JP5115894B2 - 改善されたスリットダイ用ギャップ調整装置及びこれを具備したスリットダイ及びコーティング装置{AnImprovedGapAdjustingDeviceforSlitDie、andASlitDieandACoatingApparatusHavingtheSame} - Google Patents
改善されたスリットダイ用ギャップ調整装置及びこれを具備したスリットダイ及びコーティング装置{AnImprovedGapAdjustingDeviceforSlitDie、andASlitDieandACoatingApparatusHavingtheSame} Download PDFInfo
- Publication number
- JP5115894B2 JP5115894B2 JP2010114483A JP2010114483A JP5115894B2 JP 5115894 B2 JP5115894 B2 JP 5115894B2 JP 2010114483 A JP2010114483 A JP 2010114483A JP 2010114483 A JP2010114483 A JP 2010114483A JP 5115894 B2 JP5115894 B2 JP 5115894B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lip
- gap adjusting
- gap
- slit die
- nut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 46
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 46
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 22
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 20
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 8
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 7
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- -1 specifically Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
- B05C5/0262—Coating heads with slot-shaped outlet adjustable in width, i.e. having lips movable relative to each other in order to modify the slot width, e.g. to close it
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
- B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
より具体的には、図1aに概略的に図示されたPDPまたはLCDを製造するために使用されるテーブルコーティング装置(table coater)(100)(以下 ”コーティング装置”という)ではコーティングする作業物であるガラス基板(110)をステージまたはサクションテーブル(suction table: 112)上に位置させた後、ガントリー(gantry)(125)に付着したスリットダイ(120)を水平方向に移動させながらガラス基板(110)上に必要な塗液を塗布させる方法が使用されている。
図1bは上述の図1aに図示された従来技術によるコーティング装置に使用される塗液を吐出するスリットダイの一実施例が図示されている。
図1bを参照すると、従来技術によるスリットダイ(120)は互いに対向する1対の第1リップ(lip)(122a)及び第2リップ(122b)から構成される。第1リップ(122a)の内部には塗液供給部(図示しない)、及びチャンバー(126)が形成されている。第1リップ(122a)のチャンバー(126)下端部の第1リップ(122a)内側面と、これに対応する第2リップ(122b)の内側面の間にはギャップ(L)が形成されており、ギャップ(L)の下部外側に開口したスリット形状の吐出口(128)が形成されている。塗液は吐出口(128)を介して吐出されて作業物(110)(図1a参照)の表面に塗膜を形成する。塗膜の形成において、スリットダイ(120)と作業物(110)は相対的に移動するようになる(図1a参照)。一例として、カラーフィルターはガラス基板のような作業物(110)上に黒、赤、青、緑の塗液を順次に塗布することで製造される。このようなカラーフィルターの製造工程は、フォトレジストの塗膜を形成した後、フォトリソグラフィ加工によってパターン加工をした後、カラーフィルターと作業物(110)の間に注入される液晶のスペースを形成する柱を形成する工程、または表面の凹凸を極めて小さくするためのオーバーコーティング塗膜を形成する工程を含む。
