KR102177684B1 - ２유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 제1 유체와 제2 유체를 혼합하여 분사하도록 노즐 조립체에 결합되는 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체에 관한 것으로서, 제1 유체와 제2 유체를 각각 분사하는 내부노즐부와, 이 내부노즐부의 외부에 결합되되 노즐 조립체에 일정한 위치상태로 결합 고정되도록 결합돌기가 형성되며 분사된 제1 유체와 제2 유체를 혼합하여 함께 분사하는 외부노즐부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 내부노즐부의 외곽둘레에 결합돌기가 형성됨으로써, 노즐 조립체에 2유체 노즐을 항상 일정한 위치에 결합 고정하여 2유체 노즐의 설치작업을 용이하게 하는 동시에 설치시간을 단축할 수 있는 효과를 제공한다.

Description

２유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체{TWO FLUID NOZZLE AND NOZZLE ASSEMBLY COMPRISING THE SAME}
본 발명은 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제1 유체와 제2 유체를 혼합하여 분사하도록 노즐 조립체에 결합되는 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체에 관한 것이다.
일반적으로, 노즐은 액체를 분무하기 위하여 사용하는 것으로, 분무되는 액체가 공기와 혼합되는 위치에 따라 내부 혼합식 분무 노즐과 외부 혼합식 분무 노즐로 구분할 수 있다. 이러한 노즐은 산업 전반에 걸쳐 다양한 분야에서 사용되고 있다.
최근에는 분사 효율은 물론 분사 표면적을 보다 확장할 수 있도록 분사액을 기체와 혼합하여 분무시키는 2유체 분사노즐의 사용이 점차 증가하고 있는 추세이다. 이러한, 2유체 분사노즐은 분사액이 기체에 의해 작은 입자형태로 분사되므로, 분사액이 도포되는 영역을 보다 확장할 수 있는 것이다.
특히, 2유체 분사노즐은 반도체 기판을 생산할 때 증착, 리소그래피, 식각, 화학적/기계적 연마, 세정, 건조 등과 같은 공정에서 더욱 많이 사용하게 된다. 그런데, 상기와 같은 종래의 2유체 분사노즐은 분사액을 분사하기 위해서는 분사액과 기체를 동시에 공급하여야 하므로, 어느 하나의 유체를 공급하는 유압이 더 크게되면 유체가 역류하거나 유체의 분사가 원활하게 이루어지지 못하는 문제점이 있다.
또한, 종래의 2유체 분사노즐은 유체가 유입되는 하우징이 관형태로 형성되고, 이 관형태의 하우징에 복수의 노즐헤드를 결합하기 위하여 하우징을 절삭하여 헤드 결합면을 형성하므로, 하우징의 강도가 저하되고, 하우징의 길이를 길게 형성할 수 없는 문제점도 있었다.
또한 노즐로부터 근거리의 스프레이에서의 분무의 분포는 한결같지 않고, 분무가 존재하지 않는 개소도 있기 때문에, 피세정체에 대한 스프레이 속도가 가장 높은 근거리 위치에서 이 노즐열을 사용할 수는 없고, 분포는 연속적이 되지만 스프레이 속도가 저하된 이간 위치에서 사용할 수 밖에 없다. 이 때문에, 실제로 얻어지는 스프레이 임팩트와 세정 효과는 감쇠된 것이 된다는 문제점도 있었다.
한편, 종래의 2유체 노즐에서는 유체공급관 및 에어공급관 구성시, 각각의 공급로에 유체와 에어를 공급하기 위한 배관이 복잡하였으며, 이에 따라 조립 제작이 어렵고 크기가 대형화되는 문제점이 있었다.
