KR200470005Y1 - 디스펜서 스테이지 - Google Patents

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KR200470005Y1
KR200470005Y1 KR2020080017230U KR20080017230U KR200470005Y1 KR 200470005 Y1 KR200470005 Y1 KR 200470005Y1 KR 2020080017230 U KR2020080017230 U KR 2020080017230U KR 20080017230 U KR20080017230 U KR 20080017230U KR 200470005 Y1 KR200470005 Y1 KR 200470005Y1
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

본 고안은 디스펜서 스테이지를 개시한다. 본 고안은 베이스 플레이트와; 삽입홈들이 구비되며, 상기 베이스 플레이트에 결합되는 지지 블록들과; 상기 삽입홈들에 각각 삽입되며, 기판을 지지하는 지지 플레이트들과; 상기 지지 플레이트와 지지 블록을 체결시키는 체결 유닛을 포함한다. 본 고안에 따르면, 스테이지를 구성하는 부품에 손상이 발생될 경우 그 손상된 부품의 교체 작업이 수월하게 된다. 또한 스테이지에 정전기를 방지하기 위한 코팅막을 형성하는 면적을 감소시킨다.

Description

디스펜서 스테이지{STAGE IN USE FOR DISPENSER}
본 고안은 디스펜서 스테이지에 관한 것이다.
일반적으로 액정 표시장치는 컬러 필터층이 구비된 제1 기판과, 구동 소자들이 배열된 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판을 부착시키는 페이스트(일명, 실런트라고도 함) 패턴과, 상기 제1,2 기판들 사이에 위치하는 액정층을 포함한다.
상기 액정 표시장치는 제2 기판의 구동 소자들에 전원이 인가되면 그 구동 소자들이 액정층의 액정 분자들을 구동시켜 그 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 화상 정보를 표시하게 된다.
상기 액정 표시장치를 제작하는 방법 중의 일예는 다음과 같다.
먼저, 일정 크기를 갖는 판 형상의 글라스에 구동 소자들이 구비된 기판을 제작한다. 일정 크기를 갖는 판 형상의 글라스에 컬러 필터층이 구비된 기판을 제작한다. 그 두개의 기판들 중 하나의 기판에 페이스트를 설정된 패턴으로 도포한다. 그 페이스트 패턴의 내측 영역에 액정을 적하한다. 그 두 개의 기판을 합착한다. 그 합착된 두 개의 기판들을 마더 글라스라 한다. 상기 마더 글라스를 절단하여 액정 표시장치를 구성하는 단위 패널들로 분할한다.
액정 표시장치는 제조 장비들이 배열된 제조 라인에서 진행된다. 액정을 적하하는 공정과 페이스트를 도포하는 공정은 디스펜서에서 진행된다.
도 1은 디스펜서의 일예를 도시한 사시도이다. 이에 도시한 바와 같이, 상기 디스펜서는 프레임(100), 스테이지(200), 헤드 지지대(300), 제1 구동유닛(400), 헤드 유닛(500), 제2 구동유닛(600)을 포함한다.
상기 프레임(100)은 일정 높이와 면적을 갖는다.
상기 스테이지(200)는 상기 프레임(100) 상면에 구비된다. 상기 스테이지(200)는 프레임(100) 상면에 고정될 수 있고, 또한 프레임(100) 상면에서 움직임 가능하게 구비될 수 있다.
상기 헤드 지지대(300)는 일정 간격을 두고 위치하는 수직부(310)들과 그 수직부(310)들의 상부를 연결하는 수평부(320)를 포함한다. 상기 헤드 지지대(300)는 상기 프레임(100)에 직선 움직임 가능하게 구비된다. 상기 수직부(310)들 사이에 스테이지(200)가 위치한다.
상기 제1 구동유닛(400)은 상기 헤드 지지대(300)를 움직인다.
상기 헤드 유닛(500)은 상기 헤드 지지대(300)의 수평부(320)에 직선 움직임 가능하게 구비된다. 상기 제2 구동유닛(600)이 상기 헤드 유닛(500)을 움직인다.
상기 헤드 지지대(300)는 Y축 방향으로 움직이고, 상기 헤드 유닛(500)은 X축 방향으로 움직인다.
