KR100679192B1 - 노즐 장치 및 노즐 부재 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는 경량화할 수 있는 동시에, 용접하는 일 없이 복수의 헤더에 대해 노즐 부재가 교환 가능한 노즐 장치를 제공하는 것이다.

노즐 장치는 복수의 유체를 각각 공급하기 위한 긴 통상의 복수의 헤더(1, 2)와, 헤더의 길이 방향으로 거의 등간격으로 형성되고 복수의 헤더의 길이 방향에 대해 직교하는 방향으로 관통하는 장착구와, 이들 장착구에 교환 가능하게 장착할 수 있고 또한 각 헤더(1, 2) 내를 통과하는 유로(또는 연통 구멍)(9 내지 12)를 갖는 노즐 본체(5)와, 이 노즐 본체에 부착된 노즐 칩(4)과, 각 헤더(1, 2)와 노즐 본체(5)와의 접합부(평탄부)에 각각 배치된 밀봉재(13 내지 15)와, 노즐 본체(5)의 단부의 나사부(8)에 나사 결합 가능한 체결 수단(16)을 구비하고 있다. 노즐 본체 내에는, 각 헤더로부터의 유체를 혼합하기 위한 혼합 공간을 형성해도 좋다.

Description

노즐 장치 및 노즐 부재 {NOZZLE APPARATUS AND NOZZLE MEMBER}

본 발명은, 다른 종류의 복수의 유체(기체와 액체의 이류체 등)를 혼합하여 분사 또는 분무하는 데 유용한 노즐 장치(예를 들어, 이류체 노즐 장치), 예를 들어 반도체 웨이퍼나 액정 기판 등의 피처리체의 처리(피세정체의 세정 처리)에 유용한 노즐 장치(예를 들어, 이류체 노즐 장치) 및 노즐 부재에 관한 것이다.

공기와 물의 이류체를 혼합하여 안개 형상으로 분사 또는 분무하는 방법으로서, 공기와 물을 각각 노즐에 도입하여 혼합 미스트를 노즐의 분사구로부터 분사시키는 방법이 알려져 있다.

예를 들어, 일본 실용신안 등록 제2510286호 공보(특허 문헌 1)에서는 공기 공급관과, 이 공기 공급관의 내부에 삽입하여 배치된 물 공급관과, 공기 공급관 및 물 공급관의 쌍방에 축 방향으로 간격을 두고 또한 대향하여 형성된 노즐 장치 구멍과, 대향하는 노즐 장치 구멍에 관통시켜 삽입 고정되어 부착된 1개의 노즐과, 이 노즐에 형성되고 또한 공기 공급관 및 물 공급관의 내부와 연통하여 개구된 각 유체의 도입구를 구비하고 있는 이류체 노즐이 개시되어 있다. 이 노즐에서는, 공기 공급관 및 물 공급관의 도입구를 통해 노즐 내에 공기 및 물을 도입하고, 노즐 내의 혼합실에서 혼합하여 토출 구멍으로부터 분무하고 있다. 일본 특허 공개 제2002-96003호 공보(특허 문헌 2)에는, 가압 공기 공급원에 접속되는 공기 통로와 액체 공급원에 접속되는 액체 통로를 갖는 노즐 본체와, 이 노즐 본체의 하류 단부에 배치된 공기 캡을 구비한 스프레이 노즐이며, 상기 공기 캡이 액체 통로로부터의 액체를 충돌시켜 반경 방향으로 보내기 위한 접촉면과, 반경 방향으로 보내진 액체를 가압 공기류로 세분화하기 위해 상기 접촉면의 주위에 형성된 확장실과, 상기 접촉면의 주위에 대향하여 설치되고, 또한 상기 확장실 및 각도가 있는 배출 오리피스를 통과하고 있는 동시에 원주 방향으로 간격을 두고 형성된 복수의 축선 방향 유로로 구성되어 있는 스프레이 노즐이 개시되어 있다. 또한, 이 문헌에는 원통상 액체 공급 원로를 원통상 공기 공급원로 내에 수용하고, 액체 공급원로로부터의 액체를 노즐 본체의 액체 통로에 공급하고, 공기 공급원로로부터의 가압 공기를 노즐 본체의 공기 통로에 공급하는 것도 기재되어 있다. 이 스프레이 노즐에서는, 액체 통로를 통과한 액체를 공기 캡의 접촉면에 충돌시키고, 접촉면 주위의 확장실에 있어서 공기 통로를 통해 도입된 가압 공기에 의해 세분화 및 안개화되어, 외측으로 확대되는 원뿔 형상 스프레이 패턴으로 배출 오리피스로부터 안개화 액류를 배출할 수 있다.

그러나, 이들 스프레이 노즐에서는 노즐 본체(노즐 헤드) 내에 공기 공급로 및 물 공급로를 형성하여 공기와 물을 혼합시킬 필요가 있다. 그로 인해, 구조가 복잡화되는 동시에 노즐의 부품 개수도 많아지고 경량화가 곤란해져 비용이 상승하게 된다. 또한, 노즐 본체가 물 공급관 및 공기 공급관에 대해 용접 등에 의해 고정 부착되어 있으므로, 이물질이 혼입되어 눈 막힘 등이 발생되어도 분해할 수 없어 보수(공급관이나 노즐 본체의 세정 등)가 곤란해진다.

일본 특허 공개 소63-248464호 공보(일본 특허 공개 평5-55193호 공보, 특허 문헌 3)에는, 피처리대 부재가 폭 방향으로 긴 제1 헤더와, 이 제1 헤더의 후방측에 부착되어 제1 헤더와 평행하게 긴 제2 헤더와, 상기 헤더의 길이 방향으로 등간격으로 복수개 설치되고 상기 제1, 제2 헤더에 연통하는 유로를 갖고, 제1 헤더를 전후 방향으로 관통하여 고정된 노즐 도입 부재를 포함하여 어느 한 쪽의 헤더에 공기, 다른 쪽의 헤더에 액체가 도입되는 이류체 노즐 헤더가 개시되어 있다. 이 노즐 헤더는, 제1 헤더(공기 헤더)를 관통하여 제2 헤더(액체 헤더) 내에 개구단부를 향하게 한 중공(中空) 통상의 노즐 도입 부재와, 제1 헤더측의 노즐 도입재에 장착된 노즐과, 제2 헤더를 통과하는 노즐 도입 부재의 중공부로 형성되고, 또한 액체를 노즐에 공급하기 위한 액체로와, 제1 헤더(공기 헤더)를 통해 노즐 도입 부재의 도중부로부터 노즐에 이르는 공기로를 구비하고 있다. 그로 인해, 액체로로부터의 액체와 공기로로부터의 공기를 노즐에 공급하여 노즐의 토출 구멍으로부터 혼합 유체를 분무할 수 있다. 또한, 제1 헤더와 제2 헤더가 일체적으로 결합되어 있으므로, 전체적으로 콤팩트화할 수 있어 경량화할 수 있는 동시에 노즐 도입 부재의 선단부에서 노즐의 교환이 가능하다. 또한, 상기 제1 및 제2 헤더를 그 길이 방향으로 미끄럼 이동 가능하게 안내 지지하는 슬라이드 가이드를 설치함으로써, 예비 헤더와의 교환도 용이하다.

