WO2017026153A1 - 塗布工具 - Google Patents

Abstract

本発明に係る塗布工具（２０）は、複数のヘッド部材（２、３）が互いの長手方向に延びる側面（２ａ、３ａ）を密着させて取り付けられることにより構成された工具本体（１）と、工具本体（１）の先端部に開口し、塗布液を吐出する溝（６）とを備える。側面（２ａ、３ａ）の先端部には、ヘッド部材（２、３）の先端面（２ｂ、３ｂ）から突き出る刃先部（４、５）が側面（２ａ、３ａ）に沿ってそれぞれ設けられている。溝（６）は刃先部（４、５）の先端に開口している。ヘッド部材（２、３）のうち少なくとも刃先部（４、５）は超硬合金によって形成されている。刃先部（４、５）は、長手方向から見て方形状とされている。ヘッド部材（２、３）の先端面（２ｂ、３ｂ）からの刃先部（４、５）の突き出し量（Ｐ４、Ｐ５）は、先端側から見たときの長手方向に垂直な方向において、溝（６）の溝面（６ａ、６ｂ）と刃先部（４、５）の外側面（４ｂ、５ｂ）との間隔である刃先部（４、５）の刃幅（Ｗ４、Ｗ５）の２０倍以下とされている。

Description

塗布工具

　本発明は、複数のヘッド部材が互いの側面を密着させて取り付けられることにより工具本体が構成され、上記側面に沿って延びる上記工具本体の先端部に開口した溝から塗布液を吐出して被塗布物に塗布する塗布工具に関するものである。
　本願は、２０１５年８月１１日に日本に出願された特願２０１５－１５９０７７号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

　従来、板状の被塗布物の表面に塗布液を塗布するのに、例えば特許文献１に記載されているように、塗布液を塗布すべき板状の被塗布物を水平に保持した状態で回転されるチャックと、被塗布物の上面中央に塗布液を滴下する塗布液供給機構と、を備えたスピンコート装置が用いられている。
　このようなスピンコート装置では、被塗布物を回転しつつ塗布液を滴下することにより、被塗布物の回転による遠心力によって塗布液が被塗布物の上面に拡散して塗布される。

特開平１０－０５７８７６号公報

　ところが、このようなスピンコート装置によって、例えば被塗布部の上面に凹所が形成され、該凹所の底面に塗布液を塗布しようとした場合には、凹所の底面と壁面とが交差する凹所の隅に、遠心力によって拡散した塗布液が溜まってしまい、塗布膜の膜厚に大きな偏差が生じてしまう。

　また、このような塗布液を被塗布物に塗布するものとして、複数のヘッド部材が互いの側面を密着させて取り付けられることにより工具本体が構成され、工具本体の先端部に開口し、且つ上記側面に沿って延びる溝から塗布液を吐出して被塗布物に塗布する塗布工具も知られている。
　このような塗布工具によれば、例えば、工具本体に、工具本体の先端から突き出した刃先部を設けて、その先端面に上記溝を形成することにより、刃先部を凹所内に挿入して塗布を行うことができる。そのため、上述のような凹所の底面にも均一な塗布膜を形成することができる。

　しかしながら、このような塗布工具によって、比較的深い凹所の底面に、壁面の極近くまで満遍なく塗布液を塗布しようとすると、工具本体の先端部から刃先部を大きな突き出し量（突出量）で突き出させる必要がある。
　その一方、工具本体の先端側から見て、溝の開口部が延びる方向に対して垂直な方向において、溝の溝面と刃先部の外側面との間隔である刃先部の刃幅は小さくしなければならない。

　このため、例えばヘッド部材が刃先部も含めてステンレス鋼により形成された塗布工具では、刃幅を０．５ｍｍ程度にすると刃先部が剛性不足となってしまう。そのため、刃先部が塗布液の内圧により変形してしまい、この変形に起因して、やはり膜厚の偏差が大きくなってしまう。
　従って、突き出し量は刃幅の３倍（１．５ｍｍ）以上とすることができず、それ以上深い凹所に塗布液を塗布することが困難となる。

　本発明は、このような背景の下になされたもので、被塗布物に形成された凹所等の底面に塗布膜の膜厚偏差を生じさせることなく、より満遍なく確実に塗布液を塗布することが可能な塗布工具を提供することを目的としている。

