JP2014057937A - 間欠塗布装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】連続走行する基材に精度よく間欠塗布することができるエクストルージョン型ダイヘッドを備えた塗布装置を提供する。
【解決手段】ダイヘッドと、ダイヘッドに塗液を供給する給液経路と、塗液圧力調整手段とを備え、給液経路には塗液を貯えるタンクから塗液を圧送するポンプと、当該給液経路と給液経路外とを切り替えるバルブと、が備えられ、前記ダイヘッドは、ダイヘッドに供給された塗液を塗布幅方向に分配する主マニホールドと、塗布幅方向の塗布量を均一化する副マニホールドと、前記主マニホールドと前記副マニホールドを連通するプリランドと、前記副マニホールドと当該ダイヘッド先端の塗液吐出口とを連通するスリットを備え、前記塗液圧力調整手段は、前記副マニホールド内の圧力を調整することにより、前記吐出口から塗液を吐出しまたは吐出を停止して、間欠的に塗布するものであることを特徴とする間欠塗布装置。
【選択図】図4

Description

本発明は、バックアップロールで保持され連続搬送されている基材に精度よく間欠塗布することができるエクストルージョン型ダイヘッドを備えた間欠塗布装置に関する。
エクストルージョン型ダイヘッドを用いた塗布装置は、高精度で均一な塗膜を得やすく、また塗液劣化や異物混入が少ないといった利点があるため、光学フィルム、液晶ディスプレイ用カラーフィルターなどの製造に広く用いられている。なかでも、連続走行する基材に対して、ダイからの塗液の吐出と停止を繰り返すことで基材上に塗布部と非塗布部を交互に形成する間欠塗布技術は、幅広く用いられている。
エクストルージョン型ダイヘッドを用いた塗布では、連続塗布であっても間欠塗布であっても、塗布幅方向の塗布均一性はきわめて重要であり、高い均一性を実現するために、ダイの内部流路構造や塗液流動物性の最適化が行われる。例えば、内部流路構造の工夫として、マニホールドを複数設け、それらの間を比較的狭い間隔を持つ流路(プリランド)で連通した構造が一般的に知られている。(特許文献1参照)
図1は、タンク101からポンプ102によって塗液をダイヘッド104に圧送し、ダイヘッド104の先端から基材105上に間欠塗布して塗膜106を形成する、基本的な間欠塗布装置100の概略図である。この装置では、ポンプ102とダイヘッド104を結ぶ給液経路103の途中に、給液方向切り替えバルブとして三方弁107を設けることで、間欠塗布を実現している。即ち、ダイヘッド104から塗液を吐出する塗布時には塗液をダイヘッド104に送液し、ダイヘッド104から塗液を吐出しない時には三方弁107を切り替えて塗液をリリーフ経路108に送液しタンク101に戻す。
この場合、単に三方弁107をリリーフ経路108方向に切り替えただけではダイヘッド104内部の圧力低下に時間がかかり、塗膜106の塗り終わり部の膜厚が不均一になったり、ヒゲ状に伸びた塗液が基材105上の非塗布部に尾を引くなど、間欠塗布の精度が悪化する場合がある。この問題を解決するため、三方弁107とダイヘッドの間の給液経路103にサックバックバルブ109を設置し、非塗布時に給液経路103内部の塗液を少量吸引することでダイヘッド104内部の圧力を急速に低下させ、ダイヘッド104先端からの塗液吐出を瞬時に止めることで塗膜106の塗り終わり部の直線性や膜厚均一性を向上させる工夫がなされている。
しかし図1の構成の場合、非塗布時にサックバックバルブ109に吸引された塗液は、塗液吐出再開時に給液経路103内に放出されるため、塗り始め部の塗膜106の膜厚が不均一になりやすい問題がある。この問題を解決するために、例えば図2のように、サックバックバルブ209と給液経路203との間に三方弁210などの送液方向切り替え手段を設け、サックバックバルブ209の吸引時にはダイヘッドと繋がる給液経路203と、サックバックバルブ209の放出時にはリリーフ経路208と接続するように切り替える提案(特許文献2参照)や、図1の構成において、サックバックバルブ109で吸引した塗液を塗布時に放出することによる圧力変動を、別のサックバックバルブ等で吸収することで塗り始め部の膜厚精度悪化を防止する提案(特許文献3参照)などがされている。
