CN103596700A - 膜状涂布喷嘴、涂布装置及涂布方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够使来自连通于吐出口的所有流路的流入量均匀，使涂布间隙的影响为最小限度，并相比于现有技术精度更优良地进行膜状涂布的技术。解决手段是膜状涂布喷嘴，具备：具有分支路构造的分支块（3、4、5）；具有在长边方向上形成为宽幅的吐出口的前端构件（12）；以及设置多根具有连通于分支路构造的细管流入口（16）及连通于前端构件（12）的吐出口的细管流出口（17）的细管（14）而成的管部（13）；分支块（3、4、5）具备多段由使连通于流入口（16）的流路分支的室所构成的分支部（8），到由设置在同一段的分支部（8）所分支的流路的流出口（17）为止的长度构成为相等；前端构件（12）具有构成吐出口的沟槽部（15），吐出口的端面的短边方向的长度（S）构成为长于细管流出口（17）的内径（D），细管流出口（17）大致等间隔地配设在沟槽部（15）的最里面。

Description

膜状涂布喷嘴、涂布装置及涂布方法

技术领域

本发明涉及用于在被涂布物的表面上遍及宽范围地将液体材料以均匀的厚度涂布成膜状的喷嘴（nozzle）、涂布装置及涂布方法。

背景技术

在电气·电子产品制造中的抗蚀（resist）液等的涂布或显示器装置制造中的荧光体膏体等的涂布等的、在被涂布物的表面上遍及宽范围地将液体材料以均匀的厚度涂布成膜状的装置中，为了效率良好地进行涂布，一般使用形成有一个细长的间隙的狭缝喷嘴或多根细管以狭窄的间隔排列成一直线的梳状喷嘴。这些喷嘴以较少次数的移动来结束涂布，另一方面，由于从喷嘴的流入口至流出口的距离的差异或在流出口的流动阻抗等，在喷嘴内压力不均匀，产生了涂布量的不均。为了消除该涂布量的不均并实现均匀的厚度的涂布，至今提出了各种的技术。

例如，专利文献1涉及为了将涂布液涂布在叶片状及连续地移动的带状的被涂布物的表面上所使用的挤压（extrusion）型喷嘴，并公开了具备使涂布液在宽度方向上遍布的2段的歧管（manifold）以及将涂布液整流的2段的狭缝，在2段的狭缝中，由可交换的构件形成涂布液流入侧的狭缝，将该构件与对应于涂布液的粘度等的最佳的构件逐个交换而可以进行均匀的涂布。

另外，专利文献2涉及将保护膜形成于汽车的车体外观的涂装面的装置，并公开了在从排列设置有多个细孔的喷嘴装置以比较低的压力从近距离将水溶性涂料喷出于被涂装面上并利用在被涂布面上涂料所具有的平坦化性质而形成平滑的保护膜时，在细孔中的前端开口部设置连通部并将从喷嘴装置所喷出的涂料形成为薄膜状，从而涂覆平滑的保护膜。

然而，如专利文献2所述，在将多个喷嘴配设成一列的情况下，除了从一个流入口至各个吐出口为止的分支流路的长度不同之外，起因于分支流路越长则承受越大的流动阻抗而使压力损失变大等，来自喷嘴的液状物质的吐出量在分支流路的长度较短的中央部分较多，朝向端部逐渐减少，从而产生了吐出量的不均的问题。

因此，申请人提出了下述技术：其是在从一个流入口至多个吐出口之间，设置使流路分支的多段的分支路的流体的吐出路构造，将形成上段的分支部的划分室的横宽构成为宽于下段侧的分支部入口间距离，使上下的划分室由配置于下段侧的分支路中心的管路进行连通，并且通过将该管路形成为短于上下分支路从而使各分支路的总长度大致相等，使通过任一分支路的流体的压力损失大致相等，从而以高精度使从各个吐出口吐出的流体的吐出量均匀化。