그러나, 노즐 도입 부재가 용접 등에 의해 제1 및 제2 헤더와 고정 부착되어일체화되어 있는 동시에, 제1 헤더와 제2 헤더도 고정 부착되어 일체적으로 결합되어 있으므로 분해할 수 없어, 노즐 도입 부재의 교환 및 보수(헤더나 노즐 도입 부재의 세정 등)가 곤란해진다. 또한, 노즐 도입 부재의 교환이 곤란한 데다가, 노즐 도입 부재의 개구단부가 제2 헤더 내에서 개구되어 있으므로, 노즐로부터의 분무 유량을 제어하는 것도 곤란하다. 또한, 노즐 도입 부재와 제1 및 제2 헤더를 용접에 의해 일체화하거나 제1 헤더와 제2 헤더를 용접에 의해 일체화하면, 헤더에 휨이 발생될 뿐만 아니라, 헤더의 용접부 내면에도 산화막이 생성된다. 그리고, 헤더에 휨이 발생되면 피처리대 부재와 노즐과의 거리가 변동되어 피처리대 부재를 균일하게 처리할 수 없게 된다. 또한, 헤더의 내면에 생성된 산화막을 제거하는 것이 곤란할 뿐만 아니라, 고순도의 유체[초순수(超純水) 등]로 처리하는 경우에는, 산화막이 고순도의 유체를 오염시켜 피처리대 부재(특히, 액정 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 고정밀도의 세정 처리가 요구되는 피처리체 등)를 정밀하게 처리할 수 없게 된다.

[특허 문헌 1]

실용신안 등록 제2510286호 공보(등록청구의 범위)

[특허 문헌 2]

일본 특허 공개 제2002-96003호 공보(특허청구의 범위)

[특허 문헌 3]

일본 특허 공개 소63-248464호 공보(특허청구의 범위, 도1)

따라서, 본 발명의 목적은 경량화할 수 있을 뿐만 아니라, 헤더에 대해 노즐 부재가 교환 가능한 노즐 장치(이류체 노즐 장치 등)를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은, 복수의 헤더의 용접이나 헤더와 노즐 부재와의 용접이 불필요하고, 피처리체를 균일하게 분무 처리할 수 있는 노즐 장치(이류체 노즐 장치 등)를 제공하는 데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 노즐 부재의 교환에 의해 분무 유량을 쉽게 제어할 수 있는 동시에, 고순도의 유체 오염을 억제하면서 피처리체를 분무 처리할 수 있는 노즐 장치(이류체 노즐 장치 등)를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은, 구조를 간소화할 수 있는 동시에 보수가 용이한 노즐 장치(이류체 노즐 장치 등)를 제공하는 데 있다.

본 발명자는, 상기 과제를 달성하기 위해 예의 검토한 결과, 서로 평행하게 배치되고, 또한 복수의 유체를 각각 공급 가능한 긴 통상의 복수의 헤더와, 이들 헤더의 길이 방향에 대해 교차 또는 직교하는 방향으로 관통하여 형성된 장착구와, 이 장착구에 교환 또는 착탈 가능하게 장착할 수 있고 또한 축 방향으로 유로를 갖는 노즐 부재와, 이 노즐 부재의 측벽에 형성되고 또한 각 헤더 내와 상기 유로가 통과되는 연통 구멍과, 각 헤더와 노즐 부재와의 접합부를 밀봉하기 위한 밀봉 부재와, 복수의 헤더에 대해 노즐 부재를 체결하기 위한 체결 수단으로 노즐 장치를 구성하면, 용접을 이용하는 일 없이 노즐 장치를 일체화할 수 있는 동시에 노즐 부재가 교환 가능하고, 게다가 노즐 부재의 측벽에 형성된 연통 구멍의 크기를 조정함으로써 분무 유량을 제어할 수 있는 것을 발견하여 본 발명을 완성하였다.

즉, 본 발명의 노즐 장치(이류체 노즐 장치 등)는 복수의 유체를 각각 공급하기 위한 긴 통상의 복수의 헤더와, 이들 헤더의 길이 방향으로 간격을 두고 복수의 헤더를 관통하여 부착되고, 또한 각 헤더 내를 통과하는 유로를 갖는 복수의 노즐 부재를 구비하고 있다. 상기 복수의 헤더에는 다른 종류의 유체(기체나 액체)가 공급 가능하다. 이러한 장치에서는, 노즐 부재가 복수의 헤더를 관통하여 부착되어 있으므로, 노즐 부재를 복수의 헤더에 대해 교환 가능하게 장착하는 것이 가능하며, 용접에 의해 노즐 부재를 장착할 필요도 없다. 그로 인해, 상기 노즐 장치에 있어서, 복수의 헤더에 대해 노즐 부재는 비용접 형태로 부착 가능하다. 또한, 복수의 헤더에 대해 노즐 부재는 교환 가능하게 장착해도 좋다. 또한, 복수의 헤더를 노즐 부재가 관통한 구조이므로, 부품 개수를 삭감할 수 있는 동시에 노즐의 구조를 간소화할 수 있어 경량화가 가능하다.

또한, 복수의 헤더와 노즐 부재와의 접합부는 유체의 누출을 방지하기 위해, 통상 밀봉재로 밀봉되어 있다. 또한, 복수의 헤더와 노즐 부재는 다양한 수단으로 일체화할 수 있고, 예를 들어 복수의 헤더 사이에 개재되는 밀봉재와 복수의 헤더를 관통하는 노즐 부재 중 적어도 한 쪽 단부에 설치되고, 또한 복수의 헤더를 체결하기 위한 체결 수단으로 일체화해도 좋다. 또한, 노즐 부재는 복수의 헤더에 대해 관통하여 장착 가능하고, 또한 각 헤더 내를 통과하는 유로를 갖는 노즐 본체와, 이 노즐 본체의 선단부에 장착된 노즐 칩으로 구성해도 좋다.

