JP2014057937A - 間欠塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】連続走行する基材に精度よく間欠塗布することができるエクストルージョン型ダイヘッドを備えた塗布装置を提供する。
【解決手段】ダイヘッドと、ダイヘッドに塗液を供給する給液経路と、塗液圧力調整手段とを備え、給液経路には塗液を貯えるタンクから塗液を圧送するポンプと、当該給液経路と給液経路外とを切り替えるバルブと、が備えられ、前記ダイヘッドは、ダイヘッドに供給された塗液を塗布幅方向に分配する主マニホールドと、塗布幅方向の塗布量を均一化する副マニホールドと、前記主マニホールドと前記副マニホールドを連通するプリランドと、前記副マニホールドと当該ダイヘッド先端の塗液吐出口とを連通するスリットを備え、前記塗液圧力調整手段は、前記副マニホールド内の圧力を調整することにより、前記吐出口から塗液を吐出しまたは吐出を停止して、間欠的に塗布するものであることを特徴とする間欠塗布装置。
【選択図】図４

Description

本発明は、バックアップロールで保持され連続搬送されている基材に精度よく間欠塗布することができるエクストルージョン型ダイヘッドを備えた間欠塗布装置に関する。

エクストルージョン型ダイヘッドを用いた塗布装置は、高精度で均一な塗膜を得やすく、また塗液劣化や異物混入が少ないといった利点があるため、光学フィルム、液晶ディスプレイ用カラーフィルターなどの製造に広く用いられている。なかでも、連続走行する基材に対して、ダイからの塗液の吐出と停止を繰り返すことで基材上に塗布部と非塗布部を交互に形成する間欠塗布技術は、幅広く用いられている。

エクストルージョン型ダイヘッドを用いた塗布では、連続塗布であっても間欠塗布であっても、塗布幅方向の塗布均一性はきわめて重要であり、高い均一性を実現するために、ダイの内部流路構造や塗液流動物性の最適化が行われる。例えば、内部流路構造の工夫として、マニホールドを複数設け、それらの間を比較的狭い間隔を持つ流路（プリランド）で連通した構造が一般的に知られている。（特許文献１参照）

図１は、タンク１０１からポンプ１０２によって塗液をダイヘッド１０４に圧送し、ダイヘッド１０４の先端から基材１０５上に間欠塗布して塗膜１０６を形成する、基本的な間欠塗布装置１００の概略図である。この装置では、ポンプ１０２とダイヘッド１０４を結ぶ給液経路１０３の途中に、給液方向切り替えバルブとして三方弁１０７を設けることで、間欠塗布を実現している。即ち、ダイヘッド１０４から塗液を吐出する塗布時には塗液をダイヘッド１０４に送液し、ダイヘッド１０４から塗液を吐出しない時には三方弁１０７を切り替えて塗液をリリーフ経路１０８に送液しタンク１０１に戻す。

この場合、単に三方弁１０７をリリーフ経路１０８方向に切り替えただけではダイヘッド１０４内部の圧力低下に時間がかかり、塗膜１０６の塗り終わり部の膜厚が不均一になったり、ヒゲ状に伸びた塗液が基材１０５上の非塗布部に尾を引くなど、間欠塗布の精度が悪化する場合がある。この問題を解決するため、三方弁１０７とダイヘッドの間の給液経路１０３にサックバックバルブ１０９を設置し、非塗布時に給液経路１０３内部の塗液を少量吸引することでダイヘッド１０４内部の圧力を急速に低下させ、ダイヘッド１０４先端からの塗液吐出を瞬時に止めることで塗膜１０６の塗り終わり部の直線性や膜厚均一性を向上させる工夫がなされている。

しかし図１の構成の場合、非塗布時にサックバックバルブ１０９に吸引された塗液は、塗液吐出再開時に給液経路１０３内に放出されるため、塗り始め部の塗膜１０６の膜厚が不均一になりやすい問題がある。この問題を解決するために、例えば図２のように、サックバックバルブ２０９と給液経路２０３との間に三方弁２１０などの送液方向切り替え手段を設け、サックバックバルブ２０９の吸引時にはダイヘッドと繋がる給液経路２０３と、サックバックバルブ２０９の放出時にはリリーフ経路２０８と接続するように切り替える提案（特許文献２参照）や、図１の構成において、サックバックバルブ１０９で吸引した塗液を塗布時に放出することによる圧力変動を、別のサックバックバルブ等で吸収することで塗り始め部の膜厚精度悪化を防止する提案（特許文献３参照）などがされている。

