JP7308637B2 - 真空処理装置、シャワーヘッド、および真空処理装置の組み立て方法 - Google Patents
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Description
図1は、本開示の実施形態における真空処理装置10の一例を示す概略断面図である。本実施形態における真空処理装置10は、誘導結合型のプラズマ処理装置である。真空処理装置10は、例えば、FPD用の矩形状のガラス基板G上に、薄膜トランジスタを形成する際のメタル膜、ITO(Indium Tin Oxide)膜、酸化膜等のエッチングや、レジスト膜のアッシング等のプラズマ処理を行う。FPDとしては、液晶ディスプレイ(LCD)、エレクトロルミネセンス(Electro Luminescence;EL)ディスプレイ、プラズマディスプレイパネル(PDP)等が例示される。
次に、シャワーヘッド2の構成について説明する。誘導結合プラズマは、高周波アンテナ13に高周波電流が流れることにより、その周囲に磁界が発生し、その磁界により誘起される誘導電界によって高周波放電が起ることで生成される。処理室4の天壁として金属窓が用いられる場合、金属窓の面内で周方向に周回されるように設けられた高周波アンテナ13では、渦電流および磁界が金属窓の裏面側、すなわち処理室4側に到達しないため、プラズマが生成されない。このため、本実施形態では、高周波アンテナ13に流れる高周波電流によって生じる磁界および渦電流が処理室4側に到達するように、金属窓として機能するシャワーヘッド2が絶縁部材7によって複数のブロックに分割されている。
図6は、ねじ214の構造の一例を示す断面図である。本実施例において、シャワープレート212をベース部材211に締結するねじ214は、例えば図6に示されるような構造である。本実施形態に用いられるねじ214は、例えばM5ねじである。
図7は、ねじ穴2110の一例を示す断面図である。例えば図7に示されるように、シャワープレート212には、開口部2120が形成されており、ベース部材211には、ねじ穴2110が形成されている。
図9は、本実施形態におけるねじ214の締め込み手順の一例を示すフローチャートである。図9のフローチャートでは、1本のねじ214の締め込み手順について示されている。なお、シャワーヘッド2の組み立て時(メンテナンス時も含む)には、例えば図2に示されたアンテナ室3と処理室4とが分離される。そして、シャワーヘッド2のシャワープレート212が上方を向くようにアンテナ室3全体が180°回転され、上方からシャワープレート212を締結する複数のねじ214が操作される。
なお、本願に開示された技術は、上記した実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
1 容器
2 シャワーヘッド
10 真空処理装置
13 高周波アンテナ
211 ベース部材
2110 ねじ穴
2111 テーパー部
2113 平坦部
212 シャワープレート
214 ねじ
2140 頭部
2142 おねじ部
2143 ガイド部
2144 貫通穴
50 電動ドライバ
51 駆動部
52 ビット部
53 支持部
54 スプリング
55 アタッチメント
56 ガイド部材
Claims (19)
- 真空雰囲気の環境下で被処理体を処理する真空処理装置であって、
前記被処理体が搬入され、内部が真空雰囲気に制御される容器と、
前記容器内に設けられ、シャワーヘッドを構成するシャワープレートと、
前記容器内に設けられ、前記シャワーヘッドを構成するベース部材と、
前記シャワープレートと前記ベース部材とを締結するねじと
を備え、
前記ねじは、
側面にねじ溝が形成されているおねじ部と、
前記ねじの軸方向において前記おねじ部の一端側に設けられた頭部と、
前記軸方向において前記おねじ部の他端に設けられ、前記おねじ部から前記軸方向に突出するガイド部と
を有し、
前記ねじは、前記シャワープレートを前記ベース部材に締結し、
前記ベース部材には、前記ねじが挿入されるねじ穴が形成されており、
前記ねじ穴の円筒状の内面である側面には、前記おねじ部のねじ溝に対応するねじ溝が形成されており、
前記シャワープレートが前記ねじによって前記ベース部材に締結された状態において、前記ねじの前記ガイド部に対向する前記ねじ穴の側面である対向面は、ねじ溝が形成されておらず前記ねじ穴の円筒状の内面に沿って平坦であることを特徴とする真空処理装置。 - 前記ねじには、前記軸方向に沿って、前記頭部、前記おねじ部、および前記ガイド部を貫通する貫通穴が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の真空処理装置。