　本発明の一態様の塗布工具は、複数のヘッド部材が互いの長手方向に延びる側面を密着させて取り付けられることにより構成された工具本体と、上記側面に沿って延びる上記工具本体の先端部に開口した溝と、を備え、上記溝から塗布液を吐出して被塗布物に塗布する塗布工具であって、上記複数のヘッド部材が互いに密着した上記側面の先端部には、該ヘッド部材の先端面から突き出る刃先部が上記側面に沿ってそれぞれ設けられ、上記溝は、上記刃先部の先端に開口しており、上記ヘッド部材のうち少なくとも上記刃先部は、超硬合金によって形成され、上記刃先部は、上記長手方向から見て方形状とされ、上記ヘッド部材の先端面からの上記刃先部の突き出し量が、先端側から見たときの上記長手方向に垂直な方向において、上記溝の溝面と上記刃先部の外側面との間隔である上記刃先部の刃幅の２０倍以下とされている、ことを特徴とする。

　このような塗布工具では、ヘッド部材のうち少なくとも刃先部が、ステンレス鋼などよりもヤング率が高い高剛性の超硬合金により形成されているので、刃先部の真直度を２μｍ／ｍ以下とすることができるため。
　従って、上記刃幅を０．２ｍｍ～０．５ｍｍ程度の極薄とし、しかも刃先部の突き出し量を刃幅の最大２０倍（４．０ｍｍ～１０．０ｍｍ）としても、膜厚偏差の少ない塗布膜を形成することができる。
　さらに刃先部は溝の開口部が延びる長手方向から見て方形状であるとともに、塗布液はこの刃先部の先端面で広がって塗布される。そのため、凹所の深さが比較的深くても、例えば凹所の壁面から０．１ｍｍの極近くの位置にまで塗布膜を形成することができる。従って、このような凹所の底面に満遍なく均一な厚さの塗布膜を確実に形成することが可能となる。

　上記刃先部の突き出し量が、上記刃幅の１８倍以下であってもよい。この場合には、一層高い膜厚の均一性を得ることができる。
　ただし、上記刃先部の突き出し量は、上記刃幅の３倍以上であることが望ましい。これよりも突き出し量が小さいと、深い凹所の底面には塗布液を均一に塗布することができなくなるおそれが生じる。

　上記複数のヘッド部材は、刃先部も含めて全体が超硬合金によって形成されていてもよいが、これら複数のヘッド部材が互いに密着した上記側面の先端部に、上記長手方向に沿って凹部を形成し、上記刃先部を、上記凹部に取り付けられる超硬合金製の刃先部材の先端側に設けてもよい。

　この場合には、刃先部材以外のヘッド部材を、ステンレス鋼等により形成することができる。このため、例えば複数のヘッド部材をクランプボルトによって取り付ける際のネジ孔等の加工を容易に行うことが可能となる。
　また、この場合において、上記刃先部材を、上記刃幅よりも大きな幅を有して上記凹部に取り付けられる基端部を備えたものとしても良い。これにより、幅の大きな基端部によって刃先部を高い剛性で支持することができ、さらに膜厚の均一化を図ることが可能となる。

　さらに、上記複数のヘッド部材が互いに密着した上記側面のうち、一方の側面を上記刃先部の先端まで平面状に形成し、他方の側面には、上記一方の側面に対して凹んだ上記溝を形成してもよい。
　この場合には、例えばこれらの側面間にシムを介装したり、複数のヘッド部材の側部にサイドプレートを設けたりして溝を形成する場合に比べ、溝の内面の全体に亙って表面粗さを均一にすることができる。従って、溝の両端部における塗布液の流速のバラツキを防いで後述するダレ距離を小さく抑え、さらに均一な塗布膜を形成することができる。

　本発明によれば、被塗布物に形成された凹所の底面に塗布液を塗布するような場合でも、凹所の壁面の極近傍にまで満遍なく偏差の少ない均一な膜厚の塗布膜を確実に形成することが可能となる。