また塗り終わり部や塗り始め部の直線性や膜厚精度をさらに向上させるために、例えば図３のように、ダイヘッド３０４のマニホールド３１５内の空気を排出するエアベント口３１９に接続された塗液圧力調整手段３０９を設ける提案もなされている。

特開２００７−２７５７７９号公報 特開２００２−２１９４００号公報 特開２０１１−１５２５０９号公報

しかしながら、これらの装置や方法を用いても、ダイヘッド内部に残留した空気の圧縮効果などのため、サックバックバルブで吸引してもダイヘッド内部の圧力が充分急速に下がらず、間欠塗布の塗り終わり部や塗り始め部の直線性や膜厚精度が充分改善しない場合があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、連続走行する基材に精度よく間欠塗布することができるエクストルージョン型ダイヘッドを備えた塗布装置を提供することを課題とする。

本発明の請求項１に記載の発明は、
塗液を基材上に間欠的に吐出して塗膜を形成する間欠塗布装置であって、
ダイヘッドと、ダイヘッドに塗液を供給する給液経路と、塗液圧力（塗液にかかる圧力）調整手段とを備え、
給液経路には塗液を貯えるタンクから塗液を圧送するポンプと、当該給液経路と給液経路外とを切り替えるバルブと、が備えられ、
前記ダイヘッドは、ダイヘッドに供給された塗液を塗布幅方向に分配する主マニホールドと、塗布幅方向の塗布量を均一化する副マニホールドと、前記主マニホールドと前記副マニホールドを連通するプリランドと、前記副マニホールドと当該ダイヘッド先端の塗液吐出口とを連通するスリットを備え、
前記塗液圧力調整手段は、前記副マニホールド内の圧力を調整することにより、前記吐出口から塗液を吐出しまたは吐出を停止して、間欠的に塗布するものであることを特徴とする間欠塗布装置である。

本発明の請求項２に記載の発明は、
前記塗液圧力調整手段が、前記副マニホールドに設けられ、副マニホールドの容積を広げることによって塗液圧力を減圧する機構（第一の塗液圧力調整機構）を有することを特徴とする請求項１に記載の間欠塗布装置である。

本発明の請求項３に記載の発明は、
前記第一の塗液圧力調整機構によって塗液の吐出を間欠的に停止する場合、吐出口から基材上に塗液を吐出した状態から、吐出を停止する場合は、前記給液経路のバルブを当該給液経路外へ切り替え、更に第一の塗液圧力調整機構によって副マニホールドの容積を広げて塗液圧力を減圧することを特徴とする請求項２に記載の間欠塗布装置である。

本発明の請求項４に記載の発明は、
前記塗液圧力調整手段が、前記副マニホールドに塗液圧力調整経路によって連結され、副マニホールド内の塗液を副マニホールドの外に吸引することによって塗液圧力を減圧する機構（第二の塗液圧力調整機構）を有することを特徴とする請求項１に記載の間欠塗布装置である。

本発明の請求項５に記載の発明は、
前記第二の塗液圧力調整機構の塗液圧力調整経路には圧力調整液流量制御手段が繋がれており、圧力調整液流量制御手段は塗液圧力調整経路外に塗液を排出できる排出経路が繋がれており、前記副マニホールドと前記第二の塗液圧力調整機構間の液流を制御することを特徴とする請求項４に記載の間欠塗布装置である。

本発明の請求項６に記載の発明は、
前記第二の塗液圧力調整機構によって塗液の吐出を間欠的に停止する場合、吐出口から基材上に塗液を吐出した状態から、吐出を停止する場合は、前記給液経路のバルブを当該給液経路外へ切り替え、更に前記圧力調整液流量制御手段が前記塗液圧力調整経路を開放して、前記副マニホールド内の塗液を塗液圧力調整経路に吸引することを特徴とする請求項５に記載の間欠塗布装置である。

