JPH08229482A - 枚葉塗工装置およびその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 枚葉塗工により得られる塗膜の膜厚の均一性
を高める。 【解決手段】 塗料供給装置２により塗料が供給され、
この塗料を吐出する塗料吐出装置３に対して、被塗工材
８を吸着保持して相対的に移動するステージ４の位置を
位置センサ５により検出し、制御装置７により塗料吐出
装置３を昇降させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は枚葉塗工装置およ
びその方法に関し、さらに詳細にいえば、精密塗工用の
ダイコータを用いて枚葉塗工を行うための装置およびそ
の方法に関する。そして、液晶ディスプレイ用のカラー
フィルタを作成するために基板上に塗膜を形成する場合
の他、例えばレジスト塗工等の半導体製造分野、紫外線
吸収層塗工等の光学フィルタ製造分野等の液体状の塗料
を枚葉方式で供給される被塗工材の表面に薄く均一に塗
工する分野に好適である。

【０００２】

【従来の技術】従来から液晶ディスプレイ用のカラーフ
ィルタを製造するための塗工工程を行うに当って、スピ
ナー、バーコータ、ロールコータが用いられていたが、
塗料の利用効率の向上が強く要求され、また得られる塗
膜の物性を向上させることが強く要求されるようになっ
てきたので、近年に至って、ダイコータを用いることが
検討され始めてきた。

【０００３】ダイコータは、従来から厚膜塗工や、高粘
度塗料を連続塗布する用途に広く採用されており、ダイ
コータを用いて被塗工材に塗膜を形成する場合には、米
国特許第４，２３０，７９３号、米国特許第４，６９
６，８８５号、米国特許第２，７６１，７９１号に見ら
れるように、カーテンフロー法、押し出し法、ビード法
などの塗工方法が知られる。中でも上記ビード法は、ダ
イコータの口金に設けられたスリットから塗料を吐出し
て、口金と一定の間隔を保って相対的に走行する被塗工
材との間に塗料ビードと呼ばれる塗料溜りを形成し、こ
の状態で被塗工材の走行に伴なって塗料を引き出して塗
膜を形成する。そして、塗膜形成により消費される塗料
と同量の塗料をスリットから供給することにより塗膜を
連続的に形成するこの方法を採用すれば、形成された塗
膜は膜厚の均一性をかなり高精度に達成できる。また、
塗料の無駄が殆どなく、さらにスリットから吐出される
まで塗料送液経路が密閉されているのであるから、塗料
の変質、異物の混入を防止でき、得られる塗膜の品質を
高く維持できるという長所を有する。

【０００４】一方、例えば特開平５−２８５４３６号公
報には、ダイコータに塗料を送液するために定量ポンプ
としてギアポンプが採用されている。このような構成を
採用すれば、ギアポンプにより比較的脈流のない送液が
可能である。また、特開平６−３３９６５６号公報にお
いては、塗料の送液は塗料を保持した密閉容器を加圧し
て供給するいわゆる圧送法が開示されている。これらの
方法によると送液の安定した領域を利用し長尺の被塗工
材の表面にほぼ均一な塗膜を形成することができると思
われる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、枚葉方式で供
給される被塗工材に対し、ダイコータにより上記ビード
法を採用して塗膜を形成しようとすれば、被塗工材への
塗工が必然的に断続的になってしまうのであるから、被
塗工材の塗工開始位置、塗工終了位置で確実に塗膜形成
開始・終了を確実に行うためには、被塗工材の塗工位置
との関係で確実に送液を開始、終了を行う必要があり、
定量ポンプには優れた即応答性が要求される。しかるに
上記従来方法には、かかる配慮をした塗工方法が提案さ
れていない。

【０００６】また、ダイから塗料を連続的に吐出してい
るか間欠的に吐出しているかに拘らず、被塗工材の塗工
開始位置、塗工終了位置では塗料ビードが乱れ、あるい
は塗料ビードが消滅する。そして、塗工の全範囲にわた
って塗工に適した安定な塗料ビードを保持することが困
難になり、塗料ビードが安定状態になるまでは均一な塗
膜が得られなくなってしまうという問題がある。このよ
うな不都合は短寸の被塗工材であっても、長尺の被塗工
材であっても同様に発生するのであるが、短寸の被塗工
材の場合には、全長に対して均一な膜厚の塗膜が得られ
る長さの割合が小さいのに対して、長尺の被塗工材の場
合にはこの割合が大きくなるので、ビード法は、特公昭
４３−２４１３３号公報に「ビードコーティングでは、
断続した支持体では、安定したビードを保持することが
不可能なので連続した支持体にのみ応用できる。」とあ
るように、一般には長尺の被塗工材に対してダイコータ
による塗工が行われていた。

【０００７】従って、上記の構成のダイコータを枚葉間
欠塗工に適用しようとすれば、例えばギアポンプを採用
した場合ギアポンプを構成するギアにトップクリアラン
ス、サイドクリアランスと呼ばれるギャップがあり、そ
のシール性は液（塗料）によることが多いのであるか
ら、比較的短いインターバルで塗工開始、塗工終了が反
復される枚葉間欠塗工に適用すると、これらの動作に時
間的な遅れを生じる可能性があるのみならず、送液の定
量性を確保できない可能性がある。この結果、被塗工材
の表面に形成される塗膜の均一性が損なわれてしまうこ
とになる。

【０００８】また、前述した特開平６−３３９６５６号
公報に記載の技術は、塗料供給手段に加圧圧送を採用し
たために原理的に不可避な送液の時間的遅れが生じるこ
とになる。同公報ではこれを補償せんとして予め見込ん
だ時間だけ塗工に先立って加圧を開始する技術を提案し
ているが、現実問題として圧力上昇を見込んで送液開始
のタイミングをコントロールするのは困難である。

【０００９】しかし、単に優れた即応答性を示す定量ポ
ンプを用いて塗料を塗料吐出装置に供給することにより
塗料を吐出させるとともに、塗料が表面に供給される被
塗工材を所定速度で走行させるだけでは、塗料吐出装置
と被塗工材との間に形成される塗料ビードを安定させる
ことが困難であり、この結果、塗料ビードが安定した状
態で塗膜の形成が行われる領域（膜厚がほぼ均一な領
域）が被塗工材の全範囲に対して著しく小さくなってし
まう。また、膜厚が均一な領域における膜厚に対して、
それ以外の領域における膜厚のばらつきが著しく大きく
なってしまい、後に行われるフォトリソグラフィ工程な
どにおける加工精度が低下してしまい、所期の品質の製
品を得ることができない可能性が高くなってしまう。さ
らに、被塗工材の全範囲に対する塗膜形成範囲の割合を
余り大きくすることができなくなってしまう可能性が高
い。

