TWI533935B - A film-like coating nozzle, a coating apparatus, and a coating method - Google Patents

Description

膜狀塗佈噴嘴，塗佈裝置及塗佈方法

本發明係關於用來在被塗佈物表面上以寬廣範圍將液體材料塗佈為均勻厚度之膜狀的噴嘴、塗佈裝置及塗佈方法。

關於電器/電子製品製造時之阻抗液等之塗佈或顯示器裝置製造時之螢光體漿料等之塗佈等之在被塗佈物表面上以寬廣範圍將液體材料塗佈為均勻厚度之膜狀的裝置，為了要進行有效率的塗佈，一般係使用一個細長形間隙所形成之狹縫噴嘴或以狹窄間隔一直線排列複數個細管的梳狀噴嘴。該等噴嘴係以較少次數之移動而結束塗佈，故會因為從噴嘴之流入口至流出口的距離差異或於流出口的流動阻抗等，而在噴嘴內之壓力無法均勻，產生塗佈量之不均。至今已提案有將該塗佈量之不均去除，以實現均勻厚度之塗佈的各種技術。

例如，專利文獻1係揭示有一種關於為了將塗佈液塗佈在葉片狀及連續移動之帶狀被塗佈物之表面上所使用的擠壓型噴嘴，其係具備有使塗佈液於寬度方向上整面展開之2段岐管(manifold)與將塗佈液予以整流之2段狹縫的擠壓型噴嘴，其中，在2段狹縫之中，可藉由可交換之構件形成塗佈液流入側之狹縫，將此構件與對應於塗佈液之黏度等的最佳構件進行逐個交換，而使可進行均勻的塗佈。

又，專利文獻2係揭示有關於將保護膜形成於汽車車體外 觀之塗佈面上的裝置，在由行列式設置有多數細孔之噴嘴裝置依較低壓力而由近距離持續噴出水溶性塗料於被塗裝面上，係在利用塗料所具有之平坦化性質而形成平滑的保護膜時，於細孔之前端開口部處設置連通部，將由噴嘴裝置所噴出之塗料形成為薄膜狀，藉以塗覆平滑的保護膜。

然而，如專利文獻2所載般，會產生如下所述之所謂的吐出量偏差問題：在將多數個噴嘴配設成一列的情形下，除了從一個流入口至各別吐出口為止之分叉流路的長度相異之外，起因於分叉流路越長則承受越大的流動阻抗，則壓力損失變大等，來自於噴嘴之液狀物質的吐出量在分叉流路長度較短之中央部分較多，而朝向端部逐漸減少。

依此，申請人係提案有下述技術：其係於由一個流入口至複數個吐出口為止之間，設置有使流路分叉之複數段分叉路的流體之吐出路構造，將形成上段分叉部之分隔室之橫向寬度構成為寬於下段側之分叉部入口間距離，並使上下分隔室於下段側之分叉路中心處所配置之管路處進行連通，同時藉由將該管路形成為短於上下分叉路，而使各分叉路之總長度約略相等，使通過任一分叉路之流體的壓力損失約略相同，而可依高精度使各自吐出口所吐出之流體的吐出量均勻。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2002-370057號公報 專利文獻2：日本專利特開平8-224503號公報專利文獻3：日本專利第4037861號公報

近年來，在顯示器領域等方面，其機材之高機能化或薄層化的要求增加，故而變得高度期待塗佈膜之膜厚均勻化。然而，關於專利文獻1之狹縫噴嘴，屬於噴嘴前端與被塗佈物之間之距離的塗佈隙縫係在因被塗佈物之平面度或移動手段之平行度等的影響而進行變動時，會受到影響而變動塗佈量，導致塗佈膜厚度不均勻，而無法獲得所期望的塗膜形狀。又，狹縫噴嘴係因為僅形成一個細長形間隙，故而無法均等地施加用以擠出液體材料的壓力，而會從較弱的部分變形，或者在嚴重時，會有引起破壞的現象。在當欲塗佈高黏度液體材料之情況下，會變成施加較高的壓力，而會變得特別顯著。當發生上述變形時，當然塗佈量亦會變化，而無法得到均勻厚度的塗膜。

為了解決狹縫噴嘴之問題，係也有考慮利用如專利文獻2之梳子狀噴嘴。然而，專利文獻2係塗料被噴出為具有凹凸的薄膜狀，塗膜之平滑化會由於塗佈後之塗料的流動性，而未能合格地當作為獲得均勻厚度之塗膜的手段。另外，在專利文獻2中，完全沒有提到藉由設置細孔所產生之壓力損失之問題的相關事項。

