KR102201107B1 - 증착 장치 및 이를 이용한 마스크 조립체의 정렬 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 증착 물질을 분사하는 증착원, 상기 증착원과 이격되어 있으며 상기 증착 물질이 소정 패턴으로 증착되도록하는 마스크, 상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임, 상기 마스크 프레임을 고정하는 적어도 하나 이상의 마스크 스테이지, 상기 마스크 스테이지에 설치되어 있으며 상기 마스크 프레임의 위치를 조절하는 적어도 하나 이상의 프레임 위치 조절기를 포함할 수 있다.

Description

증착 장치 및 이를 이용한 마스크 조립체의 정렬 방법{DEPOSITION APPARATUS AND ALIGNING METHOD OF MASK ASSEMBLY USNIG THE SAME}
본 발명은 증착 장치 및 이를 이용한 마스크 조립체의 정렬 방법에 관한 것으로서, 보다 상세게는 유기 발광층 또는 금속층 등의 박막의 증착 공정에 사용되는 박막 증착용 마스크 조립체를 포함하는 증착 장치 및 이를 이용한 마스크 조립체의 정렬 방법에 관한 것이다.
평판 표시 장치로서 액정 표시 장치(LCD)와 유기 발광 표시 장치(OLED)가 알려져 있다. 평판 표시 장치는 특정 패턴의 금속층을 포함하며, 유기 발광 표시 장치의 경우 화소마다 특정 패턴의 유기 발광층을 형성하고 있다. 금속층과 유기 발광층을 형성하는 방법으로 마스크를 이용한 증착법이 적용될 수 있다.
이러한 마스크는 평판 표시 장치가 대형화될수록 마스크의 패턴 개구부의 크기의 불균일, 화소 위치 정확도(PPA, Pixel Position Accuracy) 감소 등의 현상이 발생하게 되었다.
본 발명은 전술한 배경 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 마스크에 인가되는 인장력의 가감이 가능하고, 마스크 프레임의 비틀림을 방지할 수 있는 증착 장치 및 이를 이용한 마스크 조립체의 정렬 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 증착 물질을 분사하는 증착원, 상기 증착원과 이격되어 있으며 상기 증착 물질이 소정 패턴으로 증착되도록하는 마스크, 상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임, 상기 마스크 프레임을 고정하는 적어도 하나 이상의 마스크 스테이지, 상기 마스크 스테이지에 설치되어 있으며 상기 마스크 프레임의 위치를 조절하는 적어도 하나 이상의 프레임 위치 조절기를 포함할 수 있다.
상기 프레임 위치 조절기는 상기 마스크 스테이지의 하부에 연결되는 하부 프레임 위치 조절기, 상기 마스크 스테이지의 상부에 연결되는 상부 프레임 위치 조절기를 포함할 수 있다.
상기 하부 프레임 위치 조절기는 하부 지지부, 상기 하부 지지부에 설치되어 있으며 구동력을 발생시키는 하부 구동부, 상기 하부 구동부에 연결되어 있으며 상기 구동력을 이용하여 상기 마스크 프레임의 위치를 조절하는 하부 구동력 전달부를 포함하고, 상기 상부 프레임 위치 조절기는 상부 지지부, 상기 상부 지지부에 설치되어 있으며 구동력을 발생시키는 상부 구동부, 상기 상부 구동부에 연결되어 있으며 상기 구동력을 이용하여 상기 마스크 프레임의 위치를 조절하는 상부 구동력 전달부를 포함할 수 있다.
상기 하부 구동부 및 상부 구동부는 모터이고, 상기 하부 구동력 전달부 및상부 구동력 전달부는 나사부일 수 있다.
상기 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기에 설치되어 있는 방진기를 더 포함할 수 있다.