【００１０】前述の特開平６−３３９６５６号公報にお
いても、塗工開始時と実質的同時に塗料吐出を如何に行
うかが述べられているだけで塗料ビードの形成や消滅を
制御する方法や塗料ビードの乱れを抑制することについ
ては全く記載されていないのであるから、これらの技術
を採用するといずれの場合にも被塗工材のうち有効活用
することができない長さの割合が大きいために被塗工材
の無駄が著しく多くなる。言い換えれば被塗工材の全長
に対して均一な膜厚の塗膜が得られる長さの割合が小さ
いために、被塗工材に対する有効利用可能割合が小さい
状態での使用しかなされておらず、経済性、高精度薄膜
塗工性、塗料の密閉性というダイコータの特徴を活かし
きれない問題がある。

【００１１】上以外の従来技術の中にはこれら塗工開始
部に着目した技術の開示も見られる。例えば連続した支
持体への塗布においても、特開平１−２１３６４１号公
報には、塗布器にウエブを接近させる塗工開始時にビー
ド前後に印加する圧力を一時的に増減させることで不安
定な塗工先頭のビードの状態を安定化させることが述べ
られているし、特開昭６３−１４８２５１号公報には、
塗料の吐出速度を一時的に大きくすることでビード形成
を促す方法が述べられている。短寸の枚葉基材に関して
も米国特許第４，９３８，９９４号には、パルスを発生
させて接続ビードを形成する方法が開示されている。

【００１２】しかしながら、上記いずれの塗工方法を採
用しても、単尺の葉塗工体に対して塗工方向の膜厚分布
と、これに直交する方向である幅方向の膜厚分布の両者
を、塗工開始直後から均一の膜厚で、しかも次々に供給
される枚葉塗工体に対しても膜厚が変化することなく安
定して塗布できるように両立させることが困難であっ
た。

【００１３】この発明は、上記の問題点を解消せんとし
てなされたものであり、塗工方向および幅方向における
膜厚がほぼ均一な領域の全体に占める割合を大きくする
ことができるとともに、製品の均一な分光特性、平坦
性、加工精度等の品質を高めることができる枚葉塗工装
置およびその方法を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】このような不都合、およ
び枚葉塗工に当って１つの被塗工材の表面に塗布される
べき塗料の量がかなり少なくてよいことを考慮して、本
件発明者は定量ポンプとして、シリンジポンプに代表さ
れるピストン型定量ポンプを採用することを考えた。ピ
ストン型定量ポンプは、これ自体が良好なシール性を有
しており、送液レスポンスに優れるうえ、吐出１ストロ
ーク内では送液速度のリニアリティにも優れているので
あるから、精密な枚葉塗工の用途では非常に有用である
と思われる。

【００１５】前述のビード法による均一安定塗工に必要
な塗料ビードの安定状態とは、塗料ビードを塗料吐出装
置と被塗工材の間に留めようとする力と、持ち去ろうと
する力が、拮抗し丁度バランスのとれた状態である。前
者の力としてはメニスカスを形成する表面張力などが考
えられるし、後者の力としては被塗工材の移動に伴なう
剪断力が挙げられる。従って安定状態にあるビードの形
状は塗料の吐出速度、塗工速度、口金仕様、クリアラン
スという塗工条件、粘度、比重、表面張力などの塗料の
物性、温度などの塗工環境などにより一義的に決定する
ものであり、仮に外的要因などで一時的にビードが乱れ
たとしても自己修復的に前記安定状態を保もとうとする
類のものである。

【００１６】これらの解析を考慮し検討した結果出願人
らは、塗工開始直後から塗工方向及びこれに直交する方
向に均一安定な膜厚の塗膜を得るためには、塗工開始時
に吐出装置と被塗工材を相対的に停止させて塗料を吐出
し、スリット開口幅全域にわたる基板の濡れを確保し、
安定塗工状態の塗料ビードを形成するのに過不足のない
量の塗料を供給して、塗工開始に先立って塗料塗布装置
と被塗工材の間にその塗工条件下で一義的に決定する安
定塗工状態の塗料ビードとほぼ同じ形の塗料ビードを形
成して後に、被塗工材の移動を開始するとよいことを見
い出した。

【００１７】請求項１の枚葉塗工装置は、塗料供給装置
により塗料タンクから塗料吐出装置に塗料を供給し、塗
料吐出装置または被塗工材を保持するステージの少なく
とも一方を相対的に移動させることにより、前記被塗工
材の表面に塗料を塗布する枚葉塗工装置であって、前記
塗料吐出装置に対するステージの相対位置を検出する相
対位置検出手段と、前記塗料供給装置からの塗料の吐出
状態を制御する制御手段とを有している。

【００１８】請求項２の枚葉塗工装置は、定量ポンプを
備えた塗料供給装置により塗料タンクから塗料吐出装置
の塗料吐出用のスリットに塗料を供給し、被塗工材をス
テージにより保持して前記塗料吐出装置の下方所定位置
を塗料吐出方向とほぼ直交する方向に移動させることに
より、前記被塗工材の上面に塗料を塗布する枚葉塗工装
置であって、前記塗料吐出装置に対するステージの相対
位置を検出して前記塗料供給装置を制御する制御手段を
有している。

【００１９】請求項３の枚葉塗工装置は、前記塗料供給
装置が、ピストン型定量ポンプと、このピストン型定量
ポンプを塗料タンク側または塗料吐出装置側に選択的に
連通させる切換え弁とを有している。

【００２０】請求項４の枚葉塗工装置は、前記ピストン
型定量ポンプとしてシリンジ型ポンプを採用している。

【００２１】請求項５の枚葉塗工装置は、前記制御手段
として、前記ステージの相対位置を検出して、前記塗料
吐出装置を昇降させるとともに、塗料供給装置を制御す
るものを採用している。

【００２２】請求項６の枚葉塗工装置は、前記塗料吐出
装置の塗料吐出部に存在する余剰塗料をを拭き取る拭き
取り手段をさらに有している。

【００２３】請求項７の枚葉塗工装置は、前記ステージ
の相対位置を検出して、被塗工材の移載を制御する移載
制御手段をさらに有している。

【００２４】請求項８の枚葉塗工装置は、前記塗料吐出
装置として、塗工上流側に位置する所定位置に減圧室ま
たは加圧室を有するものを採用している。

【００２５】請求項９の枚葉塗工装置は、前記ステージ
の相対位置を検出して、前記減圧室または加圧室の圧力
を制御する圧力制御手段をさらに有している。

【００２６】請求項１０の枚葉塗工装置は、被塗工材と
してカラーフィルタ用基板を採用している。

【００２７】請求項１１の枚葉塗工方法は、定量ポンプ
を備えた塗料供給装置により塗料タンクから塗料吐出装
置の塗料吐出用のスリットに塗料を供給し、被塗工材を
ステージにより保持して前記塗料吐出装置の下方所定位
置を塗料吐出方向とほぼ直交する方向に移動させること
により、前記被塗工材の上面に塗料を塗布する枚葉塗工
方法であって、前記ステージを移動させて被塗工材を搬
送し、この被塗工材の塗工開始位置を塗料吐出装置の直
下に位置させるべく前記ステージを停止させるととも
に、前記ステージの位置を検出して塗料供給装置を動作
させることにより前記塗料吐出装置からの塗料の吐出を
開始し、塗料吐出開始から所定時間が経過した時点で前
記ステージの移動を開始させる方法である。