상기 헤드 유닛(500)은 노즐(510)과 그 노즐(510)을 상하로 움직이는 제3 구동유닛(520)을 포함한다. 상기 노즐(510)이 움직이는 방향이 Z축 방향이다.
미설명 부호 G는 기판이다.
상기한 바와 같은 디스펜서의 작동은 다음과 같다.
먼저, 이송 로봇(미도시)이 기판을 이동시켜 스테이지(200) 위에 놓는다.
그리고 미리 입력된 설정 패턴 데이터에 따라 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(510)이 움직이도록 상기 제1,2 구동 유닛(400)(600)을 작동시켜 헤드 유닛을 움직인다. 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(510)이 설정 패턴 데이터에 따라 움직이면서 페이스트가 노즐을 통해 토출된다. 상기 노즐(510)를 통해 페이스트가 토출됨에 따라 기판에 페이스트 패턴이 형성된다.
상기 기판위에 페이스트 패턴을 형성하는 단계(공정)가 끝나면 이송 로봇이 그 기판을 다른 장비로 이동시킨다.
한편, 상기 스테이지(200)의 일예로, 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 스테이지(200)는 베이스 플레이트(210)와, 상기 베이스 플레이트(210)의 상면에 일정 간격을 두고 결합되는 다수 개의 지지 블록(220)들을 포함한다.
상기 지지 블록(220)은 육면체 형상이며, 내부에 버큠 통로(221)가 구비되고 상면에 그 버큠 통로(221)와 연통되는 구멍(222)들이 된다. 상기 지지 블록(220)은 나사(미도시)들에 의해 상기 베이스 플레이트(210)와 결합된다. 상기 지지 블록(220)의 길이는 상기 베이스 플레이트(210)의 길이와 같다.
상기 기판은 지지 블록(220)들의 상면에 놓여지게 되며, 상기 버큠 통로(221)에 작용하는 버큠에 의해 그 기판은 지지 블록(220)들의 상면에 흡착된다.
상기 지지 블록(220)과 지지 블록(220) 사이에 홈이 구비된다. 이송 로봇이 스테이지(200)에 기판을 올려 놓거나 기판을 스테이지(200)에서 들어올릴 때 이송 로봇의 아암이 그 홈에 삽입된다.
상기 지지 블록(220)의 외면에, 정전기를 방지하기 위하여 불소 코팅막이 구비된다.
그러나 상기한 바와 같은 스테이지는 지지 블록의 상면이 손상되거나 그 지지 블록의 불소 코팅막이 손상될 경우 지지 블록을 새로운 지지 블록으로 교체하여야 한다. 새로운 지지 블록을 베이스 플레이트에 결합시 새로운 지지 블록의 평탄도를 허용 범위내에 들도록 하여야 하므로 교체 작업이 어렵다. 또한, 지지 블록의 블소 코팅막의 일부분이 손상되어도 그 지지 블록을 사용하지 못하게 된다. 상기 불소 코팅막은 외부 충격에 아주 취약하므로 작은 충격에도 스크래치(scrach)가 발생된다.
그리고 상기 지지 블록 전체 외면에 불소 코팅막을 형성해야 되므로 코팅 비용이 증가하게 되고 코팅 시간이 많이 소요된다.
본 고안의 목적은 스테이지를 구성하는 부품에 손상이 발생될 경우 그 손상된 부품의 교체 작업을 수월하게 하는 것이다.
본 고안의 다른 목적은 스테이지에 코팅막을 형성하는 면적을 감소시키는 것이다.
상기한 바와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 베이스 플레이트와; 삽입홈들이 구비되며, 상기 베이스 플레이트에 결합되는 지지 블록들과; 상기 삽입홈들에 각각 삽입되며, 기판을 지지하는 지지 플레이트들과; 상기 지지 플레이트와 지지 블록을 체결시키는 체결 유닛을 포함하는 디스펜서 스테이지가 제공된다.
상기 지지 블록에 버큠 통로가 구비되고, 상기 지지 플레이트에 버큠 통로와 연통되는 관통 구멍들이 구비된다.
상기 삽입홈의 바닥면과 지지 플레이트 하면 사이에 높이조절판이 하나 또는 두개 이상 구비된다.