상기 하부 프레임 위치 조절기의 수와 상부 프레임 위치 조절기의 수는 다를수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 이용한 마스크 조립체의 정렬 방법은 마스크 및 마스크 프레임을 포함하는 마스크 조립체를 제조하는 단계, 하부 및 상부 중 적어도 어느 하나의 위치를 이동시켜 상기 마스크 프레임을 조정하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 마스크 프레임을 조정하는 단계는 상기 마스크 조립체를 고정하는 마스크 스테이지에 설치되어 있는 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기를 사용하여 상기 마스크 프레임의 하부 및 상부의 위치를 동일하게 이동시켜 마스크에 인가되는 인장력을 가감시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 마스크 프레임을 조정하는 단계는 상기 마스크 조립체를 고정하는 마스크 스테이지에 설치되어 있는 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기를 사용하여 상기 마스크 프레임의 상부의 위치를 하부의 위치보다 많이 이동시켜 마스크 프레임의 비틀림을 조절하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 하부 프레임 위치 조절기는 상기 마스크 스테이지의 하부에 연결되고, 상기 상부 프레임 위치 조절기는 상기 마스크 스테이지의 상부에 연결될 수 있다.
상기 하부 프레임 위치 조절기는 하부 지지부, 상기 하부 지지부에 설치되어 있으며 구동력을 발생시키는 하부 구동부, 상기 하부 구동부에 연결되어 있으며 상기 구동력을 이용하여 상기 마스크 프레임의 위치를 조절하는 하부 구동력 전달부를 포함하고, 상기 상부 프레임 위치 조절기는
상부 지지부, 상기 상부 지지부에 설치되어 있으며 구동력을 발생시키는 상부 구동부, 상기 상부 구동부에 연결되어 있으며 상기 구동력을 이용하여 상기 마스크 프레임의 위치를 조절하는 상부 구동력 전달부를 포함할 수 있다.
상기 하부 구동부 및 상부 구동부는 모터이고, 상기 하부 구동력 전달부 및 상부 구동력 전달부는 나사부일 수 있고, 상기 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기에 설치되어 있는 방진기를 더 포함할 수 있다.
상기 하부 프레임 위치 조절기의 수와 상부 프레임 위치 조절기의 수는 다를 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 마스크 스테이지의 하부에 연결되는 하부 프레임 위치 조절기, 마스크 스테이지의 상부에 연결되는 상부 프레임 위치 조절기를 설치함으로써, 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기를 사용하여 마스크 프레임의 상부 및 하부의 위치를 각각 이동시킬 수 있으므로 마스크 프레임의 상부의 위치를 마스크 프레임의 하부의 위치보다 많이 이동시킬 수 있다. 따라서, 인장력에 의해 비틀어진 마스크 프레임에서 비틀림을 제거할 수 있다. 따라서, 마스크 프레임의 비틀림 변형으로 인해 마스크와 기판간의 간격이 증가된 것을 보정할 수 있다.
또한, 마스크와 기판간의 간격을 줄일 수 있으므로 마스크에 의해 가려지는 차단 영역의 증가에 의한 증착 공정에서의 불량을 최소화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 측면도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 이용한 마스크 조립체의 정렬 방법을 순서대로 도시한 도면으로서, 마스크 프레임의 비틀림을 제거하여 마스크 조립체를 정렬하는 방법에 관한 도면이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 이용한 마스크 조립체의 정렬 방법을 순서대로 도시한 도면으로서, 마스크 프레임의 수평 방향 이도을 통해 마스크 조립체를 정렬하는 방법에 관한 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 증착 장치의 평면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 또는 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분의 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 또한, "~ 상에" 또는 "~ 위에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것을 의미하며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상측에 위치하는 것을 의미하지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 평면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 측면도이다.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는 증착 챔버(1), 증착원(10), 마스크(Mask)(20), 마스크 프레임(Mask Frame)(30), 적어도 하나 이상의 마스크 스테이지(40), 적어도 하나 이상의 프레임 위치 조절기(50), 및 프레임 위치 조절기(50)를 증착 챔버(1)에 고정시키는 고정 부재(70)를 포함한다.
증착 챔버(1)는 증착 공정을 진행하며 진공을 유지한다.
증착원(10)은 증착 챔버(1) 내에 설치되어 있으며 증착 물질을 분사한다. 증착원(10)은 가열 부재를 이용하여 증착 물질이 채워지는 증착 용기를 가열하여 증착 물질을 상방으로 분사시킨다. 이러한 증착원(10)은 복수개가 형성될 수 있다.