专利文献

专利文献1：日本特开2002-370057号公报

专利文献2：日本特开平8-224503号公报

专利文献3：日本专利第4037861号公报

发明内容

发明所要解决的问题

近年来，显示器领域等中的机材的高功能化或薄层化的要求增加，涂布膜的膜厚的均匀化的期望变高。然而，在专利文献1那样的狭缝喷嘴中，如果作为喷嘴前端与被涂布物之间的距离的涂布间隙（gap）由于被涂布物的平面度或移动机构的平行度等的影响而发生变动，则受其影响而使涂布量变动，涂布膜厚度变得不均匀而无法获得所期望的涂膜形状。另外，狭缝喷嘴因为仅形成有一个细长的间隙，因而用于挤出液体材料的压力未均等地施加而从较弱的部分发生变形，或者在严重时会引起破坏。在试图涂布粘度高的液体材料的情况下，会施加比较高的压力，从而变得特别显著。如果发生上述那样的变形，则涂布量当然也会变化，无法得到均匀的厚度的涂膜。

为了解决狭缝喷嘴的问题，也考虑利用专利文献2那样的梳状喷嘴。然而，专利文献2中，涂料被喷出为具有凹凸的薄膜状，涂膜的平滑化依赖于涂布后的涂料的流动性，因此作为获得均匀的厚度的涂膜的手段是不充分的。另外，在专利文献2中，完全没有提到由于设置细孔所产生的压力损失的问题。

再有，专利文献3用于将荧光体膏体涂布于基板表面的凹部内等来形成多个平行线，不具有用于进行膜状涂布的喷嘴。

因此，本发明的目的在于，提供能够使来自于连通于吐出口的所有流路的流入量均匀，使涂布间隙的影响为最小限度，并且相比于现有技术精度更良好地进行膜状涂布的技术。

解决问题的技术手段

第一发明是一种膜状涂布喷嘴，其特征在于，具备：具有分支路构造的分支块；具有在长边方向上形成为宽幅的吐出口的前端构件；以及设置多根具有连通于所述分支路构造的细管流入口及连通于所述前端构件的吐出口的细管流出口的细管而成的管部，所述分支块具备多段由使连通于流入口的流路分支的室所构成的分支部，到由设置在同一段的分支部所分支的流路的流出口为止的长度构成为相等，所述前端构件具有构成吐出口的沟槽部，所述吐出口的端面的短边方向的长度S构成为长于所述细管流出口的内径D，所述细管流出口大致等间隔地配设在所述沟槽部的最里面。

第二发明的特征在于，在第一发明中，所述吐出口的端面的长边方向的长度W构成为长于配设于所述沟槽部的最里面的两端的细管流出口间的距离。

第三发明的特征在于，在第一或第二发明中，所述沟槽部的短边方向的长度从最里面至出口的端面阶段性地扩张。

第四发明的特征在于，在第三发明中，所述沟槽部的短边方向的截面形状为梯形状，所述细管流出口位于截面形状的铅垂中心线上。

第五发明的特征在于，在第三发明中，所述沟槽部的短边方向的截面形状为半圆状或半椭圆状，所述细管流出口位于截面形状的铅垂中心线上。

第六发明的特征在于，在第一～第五发明的任一个发明中，所述吐出口的端面的短边方向的长度S为所述细管的流出口的内径D的1.2～2.5倍。

第七发明的特征在于，在第一～第六发明的任一个发明中，所述分支块和/或所述前端构件由可自由组装和分解的多个模块所构成，能够使各模块的组合改变。

第八发明是一种涂布装置，具备：第一～第六发明的任一个发明所涉及的膜状涂布喷嘴；储存液体材料的储罐；控制从所述储罐供给的液体材料向所述喷嘴供给或停止的吐出阀；载置被涂布物的工作台；以及使所述喷嘴与载置于所述工作台的被涂布物相对移动的移动机构。

第九发明的特征在于，在第八发明中，设置调整机构，所述调整机构包含以下构件而成：将所述喷嘴固定的基座（base）构件；配设于所述基座构件的中央部分的旋转轴；可自由旋转地支撑所述旋转轴的安装构件；以及配设于所述安装构件的调整螺钉。