【００２８】請求項１２の枚葉塗工方法は、前記塗料吐
出装置と塗工遂行状態における被塗工材との間隙が所定
距離になるように塗料吐出装置を下降させた後、前記ス
テージを移動させて被塗工材を搬送し、この被塗工材の
塗工開始位置を塗料吐出装置の直下に位置させるべく前
記ステージを停止させる方法である。

【００２９】請求項１３の枚葉塗工方法は、前記塗料吐
出装置からの塗料吐出を行いつつ前記ステージを動作さ
せて被塗工材をその塗工終了位置が塗料吐出装置の直下
に位置するまで搬送し、該塗工終了位置が前記塗料吐出
装置の直下に位置したことを検出して、この塗工終了位
置または塗工終了位置よりも後方の所定位置が前記塗料
吐出装置の直下に位置した状態で塗料供給装置を反転動
作させて塗料吐出装置と被塗工材との間に存在する塗料
を吸引する方法である。

【００３０】請求項１４の枚葉塗工方法は、前記被塗工
材の塗工終了位置が塗料吐出装置の直下に位置した時点
において、前記塗料供給装置を反転動作させて塗料吐出
装置と被塗工材との間に存在する塗料を吸引する方法で
ある。

【００３１】請求項１５の枚葉塗工方法は、前記塗料吐
出装置を通して塗料を吸引した後、前記塗料供給装置を
さらに反転動作させて塗料吐出装置の塗料吐出経路に塗
料を充填する方法である。

【００３２】請求項１６の枚葉塗工方法は、前記塗料吐
出装置からの塗料吐出を行いつつ前記ステージを動作さ
せて被塗工材をその塗工終了位置が塗料吐出装置の直下
に位置するまで搬送し、前記塗料吐出装置からの塗料吐
出を停止させた後に前記ステージの動作を継続させて被
塗工材を搬送し、この塗工終了位置または塗工終了位置
よりも後方の所定位置が前記塗料吐出装置の直下に位置
した時点で前記塗料吐出装置を上昇させる方法である。

【００３３】請求項１７の枚葉塗工方法は、前記塗料吐
出装置の塗工上流側の所定位置に減圧室または加圧室を
有し、塗料吐出開始後、所定時間で経過した後に前記ス
テージの動作を開始させるとともに、前記減圧室を減圧
し、または前記加圧室を加圧する方法である。

【００３４】請求項１８の枚葉塗工方法は、前記塗料吐
出装置の塗工上流側の所定位置に減圧室または加圧室を
有し、塗料吐出終了後に、前記減圧室の減圧、または前
記加圧室の加圧を停止する方法である。

【００３５】請求項１９の枚葉塗工方法は、前記被塗工
材としてカラーフィルタ用基板を採用する方法である。

【００３６】請求項２０のカラーフィルタの製造方法
は、前記請求項１から請求項１９の何れかに記載の枚葉
塗工装置または枚葉塗工方法を用いる製造方法である。

【００３７】請求項１の枚葉塗工装置であれば、塗料供
給装置により塗料タンクから塗料吐出装置に塗料を供給
し、塗料吐出装置または被塗工材を保持するステージの
少なくとも一方を相対的に移動させることにより、前記
被塗工材の表面に塗料を塗布する枚葉塗工装置であっ
て、前記塗料吐出装置に対するステージの相対位置を検
出する相対位置検出手段と、前記塗料供給装置からの塗
料の吐出状態を制御する制御手段とを有しているのであ
るから、ステージまたは塗料吐出装置の何れを移動させ
る場合であっても、塗工開始位置、塗工終了位置におけ
る膜厚のばらつきを大幅に抑制することができるととも
に、両位置の間において膜厚をほぼ均一に保持すること
ができる。

【００３８】請求項２の枚葉塗工装置であれば、定量ポ
ンプを備えた塗料供給装置により塗料タンクから塗料吐
出装置の塗料吐出用のスリットに塗料を供給し、被塗工
材をステージにより保持して前記塗料吐出装置の下方所
定位置を塗料吐出方向とほぼ直交する方向に移動させる
ことにより、前記被塗工材の上面に塗料を塗布するに当
って、制御手段により前記塗料吐出装置に対するステー
ジの相対位置を検出して前記塗料供給装置を制御するの
であるから、塗工開始位置、塗工終了位置における膜厚
のばらつきを大幅に抑制することができるとともに、両
位置の間において膜厚をほぼ均一に保持することができ
る。

【００３９】請求項３の枚葉塗工装置であれば、前記塗
料供給装置が、ピストン型定量ポンプと、このピストン
型定量ポンプを塗料タンク側または塗料吐出装置側に選
択的に連通させる切換え弁とを有しているので、塗料供
給装置により塗料吐出装置に供給される塗料の量を正確
に制御することができ、ひいては塗膜の膜厚を高精度に
制御することができる。

【００４０】請求項４の枚葉塗工装置であれば、前記ピ
ストン型定量ポンプとしてシリンジ型ポンプを採用して
いるので、塗料供給装置により塗料吐出装置に供給され
る塗料の量を正確に制御することができ、ひいては塗膜
の膜厚を高精度に制御することができる。

【００４１】請求項５の枚葉塗工装置であれば、前記制
御手段として、前記ステージの相対位置を検出して、前
記塗料吐出装置を昇降させるとともに、塗料供給装置を
制御するものを採用しているので、塗料吐出装置の昇降
により被塗工材上への塗料の吐出を行うタイミングを制
御することができるとともに、塗料供給装置による塗料
の供給量をも制御することができ、この結果、塗膜の膜
厚を一層高精度に制御することができる。

【００４２】請求項６の枚葉塗工装置であれば、前記塗
料吐出装置の塗料吐出部に存在する余剰塗料を拭き取る
拭き取り手段をさらに有しているので、１つの被塗工材
に対する塗工が終了し、次の被塗工材に対する塗工を開
始する前に塗料吐出装置の塗料吐出部に残留する余剰塗
料を除去することができ、余剰塗料により膜厚精度が低
下するという不都合の発生を防止することができる。

【００４３】請求項７の枚葉塗工装置であれば、前記ス
テージの相対位置を検出して、被塗工材の移載を制御す
る移載制御手段をさらに有しているので、被塗工材の移
載を何ら不都合なく正確に行うことができる。

