JP6361658B2 - 塗布装置及び塗布装置の制御方法 - Google Patents
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Description
T タンク(供給部)
P ポンプ(供給部)
2 送液管(供給部)
3、103 塗布部
4、104 供給口
5 第1バッファ室
6 抵抗通路
7、107 第2バッファ室
8、108 開閉バルブ
9、109 連通口
10、110 スリットノズル
11、111 ハウジング
12 ノズル保持部材
13 基材
21、22 塗布膜
Claims (11)
- 塗布液を供給する供給部と、前記供給部から供給された前記塗布液を基材に対して所定の幅で塗布する塗布部とからなる塗布装置であって、
前記塗布部が、
前記塗布液が供給される供給口と、
前記供給口から流入する前記塗布液を前記幅方向に分配する第1バッファ室と、
前記第1バッファ室から流入する前記塗布液に対して前記第1バッファ室における流体抵抗よりも大きな流体抵抗を付与する抵抗通路と、
前記抵抗通路から流入する前記塗布液を前記幅方向に分配する第2バッファ室と、
前記第2バッファ室の内部に設けられて前記第2バッファ室の上流から下流への連通と遮断を制御するための前記幅方向に貫通して延びる円柱形状であって、前記第2バッファ室の一部を構成するとともに前記第2バッファ室の上流と下流とを連通する連通口を有する開閉バルブと、
前記開閉バルブを経て前記第2バッファ室から流入する前記塗布液を前記基材に対して前記所定の幅で吐出するスリットノズルと、を有することを特徴とする塗布装置。 - 前記塗布部が、前記供給口、前記第1バッファ室、前記抵抗通路及び前記第2バッファ室を収納するハウジングを備え、前記ハウジングが前記スリットノズルを保持するノズル保持部材を前記第2バッファ室の下流に有し、
前記スリットノズルが前記塗布液の吐出方向に対して直角方向に着脱可能なことを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。 - 前記連通口の幅及び奥行きが前記第2バッファ室の幅及び奥行きとほぼ同じであることを特徴とする請求項1又は2の何れか一項に記載の塗布装置。
- 前記開閉バルブが、前記第2バッファ室の内部であって下流に配置された前記スリットノズルの近くに配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の塗布装置。
- 前記開閉バルブが開弁及び閉弁することで前記スリットノズルから前記塗布液の吐出が停止及び再開され、
前記開閉バルブが閉弁から開弁に切り替わる際に、前記塗布液が前記スリットノズルの先端まで充填されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の塗布装置。 - 前記抵抗通路の奥行きが前記第1バッファ室の奥行きよりも小さく設定されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の塗布装置。
- 塗布液を供給する供給部と、前記供給部から供給された前記塗布液を基材に対して所定の幅で塗布する塗布部とからなる塗布装置であって、
前記塗布部が、
前記塗布液が供給される供給口と、
前記供給口から流入する前記塗布液を前記幅方向に分配するバッファ室と、
前記バッファ室の内部に設けられて前記バッファ室の上流から下流への連通と遮断を制御するための前記幅方向に貫通して延びる円柱形状であって、前記バッファ室の一部を構成するとともに前記バッファ室の上流と下流とを連通する連通口を有する開閉バルブと、
前記開閉バルブを経て前記バッファ室から流入する前記塗布液を前記基材に対して前記所定の幅で吐出するスリットノズルと、を有することを特徴とする塗布装置。 - 前記開閉バルブが、前記バッファ室の内部であって下流に配置された前記スリットノズルの近くに配置されていることを特徴とする請求項7に記載の塗布装置。
- 前記開閉バルブが開弁及び閉弁することで前記スリットノズルから前記塗布液の吐出が停止及び再開され、
前記開閉バルブが閉弁から開弁に切り替わる際に、前記塗布液が前記スリットノズルの先端まで充填されていることを特徴とする請求項7又は8のいずれか一項に記載の塗布装置。 - 前記塗布部が、前記供給口、前記バッファ室及び前記スリットノズルを収納するハウジングを備えることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか一項に記載の塗布装置。
- 塗布装置の制御方法において、
該塗布装置は、塗布液を供給する供給部と、前記供給部から供給された前記塗布液を基材に対して所定の幅で塗布する塗布部と、を備え、
当該制御方法は、
前記塗布部に備える供給口に前記塗布液が供給される工程と、
前記塗布部に備える第1バッファ室により前記供給口から流入する前記塗布液を前記幅方向に分配する工程と、
前記塗布部に備える抵抗通路により、前記第1バッファ室から流入する前記塗布液に対して前記第1バッファ室における流体抵抗よりも大きな流体抵抗を付与する工程と、
記塗布部に備える第2バッファ室により前記抵抗通路から流入する前記塗布液を前記幅方向に分配する工程と、
前記第2バッファ室の内部に設けられて前記第2バッファ室の上流から下流への連通と遮断を制御するための前記幅方向に貫通して延びる円柱状であって、前記第2バッファ室の一部を構成するとともに前記第2バッファ室の上流と下流とを連通する連通口を有する開閉バルブにより前記第2バッファ室の上流から下流への連通と遮断を制御する工程と、
スリットノズルにより前記開閉バルブを経て前記第2バッファ室から流入する前記塗布液を前記基材に対して前記所定の幅で吐出する工程と、を含む、
ことを特徴とする塗布装置の制御方法。
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