本発明の一実施形態を示す塗布工具の正面図である。 図１に示す塗布工具を先端側から見た平面図である。 図１に示す塗布工具を長手方向から見た側面図である。 図３におけるＡ部の拡大図である。 図２におけるＢ部の拡大図である。 図１から図５に示す実施形態の変形例を示す図であって、塗布工具を長手方向から見た側面図である。 図６におけるＣ部の拡大図である。 図１から図５に示す実施形態に基づいて、刃先部の突き出し量を変化させた塗布工具により塗布膜を形成したときの膜厚を溝の開口部が延びる長手方向に沿って測定した結果を示す図であり、突き出し量を刃幅の１８倍とした実施例１の結果を示す図である。 突き出し量を刃幅の２０倍とした実施例２の結果を示す図である。 突き出し量を刃幅の２２倍とした比較例１の結果を示す図である。 ステンレス鋼製のシムを用いて溝を形成した塗布工具である比較例２において、このシムの表面粗さを測定した位置を示す正面図である。 図１から図５に示す実施形態に基づく図８Ａに結果を示した実施例１と、図９に示したステンレス鋼製のシムを用いた比較例２と、により塗布膜を形成したときの膜厚を溝の開口部が延びる長手方向に沿って測定した結果を示す図であり、比較例２の結果を示す図である。 実施例１の結果（図８Ａの実施例１と同じ）である。

　図１から図５は、本発明の一実施形態を示す。
　本実施形態の塗布工具２０において、工具本体１は、横方向（図１および図２において左右方向）に長手方向を有する横長のブロック状とされている。工具本体１は、長手方向に直交する断面が縦方向（図１および図３において上下方向）に長い略長方形をなす直方体状で、且つ略同形同大に形成された一対のヘッド部材２、３によって構成されている。
　具体的には、工具本体１は、一対のヘッド部材２、３が互いの長手方向に延びる側面２ａ、３ａを密着させて取り付けられることにより構成されている。

　これらのヘッド部材２、３が互いに密着した上記側面２ａ、３ａの先端部（図１および図３において上端部）には、両ヘッド部材２、３の先端面２ｂ、３ｂから突き出る刃先部４、５がそれぞれ設けられている。
　工具本体１の先端部、すなわちこれらの刃先部４、５の先端面４ａ、５ａには、塗布液を吐出する溝６が上記長手方向に沿って延びるように開口している。この溝６の溝幅Ｗ６は、上記先端面４ａ、５ａにおける該溝６の開口部が延びる方向、すなわち上記長手方向に亙って一定である。

　これら一対のヘッド部材２、３のうち、一方のヘッド部材２は、上記側面（一方の側面）２ａが刃先部４の先端にまで亙って平面状となるように形成されている。

　これに対して、本実施形態では、他方のヘッド部材３の上記側面（他方の側面）３ａには、図３に示すように上記長手方向に直交する断面が半円の凹溝状をなすマニホールド７が長手方向に沿って延びるように形成されている。
　マニホールド７は、刃先部５よりも後端側（図１および図３において下側）に形成されている。
　マニホールド７の長手方向の中央部には、同じく他方のヘッド部材３に形成された塗布液の供給孔７ａが接続されている。

　さらに、他方のヘッド部材３の上記側面３ａには、マニホールド７から刃先部５の先端面５ａにかけて、上記溝６が一方のヘッド部材２の上記側面２ａに対して凹むように形成されている。
　一方のヘッド部材２側に開口した溝６の開口部は、一方のヘッド部材２の上記側面２ａによって封止されている。これにより、マニホールド７に連通するとともに刃先部４、５の先端面４ａ、５ａに開口する該溝６が形成されている。
　なお、上記長手方向において、マニホールド７の両端部は、溝６の両端部よりも僅かに長く形成されている。

　刃先部４、５は、溝６の開口部が延びる方向、すなわち長手方向から見て、図４に示すように方形状に形成されている。特に本実施形態では、刃先部４、５は、工具本体１の先端側に長く突き出た長方形状に形成されている。
　従って、刃先部４、５の先端面４ａ、５ａは、ヘッド部材２、３の先端面２ｂ、３ｂに対して平行な平坦面とされている。また、刃先部４、５の互いに外側を向く外側面４ｂ、５ｂは、これらの先端面２ｂ、３ｂ、４ａ、５ａに対して垂直な平面状となるように形成されている。