另外，專利文獻3係將螢光體糊膏塗佈於基板表面之凹部內等，而用以形成多數條平行線者，但是並未具有進行膜狀塗佈用之噴嘴。

於是本發明之目的係在於提供可將來自於連通至吐出口之所有流路的流入量予以均勻，可將塗佈隙縫之影響降到最小限度，且可進行精度較習知優良之膜狀塗佈的技術。

第一發明係一種膜狀塗佈噴嘴，係具備有：具有分叉路構造之分叉區塊；具有於長邊方向上擴開性所形成之吐出口之前端構件；及設置複數根具有連通至上述分叉路構造之細管流入口及連通至上述前端構件之吐出口之細管流出口之細管而成之管部者；其特徵為，上述分叉區塊係具備有複數段由使連通至流入口之流路分叉之室所構成之分叉部，其係構成為到藉由在同一段所設置之分叉部所分叉之流路之流出口為止的長度為相等；上述前端構件係具有構成吐出口之溝槽部，其係構成為上述吐出口之端面之短邊方向的長度S較上述細管流出口之內徑D為長，上述細管流出口係約略均等間隔地配設在上述溝槽部之最深面。

第二發明係如第一發明之膜狀塗佈噴嘴，其中，上述吐出口之端面之長邊方向的長度W係構成為較於上述溝槽部之最深面之兩端所配設細管流出口間的距離為長。

第三發明係如第一或第二發明之膜狀塗佈噴嘴，其中，上 述溝槽部之短邊方向的長度係從最深面階段性擴張至出口之端面處。

第四發明係如第三發明之膜狀塗佈噴嘴，其中，上述溝槽部之短邊方向的剖面形狀為梯形狀，上述細管流出口位於剖面形狀之垂直中心線上。

第五發明係如第三發明之膜狀塗佈噴嘴，其中，上述溝槽部之短邊方向的剖面形狀為半圓形或半橢圓形，上述細管流出口位於剖面形狀之垂直中心線上。

第六發明係如第一或第二發明之膜狀塗佈噴嘴，其中，上述吐出口之端面之短邊方向的長度S為上述細管流出口之內徑D的1.2~2.5倍。

第七發明係如第一或第二發明之膜狀塗佈噴嘴，其中，上述分叉區塊及/或上述前端構件係由可組裝及自由分解之複數個模組所構成，且各模組之組合設定為可變。

第八發明係一種塗佈裝置，其係具備有：第一或第二發明之膜狀塗佈噴嘴；儲存液體材料之槽；控制供應自上述槽之液體材料供應或停止給上述噴嘴之吐出閥；載置被塗佈物之工作台；及可使上述噴嘴與上述工作台上所載置之被塗佈物進行相對移動之移動機構。

第九發明係如第八發明之塗佈裝置，其中，其係設置有包含：將上述噴嘴予以固定之基台構件；於上述基台構件之中央部分上所配設之旋轉軸；可自由旋轉地支撐上述旋轉軸之 安裝構件；及於上述安裝構件上所配設之調整螺絲；而成之調整機構。

第十發明係一種塗佈裝置，其係具備有：第七發明之膜狀塗佈噴嘴；儲存液體材料之槽；控制供應自上述槽之液體材料供應或停止給上述噴嘴之吐出閥；載置被塗佈物之工作台；及可使上述噴嘴與上述工作台上所載置之被塗佈物進行相對移動之移動機構者，其特徵為，其係設置有包含：於已將上述分叉區塊及/或上述前端構件予以連結之狀態下進行固定之基台構件；於上述基台構件之中央部分上所配設之旋轉軸；可自由旋轉地支撐上述旋轉軸之安裝構件；及於上述安裝構件上所配設之調整螺絲；而成之調整機構。

第十一發明係如第八發明之塗佈裝置，其中，設置有上述槽複數個，並設置有可選擇性切換與使用中之一個槽之連通的切換閥。

第十二發明係如第八發明之塗佈裝置，其中，於上述吐出閥與上述切換閥之間設置有泵。

第十三發明係如第十二發明之塗佈裝置，其中，上述泵為容積式泵。

第十四發明係一種塗佈方法，其係使用第一或第二發明之膜狀塗佈噴嘴，於藉由移動機構使被塗佈物及/或噴嘴移動之狀態下，將液體材料進行膜狀塗佈。

第十五發明係如第十四發明之塗佈方法，其中，將高黏性 的液體材料進行膜狀塗佈。

若根據本發明，則除了藉由可分配均勻量之分叉路構造之外，再藉由從該分叉路接受均勻量之液體材料之供應的複數個細管及可使壓力恢復的溝槽部之構造，則可將塗佈隙縫變動之影響侷限於最小限度，並進而可進行較習知為均勻之厚度的膜狀塗佈。