보다 구체적으로는, 노즐 장치는 예를 들어 서로 평행하게 배치되고, 또한 복수의 유체를 각각 공급하기 위한 긴 통상의 복수의 헤더와, 이들 헤더의 길이 방향으로 거의 등간격으로 형성되고, 복수의 헤더의 길이 방향에 대해 직교하는 방향으로 관통하는 장착구와, 이들 장착구에 교환 또는 착탈 가능하게 장착할 수 있고 또한 각 헤더 내를 통과하는 유로(또는 연통 구멍)를 갖는 복수의 노즐 본체와, 이 노즐 본체의 선단부에 부착된 노즐 칩과, 각 헤더의 외면 중 적어도 노즐 본체와의 접합부(또는 장착구의 근방)에 형성된 평탄부와, 이 평탄부에 각각 배치된 밀봉재와, 복수의 헤더를 관통하는 노즐 본체 중 적어도 한 쪽 단부에 설치되고 또한 복수의 헤더를 체결하기 위한 체결 수단을 구비하고 있어도 좋다. 노즐 본체 내에는, 각 헤더로부터의 유체를 혼합하기 위한 혼합 공간을 형성해도 좋다. 상기 노즐 칩의 토출 구멍으로부터는, 복수의 유체가 혼합된 혼합 유체를 토출 또는 분출시킬 수 있다.

본 발명은, 상기 노즐 장치의 노즐 부재도 포함한다. 이 노즐 부재는 다른 종류의 복수의 유체를 각각 공급하기 위한 긴 통상의 복수의 헤더에 대해, 헤더의 길이 방향의 복수 부위에서 부착하기 위한 노즐 부재이며, 상기 복수의 헤더를 관통하여 형성된 장착구(예를 들어, 상기 복수의 헤더의 길이 방향에 대해 교차 또는 직교하는 방향으로 형성된 장착구)에 대해 밀봉 상태로 장착 가능하고, 또한 각 헤더 내를 통과하는 유로를 갖는다. 이 노즐 부재는, 한 쪽 단부에 토출 구멍을 갖고 또한 다른 쪽 단부가 폐쇄된 중공 통상의 노즐 부재이며, 복수의 헤더에 대응하는 측벽에 형성되고 또한 각 헤더 내를 통과하는 연통 구멍과, 이들 연통 구멍으로부터의 유체를 혼합하기 위한 혼합 공간을 구비하고 있어도 좋다.

또한, 노즐 부재는 선단부에 토출 구멍이 형성된 노즐 칩과, 이 노즐 칩을 장착하기 위한 장착부가 한 쪽 단부에 형성되고, 다른 쪽 단부가 폐쇄되어 있는 동시에 복수의 헤더의 장착구에 관통하여 장착 가능한 중공 통상의 노즐 본체로 구성해도 좋다.

이러한 노즐 부재나 노즐 장치에서는, 복수의 헤더의 용접이나 헤더와 노즐 부재와의 용접이 불필요하므로, 헤더에 휨 및 산화막의 생성을 방지할 수 있다. 그로 인해, 피처리체를 균일하고 또한 효율적으로 분무 처리할 수 있는 동시에, 고순도의 유체가 오염되는 것을 억제하면서 분무 처리할 수 있다. 또한, 복수의 헤더에 대해 노즐 부재가 착탈 또는 교환 가능하므로 교환하는 새로운 노즐 부재의 상기 연속 구멍의 사이즈에 의해 분무 유량을 쉽게 제어할 수 있다. 또한, 밀봉재를 이용하면 노즐 부재를 교환 가능하게 할 수 있을 뿐만 아니라, 복수의 헤더에 있어서의 장착구의 위치 정밀도가 그다지 높지 않아도, 각 헤더와 노즐 부재와의 접합부를 확실하게 밀봉하면서 복수의 헤더에 노즐 부재를 교환 가능하게 장착할 수 있다.

이하에, 필요에 따라서 첨부 도면을 참조하면서 본 발명을 상세하게 설명한다.

도1은 본 발명의 노즐 장치(이류체 노즐 또는 분사 노즐 장치)의 일예를 도시한 일부 절결 측면도이고, 도2는 도1에 도시한 노즐 장치의 개략 측면도이고, 도3은 도1에 도시한 노즐 장치의 개략 일부 절결 측면도이다. 또한, 설명하는 이하의 예에서는, 액체로서 물(고압수 등의 가압수)을 이용하고 기체로서 공기(가압 공기)를 이용한 이류체 노즐 장치가 설명되어 있다.

이류체 노즐 장치는 긴 단면 사각 형상의 중공 통체로 구성되고 또한 액체를 공급하기 위한 제1 헤더(또는 액체 헤더)(1)와, 이 제1 헤더에 대해 거의 평행하게 배치되고 또한 긴 단면 사각 형상의 중공 통체로 구성되고 또한 기체를 공급하기 위한 제2 헤더(기체 헤더)(2)와, 이들 헤더(1, 2)의 길이 방향으로 거의 등간격마다 제1 및 제2 헤더(1, 2)의 길이 방향에 대해 직교하는 방향으로 형성된 장착구(또는 관통구, 도시하지 않음)와, 각 장착구에 대해 관통하여 장착 가능한 중공 통상의 노즐 부재(3)로 구성되어 있다. 또한, 제1 헤더(1)에는 액체 공급 수단에 의해 액체를 공급하기 위한 기체 공급 파이프(1a)가 접속되어 있고, 제2 헤더(2)에는 기체 공급 수단에 의해 기체를 공급하기 위한 기체 공급 파이프(2a)가 접속되어 있다. 본 예에서는, 액체 공급 파이프(1a)와 기체 공급 파이프(2a)는 T자 형상의 형태, 즉 제1 및 제2 헤더(1, 2)의 길이 방향에 대해 직교하는 방향으로부터 접속되어 있다. 또한, 각 헤더(1, 2)의 장착구(관통구)는 단면 사각 형상의 각 헤더(1, 2)의 대향면을 관통하여 형성되어 있다.

상기 노즐 부재(3)는 한 쪽 단부에 토출 구멍을 갖고, 다른 쪽 단부는 폐쇄되어 있는 동시에 다른 쪽 단부의 외주에는 나사부(8)가 형성되어 있다. 보다 상세하게는, 상기 노즐 부재(3)는 선단부에 토출 구멍이 형성된 노즐 칩(4)과, 한 쪽 단부에 상기 노즐 칩(4)이 장착 가능한 장착부가 형성되고 다른 쪽 단부가 폐쇄되어 있어, 복수의 헤더(1, 2)의 장착구에 관통되어 장착 가능한 중공 통상의 노즐 본체(5)로 구성되어 있다. 본 예에서는, 노즐 본체(5)의 한 쪽 단부에는 캡(또는 어댑터)(6)에 의해 노즐 칩(4)이 장착되어 있다. 또한, 노즐 칩(4)은 노즐 칩(4)에 대해 계지 가능한 캡(어댑터)(6)에 의해 노즐 본체(5)의 단부에 장착 또는 보유 지지되어 있다. 또한, 노즐 칩(4)의 선단부에는 반경 방향으로 연장되는 홈(4a)이 형성되어 있고, 이 홈 중 노즐 칩(4)의 축심부에서 토출 구멍이 개구되어 있다.