上述の従来技術によるスリットダイ(120)は第2リップ(122b)の長手方向に沿って多数のギャップ調整装置(130)を具備している。以下では、一つのギャップ調整装置(130)について記述する。
また図1bを参照すると、従来技術によるギャップ調整装置(130)は第2リップ(122b)の片側に垂直方向に提供される。第2リップ(122b)にはギャップ調整装置(130)を収容するための収容空間(131)が形成されている。従来技術のギャップ調整装置(130)は調整ナット(132)、固定ボルト(134)、及び下部固定部材(148)を含む。固定ボルト(134)は第2リップ(122b)の下部片側に水平方向に提供される窪み(154)内で下部固定部材(148)によってワッシャー(washer)(150)を介して第2リップ(122b)に固定される。下部固定部材(148)の下端には下部キャップ(152)が提供される。また、調整ナット(132)の上部にはストッパー(stopper)(144)が提供され、ストッパー(144)の上部には上部キャップ(142)が提供される。同時に、窪み(154)が提供される第2リップ(122b)の外部側面には窪み(154)内に埃などの異物が流入しないように保護する保護カバー(156)が提供される。
以下では、従来技術によるギャップ調整装置(130)の動作を詳細に記述する。
また図1bを参照すると、上部キャップドライバー溝または六角内径溝(142a)を利用して上部キャップ(142)を除去する。その後、ストッパードライバー溝または六角内径溝(144a)を介して調整ナット(132)のドライバー溝または六角内径溝(132a)にドライバーまたは六角のレンチ工具(wrench tool)を使用して調整ナット(132)を時計方向に回転させると、調整ナット(132)とネジ山で嵌合された固定ボルト(134)が上昇してギャップ(L)が開いて吐出口(128)が拡大する。これとは反対に、調整ナット(132)を反時計方向に回転させると、固定ボルト(134)とネジ山で嵌合された調整ナット(132)が上昇してストッパー(stopper)(144)と接触する。その後、調整ナット(132)を継続して反時計方向に回転させると、ストッパー(stopper)(144)と接触した調整ナット(132)が上昇することができないので、調整ナット(132)とネジ山で嵌合された固定ボルト(134)が下降してギャップ(L)が狭くなり吐出口(128)が縮小する。
上述の従来技術によるギャップ調整装置(130)及びこれを具備したスリットダイ(120)の場合、調整ナット(132)を緩めたり締めたりすることで吐出口(128)のギャップ調整が可能であるが、次のような問題点を有する。
1.ギャップ調整装置(130)が垂直方向の動作によってギャップを水平方向に調整するので、調整ナット(132)の回転量と正確に一致する値のギャップ調整を行うことができない。より具体的には、例えば、調整ナット(132)の回転量が50umの場合、ギャップの調整量が50umより小さな値または大きい値(例えば48umまたは52um)に調整されて所望のギャップの調整量を精密に調整するのが困難である。
2.複数の調整ナット(132)が同一の回転量に対し、それぞれのギャップの調整量が互いに異なる値を有するようになり、複数の調整ナット(132)の調整動作を制御し難く、ギャップの調整に相当な時間が要求される。
3.上述の1及び2の問題点は、特に高精細(Full High Definition: FHD)大画面のPDPまたはLCDのブラックマトリックスの製造時により狭い線幅及びマトリックスサイズを具現するのに相当大きな障害要因となる。
4.ギャップ調整装置(130)が垂直方向に提供されるので、ギャップ調整装置(130)を収容するために相当に長い垂直方向の収容空間(131)が要求される。従って、長い収容空間(131)を加工するための加工時間及び加工コストが増加し、それによる維持補修が困難である。