【００４４】請求項８の枚葉塗工装置であれば、前記塗
料吐出装置として、塗工上流側に位置する所定位置に減
圧室または加圧室を有するものを採用しているので、塗
料吐出装置と被塗工材との間に形成される塗料ビードに
対して減圧力または加圧力を与えることができ、この減
圧力または加圧力により塗料ビードを安定化させ、塗膜
の膜厚の均一性を高めることができる。

【００４５】請求項９の枚葉塗工装置であれば、前記ス
テージの相対位置を検出して、前記減圧室または加圧室
の圧力を制御する圧力制御手段をさらに有しているの
で、圧力を制御することにより塗料ビードの安定性を一
層高めることができ、ひいては塗膜の膜厚の均一性を一
層高めることができる。

【００４６】請求項１０の枚葉塗工装置であれば、被塗
工材としてカラーフィルタ用基板を採用しているので、
高品質のカラーフィルタを製造することができる。

【００４７】請求項１１の枚葉塗工方法であれば、定量
ポンプを備えた塗料供給装置により塗料タンクから塗料
吐出装置の塗料吐出用のスリットに塗料を供給し、被塗
工材をステージにより保持して前記塗料吐出装置の下方
所定位置を塗料吐出方向とほぼ直交する方向に移動させ
ることにより、前記被塗工材の上面に塗料を塗布するに
当って、前記ステージを移動させて被塗工材を搬送し、
この被塗工材の塗工開始位置を塗料吐出装置の直下に位
置させるべく前記ステージを停止させるとともに、前記
ステージの位置を検出して塗料供給装置を動作させるこ
とにより前記塗料吐出装置からの塗料の吐出を開始し、
塗料吐出開始から所定時間が経過した時点で前記ステー
ジの移動を開始させるのであるから、被塗工材の塗工開
始位置において確実に塗料ビードを形成することがで
き、塗料ビードが形成された後に被塗工材を搬送させる
ことにより広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な塗膜を形
成することができる。

【００４８】請求項１２の枚葉塗工方法であれば、前記
塗料吐出装置と塗工遂行状態における被塗工材との間隙
が所定距離になるように塗料吐出装置を下降させた後、
前記ステージを移動させて被塗工材を搬送し、この被塗
工材の塗工開始位置を塗料吐出装置の直下に位置させる
べく前記ステージを停止させるのであるから、塗料吐出
装置に対する被塗工材の相対位置を正確に設定すること
ができ、ひいては、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な
塗膜を形成することができる。

【００４９】請求項１３の枚葉塗工方法であれば、前記
塗料吐出装置からの塗料吐出を行いつつ前記ステージを
動作させて被塗工材をその塗工終了位置が塗料吐出装置
の直下に位置するまで搬送し、該塗工終了位置が前記塗
料吐出装置の直下に位置したことを検出して、この塗工
終了位置または塗工終了位置よりも後方の所定位置が前
記塗料吐出装置の直下に位置した状態で塗料供給装置を
反転動作させて塗料吐出装置と被塗工材との間に存在す
る塗料を吸引するのであるから、塗工終了位置よりも後
方においてはスキージ塗工が行われることになり、塗工
終了位置近傍において塗膜の膜厚が大きくなりすぎるこ
とを防止することができる。

【００５０】請求項１４の枚葉塗工方法であれば、前記
被塗工材の塗工終了位置が塗料吐出装置の直下に位置し
た時点において、前記塗料供給装置を反転動作させて塗
料吐出装置と被塗工材との間に存在する塗料を吸引する
のであるから、塗工終了位置よりも後方においてはスキ
ージ塗工が行われることになり、塗工終了位置近傍にお
いて塗膜の膜厚が大きくなりすぎることを防止すること
ができる。

【００５１】請求項１５の枚葉塗工方法であれば、前記
塗料吐出装置を通して塗料を吸引した後、前記塗料供給
装置をさらに反転動作させて塗料吐出装置の塗料吐出経
路に塗料を充填するのであるから、次の被塗工材に対す
る塗膜形成を開始するまでに、塗料吐出装置の塗料吐出
経路における空隙を消滅させることができ、塗料供給装
置により塗料供給の開始から塗料吐出装置による塗料の
吐出開始までの時間遅れを解消することができる。

【００５２】請求項１６の枚葉塗工方法であれば、前記
塗料吐出装置からの塗料吐出を行いつつ前記ステージを
動作させて被塗工材をその塗工終了位置が塗料吐出装置
の直下に位置するまで搬送し、前記塗料吐出装置からの
塗料吐出を停止させた後に前記ステージの動作を継続さ
せて被塗工材を搬送し、この塗工終了位置または塗工終
了位置よりも後方の所定位置が前記塗料吐出装置の直下
に位置した時点で前記塗料吐出装置を上昇させるのであ
るから、スキージ塗工を行って塗料ビードにおける塗料
の量が少なくなった時点で塗料吐出装置を上昇させるこ
とができ、ひいてはこの部分における膜厚が大きくなる
程度を大幅に抑制することができる。

【００５３】請求項１７の枚葉塗工方法であれば、前記
塗料吐出装置の塗工上流側の所定位置に減圧室または加
圧室を有し、塗料吐出開始後、所定時間で経過した後に
前記ステージの動作を開始させるとともに、前記減圧室
を減圧し、または前記加圧室を加圧するのであるから、
塗料吐出装置と被塗工材との間に形成された塗料ビード
を安定化して膜厚の均一性が高い塗膜を形成することが
できる。

【００５４】請求項１８の枚葉塗工方法であれば、前記
塗料吐出装置の塗工上流側の所定位置に減圧室または加
圧室を有し、塗料吐出終了後に、前記減圧室の減圧、ま
たは前記加圧室の加圧を停止するのであるから、塗料吐
出終了後に減圧力または加圧力を作用させることに伴な
う不都合の発生を未然に防止することができる。

【００５５】請求項１９の枚葉塗工方法であれば、前記
被塗工材としてカラーフィルタ用基板を採用するのであ
るから、高品質のカラーフィルタを製造することができ
る。請求項２０のカラーフィルタの製造方法であれば、
前記請求項１から請求項１９の何れかに記載の枚葉塗工
方法を用いるので、塗工膜厚が均一なカラーフィルタを
容易に得ることができる。