또한, 베이스 플레이트와; 삽입홈들과 버큠 통로가 구비되며, 상기 베이스 플레이트에 결합되는 지지 블록들과; 상기 지지 블록의 버큠 통로와 연통되는 관통 구멍들이 구비되며, 상기 삽입홈들에 각각 삽입되어 기판을 지지하는 지지 플레이트들과; 상기 지지 플레이트의 평탄도를 조절하는 평탄도 조절유닛과; 상기 지지 플레이트와 지지 블록을 체결시키는 체결 유닛과; 상기 지지 블록의 삽입홈 바닥면 과 지지 플레이트의 하면사이에 구비되어 버큠 누설을 방지하는 버큠누설방지부재를 포함하는 디스펜서 스테이지가 제공된다.
상기 평탄도 조절유닛은 상기 지지 플레이트에 나사 결합되며 그 끝면이 상기 삽입홈의 바닥면에 지지되는 복수 개의 높이 조절나사들이고, 상기 체결 유닛은 상기 지지 플레이트에 관통 삽입되며 상기 지지 블록에 나사 결합되는 복수 개의 체결나사들인이 바람직하다.
상기 하나의 높이 조절나사와 하나의 체결 나사는 서로 인접하며 그 인접한 한 개의 높이 조절나사와 한 개의 체결 나사는 쌍을 이루는 것이 바람직하다.
본 고안은 장비의 작동 중 기판이 놓여지는 지지 플레이트의 상면이 손상될 경우 그 손상된 지지 플레이트만 새로운 지지 플레이트로 교체하면 된다. 또한, 상기 기판이 놓여지는 지지 플레이트의 코팅막에 스크래치가 발생되면 그 코팅막에 스크래치가 발생된 지지 플레이트만 새로운 지지 플레이트로 교체하면 된다. 이와 같이, 손상된 지지 플레이트만 새로운 지지 플레이트로 교체하게 되므로 지지 블록을 교체할 필요가 없고 교체 작업이 수월하게 된다. 아울러, 기판이 접촉되는 지지 플레이트만 정전기를 방지하기 위한 코팅막을 형성하게 되므로 코팅막을 형성하는 면적이 적어 지지 플레이트를 코팅하는 시간이 단축되고 코팅 비용이 절감된다.
그리고 손상된 지지 플레이트를 새로운 지지 플레이트로 교체한 다음 그 새로운 지지 플레이트의 평탄도를 허용 범위 내에 들어야 된다. 이때 지지 플레이트의 크기가 작아 평탄도를 혀용 범위 내에 들도록 하는 작업이 수월하게 된다.
이하, 본 고안에 따른 디스펜서 스테이지의 실시예들을 첨부도면을 참조하여 설명한다.
도 3은 본 고안에 따른 디스펜서 스테이지의 일실시예를 도시한 사시도이다. 도 4는 상기 디스펜서 스테이지를 구성하는 지지 블록의 평면도이다. 도 4는 상기 디스펜서 스테이지를 구성하는 지지 블록의 측면도이다.
도 3, 4, 5에 도시한 바와 같이, 본 고안에 따른 디스펜서 스테이지의 제1 실시예는 베이스 플레이트(710), 지지 블록(720)들, 지지 플레이트(730)들 그리고 체결 유닛(740)을 포함한다.
상기 베이스 플레이트(710)는 일정 면적을 갖는다.
상기 지지 블록(720)은 육면체 형상이며, 그 상면에 다수 개의 삽입홈(721)들이 구비된다. 상기 지지 블록(720)에 버큠이 선택적으로 작용하는 버큠 통로(H)가 구비된다.
상기 삽입홈(721)들은 균일한 간격을 두고 구비됨이 바람직하다. 상기 삽입홈(721)은 일정 폭과 깊이를 갖는다. 상기 삽입홈(721)은 지지 블록(720)의 양측면을 관통한다.
상기 버큠 통로(H)의 일예로, 상기 버큠 통로(H)는 지지 블록(720)의 한쪽 측면에서 그 지지 블록(720)의 길이 방향으로 일정 길이를 갖도록 구비된 메인 통로(722)들과, 상기 삽입홈(721)의 바닥면에 구비되며 상기 메인 통로(722)와 연통되는 버큠 구멍(723)들을 포함한다. 상기 메인 통로(722)는 직선 형태이다. 상기 버큠 통로(H)는 지지 블록(720)의 측면에서 상기 메인 통로(722)들과 교차하는 보조 통로(724)들이 구비될 수 있다.