本発明の第2の特徴によれば、スリットダイにおいて、互いに対向する1対の第1リップ及び第2リップ、上記第1リップまたは上記第2リップの内部に形成される塗液供給部、上記塗液供給部と連結されるチャンバー、上記第1リップの下部内側面と上記第2リップの下部内側面の間に形成されるギャップ(L)を具備するスリット形状の吐出口、上記第1リップまたは上記第2リップの下部から垂直方向に提供されるギャップ調整用窪み、及び上記第1リップまたは上記第2リップの下部側面から上記ギャップ調整用窪みを水平方向に横切って形成される収容空間内に提供される複数のギャップ調整装置を含み、上記複数のギャップ調整装置はそれぞれギャップ調整ナット、上記ギャップ調整ナットの上部に提供されるストッパー(stopper)、上記ギャップ調整ナットと螺合される固定ボルト、上記固定ボルトを上記第1リップまたは上記第2リップの下部側面に固定するための固定部材、及び上記ギャップ調整ナットと上記収容空間内に形成された段差(step)の間に提供され、上記ギャップ調整ナットよりもさらに大きい硬度(hardness)を有するスペーサーを含み、上記固定ボルトは上記ギャップ調整用窪み内で上記固定部材によって上記第1リップまたは上記第2リップに固定されるスリットダイを提供する。
本発明の第3の特徴によれば、PDPまたはLCD製造用コーティング装置において、サクションテーブル(suction table)、上記サクションテーブル上に位置される作業物、上記サクションテーブル上で直線往復運動をするガントリー、及び上記ガントリーに付着し、上記作業物上に塗液を塗布するためのスリットダイを含み、上記スリットダイは互いに対向する1対の第1リップ及び第2リップ、上記第1リップまたは上記第2リップの内部に形成される塗液供給部、上記塗液供給部と連結されるチャンバー、上記第1リップの下部内側面と上記第2リップの下部内側面の間に形成されるギャップ(L)を具備するスリット形状の吐出口、上記第1リップまたは上記第2リップの下部から垂直方向に提供されるギャップ調整用窪み、及び上記第1リップまたは上記第2リップの下部側面から上記ギャップ調整用窪みを水平方向に横切って形成される収容空間内に提供される複数のギャップ調整装置を含み、上記複数のギャップ調整装置はそれぞれギャップ調整ナット、上記ギャップ調整ナットの上部に提供されるストッパー(stopper)、上記ギャップ調整ナットと螺合される固定ボルト、上記固定ボルトを上記第1リップまたは上記第2リップの下部側面に固定するための固定部材、及び上記ギャップ調整ナットと上記収容空間内に形成された段差(step)の間に提供され、上記ギャップ調整ナットよりもさらに大きい硬度(hardness)を有するスペーサーを含み、上記固定ボルトは上記ギャップ調整用窪み内で上記固定部材によって上記第1リップまたは上記第2リップに固定されるコーティング装置を提供する。
1.ギャップ調整装置が水平方向の移動動作によってギャップを水平方向に調整するので、調整ナットの回転量と正確に一致する値のギャップ調整が行われるので、ギャップの調整量を精密に調整することが容易である。
2.複数の調整ナットが同一の回転量に対し、それぞれのギャップの調整量が実質的に同一の値を有するようになり、複数の調整ナットの調整動作を制御することが容易であり、ギャップの調整時間が相当減少する。
3.ギャップの精密調整が可能であるため、特に高精細(FHD)大画面のPDPまたはLCDのブラックマトリックスの製造時により狭い線幅及びマトリックスサイズを具現することができる。
4.ギャップ調整装置が水平方向に提供されるので、ギャップ調整装置を収容するための収容空間の長さが短くなる。従って、短い収容空間を加工するための加工時間及び加工コストが減少し、それによる維持補修が容易である。
本発明のさらなる長所は、同一または類似する参照番号が同一の構成要素を表示する添付図面を参照し、以下の説明から明白に理解することができる。
図2aは本発明によるスリットダイ用ギャップ調整装置及びこれを具備したスリットダイを図示した図面であり、図2bは本発明によるスリットダイ用ギャップ調整装置の概略的な一部分解図である。図2aに図示された本発明によるスリットダイ(220)及びコーティング装置はそれぞれギャップ調整装置(230)を除き、図1b及び図1aに図示されたスリットダイ(120)及びコーティング装置(100)と実質的に同一である。
図2aを参照すると、本発明によるスリットダイ(220)は、互いに対向する1対の第1リップ(222a)及び第2リップ(222b)、上記第1リップ(222a)または上記第2リップ(222b)の内部に形成される塗液供給部(図示しない)、上記塗液供給部と連結されるチャンバー(226)、上記第1リップ(222a)の下部内側面と上記第2リップ(222b)の下部内側面の間に形成されるギャップ(L)を具備するスリット形状の吐出口(228)、上記第1リップ(222a)または上記第2リップ(222b)の下部から垂直方向に提供されるギャップ調整用窪み(254)、及び上記第1リップ(222a)または上記第2リップ(222b)の下部側面から上記ギャップ調整用窪み(254)を水平方向に横切って形成される収容空間(231)内に提供される複数のギャップ調整装置(230)を含む。複数のギャップ調整装置(230)はそれぞれ同一の構成を有するので、以下では、本発明による一つのギャップ調整装置(230)の構成及び動作を詳細に記述する。