따라서 이러한 배관 구성의 복잡함을 해결하기 위하여 에어공급관 내부에 유체공급관을 설치하는 구성이 개시되어 있지만, 이 경우에는 유체와 에어가 혼합되는 혼합실 공간이 적고 도입구가 형성된 부재를 미리 유체 공급관에 용접하여 고정하고, 공기 공급관에 형성된 개구를 통하여 외부로 돌출시켜 에어 공급관에 고정한다는 점에서 조립 및 수선이 곤란하다는 문제점이 있었다.
그리고, 기존의 2유체 분사 노즐에서는 혼합되어 분사되는 유체 및 에어의 양 및 그 압력을 동시에 고려하고 조절하여야만 하므로 노즐 어셈블리 제작시 부속되는 공구가 많이 소요되며 분사 작업시 작업 환경의 복잡성이 따랐었다.
따라서, 유입되는 유체와 에어의 제어가 정확하게 이루어지지 못함으로써, 노즐 몸체의 분사구를 통하여 분사되는 분사 입자의 크기와 분포가 일정하지 않아 제품의 불량이 발생하게 됨과 동시에 유체의 소비가 증가되는 또 다른 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로서, 노즐 조립체에 2유체 노즐을 항상 일정한 위치에 결합 고정하여 2유체 노즐의 설치작업을 용이하게 하는 동시에 설치시간을 단축할 수 있는 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 2유체 노즐을 노즐 조립체에 설치시 이들 사이의 기밀을 유지하는 동시에 내부노즐부와 외부노즐부 사이의 기밀을 유지할 수 있는 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 제1 유체와 제2 유체를 각각 공급하여 함께 분사할 수 있는 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 제1 유체와 제2 유체 사이의 혼합을 용이하게 하는 동시에 혼합유체의 분사를 용이하게 할 수 있는 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 제1 유체와 제2 유체의 혼합유체를 용이하게 분사하는 동시에 내부노즐부와의 결합위치를 일정하게 유지하여 결합을 용이하게 할 수 있는 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 제3 유로에서 제1 유체와 제2 유체 사이의 혼합을 용이하게 하는 동시에 혼합성능을 향상시킬 수 있는 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 제1 유체와 제2 유체를 혼합하여 분사하도록 노즐 조립체에 결합되는 2유체 노즐로서, 제1 유체와 제2 유체를 각각 분사하는 내부노즐부(10); 및 상기 내부노즐부(10)의 외부에 결합되되 상기 노즐 조립체에 일정한 위치상태로 결합 고정되도록 결합돌기가 형성되며, 분사된 상기 제1 유체와 상기 제2 유체를 혼합하여 함께 분사하는 외부노즐부(20);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 내부노즐부(10)의 후방에 설치되어, 상기 내부노즐부(10)와 노즐 조립체의 결합시 기밀을 유지하는 실링부(30);를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 실링부(30)는, 상기 내부노즐부(10)의 후단 중앙부위에 설치된 제1 실링재; 및 상기 내부노즐부(10)의 후단 외곽둘레에 설치된 제2 실링재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 내부노즐부(10)는, 통형상으로 형성된 내부노즐; 상기 내부노즐의 중앙부위에 관통 형성된 제1 유로; 및 상기 내부노즐의 외곽부위에 설치되되 제1 유로의 외곽둘레를 따라 등간격으로 이격되며 관통 형성된 제2 유로;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 제2 유로는, 상기 내부노즐의 후방 외곽에서 전방 중심을 향해서 경사지게 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 외부노즐부(20)는, 통형상으로 형성된 외부노즐; 상기 외부노즐의 내주부위에 단차형상으로 형성되어 상기 내부노즐부(10)와의 결합위치를 결정하는 단차홈; 상기 외부노즐의 전방 중앙부위에 관통 형성되어 제1 유체와 제2 유체의 혼합공간을 형성하는 제3 유로; 상기 제3 유로의 선단에 형성된 슬릿; 상기 외부노즐의 외주부위의 후단에 돌출 형성되어, 노즐 조립체에 일정한 위치상태로 결합 고정되는 결합돌기; 및 상기 외부노즐의 외주둘레에 등간격으로 함몰 형성되어, 노즐 조립체에 결합시 결합 회전력을 제공하는 파지홈; 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 제3 유로는, 상기 내부노즐부(10)의 선단 둘레와의 사이에 소정길이의 간격이 유지되도록 상기 내부노즐부(10)의 선단 보다 큰 사이즈의 