第十发明是一种涂布装置，其特征在于，具备：第七发明所涉及的膜状涂布喷嘴；储存液体材料的储罐；控制从所述储罐供给的液体材料向所述喷嘴供给或停止的吐出阀；载置被涂布物的工作台；以及使所述喷嘴与载置于所述工作台的被涂布物相对移动的移动机构，设置调整机构，所述调整机构包含以下构件而成：在将所述分支块和/或所述前端构件连结的状态下进行固定的基座构件；配设于所述基座构件的中央部分的旋转轴；可自由旋转地支撑所述旋转轴的安装构件；以及配设于所述安装构件的调整螺钉。

第十一发明的特征在于，在第八～第十发明的任一个发明中，设置多个所述储罐，并设置选择性地切换与进行使用的一个储罐的连通的切换阀。

第十二发明的特征在于，在第八～第十一发明的任一个发明中，在所述吐出阀与所述切换阀之间设置泵。

第十三发明的特征在于，在第十二发明中，所述泵为容积式泵。

第十四发明是一种涂布方法，其使用第一～第七发明的任一个发明所涉及的膜状涂布喷嘴，一边由移动机构使被涂布物和/或喷嘴移动一边将液体材料进行膜状涂布。

第十五发明的特征在于，在第十四发明中，将高粘性的液体材料进行膜状涂布。

发明的效果

根据本发明，除了可分配均匀量的分支路构造之外，利用从该分支路接受均匀量的液体材料的供给的多个细管以及使压力恢复的沟槽部的结构，使涂布间隙变动的影响为最小限度，从而相比于现有技术能够进行均匀的厚度的膜状涂布。

另外，利用多个细管，可以分散由供给压所施加的力，因而可以施加高的压力，因此，可以实现在现有技术中较难的使用高粘度的液体材料的膜状涂布。

另外，在将各部模块化的情况下，相对于被涂布物的尺寸变更等，能够通过仅进行模块的变更而容易地进行喷嘴结构的变更，清洗也是容易的。

附图说明

图1是本发明所涉及的喷嘴的整体构造的截面图。（a）表示正面图，（b）表示A-A箭头视图。

图2是本发明所涉及的喷嘴的前端部的部分放大截面图。（a）表示正面图，（b）表示B-B箭头视图。

图3是说明涂布时的状态的说明图。（a）表示现有的狭缝喷嘴，（b）表示本发明。

图4是说明本发明所涉及的喷嘴的扩径部形状的变形例的截面图。（a）表示直线地扩展的情况，（b）表示曲线地扩展的情况。

图5是说明本发明所涉及的喷嘴的模块化的方式的说明图。

图6是说明本发明所涉及的喷嘴的模块化的方式的说明图。

图7是在本发明的喷嘴上能够具备的调整机构的部分截面图。（a）表示正面图，（b）表示侧面部分截面图。

图8是说明使用实施例1所涉及的喷嘴的涂布装置的构成例的说明图。

具体实施方式

以下，说明本发明的喷嘴的实施方式。另外，以下，为了方便说明，将喷嘴流入侧称为“上”，将排出侧称为“下”，将分支块3～5或前端构件12的长边方向称为“宽度方向”，将短边方向称为“纵深方向”。

[喷嘴整体构造]

图1是本发明所涉及的喷嘴的整体构造的截面图。该图中，（a）表示从正面看的图，（b）表示沿着在（a）中所示的A-A线切断并朝向箭头的方向看的情况下的截面图。

本发明的喷嘴1由第一段的分支块（block）3、第二段的分支块4以及第三段的分支块5所构成，并具有一个喷嘴流入口2和12根设置有吐出口的细管14。在图1所公开的实施方式中，成为从一个喷嘴流入口2所流入的液体材料43在三段的分支部（分支室）分别分支，从以直线状排列并配设的总计12根的细管14向沟槽部15流动并进行吐出的构造。分支块的段数为二段以上即可，例如，也可以是四段或五段。在各分支块，设置构成分支部的分支室，使多个细管14连通于各分支室。因此，细管14的根数为至少4根以上，优选为6根以上，更优选为8根以上。