図2a及び図2bを参照すると、本発明による一つのギャップ調整装置(230)は第2リップ(222b)の片側下部に水平方向に提供される。しかし、当業者であれば本発明によるギャップ調整装置(230)が第1リップ(222a)の片側下部に水平方向に提供可能であることを十分に理解することができる。第2リップ(222b)にはギャップ調整装置(230)を収容するための収容空間(231)が形成されている。本発明のギャップ調整装置(230)はギャップ調整ナット(232)、上記ギャップ調整ナット(232)の上部に提供されるストッパー(stopper)(244)、上記ギャップ調整ナット(232)と螺合される固定ボルト(234)、上記固定ボルト(234)を第2リップ(222b)に固定するための固定部材(248)、及び上記ギャップ調整ナット(232)と上記ギャップ調整ナット(232)が収容される上記第2リップ(222b)の収容空間(231)内に形成された段差(step)(260)の間に提供されるスペーサー(262)を含む。固定ボルト(234)は第2リップ(222b)のギャップ調整用窪み(254)内で固定部材(248)によってワッシャー(washer)(250)を介して第2リップ(222b)に固定される。ワッシャー(250)は選択仕様であり、必ず使用しなければならないものではない。また、ギャップ調整用窪み(254)の下部にはギャップ調整用窪み(254)内に埃などの異物が流入しないように保護する保護カバー(図示しない)が提供されることがある。
上述の本発明の実施例において、スペーサー(262)の材質は金属材質、具体的にはスチール、クロム及びマンガン(SCM: 以下 ”SCM”という)合金材質で具現されることが好ましい。また、スペーサー(262)の硬度(hardness)はギャップ調整ナット(232)の硬度よりもさらに大きい値を有するのが好ましい。より具体的には、スペーサー(262)の硬度はロックウェル硬度(Rockwell Hardness)のCスケール(HRc)値(ダイヤモンドで作った円錐を試験面に一定の荷重で押した時に生じた跡の深さを示した値)で58以上であることが好ましい。
以下では、本発明の実施例によるギャップ調整装置(230)の動作を詳細に記述する。
また図2a及び図2bを参照すると、ドライバーまたは六角のレンチ工具をストッパー(244)の上部溝(244a)を介してギャップ調整ナット(232)のドライバー溝または六角内径溝(232a)に装着する。その後、ギャップ調整ナット(232)を時計方向に回転させると、ギャップ調整ナット(232)とネジ山によって嵌合された固定ボルト(234)がギャップ調整ナット(232)の内部空間(246)内で上昇する(図2bに図示された矢印の右側方向に移動する)。その結果、ギャップ(L)が開いて結局吐出口(228)が拡大する。この場合、ギャップ調整ナット(232)の下部はスペーサー(262)の上部と接触し、スペーサー(262)の下部は第2リップ(222b)の段差(260)と接触する。従って、ギャップ調整ナット(232)を回転させても、ギャップ調整ナット(232)の下端部が第2リップ(222b)の段差(260)と直接接触しない。
より具体的には、 ギャップ調整ナット(232)を回転させると、ギャップ調整ナット(232)の下部はスペーサー(262)の上部と接触した状態で回転する。この時、ギャップ調整ナット(232)と接触するスペーサー(262)は回転しないか、若干回転する。従って、ギャップ調整ナット(232)を回転させても、スペーサー(262)の下部と接触する第2リップ(222b)の段差(260)は回転力を受けないか、ほぼ受けることがない。従って、ギャップ調整ナット(232)と第2リップ(222b)の段差(260)は摩擦による摩耗及びそれによる異物発生及び損傷発生などの問題が発生する可能性が顕著に減少する。また、スペーサー(262)がギャップ調整ナット(232)よりもさらに大きい値の硬度を有するので、ギャップ調整ナット(232)が摩耗してもギャップ調整ナット(232)だけを交替すれば良いため、維持補修を簡便かつ容易に行うことができる。
一方、ギャップ調整ナット(232)を反時計方向に回転させると、固定ボルト(234)とネジ山によって嵌合されたギャップ調整ナット(232)がストッパー(244)によって上昇不可能になるため、固定ボルト(234)がギャップ調整ナット(232)の内部空間(246)内で降下するようになる(図2bに図示された矢印の左側方向に移動する)。その結果、ギャップ(L)が狭くなり結局吐出口(228)が縮小する。
上述のように、本発明の実施例によるギャップ調整装置(230)では、ギャップ調整ナット(232)の回転量に直接比例して固定ボルト(234)が水平方向(図2bに図示された矢印方向)に沿って左右に移動し、固定ボルト(234)の移動距離だけ第2リップ(222b)が水平方向に移動する。従って、ギャップ調整ナット(232)の回転量と正確に一致する値のギャップ調整が行われるので、ギャップ調整量の精密な制御が可能である。また、複数のギャップ調整ナット(232)が同一の回転量に対し、それぞれのギャップの調整量が実質的に同一の値を有するようになり、複数のギャップ調整ナット(232)の調整動作を制御することが容易であるため、ギャップの調整に必要な時間が相当減少する。