또한, 노즐 본체(5) 중 노즐 칩(4)측에는 복수의 헤더(1, 2)의 장착구보다도 사이즈가 크고, 노즐 본체(5)가 상기 장착구 내로 진입하는 것을 규제하기 위한 규제부(예를 들어, 머리부)(7)가 형성되어 있다. 상기 노즐 본체(5)는 폐쇄된 단부를 제1 헤더(1)로부터 제2 헤더(2)의 장착구를 향하게 하여[또는 노즐 칩(4)을 제2 헤더(2)로부터 제1 헤더(1)의 장착구를 향하게 하여] 관통하여 장착되어 있고, 장착 상태에 있어서 노즐 본체(5)의 다른 쪽 단부(폐쇄된 단부)에 형성된 나사부(8)는 제2 헤더(2)로부터 외측으로 돌출되어 있다.

상기 노즐 본체(5)의 주위벽 중 제1 및 제2 헤더(1, 2)에 대응하는 부위에는, 제1 헤더(또는 액체 헤더)(1) 내를 통과하는 연통 구멍(액체 연통 구멍)(9) 및 제2 헤더(또는 기체 헤더)(2) 내를 통과하는 연통 구멍(공기 연통 구멍)(11)이 각각 형성되어 있다. 이들 연통 구멍(9, 11)은, 도1에 도시된 바와 같이 각각 유로(액체 유로 및 기체 유로)(10, 12)를 경유하여 노즐 칩(4)의 토출 구멍에 이르고 있다. 즉, 액체 연통 구멍(9)은 하류 방향을 향해 노즐 본체(5)의 축선 방향으로 연장되는 유로와, 이 유로로부터 하류 방향으로 감에 따라서 내측으로 경사진 경사 유로로 구성된 액체 유로(10)를 경유하여 혼합 공간(도시하지 않음)에 이르고 있고, 기체 연통 구멍(11)은 상기 액체 유로(10)보다도 노즐 본체(5)의 내측 영역(축심측)에 있어서, 하류 방향을 향해 노즐 본체(5)의 축선 방향으로 연장되는 유로(순차 단계적으로 내경이 작게 교축되는 복수의 기체 유로)와, 이 유로로부터 하류 방향으로 감에 따라서 내측으로 경사진 경사 유로로 구성된 기체 유로(12)를 경유하여 혼합 공간에 이르고 있다. 이 혼합 공간에서는, 액체 연통 구멍(9)으로부터의 액체와 기체 연통 구멍(11)으로부터의 기체가 합류하여 혼합되고, 혼합 공간에서 혼합된 혼합 유체는 상기 노즐 칩(4)의 토출 구멍으로부터 토출된다. 또한, 본 예에서는 액체 유로(10)와 기체 유로(12)는 상류 영역에 있어서 환상 파티션으로 구획되어 있다. 또한, 본 예에서는 액체 연통 구멍(9)보다도 기체 연통 구멍(11)의 사이즈가 크게 형성되어 있다.

그리고, 제1 헤더(1) 및 제2 헤더(2)의 장착구에 노즐 본체(5)를 장착한 상태에 있어서, 각 헤더(1, 2)와 노즐 본체(5)와의 접합부(또는 간극이나 밀봉부)는 체결 수단(16)에 의한 체결력을 이용하여 밀봉재(13 내지 15)로 밀봉되어 있다. 즉, 노즐 본체(5)의 주위 중 제1 및 제2 헤더(1, 2) 사이의 평탄부에는 환상 밀봉재(O링)(14)가 배치되고, 이 환상 밀봉재의 외측에는 환상 밀봉재(14)가 평탄부에서 외측으로 위치 어긋남되어 팽창되는 것을 방지하기 위한 링 형상 규제 부재(금속제 링 등)(17)가 배치되어 있고, 노즐 본체(5)의 주위 중 규제부(7)와 제1 헤더(1) 사이의 평탄부[제1 헤더(1)에 대한 규제부(7) 대향면의 내주 영역에 형성된 환상 오목부 또한 환상 절결부]에는 환상 밀봉재(O링)(13)가 배치되고, 제2 헤더(2)로부터 돌출된 노즐 본체(5)의 다른 쪽 단부의 주위의 평탄부에도 환상 밀봉재(O링)(15)가 배치되어 있다. 그리고, 노즐 본체(5)의 다른 쪽 단부에 형성된 나사부(8)에는 체결 수단으로서의 너트(16)가 나사 결합되어 있고, 너트(16)의 나사 결합에 수반되는 체결력에 의해 제1 및 제2 헤더(1, 2)에 대해 노즐 부재(5)를 일체적으로 보유 지지하는 동시에, 각 헤더(1, 2)와 노즐 본체(5)와의 접합부(또는 간극이나 밀봉부)를 긴밀하게 밀봉하고 있다.

이러한 노즐 장치(이류체 노즐 장치)에서는, 제1 및 제2 헤더(1, 2)에 대해 노즐 부재(3)가 관통한 구조이므로, 구조가 간단한 동시에 경량화할 수 있다. 또한, 복수의 헤더(1, 2)의 용접이나 헤더(1, 2)와 노즐 부재(3)의 용접이 불필요하므로, 헤더(1, 2)의 휨이나 산화막의 생성을 유효하게 방지할 수 있다. 그로 인해, 액정 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 고정밀도의 처리가 요구되는 피처리체를 세정 처리해도, 고순도의 유체 오염을 억제하면서 균일한 분무 유량으로 피처리체를 균일하게 분무 처리할 수 있다. 또한, 상기 밀봉재(13 내지 15) 및 체결 수단(16)에 의해 제1 및 제2 헤더(1, 2)와 노즐 부재(3)가 해제 가능하게 기계적으로 결합되어 있으므로, 제1 및 제2 헤더(1, 2)에 대해 노즐 부재(3)를 교환 또는 분해할 수 있어 보수가 용이하다. 또는, 노즐 부재(5)의 혼합 공간에서 기체와 액체를 효율적으로 혼합할 수 있으므로, 미립화된 혼합 미스트를 노즐 칩(4)의 토출 구멍으로부터 분사시킬 수도 있다. 또한, 노즐 부재(5)를 상기 제1 및 제2 헤더(1, 2) 내를 통과하는 액체 연통 구멍(9) 및 기체 연통 구멍(11)의 사이즈나 노즐 칩(토출 구멍을 포함함)의 구조가 다른 노즐 부재와 교환함으로써, 분무 유량을 쉽게 제어할 수 있다. 또한, 복수의 헤더(1, 2)에 있어서 장착구의 위치 정밀도가 그다지 높지 않아도, 복수의 노즐 부재(3)의 위치 어긋남을 상기 밀봉재(13 내지 15)에 의한 긴밀한 밀봉으로 흡수할 수 있고, 각 헤더(1, 2)와 노즐 부재(3)와의 접합부를 확실하게 밀봉하면서, 복수의 헤더(1, 2)에 노즐 부재(3)를 교환 가능하게 장착할 수 있다.

