KR20070027370A - 스프레이 노즐 각도 조절장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 스프레이 파이프에 설치되는 스프레이 노즐의 설치각도 또는 분사각도를 간단하고 정확하게 설정 또는 세팅할 수 있는 스프레이 노즐 각도 조절장치를 제공한다.

그 스프레이 노즐 각도 조절장치는 작업자가 손으로 잡고 조작할 수 있는 파지부; 및 파지부의 단부에 일체로 형성되고, 스프레이 노즐의 몸체가 삽입되는 삽입공이 천공되며, 스프레이 노즐의 장착각도를 조절하기 위해 기준표식부 및 기준표식부에 대해 설정각도를 이루는 고정표식부를 구비하는 체결부로 구성된다.　　　　

기판, 패터닝, 스프레이 파이프, 스프레이 노즐, 각조조절

Description

스프레이 노즐 각도 조절장치{Device for setting angle of splay nozzle}

도 1은 일반적인 기판 처리방식을 보여주는 정면도.

도 2는 노즐파이프의 구성을 보여주는 분해사시도.

도 3은 노즐파이프에 스프레이 노즐의 세팅상태를 보여주는 평면도.

도 4는 본 발명에 따른 스프레이 노즐 각도 조절장치를 보여주는 사시도.

도 5는 도 4의 각도 조절장치의 사용상태를 보여주는 평면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10: 스프레이 파이프 14: 장착공

20: 스프레이 노즐 26: 분사구

30: 파지부 34: 체결부

36: 기준 표식부 38: 고정 표식부　

본 발명은 스프레이 노즐 각도 조절장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 노즐 파이프 등에 설치되는 스프레이 노즐의 설치각도 또는 분사각도를 간단하고 정확하게 설정 또는 세팅할 수 있고, 이로 인해 기판의 안정적인 패터닝 공정을 제 공받을 수 있는 스프레이 노즐 각도 조절장치에 관한 것이다.

최근 들어, 영상을 표현하는 표시장치로서 액정디스플레이(LCD) 소자와 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 소자 등이 종래의 브라운관(CRT)을 빠른 속도로 대체하고 있으며, 이 같은 평판 디스플레이(FPD), 반도체 웨이퍼, LCD, 포토마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 일련의 공정라인을 거치면서 처리된다. 즉, 감광제 도포(Photo resist coating: P/R), 노광(Expose), 현상(Develop), 부식(Etching), 박리(Stripping), 세정(Cleaning), 건조(Dry) 등의 과정을 거치게 된다.

이러한 일련의 기판 처리공정은 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 배스 또는 챔버(C)내의 탑재대 또는 이송장치(T)상에 배치된 상태에서 행해지며, 이 같은 공정 중 다양한 약액 또는 세정액을 분사하기 위해 도 2 및 3에 도시된 바와 같은 스프레이 파이프(1)가 이용되고 있다. 이 스프레이 파이프(1)에는 일정간격으로 동일규격의 스프레이 노즐(2)이 착탈 가능하게 설치되어 있다. 그 스프레이 노즐(2)은 6각 볼트형으로 형성되는 몸체(3)를 구비하며, 그 몸체(3)의 중앙에는 슬릿형으로 형성되고 실제로 약액 또는 세정액을 분사시키기 위한 분사구(4)를 구비한다. 물론, 몸체(3)에는 스프레이 파이프(1)의 본체에 볼트결합 될 수 있도록 나선이 형성되어 있다.

이 같은 구성에 따라, 작업자는 스패너(5)와 같은 공구를 이용하여 스프레이 노즐(2)을 스프레이 파이프(1)에 장착한다. 또한, 분사면적을 증대시켜 분사효율을 향상시키기 위해 분사구(4)를 스프레이 파이프(1)의 본체의 중심축(X-X)에 대해 예컨대, 약 15도의 각도를 이루도록 스패너(5)로 몸체(3)를 회전시켜 세팅하고 있다.

그러나 이와 같이 스패너를 이용하여 스프레이 노즐의 각도를 조절하거나 세팅하는 경우, 객관적인 기준 없이 작업자의 숙련도 또는 노하우에 전적으로 의존하게 되어 균일하고 정확한 세팅이 불가능한 문제점이 있다.