- 前記軸方向において、前記ガイド部の直径は、前記おねじ部の側面に形成されているねじ溝の谷底部の直径と略同一であることを特徴とする請求項1または2に記載の真空処理装置。
- 前記ねじは、M5ねじであり、
前記ガイド部の直径は、3.7mm以上4.5mm以下であり、
前記軸方向における前記ガイド部の長さは、2.2mm以上2.8mm以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の真空処理装置。 - 前記ねじ穴の軸方向において、前記対向面の直径は、前記ねじ穴の側面に形成されているねじ溝の山部の頂上の直径と略同一であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の真空処理装置。
- 前記ねじ穴の開口部には、前記ねじ穴の底から前記開口部へ向かう方向へ拡径するテーパー部が形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の真空処理装置。
- 前記被処理体は、FPD(Flat Panel Display)用のガラス基板であることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の真空処理装置。
- 真空雰囲気に制御された容器内で被処理体を処理する真空処理装置に用いられるシャワーヘッドであって、
前記容器内に設けられ、複数のガス供給穴を有し、それぞれの前記ガス供給穴を介して前記容器内にガスを供給するシャワープレートと、
前記シャワープレートを支持するベース部材と、
前記シャワープレートを前記ベース部材に締結するねじと
を備え、
前記ねじは、
側面にねじ溝が形成されているおねじ部と、
前記ねじの軸方向において前記おねじ部の一端側に設けられた頭部と、
前記軸方向において前記おねじ部の他端に設けられ、前記おねじ部から前記軸方向に突出するガイド部と
を有し、
前記ベース部材には、前記ねじが挿入されるねじ穴が形成されており、
前記ねじ穴の開口部には、前記ねじ穴の底から前記開口部へ向かう方向へ拡径するテーパー部が形成されており、
前記ねじは、前記シャワープレートを前記ベース部材に締結し、
前記ベース部材には、前記ねじが挿入されるねじ穴が形成されており、
前記ねじ穴の円筒状の内面である側面には、前記おねじ部のねじ溝に対応するねじ溝が形成されており、
前記シャワープレートが前記ねじによって前記ベース部材に締結された状態において、前記ねじの前記ガイド部に対向する前記ねじ穴の側面である対向面は、ねじ溝が形成されておらず前記ねじ穴の円筒状の内面に沿って平坦であることを特徴とするシャワーヘッド。 - 被処理体が搬入され、内部が真空雰囲気に制御される容器と、
前記容器内に設けられ、シャワーヘッドを構成するシャワープレートと、
前記容器内に設けられ、前記シャワーヘッドを構成するベース部材と、
前記シャワープレートと前記ベース部材とを締結するねじと
を備え、
前記ねじは、
側面にねじ溝が形成されているおねじ部と、
前記ねじの軸方向において前記おねじ部の一端側に設けられた頭部と、
前記軸方向において前記おねじ部の他端に設けられ、前記おねじ部から前記軸方向に突出するガイド部と
を有し、
真空雰囲気の環境下で前記被処理体を処理する真空処理装置の組み立て方法であって、
前記シャワープレートおよび前記ベース部材に形成されたねじ穴を合わせるように前記シャワープレートを前記ベース部材に重ね合わせ、前記ねじ穴に前記ねじを差し込む差し込み工程と、
前記ねじ穴に差し込まれた前記ねじの前記頭部に、ドライバのビット部の先端を囲むように前記ビット部に設けられた筒状のガイド部材を被せる被せ工程と、
前記ビット部の先端を前記ガイド部材が被せられた前記ねじの方向に押し込むことにより、前記ガイド部材が被せられた前記ねじの前記頭部に形成されている前記ビット部の先端の形状に対応する形状の窪みに前記ビット部の先端を嵌め込む嵌め込み工程と、
前記ビット部を回転させることにより、前記ねじを回転させ、前記シャワープレートと前記ベース部材とを締結する締結工程と
を含み、
前記シャワープレートには、前記ねじの前記頭部よりも内周の直径が大きい座ぐり部が形成されており、
前記ガイド部材の外周の直径は、前記座ぐり部の内周の直径よりも小さく、
前記被せ工程では、
前記ねじ穴に差し込まれた前記ねじの頭部に被せられた前記ガイド部材の先端を、前記座ぐり部の底面に当接させる真空処理装置の組み立て方法。 - 前記ビット部には、
前記ビット部に固定された支持部と、
前記支持部に対して前記ガイド部材を前記ビット部の先端の方向に付勢する付勢部材と
が設けられている請求項9に記載の真空処理装置の組み立て方法。 - 被処理体が搬入され、内部が真空雰囲気に制御される容器と、
前記容器内に設けられ、シャワーヘッドを構成するシャワープレートと、