又，因為藉由複數個細管而可以分散依供應壓所施加之力，所以可以施加高壓力，因此，可以實現習知技術中所困擾之使用高黏度液體材料之膜狀塗佈。

另外，在將各部予以模組化之情形下，相對於被塗佈物之尺寸變更等，可依僅進行模組之變更而可輕易進行噴嘴構成之變更，亦可輕易洗淨。

以下，說明本發明之噴嘴之實施形態。另外，以下為了方便說明的便利性，係將噴嘴流入側稱為「上」，將排出側稱為「下」，將分叉區塊3~5或前端構件12之長邊方向稱為「寬度方向」，將短邊方向稱為「深處方向」。

[噴嘴整體構造]

圖1係本發明之噴嘴之整體構造的剖面圖。同圖中，(a)係由正面觀看的圖，(b)係表示沿著在(a)中所示A-A線切斷，而朝向箭頭方向觀看之情形的剖面圖。

本發明之噴嘴1係由第一段分叉區塊3、第二段分叉區塊4與第三段分叉區塊5所構成，並具有一個噴嘴流入口2與12根設置有吐出口之細管14。關於圖1所揭示之實施形態，其係成為由一個噴嘴流入口2所流入之液體材料43在三段分叉部處(分叉室)分別分叉開，由排列成直線狀所配設之總計12根細管14往溝槽部15流動而進行吐出之構造。分叉區塊之段數為二段以上即可，例如，也可以是四段或五段。在各分叉區塊處，設置有構成分叉部之分叉室，並使複數個細管14連通至各分叉室。因此，細管14之數目係至少4根以上，較佳為6根以上，更佳為8根以上。

針對流入至噴嘴1之液體材料的分流進行說明。首先，從一個噴嘴流入口2所流入之液體材料43係於第一段分叉區塊3上所設置之一個分叉部(分叉室)6處，實質上二均等地分叉為等長的分流9。接著，分別在第二段分叉區塊4上所設置之兩個分叉部7處，經第一段而分叉之液體材料43進一步各別二均等地實質性分叉為等長的分流10。再來，分別在第三段分叉區塊5上所設置之四個分叉部8處，經第二段而分叉之液體材料43各別三均等地實質性分叉為等長的分流11。然後，流入至分別連通於第三段分叉區塊5上所設置之四個分叉部8的各三根細管14，並朝向溝槽部15流出，而被吐出。於此，在同一分叉區塊內所設置之分叉部彼此間的分叉分流長度均設為相同。

透過此類構成，則可變成為於同一分叉區塊內所設置之分叉部內之任一分叉分流均承受相同的管路摩擦等，且壓力損失亦變得一樣，故而可設定為來自在寬度方向上所直線狀配設之各細管14的吐出量或者是朝向溝槽部15所流入之液體材料量大致相等。此係在進行均勻厚度之膜狀塗佈方面的重要事項。

[前端部]

圖2係本發明之噴嘴之前端部的局部擴大剖面圖。同圖中，(a)係由正面觀看的圖，(b)係表示沿著在(a)中所示B-B線切斷，而朝向箭頭方向觀看之情形的剖面圖。

本發明之噴嘴前端構件12係由：由複數個細管14而構成之管部13；及與管部13連通，使液體材料43合流為一個的細長狀溝槽部15；所構成。

構成管部13之細管14的各流入口16係與由上述分叉區塊3~5所構成之分叉路構造體之第三段分叉區塊5上所設置的分叉部8連通。另一方面，細管14之各流出口17側之端部係嵌設在具有溝槽部15之前端構件12上，並藉由蠟、焊錫、黏著劑等而予以固定住。在將不喜好與該等固定用黏著劑等接觸之液體材料43吐出之情形下，亦可不使用黏著劑等而藉由「互相卡住」進行固定。又，流出口17端面係成為與溝槽部15之最深面19位於同一面上。又，此細管14係在長邊方向上直線狀約略相等間隔地配設有複數根而構 成管部13。為了獲得寬度方向之擴徑效果，細管14係以依既定間隔而配置為佳，另一方面，當過於分開時會無法形成膜，因此，例如相鄰接之細管14之內徑D之中心線間的距離配置為內徑D的4~12倍左右。