내경으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 기재된 2유체 노즐을 구비한 노즐 조립체로서, 노즐블럭부(110); 상기 노즐블럭부(110)에 복수개의 2유체 노즐이 각각 결합되도록 등간격으로 형성된 노즐홈부(120); 상기 노즐블럭부(110)의 내부 일방에 연장 형성되며 상기 노즐홈부(120)와 연통 형성된 제1 관로부(130); 및 상기 노즐블럭부(110)의 내부 타방에 연장 형성되며 상기 노즐홈부(120)와 연통 형성된 제2 관로부(140);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 노즐홈부(120)에는 2유체 노즐이 일정한 위치상태로 결합 고정되도록 고정지지홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 내부노즐부의 외곽둘레에 결합돌기가 형성됨으로써, 노즐 조립체에 2유체 노즐을 항상 일정한 위치에 결합 고정하여 2유체 노즐의 설치작업을 용이하게 하는 동시에 설치시간을 단축할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 내부노즐부의 후방의 중앙부위와 외곽부위에 실링부를 설치함으로써, 2유체 노즐을 노즐 조립체에 설치시 이들 사이의 기밀을 유지하는 동시에 내부노즐부와 외부노즐부 사이의 기밀을 유지할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 내부노즐부로서 내부노즐, 제1 유로 및 제2 유로를 구비함으로써, 제1 유체와 제2 유체를 각각 공급하여 함께 분사할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 제 2 유로를 제1 유로의 외곽에 경사지게 형성함으로써, 제1 유체와 제2 유체 사이의 혼합을 용이하게 하는 동시에 혼합유체의 분사를 용이하게 할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 외부노즐부로서 외부노즐, 단차홈, 제3 유로, 슬릿, 결합돌기 및 파지홈을 구비함으로써, 제1 유체와 제2 유체의 혼합유체를 용이하게 분사하는 동시에 내부노즐부와의 결합위치를 일정하게 유지하여 결합을 용이하게 할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 제3 유로를 내부노즐부 보다 큰 사이즈로 형성함으로써, 제3 유로에서 제1 유체와 제2 유체 사이의 혼합을 용이하게 하는 동시에 혼합성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 나타내는 분해사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 나타내는 분해도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 나타내는 정면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 2유체 노즐을 나타내는 확대단면도.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 더욱 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 나타내는 분해사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 나타내는 분해도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 나타내는 정면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 2유체 노즐 및 이를 구비한 노즐 조립체를 나타내는 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 2유체 노즐을 나타내는 확대단면도이다.
도 1 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 의한 2유체 노즐은, 내부노즐부(10), 외부노즐부(20), 실링부(30)를 포함하여 이루어져, 제1 유체와 제2 유체를 혼합하여 분사하도록 노즐 조립체에 결합되는 2유체 노즐이다.
내부노즐부(10)는, 제1 유체와 제2 유체와 같이 2가지 유체를 각각 분사하거나 함께 분사하는 노즐부재로서, 내부노즐(11), 제1 유로(12) 및 제2 유로(13)로 이루어져 있다.
내부노즐(11)은, 원통형상으로 형성된 노즐부재로서, 전단부위에는 외부노즐부(20)의 내부에 결합되도록 걸림턱이 형성되어 있고 후단부위에는 노즐 조립체에 결합되도록 결합편이 형성되어 있다.
제1 유로(12)는, 내부노즐(11)의 중앙부위에 관통 형성된 유로로서, 제1 유로(12)의 선단부위에는 액체 또는 물 등과 같은 제1 유체의 분사를 용이하게 하도록 전방으로 갈수록 내주의 사이즈가 작게 형성되어 있는 것이 바람직하다.