마스크(20)는 증착원(10)과 이격되어 있으며 증착 물질이 소정 패턴으로 증착되도록 한다. 마스크(20)는 길이(L)와 폭(W)을 가지는 사각형의 얇은 금속 판재로 형성되고, 복수개의 패턴 개구부(20a)가 형성되어 있다. 복수개의 패턴 개구부(20a)는 증착하고자 하는 박막과 같은 모양으로 형성된다. 따라서 증착 공정에서 증착 물질은 패턴 개구부(20a)를 통과해 기판(100) 상에 증착되어 원하는 모양의 박막(금속층 또는 유기 발광층 등)을 형성하게 된다.
마스크(20)는 증착원(10)의 상방에 위치하며, 마스크(20)와 소정 간격 이격되어 상방에 기판(100)이 위치하게 된다.
마스크 프레임(30)은 마스크(20)를 지지하고, 마스크(20)의 크기보다 큰 외곽을 갖는 사각틀 형상을 가지며, 마스크(20)는 마스크 프레임(30)에 용접 등의 방법으로 고정된다.
마스크 프레임(30)은 사각틀 형상을 이루는 4변을 가지며, 4변 각각은 마스크(20)와 접하는 프레임 상부면(30a)을 포함한다. 마스크 프레임(30)은 프레임 상부면(30a)에서 아래 방향으로 연장되어 소정 높이(h)를 가지며 프레임 상부면(30a)에 가까운 단부는 마스크 프레임(30)의 상부(32)이고, 프레임 상부면(30a)에서 먼 단부는 마스크 프레임(30)의 하부(31)이다.
마스크(20)를 인장한 상태에서 마스크(20)를 마스크 프레임(30) 상에 용접하여 마스크 조립체를 완성한다. 증착 장치에서 마스크 프레임(30)은 일반적으로 높은 가공 정밀도를 지닌 고정된 하나의 몸체로 제조된 것을 이용하고 있다. 이에 따라 마스크(20)가 인장되고 용접된 후에는 마스크(20)에 인가된 인장력을 감소시키거나 증가시키는 것이 불가능하게 된다. 이와 같이, 마스크(20)에 추가적인 인장력의 가감이 불가능하기 때문에 마스크(20)의 인장 공정과 마스크 프레임(30) 상에 용접을 진행하는 공정에서 많은 시간과 노력이 소모되며 만일 마스크(20)의 인장 및 용접 공정이 잘못 진행되었을 경우 사용된 마스크(20)를 폐기해야 하는 경우가 발생하게 된다. 또한 증착 공정에 마스크(20) 및 마스크 프레임(30)이 이용된 후 마스크(20)의 패턴 개구부의 크기의 불균일 및 화소 위치 정확도 감소 등의 현상이 발생 할 수 있으며, 이러한 현상의 발생시 마스크 프레임(30) 상에 인장 용접된 마스크(20)는 마스크 프레임(30)에서 분리된 후 폐기된다. 이러한 마스크(20)의 폐기를 방지하기 위해 마스크(20)에 인가되는 인장력의 가감이 가능한 마스크 프레임(30)이 제안되었다. 그러나, 마스크 프레임(30)의 하나의 변 전체를 동일한 이동량으로 인장력을 가감하는 방식이어서 실제 부분적인 마스크의 변형이 필요한 경우 대응이 되지 않으며, 인장력의 가감은 가능하지만 마스크 프레임(30)의 비틀림에 대한 대응책은 없었다.
즉, 마스크(20)의 무게에 의해 마스크(20)의 중심부가 처져 마스크(20)의 패턴 개구부(20a)가 변형되는 것을 방지하기 위해 마스크(20)의 양측면을 서로 반대 방향으로 인장시킨 상태에서 마스크 프레임(30)에 용접 등의 방법으로 마스크(20)를 부착하므로 마스크 프레임(30)에는 마스크 프레임(30)을 단면에서 보았을 경우 마스크 프레임(30)이 비틀어지는 현상인 비틀림(Torsion)이 발생하게 된다. 따라서, 마스크 프레임(30)이 기울어지게 되어 마스크 프레임(30)의 4변의 상부(32)가 4변의 하부(31)보다 더 가까워지게 되므로 마스크 프레임(30)이 비틀리게 된다.