【００５６】

【発明の実施の形態】以下、添付図面によってこの発明
の好ましい実施の形態を詳細に説明する。

【００５７】図１はこの発明の枚葉塗工装置の一実施形
態を概略的に示す図である。

【００５８】この枚葉塗工装置は、塗料タンク１と、定
量ポンプの一例としてのマイクロシリンジポンプ２と、
塗料吐出用のスリット３ａを有する塗料吐出装置３と、
ボールネジ機構４ａにより往復動されるステージ４と、
ステージ４上の被塗工材８の位置を検出する光学センサ
などからなる位置センサ５と、位置センサ５からの出力
信号、ボールネジ機構４ａを駆動するＡＣサーボモータ
（４ｂ）からの状態信号、塗料吐出装置３の状態信号を
入力として塗料吐出装置３、ＡＣサーボモータ４ｂを制
御するシーケンサ６と、シーケンサ６からの出力信号
（マイクロシリンジポンプ制御用の信号など）およびマ
イクロシリンジポンプ２の状態信号を入力としてマイク
ロシリンジポンプ２を制御するコンピュータ７（制御手
段に相当する）とを有している。なお、塗料タンク１と
マイクロシリンジポンプ２との間を塗料吸引管路１ａ
（第１送液管路に相当する）で連通しており、マイクロ
シリンジポンプ２と塗料吐出装置３との間を塗料吐出管
路３ｇ（第２送液管路に相当する）で連通している。ま
た、マイクロシリンジポンプ２は切換え弁２ａにより選
択的に塗料吸引管路１ａ、塗料吐出管路３ｇに連通され
ている。そして、マイクロシリンジポンプ２および切換
え弁２ａは１対ずつ設けられているとともに、塗料吸引
管路１ａと塗料吐出管路３ｂとの間に互いに並列に接続
されている。塗料吐出装置３は、ステージ４上に支承さ
れた被塗工材としてのカラーフィルタ基板８の上面に近
接する位置と十分に離れた位置との間において昇降され
るものであり、シーケンサ６からの塗工動作開始指令に
応答して下降し、塗工動作終了指令に応答して上昇す
る。また、コンピュータ７は切換え弁２ａをも制御す
る。また、図１には特には図示していないが、塗料吸引
管路１ａの所定位置に開閉弁、フィルタなどを設けるこ
とが好ましい。ただし、前記位置センサ５に代えて、Ａ
Ｃサーボモータに組み込まれたエンコーダからの出力パ
ルス信号をカウントすることによりステージ４の位置を
検出する構成を採用することが好ましい。

【００５９】前記塗料吐出装置３は、塗料吐出用のスリ
ット３ｂを有する口金３ａを主要構成部分とするもので
ある。

【００６０】上記の構成の塗工装置において、塗料吐出
の即応答性を確保するためには、塗料配管系のシール性
を十分に確保することが必要である。塗膜８´の膜厚は
特に限定されるものではないが、塗布後・乾燥前の膜厚
が１〜５００μｍの範囲の薄膜塗工に特に有利に用いら
れる。塗膜８´の膜厚が１μｍ未満の場合には、口金３
ａの加工精度や被塗工材８の膜厚精度の制約から均一性
の高い塗膜８´を得ることが難しく、５００μｍを越え
る場合にも当然応用できるが、本発明の有効性が特に発
揮される塗工ではない。

【００６１】塗膜８´の均一性は図２に拡大して示す口
金３ａのスリット間隙３ｄや、口金３ａと被塗工材８と
の間隙であるクリアランス３ｃを調節することにより制
御する。本発明においてスリット間隙３ｄやクリアラン
ス３ｃは特に限定されるものではないが、スリット間隙
３ｄを１０〜５００μｍの範囲に設定することが好まし
い。なぜならば、１０μｍ未満のスリット間隙３ｄを精
度よく保つように口金３ａを加工するのは困難であり、
間隙のばらつきやうねりの影響が著しく大きくなるから
である。また、スリット間隙３ｄが５００μｍを越える
場合には、スリット間隙３ｄでの均一な塗料の流れを実
現するのが難しく渡り方向の塗料吐出量にばらつきを生
じ、この結果均一な塗膜を得ることが困難になるからで
ある。さらに、クリアランス３ｃは１０μｍ〜１ｍｍの
範囲に設定することが好ましい。なぜならば、１０μｍ
未満のクリアランス３ｃを精度よく保つようにするの
は、装置や被塗工材８の加工精度の制約などから難しい
からである。またクリアランス３ｃが１ｍｍを越える場
合には、塗料ビード３ｅを安定に保つことが困難だから
である。また、塗料ビード３ｅを安定して形成し、均一
性の高い塗膜８´を得るためには、クリアランス３ｃを
塗膜膜厚のおよそ１．５〜数十倍程度に精度よく保持す
ることが好ましい。また、加圧室または減圧室３ｆなど
を設けて塗料ビード３ｅの前後の圧力を加減圧し、安定
した塗料ビード３ｅ形成を促すようにすることが好まし
い。

【００６２】次いで、図３に示すタイムチャートを参照
しながら枚葉塗工方法を説明する。ただし、図３中Ａが
ステージ走行のタイムチャートを示し、上側が順走行
を、下側が逆走行をそれぞれ示している。Ｂは被塗工材
の、例えば吸着固定などの固定動作を示している。Ｃは
ステージ４に設けたリフトピン（図示せず）の動作を示
している。Ｄは口金３ａの減圧動作を示している。Ｅは
口金３ａの拭き取り動作を示している。Ｆは口金３ａの
昇降を示している。Ｇは切換え弁２ａの動作を示し、上
側が口金側への切換えを、下側が塗料タンク側への切換
えをそれぞれ示している。Ｈは定量ポンプ５の動作を示
し、上側が吐出動作を、下側が吸引動作をそれぞれ示し
ている。Ｉは一連の動作を概略的に説明する図である。

【００６３】先ず、塗工装置の各部の原点復帰を行った
後、切換え弁２ａを塗料タンク側に切換えるとともに、
マイクロシリンジポンプ２による吸引動作を行う。そし
て、リフトピンを上昇させた状態で図示しない移載機か
ら被塗工材８を受け取り、リフトピンを加工させて被塗
工材８をステージ４上の所定位置に納め、さらに被塗工
材８を真空吸引することにより被塗工材８をステージ４
上に固定する。尚、被塗工材８のステージ４上への固定
（保持）手段としては、上記真空吸引の他、リンク機構
を応用したレバーによる挾み込みや、吸盤、粘着シート
等による保持手段を用いてもよく、このような手段も本
発明でいう「保持」に含まれる。

【００６４】そして、塗料タンク１からマイクロシリン
ジポンプ２に所定量の塗料が吸引された後に、切換え弁
２ａを口金側に切換えるとともに、ステージ４を順走行
させて被塗工材８を口金３ａの直下まで移動させ、ステ
ージ４の順走行を停止させる。次いで、口金３ａを下降
させ、下降動作時間を制御することにより所定のクリア
ランス３ｃを確保する。ただし、口金３ａを下降させた
後に被塗工材８を移動させるようにしてもよい。そし
て、口金３ａの下降動作と実質的に同時にマイクロシリ
ンジポンプ２を動作させることにより塗料を口金３ａに
供給して塗料の吐出を開始し、塗料の吐出開始後、所定
時間だけステージ４を停止状態に維持することにより、
口金３ａと被塗工材８との間に所定の渡り方向の全域に
わたる塗料ビード３ｅを形成させる。