또한, 본 발명의 노즐 장치에 있어서 헤더의 수는 특별히 제한되지 않으며, 복수의 유체를 각각 공급 가능한 복수의 헤더(즉, 적어도 2개의 헤더)를 사용할 수 있다. 통상, 복수의 헤더 중 적어도 2개의 헤더에는 다른 종류의 유체(예를 들어, 기체와 액체)가 공급되지만, 각 헤더에 다른 종류의 유체를 공급해도 좋다. 예를 들어, 3개의 헤더를 이용하는 경우 각각 제1 액체(예를 들어, 물)와 제2 액체(예를 들어, 약액)와 기체(예를 들어, 공기)를 공급해도 좋다. 복수의 헤더의 배열 순서는 특별히 제한되지 않으며, 노즐 부재의 토출 구멍측에 기체 공급용 헤드를 배치해도 좋다.

또한, 다른 종류의 유체(예를 들어, 기체와 액체)는 헤더에 대해 여러 방향으로부터 공급할 수 있고, 각 유체의 공급 파이프를 각 헤드와 동축에 접속하여 각 헤더의 길이 방향의 단부로부터 공급해도 좋다. 예를 들어, 기체 공급 헤더와 액체 공급 헤더에는 기체와 액체를 각각 동일한 방향으로부터 공급해도 좋고, 역방향으로부터 공급해도 좋다. 또는, 기체 및 액체는 각 헤더의 축 방향에 대해 교차하는 방향으로부터 공급해도 좋다. 예를 들어, 각 유체의 공급 파이프는 각 헤더에 대해 T자 형상의 형태로 접속하여 헤드의 길이 방향에 대해 교차하는 방향으로부터 유체를 공급해도 좋다. 각 유체의 공급 파이프는, 각 헤드에 대해 한 부위 또는 복수 부위에 접속해도 좋다.

헤더는 통상, 긴 중공 통상이며, 헤더의 단면 형상은 특별히 제한받지 않고, 중공 각기둥 형상(삼각형, 사각형, 육각형, 팔각형 등의 다각 형상), 중공 타원 형상, 중공 원통상 등이라도 좋다. 노즐 부재에 대한 장착구가 형성되기 쉽고, 게다가 노즐 부재의 장착성을 높이므로 헤더의 단면 형상은 서로 대향하는 면이 대략 평행인 것이 바람직하다. 또한, 각 헤더에 있어서 유체의 유량 및 압력은 특별히 제한되지 않으며, 피처리체의 종류 및 분무 유량 등에 따라서 선택할 수 있다.

장착구는, 헤더를 관통하여 형성하면 좋고, 헤더의 서로 대향하는 면(또는 측벽), 특히 서로 대향하는 평행한 면(측벽)에 형성하는 경우가 많다. 장착구의 형상은 상기 노즐 부재에 대응하고 있는 경우가 많지만, 밀봉 수단에 의해 간극을 밀봉하는 경우에는 장착구와 노즐 부재와의 사이에 간극이 있어도 확실하고 또한 긴밀하게 밀봉할 수 있다. 그로 인해, 장착구의 정밀도나 복수의 헤더의 길이 방향에 있어서의 장착구의 위치 정밀도를 그다지 높이지 않아도 헤더로부터의 유체의 누설을 효율적으로 방지할 수 있다.

장착구는 헤더의 길이 방향에 따라 간격을 두고 형성할 수 있고, 각 헤더의 길이 방향으로 연장되는 선 상에 따라 산재(예를 들어, 1열 또는 복수열에 따라 산재)되어 있어도 좋고, 길이 방향으로 연장되는 선 상에 따르는 일 없이 산재되어 있어도 좋다. 또한 장착구는, 예를 들어 헤더의 길이 방향에 있어서 지그재그 형상으로 형성해도 좋다.

복수의 헤더는 노즐 부재가 장착 가능한 동시에, 각 헤더로부터의 유체를 노즐 부재의 토출 구멍으로부터 분무 가능해도 좋고 비평행 상태로 배치해도 좋지만, 통상 거의 평행하게 배치된다.

본 발명의 노즐 장치에 있어서, 적어도 1개의 헤더(특히 모든 헤더)의 단부나 도중부는, 지지부 또는 보유 지지부에 대해 탈착 불가능하게 고정 부착되어 있어도 좋지만, 보수성을 향상시키기 위해 착탈 가능하게 장착해도 좋다. 장착 기구는 특별히 제한되지 않으며, 다양한 구조나 기구, 예를 들어 나사 결합 기구, 끼워 맞춤 기구, 계지 또는 걸어 고정하는 기구 등을 채용할 수 있다. 주위 방향에서의 토출 구멍의 위치 어긋남을 방지하기 위해, 장착 기구는 위치 어긋남 고정 가능한 기구, 예를 들어 헤더의 단부를 안내하기 위한 안내 기구(헤더의 슬라이드 기구)와, 계지 등에 의해 헤더의 빠짐을 규제하기 위한 빠짐 방지 기구로 구성해도 좋다.

노즐 부재는, 상기 복수의 헤더를 횡단 또는 교차하는 방향으로 관통하여 부착 가능하면 좋고, 복수의 헤더의 길이 방향에 대해 경사 방향으로 형성된 장착구에 관통하여 부착되어도 좋고, 직교하는 방향으로 형성된 장착구에 관통하여 부착해도 좋다. 또한, 노즐 부재는 복수의 헤더의 길이 방향으로 거의 등간격마다 부착하는 경우가 많지만 반드시 등간격으로 부착할 필요는 없으며, 피처리체나 분무 유체의 종류 등에 따라서 간격을 두고 부착하면 좋다. 또한, 노즐 부재의 간격은 피처리체나 분무 유량 등에 따라서 선택할 수 있고, 예를 들어 10 내지 500 mm(예를 들어, 20 내지 300 mm) 정도라도 좋다.

