JP2015182019A - 塗布工具 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な構造により、スリットの長手方向（塗布幅方向）の全長に亘って塗布液の膜厚を均一にすることができ、塗布精度を向上できる塗布工具を提供すること。
【解決手段】隣接配置された複数のヘッド部材２の間に、塗布液が供給されるマニホールド４と、前記マニホールド４に連通するスリット３と、が形成され、前記ヘッド部材２の先端部１１に開口する前記スリット３を通して、被塗布物に塗布液を塗布する塗布工具１であって、前記複数のヘッド部材２の延在方向Ｌの両端部には、前記マニホールド４及び前記スリット３の両端部に臨むサイドプレート２０がそれぞれ配設され、前記サイドプレート２０には、前記マニホールド４に連通する窪み部２２が形成されており、前記窪み部２２を含む前記マニホールド４の延在方向Ｌの長さが、前記スリット３の延在方向Ｌの長さよりも長く設定される。
【選択図】図３

Description

本発明は、例えばパネル状部材やシート状部材などの被塗布物の表面に、塗布液を塗布する際に使用される塗布工具に関するものである。

従来、例えば液晶ディスプレイのガラス基板等のパネル状部材や、可撓性を有するシート状部材などの被塗布物の表面に塗布液を塗布する目的で、スロットダイ（塗布工具）が使用されている。
この種の塗布工具としては、例えば下記特許文献１に示されるような、隣接配置された一対のヘッド部材の間に、塗布液が供給されるマニホールドと、マニホールドに連通するスリットと、が形成され、ヘッド部材の先端部に開口するスリットを通して、被塗布物に塗布液を塗布するものが知られている。

上記マニホールドは、長尺の矩形板状をなすヘッド部材の延在方向に沿って、ヘッド部材の内面に形成される。マニホールドの断面形状は、例えば円形や半円形、台形（矩形）等である。マニホールドには、マニホールドに塗布液を供給する供給口が開口している。この供給口は、例えばマニホールドの延在方向の中央部や端部に配置される。

また、塗布液は、マニホールドに供給されて一時的に保持され、マニホールドからスリットへと流通し、該スリットを通って塗布工具の先端部（刃先エッジ）から被塗布物に塗布される。このように、マニホールドからスリットを通して塗布液が吐出されることにより、被塗布物に対して塗布液が均一に塗布されるようにしている。

特開２００５−０２１８２１号公報

ところで、この種の塗布工具においては、被塗布物の表面に塗布された塗布液の膜厚をより均一にすることが求められており、具体的には、塗布液の膜厚の誤差を、例えば０．１μｍ以内にまで抑えることが要求されている。
しかしながら、従来の塗布工具では、スリットの長手方向（塗布液の塗布幅方向）の全長に亘って、塗布液の膜厚を高精度に均一にすることは困難であった。特に、スリットの長手方向の両端部の膜厚は、中央部の膜厚に比べて、大きくばらついてしまうという問題がある。
このため、被塗布物に塗布された塗布液のうち、膜厚にばらつきがある両端部分を破棄する等の措置が採られており、塗布液及び被塗布物が無駄に浪費されるという問題が生じていた。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、簡単な構造により、スリットの長手方向（塗布幅方向）の全長に亘って塗布液の膜厚を均一にすることができ、塗布精度を向上できる塗布工具を提供することを目的としている。

このような課題を解決して、前記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提案している。
すなわち本発明は、隣接配置された複数のヘッド部材の間に、塗布液が供給されるマニホールドと、前記マニホールドに連通するスリットと、が形成され、前記ヘッド部材の先端部に開口する前記スリットを通して、被塗布物に塗布液を塗布する塗布工具であって、前記複数のヘッド部材の延在方向の両端部には、前記マニホールド及び前記スリットの両端部に臨むサイドプレートがそれぞれ配設され、前記サイドプレートには、前記マニホールドに連通する窪み部が形成されており、前記窪み部を含む前記マニホールドの延在方向の長さが、前記スリットの延在方向の長さよりも長く設定されることを特徴とする。