제2 유로(13)는, 내부노즐(11)의 외곽부위에 설치되되 제1 유로(12)의 외곽둘레를 따라 등간격으로 이격되며 관통 형성된 유로로서, 기체 또는 가스 등과 같은 제2 유체의 분사를 용이하게 하도록 내부노즐(11)의 후방 외곽에서 전방 중심을 향해서 경사지게 형성되어 있는 것이 바람직하다.
외부노즐부(20)는, 내부노즐부(10)의 외부에 끼워맞춤 결합되며 내부노즐부(10)에서 분사된 제1 유체와 제2 유체를 혼합하여 함께 분사하는 노즐부재로서, 외부노즐(21), 단차홈(22), 제3 유로(23), 슬릿(24), 결합돌기(25) 및 파지홈(26)으로 이루어져 있다.
외부노즐(21)은, 원통형상으로 형성된 노즐부재로서, 내주의 전단부위에는 내부노즐부(10)이 결합되도록 걸림홈이 형성되어 있고 후단부위에는 노즐 조립체에 결합되도록 끼움편이 형성되어 있다.
단차홈(22)은, 외부노즐(21)의 내주부위에 단차형상으로 형성되어 내부노즐부(10)가 끼워맞춤 결합되는 홈부위로서, 내부노즐부(10)와의 결합위치를 항상 일정하게 유지하도록 결정하게 된다.
제3 유로(23)는, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이 외부노즐의 전방 중앙부위에 관통 형성된 유로로서, 내부노즐부(10)와의 결합위치 사이에 제1 유체와 제2 유체가 서로 혼합되는 혼합공간을 형성하게 된다.
이러한 제3 유로(23)는, 제1 유체와 제2 유체가 서로 혼합되는 혼합공간을 형성하도록 내부노즐부(10)의 선단 둘레와의 사이에 소정길이의 간격이 유지되며 내부노즐부(10)의 선단 보다 큰 사이즈의 내경으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
슬릿(24)은, 제3 유로(23)의 선단부위에 수평방향으로 절취 형성된 노즐부재로서, 이러한 슬릿(24)에 의해서 제3 유로(23)에서 서로 혼합된 제1 유체와 제2 유체의 혼합유체가 수평방향으로 확산되어 분산된다.
결합돌기(25)는, 외부노즐(21)의 외주부위의 후단 양쪽에 돌출 형성된 돌기부재로서, 노즐 조립체에 일정한 위치상태로 결합 고정되도록 노즐 조립체에 끼워맞춤 결합되어 결합위치를 일정하게 유지하게 된다.
파지홈(26)은, 외부노즐(21)의 외주둘레에 복수개가 등간격으로 이격되며 내향으로 함몰 형성된 홈부재로서, 노즐 조립체에 외부노즐부(20)의 결합시 작업자가 렌치나 스패너 등과 같이 별도의 작업공구 없이 파지홈(26)을 사용하여 외부노즐부(20)에 결합 회전력을 제공하게 된다.
실링부(30)는, 내부노즐부(10)의 후방에 설치되어, 내부노즐부(10)와 노즐 조립체의 결합시 기밀을 유지하는 기밀유지부재로서, 제1 실링재(31)와 제2 실링재(32)로 이루어져 있다.
제1 실링재(31)는, 내부노즐부(10)의 후단 중앙부위에 설치된 실링부재로서, 제1 유로(12)의 둘레와 제2 유로(13)의 둘레 사이에 설치되어 제1 유로(12)와 제2 유로(13) 사이를 실링하여 기밀을 유지하게 된다.
또한, 이러한 제1 실링재(31)는, 내부노즐부(10)와 노즐 조립체의 결합시 노즐 조립체와 밀착되어 내부노즐부(10)와 노즐 조립체 사이에 밀착되어 기밀을 유지하게 된다.