상기 메인 통로(722)들은 두 개임이 바람직하다. 그 두 개의 메인 통로(722)들은 일정 간격을 두고 위치한다. 상기 삽입홈(721)의 바닥면에 구비되는 버큠 구멍(723)들은 네 개임이 바람직하다. 네 개의 버큠 구멍(723)들 중 두 개는 하나의 메인 통로(722)와 연통되고, 나머지 두 개는 다른 메인 통로(722)와 연통된다.
상기 버큠 통로(H)는 진공발생장치(미도시)와 연결된다.
상기 지지 블록(720)은 볼트들 또는 나사들에 의해 상기 베이스 플레이트(710)에 고정 결합된다.
상기 지지 블록(720)들은 일정 간격을 두고 상기 베이스 플레이트(710) 상면에 배열된다. 상기 지지 블록(720)과 지지 블록(720) 사이에 홈이 구비되며, 그 홈에 이송 로봇(미도시)의 아암이 삽입될 수 있다.
상기 베이스 플레이트(710)와 지지 블록(720)들은 하나의 부품으로 이루어질 수 있다.
상기 지지 플레이트(730)는 균일한 두께를 갖는 육면체 형상의 플레이트에 다수 개의 제1 관통 구멍(731)들이 구비된다. 상기 지지 플레이트(730)의 단면 형상은 상기 삽입홈(721)의 면적 형상과 같은 것이 바람직하다. 상기 지지 플레이트(730)의 두께는 상기 삽입홈(721)의 깊이보다 약간 큰 것이 바람직하다.
상기 지지 플레이트(730)들은 상기 지지 블록(720)의 삽입홈(721)들에 각각 삽입된다. 상기 지지 플레이트(730)가 삽입홈(721)에 삽입된 상태에서 그 지지 플 레이트(730)의 상면이 지지 블록(720)의 상면보다 높게 된다. 또한 상기 지지 플레이트(730)가 삽입홈(721)에 삽입된 상태에서 지지 플레이트(730)의 제1 관통 구멍(731)들이 상기 버큠 구멍(723)들과 각각 연통된다.
상기 지지 플레이트(730)는 체결 유닛(740)에 의해 상기 지지 블록(720)에 고정 결합된다.
상기 체결 유닛(740)은 복수 개의 체결 나사들인 것이 바람직하다.
상기 체결 유닛(740)이 복수 개의 체결 나사들인 경우, 상기 지지 블록(720)의 삽입홈(721) 바닥면에 나사가 체결되는 나사홀(725)이 다수 개 구비되고 상기 지지 플레이트(730)에 제2 관통 구멍(732)들이 구비된다. 상기 제2 관통 구멍(732)은 내경이 서로 두개의 구멍들로 이루어지며 그 두개의 구멍들의 내경 차에 의해 단턱면이 구비된다.
상기 나사홀(725)들의 수는 상기 체결 나사들의 수와 같고, 또한 상기 제2 관통 구멍(732)들의 수는 상기 체결 나사들의 수와 같다.
상기 체결 나사들은 각각 제2 관통 구멍(732)에 관통되어 나사홀(725)에 체결된다.
상기 지지 플레이트(730)들의 상면에 기판이 놓여진다.
상기 지지 플레이트(730)의 상면 또는 외면 전체에 코팅막이 구비됨이 바람직하다. 상기 코팅막은 정진기를 방지하기 위한 코팅막이며 그 코팅막은 불소 코팅막인 것이 바람직하다.
도 6에 도시한 바와 같이, 상기 삽입홈(721)의 바닥면과 지지 플레이트(730) 하면 사이에 지지 플레이트(730)의 평탄도를 조절하는 높이조절판(750)이 한 개 또는 두 개 이상 구비될 수 있다. 상기 높이조절판(750)은 두께가 균일한 판이다.
이하, 본 고안에 따른 디스펜서 스테이지의 제2 실시예를 설명하면 다음과 같다.
본 고안에 따른 디스펜서 스테이지의 제2 실시예는 베이스 플레이트, 지지 블록들, 지지 플레이트들, 체결 유닛, 평탄도 조절유닛, 버큠누설방지부재를 포함한다.
상기 베이스 플레이트는 상기 제1 실시예의 베이스 플레이트(710)와 같다.