따라서, 마스크 조립체를 증착 장치 내에서 사용할 경우 마스크 프레임(30)의 비틀림 현상에 의해 마스크(20)가 설정 위치보다 낮은 위치에 놓이게 증착 물질이 증착되는 기판과 마스크(20) 간의 간격이 설정치에 비해 증가하게 된다. 이와 같이, 기판과 마스크(20)간의 간격이 증가하는 경우에는 마스크(20)에 의해 가려지는 차단 영역이 증가하므로, 증착 물질이 증착 영역보다 더 넓은 위치에 증착되어 증착 공정에서 불량이 나타나게 된다.마스크 스테이지(40)는 마스크 프레임(30)의 4변이 모두 고정되도록 마스크 프레임(30)이 고정되는 스테이지 홈(40a)이 형성되어 있다. 마스크 프레임(30)은 스테이지 홈(40a)에 삽입되어 마스크 스테이지(40)에 고정된다. 이러한 마스크 스테이지(40)는 마스크 프레임(30)의 한 변에 적어도 하나 이상 설치될 수 있다.
적어도 하나 이상의 프레임 위치 조절기(50)는 마스크 프레임(30)의 위치를 조절한다. 프레임 위치 조절기(50)는 마스크 스테이지(40)의 하부에 연결되는 하부 프레임 위치 조절기(51), 마스크 스테이지(40)의 상부에 연결되는 상부 프레임 위치 조절기(52)를 포함한다.
하부 프레임 위치 조절기(51)는 하부 지지부(511), 하부 지지부(511)에 설치되어 있으며 구동력을 발생시키는 하부 구동부(512), 하부 구동부(512)에 연결되어 있으며 구동력을 이용하여 마스크 프레임(30)의 위치를 조절하는 하부 구동력 전달부(513)를 포함한다.
하부 지지부(511)는 육면체 형상의 틀일 수 있으며, 하부 구동부(512)는 하부 지지부(511)의 내부에 설치 및 고정되어 있다. 하부 구동력 전달부(513)의 일단부(5131)는 하부 구동부(512)에 연결되어 있고, 하부 구동력 전달부(513)의 타단부(5132)는 마스크 프레임(30)의 하부(31)에 형성된 나사홈(40b)에 체결되어 있다. 상부 프레임 위치 조절기(52)는 상부 지지부(521), 상부 지지부(521)에 설치되어 있으며 구동력을 발생시키는 상부 구동부(522), 상부 구동부(522)에 연결되어 있으며 구동력을 이용하여 마스크 프레임(30)의 위치를 조절하는 상부 구동력 전달부(523)를 포함한다.
상부 지지부(521)는 육면체 형상의 틀일 수 있으며, 상부 구동부(522)는 상부 지지부(521)의 내부에 설치 및 고정되어 있다. 상부 구동력 전달부(523)의 일단부(5231)는 상부 구동부(522)에 연결되어 있고, 상부 구동력 전달부(523)의 타단부(5232)는 마스크 프레임(30)의 하부(31)에 형성된 나사홈(40b)에 체결되어 있다.
하부 구동부(512) 및 상부 구동부(522)는 모터 등일 수 있고, 하부 구동력 전달부(513) 및 상부 구동력 전달부(523)는 나사부 등일 수 있다.
모터인 상부 구동부(522)를 이용하여 나사부인 상부 구동력 전달부(523)를 회전시킴으로써, 상부 구동력 전달부(523)에 부착된 마스크 스테이지(40)의 상부(32)를 증착 챔버(1) 쪽으로 이동시키고, 하부 구동부(512)를 이용하여 하부 구동력 전달부(513)를 회전시킴으로써, 하부 구동력 전달부(513)에 부착된 마스크 스테이지(40)의 하부(31)를 마스크(20)의 중앙부쪽으로 이동시킬 수 있다.
이와 같이, 하부 프레임 위치 조절기(51) 및 상부 프레임 위치 조절기(52)를 사용하여 마스크 프레임(30)의 상부(32) 및 하부(31)의 위치를 각각 별개로 이동시킬 수 있으므로 마스크 프레임(30)의 상부(32)의 위치를 마스크 프레임(30)의 하부(31)의 위치와 다르게 할 수 있다. 따라서, 마스크 프레임(30)의 상부(32)와 하부(31)에 가해지는 인장력의 불균형에 의해 비틀어진 마스크 프레임(30)의 인장력을 균일하게 할 수 있다.
