KR20150039161A - 노즐 팁 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판의 수세 공정에서 기판 표면을 향하여 세척수를 분사하는 노즐 팁으로서, 기판의 수세 공정에서 기판을 향하여 세척수를 분사하도록 노즐 헤더와 결합되는 노즐 팁으로서, 상기 노즐 팁은 내부에 중공부가 형성된 플랜지; 상기 플랜지의 중공부와 연통되도록 선단부에 토출슬릿이 형성된 관체; 를 포함할 수 있으며, 상기 노즐 헤더와 플랜지에는 맞춤돌기와 맞춤홀이 각각 형성될 수 있는데, 상기 맞춤돌기와 상기 맞춤홀은 적어도 하나 이상을 구비할 수 있다.

Description

노즐 팁{NOZZLE TIP}

본 발명은 노즐 팁에 관한 것으로 더욱 상세하게는 기판의 수세 공정에서 기판 표면을 향하여 세척수를 분사하는 노즐 팁에 관한 것이다.

일반적으로, 기판의 수세 및 에칭 공정에서는 이류체 노즐로 분무되는 미스트를 통해 기판 표면에 뭍어 있는 각종 이물질을 제거하게 된다.

즉, 이류체 노즐에서는 물과 공기가 내부로 유입된 후 미립화되고, 미립화된 물과 공기의 혼합체인 미스트를 기판 표면을 향하여 소정의 각도로 분무하게 되는 것이다.

이러한 종래 이류체 노즐은 보통 미스트의 분무각을 광범위하게 하여 기판의 세정을 진행하는 한편, 분무 두께를 얇게 해 타력을 높여 사용하게 된다.

이류체 노즐의 분무각은 링 형상으로 이루어진 분무각 조절부재의 두께 또는 위치에 따라 조절된다.

그러나, 종래 이류체 노즐은 미스트가 분무되는 과정에서 분무각이 조절돼야 하는 경우 분무각 조절부재를 이류체 노즐에서 분리한 다음 다른 분무각 조절부재를 끼워 사용해야 하는 불편함이 있다.

특히, 분무각 조절부재를 교체하는 과정에서는 분무각 조절부재를 강제로 이류체노즐에서 빼낸 다음 교체해야 하기 때문에 작업성이 떨어지게 된다.

또한 이류체 노즐은 부품수가 많기 때문에 조립 및 가공 공정수도 많을 뿐만 아니라, 내부 구조의 경우 유로의 직선 유로 부분과 유선형 유로 부분이 연결되어 있어 가공성도 크게 떨어지는 문제점이 있다.

대한민국특허공개 제 2005-0102966호

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 간소화된 부품수를 통해 가공성 및 조립성이 우수한 노즐 팁을 제공하는데 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 유체의 유로를 유선형으로 구성하여 유동성을 증대시킨 노즐 팁을 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 효과적으로 달성하기 위해 본 발명은, 기판의 수세 공정에서 기판을 향하여 세척수를 분사하도록 노즐 헤더와 결합되는 노즐 팁으로서, 상기 노즐 팁은 내부에 중공부가 형성된 플랜지; 상기 플랜지의 중공부와 연통되도록 선단부에 토출슬릿이 형성된 관체; 를 포함할 수 있다.

이때, 상기 노즐 헤더와 플랜지에는 맞춤돌기와 맞춤홀이 각각 형성될 수 있는데, 상기 맞춤돌기와 상기 맞춤홀은 적어도 하나 이상을 구비할 수 있다.

또한, 상기 노즐 팁은 상기 맞춤돌기에 삽입되는 상기 맞춤홀 위치에 따라 상기 토출슬릿의 각도가 변경될 수 있다.

한편, 상기 플랜지는 외주면에 나사산이 형성된 노즐 헤더와 너트를 통해 고정될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁은 간소화된 부품수를 통해 가공성 및 조립성이 우수하여 제조원가를 크게 낮출 수 있으며, 유체의 유로를 유선형으로 구성함으로써 유체의 유동성을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 노즐 팁은 플랜지에 형성된 맞춤홀이 노즐 헤더에 형성된 맞춤돌기에 삽입되면서 조립되어 맞춤홀 위치 조정만으로 토출슬릿의 분사각도를 용이하게 설정할 수 있다.

이때, 복수의 노즐팁 간의 토출슬릿 분사각도는 맞춤홀 및 맞춤돌기 선택만으로 분사각도를 일률적으로 일치시킬 수 있으므로, 인접한 노즐 팁에서 분사된 세척수의 겹침 편차를 최소화시켜 기판 수율을 증대시킬 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁을 보인 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁의 단면도.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁의 분사각을 보인 예시도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁이 설치된 상태를 보인 예시도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁의 작동 상태를 보인 예시도.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁을 보인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁의 단면도이며, 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁의 분사각을 보인 예시도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁이 설치된 상태를 보인 예시도이며, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁의 작동 상태를 보인 예시도이다.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁(100)은 기판의 수세 공정에서 기판을 향하여 세척수를 분사함으로써 기판 표면에 묻어 있는 이물질을 제거하게 된다.