상기 지지 블록은, 도 7에 도시한 바와 같이, 육면체 형상의 블록이며 그 상면에 다수 개의 삽입홈(721)들이 구비된다. 상기 지지 블록(720)에 버큠이 선택적으로 작용하는 버큠 통로(H)가 구비된다.
상기 삽입홈(721)들은 일정 간격을 두고 구비됨이 바람직하다. 상기 삽입홈(721)은 균일한 폭과 깊이를 갖는다. 상기 삽입홈(721)은 지지 블록(720)의 양측면을 관통한다.
상기 버큠 통로(H)의 일예로, 상기 버큠 통로(H)는 지지 블록(720)의 한쪽 측면에서 그 지지 블록(720)의 길이 방향으로 일정 길이를 갖도록 구비된 메인 통로(722)들과, 상기 삽입홈(721)의 바닥면에 구비되며 상기 메인 통로(722)와 연통되는 버큠 구멍(723)들을 포함한다. 상기 메인 통로(722)는 직선 형태이다. 상기 버큠 통로(H)는 지지 블록(720)의 측면에서 상기 메인 통로(722)들과 교차하는 보조 통로(724)들이 구비될 수 있다.
상기 메인 통로(722)들은 두 개임이 바람직하고, 그 두 개의 메인 통로(722)들은 일정 간격을 두고 위치한다. 상기 삽입홈(721)의 바닥면에 구비되는 버큠 구멍(723)들은 네 개임이 바람직하다. 네 개의 버큠 구멍(723)들 중 두 개는 하나의 메인 통로(722)와 연통되고, 나머지 두 개는 다른 메인 통로(722)와 연통된다.
상기 버큠 통로(H)는 버큠발생장치와 연결된다.
상기 지지 블록(720)은 볼트들 또는 나사들에 의해 상기 베이스 플레이트(710)에 고정 결합된다.
상기 지지 블록(720)들은 일정 간격을 두고 상기 베이스 플레이트(710) 상면에 배열된다. 상기 지지 블록(720)과 지지 블록(720) 사이에 홈이 구비되며, 그 홈에 이송 로봇의 아암이 삽입될 수 있다.
상기 베이스 플레이트와 지지 블록들은 하나의 부품으로 이루어질 수 있다.
상기 지지 플레이트(730)는 균일한 두께를 갖는 육면체 형상의 플레이트에 다수 개의 제1 관통 구멍(731)들이 구비된다. 상기 지지 플레이트(730)의 단면 형상은 상기 삽입홈(721)의 단면 형상과 같은 것이 바람직하다. 상기 지지 플레이트(730)의 두께는 상기 삽입홈(721)의 깊이보다 약간 큰 것이 바람직하다.
상기 지지 플레이트(730)들은 상기 지지 블록(720)의 삽입홈(721)들에 각각 삽입된다. 상기 지지 플레이트(730)가 삽입홈(721)에 삽입된 상태에서 그 지지 플레이트(730)의 상면이 지지 블록(720)의 상면보다 높게 된다. 또한 상기 지지 플레이트(730)가 삽입홈(721)에 삽입된 상태에서 지지 플레이트(730)의 제1 관통 구멍(731)들이 상기 버큠 구멍(723)들과 각각 연통된다.
상기 지지 플레이트(730)는 체결 유닛(740)에 의해 상기 지지 블록(720)에 고정 결합된다.
상기 체결 유닛(740)은 복수 개의 체결 나사들인 것이 바람직하다.
상기 체결 유닛이 복수 개의 체결 나사들인 경우 상기 지지 블록(720)의 삽입홈(721) 바닥면에 나사가 체결되는 나사홀(725)이 다수 개 구비되고 상기 지지 플레이트(730)에 제2 관통 구멍(732)들이 구비된다. 상기 제2 관통 구멍(732)은 내경이 서로 다른 두 개의 구멍들로 이루어지며, 그 두 개 구멍들의 내경 차에 의해 단턱면이 구비된다.
상기 나사홀(725)들의 수는 상기 체결 나사들의 수와 같고, 또한 상기 제2 관통 구멍(732)들의 수는 상기 체결 나사들의 수와 같다.
상기 체결 나사들은 각각 제2 관통 구멍(732)에 관통되어 나사홀(725)에 체결된다.