对流入至喷嘴1的液体材料的流动进行说明。首先，从一个喷嘴流入口2流入的液体材料43在设置于第一段的分支块3的一个分支部（分支室）6两个均等地分支为实质上等长的流动9。接着，在设置于第二段的分支块4的两个分支部7的各个，由第一段分支的液体材料43进一步各两个均等地分支为实质上等长的流动10。接着，在设置于第三段的分支块5的四个分支部8的各个，由第二段分支的液体材料43各三个均等地分支为实质上等长的流动11。然后，流入至分别连通于设置于第三段的分支块5的四个分支部8的各三根的细管14并朝向沟槽部15流出而被吐出。在此，在设置于同一分支块内的分支部彼此之间的分支流的长度均相等。

通过如上所述构成，从而设置在同一分支块内的分支部内的任一分支流均承受相等的管路摩擦等，压力损失也相等，因而能够使来自在宽度方向上配设成直线状的各细管14的吐出量、或者朝向沟槽部15流入的液体材料的量大致相等。这在进行均匀的厚度的膜状涂布的方面是重要的。

[前端部]

图2是本发明所涉及的喷嘴的前端部的部分放大截面图。该图中，（a）表示从正面看的图，（b）表示沿着在（a）中所示的B-B线切断并朝向箭头的方向看的情况下的截面图。

本发明的喷嘴前端构件12由以下构件构成：由多个细管14构成的管部13以及与管部13连通并使液体材料43合流为一个的细长的沟槽部15。

构成管部13的细管14的各流入口16与设置于由上述的分支块3～5所构成的分支路构造体的第三段的分支块5的分支部8连通。另一方面，细管14的各流出口17侧的端部被嵌设在具有沟槽部15的前端构件12，并通过蜡、焊料、粘结剂等而被固定。在将不喜好与这些用于固定的粘结剂等接触的液体材料43吐出的情况下，也可以不使用粘结剂等而由“嵌合”进行固定。另外，流出口17端面位于与沟槽部15的最里面19相同的面上。另外，该细管14在长边方向上以直线状大致等间隔地配设有多根而构成管部13。为了获得宽度方向的扩径效果，优选细管14具有规定的间隔地进行配置，另一方面，如果过于分开，则无法形成膜，因此，例如，以邻接的细管14的内径D的中心线间的距离成为内径D的4～12倍左右的方式配置。

本发明的细管14的内径（吐出口的内径）例如为φ0.3～1.0mm，所制作的膜厚为例如20～500μm。

如图1及图2所示，沟槽部15在长边方向上为细长的矩形状，并形成由管部13所连通的最里面19与内壁22、23所包围的长方体状的空间。该沟槽15构成将细管14的吐出口扩径的扩径部。另一方面，前端构件12的长边方向的外侧面具有倾斜面21，由两个面21、21而形成为前端变细。在倾斜面21与沟槽15之间，形成有作为水平面的前端面18。另外，前端构件12的短边方向的内面形成为规定沟槽部15的宽度方向长度W的内壁23具有厚度。其中，沟槽部15的宽度方向长度W为占有前端构件12的大部分的宽幅形状，不是用于形成宽度狭窄的狭缝喷嘴的壁厚的壁。

沟槽部15的宽度方向（长边方向）的长度W优选构成为长于在宽度方向的两端所排列的细管14间的距离。这是由于，通过在沟槽部15的宽度方向的两端在宽度方向上进行扩径，从而可以恢复压力。另外，规定长边方向长度W的内壁23能够由倾斜面或者阶梯状或曲面构成（参照关于规定后面所述的短边方向长度S的内壁22的说明）。

另外，在本发明中，不仅在宽度方向上而且在纵深方向上将沟槽部15进行扩径。即，沟槽部15的短边方向的长度S形成为大于细管的内径D（D＜S）（参照图2（b））。由此，从分支部8通过细管14所流出的液体材料43在朝向被涂布物29被吐出之前，由于在沟槽部15暂时扩展，因而将在细管14损失的压力恢复一定程度。通过具备该结构，从而能够排除来自喷嘴1前端与被涂布物29之间的距离即涂布间隙G的影响。优选，使短边方向的截面形状为相对于细管的内径D的中心线为线对称的形状，以使液体材料均等地遍布沟槽部15内。