또한, 이와 같은 부정확하고 일정하지 않은 스프레이 노즐의 각도 조절 및 세팅으로 인해, 결국 기판의 패터닝 공정의 불량을 초래하는 문제점이 있다.

이에 본 발명은 상술된 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 스프레이 파이프에 스프레이 노즐의 설치각도 및 분사각도를 정확하게 설정 또는 세팅할 수 있으며, 기판의 정확하고 안정적인 패터닝 공정을 보장할 수 있는 스프레이 노즐 각도 조절장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 일실시예에 따른 스프레이 노즐 각도 조절장치는, 작업자가 손으로 잡고 조작할 수 있는 파지부; 및 그 파지부의 단부에 일체로 형성되고, 스프레이 노즐의 몸체가 삽입되는 삽입공이 천공되며, 스프레이 노즐의 장착각도를 조절하기 위해 기준표식부 및 그 기준표식부에 대해 설정각도를 이루는 고정표식부를 구비하는 체결부를 포함한다.　　　

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.

도 4는 본 발명에 따른 스프레이 노즐 각도 조절장치를 보여주는 사시도이며, 도 5는 도 4의 각도 조절장치의 사용상태를 보여주는 평면도이다.　

먼저, 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 스프레이 노즐 각도 조절장치를 적용하기 위한 스프레이 파이프 및 스프레이 노즐의 기본적인 구성을 간단히 설명한다.

기본적으로 스프레이 파이프(10)는 원통형의 본체(12)를 구비하며, 그 본체(12)에는 후술되는 스프레이 노즐을 착탈 가능하게 장착하기 위한 장착공(14)이 일정 간격으로 형성된다. 물론, 장착공(14)에는 나선이 형성되어 있다.

스프레이 파이프(10)의 각각의 장착공(14)에는 스프레이 노즐(20)이 장착된다. 각각의 스프레이 노즐(20)은 6각 볼트형의 몸체(22)를 구비하며, 그 몸체(22)의 하부에는 실제로 스프레이 노즐(20)의 장착공(14)에 결합되는 볼트부(24)가 구비된다.

또한, 몸체(22)의 상부에는 실제로 약액 또는 세정액이 분사되는 분사공(26a)이 중앙에 형성되는 분사구(26)가 슬릿형태로 또는 길이방향으로 형성된다. 특히, 분사구(26)는 볼트헤드형 몸체(22)의 상호 대향하는 꼭지점(22a)을 향해 길이방향으로 형성된다.

본 발명의 주요 특징에 따르면, 전술된 바와 같이 구성되는 스프레이 노즐(20)을 스프레이 파이프(10)에 장착함은 물론 분사구(26)의 각도를 조절하기 위한 스프레이 노즐 각도 조절장치는 사용자가 손으로 잡고 조작할 수 있는 파지부(30)를 구비한다.

파지부(30)의 단부에는 스프레이 노즐(20)의 볼트헤드형 몸체(22)가 삽입되도록 그 몸체(22)의 외형에 상응하는 삽입공(32)이 천공되는 체결부(34)가 일체로 형성된다.

삽입공(32)의 사이즈는, 스프레이 노즐(20)의 몸체(22)가 용이하게 삽입되는 반면 몸체(22)와 삽입공(32)간의 간격을 최소화하여 안정적으로 유지될 수 있도록, 스프레이 노즐(20)의 몸체(22)의 사이즈보다 약 0.4 내지 0.6mm 크게 설정되는 것이 바람직하며, 0.5mm로 설정되는 것이 가장 바람직하다.

특히, 체결부(34)에는 스프레이 노즐(20)의 각도를 조절하기 위해 기준표식부(36)가 색인되어 있으며, 그 기준표식부(36)에 대해 설정각도를 이루는 고정표식부(38)가 색인되어 있다. 기준표식부(36)와 고정표식부(38)간의 설정각, 즉 사잇각은 예컨대 15도로 설정된다.

여기서, 기준표식부(36)는 체결부(34)의 꼭지점(34a)을 연결하는 연장선상 및 스프레이 노즐(20)의 몸체(22)의 분사구(26)의 연장선상에 체결부(34)에 색인되는 것이 바람직하다.

이하, 전술된 바와 같이 구성되는 본 발명에 따른 스프레이 노즐 각도 조절장치를 이용한 스프레이 노즐의 장착 및 각도 조절장법에 대해 상세히 설명한다.