상기 버큠누설방지부재는 상기 지지 블록(720)의 삽입홈(721) 바닥면과 지지 플레이트(730)의 하면사이에 구비되어 버큠 누설을 방지한다.
상기 버큠누설방지부재(760)는, 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 제1 관통 구멍(731)과 버큠 구멍(723)을 감싸는 실링(seal ring)인 것이 바람직하다.
상기 버큠누설방지부재(760)가 실 링일 경우 삽입홈(721)의 바닥면에 환형 홈(726)이 형성되고 그 환형 홈(726)에 상기 실 링이 삽입된다. 상기 환형 홈(726)의 내측 영역에 상기 버큠 구멍(723)이 위치한다. 상기 지지 플레이트(730)가 삽입홈(721)에 삽입되면 그 제1 관통 구멍(731)이 상기 버큠 구멍(723)과 연통되며 그 실 링은 지지 플레이트(730)의 하면에 압착된다. 이때 제1 관통 구멍(731)이 실 링의 내측 영역에 위치하게 된다.
상기 평탄도 조절유닛(770)의 일예로, 상기 평탄도 조절유닛(770)은 상기 지지 플레이트(730)에 나사 결합되며 그 끝면이 상기 삽입홈(721)의 바닥면에 지지되는 복수 개의 높이 조절나사들로 이루어진다.
상기 평탄도 조절유닛(770)이 높이 조절나사인 경우, 상기 지지 플레이트(730)에 상기 높이 조절나사가 체결되는 나사홀(733)이 구비된다.
상기 지지 플레이트(730)의 나사홀(733)은 제2 관통 구멍(732)에 인접하게 위치한다. 상기 높이 조절나사는 나사홀(733)에 체결되면 그 높이 조절나사는 체결 나사에 인접하게 위치한다. 서로 인접한 높이 조절나사와 체결 나사는 쌍을 이룬다. 상기 높이 조절나사들의 수는 상기 체결 나사들의 수와 같다.
상기 지지 플레이트(730)의 평탄도를 조절시 체결 나사들을 각각 회전시켜 체결을 느슨하게 한 다음 상기 높이 조절나사들을 회전시켜 지지 플레이트(730)의 평탄도를 조절한다. 상기 지지 플레이트(730)의 평탄도가 설정된 허용범위내로 맞추어지게 되면 체결 나사를 역회전하여 지지 플레이트(730)를 고정하게 된다.
상기 지지 플레이트(730)들의 상면에 기판이 놓여진다.
상기 지지 플레이트(730)의 상면 또는 외면 전체에 코팅막이 구비됨이 바람직하다. 상기 코팅막은 정전기를 방지하기 위한 코팅막이며 그 코팅막은 불소(fluorine) 코팅막인 것이 바람직하다.
이하, 본 고안의 디스펜서 스테이지의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.
먼저 이송 로봇이 기판을 스테이지 위에 올려 놓는다. 기판은 스테이지의 지지 플레이트(730)들의 상면에 접촉된다. 상기 버큠발생장치가 작동하여 버큠 통로(H) 및 제1 관통 구멍(731)들에 버큠을 발생시킨다. 그 버큠에 의해 기판이 지지 플레이트(730)의 상면에 흡착된다.
상기 노즐이 설정된 패턴 데이터에 따라 움직이면서 페이스트가 노즐을 통해 토출된다. 그 노즐에서 토출된 페이스트가 기판에 도포되어 페이스트 패턴이 형성된다.
상기 버큠 발생장치의 작동이 정지된다. 상기 버큠 통로(H)와 제1 관통 구멍(731)들에 버큠이 소멸된다.
이송 로봇이 스테이지에 놓인 기판을 들어올려 다른 장비로 이송시킨다.
본 고안은 장비의 작동 중 노즐이 지지 플레이트(730)의 상면을 손상시키게 될 경우 그 손상된 지지 플레이트(730)만 새로운 지지 플레이트(730)로 교체하면 된다. 또한, 상기 기판이 놓여지는 지지 플레이트(730)의 코팅막에 스크래치가 발생되면 그 코팅막에 스크래치가 발생된 지지 플레이트(730)만 새로운 지지 플레이트(730)로 교체하면 된다. 이와 같이, 손상된 지지 플레이트(730)만 새로운 지지 플레이트(730)로 교체하게 되므로 지지 블록을 교체할 필요가 없고, 교체 작업이 수월하게 된다. 아울러, 기판이 접촉되는 지지 플레이트(730)만 정전기를 방지하기 위한 코팅막을 형성하게 되므로 코팅막을 형성하는 면적이 적어 지지 플레이트(730)를 코팅하는 시간이 단축되고 코팅 비용이 절감된다.