沟槽部15的短边方向的长度S及细管的内径D根据所使用的液体材料43的物性值或所期望的涂布形状等而适当变更，例如，沟槽部15的短边方向的长度S优选为细管的内径D的约1.2倍至约2.5倍，更优选为约1.5倍至约2.0倍。另外，在细管14的流入口16与流出口17的内径不同的情况下，以流出口17的内径为基准。

本发明中的细管14即使包含分支部（6、7、8）也变成最细，此处的流动阻抗变成最大。然而，该细管14在前端构件12的长边方向上配设有多根，因而由供给压施加的力分散。即，即使是在一个狭缝中进行吐出的现有的狭缝喷嘴中需要施加引起变形等那样的高压力的液体材料（例如，粘度高的液体材料），如果是本发明的喷嘴1，则也可以不引起变形等地进行吐出。

本发明的喷嘴能够利用在例如粘度300～500000mPa·s的液体材料的涂布中，尤其适合在高粘性的液体材料的涂布中。在此，所谓高粘性，是指例如粘度50000mPa·s以上、优选为超过粘度100000mPa·s的粘性。

图3是说明涂布时的状态的说明图。该图中的符号24表示喷嘴1的移动方向。

图3（a）是现有的狭缝喷嘴的情况，所吐出的液体材料43从积存部25通过狭缝（δ），并就这样地被吐出至被涂布物29。另一方面，图3（b）是本发明的情况，所吐出的液体材料43从分支部通过细管14（α），并在沟槽部15（γ）扩展而被吐出至被涂布物29。

在任一情况下，在涂布时，在喷嘴1前端与被涂布物29之间存在间隙G（以下称为“涂布间隙G”）。该涂布间隙G会由于被涂布物29的平面度或移动机构31的平行度等的影响而发生变动。如果涂布间隙G变大或变小，则被夹持于喷嘴1前端面与被涂布物29表面的液体材料43会拉开或压缩，在其内部（β、ε）压力会变低或变高。

一般来说，在通过狭窄的流路的流动中，速度大，压力变小，相反，在通过宽的流路的流动中，速度小，压力变大。在现有的狭缝喷嘴中，因为从狭窄的狭缝内（δ）快速地流出至外部（ε），因而被喷嘴与被涂布物所夹着的液体材料内（ε）的压力增加。即，狭缝内（δ）与被喷嘴及被涂布物所夹着的液体材料内（ε）压力差变大，液体材料处于难以流出的状态。如果于此施加由涂布间隙G的变动所引起的液体材料内（ε）的压力变动，则因为狭缝内（δ）的压力小，因而即使是些许的压力变动也会受到影响，使涂布量不稳定，膜厚变得不均匀。

另一方面，在本发明的喷嘴中，在从细管14（α）流出至喷嘴1的外部（β）之前，在沟槽部15（γ）暂时扩展而恢复压力，并由此流出至外部（β），因而被喷嘴及被涂布物所夹着的液体材料内（β）的压力不会快速地增加。即，在细管（α）与被喷嘴及被涂布物所夹着的液体材料内（β），压力差大，但在沟槽部15（γ）与液体材料内（β）压力差变小，所以液体材料处于容易流出的状态。如果于此施加由涂布间隙G的变动所引起的液体材料内（β）的压力变动，则因为沟槽部15（γ）中的压力不小，因而即使是些许的压力变动也难以受到影响，使涂布量稳定，膜厚变得均匀。

因此，若使用本发明的喷嘴，则因为沟槽部15构成扩径部，因而即使由于被涂布物的平面度或移动机构的平行度等的影响而使涂布间隙发生变动，也可以使涂布量稳定并进行均匀的厚度的膜状涂布。

[沟槽部形状变形例]

在图2的实施方式中，形成为沟槽部15的短边方向的长度S大于细管的内径D（D＜S），但也可以是最下游的吐出口端面20上的短边方向长度S被最终扩径。将该例子表示于图4。

图4（a）是短边方向的截面成为梯形状的沟槽部15。平面的内壁22a、22b所成的角度根据沟槽部短边方向长度S或细管内径D而发生变动，例如，优选为90度以下，更优选为60度以下。

