 기구(51)가 기판(S)을 유지한 상태에서는, 기판(S)의 이면(Sb)은 부상 스테이지부(3)의 각 스테이지의 표면보다 높은 위치에 위치하고 있다. 따라서, 기판(S)은, 척 기구(51)에 의해 주연부를 흡착 유지하면서, 부상 스테이지부(3)로부터 부여되는 부력에 의해 전체적으로 수평 자세를 유지한다. 척 기구(51)에 의해 기판(S)의 이면(Sb)을 부분적으로 유지한 단계에서 기판(S)의 표면의 연직 방향 위치를 검출하기 위해서, 판두께 측정용의 센서(61)가 롤러 컨베이어(21)의 근방에 배치되어 있다. 기판(S)을 유지하고 있지 않은 상태의 척(도시 생략)이 이 센서(61)의 직하 위치에 위치함으로써, 센서(61)는 흡착 부재의 표면, 즉 흡착면의 연직 방향 위치를 검출 가능하게 되어 있다.

입력 이재부(2)에서 부상 스테이지부(3)로 반입된 기판(S)을 척 기구(51)가 유지하고, 이 상태에서 척 기구(51)가 (+X)방향으로 이동한다. 이렇게 함으로써, 기판(S)이 입구 부상 스테이지(31)의 상방에서 도포 스테이지(32)의 상방을 경유해 출구 부상 스테이지(33)의 상방으로 반송된다. 반송된 기판(S)은, 출구 부상 스테이지(33)의 (+X)측에 배치된 출력 이재부(4)에 수도(受渡)된다.

출력 이재부(4)는, 롤러 컨베이어(41)와, 이를 회전 구동하는 기능 및 승강시키는 기능을 갖는 회전·승강 구동 기구(42)를 구비하고 있다. 롤러 컨베이어(41)가 회전함으로써, 기판(S)에 (+X)방향으로의 추진력이 부여되고, 기판(S)은 반송 방향 Dt를 따라 추가로 반송된다. 또, 롤러 컨베이어(41)가 승강함으로써 기판(S)의 연직 방향 위치가 변경된다. 출력 이재부(4)에 의해, 기판(S)은 출구 부상 스테이지(33)의 상방에서 출력 컨베이어(110)로 이재된다.

출력 컨베이어(110)는, 롤러 컨베이어(111)와, 이를 회전 구동하는 회전 구동 기구(112)를 구비하고 있다. 롤러 컨베이어(111)의 회전에 의해, 기판(S)은 추가로 (+X)방향으로 반송되고, 최종적으로 도포 장치(1) 외로 배출된다. 또한, 입력 컨베이어(100) 및 출력 컨베이어(110)는 도포 장치(1)의 구성의 일부로서 설치되어도 되는데, 도포 장치(1)와는 별체의 것이어도 된다. 또 예를 들면, 도포 장치(1)의 상류측에 설치되는 별도 유닛의 기판 배출 기구가, 입력 컨베이어(100)로서 이용되어도 된다. 또, 도포 장치(1)의 하류측에 설치되는 별도 유닛의 기판 수용 기구가, 출력 컨베이어(110)로서 이용되어도 된다.

이와 같이 하여 반송되는 기판(S)의 반송 경로상에, 기판(S)의 표면(Sf)에 도포액을 도포하기 위한 도포 기구(7)가 배치된다. 도포 기구(7)는 슬릿 노즐(71)을 갖고 있다. 또, 도시를 생략하나, 슬릿 노즐(71)에는 위치 결정 기구가 접속되어 있다. 위치 결정 기구에 의해, 슬릿 노즐(71)은 도포 스테이지(32)의 상방의 도포 위치(도 1 중에서 실선으로 나타나는 위치)나 적절한 메인터넌스 위치에 위치 결정된다. 또한, 슬릿 노즐(71)에는, 도포액 공급 기구(8)가 접속되어 있다. 도포액 공급 기구(8)로부터 도포액이 공급되고, 노즐 하부에 하향으로 개구하는 토출구로부터 도포액이 토출된다. 또한, 슬릿 노즐(71)에 대해서는 뒤에서 상세하게 설명한다.

슬릿 노즐(71)에는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판(S)의 부상 높이를 비접촉으로 검지하기 위한 부상 높이 검출 센서(62)가 설치되어 있다. 이 부상 높이 검출 센서(62)에 의해, 부상한 기판(S)과, 도포 스테이지(32)의 스테이지면의 표면의 이격 거리를 측정하는 것이 가능하다. 그 검출값에 의거하여, 제어 유닛(9)을 개재하여, 슬릿 노즐(71)이 하강하는 위치를 조정할 수 있다. 또한, 부상 높이 검출 센서(62)로서는, 광학식 센서나, 초음파식 센서 등을 이용할 수 있다.

슬릿 노즐(71)에 대해 소정의 메인터넌스를 행하기 위해서, 도 1에 나타내는 바와 같이, 도포 기구(7)에는 노즐 세정 대기 유닛(79)이 설치되어 있다. 노즐 세정 대기 유닛(79)은, 주로 롤러(791), 세정부(792), 롤러 배트(793) 등을 갖고 있다. 그리고, 슬릿 노즐(71)이 메인터넌스 위치에 위치 결정된 상태에서, 이들에 의해 노즐 세정 및 액 저류 형성을 행하고, 슬릿 노즐(71)의 토출구를 다음의 도포 처리에 적합한 상태로 조정한다.

이 외, 도포 장치(1)에는, 장치 각 부의 동작을 제어하기 위한 제어 유닛(9)이 설치되어 있다. 제어 유닛(9)은, 소정의 프로그램이나 각종 레시피 등을 기억하는 기억부, 당해 프로그램을 실행함으로써 장치 각 부에 소정의 동작을 실행시키는 CPU 등의 연산 처리부, 액정 패널 등의 표시부 및 키보드 등의 입력부를 갖고 있다.

이하, 슬릿 노즐(71)의 구체적인 구성예 및 토출구의 개구 치수의 조정 방법 등에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 여기서 말하는 개구 치수의 조정이란, 개구 치수가 일정하거나 혹은 미리 정해진 규정값이 되는 것을 목표로 하는 조정이 아니라, 토출의 결과로서 기판(S)의 표면에 형성되는 도포막의 두께를 균일하게 하는 것을 목표로 하는 조정이다.

＜제1 실시형태＞

도 2는 도 1의 도포 장치에서 사용되는 슬릿 노즐의 제1 실시형태의 주요 구성을 모식적으로 나타내는 분해 조립도이다. 또, 도 3은 당해 슬릿 노즐의 삼면도이다. 슬릿 노즐(71)은, 제1 본체부(711), 제2 본체부(712), 제1 측판(713) 및 제2 측판(714)을 갖고 있다. 일점 쇄선 화살표로 나타내는 바와 같이, 제1 본체부(711)와 제2 본체부(712)가 X방향과 대향하는 상태로 결합된다. 그 결합체의 (-Y)측 단면에 제1 측판(713)이, 또 (+Y)측 단면에 제2 측판(714)이 각각 결합되어 노즐 본체(710)가 구성된다.