本発明の塗布工具では、ヘッド部材の延在方向の両端部にサイドプレートが配設されており、これらサイドプレートは、隣接するヘッド部材間に形成されて前記延在方向に沿って延びるマニホールド及びスリットの両端部に臨んでいるとともに、これらマニホールド及びスリットの両端部を塞いでいる。そして、マニホールドの両端部は、サイドプレートの窪み部を含んで形成されている。
これにより、マニホールドの両端部で塗布液の乱流が起きても、この乱流はサイドプレートの窪み部内で生じることになり、該窪み部よりも延在方向の内側に位置するスリットの両端部では、塗布液が乱流による影響を受けにくい。

すなわち、サイドプレートの窪み部によって、マニホールドの延在方向に沿う全長が延長されているので、該マニホールドの両端部よりも延在方向の内側に位置するスリットを流れる塗布液においては、窪み部で発生した乱流の影響が生じにくくされている。これによりスリットには、塗布液が層流の状態で流入しやすくなるとともに、該スリットの開口へ向けて塗布液が円滑に流れやすくなる。
従って、スリットから吐出される塗布液は、被塗布物に対して塗布幅方向に均一な膜厚で塗布される。つまり、スリットの長手方向の両端部まで（塗布幅全域にわたって）、所期する塗布量を十分に確保することができる。

具体的に従来では、サイドプレートにおいて延在方向の内側（中央側）を向きマニホールド及びスリットに臨む該サイドプレートの内面が、単純な平面に形成されており、この内面によって塞がれるマニホールド及びスリットが、延在方向において同一の長さに設定されていた。このため塗布液は、マニホールドの延在方向の両端部において、乱流のままスリット内に流入するので、スリットから吐出された塗布液が、被塗布物に対して塗布幅方向に不均一な膜厚で塗布されていた。
一方、本発明によれば、塗布幅方向の両端部まで塗布液の膜厚が均一とされた、高品位な塗布精度を確保できるのである。

以上より、本発明の塗布工具によれば、簡単な構造により、スリットの長手方向（塗布幅方向）の全長に亘って塗布液の膜厚を均一にすることができ、塗布精度を向上できる。
さらに、本発明の塗布工具においては、例えば塗布液の流れを調整するための部材を別途（新たに）設けることなく、従来と同じ構成部材を用いて、塗布精度を十分に確保することが可能である。よって設備費用を削減でき、かつ長期間に亘って高い塗布精度を安定して維持できる。
また、被塗布物に塗布した塗布液の一部（塗布幅方向の両端）を破棄するようなことが抑制されて、塗布した塗布液の全てを利用することが可能になる。またこれにより、被塗布物を無駄に破棄する部分も少なく抑えることが可能になる。従って、生産性（製品歩留まり）が向上する。

また、本発明の塗布工具において、前記サイドプレートの少なくとも塗布液に接触する部分には、親水化処理が施されていることとしてもよい。

この場合、サイドプレートにおいて、塗布液が接触する部分（接液部分）に、親水化処理が施されているので、マニホールドからサイドプレートに沿ってスリットの両端部を流れる塗布液に対して、整流作用が得られる。従って、上述した本発明の効果がより顕著なものとなる。
尚、本明細書でいう「親水化処理」とは、例えば、プラズマ処理、コーティング処理、ショットブラスト処理などによって、サイドプレートの接液部分の濡れ性を高めることが可能な処理を指しており、具体的には、接液部分に滴下した水滴の接触角が２５°以下となる処理を指し、より好ましくは上記接触角が１５°以下である。

また、本発明の塗布工具において、前記サイドプレートには、前記スリットに連通する溝部が形成されているとともに、該溝部は、前記窪み部から前記ヘッド部材の先端部に向けて延びており、前記溝部の深さが、前記窪み部から前記ヘッド部材の先端部に向かうに従い漸次浅くなっていることとしてもよい。