【００６５】以上のようにして塗料ビード３ｅが形成さ
れた後に、ステージ４を所定速度で順走行させることに
より塗工を開始する。また、塗工開始と実質的に同時に
加圧室または減圧室３ｆの気圧を所定圧力に保つことに
より加減圧を行い、塗料ビード３ｅを安定化する。した
がって、塗料ビード３ｅの安定化により塗膜形成に消費
される塗料と口金３ａのスリット３ｂから吐出される塗
料とが平衡し、塗工開始後、短時間が経過した時点で安
定な塗膜の形成を行うことができる定常塗工状態にな
る。

【００６６】被塗工材８が塗工終了位置よりも所定距離
だけ手前の位置に到達した時点でマイクロシリンジポン
プ２による塗料の供給を停止し、ほぼ同時に口金３ａの
加減圧を停止することにより、塗料ビード３ｅを消費し
ながらいわゆるスキージ塗工により塗膜を形成する。た
だし、被塗工材８が塗工終了位置に到達した時点で塗料
の供給を停止してもよい。そして、被塗工材８が塗工終
了位置に到達すれば、マイクロシリンジポンプ２を逆動
作させることにより口金３ａのスリット３ｂを通して所
定量の塗料を吸引回収する。ただし、被塗工材８が塗工
終了位置に到達した時点で塗料の供給を停止する場合に
は、被塗工材８が塗工終了位置を通りすぎた時点で塗料
の吸引回収を行えばよい。その後、口金３ａを上昇させ
て被塗工材８から遠ざけることにより塗工を終了する。
その後、塗料の吸引回収によりスリット３ｂに形成され
ている可能性がある空隙を解消させるためにマイクロシ
リンジポンプ２を動作させて塗料を吐出させる。ステー
ジ４はその後も順走行を行って、被塗工材８を次工程に
移載するための所定位置まで搬送して停止し、真空吸着
を解除するとともに、リフトピンを上昇させて被塗工材
８を持ち上げ、その位置で被塗工材８を被塗工材移載機
（図示せず）に渡す。そして、同時にマイクロシリンジ
ポンプ２による塗料の吐出および口金３ａの拭き取りを
行って口金３ａの先端部に残留する塗料を除去する。次
いで、ステージ４を逆走行させ、次の被塗工材８を受け
取るべく所定位置まで復帰することにより一連の処理を
終了し、次の被塗工材８の塗工に備える。

【００６７】以上の一連の処理を行うことにより、塗工
開始部および塗工終了部における膜厚の定常塗工により
得られた定常部の膜厚に対するばらつきを大幅に抑制す
ることができる。また、塗料ビード３ｅが形成された後
にステージ４を走行させて塗膜を形成するのであるか
ら、被塗工材８の端部から対応する塗膜端部までの距離
を著しく小さくすることができ（３ｍｍ以下にすること
ができ）、被塗工材８の全長範囲に対する塗膜形成範囲
の割合を大きくすることができる。さらに、定常部にお
ける膜厚のばらつきを著しく小さくすることができる。

【００６８】また、塗料吐出装置３からの塗料吐出のタ
イミングまたはこれよりも前のタイミングにおいて塗料
吐出装置３を下降させることにより、ステージ４上に支
承されたカラーフィルタ基板８との距離を所定距離に設
定する。そして、塗料吐出装置３から塗料が吐出され、
スリット３ａの全幅にわたって塗料ビード３ｅが形成さ
れた後にボールネジ機構４ａを動作させることによりス
テージ４を走行させてカラーフィルタ基板８を所定速度
で搬送し、カラーフィルタ基板８上に所定厚みの塗膜８
´を形成することができる。

【００６９】ステージ４上の被塗工材８が塗工終了位置
まで移動した場合には、位置センサ５によりこの状態を
検出し、切換え弁２ａを塗料吸引管路側に切換えて再び
塗料吸引動作を行わせるとともに、塗料吐出装置３を上
昇させ、次工程に被塗工材８を渡した後にステージ４を
復動させ、次のカラーフィルタ基板８に対する塗工に備
える。

【００７０】

【実施例】ポリアミド酸とＮ−メチル−２−ピロリドン
と塩臭素化フタロシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．ピグメン
トグリーン３６）を混合・分散して緑色着色塗膜形成用
塗料を得る。無アルカリガラス基板ＯＡ−２（日本電気
硝子（株）製）を被塗工材８として選択し、図１に示す
枚葉塗工装置を用いて枚葉塗工を行った。ただし、前記
着色塗膜形成用塗料を塗料タンク１に仕込み、予め塗料
吐出装置３に至るまでの送液経路内を塗料で充填してお
いた。

【００７１】切換え弁２ａを塗料吸引管路側に切換え、
マイクロシリンジポンプ２を５００μｌ／秒の速度で吸
引側に駆動して塗料を３４８８μｌ充填し、切換え弁２
ａを塗料吐出管路側に切換えて塗工に備える。

【００７２】この状態において、ステージ４を動作させ
て被塗工材８を搬送し、塗料吐出装置３を所定位置まで
下降させ、塗料吐出装置３の下降と実質的に同時にマイ
クロシリンジポンプ２を吐出側に駆動して塗料の吐出を
開始し、スリット３ａの全幅にわたる塗料ビードが形成
された後にステージ４を動作させて被塗工材８を搬送す
ることにより塗工を行わせた。この場合に、塗膜形成に
消費される塗料と塗料吐出装置３のスリット３ａから供
給される塗料とを平衡させることにより連続して安定な
塗膜を形成することができる。そして、被塗工材８が塗
工終了位置に到達すれば、マイクロシリンジポンプ２の
塗料吐出動作を停止し、次いで塗料吐出装置３を上昇さ
せて被塗工材８から遠ざけることにより塗工を終了し
た。

【００７３】以上の動作を順次繰り返して１００枚の被
塗工材８に塗膜を形成した。

【００７４】このようにして得られた塗膜は平坦化膜厚
が１．２μｍであり、この塗膜の典型的な膜厚プロフィ
ールは図４に示すとおりであり、塗工開始位置から８ｍ
ｍの範囲および塗工終了位置の前の１０ｍｍの範囲を除
いて膜厚が均一な定常部を得ることができた。また、塗
工開始部の膜厚、塗工終了部の膜厚の何れも、定常部の
膜厚の８７％から１３４％の範囲であった。

【００７５】なお、以上には定量ポンプとしてマイクロ
シリンジポンプ２を例示しているが、プランジャー型定
量ポンプ、ダイヤフラム型定量ポンプなどの容積式の定
量ポンプを採用することが可能である。また、ステージ
４としては種々の構成のものを採用することができる
が、ボールネジ機構部の上方を覆うとともに、配線、配
管などを内部において折り曲げ状に支持する構成のステ
ージを採用することが好ましい。