图4（b）是短边方向的截面成为半圆状或半椭圆状的沟槽部15。

内壁22a、22b可以是阶段性地使短边方向的距离扩张的形状，优选由平滑的面（平面或曲面）构成。

另外，在图4的（a）、（b）的任一情况下，优选不是在从细管流出口17至沟槽部端面的中途存在缩窄的形状。这是因为，其容易加工，并且沟槽部15内的流动不复杂。

通过使吐出口为以上所说明的形状，从而相较于在图2中所说明的扩展为直角状的形状，可以平缓地进行扩展，并可以将压力损失抑制为更少而使压力恢复。

[模块化]

本发明的喷嘴1能够对应于分支部（6、7、8）的方式而进行模块化。图5及图6是说明该模块化的方式的说明图。

图5将分支流（9、10、11）的长度相等的分支部（6、7、8）彼此作为一个整合并作为分支块（3、4、5），并将其模块化。成为每个分支段的模块。各模块（3、4、5）由未图示的紧固构件而被相互连结。作为紧固构件，可以例示螺钉、螺栓等。或者，可以不将各模块直接连结而将各模块固定于成为基座的板状体等。此处，在连结或固定时，可以设置未图示的定位销等以使流路的连接不产生偏移，进行简单的定位。另外，在各模块的流路连接部分，当然可以设置用于防止液体材料的泄露的未图示的密封构件。

图6将分支部（6、7、8）作为一个整合，并将其模块化。可以说是最小单位的模块化。前端构件12配合最下段的模块5而进行模块化。与图5同样地，由未图示的紧固构件而相互连结，或者，将各模块固定于成为基座的板状体。设置定位销或密封构件等也是相同的。在图6的情况下，构成前端构件12的两端的模块与其它的模块，沟槽部15的形状不同。这是由于，必须设置规定沟槽部15的宽度方向长度的内壁23。另外，在图6中，即使在前端构件12以外的模块（特别是第三段的模块8）中，在两端的模块，侧壁的厚度与其它的模块不同，但这是使相互直接连结时的宽度一致的目的，在固定于成为基座的板等的构件的情况下，当然可以将各模块形成为相同形状（例如参照图7（a））。

通过如上所述进行模块化，从而对于被涂布物的尺寸变更等，能够通过仅变更模块的组合而容易地进行喷嘴结构的变更，另外，清洗也是容易的。

[调整机构]

垂直于上下方向的轴并且垂直于宽度方向的轴的轴周围的喷嘴的倾斜度对膜厚的均匀性带来大影响，所以优选在将本发明的喷嘴1设置于涂布装置上时设置调整机构。图7是能够安装本发明所涉及的喷嘴1的调整机构的部分截面图。该图中，（a）表示正面图，（b）表示侧面部分截面图。

本发明的调整机构35在将各模块（6、7、8）固定在基座板36的喷嘴构造体44的大致中央部配设旋转轴37，将该旋转轴37插入至固定于安装板39的轴承38。在此，基座板36与安装板39未固定，基座板36与固定于其的喷嘴构造体44能够自由地进行旋转。由此，喷嘴构造体44作为整体能够在垂直于上下方向的轴并且垂直于宽度方向的轴的轴（图7（a）中垂直于纸面的轴）周围旋转（符号41）。另外，调整螺钉40左右各一个地设置在安装板39，使该螺钉分别进行进退移动（符号42），从而调整压入基座板36的上面的量，使喷嘴构造体44稍微旋转而调整喷嘴1的倾斜度。对于该调整螺钉，如果使用测微头（micrometer head）那样的具有刻度的螺钉的话，则可以确认并记录调整量并且作业变得容易。

通过设置这样的机构，从而可以消除起因于喷嘴1的倾斜的膜厚的不均匀，并可以进一步形成均匀且精度良好的涂膜形状。

以上所说明的本发明的喷嘴可以应用于具备使喷嘴与工件相对移动的XYZ驱动机构的涂布装置、相对于被固定的工件、使设置有喷嘴的框架移动的高架（gantry）型装置、相对于连续地搬送的工件、从被位置固定的喷嘴进行涂布的涂布装置等、对工件进行膜状涂布的各种的涂布装置中。