この場合、サイドプレートの溝部によって塗布液がスリットの両端部に、より円滑に案内されやすくなり、上述した本発明の効果がさらに顕著なものとなる。

本発明の塗布工具によれば、簡単な構造により、スリットの長手方向（塗布幅方向）の全長に亘って塗布液の膜厚を均一にすることができ、塗布精度を向上できる。

本発明の一実施形態に係る塗布工具を示す斜視図である。 図１の塗布工具を示す（ａ）側面図、（ｂ）正面図である。 図２の塗布工具における（ａ）Ａ−Ａ断面図、（ｂ）Ｂ−Ｂ断面図である。 本発明の塗布工具の変形例を示す縦断面図である。

以下、本発明の一実施形態に係る塗布工具１について、図面を参照して説明する。
本実施形態の塗布工具１は、例えば液晶ディスプレイのガラス基板等のパネル状部材や、可撓性を有するシート状部材などの被塗布物の表面に、塗布液を所定の膜（層）厚となるように塗布するスロットダイである。

図１〜図３に示されるように、本実施形態の塗布工具１は、隣接配置された複数のヘッド部材２の間に、塗布液が供給されるマニホールド４と、マニホールド４に連通するスリット３と、が形成されており、ヘッド部材２の先端部１１に開口するスリット３を通して、被塗布物に塗布液を塗布するようになっている。

本実施形態の塗布工具１は、一対のヘッド部材２と、一対のサイドプレート２０と、を備えている。一対のサイドプレート２０は、一対のヘッド部材２の延在方向Ｌの両端に配設される。
ここで、ヘッド部材２は、長尺の矩形板状またはブロック状をなしており、一対のヘッド部材２同士が、その厚さ方向Ｔに隣接するように対向配置されている。具体的に、これらヘッド部材２は、互いの内面同士を接近させて対向配置（隣接配置）されている。
本明細書においては、ヘッド部材２の延在する方向を延在方向Ｌという。また、ヘッド部材２の厚さに沿う方向を厚さ方向Ｔという。また、これら延在方向Ｌ及び厚さ方向Ｔに垂直な方向を高さ方向Ｈという。また、高さ方向Ｈのうち、塗布工具１から塗布液が吐出される向き（図１における上方）を先端側といい、その反対側（図１における下方）を基端側という。

この塗布工具１は、不図示の製造ラインの一部を構成する塗布装置に装着される。
塗布工具１は、ヘッド部材２の先端（刃先エッジ）を被塗布物に対向させるとともに、ヘッド部材２の先端部１１に開口するスリット３の長手方向（延在方向Ｌと同一方向）を被塗布物の幅方向（塗布幅方向）に一致させるように配置される。
塗布工具１のマニホールド４には、塗布液タンクから供給ポンプによって塗布液が供給される。この塗布液は、マニホールド４からスリット３を流通して、ヘッド部材２の先端部１１（スリット３開口）から吐出される。
そして、被塗布物を塗布工具１の厚さ方向Ｔに沿って移動させることにより、被塗布物の表面に対して塗布液が所定の膜厚（層厚）で塗布される。

ヘッド部材２は、ステンレス鋼等の金属材料からなり、図３（ａ）に示されるように、延在方向Ｌから見て台形状をなしている。ヘッド部材２において、塗布工具１の厚さ方向Ｔの外側を向く外面７、及び厚さ方向Ｔの内側（中央側）を向く内面８は、それぞれ厚さ方向Ｔに垂直な平面状に形成される。

ヘッド部材２同士の間には、スリット３と、マニホールド４と、が形成されている。
スリット３は、塗布工具１の先端部１１に開口するとともに、基端側に向けて延びる隙間状の空間である。スリット３は、塗布工具１の内部に形成されたマニホールド４に連通している。
マニホールド４は、塗布液が供給される空間であって、一対のヘッド部材２の内面８間において延在方向Ｌに沿って延びている。

一対のヘッド部材２の内面８同士は、対向して密着している。内面８同士の間のうち、密着させられていない部分には、スリット３が形成されている。
具体的に、各ヘッド部材２の内面８は、マニホールド４より基端側に位置する部位（基端部）が基端部以外の部位よりも一段突出される。各ヘッド部材２の内面８の基端部同士を密着させることにより、ヘッド部材２同士の間におけるマニホールド４より先端側に位置する部位に、隙間状の空間からなるスリット３が形成される。