그리고 손상된 지지 플레이트(730)를 새로운 지지 플레이트(730)로 교체한 다음 그 새로운 지지 플레이트(730)의 평탄도를 허용 범위 내에 들도록 맞추게 된다. 이때 지지 플레이트(730)의 크기가 작아 평탄도를 허용 범위 내에 맞추는 작업이 수월하게 된다.
도 1은 일반적인 디스펜서를 도시한 사시도,
도 2는 종래 디스펜서 스테이지를 도시한 사시도,
도 3은 본 고안의 디스펜서 스테이지의 일실시예를 도시한 사시도,
도 4는 본 고안의 디스펜서 스테이지를 구성하는 지지 블록을 도시한 평면도,
도 5는 본 고안의 디스펜서 스테이지를 구성하는 지지 블록을 도시한 측단면도,
도 6은 본 고안의 디스펜서 스테이지를 구성하는 높이 조절판을 도시한 단면도,
도 7은 본 고안의 디스펜서 스테이지의 다른 실시예를 구성하는 지지 블록을 도시한 사시도,
도 8은 본 고안의 디스펜서 스테이지의 다른 실시예를 구성하는 버큠누설방지부재를 도시한 단면도,
도 9는 본 고안의 디스펜서 스테이지의 다른 실시예를 구성하는 평탄도 조절유닛을 도시한 단면도.

Claims (10)

  1. 베이스 플레이트;
    삽입홈들이 구비되며, 상기 베이스 플레이트에 결합되는 지지 블록들;
    상기 삽입홈들에 각각 삽입되며, 기판을 지지하는 지지 플레이트들; 및
    상기 지지 플레이트와 지지 블록을 체결시키는 체결 유닛을 포함하는 디스펜서 스테이지.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 지지 블록에 버큠 통로가 구비되고, 상기 지지 플레이트에 버큠 통로와 연통되는 관통 구멍들이 구비됨을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 삽입홈의 바닥면과 지지 플레이트의 하면 사이에 높이조절판이 한 개 또는 두 개 이상 구비되는 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지.
  4. 베이스 플레이트;
    삽입홈들과 버큠 통로가 구비되며, 상기 베이스 플레이트에 결합되는 지지 블록들;
    상기 지지 블록의 버큠 통로와 연통되는 관통 구멍들이 구비되며, 상기 삽입 홈들에 각각 삽입되어 기판을 지지하는 지지 플레이트들;
    상기 지지 플레이트의 평탄도를 조절하는 평탄도 조절유닛;
    상기 지지 플레이트와 지지 블록을 체결시키는 체결 유닛; 및
    상기 지지 블록의 삽입홈 바닥면과 지지 플레이트의 하면사이에 구비되어 버큠 누설을 방지하는 버큠누설방지부재를 포함하는 디스펜서 스테이지.
  5. 상기 제 4 항에 있어서, 상기 평탄도 조절유닛은 상기 지지 플레이트에 나사 결합되며 끝면이 상기 삽입홈의 바닥면에 지지되는 복수 개의 높이 조절나사들이고, 상기 체결 유닛은 상기 지지 플레이트에 관통 삽입되며 상기 지지 블록에 나사 결합되는 복수 개의 체결 나사들인 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 한 개의 높이 조절나사와 한 개의 체결 나사는 서로 인접하며 인접한 한 개의 높이 조절나사와 한 개의 체결 나사는 쌍을 이루는 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지.
  7. 제 4 항에 있어서, 상기 버큠누설방지부재는 상기 관통 구멍을 감싸는 실 링(seal ring)인 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지.
  8. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 지지 플레이트의 상면은 상기 지지 블록의 상면보다 높은 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지.
  9. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 베이스 플레이트와 상기 지지 블록들은 일체로 이루어진 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지.
  10. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 지지 플레이트들에 각각 코팅막이 구비된 것을 특징으로 하는 디스펜서 스테이지.
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