　なお、図１に示したように、刃先部４、５はヘッド部材２、３の長手方向の両端部には設けられておらず、その間の中央部にだけ長手方向に延びるように設けられている。

　さらに、図５に示すように、工具本体１の先端側から見て、溝６の開口部が延びる長手方向に対して垂直な方向において、溝６の溝面６ａ、６ｂと刃先部４、５の上記外側面４ｂ、５ｂとの間隔である刃先部４、５の刃幅Ｗ４、Ｗ５は、それぞれ一定とされている。
　本実施形態では、これらの刃幅Ｗ４、Ｗ５は、０．２ｍｍ～０．５ｍｍの範囲内で互いに等しい幅とされている。

　なお、溝６の両端部には、この溝６が上述のように一方のヘッド部材２の上記側面２ａに対して凹むように形成されることにより、溝面６ａ、６ｂに対して垂直な溝壁６ｃが形成されている。
　なお、刃先部４、５のうち長手方向の外側を向く端面と、溝壁６ｃと、の間隔は１ｍｍ以下とされるのが望ましい。

　ヘッド部材２、３のうち少なくとも刃先部４、５は、超硬合金によって形成されている。
　また、ヘッド部材２、３の先端面２ｂ、３ｂからの刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５は、上記刃幅Ｗ４、Ｗ５の２０倍以下とされており、望ましくは刃幅Ｗ４、Ｗ５の１８倍以下とされる。さらに、この突き出し量Ｐ４、Ｐ５は、刃幅Ｗ４、Ｗ５の３倍以上とされるのが望ましい。

　さらにまた、本実施形態では、一対のヘッド部材２、３が互いに密着した側面２ａ、３ａの先端部には、長手方向に沿って断面Ｌ字状の凹部２ｃ、３ｃが形成されている。
　これらの凹部２ｃ、３ｃ内には、超硬合金製の刃先部材８、９の基端部８ａ、９ａが取り付けられている。刃先部４、５は、この刃先部材８、９に設けられている。

　刃先部材８、９の基端部８ａ、９ａは、上記刃幅Ｗ４、Ｗ５よりも十分に大きな幅の断面長方形状に形成されている。そして、刃先部材８、９の基端部８ａ、９ａは、上記凹部２ｃ、３ｃに取り付けられた状態で、その側面および先端面が、ヘッド部材２、３の側面２ａ、３ａおよび先端面２ｂ、３ｂに対してそれぞれ面一となっている。
　刃先部４、５は、基端部８ａ、９ａと一体に焼結されて刃先部材８、９の先端側に形成される。

　なお、ヘッド部材２、３のうち、刃先部材８、９以外の部分は、例えばステンレス鋼等の金属材料により形成されている。超硬合金製の刃先部材８、９の基端部８ａ、９ａは、上記凹部２ｃ、３ｃにロウ付け等によって接合されて取り付けられる。

　ヘッド部材２、３のうち、刃先部材８、９以外の部分には、上記凹部２ｃ、３ｃ、溝６、マニホールド７および供給孔７ａを避けるようにして、段付きの貫通孔とネジ孔とが複数組ずつ同軸に形成されている。
　そして、貫通孔に挿通されたクランプボルト１０がネジ孔にねじ込まれることによって、複数（一対）のヘッド部材２、３が取り付けられて工具本体１を構成している。

　このように構成された塗布工具２０は、通常は工具本体１の先端部が下向きに支持され、刃先部４、５の先端面４ａ、５ａを例えば板状の被塗布物の上面（被塗布面）に間隔をあけて対向するように配置される。
　次いで、上記供給孔７ａからマニホールド７に供給された塗布液を溝６から吐出しつつ、先端側から見てこの溝６の開口部が延びる長手方向に対して垂直な方向に、被塗布物に対して塗布工具２０を相対移動させる。これにより、被塗布面に塗布液を塗布することができる。

　ここで、被塗布面が、例えば平面視で方形状をなす凹所の底面であって、工具本体１の相対移動の方向に凹所の壁面が存在するような場合でも、上記構成の塗布工具２０では、長手方向から見て刃先部４、５が方形状であるので、刃先部４、５の外側面４ｂ、５ｂを上記壁面の近くにまで接近させることができる。