本発明の間欠塗布装置によれば、塗り終わり部や塗り始め部の直線性や膜厚精度に優れた間欠塗布を行うことができる。

従来の間欠塗布装置の構成を説明する図。 塗り始めの膜厚精度を改善する工夫がなされた、従来の間欠塗布装置の構成を説明する図。 塗り始めおよび塗り終わりの膜厚精度を改善する工夫がなされた、従来の間欠塗布装置の構成を説明する図。 本発明の実施形態１の塗布装置の構成を説明する図。 本発明の実施形態１のダイヘッドの構造を説明する図。 本発明の実施形態１の給液方向切り替えバルブおよび第一の塗液圧力調整機構の動作タイミングを説明する図。 本発明の実施形態２の塗布装置の構成を説明する図。 本発明の実施形態２のダイヘッドの構造を説明する図。 本発明の実施形態２の給液方向切り替えバルブ、圧力調整液流制御手段のバルブ、および第二の塗液圧力調整機構の動作タイミングを説明する図。

以下、添付図面を参照しながら、本発明の間欠塗布装置の実施形態について説明する。

図４は本発明の間欠塗布装置の実施形態１の構成を示す図で、塗液圧力調整手段が第一の塗液圧力調整機構の場合であって、図５は本発明の間欠塗布装置の実施形態その１の前記ダイヘッド４００を示す図で、図５（ａ）は正面図、図５（ｂ）は側面図、図５（ｃ）は図５（ａ）のＡ−Ａ断面を示す図、図５（ｄ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ断面を示す図である。本発明の実施形態その１の間欠塗布装置５００は、ダイヘッド４００と、ダイヘッド４００に塗液を供給する給液経路５０３と、塗液圧力（塗液にかかる圧力）調整手段である第一の圧力調整機構４０９と、を備えている。給液経路内には塗液を貯えるタンク５０１の塗液を圧送するポンプ５０２と、当該給液経路５０３と給液経路外（以下、リリーフ経路）５０８とを切り替えるバルブ５０７と、が備えられている。

前記ダイヘッド４００は、２つのメインブロック４２５と、２つのサイドブロック４２６、給液口４２１、排液口４２２、シム４２４から構成される。また、ダイヘッドに供給された塗液を塗布幅方向に分配する主マニホールド４１６と、塗布幅方向の塗布量を均一化する副マニホールド４１７と、前記主マニホールド４１６と前記副マニホールド４１７を連通するプリランド４１８と、前記副マニホールド４１７と当該ダイヘッド先端の塗液吐出口を連通するスリット４２３を備えている。

前記塗液圧力調整手段である第一の塗液圧力調整機構４０９は、前記副マニホールド４１７に設けられ、副マニホールドの容積を広げることによって塗液圧力を減圧する機構である。即ち、塗液を基材上に吐出する状態から吐出を停止する状態に切り替える場合には、給液方向切り替えバルブ５０７をリリーフ経路５０８に切り替え、更に前記副マニホールドに設けられた第一の塗液圧力調整機構４０９によって副マニホールドの容積を広げるものである。

第一の塗液圧力調整機構４０９としては、サックバックバルブ、電磁アクチュエータ、圧電アクチュエータなどを好ましく用いることができるが、これらに限定されるものではない。また、図５に示した塗液圧力調整機構４０９は、副マニホールド４１７の塗布幅方向中央に１ヶ所であるが、その位置は中央でなくても良く、また複数あっても良く、さらにメインブロック４２５ではなく、サイドブロック４２６に設けられても良い。

主マニホールド４１６および副マニホールド４１７の断面形状は、塗液の性状に応じて、円形、半円、矩形、三角形、ティアドロップ形など種々の形状を用いることができ、また断面形状は塗布幅方向に変化しても良く、いわゆるコートハンガー型なども好ましく用いることができる。プリランド４１８の長さや間隙は塗布幅方向に一定でなくても良く、また、主マニホールド４１６から副マニホールド４１７に向かう方向で間隙が変化しても良い。また、図５に示すダイヘッド４００では主マニホールド４１６の一端に連通する給液口４２１から塗液を供給する端供給型のダイを示したが、塗液の供給方法はこれに限定されるものではなく、主マニホールド４１６の中央から供給する形式や、主マニホールド４１６の両端から供給する形式でも構わない。