本發明之細管14之內徑(吐出口之內徑)係例如為 0.3~1.0mm，所製作之膜厚為例如20~500μm。

如圖1及圖2所示般，溝槽部15係於長邊方向上形成為細長的矩形，並形成為管部13所連通之最深面19與內壁22、23所包圍之立方體狀的空間。此溝槽15會構成將細管14之吐出口予以擴徑之擴徑部。另一方面，前端構件12之長邊方向的外側面係具有傾斜面21，藉由兩個面21、21而形成為前端較細。在傾斜面21與溝槽15之間，形成有屬於水平面之前端面18。又，前端構件12之短邊方向的內面係形成為將溝槽部15之寬度方向長度W予以限定之內壁23具有厚度。其中，溝槽部15之寬度方向長度W係為佔有前端構件12大部分的擴開形狀，而不是作成為用以形成寬度狹窄之狹縫噴嘴般之具有厚度的壁。

溝槽部15之寬度方向(長邊方向)的長度W較佳的是構成為較於寬度方向之兩端所排列之細管14間之距離為長。藉由在溝槽部15之寬度方向的兩端處，亦擴徑於寬度方向上，則可將壓力恢復。另外，將長邊方向長度W予以限定之內壁23係可藉由傾斜面或階梯狀或曲面予以構成(參照下述之關於 將短邊方向長度S予以限定之內壁22處的說明)。

又，於本發明中，不僅是寬度方向上，在往深處去的方向上亦進行擴徑。亦即，溝槽部15之短邊方向的長度S係形成為大於細管之內徑D(D<S)(參照圖2(b))。藉此，則從分叉部8通過細管14所流出之液體材料43係在朝向被塗佈物29進行吐出之前，一度於溝槽部15處擴開，故而可將在細管14處損失的壓力恢復一定程度。藉由具備上述構成，則可排除噴嘴1前端與被塗佈物29之間的距離之塗佈隙縫G之影響。較佳的是將短邊方向之剖面形狀形成為相對於細管內徑D之中心線為線對稱的形狀，以使液體材料可均等地通過溝槽部15內。

溝槽部15之短邊方向的長度S及細管內徑D係可因應所使用之液體材料43之物性值或所期望之塗佈形狀等而予以適當變化，例如，較佳的是溝槽部15之短邊方向的長度S為細管內徑D之約略1.2倍至約略2.5倍，更佳的是約略1.5倍至約略2.0倍。另外，在細管14之流入口16與流出口17之內徑不同的情形下，以流出口17之內徑為基準。

本發明之細管14係即便包含分叉部(6、7、8)也是最細處，此處的流動阻抗亦為最大。然而，該細管14係因為在前端構件12之長邊方向上配設有複數根，故而可分散來自供應壓力的力量。也就是說，關於在一個狹縫進行吐出之習知技術的狹縫噴嘴，即便是需要施加會引起變形等之高壓力的液 體材料(例如，高黏度液體材料)，若為本發明之噴嘴1的話，則可使不引起變形等而進行吐出成為可能。

本發明之噴嘴係可利用在例如黏度300~500000mPa．s之液體材料的塗佈上，尤其是適合高黏性液體材料之塗佈。此處所謂的高黏性係指超過例如黏度50000mPa．s以上(較佳為黏度100000mPa．s以上)之黏性。

圖3係說明塗佈時之狀態的說明圖。同圖中之元件符號24係表示噴嘴1之移動方向。

圖3(a)係習知技術之狹縫噴嘴的情形，所吐出之液體材料43係從留存部25通過狹縫(δ)，並依其原樣被吐出至被塗佈物29。另一方面，圖3(b)係本發明之情形，所吐出之液體材料43係從分叉部通過細管(α)，並在溝槽部15(γ)擴展開而被吐出至被塗佈物29。

於任一情形下之塗佈時，在噴嘴1前端與被塗佈物29之間具有隙縫G(以下稱為「塗佈隙縫G」)。此塗佈隙縫G會因為被塗佈物29之平面度或移動機構31之平行度等的影響而有所變動。當塗佈隙縫G變大或變小時，噴嘴1前端面與被塗佈物29表面所夾住之液體材料43會拉開或壓縮，則於其內部(β、ε)處壓力會變低或變高。