また塗り終わり部や塗り始め部の直線性や膜厚精度をさらに向上させるために、例えば図3のように、ダイヘッド304のマニホールド315内の空気を排出するエアベント口319に接続された塗液圧力調整手段309を設ける提案もなされている。
特開2007−275779号公報 特開2002−219400号公報 特開2011−152509号公報
しかしながら、これらの装置や方法を用いても、ダイヘッド内部に残留した空気の圧縮効果などのため、サックバックバルブで吸引してもダイヘッド内部の圧力が充分急速に下がらず、間欠塗布の塗り終わり部や塗り始め部の直線性や膜厚精度が充分改善しない場合があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、連続走行する基材に精度よく間欠塗布することができるエクストルージョン型ダイヘッドを備えた塗布装置を提供することを課題とする。
本発明の請求項1に記載の発明は、
塗液を基材上に間欠的に吐出して塗膜を形成する間欠塗布装置であって、
ダイヘッドと、ダイヘッドに塗液を供給する給液経路と、塗液圧力(塗液にかかる圧力)調整手段とを備え、
給液経路には塗液を貯えるタンクから塗液を圧送するポンプと、当該給液経路と給液経路外とを切り替えるバルブと、が備えられ、
前記ダイヘッドは、ダイヘッドに供給された塗液を塗布幅方向に分配する主マニホールドと、塗布幅方向の塗布量を均一化する副マニホールドと、前記主マニホールドと前記副マニホールドを連通するプリランドと、前記副マニホールドと当該ダイヘッド先端の塗液吐出口とを連通するスリットを備え、
前記塗液圧力調整手段は、前記副マニホールド内の圧力を調整することにより、前記吐出口から塗液を吐出しまたは吐出を停止して、間欠的に塗布するものであることを特徴とする間欠塗布装置である。
本発明の請求項2に記載の発明は、
前記塗液圧力調整手段が、前記副マニホールドに設けられ、副マニホールドの容積を広げることによって塗液圧力を減圧する機構(第一の塗液圧力調整機構)を有することを特徴とする請求項1に記載の間欠塗布装置である。
本発明の請求項3に記載の発明は、
前記第一の塗液圧力調整機構によって塗液の吐出を間欠的に停止する場合、吐出口から基材上に塗液を吐出した状態から、吐出を停止する場合は、前記給液経路のバルブを当該給液経路外へ切り替え、更に第一の塗液圧力調整機構によって副マニホールドの容積を広げて塗液圧力を減圧することを特徴とする請求項2に記載の間欠塗布装置である。
本発明の請求項4に記載の発明は、
前記塗液圧力調整手段が、前記副マニホールドに塗液圧力調整経路によって連結され、副マニホールド内の塗液を副マニホールドの外に吸引することによって塗液圧力を減圧する機構(第二の塗液圧力調整機構)を有することを特徴とする請求項1に記載の間欠塗布装置である。
本発明の請求項5に記載の発明は、
前記第二の塗液圧力調整機構の塗液圧力調整経路には圧力調整液流量制御手段が繋がれており、圧力調整液流量制御手段は塗液圧力調整経路外に塗液を排出できる排出経路が繋がれており、前記副マニホールドと前記第二の塗液圧力調整機構間の液流を制御することを特徴とする請求項4に記載の間欠塗布装置である。
本発明の請求項6に記載の発明は、
前記第二の塗液圧力調整機構によって塗液の吐出を間欠的に停止する場合、吐出口から基材上に塗液を吐出した状態から、吐出を停止する場合は、前記給液経路のバルブを当該給液経路外へ切り替え、更に前記圧力調整液流量制御手段が前記塗液圧力調整経路を開放して、前記副マニホールド内の塗液を塗液圧力調整経路に吸引することを特徴とする請求項5に記載の間欠塗布装置である。