　さらに上記構成の塗布工具２０においては、ヘッド部材２、３のうち、少なくとも刃先部４、５がヤング率の高い超硬合金により形成されているので、刃先部４、５の真直度を２μｍ／ｍ以下の高精度に維持することができる。
　このため、上記刃幅Ｗ４、Ｗ５を上述のように０．２ｍｍ～０．５ｍｍの範囲の極薄の刃先部４、５とし、しかも刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５を刃幅Ｗ４、Ｗ５の最大２０倍としても、塗布液の内圧による溝６の溝幅Ｗ６の偏差を抑えることができる。

　従って、上記構成の塗布工具２０によれば、比較的深い凹所であっても、刃先部４、５を挿入することができる。また、凹所の上記壁面の極近くに溝６を位置させた上で、凹所の底面に膜厚偏差の小さい塗布膜を形成することができる。
　さらに、塗布液は、刃先部４、５の先端面４ａ、５ａにおいて、溝６の開口部が延びる長手方向に対して垂直な方向に広がって塗布されるので、例えばこのような凹所の壁面から０．１ｍｍの位置にまで満遍なく均一な膜厚の塗布膜を確実に形成することが可能となる。

　なお、刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５が刃幅Ｗ４、Ｗ５の２０倍を越えると、後述する実施例で示すようにCoating Uniformity（Unif）が３％を上回って膜厚偏差が大きくなりすぎるおそれがある。

　なお、刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５が上記刃幅Ｗ４、Ｗ５の１８倍以下に設定されている場合には、一層均一な膜厚の塗布膜を形成することが可能である。
　ただし、刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５が小さすぎると、上述のような深い凹所の底面に対して塗布液を塗布することができなくなるおそれが生じる。従って、刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５は、本実施形態のように刃幅Ｗ４、Ｗ５の３倍以上とされるのが望ましく、５倍以上とされるのがより望ましく、１０倍以上とされるのがさらに望ましい。

　本実施形態では、刃先部４、５を、ヘッド部材２、３が互いに密着した側面２ａ、３ａの先端部に設けるにあたって、超硬合金製の刃先部材８、９を利用している。
　すなわち、側面２ａ、３ａの先端部に、上記溝６の開口部が延びる長手方向に沿って凹部２ｃ、３ｃを形成し、これらの凹部２ｃ、３ｃに取り付けられる超硬合金製の刃先部材８、９の先端側に、上記刃先部４、５を設けている。

　この点、例えばヘッド部材２、３の全体を超硬合金によって形成することも可能であるが、このような場合には、例えば本実施形態のようにヘッド部材２、３を取り付けるのにクランプボルト１０を用いると、クランプボルト１０をねじ込むネジ孔の形成が困難となってしまう。
　これに対して、本実施形態では、ヘッド部材２、３のうち、刃先部材８、９以外の部分を、上述のようなステンレス鋼等の金属材料により形成することができるので、ネジ加工を容易とすることができる。また、ヘッド部材２、３のコストダウンを図ることもできる。

　さらに、本実施形態では、刃先部材８、９が、刃先部４、５の上記刃幅Ｗ４、Ｗ５よりも大きな幅の基端部８ａ、９ａを有していて、この基端部８ａ、９ａが凹部２ｃ、３ｃに取り付けられている。
　このため、刃先部４、５を、これより幅の大きな基端部８ａ、９ａによって高い剛性で支持してヘッド部材２、３に配設することができるので、塗布膜の膜厚の一層の均一化を図ることができる。

　しかも、本実施形態では、基端部８ａ、９ａの先端面がヘッド部材２の先端面２ｂ、３ｂと面一とされていて、刃先部４、５の外側面４ｂ、５ｂが基端部８ａ、９ａの先端面と垂直に交差しているので、さらに高い剛性で刃先部４、５を支持することが可能となる。

　ただし、刃先部材８、９の基端部８ａ、９ａを刃先部４、５の刃幅Ｗ４、Ｗ５よりも大きな幅とする必要はない。
　例えば、図６および図７に示す上記実施形態の変形例のように、刃先部材８、９を刃先部４、５から基端部８ａ、９ａに亙って上記刃幅Ｗ４、Ｗ５と等しい幅の板状に形成して、この刃幅Ｗ４、Ｗ５に応じた幅の凹部２ｃ、３ｃに取り付けてもよい。
　なお、この変形例において、図１から図５に示した実施形態と共通する部分には、同一の符号を配してある。このような変形例によれば、超硬合金使用量をさらに削減して一層のコストダウンを図ることができる。