一般來說，通過狹窄流路之分流係速度變大而壓力變小，反過來說，通過寬廣流路之分流係速度變小而壓力變大。習知技術之狹縫噴嘴係因為從狹窄狹縫(δ)內快速地流出至外 部(ε)，故而，於噴嘴與被塗佈物處所夾住之液體材料內的壓力增加。亦即，狹縫內(δ)與在噴嘴及被塗佈物處所夾住之液體材料內(ε)，係為壓力差變大且液體材料不易流出的狀態。當對此加上因塗佈隙縫G之變動所造成之液體材料內(ε)的壓力變動，則因為狹縫內(δ)的壓力小，故即便是些許的壓力變動亦會受到影響，致使塗佈量不穩定，而膜厚變得不均勻。

另一方面，本發明之噴嘴係在從細管14(α)流出於噴嘴1之外部(β)之前，於溝槽部15(γ)處一旦些許擴開而恢復壓力，再由此流出至外部(β)，故而被噴嘴及被塗佈物所夾住之液體材料內(β)的壓力不會快速地增加。亦即，由於細管(α)與被噴嘴及被塗佈物所夾住之液體材料內(β)處之壓力差變大，而溝槽部15(γ)與液體材料內(β)之壓力差變小，所以呈液體材料容易流出之狀態。當對此加上因塗佈隙縫G之變動所造成之液體材料內(β)的壓力變動，則因為溝槽部15(γ)處之壓力不小，故即便是些許的壓力變動亦不易受到影響，致使塗佈量穩定，而膜厚變得均勻。

因此，若使用本發明之噴嘴，則因為溝槽部15構成為擴徑部，故而即便因被塗佈物之平面度或移動機構之平行度等之影響而使塗佈隙縫有所變動，亦可進行塗佈量穩定且均勻厚度之膜狀塗佈。

[溝槽部形狀變化例]

在圖2之實施形態中，形成為溝槽部15之短邊方向的長度S大於細管內徑D(D<S)，最終亦可以是最下游之吐出口端面20之短邊方向長度S被擴徑。其例示於圖4。

圖4(a)係短邊方向之剖面形成為梯形狀之溝槽部15。屬於平面之內壁22a、22b所形成之角度係依溝槽部短邊方向長度S或細管內徑D而有所變動，例如，以90度以下為佳，以60度以下為更佳。

圖4(b)係短邊方向之剖面形成為半圓狀或半橢圓狀之溝槽部15。

內壁22a、22b係階段性使短邊方向之距離擴開的形狀即可，較佳的是藉由平滑面(平面或曲面)構成。

又，圖4之(a)、(b)之任一情形下，較佳的是從細管流出口17至溝槽部端面之途中不設定為具有捲曲之形狀。此係因為這樣可容易加工，溝槽部15內之流動不會變得複雜所致。

透過將吐出口作成為上述所說明之形狀，則相較於在圖2所說明之擴開為直角狀之形狀，可進行緩和的擴展，並減少壓力損失，可使壓力恢復。

[模組化]

本發明之噴嘴1係可因應分叉部(6、7、8)之態樣而進行模組化。圖5及圖6係說明該模組化之態樣的說明圖。

圖5係將分叉分流(9、10、11)之長度相等之分叉部(6、7、8)整合為一個，作成分叉區塊(3、4、5)，並將之模組化者。 係成為整個分叉段的模組。各模組(3、4、5)係藉由未圖示之連接構件而進行相互連結。連接構件係例示有螺絲、螺栓等。或者是不將各模組直接連結，而將各模組固定於成為基底之板狀體等上亦可。此處，在連結或固定時，設置未圖示之定位梢以使流路之接續不會產生偏移，而進行簡單的定位即可。又，在各模組之流路接續部分上，還可以設置用以防止液體材料漏出之未圖示的密封構件。

圖6係將分叉部(6、7、8)整合為一個，並將之模組化者。可說是最小單位的模組化。前端構件12係配合最下段的模組5而進行模組化。與圖5同樣地，藉由未圖示之連接構件而進行相互連結，或者是將各模組固定於成為基底之板狀體上。設置定位梢或密封構件等亦相同。在圖6的情形，構成前端構件12之兩端之模組係與其他模組在溝槽部15之形狀方面並不相同。此係必須設置將溝槽部15之寬度方向長度予以限定的內壁23所致。又，在圖6中，前端構件12以外之模組(特別是第三段模組8)也是兩端之模組與其他模組在側壁厚度方面相異，此係因其目的在於將相互直接連結時之寬度予以整合，在固定於成為基底之板等構件的情形下，當然可能將各模組形成為相同形狀(例如，參照圖7(a))。