복수의 헤더에 대해 관통하여 부착하기 위한 노즐 부재는, 각 헤더 내를 통과하는 유로와 각 유로로부터의 다른 종류의 복수의 유체를 분무하기 위한 토출 구멍을 갖고 있다. 각 유로는 각 유체를 안내하기 위한 단일 유로라도 좋고, 복수의 유로라도 좋다. 보다 구체적으로는, 노즐 부재의 측벽 중 각 헤더에 대응하는 부위에는, 토출 구멍을 통과하는 단일 또는 복수의 연통 구멍이 형성되어 있어도 좋고, 연통 구멍의 형상은 특별히 제한되지 않으며 원 형상, 타원 형상, 가늘고 긴 형상 등이라도 좋다. 또한, 복수의 연통 구멍의 위치나 배열도 특별히 제한되지 않으며, 랜덤 또는 규칙적으로 배열되어 있어도 좋다.

본 발명에 있어서, 복수의 헤더에 대해 노즐 부재를 교환 가능한 노즐 장치에서는, 복수의 헤더에 장착된 노즐 부재를 액체용 연통 구멍 및/또는 기체용 연통 구멍의 사이즈가 다른 노즐 부재로 교환함으로써 분무 유량을 쉽게 제어할 수 있다. 또한, 헤더의 길이 방향에 있어서의 분무 유량의 분포를 노즐 부재의 교환에 의해 쉽게 제어할 수 있다. 그로 인해, 각 연통 구멍의 크기는 각 헤더에 의해 동일해도 좋고 달라도 좋다.

예를 들어, 액체(물 등)와 기체(공기 등)를 혼합하는 경우, 액체 공급용 연통 구멍의 개구 면적(내경 등)과 기체 공급용 연통 구멍의 개구 면적(내경 등)은, 액체나 기체의 압력이나 유량, 분무 압력, 분무 유량에 따라서 선택할 수 있으며, 양자는 거의 동일해도 좋고, 액체 공급용 연통 구멍의 개구 면적(내경 등)에 비해 기체 공급용 연통 구멍의 개구 면적(내경 등)이 작아도 좋다.

본 발명에서는 노즐 칩은 반드시 필요한 것은 아니며, 노즐 부재(또는 노즐 본체)는 각 헤더에 대해 각각 관통하여 장착 가능하고, 또한 각 노즐 본체의 한 쪽 단부(선단부)에 혼합 미스트를 분사 또는 분무하기 위한 토출 구멍을 갖고 있어도 좋다. 즉, 노즐 부재 또는 노즐 본체로 노즐을 구성해도 좋다. 분무 정밀도를 높이기 위해 노즐 부재는 통상, 헤더에 대해 관통하여 장착 가능한 상기 노즐 본체와, 이 노즐 본체의 한 쪽 단부(선단부)에 장착 가능한 노즐 칩으로 구성하는 경우가 많다. 또한, 노즐 부재 또는 노즐 칩의 토출 구멍의 형상은 제한되지 않으며 다양한 형상, 예를 들어 다각 형상, 원형, 타원형, 방사 형상 등이라도 좋다.

상기 노즐 부재 또는 노즐 본체는, 다른 쪽 단부가 개방된 중공 통상체로 구성해도 좋지만, 다른 쪽 단부가 폐쇄된 중공 통상체로 구성하는 경우가 많고, 상기 연통 구멍과 이 연통 구멍으로부터의 유체를 혼합하기 위한 혼합 공간을 구비하고 있어도 좋다.

도4는 본 발명의 다른 노즐 장치(이류체 노즐 또는 분사 노즐 장치)를 도시하는 일부 절결 측면도이다. 본 예에서는, 노즐 부재의 주위벽에 형성된 연통 구멍은 유로를 경유하는 일 없이 직접 혼합 공간과 통해 있다. 즉, 제1 헤더(21)와 제2 헤더(22)에 관통하여 형성된 장착구(또는 관통 구멍)에는, 상기와 마찬가지로 노즐 칩(24)과 노즐 본체(25)로 구성된 노즐 부재(23)가 관통하여 장착되어 있다. 노즐 칩(24)은 캡(또는 어댑터)(26)에 의해 노즐 본체(25)의 한 쪽 단부에 장착되어 있다.

본 예에서는, 노즐 본체(25)의 주위벽 중 제1 및 제2 헤더(21, 22)에 대응하는 부위에는, 상기와 마찬가지로 제1 헤더(또는 액체 헤더)(21) 내를 통과하는 연통 구멍(액체 연통 구멍)(29) 및 제2 헤더(또는 기체 헤더)(22) 내를 통과하는 연통 구멍(공기 연통 구멍)(31)이 각각 형성되어 있다. 이들 연통 구멍(29, 31)은, 도4에 도시된 바와 같이 노즐 본체(25) 내에 축심 방향으로 연장되어 형성된 혼합 공간(30)을 향하고 있고, 이 혼합 공간은 노즐 칩(24)의 토출 구멍에 이르고 있다. 이 혼합 공간(30)에서는, 액체 연통 구멍(29)으로부터의 액체와 기체 연통 구멍(31)으로부터의 기체가 합류하여 혼합되고, 혼합 공간(30)에서 혼합된 혼합 유체는 상기 노즐 칩(24)의 토출 구멍으로부터 토출된다.

또한, 노즐 본체(25)의 주위 중, 노즐 칩(24)측에 형성된 규제부(또는 머리부)(27)와 제1 헤더(21)와의 사이, 제1 헤더(21)와 제2 헤더(22)와의 사이 및 제2 헤더(22)로부터 돌출된 노즐 본체(25)의 다른 쪽 단부의 주위에는, 각각 밀봉재(O링 또는 환상 밀봉재)(33 내지 35)가 배치되어 있다. 또한, 제1 헤더(21)와 제2 헤더(22)와의 사이의 밀봉재(34)의 외주 영역에는, 밀봉재(34)의 이동을 규제하기 위한 위치 결정용 링 형상 규제 부재(금속제 링 등)(37)가 배치되어 있다. 그리고, 노즐 칩(24)측에 형성된 규제부(또는 머리부)(27)에 의해 복수의 헤더(21, 22)의 장착구 내로의 노즐 본체(25)의 단부의 침입이 규제된 상태에서, 노즐 본체(25)의 다른 쪽 단부에 형성된 나사부(28)에는 체결 수단으로서의 너트(36)가 나사 결합되고, 이 체결 수단에 의한 체결력에 의해 복수의 헤더(21, 22)가 체결되어 노즐 부재(23)와 일체화되어 있다.