上述のように、本発明の実施例によれば、本発明のギャップ調整装置(230)及びこれを具備したスリットダイ(220)及びコーティング装置では、ギャップの精密な調整が可能であり、ギャップの調整時間が減少し、維持補修が容易である。
222a 第1リップ
222b 第2リップ
226 チャンバー
228 吐出口
230 ギャップ調整装置
231 収容空間
232 ギャップ調整ナット
234 固定ボルト
244 ストッパー
248 固定部材
254 ギャップ調整用窪み
Claims (12)
- 互いに対向する1対の第1リップ(lip)及び第2リップから構成されるスリットダイ用ギャップ調整装置において、
ギャップ調整ナット、
上記ギャップ調整ナットの上部に提供されるストッパー(stopper)、
上記ギャップ調整ナットと螺合される固定ボルト、
上記固定ボルトを上記第1リップまたは上記第2リップの下部側面に固定するための固定部材、及び
上記ギャップ調整ナットと上記ギャップ調整ナットが収容される上記第1リップまたは上記第2リップの下部片側に形成された収容空間内に形成された段差(step)の間に提供され、上記ギャップ調整ナットよりもさらに大きい硬度(hardness)を有するスペーサー
を含み、
上記ギャップ調整装置は上記収容空間内に水平方向に提供され、
上記固定ボルトは上記第1リップまたは上記第2リップの下部から垂直方向に提供されるギャップ調整用窪み内で上記固定部材によって上記第1リップまたは上記第2リップに固定される
スリットダイ用ギャップ調整装置。 - 上記スリットダイ用ギャップ調整装置が上記ギャップ調整用窪みと上記固定部材の間に提供されるワッシャー(washer)を追加で含むことを特徴とする第1項に記載のスリットダイ用ギャップ調整装置。
- 上記スペーサーの材質が金属材質であることを特徴とする第1項または第2項に記載のスリットダイ用ギャップ調整装置。
- 上記金属材質が SCM合金材質であり、
上記スペーサーの硬度は58以上のロックウェル硬度のCスケール(HRc)値を有することを特徴とする第3項に記載のスリットダイ用ギャップ調整装置。 - スリットダイにおいて、
互いに対向する1対の第1リップ及び第2リップ、
上記第1リップまたは上記第2リップの内部に形成される塗液供給部、
上記塗液供給部と連結されるチャンバー、
上記第1リップの下部内側面と上記第2リップの下部内側面の間に形成されるギャップ(L)を具備するスリット形状の吐出口、
上記第1リップまたは上記第2リップの下部から垂直方向に提供されるギャップ調整用窪み、及び
上記第1リップまたは上記第2リップの下部側面から上記ギャップ調整用窪みを水平方向に横切って形成される収容空間内に提供される複数のギャップ調整装置
を含み、
上記複数のギャップ調整装置はそれぞれ
ギャップ調整ナット、
上記ギャップ調整ナットの上部に提供されるストッパー(stopper)、
上記ギャップ調整ナットと螺合される固定ボルト、
上記固定ボルトを上記第1リップまたは上記第2リップの下部側面に固定するための固定部材、及び
上記ギャップ調整ナットと上記収容空間内に形成された段差(step)の間に提供され、上記ギャップ調整ナットよりもさらに大きい硬度(hardness)を有するスペーサー
を含み、
上記固定ボルトは上記ギャップ調整用窪み内で上記固定部材によって上記第1リップまたは上記第2リップに固定される
スリットダイ。 - 上記ギャップ調整装置が上記ギャップ調整用窪みと上記固定部材の間に提供されるワッシャー(washer)を追加で含むことを特徴とする第5項に記載のスリットダイ。
- 上記スペーサーの材質が金属材質であることを特徴とする第5項または第6項に記載のスリットダイ。
- 上記金属材質が SCM合金材質であり、
上記スペーサーの硬度は58以上のロックウェル硬度のCスケール(HRc)値を有することを特徴とする第7項に記載のスリットダイ。 - PDPまたはLCD製造用コーティング装置において、
サクションテーブル(suction table)、
上記サクションテーブル上に位置される作業物、
上記サクションテーブル上で直線往復運動をするガントリー、及び
上記ガントリーに付着し、上記作業物上に塗液を塗布するためのスリットダイ
を含み、
上記スリットダイは
互いに対向する1対の第1リップ及び第2リップ、
上記第1リップまたは上記第2リップの内部に形成される塗液供給部、
上記塗液供給部と連結されるチャンバー、
上記第1リップの下部内側面と上記第2リップの下部内側面の間に形成されるギャップ(L)を具備するスリット形状の吐出口、