本発明の間欠塗布装置によれば、塗り終わり部や塗り始め部の直線性や膜厚精度に優れた間欠塗布を行うことができる。
従来の間欠塗布装置の構成を説明する図。 塗り始めの膜厚精度を改善する工夫がなされた、従来の間欠塗布装置の構成を説明する図。 塗り始めおよび塗り終わりの膜厚精度を改善する工夫がなされた、従来の間欠塗布装置の構成を説明する図。 本発明の実施形態1の塗布装置の構成を説明する図。 本発明の実施形態1のダイヘッドの構造を説明する図。 本発明の実施形態1の給液方向切り替えバルブおよび第一の塗液圧力調整機構の動作タイミングを説明する図。 本発明の実施形態2の塗布装置の構成を説明する図。 本発明の実施形態2のダイヘッドの構造を説明する図。 本発明の実施形態2の給液方向切り替えバルブ、圧力調整液流制御手段のバルブ、および第二の塗液圧力調整機構の動作タイミングを説明する図。
以下、添付図面を参照しながら、本発明の間欠塗布装置の実施形態について説明する。
図4は本発明の間欠塗布装置の実施形態1の構成を示す図で、塗液圧力調整手段が第一の塗液圧力調整機構の場合であって、図5は本発明の間欠塗布装置の実施形態その1の前記ダイヘッド400を示す図で、図5(a)は正面図、図5(b)は側面図、図5(c)は図5(a)のA−A断面を示す図、図5(d)は図5(a)のB−B断面を示す図である。本発明の実施形態その1の間欠塗布装置500は、ダイヘッド400と、ダイヘッド400に塗液を供給する給液経路503と、塗液圧力(塗液にかかる圧力)調整手段である第一の圧力調整機構409と、を備えている。給液経路内には塗液を貯えるタンク501の塗液を圧送するポンプ502と、当該給液経路503と給液経路外(以下、リリーフ経路)508とを切り替えるバルブ507と、が備えられている。
前記ダイヘッド400は、2つのメインブロック425と、2つのサイドブロック426、給液口421、排液口422、シム424から構成される。また、ダイヘッドに供給された塗液を塗布幅方向に分配する主マニホールド416と、塗布幅方向の塗布量を均一化する副マニホールド417と、前記主マニホールド416と前記副マニホールド417を連通するプリランド418と、前記副マニホールド417と当該ダイヘッド先端の塗液吐出口を連通するスリット423を備えている。
前記塗液圧力調整手段である第一の塗液圧力調整機構409は、前記副マニホールド417に設けられ、副マニホールドの容積を広げることによって塗液圧力を減圧する機構である。即ち、塗液を基材上に吐出する状態から吐出を停止する状態に切り替える場合には、給液方向切り替えバルブ507をリリーフ経路508に切り替え、更に前記副マニホールドに設けられた第一の塗液圧力調整機構409によって副マニホールドの容積を広げるものである。
第一の塗液圧力調整機構409としては、サックバックバルブ、電磁アクチュエータ、圧電アクチュエータなどを好ましく用いることができるが、これらに限定されるものではない。また、図5に示した塗液圧力調整機構409は、副マニホールド417の塗布幅方向中央に1ヶ所であるが、その位置は中央でなくても良く、また複数あっても良く、さらにメインブロック425ではなく、サイドブロック426に設けられても良い。
主マニホールド416および副マニホールド417の断面形状は、塗液の性状に応じて、円形、半円、矩形、三角形、ティアドロップ形など種々の形状を用いることができ、また断面形状は塗布幅方向に変化しても良く、いわゆるコートハンガー型なども好ましく用いることができる。プリランド418の長さや間隙は塗布幅方向に一定でなくても良く、また、主マニホールド416から副マニホールド417に向かう方向で間隙が変化しても良い。また、図5に示すダイヘッド400では主マニホールド416の一端に連通する給液口421から塗液を供給する端供給型のダイを示したが、塗液の供給方法はこれに限定されるものではなく、主マニホールド416の中央から供給する形式や、主マニホールド416の両端から供給する形式でも構わない。