이들 각 부재는, 예를 들면 스테인리스강이나 알루미늄 등의 금속 블록에서 깎아내어진 것이다. 또한, 노즐 본체(710)를 구성하는 각 부재는, 예를 들면 볼트와 같은 적절한 고결(固結) 부재로 고결됨으로써 서로 결합되는데, 그러한 결합 구조는 공지이다. 따라서, 도면을 보기 쉽게 하기 위해서, 여기서는 고정 볼트나 이를 삽입 통과하기 위한 나사 구멍 등, 고결에 관련된 구성의 기재를 생략하는 것으로 한다. 이 점에 대해서는 후술하는 다른 실시형태에 있어서도 동일하게 하는 경우가 있다.

제1 본체부(711)의 제2 본체부(712)와 대향하는 측의 주면, 즉 (+X)측의 주면 중 하반분은, YZ평면과 평행한 평탄면(711a)이 되도록 마무리되어 있다. 이하에서는, 이 평탄면(711a)을 「제1 평탄면」이라 칭한다. 제1 본체부(711)의 제2 본체부(712)와 대향하는 측의 주면 중 상반분도, YZ평면과 평행한 평탄면(711b)이 되도록 마무리되어 있다. 또, 제1 본체부(711)의 하부는 하향의 끝이 가는 형상으로 돌출되어 제1 립부(711c)를 형성하고 있다. 평탄면(711a, 711b)은, Y방향을 길이 방향으로 하고 X방향을 깊이 방향으로 하는 대략 반원기둥 형상의 홈(711d)에 의해 구획되어 있다. 이 홈(711d)은, 도포액의 유로에 있어서의 매니폴드로서 기능하는 것이다.

한편, 제2 본체부(712)의 제1 본체부(711)와 대향하는 측의 주면, 즉 (-X)측의 주면은, YZ평면과 평행한 단일한 평탄면(712a)으로 되어 있다. 이하에서는, 이 평탄면(712a)을 「제2 평탄면」이라 칭한다. 또, 제2 본체부(712)의 하부는 하향의 끝이 가는 형상으로 돌출되어 제2 립부(712c)를 형성하고 있다. 평탄면(711b)과, 제2 평탄면(712a) 중 상반분이 밀착하도록, 제1 본체부(711)와 제2 본체부(712)가 결합된다.

제1 평탄면(711a)은, 평탄면(711b)보다 약간 (-X)측으로 후퇴하고 있다. 이 때문에, 제1 본체부(711)와 제2 본체부(712)가 결합된 상태에서는, 제1 평탄면(711a)과 제2 평탄면(712a)은, 미소한 갭을 두고 평행하게 대향하게 된다. 이와 같이 서로 대향하는 대향면(제1 평탄면(711a), 제2 평탄면(712a)) 사이의 갭 부분이 매니폴드로부터의 도포액의 유로가 된다. 그 유로의 하단이, 기판(S)의 표면(Sf)을 향해 하향으로 개구하는 토출구(715)(도 3)로서 기능한다. 토출구(715)는, Y방향을 길이 방향으로 하고, X방향에 있어서의 개구 치수가 미소한 슬릿형상의 개구이다.

제2 본체부(712)의 주면 중 제2 평탄면(712a)과는 반대측의 주면(712e)에는, Y방향을 따라 연장되는 홈(712f)이 형성되어 있다. 홈(712f)의 깊이에 대해서는 후술한다. 홈(712f)은, Y방향에 있어서 제2 본체부(712)의 전역에 걸쳐 연속적으로 형성되어 있다. 이 때문에, 제2 본체부(712) 중, 홈(712f)보다 하부는, Y방향으로 대체로 균일한 단면 형상을 갖고 (+X)방향으로 돌출하는 돌출부(712g)로 되어 있다.

돌출부(712g)의 하면에는, 돌출부(712g)를 상하 방향으로 관통하는 나사 구멍(712h)이 형성되어 있다. 나사 구멍(712h)은, 돌출부(712g)의 하면에 Y방향을 따라, 또한 균등한 피치로 복수 형성되어 있다. 각 나사 구멍(712h)에는, 후술하는 바와 같이 토출구(715)의 X방향의 개구 치수를 조정하기 위한 조정 나사(716)가 장착된다. 조정 나사(716)는, 홈(712f)의 깊이 방향(X방향)과 교차하는 Z방향으로, 당해 홈(712f)에 걸쳐 설치되어 있고, 그 상단이 홈(712f)의 상면까지 도달해 있다.

나사 구멍(712h)에 대한 조정 나사(716)가 홈(712f)에 걸쳐 설치되어 있다. 이 때문에, 그 나사 삽입량을 변화시키면, 제2 본체부(712)가 홈(712f)의 연장 설치 방향(Y방향)의 축 둘레로 약간 변형한다. 그 결과, 홈(712f)을 사이에 끼고 서로 대향하는 양측의 부위의 간격, 즉 홈(712f)의 폭이 증감한다. 구체적으로는, 제2 본체부(712) 중 홈(712f)보다 상측의 부위에 대해, 홈(712f)보다 하측의 돌출부(712g)가 상대적으로 접근 또는 이격하는 방향으로 변위함으로써, 양자의 간격이 변화한다.

이러한 변위에 수반하여, 돌출부(712g)에 접속하는 제2 립부(712c)가 X방향, 즉 대향하는 제1 립부(711c)에 대해 접근 및 이격하는 방향으로 변위하게 된다. 이와 같이, 서로 대향하는 제1 립부(711c)와 제2 립부(712c)가 상대적으로 접근 방향 및 이격 방향으로 변위함으로써, 양자의 간격, 즉 토출구(715)의 개구폭이 변화한다. 따라서, 조정 나사(716)의 나사 삽입량에 의해 토출구(715)의 개구폭을 조정할 수 있다. 토출구(715)의 길이 방향을 따라 복수의 조정 나사(716)가 배열됨으로써, 동 방향에 있어서의 각 위치에서 개구폭의 조정을 행하는 것이 가능해진다.

조정 나사(716)는 예를 들면 차동 나사이다. 조정 나사로서 차동 나사를 이용한 경우의 토출구의 개구 치수를 조정하는 방법의 원리에 대해서는, 예를 들면 일본국 특허공개 평 09-131561호 공보에 기재되어 있다. 본 실시형태에서도 동일한 원리를 이용할 수 있으므로, 여기서는 자세한 설명을 생략한다.

또한, 도면을 보기 쉽게 하기 위해, 도 2 및 도 3에서는 조정 나사(716)의 배치 수를 실제보다 적게 기재하고 있다. 즉, 실제 장치에 있어서는, 이들 도면보다 미세한 배열 피치로 보다 많은 조정 나사(716)가 배치되어 있다.

도 4는 조정 나사의 배치를 예시하는 도면이며, 보다 구체적으로는, 도 3의 A-A선 단면에 상당하는 노즐 본체(710)의 단면도이다. 도 4(a) 내지 도 4(d)는, 각각 조정 나사(716)의 배치와 홈(712f)의 깊이 프로파일의 관계의 예를 나타내는 것이다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이, 조정 나사(716)는 Y방향에 있어서 일렬로 배치되어 있는 것이 아니라, 길이 방향(Y방향)에 있어서의 토출구(715)의 중앙부와 양단부에서 배치가 상이하다.