제2 실링재(32)는, 내부노즐부(10)의 후단 외곽둘레에 설치된 실링부재로서, 제2 유로(13)의 둘레와 외부노즐부(20)의 내주둘레 사이에 설치되어 제2 유로(13)와 외부노즐부(20) 사이를 실링하여 기밀을 유지하게 된다.
또한, 이러한 제2 실링재(32)는, 내부노즐부(10)와 노즐 조립체의 결합시 노즐 조립체와 밀착되어 내부노즐부(10)와 노즐 조립체 사이에 밀착되어 기밀을 유지하게 된다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 실시예에 의한 2유체 노즐을 구비한 노즐 조립체를 더욱 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 의한 2유체 노즐을 구비한 노즐 조립체는, 노즐블럭부(110), 노즐홈부(120), 제1 관로부(130) 및 제2 관로부(140)를 포함하여 이루어져, 반도체 처리장치나 기판 처리장치 등에 구비된 액 분사설비에 설치되는 노즐 조립체이다.
노즐블럭부(110)는, 단면이 사각형상의 길이 방향으로 형성되는 블럭부재로서, 반도체 처리장치나 기판 처리장치 등에 구비된 액 분사설비에 설치되는 노즐 조립체의 베이스 블럭을 구성하게 된다.
노즐홈부(120)는, 노즐블럭부(110)에 복수개의 2유체 노즐이 각각 결합되도록 노즐블럭부(10)의 길이방향을 따라 등간격으로 형성된 홈부재로서, 결합홀(121), 끼움홈(122) 및 고정지지홈(123)으로 이루어져 있다.
결합홀(121)은, 노즐블럭부(10)의 길이방향을 따라 등간격으로 형성된 홀부재로서, 여기에 2유체 노즐이 각각 끼워맞춤에 의해 결합되어 2유체 노즐에 의해 제1 유체와 제2 유체를 서로 혼합하여 혼합유체를 분사하도록 2유체 노즐을 고정결합시키게 된다.
끼움홈(122)은, 결합홈(121)의 내주부위의 양단에 대략 사각형상으로 절취 형성된 홈부재로서, 여기에 2유체 노즐의 외부노즐부(20)에 형성된 결합돌기(25)가 끼워맞춤되어 결합된다.
고정지지홈(123)은, 결함홀(121)의 내주부위의 둘레를 따라 형성된 홈부재로서, 결함홀(121)의 내주면 일단에 2유체 노즐이 일정한 위치상태로 결합 고정되도록 고정지지홈(123)의 단부에 고정턱이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
제1 관로부(130)는, 노즐블럭부(110)의 내부 일방에 길이방향으로 연장 형성되며 노즐홈부(120)와 연통 형성된 관로부재로서, 제1 관로(131)와 제1 연통로(132)로 이루어져 있다.
제1 관로(131)는, 노즐블럭부(110)의 내부 일방에 길이방향으로 연장 형성되어 제1 유체가 공급되는 관로부재로서, 노즐블럭부(110)의 길이방향으로 따라 일자형상으로 형성되며 제1 연통로(132) 보다 큰 내경의 홀사이즈로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
제1 연통로(132)는, 제1 관로(131)와 각각의 결합홀(121)을 연결하는 연통부재로서, 제1 관로(131)의 길이방향에 대해 수직으로 교차하도록 접속되어 제1 유체를 결합홀(121)을 개재해서 2유체 노즐에 공급하여 분사하게 된다.
또한, 이러한 제1 연통로(132)는 2유체 노즐의 제1 유로(12)와 연결되도록 결합홀(121)의 중앙부위에 접속되도록 설치되어 있는 것이 바람직하다.
제2 관로부(140)는, 노즐블럭부(110)의 내부 타방에 길이방향으로 연장 형성되며 노즐홈부(120)와 연통 형성된 관로부재로서, 제2 관로(141)와 제2 연통로(142)로 이루어져 있다.