따라서, 마스크 프레임(30)의 비틀림 변형으로 인해 마스크(20)와 기판(100)간의 간격(d)이 증가된 것을 보정할 수 있다.
또한, 하부 프레임 위치 조절기(51) 및 상부 프레임 위치 조절기(52)를 사용하여 마스크 프레임(30)의 상부(32) 및 하부(31)의 위치를 동일하게 이동시킬 수 있다.
즉, 모터인 상부 구동부(522)를 이용하여 나사부인 상부 구동력 전달부(523)를 회전시킴으로써, 상부 구동력 전달부(523)에 부착된 마스크 스테이지(40)의 상부(32)를 증착 챔버(1) 쪽으로 이동시키고, 하부 구동부(512)를 이용하여 하부 구동력 전달부(513)를 회전시킴으로써, 하부 구동력 전달부(513)에 부착된 마스크 스테이지(40)의 하부(31)를 상부(32)와 동일하게 증착 챔버(1) 쪽으로 이동시킬 수 있다. 또한, 상부 구동부(522)를 이용하여 상부 구동력 전달부(523)를 회전시킴으로써, 상부 구동력 전달부(523)에 부착된 마스크 스테이지(40)의 상부(32)를 마스크(20)의 중앙부쪽으로 이동시키고, 하부 구동부(512)를 이용하여 하부 구동력 전달부(513)를 회전시킴으로써, 하부 구동력 전달부(513)에 부착된 마스크 스테이지(40)의 하부(31)를 상부(32)와 동일하게 마스크(20)의 중앙부쪽으로 이동시킬 수 있다.
이 경우, 마스크 프레임(30)에 수평 방향 힘을 인가할 수 있으며, 이를 통해 마스크 프레임(30)에 인장 용접되어 있는 마스크(20)에 인가되는 인장력을 조절할 수 있으며 이를 통해 마스크(20)의 패턴 개구부(20a)의 위치를 조절할 수 있다.
이와 같이, 하부 프레임 위치 조절기(51) 및 상부 프레임 위치 조절기(52)를 사용하여 마스크(20)에 추가적으로 인장력을 가감할 수 있어 마스크(20)와 마스크 프레임(30)간의 최초 인장 용접 공정에 들이는 시간과 노력을 줄일 수 있다.
또한, 마스크(20)와 마스크 프레임(30)간의 최초 인장 용접 공정이 원하는 정밀도로 진행되지 않은 경우 마스크(20)를 마스크 프레임(30)에서 분리하여 폐기하였으나, 하부 프레임 위치 조절기(51) 및 상부 프레임 위치 조절기(52)를 사용하여 마스크(20)에 인가된 인장력을 늘이거나 줄임으로써, 마스크(20)의 정밀도를 원하는 수치로 맞출 수 있고, 마스크(20)의 패턴 개구부의 크기, 균일도 및 화소 위치 정확도(PPA)를 조절할 수 있어 폐기되는 마스크를 최소화할 수 있으며, 마스크 교체에 필요한 시간이 줄어들므로 증착 장치의 연속 가동 시간이 늘어나 생산성이 향상된다.
하부 프레임 위치 조절기(51) 및 상부 프레임 위치 조절기(52)에는 각각 하부 지지부(511) 및 상부 지지부(521)에서 연장되어 하부 구동부(512) 및 하부 구동력 전달부(513)와 상부 구동부(522) 및 상부 구동력 전달부(523)을 덮고 있는 방진기(60)가 설치되어 있다. 방진기(60)는 하부 구동부(512), 상부 구동부(522), 하부 구동력 전달부(513) 및 상부 구동력 전달부(523)에서 발생하는 먼지 등의 파티클(particle)이 기판 위에 증착하는 것을 방지한다. 이러한 방진기(60)는 하부 구동부(512), 상부 구동부(522), 하부 구동력 전달부(513) 및 상부 구동력 전달부(523)를 외부와 차단하는 구조로서, 오링(o??ring) 또는 벨로우즈 밸브(bellow valve)를 사용할 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 이용한 마스크 조립체의 정렬 방법에 대해 이하에서 도 3 내지 도 6을 참고로 상세히 설명한다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 이용한 마스크 조립체의 정렬 방법을 순서대로 도시한 도면으로서, 마스크 프레임의 비틀림을 제거하여 마스크 조립체를 정렬하는 방법에 관한 도면이고, 도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 이용한 마스크 조립체의 정렬 방법을 순서대로 도시한 도면으로서, 마스크 프레임의 수평 방향 이동을 통해 마스크 조립체를 정렬하는 방법에 관한 도면이다.