図６は、上記塗液を基材上に吐出する状態と吐出を停止する状態とを切り替える場合の給液方向切り替えバルブ５０７（三方弁）と第一の塗液圧力調整機構４０９の動作タイミングを示す図である。給液方向切り替えバルブ５０７がリリーフ経路５０８方向に切り替わるのと略同時に第一の塗液圧力調整機構４０９（例えば電磁アクチュエータ）が副マニホールド４１７内を減圧する方向に作動し、スリット４２３内の塗液が少量吸引される。その後、給液方向切り替えバルブ５０７（三方弁）がダイヘッド４００方向に切り替わるのと略同時に第一の塗液圧力調整機構４０９が副マニホールド４１７内を加圧する方向に作動し、吐出が再開される。

このような構成と動作によって、たとえ主マニホールド４１６内に空気の残存や混入があったとしても、副マニホールド４１７との間のプリランド４１８の圧力損失があるため、副マニホールド４１７の圧力調整を高速かつ高精度に行うことができ、間欠塗布の塗り終わり部や塗り始め部の直線性や膜厚精度を改善することができる。

図７は本発明の間欠塗布装置の実施形態２の構成を示す図で、塗液圧力調整手段が第二の塗液圧力調整機構の場合であって、図８は本発明の間欠塗布装置の実施形態その２のダイヘッド７００を示す図で、図８（ａ）は正面図、図８（ｂ）は側面図、図８（ｃ）は図８（ａ）のＡ−Ａ断面を示す図、図８（ｄ）は図８（ａ）のＢ−Ｂ断面を示す図である。本発明の実施形態その２の間欠塗布装置８００は、ダイヘッド７００と、ダイヘッド７００に塗液を供給する給液経路８０３と、塗液圧力調整手段である第二の塗液圧力調整機構８０９と、を備えている。

前記ダイヘッド７００は、２つのメインブロック７２５と、２つのサイドブロック７２６、給液口７２１、排液口７２２、シム７２４から構成される。また、ダイヘッドに供給された塗液を塗布幅方向に分配する主マニホールド７１６と、塗布幅方向の塗布量を均一化する副マニホールド７１７と、前記主マニホールド７１６と前記副マニホールド７１７を連通するプリランド７１８と、前記副マニホールド７１７と当該ダイヘッド先端の塗液吐出口とを連通するスリット７２３を備えている。

第二の塗液圧力調整機構８０９は、副マニホールド内の塗液を吸引することによって塗液圧力を減圧するものであって、副マニホールド７１７に塗液圧力調整経路７１３によって連結されている。

更に、塗液圧力調整経路７１３には圧力調整液流制御手段８１０が繋がれており、またその圧力調整液流制御手段８１０には当該塗液圧力調整経路外に塗液を排出できる排出経路８１４が繋がれている。圧力調整液流制御手段８１０によって副マニホールド７１７と第二の塗液圧力調整機構８０９間の液流を塗液圧力調整経路７１３または排出経路８１４に制御することができる。圧力調整液流制御手段８１０はバルブ８１１と逆止弁８１２で構成されている。

塗液を基材上に吐出する状態から吐出を停止する状態に切り替える場合には、給液方向切り替えバルブ８０７をリリーフ経路８０８に切り替え、前記第二の塗液圧力調整機構８０９が副マニホールド内の塗液を吸引することによって塗液圧力は減圧される。

第二の塗液圧力調整機構８０９としては、サックバックバルブ、電磁アクチュエータ、圧電アクチュエータなどを好ましく用いることができるが、これらに限定されるものではない。また、図８に示した第二の塗液圧力調整機構８０９は、副マニホールド７１７の塗布幅方向中央に１ヶ所であるが、その位置は中央でなくても良く、また複数あっても良く、さらにメインブロック７２５ではなく、サイドブロック７２６に設けられても良い。