スリット３は、塗布液の流通空間（隙間）である。スリット３は、一対のヘッド部材２の内面８同士の間に形成され、マニホールド４から先端部１１に向けて連通しているとともに、塗布工具１の先端部１１に開口している。スリット３は、各ヘッド部材２の延在方向Ｌの全長に亘って形成されている。
塗布工具１において、スリット３の長手方向（延在方向Ｌ）に沿う長さは、被塗布物において塗布液が塗布される幅（塗布幅）に対応して設定される。スリット３の長さを変更することで、被塗布物の塗布幅を変更可能である。

ヘッド部材２において基端側を向く基端面９は、高さ方向Ｈに垂直な平面に形成されている。ヘッド部材２において先端側を向く先端面１０は、延在方向Ｌから見て、塗布工具１における厚さ方向Ｔの内側（中央側）へ向かうに従い漸次先端側（先端部１１）に向かって傾斜している。

塗布工具１の先端部１１（一対のヘッド部材２の先端部）には、超硬合金等の硬質材料からなるエッジ部材６がそれぞれ配設されている。エッジ部材６同士は、互いの間にスリット３となる隙間をあけて対向配置される。
エッジ部材６は、延在方向Ｌに延びる矩形板状をなしており、ヘッド部材２の先端面１０から先端側に突出している。エッジ部材６の先端部（刃先エッジ）同士の間に、スリット３の開口部が形成されている。
尚、エッジ部材６は、設けられていなくてもよい。この場合、ヘッド部材２において先端面１０と内面８とが交差して形成される稜線部分が、刃先エッジとなる。

マニホールド４は、各ヘッド部材２の内面８において延在方向Ｌに延びる丸溝状に形成されている。マニホールド４は、各ヘッド部材２の延在方向Ｌの全長に亘って形成されている。マニホールド４は、ヘッド部材２同士を密着させることにより、延在方向Ｌに延びる円柱穴状に形成される。

ヘッド部材２には、外面７又は基端面９に開口してマニホールド４に連通する液供給路１４が形成されている。図示の例では、液供給路１４が外面７に開口しているとともに、マニホールド４における延在方向Ｌの中央部に連通している。また本実施形態では、液供給路１４は、一対のヘッド部材２のうち、一方のヘッド部材２Ａ内に形成されており、他方のヘッド部材２Ｂ内には形成されていない。液供給路１４は、不図示の供給ポンプに接続される。
尚、液供給路１４は、塗布工具１の外部に設置された供給ポンプとマニホールド４とを連通可能にヘッド部材２に形成されていればよく、その形状や数、配置等については、本実施形態で説明したものに限定されない。具体的に、例えば液供給路１４は、マニホールド４の延在方向Ｌに互いに間隔をあけて、該マニホールド４内に複数開口していてもよい。

特に図示していないが、一対のヘッド部材２の内面８において、マニホールド４よりも基端側に位置する部位には、延在方向Ｌに間隔をあけて互いに対向配置された、ねじ穴及びねじ挿通孔が複数開口している。これらのねじ穴及びねじ挿通孔は、厚さ方向Ｔに沿って穿設されており、いずれか一方のヘッド部材２の外面７からねじ挿通孔に挿通されたボルト等のねじ部材が、他方のヘッド部材２の内面８に開口したねじ穴に螺着されることにより、これら一対のヘッド部材２同士が一体化して固定されている。

そして、一対のヘッド部材２の延在方向Ｌの両端には、一対のサイドプレート２０がそれぞれ密着して配置されている。各サイドプレート２０は、スリット３とマニホールド４に臨むように、ヘッド部材２の両端部に配設されているとともに、これらスリット３及びマニホールド４の両端部を塞いでいる。