보다 구체적으로는, 도 4(a)에 나타내는 예에서는, 조정 나사(716)는, 길이 방향에 있어서의 중앙 영역(Rc)에서는 Y방향으로 연장되는 가상적인 직선(L1) 상에 늘어서도록 일렬로 배치되어 있다. 한편, 중앙 영역(Rc)에 인접하는 양측의 단부 영역(Re)에서는, 제2 평탄면(712a)에서 봤을 때 직선(L1)보다 먼 위치에서, 즉 (+X)방향으로 어긋난 위치에서 Y방향으로 연장되는 가상적인 직선(L2) 상에, 조정 나사(716)가 배치된다. 이하, 특히 구별할 필요가 있는 경우에는, 중앙 영역(Rc)에 배치되는 조정 나사를 부호 716a에 의해 나타내는 한편, 단부 영역(Re)에 배치되는 조정 나사를 부호 716b에 의해 나타내는 것으로 한다.

조정 나사(716a)와 제2 평탄면(712a)의 거리를 Da, 조정 나사(716b)와 제2 평탄면(712a)의 거리를 Db에 의해 나타내는 것으로 하면, Db＞Da의 관계가 성립한다. 또한, 여기서는 거리 Da, Db를 조정 나사(716)의 중심축과 제2 평탄면(712a)의 간격에 의해 정의되어 있는데, 이 대신에, 예를 들면 조정 나사(716) 중 제2 평탄면(712a)에 가장 가까운 부위와 제2 평탄면(712a)의 간격에 의해 나타내어져도 된다. 한편, 홈(712f)의 깊이는 일정하다. 바꾸어 말하면, 홈(712f)의 바닥부에서 제2 평탄면(712a)까지의 제2 본체부(712)의 두께(두께)가, Y방향에 있어서 일정하다.

도 4(b)에 나타내는 예에서는, 중앙 영역(Rc)에 있어서의 조정 나사(716a)의 배치는, 상기와 같다. 단, 단부 영역(Re)에 있어서는, Y방향에 있어서의 외측만큼 제2 평탄면(712a)으로부터의 거리가 커지도록, 조정 나사(716b, 716c)가 배치된다. 이와 같이, Y방향에 있어서 서로 인접하는 임의의 2개의 조정 나사(716)에 주목했을 때, 그들 사이에서, Y방향에 있어서 외측에 있는 쪽의 조정 나사(716)와 제2 평탄면(712a)의 거리가, 다른 쪽의 조정 나사(716)와 제2 평탄면(712a)의 거리와 동일하거나 또는 이보다 크다는 관계가 성립해 있으면 된다. 또한, 이 예에 있어서도, 제2 본체부(712)의 두께(두께)는 Y방향에 있어서 일정하다.

또, 도 4(c) 및 도 4(d)에 나타내는 예에서는, 조정 나사(716)(716a, 716b)의 배치는 도 4(a)에 나타내는 예와 같다. 한편, 홈(712f)의 깊이는, 중앙 영역(Rc)과 단부 영역(Re)에서 상이하다. 도 4(c)에 나타내는 예에서는, 중앙 영역(Rc)에 비해, 단부 영역(Re)에서 홈(712f)이 깊어지고 있다. 즉, 홈(712f)의 바닥부와 제2 평탄면(712a) 사이에 있어서의 제2 본체부(712)의 두께는, 중앙 영역(Rc)에 비해 단부 영역(Re)에 있어서 보다 얇아지고 있다.

이와 같이, 도 4(c)에 나타내는 예에서는, 조정 나사(716)의 배치의 변화, 홈(712f)의 깊이의 변화가 대체로 같은 위치에서 발생하고 있다. 한편, 도 4(d)에 나타내는 예에서는, 홈(712f)의 깊이의 변화가, 중앙 영역(Rc) 중에서도 보다 중앙 근처에 있어서 발생하고 있다. 이 때문에, 조정 나사(716)의 배치의 변화가 발생하는 위치와, 홈(712f)의 깊이의 변화가 발생하는 위치가 상이하다.

조정 나사(716)의 배치와 슬릿 노즐(71)의 홈(712f)이 갖는 깊이 프로파일의 관계는, 이들 중 어느 것이어도 된다. 또, 도 4(b)에 나타내는 조정 나사(716)의 배치와, 도 4(c) 또는 도 4(d)에 나타나는 홈(712f)의 깊이 프로파일이 조합되어 있어도 된다. 또, 이들 예에서는, Y방향으로 배열된 조정 나사(716) 중 외측부터 2개까지가, 중앙 영역(Rc)의 조정 나사(716a)보다 (+X)측에 배치되어 있다. 그러나, 이 수는 1이어도 되고, 또 3 이상이어도 된다.

다음에, 이와 같이 조정 나사(716)의 배치 및 홈(712f)의 깊이를 설정함으로써 얻어지는 작용 효과에 대해 설명한다. 우선, 도 4(a)에 나타나는 구조를 대표예로서 설명한다.

도 5a 및 도 5b는 슬릿 노즐의 단면도이다. 보다 상세하게는, 도 5a는 도 3의 B-B선 단면도, 도 5b는 도 3의 C-C선 단면도이다. 또한, 도 4(a)의 B-B선은 도 3의 B-B선에 대응하고 있고, 도 4(a)의 C-C선은 도 3의 C-C선에 대응하고 있다. 도 5a에 나타내는 바와 같이, 토출구(715)의 Y방향에 있어서의 중앙부에 대응하는 B-B선 단면에 있어서는, 제2 평탄면(712a)과 조정 나사(716)(716a)의 거리 Da는 비교적 작다. 한편, 도 5b에 나타내는 바와 같이, 토출구(715)의 Y방향에 있어서의 단부에 대응하는 C-C선 단면에 있어서는, 제2 평탄면(712a)과 조정 나사(716)(716b)의 거리 Db는, 거리 Da보다 크다. 홈(712f)의 깊이(제2 본체부(712)의 두께)는 모두 같다.

조정 나사(716)의 체결력의 변화에 의해 제2 본체부(712) 중 실제로 변형하는 변형 부위(홈(712f)의 바닥부와 제2 평탄면(712a) 사이의 부위) 둘레로 생기는 힘의 모멘트는, 조정 나사(716)까지의 거리가 큰 도 5b의 케이스의 쪽이 커진다. 이 때문에, 중앙 영역(Rc)보다 단부 영역(Re)에 있어서, 보다 작은 힘으로 제2 본체부(712)를 변형시키는 것이 가능해진다.

한편, 토출구(715)의 개구 치수의 변화에 직접적으로 관련되는, 제2 립부(712c)의 변위량에 대해서는 다음과 같다. 중앙 영역(Rc)의 조정 나사(716a)와, 단부 영역(Re)의 조정 나사(716b)를 같은 회전 각도만큼 회전시켰을 때의 개구폭의 변화는, 변형 부위까지의 거리가 큰 단부 영역(Re)에 있어서, 중앙 영역(Rc)보다 약간 작아진다.