図6は、上記塗液を基材上に吐出する状態と吐出を停止する状態とを切り替える場合の給液方向切り替えバルブ507(三方弁)と第一の塗液圧力調整機構409の動作タイミングを示す図である。給液方向切り替えバルブ507がリリーフ経路508方向に切り替わるのと略同時に第一の塗液圧力調整機構409(例えば電磁アクチュエータ)が副マニホールド417内を減圧する方向に作動し、スリット423内の塗液が少量吸引される。その後、給液方向切り替えバルブ507(三方弁)がダイヘッド400方向に切り替わるのと略同時に第一の塗液圧力調整機構409が副マニホールド417内を加圧する方向に作動し、吐出が再開される。
このような構成と動作によって、たとえ主マニホールド416内に空気の残存や混入があったとしても、副マニホールド417との間のプリランド418の圧力損失があるため、副マニホールド417の圧力調整を高速かつ高精度に行うことができ、間欠塗布の塗り終わり部や塗り始め部の直線性や膜厚精度を改善することができる。
図7は本発明の間欠塗布装置の実施形態2の構成を示す図で、塗液圧力調整手段が第二の塗液圧力調整機構の場合であって、図8は本発明の間欠塗布装置の実施形態その2のダイヘッド700を示す図で、図8(a)は正面図、図8(b)は側面図、図8(c)は図8(a)のA−A断面を示す図、図8(d)は図8(a)のB−B断面を示す図である。本発明の実施形態その2の間欠塗布装置800は、ダイヘッド700と、ダイヘッド700に塗液を供給する給液経路803と、塗液圧力調整手段である第二の塗液圧力調整機構809と、を備えている。
前記ダイヘッド700は、2つのメインブロック725と、2つのサイドブロック726、給液口721、排液口722、シム724から構成される。また、ダイヘッドに供給された塗液を塗布幅方向に分配する主マニホールド716と、塗布幅方向の塗布量を均一化する副マニホールド717と、前記主マニホールド716と前記副マニホールド717を連通するプリランド718と、前記副マニホールド717と当該ダイヘッド先端の塗液吐出口とを連通するスリット723を備えている。
第二の塗液圧力調整機構809は、副マニホールド内の塗液を吸引することによって塗液圧力を減圧するものであって、副マニホールド717に塗液圧力調整経路713によって連結されている。
更に、塗液圧力調整経路713には圧力調整液流制御手段810が繋がれており、またその圧力調整液流制御手段810には当該塗液圧力調整経路外に塗液を排出できる排出経路814が繋がれている。圧力調整液流制御手段810によって副マニホールド717と第二の塗液圧力調整機構809間の液流を塗液圧力調整経路713または排出経路814に制御することができる。圧力調整液流制御手段810はバルブ811と逆止弁812で構成されている。
塗液を基材上に吐出する状態から吐出を停止する状態に切り替える場合には、給液方向切り替えバルブ807をリリーフ経路808に切り替え、前記第二の塗液圧力調整機構809が副マニホールド内の塗液を吸引することによって塗液圧力は減圧される。
第二の塗液圧力調整機構809としては、サックバックバルブ、電磁アクチュエータ、圧電アクチュエータなどを好ましく用いることができるが、これらに限定されるものではない。また、図8に示した第二の塗液圧力調整機構809は、副マニホールド717の塗布幅方向中央に1ヶ所であるが、その位置は中央でなくても良く、また複数あっても良く、さらにメインブロック725ではなく、サイドブロック726に設けられても良い。