以下，根据实施例说明本发明的细节，但是本发明并不限定于任何的实施例。

实施例

[涂布装置]

实施例的涂布装置是用于将保护玻璃与液晶显示器直接贴附并进行提高视觉辨认性的光学接合的粘结剂·填充剂的涂布装置。图8是说明实施例所涉及的涂布装置的构成例的说明图。

本实施例的涂布装置26具备：储存液体材料43的储罐（tank）27；控制向本发明的喷嘴1供给或者停止供给从储罐27所供给的液体材料43的吐出阀28；本发明的喷嘴1；载置被涂布物29的工作台30；以及使本发明的喷嘴1与载置于工作台30的被涂布物29进行相对移动的移动机构31。

储罐27是由压缩气体的供给而进行液体材料43的供给的压力容器。本实施例中，储存的液体材料43的粘度例如为1500～100000mPa·s。在本实施例中，通过准备多个储罐并交替地使用，从而在每次补充液体材料43时不停止装置而持续作业。另外，在本实施例中，设置切换阀33，能够选择所使用的储罐27，但也可以为使用一个储罐27的结构。

另外，在本实施例中，在切换阀33与吐出阀28之间设置泵34，对储罐27不进行压缩气体的供给，或者一边对储罐27进行压缩气体的供给一边进行液体材料43的供给。作为泵34，优选使用例如注射式泵、隔膜式泵、轮叶式泵、齿轮式泵等的容积式泵。通过使用容积式泵从而可以供给定量的液体材料43，可以精度良好地控制吐出量。

吐出阀28是控制向本发明的喷嘴1供给或停止供给从储罐27所供给的液体材料43的装置，通过控制其开放时间来控制吐出量。

喷嘴1是在上述实施方式中所说明的图1及图2中所记载的喷嘴。对应于被涂布物29的大小或所期望的涂布形状，可以适当变更分支的段数、分支部的数量、细管14的根数、沟槽部15的宽度方向长度等。细管14的内径例如为φ0.6mm。

工作台30是载置、固定被涂布物29的构件，例如，通过由真空抽吸进行的吸附或由定位销进行的穿刺等而牢固地固定被涂布物29，通过相对移动而不会偏移。

移动机构31是使喷嘴1与载置在工作台30的被涂布物29在符号32的方向上进行相对移动的构件，其方式可以采用仅使喷嘴1进行移动、仅使工作台30进行移动、或者使喷嘴1与工作台30分别进行移动的任一方式。在本实施例中，使用XYZ机器人。

由以上所说明的本实施例的涂布装置，可以在设定膜厚100μm以下的条件并进行涂布试验之后，获得相对于所期望的膜厚为±5%的精度。通过使用本实施例的涂布装置26，从而确认了可以进行均匀的厚度的膜状涂布。

产业上的可利用性

本发明能够利用于用于在被涂布物的表面上遍及宽范围地将液体材料进行均匀的涂布的技术，例如不仅能够利用于电气·电子产品制造中的抗蚀液等的涂布或显示装置制造中的荧光体膏体等的涂布，而且能够利用于用于将在平板显示器中所使用的保护盖等粘结的光学弹性树脂（SVR）涂布、在将有机EL面板整面密封时的密封材的涂布、散热润滑油的涂布等中。

符号的说明

1：喷嘴、2：喷嘴流入口、3：第一段的分支块（模块）、4：第二段的分支块（模块）、5：第三段的分支块（模块）、6：第一段的分支部（模块）、7：第二段的分支部（模块）、8：第三段的分支部（模块）、9：第一段的分支流、10：第二段的分支流、11：第三段的分支流、12：前端构件、13：管部、14：细管、15：沟槽部、16：细管流入口、17：细管流出口、18：前端面、19：最里面（管部所连通的面）、20：吐出口端面、21：倾斜面、22：（短边方向的）内壁、23：（长边方向的）内壁、24：喷嘴移动方向、25：积存部、26：涂布装置、27：储罐、28：吐出阀、29：被涂布物、30：工作台、31：移动机构、32：移动方向、33：切换阀、34：泵、35：调整机构、36：基座板（基座构件）、37：旋转轴、38：轴承、39：安装板（安装构件）、40：调整螺钉、41：旋转方向、42：进退移动方向、43：液体材料、44：喷嘴构造体、S：沟槽部短边方向长度、D：细管内径、G：涂布间隙、α：细管内、β：本发明的喷嘴及被涂布物所夹着的液体材料内、γ：沟槽部内、δ：狭缝内、ε：现有的狭缝喷嘴及被涂布物所夹着的液体材料内。