제2 관로(141)는, 노즐블럭부(110)의 내부 타방에 길이방향으로 연장 형성되어 제2 유체가 공급되는 관로부재로서, 노즐블럭부(110)의 길이방향으로 따라 일자형상으로 형성되며 제2 연통로(142) 보다 큰 내경의 홀사이즈로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
제2 연통로(142)는, 제2 관로(141)와 각각의 결합홀(121)을 연결하는 연통부재로서, 제2 관로(141)의 길이방향에 대해 수직으로 교차하도록 접속되어 제2 유체를 결합홀(121)을 개재해서 2유체 노즐에 공급하여 분사하게 된다.
또한, 이러한 제2 연통로(142)는 2유체 노즐의 복수개의 제2 유로(13)와 모두 연결되도록 결합홀(121)의 외곽부위에 접속되며 외곽홈을 개재해서 복수개의 제2 유로(13)와 연결되도록 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 내부노즐부의 외곽둘레에 결합돌기가 형성됨으로써, 노즐 조립체에 2유체 노즐을 항상 일정한 위치에 결합 고정하여 2유체 노즐의 설치작업을 용이하게 하는 동시에 설치시간을 단축할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 내부노즐부의 후방의 중앙부위와 외곽부위에 실링부를 설치함으로써, 2유체 노즐을 노즐 조립체에 설치시 이들 사이의 기밀을 유지하는 동시에 내부노즐부와 외부노즐부 사이의 기밀을 유지할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 내부노즐부로서 내부노즐, 제1 유로 및 제2 유로를 구비함으로써, 제1 유체와 제2 유체를 각각 공급하여 함께 분사할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 제 2 유로를 제1 유로의 외곽에 경사지게 형성함으로써, 제1 유체와 제2 유체 사이의 혼합을 용이하게 하는 동시에 혼합유체의 분사를 용이하게 할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 외부노즐부로서 외부노즐, 단차홈, 제3 유로, 슬릿, 결합돌기 및 파지홈을 구비함으로써, 제1 유체와 제2 유체의 혼합유체를 용이하게 분사하는 동시에 내부노즐부와의 결합위치를 일정하게 유지하여 결합을 용이하게 할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 제3 유로를 내부노즐부 보다 큰 사이즈로 형성함으로써, 제3 유로에서 제1 유체와 제2 유체 사이의 혼합을 용이하게 하는 동시에 혼합성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 내부노즐부의 외곽둘레에 결합돌기가 형성됨으로써, 노즐 조립체에 2유체 노즐을 항상 일정한 위치에 결합 고정하여 2유체 노즐의 설치작업을 용이하게 하는 동시에 설치시간을 단축할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 내부노즐부의 후방의 중앙부위와 외곽부위에 실링부를 설치함으로써, 2유체 노즐을 노즐 조립체에 설치시 이들 사이의 기밀을 유지하는 동시에 내부노즐부와 외부노즐부 사이의 기밀을 유지할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 내부노즐부로서 내부노즐, 제1 유로 및 제2 유로를 구비함으로써, 제1 유체와 제2 유체를 각각 공급하여 함께 분사할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 제 2 유로를 제1 유로의 외곽에 경사지게 형성함으로써, 제1 유체와 제2 유체 사이의 혼합을 용이하게 하는 동시에 혼합유체의 분사를 용이하게 할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 외부노즐부로서 외부노즐, 단차홈, 제3 유로, 슬릿, 결합돌기 및 파지홈을 구비함으로써, 제1 유체와 제2 유체의 혼합유체를 용이하게 분사하는 동시에 내부노즐부와의 결합위치를 일정하게 유지하여 결합을 용이하게 할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 제3 유로를 내부노즐부 보다 큰 사이즈로 형성함으로써, 제3 유로에서 제1 유체와 제2 유체 사이의 혼합을 용이하게 하는 동시에 혼합성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다.