　また、上記実施形態や変形例では、ヘッド部材２、３が互いに密着した側面２ａ、３ａのうち、一方のヘッド部材２の側面２ａは刃先部４の先端まで平面状に形成され、他方のヘッド部材３の側面３ａには、一方のヘッド部材２の側面２ａに対して凹んだ上記溝６が形成されて、この溝６がそのまま刃先部４、５の先端面４ａ、５ａに開口している。
　このような平面状の一方の側面２ａや、超硬合金製の刃先部４、５における溝面６ａ、６ｂや溝壁６ｃ、および刃先部４、５の先端面４ａ、５ａの仕上げは、例えば研削加工により行われる。

　この点についても、上述のような溝６を形成する場合、他方の側面３ａに溝６を形成するのに代えて、例えば他方の側面３ａも平面状とし、同じ平面状の一方の側面２ａとの間にシムを介装して溝６を形成することも可能である。

　しかしながら、このような場合には、通常は刃幅Ｗ４、Ｗ５と同程度の大きさの溝幅Ｗ６となる溝６を形成するが、刃先部４、５と同じ超硬合金製のシムを製造することは難しく、例えばステンレス鋼等の金属シムを使用せざるを得ない。
　ところが、この場合には、そのような金属シムは、塗布液に接する溝壁や先端面の加工がワイヤーカット加工やエッチング加工となる。そのため、研削加工によって仕上げられた刃先部４、５の溝６の溝面６ａ、６ｂや溝壁６ｃおよび先端面４ａ、５ａに対して、金属シムに形成される溝壁や先端面の表面粗さが粗くなってしまう。

　このような場合に比べて、上記実施形態によれば、溝面６ａ、６ｂおよび溝壁６ｃよりなる溝６の内面や、刃先部４、５の先端面４ａ、５ａを全体に亙って研削加工により均一な表面粗さに形成することができる。
　特に溝壁６ｃが位置する溝６の両端部や、溝壁６ｃに連なる先端面４ａ、５ａにおいて、塗布液の流速のバラツキを小さく抑え、さらに均一な塗布膜を形成することができる。
　また、上記実施形態では、一方のヘッド部材２の上記側面２ａは平面状であるので、このような研削加工も比較的容易に行うことができる。

　なお、上記実施形態では、被塗布物の形成された凹所の底面を被塗布面として塗布膜を形成する場合について説明したが、上記構成の塗布工具２０は、このような凹所の底面だけに塗布膜を形成する場合に限定されるものではない。
　例えば、被塗布面に隣接して突壁や突起が形成されている場合に、これらの突壁や突起の極近くにまで均一な膜厚の塗布膜を形成する場合に用いることも可能である。
　また、このような凹所の底面や、突壁や突起が形成された被塗布面ではなく、例えば板状の被塗布物の平坦な被塗布面に塗布液を塗布するのに用いても構わない。

　次に、本発明の実施例を挙げて、本発明の効果について実証する。
　本実施例では、まず図１から図５に示した実施形態に基づいて、塗布工具を製造した。
　この塗布工具では、刃先部４、５の刃幅Ｗ４、Ｗ５をともに０．３ｍｍとし、溝６の溝幅Ｗ６を０．５ｍｍとした。また、図５に示すように、刃先部４、５の先端面４ａ、５ａにおいて、溝６の開口部が延びる長手方向における該溝６の開口幅Ｌを７０ｍｍとし、同じく図５に示すように溝６の開口部が延びる長手方向における刃先部４、５の塗工幅Ｍを７２ｍｍとした。

　そして、上述の条件を満たす塗布工具を、図４に示した刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５が刃幅Ｗ４、Ｗ５の１８倍の５．４ｍｍとされた塗布工具と、２０倍の６．０ｍｍとされた塗布工具と、に分けて２種製造した。これらを実施例１、２とする。

　また、これら実施例１、２に対する比較例１として、刃幅Ｗ４、Ｗ５、溝幅Ｗ６、開口幅Ｌ、および塗工幅Ｍが実施例１、２と等しく、刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５が刃幅Ｗ４、Ｗ５の２０倍よりも大きい２２倍の６．６ｍｍとした塗布工具も製造した。