サイドプレート２０は、ステンレス鋼等の金属材料からなり、延在方向Ｌから見て略五角形状をなす平板状に形成されている。サイドプレート２０は、延在方向Ｌから見て、一対のヘッド部材２同士を密着させた側面形状に一致するように形成されている。
各サイドプレート２０の内面２１には、円柱穴状の窪み部２２がそれぞれ形成されている。窪み部２２は、各サイドプレート２０を一対のヘッド部材２の両端に密着したときに、マニホールド４に一致するように形成されている。つまり、各窪み部２２は、マニホールド４と一体となって、塗布液が供給される空間を形成しており、具体的には、ヘッド部材２及びサイドプレート２０が組み立てられた状態で、各窪み部２２は、マニホールド４の両端部に位置している。

また各サイドプレート２０は、一対のヘッド部材２の両端に密着したときに、スリット３の延在方向Ｌの両端を覆うようになっている。つまり、各サイドプレート２０の内面２１は、スリット３の延在方向Ｌの両端を塞いでいる。
従って、窪み部２２を含むマニホールド４の延在方向Ｌの長さは、スリット３の延在方向Ｌの長さよりも長くなる。言い換えれば、塗布液が供給される空間（マニホールド４）の延在方向Ｌの長さは、塗布液を吐出する空間（スリット３）の延在方向Ｌの長さよりも長く形成されている。

また、各サイドプレート２０の内面２１には、該内面２１に接触する塗布液に乱流が発生しにくいように、表面処理が施されている。具体的には、各サイドプレート２０の内面２１のうち、少なくとも塗布液に接触する部分には、親水化処理が施されている。尚、本実施形態では、サイドプレート２０の内面２１全体に親水化処理が施されているが、これに限定されるものではない。すなわち、親水化処理は、サイドプレート２０の内面２１のうち、少なくとも塗布液に接触する部分（接液部分）に施されていればよく、具体的には、サイドプレート２０の窪み部２２から該サイドプレート２０の先端部に向かう部位（マニホールド４及びスリット３に臨む部位）に施されていればよい。

ここで、本明細書でいう「親水化処理」とは、例えば、プラズマ処理、コーティング処理、ショットブラスト処理などであり、サイドプレート２０の内面２１のうち、少なくとも接液部分に対して、塗布液の濡れ性を高める目的で施される処理である。具体的には、この親水化処理によって、サイドプレート２０の内面２１に塗布液を滴下したときに、塗布液の水滴の接触角が、例えば２５°以下となる状態にする。尚、より好ましくは、上記接触角が１５°以下となる状態にする。
この結果、サイドプレート２０の内面２１に塗布液が良好になじむとともに、この塗布液が、乱流を生じさせずに層流のままスリット３から吐出されることになる。

以上説明した本実施形態の塗布工具１では、ヘッド部材２の延在方向Ｌの両端部にサイドプレート２０が配設されており、これらサイドプレート２０は、隣接するヘッド部材２間に形成されて延在方向Ｌに沿って延びるマニホールド４及びスリット３の両端部に臨んでいるとともに、これらマニホールド４及びスリット３の両端部を塞いでいる。そして、マニホールド４の両端部は、サイドプレート２０の窪み部２２を含んで形成されている。
これにより、マニホールド４の両端部で塗布液の乱流が起きても、この乱流はサイドプレート２０の窪み部２２内で生じることになり、該窪み部２２よりも延在方向Ｌの内側に位置するスリット３の両端部では、塗布液が乱流による影響を受けにくい。

すなわち、サイドプレート２０の窪み部２２によって、マニホールド４の延在方向Ｌに沿う全長が延長されているので、該マニホールド４の両端部よりも延在方向Ｌの内側に位置するスリット３を流れる塗布液においては、窪み部２２で発生した乱流の影響が生じにくくされている。これによりスリット３には、塗布液が層流の状態で流入しやすくなるとともに、該スリット３の開口へ向けて塗布液が円滑に流れやすくなる。
従って、スリット３から吐出される塗布液は、被塗布物に対して塗布幅方向に均一な膜厚で塗布される。つまり、スリット３の長手方向（延在方向Ｌ）の両端部まで（塗布幅全域にわたって）、所期する塗布量を十分に確保することができる。