10: 내부노즐부 20: 외부노즐부
30: 실링부 110: 노즐블럭부
120: 노즐홈부 130: 제1 관로부
140: 제2 관로부

Claims (9)

  1. 제1 유체와 제2 유체를 혼합하여 분사하도록 노즐 조립체에 결합되는 2유체 노즐로서, 제1 유체와 제2 유체를 각각 분사하는 내부노즐부(10)를 포함하고,
    상기 내부노즐부(10)의 후방에 설치되어 상기 내부노즐부(10)와 노즐 조립체의 결합시 기밀을 유지하는 실링부(30);가 더 포함되며,
    상기 실링부(30)는,
    상기 내부노즐부(10)의 후단 중앙부위에 설치된 제1 실링재; 및
    상기 내부노즐부(10)의 후단 외곽둘레에 설치된 제2 실링재;를 포함하는 2유체 노즐에 있어서,
    상기 내부노즐부(10)의 외부에 결합되되 상기 노즐 조립체에 일정한 위치상태로 결합 고정되도록 결합돌기가 형성되며, 분사된 상기 제1 유체와 상기 제2 유체를 혼합하여 함께 분사하는 외부노즐부(20); 및
    상기 복수개의 2유체 노즐이 각각 결합되도록 길이방향을 따라 등간격으로 형성된 홈부재로서, 결합홀(121), 끼움홈(122) 및 고정지지홈(123)으로 이루어지는 노즐 블럭부(110);를 포함하며,
    상기 내부노즐부(10)는,
    통형상으로 형성된 내부노즐;
    상기 내부노즐의 중앙부위에 관통 형성된 제1 유로; 및
    상기 내부노즐의 외곽부위에 설치되되 제1 유로의 외곽둘레를 따라 등간격으로 이격되며 관통 형성된 제2 유로;를 포함하며,
    상기 제2 유로는, 상기 내부노즐의 후방 외곽에서 전방 중심을 향해서 경사지게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 2유체 노즐.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 외부노즐부(20)는,
    통형상으로 형성된 외부노즐;
    상기 외부노즐의 내주부위에 단차형상으로 형성되어 내부노즐부(10)와의 결합위치를 결정하는 단차홈;
    상기 외부노즐의 전방 중앙부위에 관통 형성되어 제1 유체와 제2 유체의 혼합공간을 형성하는 제3 유로;
    상기 제3 유로의 선단에 형성된 슬릿;
    상기 외부노즐의 외주부위의 후단에 돌출 형성되어, 노즐 조립체에 일정한 위치상태로 결합 고정되는 결합돌기; 및
    상기 외부노즐의 외주둘레에 등간격으로 함몰 형성되어, 노즐 조립체에 결합시 결합 회전력을 제공하는 파지홈;을 포함하며,
    상기 제3 유로는, 상기 내부노즐부(10)의 선단 둘레와의 사이에 소정길이의 간격이 유지되도록 상기 내부노즐부(10)의 선단 보다 큰 사이즈의 내경으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 2유체 노즐.
  7. 삭제
  8. 제 1 항에 기재된 2유체 노즐을 구비한 노즐 조립체로서,
    노즐블럭부(110);
    상기 노즐블럭부(110)에 복수개의 2유체 노즐이 각각 결합되도록 등간격으로 형성된 노즐홈부(120);
    상기 노즐블럭부(110)의 내부 일방에 연장 형성되며 상기 노즐홈부(120)와 연통 형성된 제1 관로부(130); 및
    상기 노즐블럭부(110)의 내부 타방에 연장 형성되며 상기 노즐홈부(120)와 연통 형성된 제2 관로부(140);를 포함하며,
    상기 노즐홈부(120)에는 2유체 노즐이 일정한 위치상태로 결합 고정되도록 고정지지홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 노즐을 구비한 노즐 조립체.
  9. 삭제
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