이러한 노즐 장치에서도 상기와 동일한 효과를 얻을 수 있는 동시에, 노즐 부재(23)의 구조가 간단해도 노즐 부재(23)의 혼합 공간(30)에서 액체와 기체를 효율적으로 혼합(혼합 및 충돌)할 수 있어, 혼합 미스트의 액적을 효율적으로 미세화하여 노즐 칩(24)으로부터 혼합 미스트를 분사 또는 분무할 수 있다. 또한, 혼합 공간(30)에서의 충돌 및 혼합 등에 의해 액적이 1차 입자화되고, 노즐 칩(24)에서 다시 2차 미립화하기 되기 때문인지 간단한 구조로 액적 직경을 효율적으로 미세화할 수 있다.

또한 노즐 칩의 구조는 도시한 예에 한정되지 않으며, 분무 패턴에 따라서 적당한 구조(예를 들어, 풀콘형 분무 패턴, 직사각형 분무 패턴 등)의 노즐 칩을 채용할 수 있다. 또한, 노즐 본체의 토출 구멍에 대해 노즐 칩은 착탈 가능하게 장착할 수 있고, 토출 구멍에 대한 노즐 칩의 장착 기구는 상기 캡이나 홀더에 한정되지 않고 나사 결합 및 끼워 맞춤 등의 다양한 장착 기구를 채용할 수 있다.

또한, 노즐 부재의 유로(혼합 공간을 포함함)나 토출 구멍 또는 노즐 칩에는, 혼합 미스트를 효율적으로 미립화하기 위한 중심 부재를 배치해도 좋다. 중심 부재를 배치함으로써 액체류와 기체류와의 혼합 효율이 낮아도, 혼합 미스트를 더욱 효율적으로 미립화할 수 있다. 중심 부재로서는, 유체에 선회류를 부여할 수 있는 다양한 선회 수단, 예를 들어 원통상 주위면에 나선홈이 교차하여 형성된 선회 부재(선회자), 정류 부재(정류판이나 정류 블레이드 등), 충돌 부재(방해판이나 충돌판 등) 등으로 구성할 수 있다. 중심 부재 또는 미세화 수단은, 통상 노즐 부재의 축선(또는 혼합 미스트의 토출 방향)에 대해 교차하는 유로(예를 들어, 지그재그 및 만곡 또는 굴곡된 비직선 형상의 유로)를 갖는 경우가 많다.

또한, 복수의 헤더와 노즐 부재와의 복수의 접합부(또는 간극) 중 적어도 1개의 접합부는 용접에 의해 접합되어 있어도 좋지만, 통상 용접에 의해 용착하는 일 없이 부착되어 있다. 즉, 복수의 헤더에 대해 노즐 부재가 비용접 형태로 부착되어 있다.

바람직한 태양에서는, 복수의 헤더에 대해 노즐 부재가 비용접 형태로 교환 또는 착탈 가능하게 장착되어 있다. 노즐 부재는, 예를 들어 상기 복수의 헤더의 길이 방향에 대해 교차 또는 직교하는 방향으로 형성된 장착구에 대해 밀봉 상태로 장착 가능하면 좋다. 특히, 노즐 부재는 복수의 헤더와 노즐 부재와의 복수의 접합부 중 적어도 일부의 접합부(바람직하게는 전부의 접합부)가 밀봉 상태로, 복수의 헤더의 길이 방향에 대해 교차(특히 직교)하는 방향으로 형성된 장착구에 대해 교환 또는 착탈 가능하게 장착되어 있다. 즉, 복수의 헤더와 노즐 부재와의 접합부 중 적어도 일부의 접합부(바람직하게는 전부의 접합부)가 밀봉재로 밀봉되어 있다. 밀봉재는, 적어도 복수의 헤더 사이에 개재되는 경우가 많다. 밀봉재에 의한 밀봉부의 밀봉은, 판상 또는 플레이트상 고무 탄성체에 대해 접합부 또는 밀봉부(예를 들어, 노즐 부재의 단부 또는 머리부나 노즐 부재의 규제부)를 압착하여 행해도 좋고, 상기한 바와 같이 피밀봉 부재 사이에 개재되는 고무 탄성체를 협압하여 행해도 좋다.

노즐 부재와 헤더 사이의 밀봉부는 다양한 밀봉 수단, 예를 들어 필러제(실리콘계 필러제) 및 접착제 등의 접착 기능을 갖는 밀봉재, O링 및 패킹 등의 고무 탄성을 이용한 밀봉 부재 등으로 밀봉할 수 있다. 바람직한 밀봉 수단은, 밀봉부(접합부 또는 간극부)를 기계적으로 착탈 가능하게 밀봉 가능한 밀봉재(특히, 고무 탄성 밀봉 부재)이다.

각 헤더의 외면 중 적어도 노즐 부재(또는 노즐 본체)와 헤더와의 접합부는 만곡면이나 요철면으로 형성해도 좋지만, 밀봉재를 안정적으로 보유 지지하는 동시에 밀봉성을 높이기 위해, 평탄부(또는 평탄면)으로서 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 평탄부는 밀봉재가 선 또는 면 접촉 가능하면 좋고, 평탄면에 한정되지 않으며 밀봉재가 수용 가능한 오목부나 홈(또는 절결부)으로 구성해도 좋다.

복수의 헤더와 노즐 부재는, 해제 가능한 다양한 일체화 수단, 특히 체결 수단에 의해 일체화할 수 있다. 체결 수단은 상기 나사부와 너트에 의한 나사 결합(또는 나사 고정)에 한정되지 않고, 복수의 헤더를 체결 가능한 다양한 체결 기구, 예를 들어 스냅식 체결 기구, 클램프식 체결 기구 등을 채용할 수 있다. 또한, 체결 수단은 복수의 헤더를 관통하는 노즐 부재 중 적어도 한 쪽 단부에 설치하면 좋고, 노즐 부재의 양단부에 설치해도 좋다. 예를 들어, 노즐 부재의 한 쪽 단부(토출 구멍측)에 체결 수단(너트 등)을 설치하고, 다른 쪽 단부에 장착구 또는 관통구의 주변에 있어서 헤더와 계지 가능한 머리부 또는 걸림부를 형성하여, 상기 체결 수단에 의해 복수의 헤더를 체결해도 좋다.