具体的に従来では、サイドプレートにおいて延在方向の内側（中央側）を向きマニホールド及びスリットに臨む該サイドプレートの内面が、単純な平面に形成されており、この内面によって塞がれるマニホールド及びスリットが、延在方向において同一の長さに設定されていた。このため塗布液は、マニホールドの延在方向の両端部において、乱流のままスリット内に流入するので、スリットから吐出された塗布液が、被塗布物に対して塗布幅方向に不均一な膜厚で塗布されていた。
一方、本実施形態によれば、塗布幅方向の両端部まで塗布液の膜厚が均一とされた、高品位な塗布精度を確保できるのである。

以上より、本実施形態の塗布工具１によれば、簡単な構造により、スリット３の長手方向（塗布幅方向）の全長に亘って塗布液の膜厚を均一にすることができ、塗布精度を向上できる。
さらに、本実施形態の塗布工具１においては、例えば塗布液の流れを調整するための部材を別途（新たに）設けることなく、従来と同じ構成部材を用いて、塗布精度を十分に確保することが可能である。よって設備費用を削減でき、かつ長期間に亘って高い塗布精度を安定して維持できる。
また、被塗布物に塗布した塗布液の一部（塗布幅方向の両端）を破棄するようなことが抑制されて、塗布した塗布液の全てを利用することが可能になる。またこれにより、被塗布物を無駄に破棄する部分も少なく抑えることが可能になる。従って、生産性（製品歩留まり）が向上する。

また、サイドプレート２０の内面２１において、少なくとも塗布液が接触する部分（接液部分）に、親水化処理が施されているので、マニホールド４からサイドプレート２０に沿ってスリット３の両端部を流れる塗布液に対して、整流作用が得られる。従って、上述した本実施形態の効果がより顕著なものとなる。

ここで、図４に示される塗布工具１は、本実施形態で説明したサイドプレート２０の変形例を表している。
この変形例では、サイドプレート２０の内面２１のうち、スリット３に臨む部分に溝部２３が形成されており、該溝部２３は、スリット３に連通しているとともに、窪み部２２からヘッド部材２の先端部１１に向けて高さ方向Ｈに沿って延びている。尚、本実施形態では、溝部２３の高さ方向Ｈに沿う長さ、及び厚さ方向Ｔに沿う幅（特に図示していない）が、スリット３の前記長さ、及び前記幅にそれぞれ一致している。ただし、溝部２３の形状については、これに限定されるものではない。

溝部２３の深さ（延在方向Ｌに沿う溝深さ）は、窪み部２２からヘッド部材２の先端部１１に向かうに従い漸次浅く（小さく）なっている。つまり溝部２３は、窪み部２２から塗布工具１の先端部１１に向かって、その深さが徐々に浅くなるように形成されている。

具体的に、溝部２３の基端の溝深さは、窪み部２２の底面の深さに一致しており、溝部２３の先端の溝深さは、サイドプレート２０の内面２１のうち溝部２３以外の部位に一致している（つまり溝部２３先端の溝深さは０）。すなわち、溝部２３の溝深さは、窪み部２２に連通する基端において最も深くされ、サイドプレート２０の先端部に向かうに従って浅くなり、サイドプレート２０の先端部で０となる（溝部２３が消滅する）。従って、溝部２３が形成されている場合においても、該溝部２３を含めたスリット３の延在方向Ｌの長さは、先端部１１においては（つまり塗布幅としては）、図３（ｂ）に例示されたものと同じである。
尚、溝部２３に対しても、上述した親水化処理を施すことがより好ましい。