上記第1リップまたは上記第2リップの下部から垂直方向に提供されるギャップ調整用窪み、及び
上記第1リップまたは上記第2リップの下部側面から上記ギャップ調整用窪みを水平方向に横切って形成される収容空間内に提供される複数のギャップ調整装置
を含み、
上記複数のギャップ調整装置はそれぞれ
ギャップ調整ナット、
上記ギャップ調整ナットの上部に提供されるストッパー(stopper)、
上記ギャップ調整ナットと螺合される固定ボルト、
上記固定ボルトを上記第1リップまたは上記第2リップの下部側面に固定するための固定部材、及び
上記ギャップ調整ナットと上記収容空間内に形成された段差(step)の間に提供され、上記ギャップ調整ナットよりもさらに大きい硬度(hardness)を有するスペーサー
を含み、
上記固定ボルトは上記ギャップ調整用窪み内で上記固定部材によって上記第1リップまたは上記第2リップに固定される
コーティング装置。 - 上記ギャップ調整装置が上記ギャップ調整用窪みと上記固定部材の間に提供されるワッシャー(washer)を追加で含むことを特徴とする第9項に記載のコーティング装置。
- 上記スペーサーの材質が金属材質であることを特徴とする第9項または第10項に記載のコーティング装置。
- 上記金属材質がSCM合金材質であり、
上記スペーサーの硬度は58以上のロックウェル硬度のCスケール(HRc)値を有することを特徴とする第11項に記載のコーティング装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2009-0043683 | 2009-05-19 | ||
KR1020090043683A KR101064169B1 (ko) | 2009-05-19 | 2009-05-19 | 개선된 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 코팅 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010269305A JP2010269305A (ja) | 2010-12-02 |
JP5115894B2 true JP5115894B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=43408774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010114483A Active JP5115894B2 (ja) | 2009-05-19 | 2010-05-18 | 改善されたスリットダイ用ギャップ調整装置及びこれを具備したスリットダイ及びコーティング装置{AnImprovedGapAdjustingDeviceforSlitDie、andASlitDieandACoatingApparatusHavingtheSame} |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5115894B2 (ja) |
KR (1) | KR101064169B1 (ja) |
CN (1) | CN101940997B (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101321483B1 (ko) * | 2010-12-20 | 2013-10-25 | 주식회사 나래나노텍 | 개선된 슬릿 다이 및 이를 구비한 코팅 장치 |
CN102133566A (zh) * | 2011-03-02 | 2011-07-27 | 西南交通大学 | 无氟化学溶液沉积法制备高温超导带材缓冲及超导层连续涂覆装置 |
CN102553780A (zh) * | 2011-12-20 | 2012-07-11 | 深圳市浩能科技有限公司 | 一种用于锂离子电池制造的涂布机挤压头 |
CN102527578A (zh) * | 2012-01-11 | 2012-07-04 | 深圳市信宇人科技有限公司 | 新型狭缝式喷头及其喷涂机机头 |
CN105964483A (zh) * | 2016-06-24 | 2016-09-28 | 江苏尚昆生物设备有限公司 | 一种直线微调机构 |
CN106179890A (zh) * | 2016-08-18 | 2016-12-07 | 江苏中威重工机械有限公司 | 一种直线微调机构 |
CN109663709A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-04-23 | 昆山丰巧机械有限公司 | 一种双调节距离的淋幕头 |
CN109759284B (zh) * | 2019-03-21 | 2023-12-15 | 泉州市大疆涂布设备有限公司 | 便于垫片快速精准更换的涂布机涂布模头 |