【００７６】

【発明の効果】請求項１の発明は、塗工開始位置、塗工
終了位置における膜厚のばらつきを大幅に抑制すること
ができるとともに、両位置の間において膜厚をほぼ均一
に保持することができるという特有の効果を奏する。

【００７７】請求項２の発明は、塗工開始位置、塗工終
了位置における膜厚のばらつきを大幅に抑制することが
できるとともに、両位置の間において膜厚をほぼ均一に
保持することができるという特有の効果を奏する。特に
この発明は、ステージを駆動して被塗工材を搬送しつつ
塗工するのであるから、次々と供給される被塗工材に対
しても、均一な膜厚で容易に塗工することができるとと
もに、塗工装置を小形化できるという特有の効果を奏す
る。

【００７８】請求項３の発明は、塗料供給装置により塗
料吐出装置に供給される塗料の量を正確に制御すること
ができ、ひいては塗膜の膜厚を高精度に制御することが
できるという特有の効果を奏する。

【００７９】請求項４の発明は、塗料供給装置により塗
料吐出装置に供給される塗料の量を正確に制御すること
ができ、ひいては塗膜の膜厚を高精度に制御することが
できるという特有の効果を奏する。

【００８０】請求項５の発明は、塗料吐出装置の昇降に
より被塗工材上への塗料の吐出を行うタイミングを制御
することができるとともに、塗料供給装置による塗料の
供給量をも制御することができ、この結果、塗膜の膜厚
を一層高精度に制御することができるという特有の効果
を奏する。

【００８１】請求項６の発明は、１つの被塗工材に対す
る塗工が終了し、次の被塗工材に対する塗工を開始する
前に塗料吐出装置の塗料吐出部に残留する余剰塗料を除
去することができ、余剰塗料により膜厚精度が低下する
という不都合の発生を防止することができるという特有
の効果を奏する。

【００８２】請求項７の発明は、被塗工材の移載を何ら
不都合なく正確に行うことができるという特有の効果を
奏する。

【００８３】請求項８の発明は、塗料吐出装置と被塗工
材との間に形成される塗料ビードに対して減圧力または
加圧力を与えることができ、この減圧力または加圧力に
より塗料ビードを安定化させ、塗膜の膜厚の均一性を高
めることができるという特有の効果を奏する。

【００８４】請求項９の発明は、圧力を制御することに
より塗料ビードの安定性を一層高めることができ、ひい
ては塗膜の膜厚の均一性を一層高めることができるとい
う特有の効果を奏する。

【００８５】請求項１０の発明は、高品質のカラーフィ
ルタを製造することができるという特有の効果を奏す
る。

【００８６】請求項１１の発明は、被塗工材の塗工開始
位置において確実に塗料ビードを形成することができ、
塗料ビードが形成された後に被塗工材を搬送させること
により広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な塗膜を形成す
ることができるという特有の効果を奏する。

【００８７】請求項１２の発明は、塗料吐出装置に対す
る被塗工材の相対位置を正確に設定することができ、ひ
いては、広範囲にわたって膜厚がほぼ均一な塗膜を形成
することができるという特有の効果を奏する。

【００８８】請求項１３の発明は、塗工終了位置よりも
後方においてはスキージ塗工が行われることになり、塗
工終了位置近傍において塗膜の膜厚が大きくなりすぎる
ことを防止することができるという特有の効果を奏す
る。

【００８９】請求項１４の発明は、塗工終了位置よりも
後方においてはスキージ塗工が行われることになり、塗
工終了位置近傍において塗膜の膜厚が大きくなりすぎる
ことを防止することができるという特有の効果を奏す
る。

【００９０】請求項１５の発明は、次の被塗工材に対す
る塗膜形成を開始するまでに、塗料吐出装置の塗料吐出
経路における空隙を消滅させることができ、塗料供給装
置により塗料供給の開始から塗料吐出装置による塗料の
吐出開始までの時間遅れを解消することができるという
特有の効果を奏する。

【００９１】請求項１６の発明は、スキージ塗工を行っ
て塗料ビードにおける塗料の量が少なくなった時点で塗
料吐出装置を上昇させることができ、ひいてはこの部分
における膜厚が大きくなる程度を大幅に抑制することが
できるという特有の効果を奏する。

【００９２】請求項１７の発明は、塗料吐出装置と被塗
工材との間に形成された塗料ビードを安定化して膜厚の
均一性が高い塗膜を形成することができるという特有の
効果を奏する。

【００９３】請求項１８の発明は、塗料吐出終了後に減
圧力または加圧力を作用させることに伴なう不都合の発
生を未然に防止することができるという特有の効果を奏
する。

【００９４】請求項１９の発明は、高品質のカラーフィ
ルタを製造することができるという特有の効果を奏す
る。

【００９５】請求項２０の発明は、前記請求項１から請
求項１９の何れかに記載の枚葉塗工装置または枚葉塗工
方法を用いるので、塗工膜厚が均一なカラーフィルタを
容易に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の枚葉塗工装置の一実施例を概略的に
示す図である。

【図２】口金と被塗工材との関係を詳細に示す拡大概略
図である。

【図３】枚葉塗工方法の一実施例を概略的に示すタイム
チャートである。

【図４】図３の枚葉塗工方法により得られた塗膜の膜厚
プロフィールを示す図である。

【符号の説明】

２……マイクロシリンジポンプ ２ａ……切換え弁 ３……塗料吐出装置 ３ａ……スリット ４……ステージ ５……位置センサ ７……制御装置 ８……被塗工材 １５……加減圧室