溝部２３は、窪み部２２に流入した塗布液を、スリット３に向けて円滑に案内するように流す。すなわち、マニホールド４の窪み部２２に流入した塗布液は、該窪み部２２内において一旦乱流となるが、この塗布液が溝部２３に流れ込み、サイドプレート２０の先端部に向けて流れていくうちに、塗布液に発生した乱流が徐々に解消されて、層流になる。このため、塗布液がスリット３から吐出するときには、塗布液に発生した乱流は、概ね解消されて層流の状態となる。
従って、スリット３から吐出される塗布液は、被塗布物に対して均一な膜厚で塗布されることになり、スリット３の両端部において、所期する塗布量を確保できる。
よって、スリット３の長手方向（塗布幅方向）の全域に亘って塗布精度が高められる。

尚、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、前述の実施形態では、塗布工具１が一対のヘッド部材２を備えるとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、塗布工具１は、３つ以上のヘッド部材２を備えるとともに、これらが厚さ方向Ｔに並べられて配設されていて、隣り合うヘッド部材２同士の間に、スリット３及びマニホールド４がそれぞれ形成されていてもよい。
この場合、一度の塗布工程において、被塗布物に対して各スリット３から複数種類の塗布液を吐出可能であり、被塗布物の表面に塗布液が複数の膜（層）をなすように塗布される。

また、前述の実施形態で用いた図面では、ヘッド部材２同士の間に画成されるスリット３が、塗布工具１の上方に向けて開口しているが、これに限定されるものではない。すなわち、被塗布物に対する塗布工具１の設置姿勢は、例えばスリット３が下方に向けて開口していてもよい。

また、前述の実施形態では、塗布液を一時的に保持可能なマニホールド４が、一対のヘッド部材２の両方に形成されており、具体的には、各ヘッド部材２の内面８に形成された一対の丸溝状部分同士が対向配置されることで、マニホールド４全体として円柱穴状に形成されているが、これに限定されるものではない。
すなわち、一対のヘッド部材２のうち、一方のヘッド部材２Ａの内面８及び他方のヘッド部材２Ｂの内面８のいずれかのみに、マニホールド４が半円柱状に形成されていてもよい。或いは、マニホールド４は、その延在方向Ｌに垂直な断面形状が、上述した円形、半円形の他、台形（矩形）やそれ以外の多角形状等とされていてもよい。

また、窪み部２２や溝部２３の深さや幅、表面処理等については、塗布液の粘度や流速等に応じて、適宜変更してよい。これにより、マニホールド４の窪み部２２内の塗布液に発生した乱流の影響を、スリット３内の塗布液においてより確実に排除することができる。

その他、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において、前述の実施形態、変形例及び尚書き等で説明した各構成（構成要素）を組み合わせてもよく、また、構成の付加、省略、置換、その他の変更が可能である。また本発明は、前述した実施形態によって限定されることはなく、特許請求の範囲によってのみ限定される。

１ 塗布工具
２ ヘッド部材
３ スリット
４ マニホールド
１１ 先端部
２０ サイドプレート
２２ 窪み部
２３ 溝部
Ｌ 延在方向

Claims (3)

1. 隣接配置された複数のヘッド部材の間に、塗布液が供給されるマニホールドと、前記マニホールドに連通するスリットと、が形成され、
   前記ヘッド部材の先端部に開口する前記スリットを通して、被塗布物に塗布液を塗布する塗布工具であって、
   前記複数のヘッド部材の延在方向の両端部には、前記マニホールド及び前記スリットの両端部に臨むサイドプレートがそれぞれ配設され、
   前記サイドプレートには、前記マニホールドに連通する窪み部が形成されており、
   前記窪み部を含む前記マニホールドの延在方向の長さが、前記スリットの延在方向の長さよりも長く設定されることを特徴とする塗布工具。
2. 請求項１に記載の塗布工具であって、
   前記サイドプレートの少なくとも塗布液に接触する部分には、親水化処理が施されていることを特徴とする塗布工具。
3. 請求項１又は２に記載の塗布工具であって、
   前記サイドプレートには、前記スリットに連通する溝部が形成されているとともに、該溝部は、前記窪み部から前記ヘッド部材の先端部に向けて延びており、
   前記溝部の深さが、前記窪み部から前記ヘッド部材の先端部に向かうに従い漸次浅くなっていることを特徴とする塗布工具。

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