KR102317671B1 (ko) * | 2019-07-30 | 2021-10-26 | 세메스 주식회사 | 슬릿 노즐 및 이를 포함하는 약액 도포 장치 |
CN114728304B (zh) * | 2022-02-24 | 2023-11-14 | 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司 | 一种涂布模头及涂布设备 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3641438A1 (de) * | 1986-03-27 | 1987-10-01 | Brown Inc John | Mechanismus zum einstellen einer formlippe |
US4940012A (en) * | 1986-12-23 | 1990-07-10 | Nordson Corporation | Mold coating apparatus with air flow control numbers |
JPH0219523U (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-08 | ||
JPH0723235Y2 (ja) * | 1990-03-09 | 1995-05-31 | 三菱重工業株式会社 | 押出成形用フラットダイ |
JP2562141Y2 (ja) * | 1990-05-09 | 1998-02-10 | 光洋精工株式会社 | 内燃機関のバルブ回転装置 |
FR2697774B1 (fr) * | 1992-11-10 | 1994-12-23 | Albert Plastiques | Filière plate pour l'extrusion de film, feuille ou plaque en matière synthétique. |
JPH06262117A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-20 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ノズルコ−タ型塗装装置 |
JPH10119113A (ja) * | 1996-10-22 | 1998-05-12 | Teijin Ltd | フイルム押出成形用ダイおよびこれを用いたフイルムの製造方法 |
JPH11207236A (ja) * | 1998-01-20 | 1999-08-03 | Konica Corp | ダイコータ塗布装置 |
JP2000334807A (ja) * | 1999-05-26 | 2000-12-05 | Teijin Ltd | フイルム押出成型用ダイおよびこれを用いたフイルムの製造方法 |
JP2003093944A (ja) | 2001-09-27 | 2003-04-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板への塗布液の塗布装置 |
CN1195588C (zh) * | 2002-11-07 | 2005-04-06 | 上海耀华皮尔金顿玻璃股份有限公司 | 淋漆漆幕流量横向均匀度调节装置和方法 |
ATE443577T1 (de) * | 2003-03-03 | 2009-10-15 | Toray Industries | Schlitzdüse und verfahren und vorrichtung zur herstellung von basismaterial mit überzugsfilm |
JP4352781B2 (ja) | 2003-07-03 | 2009-10-28 | 三菱マテリアル株式会社 | 塗布工具及び塗布装置 |
JP2005061547A (ja) * | 2003-08-18 | 2005-03-10 | Topy Ind Ltd | 軸力管理ワッシャー付きナット |
JP2005137974A (ja) | 2003-11-04 | 2005-06-02 | Toyo Knife Co Ltd | 塗布ヘッド及び塗布装置 |
JP4592450B2 (ja) * | 2005-03-07 | 2010-12-01 | 大日本印刷株式会社 | ダイヘッド及びスリットギャップ調整方法 |
JP2006289260A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-10-26 | Toyo Knife Co Ltd | 塗布ヘッド |
US8092207B2 (en) * | 2007-05-03 | 2012-01-10 | Cloeren Incorporated | Decoupled transverse flow metering gap and lip gap |
-
2009