主マニホールド716および副マニホールド717の断面形状は、塗液の性状に応じて、円形、半円、矩形、三角形、ティアドロップ形など種々の形状を用いることができ、また断面形状は塗布幅方向に変化しても良く、いわゆるコートハンガー型なども好ましく用いることができる。プリランド718の長さや間隙は塗布幅方向に一定でなくても良く、また、主マニホールド716から副マニホールド717に向かう方向で間隙が変化しても良い。また、図8に示すダイヘッド700では主マニホールド716の一端に連通する給液口721から塗液を供給する端供給型のダイを示したが、塗液の供給方法はこれに限定されるものではなく、主マニホールド716の中央から供給する形式や、主マニホールド716の両端から供給する形式でも構わない。
図9は上記塗液を基材上に吐出する状態と吐出を停止する状態とを切り替える場合の給液方向切り替えバルブ807(三方弁)と圧力調整液流制御手段810のバルブ811と第二の塗液圧力調整機構809の動作タイミングを示す図である。給液方向切り替えバルブ807(三方弁)がリリーフ経路808方向に切り替わる前に第二の塗液圧力調整機構809(サックバックバルブ)が吸引を開始しているが、その時点ではまだバルブ811が閉鎖されているため塗液圧力調整経路713から副マニホールド717内の塗液が流出することはなく、また逆止弁812の効果により排出経路814から塗液が逆流することもないため、塗液圧力調整経路713内に負圧が発生する。その後、給液方向切り替えバルブ807(三方弁)がリリーフ経路808方向に切り替わるのと略同時にバルブ811が開き、第二の塗液圧力調整機構809(サックバックバルブ)の吸引によって塗液圧力調整経路713内に発生していた負圧によって塗液が吸引され、副マニホールド717内の圧力が低下し、スリット723内の塗液が少量吸引される。その後バルブ811が再び閉鎖された後に、給液方向切り替えバルブ807(三方弁)がダイヘッド700方向に切り替わり、吐出が再開される。第二の塗液圧力調整機構809(サックバックバルブ)に吸引された塗液が放出されるタイミングではバルブ811は閉鎖されており、塗液は逆止
弁812を経由して排出経路814に排出される。
このような動作が可能な圧力調整液流制御手段810としては、図8に示したようなバルブ811と逆止弁812を利用した構造のほか、複数のバルブを連動させた構造を利用することもできる。
以下、本発明の実施例およびその比較例を説明する。なお本発明はこの実施例によって限定されるものではない。
<実施例1>
実施例1は、本発明に係る図5に示されるダイヘッドと図4に示される間欠塗布装置を用いた例である。
実施例1で塗布した塗液は、黒鉛55重量部に、スチレンブタジエンラバー分散液(濃度5.0重量%,溶媒:水)10重量部、カルボキシメチルセルロース水溶液(濃度2.0重量%)25重量部、純水10重量部を加えて、ディスパーで攪拌して調製したものである。また、塗布幅は200mm、塗布部長さ(搬送方向)は250mm、非塗布部長さは50mmである。
実施例1で用いたダイヘッド400の内部には、円形(半径20mm)断面の主マニホールド416、半円形(半径10mm)断面の副マニホールド417、プリランド418(長さ10mm、間隙1mm)、およびスリット423(長さ20mm、間隙1mm)が形成されている。さらに、副マニホールド417には第一の塗液圧力調整機構409(電磁アクチュエータ)が設けられている。
実施例1で用いた間欠塗布装置500は、タンク501、ポンプ502、給液経路503、ダイヘッド400と、を備えており、ダイヘッド400の先端から吐出された塗液は毎分20mの速度で連続走行する基材505(幅220mm、厚さ10μmの銅箔)上に湿潤膜厚150μmで塗布される。ダイヘッド400の先端と基材505の間の塗布ギャップは180μmとした。