主マニホールド７１６および副マニホールド７１７の断面形状は、塗液の性状に応じて、円形、半円、矩形、三角形、ティアドロップ形など種々の形状を用いることができ、また断面形状は塗布幅方向に変化しても良く、いわゆるコートハンガー型なども好ましく用いることができる。プリランド７１８の長さや間隙は塗布幅方向に一定でなくても良く、また、主マニホールド７１６から副マニホールド７１７に向かう方向で間隙が変化しても良い。また、図８に示すダイヘッド７００では主マニホールド７１６の一端に連通する給液口７２１から塗液を供給する端供給型のダイを示したが、塗液の供給方法はこれに限定されるものではなく、主マニホールド７１６の中央から供給する形式や、主マニホールド７１６の両端から供給する形式でも構わない。

図９は上記塗液を基材上に吐出する状態と吐出を停止する状態とを切り替える場合の給液方向切り替えバルブ８０７（三方弁）と圧力調整液流制御手段８１０のバルブ８１１と第二の塗液圧力調整機構８０９の動作タイミングを示す図である。給液方向切り替えバルブ８０７（三方弁）がリリーフ経路８０８方向に切り替わる前に第二の塗液圧力調整機構８０９（サックバックバルブ）が吸引を開始しているが、その時点ではまだバルブ８１１が閉鎖されているため塗液圧力調整経路７１３から副マニホールド７１７内の塗液が流出することはなく、また逆止弁８１２の効果により排出経路８１４から塗液が逆流することもないため、塗液圧力調整経路７１３内に負圧が発生する。その後、給液方向切り替えバルブ８０７（三方弁）がリリーフ経路８０８方向に切り替わるのと略同時にバルブ８１１が開き、第二の塗液圧力調整機構８０９（サックバックバルブ）の吸引によって塗液圧力調整経路７１３内に発生していた負圧によって塗液が吸引され、副マニホールド７１７内の圧力が低下し、スリット７２３内の塗液が少量吸引される。その後バルブ８１１が再び閉鎖された後に、給液方向切り替えバルブ８０７（三方弁）がダイヘッド７００方向に切り替わり、吐出が再開される。第二の塗液圧力調整機構８０９（サックバックバルブ）に吸引された塗液が放出されるタイミングではバルブ８１１は閉鎖されており、塗液は逆止
弁８１２を経由して排出経路８１４に排出される。

このような動作が可能な圧力調整液流制御手段８１０としては、図８に示したようなバルブ８１１と逆止弁８１２を利用した構造のほか、複数のバルブを連動させた構造を利用することもできる。

以下、本発明の実施例およびその比較例を説明する。なお本発明はこの実施例によって限定されるものではない。

＜実施例１＞
実施例１は、本発明に係る図５に示されるダイヘッドと図４に示される間欠塗布装置を用いた例である。

実施例１で塗布した塗液は、黒鉛５５重量部に、スチレンブタジエンラバー分散液（濃度５．０重量％，溶媒：水）１０重量部、カルボキシメチルセルロース水溶液（濃度２．０重量％）２５重量部、純水１０重量部を加えて、ディスパーで攪拌して調製したものである。また、塗布幅は２００ｍｍ、塗布部長さ（搬送方向）は２５０ｍｍ、非塗布部長さは５０ｍｍである。

実施例１で用いたダイヘッド４００の内部には、円形（半径２０ｍｍ）断面の主マニホールド４１６、半円形（半径１０ｍｍ）断面の副マニホールド４１７、プリランド４１８（長さ１０ｍｍ、間隙１ｍｍ）、およびスリット４２３（長さ２０ｍｍ、間隙１ｍｍ）が形成されている。さらに、副マニホールド４１７には第一の塗液圧力調整機構４０９（電磁アクチュエータ）が設けられている。

実施例１で用いた間欠塗布装置５００は、タンク５０１、ポンプ５０２、給液経路５０３、ダイヘッド４００と、を備えており、ダイヘッド４００の先端から吐出された塗液は毎分２０ｍの速度で連続走行する基材５０５（幅２２０ｍｍ、厚さ１０μｍの銅箔）上に湿潤膜厚１５０μｍで塗布される。ダイヘッド４００の先端と基材５０５の間の塗布ギャップは１８０μｍとした。

以上で説明した間欠塗布装置５００を用い、図６に示したタイミングで給液方向切り替えバルブ５０７（三方弁）と第一の塗液圧力調整機構４０９（電磁アクチュエータ）を連動させて駆動し、間欠塗布を行った。なお排液口４２２は、実験開始前にダイヘッド４００内部に塗液を循環させ空気排出を行った後は、図示しないバルブで常時閉鎖した。