- 2009-05-19 KR KR1020090043683A patent/KR101064169B1/ko active IP Right Grant
-
2010
- 2010-05-18 JP JP2010114483A patent/JP5115894B2/ja active Active
- 2010-05-19 CN CN2010102472812A patent/CN101940997B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100124592A (ko) | 2010-11-29 |
JP2010269305A (ja) | 2010-12-02 |
KR101064169B1 (ko) | 2011-09-15 |
CN101940997A (zh) | 2011-01-12 |
CN101940997B (zh) | 2013-06-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5115894B2 (ja) | 改善されたスリットダイ用ギャップ調整装置及びこれを具備したスリットダイ及びコーティング装置{AnImprovedGapAdjustingDeviceforSlitDie、andASlitDieandACoatingApparatusHavingtheSame} | |
JP4752275B2 (ja) | 塗布装置 | |
US5263888A (en) | Method of manufacture of liquid crystal display panel | |
JP5330639B2 (ja) | ガス噴射装置 | |
DE112013006223B4 (de) | Substratbearbeitungsgerät | |
US20040246420A1 (en) | Display device and manufacturing method thereof | |
KR102201107B1 (ko) | 증착 장치 및 이를 이용한 마스크 조립체의 정렬 방법 | |
JP4436281B2 (ja) | 塗工装置 | |
CN101654009B (zh) | 印刷机 | |
KR100927340B1 (ko) | 개선된 슬릿 다이용 갭 조정 장치 및 이를 구비한 슬릿다이 및 코팅 장치 | |
CN106154751A (zh) | 狭缝式涂布机及其狭缝调整方法 | |
JP2008194588A (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
KR100833116B1 (ko) | 인쇄장치 및 인쇄방법 | |
KR101133072B1 (ko) | 컬러 필터의 리페어 방법 | |
KR102449702B1 (ko) | 액적 도포 장치 및 액적 도포 방법 | |
KR200470005Y1 (ko) | 디스펜서 스테이지 | |
US20090195574A1 (en) | Method for Jetting Color Ink | |
JP2006167532A (ja) | スリットダイ及びスリット隙間調節方法並びに塗布装置 | |
KR101583747B1 (ko) | 액 공급 유닛 | |
US20140048563A1 (en) | Liquid crystal dropping device | |
JP7442181B2 (ja) | ノズル、塗布装置および調整機構 | |
KR100883315B1 (ko) | 엘씨디패널 에지 연마용 작업테이블 | |
KR101321483B1 (ko) | 개선된 슬릿 다이 및 이를 구비한 코팅 장치 | |
KR100837598B1 (ko) | 인쇄장치 | |
KR101340105B1 (ko) | 보호필름 박리장치의 롤러 고정용 클램프 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110510 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120907 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120925 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121005 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5115894 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151026 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |