JP2006182560A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板を水平に保ちながら方向転換して搬送するための基板搬送装置Aであって、基板の下面との間に空気圧による緩衝層を形成するエアステージ1と、エアステージ1に隣接して上下動作可能に設けられており、所定の上位置をとるとき、エアステージ1上における基板の側縁部を第1の水平方向F1に沿って移動しうるように支持する支持手段2A,2Bと、エアステージ1の中央部において、上下動作可能かつ鉛直軸周りに回転可能に設けられており、所定の上位置をとるとき、エアステージ1上における基板の下面中央部を支持するとともに、鉛直軸周りに回転することで当該基板を第1の水平方向F1から異なる第2の水平方向F2に方向転換させる回転手段3とを備えている。
【選択図】 図1
Description
G ガラス基板
F1 第1の水平方向
F2 第2の水平方向
1 エアステージ
1A 中央開口部
1B 切り欠き端部
10b 空気噴出孔
10A,10B エアチャンバー
2A,2B 支持手段
20 アクチュエータ
21 可動ブロック
21b 空気噴出孔
22 ガイドローラ
3 回転手段
30 可動ベース
31 回転用のモータ
32 回転ユニット
33 真空吸着盤
34 補助プレート
35 緩衝器
7 クランプ機構
72 ローラ
84 補助プレート
85 緩衝器
Claims (14)
- 平面視矩形状の基板を水平に保ちながら当該基板を方向転換して搬送するための基板搬送装置であって、
上記基板の下面との間に空気圧による緩衝層を形成するエアステージと、
上記エアステージに隣接して上下動作可能に設けられており、所定の上位置をとるとき、上記エアステージ上における上記基板の側縁部を第1の水平方向に沿って移動しうるように支持する支持手段と、
上記エアステージの中央部において、上下動作可能かつ鉛直軸周りに回転可能に設けられており、所定の上位置をとるとき、上記エアステージ上における上記基板の下面中央部を支持するとともに、鉛直軸周りに回転することで当該基板を上記第1の水平方向から異なる第2の水平方向にあるいはその逆方向に方向転換させる回転手段と、
を備えたことを特徴とする、基板搬送装置。 - 上記支持手段は、上記第1の水平方向に沿って上記エアステージへと搬送されてきた上記基板の側縁部を支持し、その後、上記回転手段は、上記支持手段に替わって上記基板の下面中央部を支持しつつ鉛直軸周りに回転することにより、当該基板を上記第1の水平方向から上記第2の水平方向に方向転換させる、請求項1に記載の基板搬送装置。
- 上記回転手段は、上記第2の水平方向に沿って上記エアステージへと搬送されてきた上記基板の下面中央部を支持するとともに、鉛直軸周りに回転することで当該基板を上記第2の水平方向から上記第1の水平方向に方向転換させ、その後、上記支持手段は、上記回転手段に替わって上記基板の側縁部を支持することにより、当該基板を上記第1の水平方向に沿って移動させる、請求項1に記載の基板搬送装置。
- 上記エアステージは、全体的に平面視矩形状を呈して上記基板と略同一の面積をもつように構成されている、請求項1ないし3のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 上記支持手段は、上記エアステージの相対する側部にそれぞれ隣接して一対をなすように設けられている、請求項4に記載の基板搬送装置。
- 上記エアステージは、空気噴出孔を上面に有する複数のエアチャンバーを上記回転手段の周囲に配置するようにして構成されており、これら複数のエアチャンバーのうちの少なくとも1つは、上記第2の水平方向に沿って他の基板搬送装置との間で上記基板を受け渡ししうるように、その際には上記支持手段とともに所定の下位置をとるべく上下動作可能に設けられている、請求項1ないし5のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 上記支持手段は、上下動作用のアクチュエータと、このアクチュエータによって上下させられる可動ブロックと、上記基板の側縁部を支持するように上記可動ブロックに設けられており、当該基板を上記第1の水平方向に沿って移動させるための複数のガイドローラとを有して構成されている、請求項1ないし6のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 上記可動ブロックの上面には、空気噴出孔が設けられている、請求項7に記載の基板搬送装置。
- 上記回転手段は、上下動作用のアクチュエータと、このアクチュエータによって上下させられる可動ベースと、この可動ベースに設けられた回転用のモータと、このモータによって鉛直軸周りに回転させられる回転ユニットと、上記基板の下面中央部を真空吸着するように上記回転ユニットの上部に設けられた複数の真空吸着盤と、これら複数の真空吸着盤に真空状態を発生させるための真空ポンプとを有して構成されている、請求項1ないし8のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 上記エアステージの中央部には、開口部が形成されているとともに、この中央開口部と対応する位置に上記回転手段が配置されており、
上記回転手段はさらに、上記複数の真空吸着盤が嵌入可能な複数の穴をもち、上記回転ユニットの上部に緩衝器を介して支持された補助プレートを有しており、この補助プレートは、上記可動ベースが所定の下位置をとるとき、上記複数の真空吸着盤よりも上方に位置して上記中央開口部を平坦に塞ぐように構成されている、請求項9に記載の基板搬送装置。 - 上記補助プレートは、上記エアステージ上に上記基板が配置された状態で上記可動ベースが所定の上位置をとるとき、上記基板に押し返されることで上記緩衝器の弾力に抗して変位させられ、上記複数の真空吸着盤が上記複数の穴に嵌入した状態で当該基板の下面中央部を真空吸着するように構成されている、請求項10に記載の基板搬送装置。
- 上記エアステージには、上記基板の相対する角部を挟持可能なクランプ機構が設けられている、請求項1ないし11のいずれかに記載の基板搬送装置。
- 上記クランプ機構は、上記エアステージの端部上方に設けられており、上記基板の角部に当接可能なローラを鉛直方向および水平方向に移動させるように構成されている、請求項12に記載の基板搬送装置。
- 上記クランプ機構が位置する上記エアステージの端部には、当該エアステージの下方適部に緩衝器を介して支持された補助プレートが設けられており、この補助プレートは、上記クランプ機構のローラが所定の上位置をとるとき、上記エアステージの上面に沿って平坦な面をなす一方、上記ローラが所定の下位置をとるとき、このローラに押されることで上記緩衝器の弾力に抗して下方に変位させられ、そのまま当該ローラが水平方向に前進移動して上記基板の角部に当接するように構成されている、請求項13に記載の基板搬送装置。
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