　そして、これら実施例１、２および比較例１の塗布工具により塗布液を被塗布物に塗布して、その際の溝６の開口部が延びる方向における塗布膜の一端から他端までの測定距離に対する膜厚を測定した。
　この結果を、実施例１、２および比較例１の順に、図８Ａ、図８Ｂ及び図８Ｃに示す。

　なお、このときの塗布条件としては、塗布液は光学用弾性樹脂であって粘度は５０００～７０００ｃｐｓ、目標膜厚は１００μｍ、塗工速度（塗布工具と被塗布物との相対移動速度）は０．９ｍ／ｍｉｎとした。
　また、図８Ａ、図８Ｂ及び図８Ｃの測定結果に基づいて、各図の測定距離の両端の塗れ端から目標膜厚１００μｍに移行する部分を除いた部分について、実施例１、２および比較例１による膜厚の最大値、最小値、膜厚の範囲、平均値、およびCoating Uniformity（Unif）を計算した。

　なお、Coating Uniformity（Unif）は、（膜厚の範囲）／（平均値×２）の百分率（％）であり、値が小さいほど均一な膜厚であって、一般的には３％以下であれば均一な膜厚と評価できる。この結果を、実施例１、２および比較例１の順に次表１～３に示す。

　図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃおよび表１～３の結果より、刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５が刃幅Ｗ４、Ｗ５の２２倍である比較例１ではCoating Uniformity（Unif）が３．４８％と３％を上回っていた。
　これに対して、刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５が刃幅Ｗ４、Ｗ５の２０倍である実施例２では２．５２％と３％を下回り、さらに１８倍である実施例１では１．４１％と３％の１／２である１．５％をも下回っていた。

　これより、本発明のように刃先部４、５の突き出し量Ｐ４、Ｐ５が刃幅Ｗ４、Ｗ５の２０倍以下であれば均一な膜厚の塗布膜を形成することが可能で、１８倍以下であれば一層の膜厚の均一化を図ることができることを確認できた。

　次に、工具本体の先端部に開口する溝を形成する際、上記実施形態では、他方のヘッド部材３の側面３ａに、超硬合金よりなる刃先部５を設け、この刃先部５に溝面６ｂと溝壁６ｃとを有する溝６を先端面５ａに開口するように形成している。
　本実施例では、この場合に代えて、一方のヘッド部材２と同様に、刃先部４の先端面４ａまで平面状の側面２ａを有する一対のヘッド部材の該側面２ａの間に、図９に正面図を示すようなステンレス鋼製のシムＳを介装することにより溝を形成した塗布工具を比較例２として製造した。

　なお、この比較例２における刃先部の刃幅Ｗ４、Ｗ５、溝の溝幅Ｗ６、溝の開口幅Ｌ、刃先部の塗工幅Ｍ、刃先部の突き出し量Ｐ４、Ｐ５は実施例１と同じである。

　この比較例２におけるシムＳの図９に符号Ｓ１で示す先端面と、符号Ｓ２で示す溝の溝壁と、の位置において表面粗さを測定したところ、ＪＩＳ＿Ｂ＿０６０１－２００１における算術平均粗さＲａにおいて、先端面Ｓ１は１．５５７μｍ、溝壁Ｓ２は２．０３４μｍであった。
　これに対して、上記実施例１の塗布工具の刃先部４、５の表面粗さは、同じくＪＩＳ＿Ｂ＿０６０１－２００１における算術平均粗さＲａにおいて、先端面４ａ、５ａが０．０１０μｍ、溝６の溝面６ａ、６ｂが０．００８μｍ、溝壁６ｃが０．０１４μｍであった。

　次いで、これら実施例１と比較例２とにより、上述した実施例１、２および比較例１と同じ塗布条件で塗布膜を形成し、その際の溝の開口部が延びる方向における塗布膜の一端から他端までの測定距離（ｍｍ）に対する膜厚（μｍ）を測定した。
　さらに、その測定値に基づいて膜厚の最大値、最小値、膜厚の範囲、平均値、およびCoating Uniformity（Unif）と、さらに溝の開口部が延びる方向における塗布膜の両端のダレ距離（塗布膜両端の塗れ端から目標膜厚１００μｍになるまでの距離）を計算した。