以上で説明した間欠塗布装置500を用い、図6に示したタイミングで給液方向切り替えバルブ507(三方弁)と第一の塗液圧力調整機構409(電磁アクチュエータ)を連動させて駆動し、間欠塗布を行った。なお排液口422は、実験開始前にダイヘッド400内部に塗液を循環させ空気排出を行った後は、図示しないバルブで常時閉鎖した。
以上の塗布により得られた塗膜を調べたところ、塗り終わりの尾引きなどの欠陥は見られず、塗布部の搬送方向の膜厚分布を1mm間隔で測定したところ、塗り始め部、塗り終わり部を含む全点でレンジ12μm以内であった。
<実施例2>
実施例2は、本発明に係る図8に示されるダイヘッドと図7に示される間欠塗布装置を用いた例である。
実施例2で塗布した塗液は、黒鉛55重量部に、スチレンブタジエンラバー分散液(濃度5.0重量%,溶媒:水)10重量部、カルボキシメチルセルロース水溶液(濃度2.0重量%)25重量部、純水10重量部を加えて、ディスパーで攪拌して調製したものである。また、塗布幅は200mm、塗布部長さ(搬送方向)は250mm、非塗布部長さは50mmである。
ダイヘッド700の内部には、円形(半径20mm)断面の主マニホールド716、半円形(半径10mm)断面の副マニホールド717、プリランド718(長さ10mm、間隙1mm)、およびスリット723(長さ20mm、間隙1mm)が形成されている。さらに、副マニホールド717にはダイヘッド700外部の第二の塗液圧力調整機構(サックバックバルブ)809に接続する塗液圧力調整経路713が設けられている。
実施例2で使用した図7に示される間欠塗布装置800は、タンク801、ポンプ802、給液経路803、ダイヘッド700と、を備えており、ダイヘッド700の先端から吐出された塗液は毎分20mの速度で連続走行する基材805(幅220mm、厚さ10μmの銅箔)上に湿潤膜厚150μmで塗布される。ダイヘッド700の先端と基材805の間の塗布ギャップは180μmとした。
上記間欠塗布装置800を用い、図9に示したタイミングで給液方向切り替えバルブ807(三方弁)と圧力調整液流制御手段810のバルブ811と第二の塗液圧力調整機構809(サックバックバルブ)を連動させて駆動し、間欠塗布を行った。なお排液口722は、実験開始前にダイヘッド700内部に塗液を循環させ空気排出を行った後は、図示しないバルブで常時閉鎖した。
以上の塗布により得られた塗膜を調べたところ、塗り終わりの尾引きは長さ0.3mm以下であり、その他の塗布欠陥も見られず、塗布部の搬送方向の膜厚分布を1mm間隔で測定したところ、塗り始め部、塗り終わり部を含む全点でレンジ10μm以内であった。
<比較例1>
比較例1では、実施例2と同一のダイヘッドおよび間欠塗布装置を使用したが、第二の塗液圧力調整機構809(サックバックバルブ)の駆動は行わず、バルブ811は常時閉鎖した状態で間欠塗布を行った。用いた塗液、基材は実施例2と同じものであり、塗布幅、塗布部長さ、非塗布部長さ、基材走行速度、膜厚、塗布ギャップの条件も実施例2と同じである。
以上の塗布により得られた塗膜を調べたところ、塗り終わりに長さ3mmほどの尾引きが見られた上、間欠部に点状の液ハネ欠陥が多数見られた。また、塗布部の搬送方向の膜厚分布を1mm間隔で測定したところ、塗り始め部に顕著な膜厚の盛り上がり、塗り終わり部になだらかな膜厚低下が見られ、全点の膜厚レンジは35μmであった。
以上の結果から、実施例1及び実施例2はいずれも比較例1よりも塗布部、非塗布部の直線性や膜厚均一性に優れていることが証明された。
以上のように本発明による間欠塗布装置によれば、塗布部分と非塗布部分からなる製品製造の場合に、間欠塗布の塗り終わり部や塗り始め部の直線性や膜厚精度を高精度に間欠塗布することができる。
100、200、300、500、800… 間欠塗布装置
101、201、301、501、801… タンク
102、202、302、502、802… ポンプ
103、203、303、503、803… 給液経路