이들 특징에 의해, 중앙 영역(Rc)보다 단부 영역(Re) 쪽이, 개구 치수의 미세 조정이 용이하게 되어 있다. 그 결과, 중앙 영역(Rc)에 비해 토출량의 편차가 커지기 쉬운 단부 영역(Re)에 있어서도, 개구 치수를 미세하게 조정할 수 있다. 따라서, 중앙 영역(Rc)과의 사이에서 토출량을 맞추는 것이 가능하다. 이에 의해, 오퍼레이터에게 있어서는, 토출량을 균일화하기 위한 조정 작업을 효율적으로 행하는 것이 가능해진다. 토출량의 편차가 비교적 작은 중앙 영역(Rc)에서는, 조정 나사(716a)를 Y방향의 일직선상, 즉 제2 평탄면(712a)으로부터의 거리가 서로 동일해지도록 배치할 수 있다.

도 4(b)에 나타내는 예에서는, 단부 영역(Re)에 있어서, 외측의 조정 나사(716)만큼 제2 평탄면(712a)에서 멀어진 위치가 되는 배치로 되어 있다. 이와 같이 하면, 단부 영역(Re)에 있어서는, Y방향에 있어서의 외측만큼 개구 치수를 미세하게 조정할 수 있게 되고, 이 점도 조정 작업의 효율화에 이바지한다.

또, 도 4(c) 및 도 4(d)에 나타내는 예에서는, 상기한 조정 나사(716)의 배치에 더하여, 홈(712f)의 깊이(제2 본체부(712)의 두께)를 변화시키고 있다. 이 두께가 작을수록 당해 부위에 있어서의 제2 본체부(712)의 굽힘 강성은 작아지기 때문에, 두께가 큰 부분보다 변형되기 쉽게 되어 있다. 이 점은, 상기와 같이 조정 나사(716)를 제2 평탄면(712a)에서 멀어지게 배치하는 대책과 동일하게, 단부 영역(Re)에 있어서의 개구 치수의 조정을 용이하게 하는 것에 기여한다.

도 4(c) 및 도 4(d)에 나타내는 예는, 조정 나사(716)의 배치의 변화와 홈(712f)의 깊이의 변화를 조합함으로써, 단부 영역(Re)에 있어서의 조정 작업의 새로운 효율화를 도모하려고 하는 것이다. 이 중 도 4(c)에 나타내는 구성에서는, 조정 나사(716)의 배치에 의한 영향과, 홈(712f)의 깊이의 변화에 의한 영향이 Y방향에 있어서 대체로 같은 위치에서 나타난다. 이 때문에, 오퍼레이터에 의한 작업성이 중앙 영역(Rc)과 단부 영역(Re) 사이에서 급준하게 변화하게 된다. 한편, 도 4(d)에 나타내는 구성에서는, 조정 나사(716)의 배치에 의한 영향과, 홈(712f)의 깊이의 변화에 의한 영향이 Y방향에 있어서 상이한 위치에서 나타난다. 그 때문에, 이러한 작업성의 변화를 보다 완화시킬 수 있다.

조정 나사(716)의 배치, 구체적으로는 제2 평탄면(712a)과의 거리를 어떻게 설정할지, 또 홈(712f)의 깊이 프로파일과 어떻게 조합할지를 검토할 필요가 있다. 이들에 대해서는, 토출구(715)의 개구폭의 크기나 사용되는 도포액의 점도, 필요해지는 도막의 두께 등에 따라 적절히 최적화되는 것이 바람직하다.

또한, 상기한 제1 실시형태의 슬릿 노즐(71)에서는, Y방향에 있어서는 제2 본체부(712)에 일정한 배열 피치로, 조정 나사(716)가 배치되어 있다. 그러나, 이하에 변형예로서 나타내는 바와 같이, 조정 나사의 배열 피치를 불균등한 것으로 해도 된다. 또, 동일한 기술 사상에 의거하여 구성되는 슬릿 노즐로서는, 상기 이외에 다른 실시형태도 생각된다. 이하에서는 이러한 다른 구성예에 대해 순서대로 설명한다. 이하의 설명에 있어서는, 다른 실시형태와의 대비를 알기 쉽게 하기 위해서, 기존의 구성과 동일하거나, 또는 경미한 차이가 있는 것에 상당하는 기능을 갖는 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이는 것으로 한다.

도 6은 제1 실시형태의 슬릿 노즐의 변형예를 나타내는 도면이다. 도 6에 나타내는 변형예의 슬릿 노즐(71A)에서는, 토출구(715)의 Y방향에 있어서의 중앙부의 중앙 영역(Rc)에서는, 비교적 성긴 배열 피치로 조정 나사(716a)가 배치된다. 한편, 토출구(715)의 Y방향에 있어서의 단부 근방의 단부 영역(Re)에서는, 보다 미세한 배열 피치로 조정 나사(716b)가 배치된다. 그리고, 단부 영역(Re)에 배치되는 조정 나사(716b)는, 중앙 영역(Rc)에 배치되는 조정 나사(716a)에 비해, X방향에 있어서 토출구(715)로부터 보다 멀어져서 배치되어 있다.

슬릿 노즐을 이용한 도포에서는, 형성되는 도포막의 중앙부에서는 비교적 균일한 막을 얻기 쉽다. 이에 비해, 단부 근방에 있어서는, 고점도의 도포액의 솟아오름이나 저점도의 도포액의 외측으로의 유출 등에 기인하는 도포막의 흐트러짐이 생기기 쉽다. 이러한 흐트러짐을 억제하기 위해서, 길이 방향에 있어서의 토출구(715)의 단부 근방에서는, 중앙부보다 미세한 분해능으로 조정을 행할 수 있는 것이 바람직하다. 이 변형예의 슬릿 노즐(71A)은, 이러한 요구에 따를 수 있는 것이다.

바꾸어 말하면, 비교적 균일성을 얻기 쉬운 중앙 영역(Rc)에 있어서 조정 나사(716a)의 배열 피치를 크게 함으로써, 부품 점수 및 조정 공수의 삭감을 도모할 수 있다. 이에 의해, 장치 코스트 및 런닝 코스트의 경감에도 기여하는 것이 가능하다.

＜제2 실시형태＞

도 7은 도 1의 도포 장치에서 사용되는 슬릿 노즐의 제2 실시형태의 주요 구성을 모식적으로 나타내는 분해 조립도이다. 이 종류의 슬릿 노즐에는, 고강성의 재료로 형성된 2개의 본체 부재 사이에 박판형상의 심(shim)을 끼워넣은 구조로 되어 있는 것이 있다. 도 7에 나타내는 제2 실시형태의 슬릿 노즐(71B)은, 이러한 구조를 갖는 것이다.