　これらの結果を、比較例２、実施例１の順に、図１０Ａ、図１０Ｂおよび表４、５に示す。従って、実施例１の結果である図１０Ｂと表５の膜厚の最大値、最小値、膜厚の範囲、平均値、Coating Uniformity（Unif）は、図８Ａと表１に等しい。

　これら図１０Ａ、図１０Ｂおよび表４、５の結果より、比較例２の塗布工具ではダレ距離が１．１６ｍｍと長く、またCoating Uniformity（Unif）も５．０９％であり、上述した実施例２はもとより、比較例１よりも大きかった。これらのことから、比較例２の塗布工具では、膜厚の偏差が著しかった。

　これに対して、実施例１では、上述したようにCoating Uniformity（Unif）が小さく抑えられているのは勿論、ダレ距離も０．７２ｍｍと短く、溝６の開口部が延びる方向における開口幅Ｌや塗工幅Ｍの範囲内で、より幅広く均一な膜厚の塗布膜を形成することが可能であることが確認できた。

　本発明によれば、被塗布物に形成された凹所の底面に塗布液を塗布するような場合でも、凹所の壁面の極近傍にまで満遍なく偏差の少ない均一な膜厚の塗布膜を確実に形成することが可能となる。従って、産業上の利用可能性を有する。

　１…工具本体
　２、３…ヘッド部材
　２ａ、３ａ…ヘッド部材２、３が互いに密着した側面
　２ｂ、３ｂ…ヘッド部材２、３の先端面
　２ｃ、３ｃ…凹部
　４、５…刃先部
　４ａ、５ａ…刃先部４、５の先端面
　４ｂ、５ｂ…刃先部４、５の外側面
　６…溝
　６ａ、６ｂ…溝面
　６ｃ…溝壁
　７…マニホールド
　８、９…刃先部材
　８ａ、９ａ…刃先部材８、９の基端部
　１０…クランプボルト
　２０…塗布工具
　Ｗ４、Ｗ５…刃先部４、５の刃幅
　Ｐ４、Ｐ５…刃先部４、５の突き出し量
　Ｗ６…溝６の溝幅
　Ｌ…溝６の開口幅
　Ｍ…刃先部４、５の塗工幅

Claims (6)

1. 　複数のヘッド部材が互いの長手方向に延びる側面を密着させて取り付けられることにより構成された工具本体と、
   　上記側面に沿って延びる上記工具本体の先端部に開口した溝と、を備え、上記溝から塗布液を吐出して被塗布物に塗布する塗布工具であって、
   　上記複数のヘッド部材が互いに密着した上記側面の先端部には、該ヘッド部材の先端面から突き出る刃先部が上記側面に沿ってそれぞれ設けられ、
   　上記溝は、上記刃先部の先端に開口しており、
   　上記ヘッド部材のうち少なくとも上記刃先部は、超硬合金によって形成され、
   　上記刃先部は、上記長手方向から見て方形状とされ、
   　上記ヘッド部材の先端面からの上記刃先部の突き出し量が、先端側から見たときの上記長手方向に垂直な方向において、上記溝の溝面と上記刃先部の外側面との間隔である上記刃先部の刃幅の２０倍以下とされている、塗布工具。
2. 　上記刃先部の突き出し量が、上記刃幅の１８倍以下とされている、請求項１に記載の塗布工具。
3. 　上記刃先部の突き出し量が、上記刃幅の３倍以上とされている、請求項１または請求項２に記載の塗布工具。
4. 　上記複数のヘッド部材が互いに密着した上記側面の先端部には、上記長手方向に沿って凹部が形成され、
   　上記刃先部は、上記凹部に取り付けられる超硬合金製の刃先部材の先端側に設けられている、請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の塗布工具。
5. 　上記刃先部材は、上記刃幅よりも大きな幅を有して上記凹部に取り付けられる基端部を備えている、請求項４に記載の塗布工具。
6. 　上記複数のヘッド部材が互いに密着した上記側面のうち、一方の側面は上記刃先部の先端まで平面状に形成され、他方の側面に、上記一方の側面に対して凹んだ上記溝が形成されている、請求項１から請求項５のうちいずれか一項に記載の塗布工具。

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