以上の塗布により得られた塗膜を調べたところ、塗り終わりの尾引きなどの欠陥は見られず、塗布部の搬送方向の膜厚分布を１ｍｍ間隔で測定したところ、塗り始め部、塗り終わり部を含む全点でレンジ１２μｍ以内であった。

＜実施例２＞
実施例２は、本発明に係る図８に示されるダイヘッドと図７に示される間欠塗布装置を用いた例である。

実施例２で塗布した塗液は、黒鉛５５重量部に、スチレンブタジエンラバー分散液（濃度５．０重量％，溶媒：水）１０重量部、カルボキシメチルセルロース水溶液（濃度２．０重量％）２５重量部、純水１０重量部を加えて、ディスパーで攪拌して調製したものである。また、塗布幅は２００ｍｍ、塗布部長さ（搬送方向）は２５０ｍｍ、非塗布部長さは５０ｍｍである。

ダイヘッド７００の内部には、円形（半径２０ｍｍ）断面の主マニホールド７１６、半円形（半径１０ｍｍ）断面の副マニホールド７１７、プリランド７１８（長さ１０ｍｍ、間隙１ｍｍ）、およびスリット７２３（長さ２０ｍｍ、間隙１ｍｍ）が形成されている。さらに、副マニホールド７１７にはダイヘッド７００外部の第二の塗液圧力調整機構（サックバックバルブ）８０９に接続する塗液圧力調整経路７１３が設けられている。

実施例２で使用した図７に示される間欠塗布装置８００は、タンク８０１、ポンプ８０２、給液経路８０３、ダイヘッド７００と、を備えており、ダイヘッド７００の先端から吐出された塗液は毎分２０ｍの速度で連続走行する基材８０５（幅２２０ｍｍ、厚さ１０μｍの銅箔）上に湿潤膜厚１５０μｍで塗布される。ダイヘッド７００の先端と基材８０５の間の塗布ギャップは１８０μｍとした。

上記間欠塗布装置８００を用い、図９に示したタイミングで給液方向切り替えバルブ８０７（三方弁）と圧力調整液流制御手段８１０のバルブ８１１と第二の塗液圧力調整機構８０９（サックバックバルブ）を連動させて駆動し、間欠塗布を行った。なお排液口７２２は、実験開始前にダイヘッド７００内部に塗液を循環させ空気排出を行った後は、図示しないバルブで常時閉鎖した。

以上の塗布により得られた塗膜を調べたところ、塗り終わりの尾引きは長さ０．３ｍｍ以下であり、その他の塗布欠陥も見られず、塗布部の搬送方向の膜厚分布を１ｍｍ間隔で測定したところ、塗り始め部、塗り終わり部を含む全点でレンジ１０μｍ以内であった。

＜比較例１＞
比較例１では、実施例２と同一のダイヘッドおよび間欠塗布装置を使用したが、第二の塗液圧力調整機構８０９（サックバックバルブ）の駆動は行わず、バルブ８１１は常時閉鎖した状態で間欠塗布を行った。用いた塗液、基材は実施例２と同じものであり、塗布幅、塗布部長さ、非塗布部長さ、基材走行速度、膜厚、塗布ギャップの条件も実施例２と同じである。

以上の塗布により得られた塗膜を調べたところ、塗り終わりに長さ３ｍｍほどの尾引きが見られた上、間欠部に点状の液ハネ欠陥が多数見られた。また、塗布部の搬送方向の膜厚分布を１ｍｍ間隔で測定したところ、塗り始め部に顕著な膜厚の盛り上がり、塗り終わり部になだらかな膜厚低下が見られ、全点の膜厚レンジは３５μｍであった。

以上の結果から、実施例１及び実施例２はいずれも比較例１よりも塗布部、非塗布部の直線性や膜厚均一性に優れていることが証明された。

以上のように本発明による間欠塗布装置によれば、塗布部分と非塗布部分からなる製品製造の場合に、間欠塗布の塗り終わり部や塗り始め部の直線性や膜厚精度を高精度に間欠塗布することができる。