如上所述藉由進行模組化，則對於被塗佈物之尺寸變更等，僅需變更模組的組合即可輕易地進行噴嘴構成的變更，且亦容易洗淨。

[調整機構]

垂直於上下方向之軸且寬度方向之軸的軸周圍之噴嘴的傾斜度由於會對膜厚之均勻性有著莫大影響，所以較佳的是在將本發明之噴嘴1設置於塗佈裝置上時，亦設置調整機構。圖7係可安裝本發明之噴嘴1之調整機構的局部剖面圖。同圖中，(a)係正視圖，(b)係側面部分剖面圖。

本發明之調整機構35係於將各模組(6、7、8)固定在基底板36後之噴嘴構造體44的大約中央處，配設有旋轉軸37，將此旋轉軸37插入至安裝板39上所固定之軸承38。於此，基底板36與安裝板39並未固定，而成為基底板36與固定於其上之噴嘴構造體44可自由地進行旋轉。藉此，則噴嘴構造體44係整體可旋轉(元件符號41)於垂直於上下方向之軸且寬度方向之軸的軸(係指圖7(a)上之垂直於紙面的軸)周圍。另外，調整螺絲40左右各一個地設置在安裝板39上，藉由使此螺絲可分別進行進退移動(元件符號42)，則可調整壓入基底板36上面的量，可使噴嘴構造體44稍微旋轉而調整噴嘴1之傾斜度。當此調整螺絲係採用如測微頭(micrometer head)般之具有刻度者，則可確認並記錄調整量，而作業變得容易。

透過設置此類機構，則可以消除起因於噴嘴1之傾斜的膜厚不均勻，並可進一步形成均勻且精度良好之塗膜形狀。

以上所說明之本發明之噴嘴係可應用在：具備有使噴嘴與 工件進行相對移動之XYZ驅動機構的塗佈裝置；相對於經固定過之工件，使噴嘴所設置之框架進行移動之高架(gantry)型裝置；相對於可連續性搬送之工件，從位置被固定過之噴嘴進行塗佈的塗佈裝置等針對工件進行膜狀塗佈的各種塗佈裝置上。

以下，透過實施例說明本發明之細節，但是本發明並非限定於任何實施例。

[實施例] [塗佈裝置]

實施例之塗佈裝置係將保護玻璃與液晶顯示器直接安裝而進行提高視認性之光學黏合時用之接著劑/填充劑的塗佈裝置。圖8係說明實施例之塗佈裝置之構成例的說明圖。

本實施例之塗佈裝置26係具備有：儲存液體材料43之槽27；控制由槽27所供應之液體材料43往本發明之噴嘴1進行供應或停止的吐出閥28；本發明之噴嘴1；載置被塗佈物29之工作台30；及使本發明之噴嘴1與由工作台30所載置之被塗佈物29進行相對移動的移動機構31。

槽27係依壓縮氣體之供應而進行液體材料43之供應的壓力容器。本實施例所儲存之液體材料43的黏度係例如為1500~100000mPa．s。在本實施例中，藉由準備複數個槽而交替使用，使在每次補充液體材料43時不用將裝置停止而可以持續作業。另外，於本實施例中，設置切換閥33，使 變得可選擇所使用的槽27，亦可以為使用一個槽27的構成。

又，在本實施例中，於切換閥33與吐出閥28之間設置泵34，而可對槽27不進行壓縮氣體之供應或者是一邊對槽27進行壓縮氣體之供應，而進行液體材料43之供應。作為泵34，較佳的是使用例如注射式泵、隔膜式泵、輪葉式泵、齒輪式泵等容積式泵。藉由使用容積式泵而可以供應定量的液體材料43，可精度良好地控制吐出量。

吐出閥28係控制由槽27所供應之液體材料43供應或停止至本發明之噴嘴1的裝置，透過控制其開放時間而控制吐出量。

噴嘴1係在上述實施形態所說明之圖1及圖2中所記載之噴嘴。因應於被塗佈物29之大小或所期望之塗佈形狀，而可適當變更分叉段數、分叉部數量、細管14之根數、還有溝槽部15之寬度方向長度等。細管14之內徑係例如為 0.6mm。