우선, 도 3에 도시한 바와 같이, 마스크(20)에 가해진 인장력에 의해 마스크 프레임(30)이 비틀린 상태에서는 도 4에 도시한 바와 같이, 하부 프레임 위치 조절기(51) 및 상부 프레임 위치 조절기(52)를 사용하여 마스크 프레임(30)의 상부(32)의 위치를 하부(31)의 위치보다 많이 이동시켜 마스크 프레임(30)의 비틀림을 제거할 수 있다.
또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 하부 프레임 위치 조절기(51) 및 상부 프레임 위치 조절기(52)를 사용하여 마스크 프레임(30)의 하부(31) 및 상부(32)의 위치를 동일하게 이동시켜 마스크(20)에 인가되는 인장력을 증가시킬 수 있으며, 도 6에 도시된 바와 같이 마스크(20)에 인가되는 인장력을 감소시킬 수도 있다.
한편, 상기 일 실시예에서는 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기가 마스크 프레임(30)의 한 변에 복수개 설치되었으나, 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기가 마스크 프레임(30)의 한 변에 하나가 설치되는 다른 실시예도 가능하다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 평면도이다
도 7에 도시된 다른 실시예는 도 1 및 도 2에 도시된 일 실시예와 비교하여 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기의 수가 다른 것만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.
도 7에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치의 마스크 프레임(30)을 고정하는 마스크 스테이지(40)는 마스크 프레임(30)의 각 변에 하나씩 설치되어 있다. 그리고, 각 변에 설치된 마스크 스테이지(40)에는 하나의 프레임 위치 조절기(50)가 연결되어 있다. 프레임 위치 조절기(50)는 지지부(501), 지지부(501)에 설치되어 있으며 구동력을 발생시키는 구동부(502), 구동부(512)에 연결되어 있으며 구동력을 이용하여 마스크 프레임(30)의 위치를 조절하는 구동력 전달부(503)를 포함한다.
이와 같이, 마스크 스테이지(40)에 설치되는 프레임 위치 조절기(50)를 마스크 프레임(30)의 각 변에 하나씩 설치함으로써, 마스크에 가감되는 인장력을 용이하게 조절할 수 있다.
한편, 상기 일 실시예에서는 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기의 수가 서로 동일하였으나, 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기의 수가 서로 다른 또 다른 실시예도 가능하다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 증착 장치의 평면도이다
도 8에 도시된 또 다른 실시예는 도 1 및 도 2에 도시된 일 실시예와 비교하여 하부 프레임 위치 조절기와 상부 프레임 위치 조절기의 수가 서로 다른 것만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.
도 8에 도시한 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 증착 장치의 프레임 위치 조절기(50)는 마스크 스테이지(40)의 하부에 연결되는 하부 프레임 위치 조절기(51), 마스크 스테이지(40)의 상부에 연결되는 상부 프레임 위치 조절기(52)를 포함한다.
이러한 하부 프레임 위치 조절기(51)와 상부 프레임 위치 조절기(52)의 수는 서로 다를 수 있다. 도 8에는 마스크 프레임(30)의 상측 변 및 하측 변에 설치된 하부 프레임 위치 조절기(51)의 수가 2개이고, 상부 프레임 위치 조절기(52)의 수가 1개인 실시예가 도시되어 있다.