104、204、304、400、700… ダイヘッド
105、205、305、505、805… 基材
106、206、306、506、806… 塗膜
107、207、210、307、507、807 … 給液方向切り替えバルブ(三方弁)
108、208、308、508、808… リリーフ経路
109、209、309 … 塗液圧力調整手段(サックバックバルブ)
115、215、315 … マニホールド
310 … ベント液流制御手段
311、811 … バルブ
312、812 … 逆止弁
313 … ベント経路
314、814 … 排出経路
319 … エアベント口
409 … 第一の塗液圧力調整機構(電磁アクチュエータ)
416、716 … 主マニホールド
417、717 … 副マニホールド
418、718 … プリランド
421、721 … 給液口
422、722 … 排液口
423、723 … スリット
424、724 … シム
425、725 … メインブロック
426、726 … サイドブロック
713 … 塗液圧力調整経路
809… 第二の塗液圧力調整機構(サックバックバルブ)
810 … 圧力調整液流制御手段

Claims (6)

  1. 塗液を基材上に間欠的に吐出して塗膜を形成する間欠塗布装置であって、
    ダイヘッドと、ダイヘッドに塗液を供給する給液経路と、塗液圧力(塗液にかかる圧力)調整手段とを備え、
    給液経路には塗液を貯えるタンクから塗液を圧送するポンプと、当該給液経路と給液経路外とを切り替えるバルブと、が備えられ、
    前記ダイヘッドは、ダイヘッドに供給された塗液を塗布幅方向に分配する主マニホールドと、塗布幅方向の塗布量を均一化する副マニホールドと、前記主マニホールドと前記副マニホールドを連通するプリランドと、前記副マニホールドと当該ダイヘッド先端の塗液吐出口とを連通するスリットを備え、
    前記塗液圧力調整手段は、前記副マニホールド内の圧力を調整することにより、前記吐出口から塗液を吐出しまたは吐出を停止して、間欠的に塗布するものであることを特徴とする間欠塗布装置。
  2. 前記塗液圧力調整手段が、前記副マニホールドに設けられ、副マニホールドの容積を広げることによって塗液圧力を減圧する機構(第一の塗液圧力調整機構)を有することを特徴とする請求項1に記載の間欠塗布装置。
  3. 前記第一の塗液圧力調整機構によって塗液の吐出を間欠的に停止する場合、吐出口から基材上に塗液を吐出した状態から、吐出を停止する場合は、前記給液経路のバルブを当該給液経路外へ切り替え、更に第一の塗液圧力調整機構によって副マニホールドの容積を広げて塗液圧力を減圧することを特徴とする請求項2に記載の間欠塗布装置。
  4. 前記塗液圧力調整手段が、前記副マニホールドに塗液圧力調整経路によって連結され、副マニホールド内の塗液を副マニホールドの外に吸引することによって塗液圧力を減圧する機構(第二の塗液圧力調整機構)を有することを特徴とする請求項1に記載の間欠塗布装置。
  5. 前記第二の塗液圧力調整機構の塗液圧力調整経路には圧力調整液流量制御手段が繋がれており、圧力調整液流量制御手段は塗液圧力調整経路外に塗液を排出できる排出経路が繋がれており、前記副マニホールドと前記第二の塗液圧力調整機構間の液流を制御することを特徴とする請求項4に記載の間欠塗布装置。
  6. 前記第二の塗液圧力調整機構によって塗液の吐出を間欠的に停止する場合、吐出口から基材上に塗液を吐出した状態から、吐出を停止する場合は、前記給液経路のバルブを当該給液経路外へ切り替え、更に前記圧力調整液流量制御手段が前記塗液圧力調整経路を開放して、前記副マニホールド内の塗液を塗液圧力調整経路に吸引することを特徴とする請求項5に記載の間欠塗布装置。
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