工作台30係將被塗佈物29予以載置或固定者，例如，藉由依真空抽吸之吸附或依定位梢之穿刺等而強力固定被塗佈物29，作成為依相對移動不會有所偏移。

移動機構31係使噴嘴1與在工作台30上所載置之被塗佈物29於元件符號32之方向進行相對移動者，其態樣係可採用僅使噴嘴1進行移動、僅使工作台30進行移動或使噴嘴1與工作台30分別進行移動之任一者。在本實施例中，採 用XYZ自動機器。

藉由以上所說明之本實施例之塗佈裝置，而進行設定好膜厚100μm以下之條件的塗佈試驗，結果係可獲得相對於所期望之膜厚為±5%的精度。透過使用本實施例之塗佈裝置26，則可確認到可進行均勻厚度之膜狀塗佈。

(產業上之可利用性)

本發明係可利用在依寬廣範圍將液體材料進行均勻塗佈於被塗佈物表面上之技術，例如可利用於電器/電子製品製造之阻抗液等之塗佈；不僅是顯示裝置製造時之螢光體糊膏等之塗佈，還有用以將在平板顯示器所使用之保護覆蓋層等予以接著之光學彈性樹脂(SVR)之塗佈；在將有機EL面板整面予以密封時之密封材的塗佈；放熱潤滑油之塗佈等。

1‧‧‧噴嘴

2‧‧‧噴嘴流入口

3‧‧‧第一段分叉區塊(模組)

4‧‧‧第二段分叉區塊(模組)

5‧‧‧第三段分叉區塊(模組)

6‧‧‧第一段分叉部(模組)

7‧‧‧第二段分叉部(模組)

8‧‧‧第三段分叉部(模組)

9‧‧‧第一段分叉分流

10‧‧‧第二段分叉分流

11‧‧‧第三段分叉分流

12‧‧‧前端構件

13‧‧‧管部

14‧‧‧細管

15‧‧‧溝槽部

16‧‧‧細管流入口

17‧‧‧細管流出口

18‧‧‧前端面

19‧‧‧最深面(管部所連通之面)

20‧‧‧吐出口端面

21‧‧‧傾斜面

22‧‧‧(短邊方向之)內壁

22a‧‧‧內壁

22b‧‧‧內壁

23‧‧‧(長邊方向之)內壁

24‧‧‧噴嘴移動方向

25‧‧‧留存部

26‧‧‧塗佈裝置

27‧‧‧槽

28‧‧‧吐出閥

29‧‧‧被塗佈物

30‧‧‧工作台

31‧‧‧移動機構

32‧‧‧移動方向

33‧‧‧切換閥

34‧‧‧泵

35‧‧‧調整機構

36‧‧‧基底板(基底構件)

37‧‧‧旋轉軸

38‧‧‧軸承

39‧‧‧安裝板(安裝構件)

40‧‧‧調整螺絲

41‧‧‧旋轉方向

42‧‧‧進退移動方向

43‧‧‧液體材料

44‧‧‧噴嘴構造體

A‧‧‧剖面切線

B‧‧‧剖面切線

D‧‧‧細管內徑

G‧‧‧塗佈隙縫

S‧‧‧溝槽部短邊方向長度

W‧‧‧吐出口端面之長邊方向的長度

α‧‧‧細管內

β‧‧‧本發明之在噴嘴及被塗佈物處所夾住之液體材料內

γ‧‧‧溝槽部內

δ‧‧‧狹縫內

ε‧‧‧習知技術之在狹縫噴嘴及被塗佈物處所夾住之液體材料內

圖1係本發明之噴嘴之整體構造的剖面圖。(a)係表示正視圖，(b)係表示A-A箭視圖。

圖2係本發明之噴嘴前端部的局部擴大剖面圖。(a)係表示正視圖，(b)係表示B-B箭視圖。

圖3係說明塗佈時之狀態的說明圖。(a)係表示習知技術之狹縫噴嘴，(b)係表示本發明。

圖4係說明本發明之噴嘴之擴徑部形狀之變化例的剖面 圖。(a)係表示直線性擴開的情形，(b)係表示曲線性擴開的情形。

圖5係說明本發明之噴嘴之模組化態樣的說明圖。

圖6係說明本發明之噴嘴之模組化態樣的說明圖。

圖7係於本發明之噴嘴上所可具備之調整機構的局部剖面圖。(a)係表示正視圖，(b)係表示側面部分剖面圖。

圖8係說明使用實施例1之噴嘴之塗佈裝置之構成例的說明圖。

1‧‧‧噴嘴

2‧‧‧噴嘴流入口

3‧‧‧第一段分叉區塊(模組)

4‧‧‧第二段分叉區塊(模組)