이와 같이, 하부 프레임 위치 조절기(51)와 상부 프레임 위치 조절기(52)의 수를 서로 다르게 함으로써, 마스크 프레임(30)의 비틀림을 보다 용이하게 조절할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
20: 마스크 30: 마스크 프레임
40: 마스크 스테이지 50: 프레임 위치 조절기
51: 하부 프레임 위치 조절기 52: 상부 프레임 위치 조절기
60: 방진기

Claims (14)

  1. 증착 물질을 분사하는 증착원,
    상기 증착원과 이격되어 있으며 상기 증착 물질이 소정 패턴으로 증착되도록하는 마스크,
    상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임,
    상기 마스크 프레임을 고정하는 적어도 하나 이상의 마스크 스테이지, 및
    상기 마스크 스테이지에 설치되어 있으며 상기 마스크 프레임의 위치를 조절하는 적어도 하나 이상의 프레임 위치 조절기
    를 포함하고,
    상기 프레임 위치 조절기는
    상기 마스크 스테이지의 하부에 연결되는 하부 프레임 위치 조절기, 및
    상기 마스크 스테이지의 상부에 연결되는 상부 프레임 위치 조절기를 포함하는 증착 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 하부 프레임 위치 조절기는
    하부 지지부,
    상기 하부 지지부에 설치되어 있으며 구동력을 발생시키는 하부 구동부,
    상기 하부 구동부에 연결되어 있으며 상기 구동력을 이용하여 상기 마스크 프레임의 위치를 조절하는 하부 구동력 전달부
    를 포함하고,
    상기 상부 프레임 위치 조절기는
    상부 지지부,
    상기 상부 지지부에 설치되어 있으며 구동력을 발생시키는 상부 구동부,
    상기 상부 구동부에 연결되어 있으며 상기 구동력을 이용하여 상기 마스크 프레임의 위치를 조절하는 상부 구동력 전달부
    를 포함하는 증착 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 하부 구동부 및 상부 구동부는 모터이고, 상기 하부 구동력 전달부 및상부 구동력 전달부는 나사부인 증착 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기에 설치되어 있는 방진기를 더 포함하는 증착 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 하부 프레임 위치 조절기의 수와 상부 프레임 위치 조절기의 수는 다른 증착 장치.
  7. 마스크 및 마스크 프레임을 포함하는 마스크 조립체를 제조하는 단계, 및
    상기 마스크 프레임의 하부 및 상부 중 적어도 어느 하나의 위치를 이동시켜 상기 마스크 프레임을 조정하는 단계
    를 포함하고,
    상기 마스크 프레임을 조정하는 단계는 상기 마스크 조립체를 고정하는 마스크 스테이지에 설치되어 있는 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기를 사용하여 상기 마스크 프레임의 하부 및 상부의 위치를 동일하게 이동시켜 마스크에 인가되는 인장력을 가감시키는 단계를 포함하는 마스크 조립체의 정렬 방법.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 마스크 프레임을 조정하는 단계는 상기 마스크 조립체를 고정하는 마스크 스테이지에 설치되어 있는 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기를 사용하여 상기 마스크 프레임의 상부의 위치를 하부의 위치보다 많이 이동시켜 마스크 프레임의 비틀림을 조절하는 단계
    를 포함하는 마스크 조립체의 정렬 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 하부 프레임 위치 조절기는 상기 마스크 스테이지의 하부에 연결되고, 상기 상부 프레임 위치 조절기는 상기 마스크 스테이지의 상부에 연결되는 마스크 조립체의 정렬 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 하부 프레임 위치 조절기는
    하부 지지부,
    상기 하부 지지부에 설치되어 있으며 구동력을 발생시키는 하부 구동부,
    상기 하부 구동부에 연결되어 있으며 상기 구동력을 이용하여 상기 마스크 프레임의 위치를 조절하는 하부 구동력 전달부
    를 포함하고,
    상기 상부 프레임 위치 조절기는
    상부 지지부,
    상기 상부 지지부에 설치되어 있으며 구동력을 발생시키는 상부 구동부,
    상기 상부 구동부에 연결되어 있으며 상기 구동력을 이용하여 상기 마스크 프레임의 위치를 조절하는 상부 구동력 전달부
    를 포함하는 마스크 조립체의 정렬 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 하부 구동부 및 상부 구동부는 모터이고, 상기 하부 구동력 전달부 및 상부 구동력 전달부는 나사부인 마스크 조립체의 정렬 방법.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 하부 프레임 위치 조절기 및 상부 프레임 위치 조절기에 설치되어 있는 방진기를 더 포함하는 마스크 조립체의 정렬 방법.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 하부 프레임 위치 조절기의 수와 상부 프레임 위치 조절기의 수는 다른 마스크 조립체의 정렬 방법.
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