슬릿 노즐(71B)에서는, 서로 대향하는 평탄면을 갖는 제1 본체부(711B)와 제2 본체부(712B)가, 심(72B)을 사이에 끼고 결합됨으로써, 노즐 본체(710B)가 구성된다. 제1 본체부(711B)에서는, 제2 본체부(712B)와 대향하는 측의 평탄한 주면(711a)에, 도포액의 매니폴드로서 기능하는 대략 반원기둥 형상의 홈(711k)이 형성되어 있다. 심(72B)은, 도포액의 유로가 되는 부분이 절결된 예를 들면 금속제의 박판이다. 제1 본체부(711B)와 제2 본체부(712B) 사이에 심(72B)이 끼워넣어짐으로써, 양자 간의 갭이 규정됨과 더불어, 도포액의 유로가 형성된다.

이들의 점을 제외하고, 제1 본체부(711B) 및 제2 본체부(712B)의 형상은, 제1 실시형태의 대응하는 구성 711, 712와 같다. 즉, 제2 본체부(712B)의 주면 중 제1 본체부(711B)와 대향하는 면(712a)과는 반대측의 면(712e)에 홈(712f)이 형성되고, 당해 홈(712f)에 걸치도록, 복수의 조정 나사(716)(716a, 716b)가 Y방향으로 배열되어 있다. 홈(712f)의 형상과, 조정 나사(716)(716a, 716b)의 배치 및 기능은, 상기 실시형태의 것과 동일하고, 이에 의해 초래되는 작용 효과도 같다.

이와 같이, 본 발명의 기술 사상에 의거하는 토출구 개구폭의 조정 기구는, 심을 이용하여 갭을 규정하는 노즐, 심을 이용하지 않는 노즐의 어느 것에나 적용 가능하다.

＜제3 실시형태＞

도 8은 도 1의 도포 장치에서 사용되는 슬릿 노즐의 제3 실시형태의 주요 구성을 모식적으로 나타내는 분해 조립도이며, 도 9는 당해 슬릿 노즐의 삼면도이다. 이 실시형태의 슬릿 노즐(71C)은, 제1 본체부(711C), 제2 본체부(712C), 제1 측판(713C) 및 제2 측판(714C)을 갖고 있다. 이 중, 제2 본체부(712C)의 구조는, 상기 제1 실시형태의 제2 본체부(712)와 동일하다. 제1 실시형태와 동일하게, 이들이 결합되어 노즐 본체(710C)가 구성된다.

제1 실시형태에 있어서는, 제2 본체부(712)에만 토출구의 개구폭을 조정하기 위한 기구(구체적으로는, 홈(712f) 및 조정 나사(716))가 설치되어 있었다. 한편, 이 실시형태에서는, 제1 본체부(711C), 제1 본체부(712C)의 양쪽 모두에, 동일한 조정 기구가 설치되어 있다. 보다 구체적으로는, 제1 본체부(711C)의 주면 중 제1 평탄면(711a)과는 반대측의 주면(711e)에, Y방향을 따라 연장되는 홈(711f)이 형성되어 있다. 홈(711f)이 Y방향에 있어서 제1 본체부(711)의 전역에 걸쳐 균일한 단면 형상으로 형성되어 있다. 이 때문에, 제1 본체부(711C) 중, 홈(711f)보다 하부는, Y방향으로 대체로 균일한 단면 형상을 갖고 (-X)방향으로 돌출하는 돌출부(711g)로 되어 있다. 2개의 본체부(711C, 712C)에 각각 형성된 돌출부를 구별할 필요가 있는 경우, 각각을 「제1 돌출부」, 「제2 돌출부」라 칭하는 경우가 있다.

제1 돌출부(711g) 및 제2 돌출부(712g)의 하면에는, 이들을 상하 방향으로 관통하는 나사 구멍(711h, 712h)이 형성되어 있다. 나사 구멍(711h)은, 제1 돌출부(711g)의 하면에 Y방향을 따라 복수 형성되어 있다. 또, 나사 구멍(712h)은, 제2 돌출부(712g)의 하면에 Y방향을 따라 복수 형성되어 있다. 나사 구멍(711h, 712h) 중, Y방향에 있어서의 단부 근방에 위치하는 몇 개에 대해서는, 보다 중앙측에 위치하는 것보다 X방향에 있어서 외측에 배치되어 있다. 각 나사 구멍(711h, 712h)에는, 토출구(715)의 X방향의 개구 치수를 조정하기 위한 조정 나사(716)가 장착된다. 조정 나사(716)는, 홈(711f, 712f)에 걸치며 그 상단은 홈(711f, 712f)의 상면까지 도달해 있다.

도 9 하부의 하면도에 나타내는 바와 같이, 제1 본체부(711C)와 제2 본체부(712C) 사이에서, 조정 나사(716)의 배치 위치가 Y방향으로 상이하다. 구체적으로는, Y방향에 있어서, 제1 본체부(711C)측의 조정 나사(716)가 제2 본체부(712C)측에서 서로 이웃하는 2개의 조정 나사(716, 716) 사이에 위치하도록, 각 나사 구멍(711h, 712h)이 배치되어 있다. 따라서, 슬릿 노즐(71C)을 하면측에서 봤을 때, 각 조정 나사(716)는 Y방향을 따라 이른바 지그재그 배치로 되어 있다.

조정 나사(716)를 이러한 배치로 함으로써, 다음과 같은 효과가 얻어진다. 즉, Y방향을 따라 연장되는 토출구(715)에 있어서는, 제1 본체부(711C)에 조정 나사(716)가 설치된 위치의 근방에서는, 제1 립부(711c)의 변위에 의해 개구 치수가 조정된다. 한편, 제2 본체부(712C)에 조정 나사(716)가 설치된 위치의 근방에서는, 제2 립부(712c)의 변위에 의해 개구 치수가 조정된다.

그 때문에, 제1 본체부(711C) 또는 제2 본체부(712C)의 한쪽에만 조정 나사를 배치한 구성과 비교해서, 보다 미세하게 개구 치수의 조정을 행하는 것이 가능해진다. 즉, 제1 본체부(711C) 및 제2 본체부(712C)에 각각 조정 나사(716)를 배열하고, 게다가 그들을 지그재그 배치로 한 구성은, 어느 한쪽에만 조정 나사를 배치한 경우에 비해, 조정의 「분해능」을 2배로 향상시키는 것이 가능하다. 또, 동등한 분해능을 얻기 위함이라면, 필요한 조정 나사의 배열 피치를 2배로 넓힐 수 있다. 그 때문에, 각 부재의 기계적 강도를 확보하는 것도 용이하다.

이 실시형태에서는, 제1 본체부(711C)에 형성된 홈(711f)과 이에 걸친 조정 나사(716)의 관계, 및, 제2 본체부(712C)에 형성된 홈(712f)과 이에 걸친 조정 나사(716)의 관계 중 한쪽, 혹은 양쪽 모두가, 도 4(a) 내지 도 4(d)에 나타나는 제2 본체부(712)와 동일한 관계로 되어 있다. 이에 의해, 상기 실시형태와 동일하게, 토출구(715)의 단부 근방에 있어서의 개구 치수의 조정을 용이하게 하고, 토출량을 중앙부와 단부에서 맞추기 위한 조정 작업의 효율화를 도모할 수 있다. 단부에 있어서의 조정 나사(716b)의 배치 수는, 제1 본체부(711C)와 제2 본체부(712C) 사이에서 같아도 되고, 도 9에 나타내는 바와 같이 상이해도 된다. 이 점은 뒤에서 나오는 변형예에 있어서도 같다.