먼저 작업자는 스프레이 노즐(20)의 볼트부(24)를 스프레이 파이프(10)의 본체(12)에 천공된 장착공(14)에 일치시킨 후 스패너 또는 스프레이 노즐 각도 조절장치를 이용하여 장착한다.　

이와 같은 기본적인 장착을 완료한 후에는, 스프레이 파이프(10)의 중심축(X-X)선상에 각도 조절장치의 체결부(34)에 색인된 기준표식부(36)를 일치시킨 상태에서, 파지부(30)를 잡고 화살표(A)방향으로 회전시킨다.

이후, 작업자는 각도 조절장치(30)의 체결부(32)에 색인된 고정표식부(38)가 스프레이 파이프(10)의 중심축(X-X)에 정확히 위치할 때까지 회전시킨 후 멈추면, 몸체(22)의 분사구(26)가 스프레이 파이프(10)의 중심축(X-X)에 대해 설정된 각도로, 예컨대 15도의 각도로 정확히 배열되어 조절 및 고정되는 것이다.

따라서, 작업자가 숙련되지 않은 경우에도 각도 조절장치를 이용하여 스프레이 노즐(20)의 설치각도 및 분사구의 각도를 정확히 조절할 수 있으며, 이와 같이 스프레이 노즐(20) 및 분사구(26)가 스프레이 파이프(10)에 정확한 배치각도로 장착되어 그 분사구(26)로부터 약액이 기판에 정확하고 균일하게 분사됨으로써 패터닝 공정을 안정적이고 정확하게 행할 수 있는 것이다.　

결과적으로 본 발명에 의한 스프레이 노즐 각도 조절장치에 의하면, 체결부에 기준표식부와 고정표식부가 색인되어 있으므로, 스프레이 노즐의 분사구와 기준표식부와 스프레이 파이프의 중심축을 일치시킨 상태에서 고정표식부가 스프레이 파이프의 중심축선과 일치하도록 회전시킴으로써 간단하게 스프레이 노즐 및 그것의 분사구가 정확한 각도로 정렬될 수 있으며, 이와 같이 스프레이 노즐이 정확하고 균일하게 장착되어 약액이 정확하게 분사됨으로써 균일한 패터닝 공정을 행할 수 있는 효과가 있는 것이다.

이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대해 설명하였으나, 본 기술 분야의 당업자라면 첨부된 특허청구범위를 벗어남이 없이 다양한 변형예 및 수정예를 실시할 수 있을 것으로 이해된다.

Claims (5)

1. 스프레이 파이프에 볼트형 몸체를 갖는 스프레이 노즐의 각도를 조절하여 장착하기 위한 스프레이 노즐 각도 조절장치에 있어서,

   작업자가 손으로 잡고 조작할 수 있는 파지부; 및

   상기 파지부의 단부에 일체로 형성되고, 상기 스프레이 노즐의 몸체가 삽입되는 삽입공이 천공되며, 스프레이 노즐의 장착각도를 조절하기 위해 기준표식부 및 상기 기준표식부에 대해 설정각도를 이루는 고정표식부를 구비하는 체결부를 포함하는 스프레이 노즐 각도 조절장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 삽입공의 사이즈는 상기 스프레이 노즐의 몸체의 사이즈보다 약 0.4 내지 0.6mm 크게 설정되는 것을 특징으로 하는 스프레이 노즐 각도 조절장치.
3. 제 2항에 있어서, 상기 삽입공의 사이즈는 상기 스프레이 노즐의 몸체의 사이즈보다 약 0.5mm 크게 설정되는 것을 특징으로 하는 스프레이 노즐 각도 조절장치.
4. 제 1항에 있어서, 상기 체결부는 상기 스프레이 노즐의 몸체의 형상과 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 스프레이 노즐 각도 조절장치.
5. 제 4항에 있어서, 상기 기준표식부는, 상기 스프레이 노즐의 각도를 조절하기 위한 초기상태에서 상기 체결부가 상기 몸체에 삽입된 경우, 상기 체결부의 꼭지점을 연결하는 연장선 및 스프레이 노즐의 몸체의 분사구의 연장선과 일치하도록 색인되는 것을 특징으로 하는 스프레이 노즐 각도 조절장치.

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