フロントページの続き (72)発明者 井戸 英夫 滋賀県大津市園山１丁目１番１号 東レ株 式会社滋賀事業場内

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗料供給装置（２）（２ａ）により塗料
   タンク（１）から塗料吐出装置（３）に塗料を供給し、
   塗料吐出装置（３）または被塗工材（８）を保持するス
   テージ（４）の少なくとも一方を相対的に移動させるこ
   とにより、前記被塗工材（８）の表面に塗料を塗布する
   枚葉塗工装置であって、前記塗料吐出装置（３）に対す
   るステージ（４）の相対位置を検出する相対位置検出手
   段（５）と、前記塗料供給装置（２）（２ａ）からの塗
   料の吐出状態を制御する制御手段（７）とを有すること
   を特徴とする枚葉塗工装置。
2. 【請求項２】 定量ポンプ（２）を備えた塗料供給装置
   （２）（２ａ）により塗料タンク（１）から塗料吐出装
   置（３）の塗料吐出用のスリット（３ａ）に塗料を供給
   し、被塗工材（８）をステージ（４）により保持して前
   記塗料吐出装置（３）の下方所定位置を塗料吐出方向と
   ほぼ直交する方向に移動させることにより、前記被塗工
   材（８）の上面に塗料を塗布する枚葉塗工装置であっ
   て、前記塗料吐出装置（３）に対するステージ（４）の
   相対位置を検出して前記塗料供給装置（２）（２ａ）を
   制御する制御手段（７）を有することを特徴とする枚葉
   塗工装置。
3. 【請求項３】 前記塗料供給装置（２）（２ａ）が、ピ
   ストン型定量ポンプ（２）と、このピストン型定量ポン
   プ（２）を塗料タンク側または塗料吐出装置側に選択的
   に連通させる切換え弁（２ａ）とを有している請求項１
   または請求項２に記載の枚葉塗工装置。
4. 【請求項４】 前記ピストン型定量ポンプ（２）がシリ
   ンジ型ポンプ（２）である請求項３に記載の枚葉塗工装
   置。
5. 【請求項５】 前記制御手段（７）が、前記ステージ
   （４）の相対位置を検出して、前記塗料吐出装置（３）
   を昇降させるとともに、塗料供給装置（２）（２ａ）を
   制御するものである請求項１から請求項４の何れかに記
   載の枚葉塗工装置。
6. 【請求項６】 前記塗料吐出装置（３）の塗料吐出部に
   存在する余剰塗料をを拭き取る拭き取り手段をさらに有
   している請求項１から請求項５の何れかに記載の枚葉塗
   工装置。
7. 【請求項７】 前記ステージ（４）の相対位置を検出し
   て、被塗工材（８）の移載を制御する移載制御手段をさ
   らに有している請求項１から請求項６の何れかに記載の
   枚葉塗工装置。
8. 【請求項８】 前記塗料吐出装置（３）が、塗工上流側
   に位置する所定位置に減圧室または加圧室（１５）を有
   している請求項１から請求項７の何れかに記載の枚葉塗
   工装置。
9. 【請求項９】 前記ステージ（４）の相対位置を検出し
   て、前記減圧室または加圧室（１５）の圧力を制御する
   圧力制御手段をさらに有している請求項８に記載の枚葉
   塗工装置。
10. 【請求項１０】 被塗工材（８）がカラーフィルタ用基
    板（８）である請求項１から請求項９の何れかに記載の
    枚葉塗工装置。
11. 【請求項１１】 定量ポンプ（２）を備えた塗料供給装
    置（２）（２ａ）により塗料タンク（１）から塗料吐出
    装置（３）の塗料吐出用のスリット（３ａ）に塗料を供
    給し、被塗工材（８）をステージ（４）により保持して
    前記塗料吐出装置（３）の下方所定位置を塗料吐出方向
    とほぼ直交する方向に移動させることにより、前記被塗
    工材（８）の上面に塗料を塗布する枚葉塗工方法であっ
    て、前記ステージ（４）を移動させて被塗工材（８）を
    搬送し、この被塗工材（８）の塗工開始位置を塗料吐出
    装置（３）の直下に位置させるべく前記ステージ（４）
    を停止させるとともに、前記ステージ（４）の位置を検
    出して塗料供給装置（２）（２ａ）を動作させることに
    より前記塗料吐出装置（３）からの塗料の吐出を開始
    し、塗料吐出開始から所定時間が経過した時点で前記ス
    テージ（４）の移動を開始させることを特徴とする枚葉
    塗工方法。
12. 【請求項１２】 前記塗料吐出装置（３）と塗工遂行状
    態における被塗工材（８）との間隙が所定距離になるよ
    うに塗料吐出装置（３）を下降させた後、前記ステージ
    （４）を移動させて被塗工材（８）を搬送し、この被塗
    工材（８）の塗工開始位置を塗料吐出装置（３）の直下
    に位置させるべく前記ステージ（４）を停止させる請求
    項１１に記載の枚葉塗工方法。
13. 【請求項１３】 前記塗料吐出装置（３）からの塗料吐
    出を行いつつ前記ステージ（４）を動作させて被塗工材
    （８）をその塗工終了位置が塗料吐出装置（３）の直下
    に位置するまで搬送し、該塗工終了位置が前記塗料吐出
    装置（３）直下に位置したことを検出して、この塗工終
    了位置または塗工終了位置よりも後方の所定位置が前記
    塗料吐出装置（３）の直下に位置した状態で塗料供給装
    置（２）を反転動作させて塗料吐出装置（３）と被塗工
    材（８）との間に存在する塗料を吸引する請求項１０ま
    たは請求項１２に記載の枚葉塗工方法。
14. 【請求項１４】 前記被塗工材（８）の塗工終了位置が
    塗料吐出装置（３）の直下に位置した時点において、前
    記塗料供給装置（２）を反転動作させて塗料吐出装置
    （３）と被塗工材（８）との間に存在する塗料を吸引す
    る請求項１３に記載の枚葉塗工方法。
15. 【請求項１５】 前記塗料吐出装置（３）を通して塗料
    を吸引した後、前記塗料供給装置（２）をさらに反転動
    作させて塗料吐出装置（３）の塗料吐出経路に塗料を充
    填する請求項１３または請求項１４に記載の枚葉塗工方
    法。
16. 【請求項１６】 前記塗料吐出装置（３）からの塗料吐
    出を行いつつ前記ステージ（４）を動作させて被塗工材
    （８）をその塗工終了位置が塗料吐出装置（３）の直下
    に位置するまで搬送し、前記塗料吐出装置（３）からの
    塗料吐出を停止させた後に前記ステージ（４）の動作を
    継続させて被塗工材（８）を搬送し、この塗工終了位置
    または塗工終了位置よりも後方の所定位置が前記塗料吐
    出装置（３）の直下に位置した時点で前記塗料吐出装置
    （３）を上昇させる請求項１１から請求項１５の何れか
    に記載の枚葉塗工方法。
17. 【請求項１７】 前記塗料吐出装置（３）の塗工上流側
    の所定位置に減圧室または加圧室を有し、塗料吐出開始
    後、所定時間で経過した後に前記ステージ（４）の動作
    を開始させるとともに、前記減圧室を減圧し、または前
    記加圧室を加圧する請求項１１から請求項１６の何れか
    に記載の枚葉塗工方法。
18. 【請求項１８】 前記塗料吐出装置（３）の塗工上流側
    の所定位置に減圧室または加圧室を有し、塗料吐出終了
    後に、前記減圧室の減圧、または前記加圧室の加圧を停
    止する請求項１１から請求項１７の何れかに記載の枚葉
    塗工方法。
19. 【請求項１９】 前記被塗工材（８）がカラーフィルタ
    用基板である請求項１１から請求項１８の何れかに記載
    の枚葉塗工方法。
20. 【請求項２０】 請求項１から請求項１９の何れかに記
    載の枚葉塗工装置または枚葉塗工方法を用いて、カラー
    フィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの
    製造方法。