１００、２００、３００、５００、８００… 間欠塗布装置
１０１、２０１、３０１、５０１、８０１… タンク
１０２、２０２、３０２、５０２、８０２… ポンプ
１０３、２０３、３０３、５０３、８０３… 給液経路
１０４、２０４、３０４、４００、７００… ダイヘッド
１０５、２０５、３０５、５０５、８０５… 基材
１０６、２０６、３０６、５０６、８０６… 塗膜
１０７、２０７、２１０、３０７、５０７、８０７ … 給液方向切り替えバルブ（三方弁）
１０８、２０８、３０８、５０８、８０８… リリーフ経路
１０９、２０９、３０９ … 塗液圧力調整手段（サックバックバルブ）
１１５、２１５、３１５ … マニホールド
３１０ … ベント液流制御手段
３１１、８１１ … バルブ
３１２、８１２ … 逆止弁
３１３ … ベント経路
３１４、８１４ … 排出経路
３１９ … エアベント口
４０９ … 第一の塗液圧力調整機構（電磁アクチュエータ）
４１６、７１６ … 主マニホールド
４１７、７１７ … 副マニホールド
４１８、７１８ … プリランド
４２１、７２１ … 給液口
４２２、７２２ … 排液口
４２３、７２３ … スリット
４２４、７２４ … シム
４２５、７２５ … メインブロック
４２６、７２６ … サイドブロック
７１３ … 塗液圧力調整経路
８０９… 第二の塗液圧力調整機構（サックバックバルブ）
８１０ … 圧力調整液流制御手段

Claims (6)

1. 塗液を基材上に間欠的に吐出して塗膜を形成する間欠塗布装置であって、
   ダイヘッドと、ダイヘッドに塗液を供給する給液経路と、塗液圧力（塗液にかかる圧力）調整手段とを備え、
   給液経路には塗液を貯えるタンクから塗液を圧送するポンプと、当該給液経路と給液経路外とを切り替えるバルブと、が備えられ、
   前記ダイヘッドは、ダイヘッドに供給された塗液を塗布幅方向に分配する主マニホールドと、塗布幅方向の塗布量を均一化する副マニホールドと、前記主マニホールドと前記副マニホールドを連通するプリランドと、前記副マニホールドと当該ダイヘッド先端の塗液吐出口とを連通するスリットを備え、
   前記塗液圧力調整手段は、前記副マニホールド内の圧力を調整することにより、前記吐出口から塗液を吐出しまたは吐出を停止して、間欠的に塗布するものであることを特徴とする間欠塗布装置。
2. 前記塗液圧力調整手段が、前記副マニホールドに設けられ、副マニホールドの容積を広げることによって塗液圧力を減圧する機構（第一の塗液圧力調整機構）を有することを特徴とする請求項１に記載の間欠塗布装置。
3. 前記第一の塗液圧力調整機構によって塗液の吐出を間欠的に停止する場合、吐出口から基材上に塗液を吐出した状態から、吐出を停止する場合は、前記給液経路のバルブを当該給液経路外へ切り替え、更に第一の塗液圧力調整機構によって副マニホールドの容積を広げて塗液圧力を減圧することを特徴とする請求項２に記載の間欠塗布装置。
4. 前記塗液圧力調整手段が、前記副マニホールドに塗液圧力調整経路によって連結され、副マニホールド内の塗液を副マニホールドの外に吸引することによって塗液圧力を減圧する機構（第二の塗液圧力調整機構）を有することを特徴とする請求項１に記載の間欠塗布装置。
5. 前記第二の塗液圧力調整機構の塗液圧力調整経路には圧力調整液流量制御手段が繋がれており、圧力調整液流量制御手段は塗液圧力調整経路外に塗液を排出できる排出経路が繋がれており、前記副マニホールドと前記第二の塗液圧力調整機構間の液流を制御することを特徴とする請求項４に記載の間欠塗布装置。
6. 前記第二の塗液圧力調整機構によって塗液の吐出を間欠的に停止する場合、吐出口から基材上に塗液を吐出した状態から、吐出を停止する場合は、前記給液経路のバルブを当該給液経路外へ切り替え、更に前記圧力調整液流量制御手段が前記塗液圧力調整経路を開放して、前記副マニホールド内の塗液を塗液圧力調整経路に吸引することを特徴とする請求項５に記載の間欠塗布装置。

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