노즐 팁(100)은 소정 간격마다 배치된 노즐 헤더(10)에 각각 결합되며, 인접한 노즐 헤더(10)와 분사각이 교차되지 않도록 배치된다.

본 발명의 노즐 팁(100)은 노즐 헤더(10)의 선단면과 밀착되며 중앙부위에 중공부가 형성된 플랜지(20)와 플랜지(20)의 중공부와 연통되도록 선단부에 토출슬릿(42)이 형성된 관체(40)를 포함한다.

플랜지(20)는 노즐 헤더(10)의 직경과 동일한 직경으로 구성될 수 있다. 이때, 노즐 헤더(10)의 선단면에는 맞춤돌기(12)가 형성되어 있으며, 반대로 플랜지(20)에는 노즐 헤더의 맞춤돌기(12)가 끼워지는 맞춤홀(22)이 형성되어 있다.

플랜지(20)와 노즐 헤더(10)에는 각각 맞춤돌기(12)와 맞춤홀(22)이 적어도 하나 이상으로 각각 형성될 수 있으며, 경우에 따라서는 두 개 이상이 각각 형성될 수 있다.

맞춤홀(22)이 맞춤돌기(12)에 삽입되면, 노즐 팁(100)은 노즐 헤더(10)에 고정될 수 있다. 이때, 그리고, 노즐 팁(100)은 후술할 너트(N)에 의해 노즐 헤더와 노즐팁을 밀착 결합시켜 세척수의 유출이 방지될 수 있다.

토출슬릿(42)에서 분사되는 세척수의 각도 변경이 필요한 경우, 플랜지에 형성된 복수의 맞춤홀(22) 중 하나를 선택하여 맞춤돌기(12)에 삽입시키는 위치 변경만으로 용이하게 변경할 수 있다.

구체적으로, 맞춤돌기(12)는 노즐 헤더(10)에 고정되어 있으나 특정 맞춤돌기(12)에 삽입되는 맞춤홀(22)은 노즐 팁(100)의 회전 방향에 따라 선택될 수 있으므로 토출슬릿(42)의 분사각도는 맞춤홀(22)의 회전 정도에 따라 가변될 수 있다.

도 4에서는 노즐 팁(100)에 형성된 토출슬릿(42)이 모두 수평하게 세팅되어 있다. 그리고, 도면에 도시되지 않았으나 노즐 팁(100)의 회전 정도에 따라 토출슬릿이 사선방향 또는 수직방향으로 세팅된 후 너트(N)를 이용하여 노즐 헤더(10)에 결합될 수 있다.

따라서, 복수의 노즐 팁(100)들은 토출슬릿(42)의 분사각도로 설정된 특정 맞춤돌기(12)와 맞춤홀(22)의 위치를 동일하게 세팅함으로써 토출슬릿(42)의 각도를 일율적으로 일치시킬 수 있다.

본 발명은 토출슬릿(42) 각도를 개별 조정하는 별도의 공정이 없이 복수의 노즐 팁(100)들 간의 토출슬릿 각도를 정확하게 맞출 수 있으므로, 기판에 분사되는 세척수의 편차가 줄어들어 균일한 세척수 분사가 가능하며, 기판의 수율을 증대시킬 수 있다.

또한, 맞춤홀(22)을 구비한 노즐팁(100)은 노즐 헤더(10)의 맞춤돌기(12)에 삽입 및 너트(N)에 의해 결합되므로 간소화된 부품만으로 세정공정을 진행할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 노즐 팁(100)은 가공성 및 조립성이 우수하여 제조원가를 크게 낮출 수 있다.

한편, 플랜지(20)에는 원기둥 형상을 갖는 관체(40)가 일체로 구성되어 있다. 관체(40)는 플랜지(20)의 중공부와 연통되며, 일면은 개구되고 반대면은 중앙부위에 형성된 토출슬릿(42)을 제외하고 차단된다.

즉, 관체(40)의 형상은 일면이 개구된 컵 형상으로 이루어지며, 세척수가 유입되어 토출되기 위한 토출슬릿(42)이 중앙부위에 형성되어 있다.

토출슬릿(42)에는 관체(40) 내부와 연통되도록 연통홀(43)이 천공되어 있다. 이러한 토출슬릿(42)은 소정 깊이를 갖는 홈 형상을 갖도록 형성될 수 있다.