또한, 단순히 제1 실시형태와 동등한 효과를 얻는다는 목적에서는, 제1 본체부(711) 및 제2 본체부(712)의 양쪽 모두에 조정 나사(716)를 배열하는 경우에 있어서, 그 배치 위치를 Y방향에 있어서 같게 하는 것도 생각된다. 그러나, 이 경우에는, 상기와 같이 조정 나사를 지그재그 배치로 함으로써 얻어지는 분해능의 향상 효과는 얻어지지 않는다. 또, 토출구 중 길이 방향에 있어서의 1개의 위치에 대해, 2개의 조정 기구가 독립적으로 작용하게 된다. 이 때문에, 오히려 조정 작업이 번잡해지는 경우가 있다.

도 10a 및 도 10b는 제3 실시형태의 슬릿 노즐의 변형예를 나타내는 도면이다. 도 10a에 나타내는 변형예의 슬릿 노즐(71D), 및 도 10b에 나타내는 변형예의 슬릿 노즐(71E)에서는, 도 6에 나타낸 제1 실시형태의 변형예의 슬릿 노즐(71A)과 동일하게, 조정 나사(716)의 배열 피치가 불균등하게 되어 있다. 구체적으로는, 도 10a에 나타내는 변형예의 슬릿 노즐(71D)에서는, 제1 본체부(711D) 및 제2 본체부(712D)의 각각에 있어서, 토출구(715)의 Y방향에 있어서의 중앙부(Rc)에서는 비교적 성긴 배열 피치로 조정 나사(716a)가 배치된다. 한편, 토출구(715)의 Y방향에 있어서의 단부(Re)에서는, 보다 미세한 배열 피치로 조정 나사(716b)가 배치된다.

또, 도 10b에 나타내는 변형예의 슬릿 노즐(71E)에서는, 동일한 관점에서, 중앙 부근에서는 제2 본체부(712E)에만 조정 나사(716a)를 배치하고, 제1 본체부(711E)에서는 이것이 생략되어 있다. 이렇게 함으로써, 실용상은 도포막의 균일성을 유지하면서, 부품 점수 및 조정 공수를 추가로 삭감하는 것이 가능하다. 또한, 이와는 반대로, 제2 본체부(712E)측의 조정 나사를 생략하도록 해도 물론 상관없다.

＜제4 실시형태＞

다음에, 도포 장치(1)에 적용 가능한 슬릿 노즐의 제4 실시형태에 대해 설명한다. 상기 각 실시형태에서는, 슬릿 노즐의 길이 방향(Y방향)에 있어서 단일한 토출구가 형성되어 있다. 그러나, 이 종류의 도포 장치에서는, 토출구를 길이 방향에 있어서 복수로 분할하여, 복수의 도포막을 동시에 형성하는 이용 형태도 존재한다. 다음에 나타내는 제4 실시형태의 슬릿 노즐(71F)은, 이러한 요구에 대응하는 것이다.

도 11a 및 도 11b는, 도 1의 도포 장치에서 사용되는 슬릿 노즐의 제4 실시형태를 나타내는 도면이다. 보다 구체적으로는, 도 11a는 이 실시형태의 슬릿 노즐(71F)의 주요 구성을 모식적으로 나타내는 분해 조립도이다. 또, 도 11b는 슬릿 노즐(71F)의 하면도 및 단면도이다. 이 중 단면도는, 홈(712f)에 대응하는 위치를 포함하는 수평면을 절단면으로 하는 슬릿 노즐(71F)의 단면도이며, 제1 실시형태에 있어서 도 3에 나타낸 A-A선 단면도에 상당하는 도면이다.

이 실시형태에서는, 제1 본체부(711F)와 제2 본체부(712F) 사이에 심(72F)이 끼워넣어짐으로써, 본체부(710F)가 구성된다. 심(72F)의 중앙부에는, 유로의 격벽으로서 작용하는 돌출 부위(721F)가 형성되어 있다. 이에 의해, 도포액의 유로는 2개로 구획된다. 돌출 부위(721F)는 제1 및 제2 립부(711c, 712c)의 하단까지 연장되어 있다. 따라서, 슬릿 노즐(71F)의 하단에는, 각각이 Y방향을 길이 방향으로 하고, 또한 Y방향으로 늘어서는 두 개의 토출구(715a, 715b)가 형성되게 된다.

이 경우, 조정 나사(716)의 배치 위치는, 각 토출구(715a, 715b)의 중앙 영역(Rc)와 단부 영역(Re)에서 상이하다. 이는, 두 개의 토출구(715a, 715b)의 각각에서 「중앙부와 단부에서 토출량을 맞추는 조정 동작의 효율 향상을 도모한다」라는 목적을 달성하기 위함이다. 구체적으로는, 도 11b에 나타내는 바와 같이, 토출구(715a), 토출구(715b) 각각의 중앙 영역(Rc)에서는 조정 나사(716a)가 Y방향으로 일렬로 배치되어 있다. 한편, 토출구(715a), 토출구(715b) 각각의 단부 영역(Re)에 있어서는, 조정 나사(716b)는 중앙 영역(Rc)의 조정 나사(716a)보다 (+X)방향으로 어긋난 위치에 배치되어 있다.

또한, 도 11b에서는 홈(712f)의 깊이 프로파일은 일정하며, 이는 토출구와의 관계로서는 도 4(a)에 대응하는 것이다. 그러나, 도 4(b)~도 4(d)에 나타나는 형상이어도 물론 상관없다. 도 4(c), (d)에 나타내는 형상으로 하는 경우, 토출구(715a, 715b)의 각각에 있어서, 그 단부 영역(Re)에 있어서 중앙 영역(Rc)보다 홈(712f)이 깊어지도록 하면 된다.

또한, 동일한 개념이 도 2, 도 6, 도 8 등에서 이미 나타나 있기 때문에 도시를 생략하는데, 제4 실시형태에 있어서도, 그 변형예로서 다음과 같은 구성이 생각된다. 상기한 제4 실시형태의 슬릿 노즐(71F)은, 제1 본체부(711F) 및 제2 본체부(712F)에 사이에 끼워진 심(72F)에 의해, 두 개의 유로 및 두 개의 토출구를 형성한다. 그러나, 도 2에 나타낸 예와 같이, 심을 이용하지 않고 제1 및 제2 본체부 중 적어도 한쪽의 형상을 변경함으로써 유로 및 토출구를 형성하는 노즐이어도, 상기와 동일한 방식을 적용하는 것이 가능하다.

또, 도 6에 나타낸 예와 같이, 조정 나사(716)의 배열 피치를, 각 토출구의 중앙부에 대응하는 영역에서 넓고, 단부에 상당하는 영역에서 좁게 하도록 해도 된다. 또한, 도 8에 나타낸 예와 같이, 두 개의 본체부의 각각 조정 기구(홈 및 조정 나사)가 설치되어도 된다.