본 발명의 노즐 장치는 낮은 기체압으로 기체를 유통시켜도 혼합 미스트를 효율적으로 분사할 수 있다. 기체의 압력은, 통상 0.01 내지 1 MPa(예를 들어, 0.03 내지 0.8 MPa), 바람직하게는 0.05 내지 0.7 MPa, 더욱 바람직하게는 0.1 내지 0.6 MPa 정도이다. 또한, 액체는 반드시 가압할 필요는 없지만 통상 가압 액체(또는 고압액)로서 공급되고, 압력은 0.01 MPa 이상(예를 들어, 0.05 내지 2 MPa, 바람직하게는 0.1 내지 1 MPa) 정도라도 좋다. 또한 본 발명에서는, 액체에 대해 기체의 유량을 크게 하여 미세한 액적을 형성해도 좋다. 기체와 액체의 유량비(부피 비율)는, 예를 들어 기체/액체(기액 체적비) = 5 이상(예를 들어, 5 내지 500, 바람직하게는 10 내지 400, 더욱 바람직하게는 30 내지 300 정도)이라도 좋다.

본 발명의 노즐 장치에서는 단순한 구조라도 미립자화된 혼합 미스트를 생성할 수 있다. 미스트 입자의 입자 입경은 기체 및 액체의 유량 등에 의해 변동되지만, 예를 들어 평균 입자 입경(평균 액적 직경) 10 내지 500 ㎛(예를 들어, 20 내지 300 ㎛, 바람직하게는 30 내지 150 ㎛) 정도라도 좋다.

노즐 부재의 토출 구멍으로부터의 혼합 유체(혼합 미스트)는 헤더의 길이 방향에 대해 직교하는 방향으로 분사하는 경우가 많지만, 필요하면 헤더의 주위 방향 및/또는 길이 방향에 대해 경사 방향으로 분사시켜도 좋다. 또한, 혼합 유체(혼합 미스트)는 노즐 부재로부터 하방으로 분사 또는 분무해도 좋고, 피분무 대상의 위치에 따라서 경사 방향이나 상방으로 분사 또는 분무해도 좋다.

본 발명의 노즐 장치(이류체 노즐 장치)는 다양한 용도, 예를 들어 피처리체의 세정(반도체 웨이퍼나 액정 기판 등 정밀 기기 부품의 세정) 및 피냉각체의 냉각 등에 이용할 수 있다.

본 발명에서는 복수의 헤더에 대해 노즐 부재가 관통된 구조이므로 경량화할 수 있을 뿐만 아니라, 헤더에 대해 노즐 부재를 교환하는 것도 가능하다. 또한, 복수의 헤더의 용접이나 헤더와 노즐 부재와의 용접이 불필요해, 휨이나 산화막의 생성을 유효하게 방지할 수 있다. 그로 인해, 고순도의 유체 오염을 억제하면서 피처리체를 균일하게 분무 처리할 수 있다. 또한, 노즐 부재가 교환 가능하므로, 노즐 부재의 교환에 의해 분무 유량을 쉽게 제어할 수 있다. 또한, 구조를 간소화할 수 있는 동시에 분해 가능하고 보수가 용이하다.

도1은 본 발명의 노즐 장치(이류체 노즐 또는 분사 노즐 장치)의 일예를 도시한 일부 절결 측면도.

도2는 도1에 도시한 노즐 장치의 개략 측면도.

도3은 도1에 도시한 노즐 장치의 개략 일부 절결 측면도.

도4는 본 발명의 다른 노즐 장치(이류체 노즐 또는 분사 노즐 장치)를 도시한 일부 절결 측면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1, 2, 21, 22 : 헤더

3, 23 : 노즐 부재

4, 24 : 노즐 칩

5, 25 : 노즐 본체

6, 26 : 캡

7, 27 : 규제부

8, 28 : 나사부

9, 11, 29, 31 : 연통 구멍

10, 12 : 유로

13, 14, 15, 33, 34, 35 : 밀봉재(O링)

16, 36 : 체결 수단(너트)

30 : 혼합 공간

Claims (8)

1. 복수의 유체를 각각 공급하기 위한 긴 통상의 복수의 헤더와, 이들 헤더의 길이 방향으로 간격을 두고 복수의 헤더를 관통하여 부착되고, 또한 각 헤더 내를 통과하는 유로를 갖는 복수의 노즐 부재를 구비하고 있고, 복수의 헤더에 다른 종류의 유체가 공급 가능한 노즐 장치.
2. 제1항에 있어서, 복수의 헤더에 대해 노즐 부재가 비용접 형태로 부착되어 있는 노즐 장치.
3. 제1항에 있어서, 복수의 헤더에 대해 노즐 부재가 교환 가능하게 장착되어 있는 노즐 장치.
4. 제1항에 있어서, 복수의 헤더와 노즐 부재와의 접합부가 밀봉재로 밀봉되어 있는 노즐 장치.
5. 제1항에 있어서, 복수의 헤더 사이에 개재되는 밀봉재와 복수의 헤더를 관통하는 노즐 부재 중 적어도 한 쪽 단부에 설치되고, 또한 복수의 헤더를 체결하기 위한 체결 수단을 구비하고 있는 노즐 장치.
6. 서로 평행하게 배치되고, 또한 복수의 유체를 각각 공급하기 위한 긴 통상의 복수의 헤드와, 이들 헤더의 길이 방향으로 거의 등간격으로 형성되고 복수의 헤더의 길이 방향에 대해 직교하는 방향으로 관통하는 장착구와, 이들 장착구에 교환 가능하게 장착할 수 있고, 또한 각 헤더 내를 통과하는 유로를 갖는 복수의 노즐 본체와, 이 노즐 본체의 선단부에 부착된 노즐 칩과, 각 헤더의 외면 중 적어도 노즐 본체와의 접합부에 형성된 평탄부와, 이 평탄부에 각각 배치된 밀봉재와, 복수의 헤더를 관통하는 노즐 본체 중 적어도 한 쪽 단부에 설치되고, 또한 복수의 헤더를 체결하기 위한 체결 수단을 구비하고 있는 노즐 장치.
7. 다른 종류의 복수의 유체를 각각 공급하기 위한 긴 통상의 복수의 헤더에 대해, 헤더의 길이 방향의 복수 부위에서 부착하기 위한 노즐 부재이며, 상기 복수의 헤더를 관통하여 형성된 장착구에 대해 밀봉 상태에서 장착 가능하고, 또한 각 헤더 내를 통과하는 유로를 갖는 노즐 부재.
8. 제7항에 있어서, 상기 노즐 부재는 한쪽 단부에 토출 구멍을 갖고, 또한 다른 쪽 단부가 폐쇄된 중공 통상이고,

   또한, 상기 노즐 부재는, 복수의 헤더에 대응하는 측벽에 형성되어 각 헤더 내부와 연통하는 연통 구멍과, 이들 연통 구멍으로부터의 유체를 혼합하기 위한 혼합 공간을 구비하고 있는 노즐 부재.