또한 토출슬릿(42)의 폭과 길이는 세척수의 분사각을 결정하게 된다. 즉, 토출슬릿(42)의 폭과 길이가 길어질수록 세척수의 분사각이 더 커지며, 반대로 토출슬릿(42)의 폭과 길이가 작아질수록 분사각은 좁아지게 된다.

따라서, 토출슬릿(42)을 관체(40)에 형성할때에는 분사되어야 하는 각도를 미리 산출한 후 산출된 각도에 따라 토출슬릿(42)을 형성해야 한다.

한편, 관체(40)의 내면에는 중공부를 통해 유입되는 세척수가 토출슬릿(42)의 중앙부위를 향하여 이동되도록 유로가이드(44)가 형성될 수 있다.

유로가이드(44)는 플랜지(20)와 관체(40)의 접합부위에서 내경이 유선형으로 좁아지는 형상을 가진다.

유선형으로 이루어진 유로가이드(44)의 선단부는 토출슬릿의 연통홀(43)을 지나 토출슬릿(42) 깊이의 1/2를 일부 초과하는 위치까지 형성될 수 있다. 이는 세척수가 유로가이드(44)를 통해 연통홀(43)까지 원할하게 이동될 수 있도록 하기 위함이다.

이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁은 도 5에 도시된 바와 같이, 일정간격으로 배치된 다수의 노즐 헤더(10)에 맞춤돌기(12)와 맞춤홀(22)이 끼워지도록 플랜지(20)를 밀착시키게 킨 후 너트(N)를 체결하여 일체화된다.

물론, 노즐 헤더(10)의 둘레면에는 나사산이 형성되어 있어서 노즐 팁(100)을 노즐 헤더(10)에 밀착시킨 다음 너트(N)를 조이게 되면 노즐 헤더(10)와 노즐 팁(100)이 너트(N)를 통해 고정된다.

이렇게 노즐 팁(100)이 고정되면, 세척수를 노즐 헤더(10)로 공급하게 된다.

노즐 헤더(10)로 공급된 세척수는 노즐 헤더(10)를 통과하여 관체(40)의 중공부로 이동된다.

관체(40) 내부로 유입된 세척수는 유로가이드(44)를 따라 이동하여 토출슬릿(42)의 연통홀(43) 단부에서 교차되는 방향으로 분사된다.

이때, 토출슬릿(42)의 길이가 예를 들어 6mm라고 가정한다면 대략 60°정도의 분사각을 갖게 되고, 6.6mm의 길이로 형성된다면 대략 75°정도의 분사각을 갖게 되는 것이다.

즉, 세척수의 분사각은 토출슬릿(42)의 폭과 길이가 클수록 확장된 분사각을 갖게 되고, 반대로 토출슬릿의 폭과 길이가 작을수록 좁아진 분사각을 갖게 되는 것이다.

이처럼 본 발명의 노즐 팁(100)은 노즐 헤더(10)에 설치된 상태에서 너트(N)를 노즐 헤드(10)의 나사산으로부터 분리하지 않을 경우 설치 상태를 그대로 유지할 수 있으며, 노즐 팁(100)을 교환 설치하기 위해 너트(N)를 풀게 되면 편리하게 노즐 팁(100)을 교체할 수 있게 된다.

또한 본 발명의 노즐 팁(100)의 경우 다수의 부품 조립을 조립하지 않고 단일 부품을 통해 세척수를 분사할 수 있어 제조공정의 단순화 및 원가절감도 기대할 수 있게 된다.

이상에서 본 발명의 실시예에 따른 노즐 팁에 대해 설명하였으나 본 발명은 이에 한정하지 아니하며 당업자라면 그 응용과 변형이 가능함은 물론이다.

10: 노즐 헤더
12: 맞춤돌기
20: 플랜지
22: 맞춤홀
40: 관체
42: 토출슬릿
43: 연통홀
44: 유로가이드
100: 노즐 팁

Claims (4)

1. 기판의 수세 공정에서 기판을 향하여 세척수를 분사하도록 노즐 헤더와 결합되는 노즐 팁으로서,
   상기 노즐 팁은
   내부에 중공부가 형성된 플랜지;
   상기 플랜지의 중공부와 연통되도록 선단부에 토출슬릿이 형성된 관체; 를 포함하며,
   상기 플랜지에 형성된 맞춤홀은 상기 노즐 헤더에 형성된 맞춤돌기에 삽입되는 노즐 팁.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 맞춤돌기와 상기 맞춤홀은 적어도 하나 이상이 구비된 노즐 팁.
   
3. 제 2항에 있어서,
   상기 노즐 팁은 상기 맞춤돌기에 삽입되는 상기 맞춤홀 위치에 따라 상기 토출슬릿의 각도가 변경되는 노즐 팁.
   
4. 제 1항에 있어서,
   상기 플랜지는 외주면에 나사산이 형성된 노즐 헤더와 너트를 통해 고정되는 노즐 팁.

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