이와 같이, 상기한 각 실시형태에서는, 목적에 따라, 또 장치나 도포액의 특성에 따라, 노즐 본체에 형성된 홈의 폭을 증감하는 조정 나사(716)의 배치를 적절히 설정하여 개구 치수의 조정을 행한다. 이렇게 함으로써, 균일한 도포막을 얻을 수 있는 도포 조건을, 보다 효율적으로 실현하는 것이 가능해진다.

＜그 외＞

이상 설명한 바와 같이, 상기 각 실시형태에 있어서는, 제1 립부(711c)와 제2 립부(712c)가 「한 쌍의 립부」를 구성하고, 제1 본체부(711) 및 제2 본체부(712)가 각각, 본 발명의 「제1 본체 부재」 및 「제2 본체 부재」로서 기능하고 있다. 또, 서로 대향하는 제1 본체부의 제1 평탄면(711a)과 제2 본체부의 제2 평탄면(712a)이, 본 발명의 「대향면」에 상당하고 있다. 또, 제1 본체부(711)에 형성된 나사 구멍(711h), 조정 나사(716) 등이 일체적으로 본 발명의 「조정 기구」로서 기능하고 있다. 또, 제2 본체부(712)에 형성된 나사 구멍(712h), 조정 나사(716) 등도, 이들이 일체적으로 본 발명의 「조정 기구」로서 기능하고 있다. 또, 홈(711f, 712f)이 본 발명의 「홈」에 상당하고 있다.

또, 상기 실시형태의 도포 장치(1)는 본 발명의 「기판 처리 장치」에 상당하는 것이며, 입력 컨베이어(100), 입력 이재부(2), 부상 스테이지부(3), 출력 이재부(4), 출력 컨베이어(110), 기판 반송부(5) 등이 일체적으로 본 발명의 「상대 이동 기구」를 구성하고 있다. 또, 도포액 공급 기구(8)가, 본 발명의 「액체 공급부」로서 기능하고 있다.

또한, 본 발명은 상기한 실시형태로 한정되는 것이 아니고, 그 취지를 일탈하지 않는 한 상술한 것 이외에 다양한 변경을 행하는 것이 가능하다. 예를 들면 상기 제1 실시형태에서는, 제2 본체부(712)의 측면에 홈(712f)을 형성하고, 하방으로부터 장착된 조정 나사(716)에 의해 토출구(715)의 개구 치수를 조정하고 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 다른 방식으로 개구 치수를 조정하는 구성이어도 된다. 예를 들면, 노즐의 하면에 홈을 형성하고, 수평 방향으로 설치한 조정 나사로 노즐을 탄성 변형시켜, 개구 치수를 증감하도록 해도 된다.

또 예를 들면, 상기 실시형태에서는, 조정 나사로서, 개구 치수를 넓히는 방향 및 좁히는 방향의 어느 것에 대해서도 능동적으로 작용하는 차동 나사를 이용하고 있다. 그러나, 예를 들면 미리 넓게 설정된 개구 치수를 줄이거나, 혹은 반대로 미리 좁게 설정된 개구 치수를 넓힌다고 하는 바와 같이, 한 방향만의 조정 기능을 갖는 조정 나사에 의해서도, 적절한 개구 치수의 조정은 가능하다.

또, 상기 실시형태의 도포 장치(1)에서는, 슬릿 노즐(71)의 하방에서 기판(S)을 반송함으로써 슬릿 노즐(71)과 기판(S)의 상대 이동이 실현되고 있다. 그러나, 이들의 상대 이동의 실현 방법은 상기로 한정되지 않는다. 예를 들면 스테이지 상에 유지된 기판에 대해 슬릿 노즐이 주사 이동하는 구성에 있어서도, 본 발명은 유효하게 기능한다. 또, 기판의 반송 형식은 상기와 같은 부상식의 것으로 한정되지 않는다. 예를 들면 롤러 반송, 벨트 반송, 이동 스테이지에 의한 반송 등 각종의 것을 적용 가능하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 기판(S)의 표면(Sf)에 도포액을 공급하는 도포 장치(1)에 대해 본 발명을 적용하고 있는데, 본 발명의 적용 대상은 이것으로 한정되는 것은 아니다. 슬릿 노즐에 처리액을 송급함으로써 당해 슬릿 노즐로부터 기판의 표면에 처리액을 공급하면서 슬릿 노즐에 대해 상대적으로 이동시켜 소정이 처리를 실시하는 기판 처리 기술 전반에, 본 발명을 적용 가능하다.

이상, 구체적인 실시형태를 예시하여 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 슬릿 노즐은, 홈의 바닥부와 대향면 사이에 있어서의 립부의 두께가 길이 방향에 있어서 일정해도 되고, 또 예를 들면 단부에 대응하는 위치에 있어서의 두께가, 중앙부에 대응하는 위치에 있어서의 두께보다 작게 되어 있어도 된다. 어느 구성에 있어서도 본 발명의 효과를 얻을 수 있다. 단부에서 두께를 작게 하도록 하면, 노즐 본체의 굽힘 강성이 단부에 있어서 중앙부보다 작아지기 때문에, 조정에 필요한 힘을 보다 작게 하는 것이 가능하다.

또 예를 들면, 복수의 조정 나사의 각각과 대향면의 직교 방향에 있어서의 거리가, 길이 방향을 따라 다단계로 변화하는 구성이어도 된다. 구체적으로는, 길이 방향에 있어서 인접하는 2개의 조정 나사 중, 길이 방향의 외측에 있는 한쪽의 조정 나사와 대향면의 거리가, 이것보다 안쪽에 있는 다른 쪽의 조정 나사와 대향면의 거리와 동일하거나 이것보다 크다는 관계가 성립해 있으면 되고, 그에 한해서는 조정 나사의 배치로서는 다양한 것이 생각된다.

또 예를 들면, 중앙부에 대응하는 위치에 배치된 복수의 조정 나사 사이에서, 직교 방향에 있어서의 대향면과의 거리가 동일한 구성이어도 된다. 길이 방향에 있어서의 토출구의 중앙부에서는 토출량이 비교적 안정적이다. 이 때문에, 이 부분에 배치되는 조정 나사에 대해서는, 대향면과의 거리가 서로 동일해지는 배치여도 양호하게 토출량의 조정을 행하는 것이 가능하다.

또 예를 들면, 홈 및 조정 기구가, 한 쌍의 립부 각각에 설치되어 있어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 토출구를 구성하는 한 쌍의 립부 각각에서 개구폭의 조정을 행할 수 있으므로, 한쪽의 립부만을 조정하는 구성보다 미세하게 조정 작업을 행하는 것이 가능하다.

이 경우, 한쪽의 립부에 설치된 조정 나사와, 다른 쪽의 립부에 설치된 조정 나사 사이에서 길이 방향에 있어서의 배치 위치가 상이해도 된다. 이러한 구성에 의하면, 한쪽의 립부에 있어서의 조정 위치와 다른 쪽의 립부에 있어서의 조정 위치가 길이 방향으로 상이하므로, 개구폭을 보다 미세한 조정 피치로 조정할 수 있다.