前記容器内に設けられ、前記シャワーヘッドを構成するベース部材と、
前記シャワープレートと前記ベース部材とを締結するねじと
を備え、
前記ねじは、
側面にねじ溝が形成されているおねじ部と、
前記ねじの軸方向において前記おねじ部の一端側に設けられた頭部と、
前記軸方向において前記おねじ部の他端に設けられ、前記おねじ部から前記軸方向に突出するガイド部と
を有し、
真空雰囲気の環境下で前記被処理体を処理する真空処理装置の組み立て方法であって、
前記シャワープレートおよび前記ベース部材に形成されたねじ穴を合わせるように前記シャワープレートを前記ベース部材に重ね合わせ、前記ねじ穴に前記ねじを差し込む差し込み工程と、
前記ねじ穴に差し込まれた前記ねじの前記頭部に、ドライバのビット部の先端を囲むように前記ビット部に設けられた筒状のガイド部材を被せる被せ工程と、
前記ビット部の先端を前記ガイド部材が被せられた前記ねじの方向に押し込むことにより、前記ガイド部材が被せられた前記ねじの前記頭部に形成されている前記ビット部の先端の形状に対応する形状の窪みに前記ビット部の先端を嵌め込む嵌め込み工程と、
前記ビット部を回転させることにより、前記ねじを回転させ、前記シャワープレートと前記ベース部材とを締結する締結工程と
を含み、
前記ガイド部材の少なくとも先端は樹脂により形成されている真空処理装置の組み立て方法。 - 前記ガイド部材の側壁の少なくとも一部は、光を透過する材料により形成されている請求項9から11のいずれか一項に記載の真空処理装置の組み立て方法。
- 前記ねじには、前記軸方向に沿って、前記頭部、前記おねじ部、および前記ガイド部を貫通する貫通穴が形成されている請求項9から12のいずれか一項に記載の真空処理装置の組み立て方法。
- 前記軸方向において、前記ガイド部の直径は、前記おねじ部の側面に形成されているねじ溝の谷底部の直径と略同一である請求項9から13のいずれか一項に記載の真空処理装置の組み立て方法。
- 前記ねじは、M5ねじであり、
前記ガイド部の直径は、3.7mm以上4.5mm以下であり、
前記軸方向における前記ガイド部の長さは、2.2mm以上2.8mm以下である請求項9から14のいずれか一項に記載の真空処理装置の組み立て方法。 - 被処理体が搬入され、内部が真空雰囲気に制御される容器と、
前記容器内に設けられ、シャワーヘッドを構成するシャワープレートと、
前記容器内に設けられ、前記シャワーヘッドを構成するベース部材と、
前記シャワープレートと前記ベース部材とを締結するねじと
を備え、
前記ねじは、
側面にねじ溝が形成されているおねじ部と、
前記ねじの軸方向において前記おねじ部の一端側に設けられた頭部と、
前記軸方向において前記おねじ部の他端に設けられ、前記おねじ部から前記軸方向に突出するガイド部とを有し、
真空雰囲気の環境下で前記被処理体を処理する真空処理装置の組み立て方法であって、
前記シャワープレートおよび前記ベース部材に形成されたねじ穴を合わせるように前記シャワープレートを前記ベース部材に重ね合わせ、前記ねじ穴に前記ねじを差し込む差し込み工程と、
前記ねじ穴に差し込まれた前記ねじの前記頭部に、ドライバのビット部の先端を囲むように前記ビット部に設けられた筒状のガイド部材を被せる被せ工程と、
前記ビット部の先端を前記ガイド部材が被せられた前記ねじの方向に押し込むことにより、前記ガイド部材が被せられた前記ねじの前記頭部に形成されている前記ビット部の先端の形状に対応する形状の窪みに前記ビット部の先端を嵌め込む嵌め込み工程と、
前記ビット部を回転させることにより、前記ねじを回転させ、前記シャワープレートと前記ベース部材とを締結する締結工程と
を含み、
前記ベース部材に形成されている前記ねじ穴の円筒状の内面である側面には、前記おねじ部のねじ溝に対応するねじ溝が形成されており、
前記シャワープレートが前記ねじによって前記ベース部材に締結された状態において、前記ねじの前記ガイド部に対向する前記ねじ穴の側面である対向面は、ねじ溝が形成されておらず前記ねじ穴の円筒状の内面に沿って平坦である真空処理装置の組み立て方法。 - 前記ねじ穴の軸方向において、前記対向面の直径は、前記ねじ穴の前記側面に形成されているねじ溝の山部の頂上の直径と略同一である請求項16に記載の真空処理装置の組み立て方法。
- 前記ねじ穴の開口部には、前記ねじ穴の底から前記開口部へ向かう方向へ拡径するテーパー部が形成されている請求項16または17に記載の真空処理装置の組み立て方法。
- 前記被処理体は、FPD(Flat Panel Display)用のガラス基板である請求項9から18のいずれか一項に記載の真空処理装置の組み立て方法。
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