5‧‧‧第三段分叉區塊(模組)

6‧‧‧第一段分叉部(模組)

7‧‧‧第二段分叉部(模組)

8‧‧‧第三段分叉部(模組)

9‧‧‧第一段分叉分流

10‧‧‧第二段分叉分流

11‧‧‧第三段分叉分流

12‧‧‧前段構件

14‧‧‧細管

15‧‧‧溝槽部

Claims (14)

1. 一種膜狀塗佈噴嘴，係具備有：具有分叉路構造之分叉區塊；具有於長邊方向上擴開性所形成之吐出口之前端構件；及設置複數根具有連通至上述分叉路構造之細管流入口及連通至上述前端構件之吐出口之細管流出口之細管而成之管部者；其特徵為，上述分叉區塊具備有複數段由使連通至流入口之流路分叉之室所構成之分叉部，其係構成為到藉由在同一段所設置之分叉部所分叉之流路之流出口為止的長度為相等；上述前端構件具有構成朝下方開口之吐出口之溝槽部，其係構成為上述吐出口之端面之短邊方向的長度S較上述細管流出口之內徑D為長，上述細管流出口係約略均等間隔地配設在上述溝槽部之最深面；上述分叉區塊及/或上述前端構件係由可組裝及自由分解之複數個模組所構成，且可將各模組的組合設定為可變。
2. 如申請專利範圍第1項之膜狀塗佈噴嘴，其中，上述吐出口之端面之長邊方向的長度W係構成為較於上述溝槽部之最深面之兩端所配設細管流出口間的距離為長。
3. 如申請專利範圍第1或2項之膜狀塗佈噴嘴，其中，上述溝槽部之短邊方向的長度係從最深面階段性擴張至出口之端面處。
4. 如申請專利範圍第3項之膜狀塗佈噴嘴，其中，上述溝 槽部之短邊方向的剖面形狀為梯形狀，上述細管流出口位於剖面形狀之垂直中心線上。
5. 如申請專利範圍第3項之膜狀塗佈噴嘴，其中，上述溝槽部之短邊方向的剖面形狀為半圓形或半橢圓形，上述細管流出口位於剖面形狀之垂直中心線上。
6. 如申請專利範圍第1或2項之膜狀塗佈噴嘴，其中，上述吐出口之端面之短邊方向的長度S為上述細管流出口之內徑D的1.2~2.5倍。
7. 一種塗佈裝置，其具備有：申請專利範圍第1或2項之膜狀塗佈噴嘴；儲存液體材料之槽；控制供應自上述槽之液體材料供應或停止給上述噴嘴之吐出閥；載置被塗佈物之工作台；及可使上述噴嘴與上述工作台上所載置之被塗佈物進行相對移動之移動機構。
8. 如申請專利範圍第7項之塗佈裝置，其中，其係設置有包含：將上述噴嘴予以固定之基台構件；於上述基台構件之中央部分上所配設之旋轉軸；可自由旋轉地支撐上述旋轉軸之安裝構件；及於上述安裝構件上所配設之調整螺絲；而成之調整機構。
9. 一種塗佈裝置，其具備有：申請專利範圍第1或2項之膜狀塗佈噴嘴；儲存液體材料之槽；控制供應自上述槽之液體材料供應或停止給上述噴嘴之吐出閥；載置被塗佈物之工作台；及可使上述噴嘴與上述工作台上所載置之被塗佈物進行相對移動之移動機構者，其特徵為，其係設置有包含：於已將上述分叉區塊及/或上述前端構件予以連結之狀態下進行固定之基台構件；於上述基台構件之中央部分上所配設之旋轉軸；可自由旋轉地支撐上述旋轉軸之安裝構件；及於上述安裝構件上所配設之調整螺絲；而成之調整機構。
10. 如申請專利範圍第7項之塗佈裝置，其中，設置有上述槽複數個，並設置有可選擇性切換與使用中之一個槽之連通的切換閥。
11. 如申請專利範圍第7項之塗佈裝置，其中，於上述吐出閥與上述切換閥之間設置有泵。
12. 如申請專利範圍第11項之塗佈裝置，其中，上述泵為容積式泵。
13. 一種塗佈方法，其係使用申請專利範圍第1或2項之膜狀塗佈噴嘴，於藉由移動機構使被塗佈物及/或噴嘴移動 之狀態下，將液體材料進行膜狀塗佈。
14. 如申請專利範圍第13項之塗佈方法，其中，將高黏性的液體材料進行膜狀塗佈。