또한, 복수의 조정 나사의 배열 피치는, 예를 들면 길이 방향에 있어서의 토출구의 단부에 대응하는 위치에서, 길이 방향에 있어서의 토출구의 중앙부에 대응하는 위치보다 작게 되어 있어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 토출량의 편차가 생기기 쉬운 토출구의 단부에 있어서 개구폭을 미세하게 조정하는 것이 가능하며, 토출량을 균일화하는 작업을 효율적으로 행하는 것이 가능해진다.

또 예를 들면, 노즐 본체는, 각각이 립부를 갖는 제1 본체 부재와 제2 본체 부재가 결합됨으로써 형성되는 구성이어도 된다. 이러한 구성에 의하면, 제1 본체 부재와 제2 본체 부재 사이에 형성된 갭을 액체의 유로 및 토출구로서 기능시킬 수 있다. 이 경우, 제1 본체 부재와 제2 본체 부재가, 갭을 규정하는 심을 사이에 끼고 결합되어 있어도 된다.

또, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 기판의 표면에, 처리액에 의한 균일한 도포막을 형성하는 것이어도 된다. 슬릿 노즐을 이용하여 균일한 도포막을 형성하는 경우에 있어서는, 노즐의 토출구의 중앙부와 단부에서 토출량이 상이해, 이에 의해 도포막의 두께에 불균일이 생기는 경우가 있다. 이러한 장치에 본 발명을 적용함으로써, 토출구의 전역에 걸쳐 균일한 도포막을 형성하기 위한 조정 작업을 효율적으로 행하는 것이 가능해진다.

이 발명은, 슬릿형상의 토출구를 갖는 슬릿 노즐 및 당해 슬릿 노즐을 이용하여 기판에 처리액을 도포하는 기판 처리 장치 전반에 적용 가능하다.

1: 도포 장치(기판 처리 장치) 2: 입력 이재부(상대 이동 기구)
3: 부상 스테이지부(상대 이동 기구) 4: 출력 이재부(상대 이동 기구)
5: 기판 반송부(상대 이동 기구) 8: 도포액 공급 기구(액체 공급부)
71, 71A~71F: 슬릿 노즐 72B, 72F: 심
100: 입력 컨베이어(상대 이동 기구) 110: 출력 컨베이어
710: 노즐 본체
711: 제1 본체부(노즐 본체, 제1 본체 부재)
711a: 제1 평탄면(대향면) 711c, 712c: 립부
711f, 712f: 홈 711h, 712h: 나사 구멍(조정 기구)
712: 제2 본체부(노즐 본체, 제2 본체 부재)
712a: 제2 평탄면(대향면) 715: 토출구
716, 716a, 716b, 716c: 조정 나사(조정 기구)

Claims (12)

1. 평탄한 대향면을 각각이 갖는 한 쌍의 립부가, 상기 대향면끼리가 갭을 두고 대향하도록 배치됨으로써 슬릿형상으로 개구하는 토출구를 형성하는 노즐 본체와,
   상기 한 쌍의 립부를 상대적으로 접근 방향 및 이격 방향으로 변위시켜 상기 토출구의 개구폭을 조정하는 조정 기구
   를 구비하고,
   상기 한 쌍의 립부 중 적어도 한쪽에 있어서, 상기 대향면에서 봤을 때 다른 쪽의 상기 립부와는 반대측의 면에, 상기 토출구의 길이 방향과 평행한 방향을 따른 홈이 형성되어 있으며,
   상기 조정 기구는, 상기 길이 방향을 따라 배열된 복수의 조정 나사를 갖고, 각각의 상기 조정 나사는, 상기 홈의 깊이 방향과 교차하는 방향으로 상기 홈에 걸쳐 상기 노즐 본체에 나사 결합되어, 상기 홈의 폭을 증감하도록 상기 노즐 본체를 변형시킴으로써 상기 개구폭을 변화시키고,
   상기 대향면과 직교하는 직교 방향에 있어서의 상기 조정 나사와 상기 대향면의 거리는, 상기 노즐 본체의 상기 조정 나사가 배열되는 영역 중 단부 영역에 있어서 중앙 영역보다 크고,
   상기 단부 영역은 상기 길이 방향에 있어서의 위치가 상기 토출구의 단부의 위치와 대응하는 영역이며, 상기 중앙 영역은 상기 토출구의 양 단부에 각각 대응하는 2개의 상기 단부 영역 사이의 영역인, 슬릿 노즐.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 홈의 바닥부와 상기 대향면 사이에 있어서의 상기 립부의 두께가, 상기 길이 방향에 있어서 일정한, 슬릿 노즐.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 길이 방향에 있어서의 상기 토출구의 단부에 대응하는 위치에 있어서의, 상기 홈의 바닥부와 상기 대향면 사이의 상기 립부의 두께가, 상기 길이 방향에 있어서의 상기 토출구의 중앙부에 대응하는 위치에 있어서의 상기 두께보다 작은, 슬릿 노즐.
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 복수의 조정 나사의 각각과 상기 대향면의 상기 직교 방향에 있어서의 거리는, 상기 길이 방향을 따라 다단계로 변화하는, 슬릿 노즐.
5. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 길이 방향에 있어서 인접하는 2개의 상기 조정 나사 중, 상기 길이 방향의 외측에 있는 한쪽의 상기 조정 나사와 상기 대향면의 거리는, 이것보다 상기 길이 방향의 내측에 있는 다른 쪽의 상기 조정 나사와 상기 대향면의 거리와 같거나 이것보다 큰, 슬릿 노즐.
6. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 길이 방향에 있어서의 상기 토출구의 중앙부에 대응하는 위치에 배치된 복수의 상기 조정 나사 사이에서, 상기 직교 방향에 있어서의 상기 대향면과의 거리가 같은, 슬릿 노즐.
7. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 홈 및 상기 조정 기구가, 상기 한 쌍의 립부의 각각에 설치되어 있는, 슬릿 노즐.
8. 청구항 7에 있어서,
   상기 한 쌍의 립부 중 한쪽의 상기 립부에 설치된 상기 조정 나사와, 다른 쪽의 상기 립부에 설치된 상기 조정 나사 사이에서, 상기 길이 방향에 있어서의 배치 위치가 서로 상이한, 슬릿 노즐.
9. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 노즐 본체는, 각각이 상기 립부를 갖는 제1 본체 부재와 제2 본체 부재가 결합됨으로써 형성되는, 슬릿 노즐.
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 제1 본체 부재와 상기 제2 본체 부재가, 상기 갭을 규정하는 심(shim)을 사이에 끼고 결합되어 있는, 슬릿 노즐.
11. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 슬릿 노즐과,
    상기 슬릿 노즐의 상기 토출구와 대향시켜 기판을 배치함과 더불어, 상기 슬릿 노즐과 상기 기판을 상기 길이 방향과 교차하는 방향으로 상대 이동시키는 상대 이동 기구와,
    상기 슬릿 노즐에 처리액을 공급하는 액체 공급부
    를 구비하고,
    상기 토출구로부터 토출한 상기 처리액을 상기 기판의 표면에 도포하는, 기판 처리 장치.
12. 청구항 11에 있어서,
    상기 기판의 표면에, 상기 처리액에 의한 균일한 도포막을 형성하는, 기판 처리 장치.

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