Claims (15)

1.一种膜状涂布喷嘴，其特征在于，

具备：具有分支路构造的分支块；具有在长边方向上形成为宽幅的吐出口的前端构件；以及设置多根具有连通于所述分支路构造的细管流入口及连通于所述前端构件的吐出口的细管流出口的细管而成的管部，

所述分支块具备多段由使连通于流入口的流路分支的室所构成的分支部，到由设置在同一段的分支部所分支的流路的流出口为止的长度构成为相等，

所述前端构件具有构成吐出口的沟槽部，所述吐出口的端面的短边方向的长度S构成为长于所述细管流出口的内径D，所述细管流出口大致等间隔地配设在所述沟槽部的最里面。

2.如权利要求1所述的膜状涂布喷嘴，其特征在于，

所述吐出口的端面的长边方向的长度W构成为长于配设于所述沟槽部的最里面的两端的细管流出口间的距离。

3.如权利要求1或2所述的膜状涂布喷嘴，其特征在于，

所述沟槽部的短边方向的长度从最里面至出口的端面阶段性地扩张。

4.如权利要求3所述的膜状涂布喷嘴，其特征在于，

所述沟槽部的短边方向的截面形状为梯形状，所述细管流出口位于截面形状的铅垂中心线上。

5.如权利要求3所述的膜状涂布喷嘴，其特征在于，

所述沟槽部的短边方向的截面形状为半圆状或半椭圆状，所述细管流出口位于截面形状的铅垂中心线上。

6.如权利要求1～5中的任意一项所述的膜状涂布喷嘴，其特征在于，

所述吐出口的端面的短边方向的长度S为所述细管的流出口的内径D的1.2～2.5倍。

7.如权利要求1～6中的任意一项所述的膜状涂布喷嘴，其特征在于，

所述分支块和/或所述前端构件由可自由组装和分解的多个模块所构成，能够使各模块的组合改变。

8.一种涂布装置，其特征在于，

具备：

权利要求1～6中的任意一项所述的膜状涂布喷嘴；

储存液体材料的储罐；

控制从所述储罐供给的液体材料向所述喷嘴供给或停止的吐出阀；

载置被涂布物的工作台；以及

使所述喷嘴与载置于所述工作台的被涂布物相对移动的移动机构。

9.如权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，

设置调整机构，所述调整机构包含以下构件而成：

将所述喷嘴固定的基座构件；

配设于所述基座构件的中央部分的旋转轴；

可自由旋转地支撑所述旋转轴的安装构件；以及

配设于所述安装构件的调整螺钉。

10.一种涂布装置，其特征在于，

具备：

权利要求7所述的膜状涂布喷嘴；

储存液体材料的储罐；

控制从所述储罐供给的液体材料向所述喷嘴供给或停止的吐出阀；

载置被涂布物的工作台；以及

使所述喷嘴与载置于所述工作台的被涂布物相对移动的移动机构，

设置调整机构，所述调整机构包含以下构件而成：

在将所述分支块和/或所述前端构件连结的状态下固定所述分支块和/或所述前端构件的基座构件；

配设于所述基座构件的中央部分的旋转轴；

可自由旋转地支撑所述旋转轴的安装构件；以及

配设于所述安装构件的调整螺钉。

11.如权利要求8～10中的任意一项所述的涂布装置，其特征在于，

设置多个所述储罐，

设置选择性地切换与进行使用的一个储罐的连通的切换阀。

12.如权利要求8～11中的任意一项所述的涂布装置，其特征在于，

在所述吐出阀与所述切换阀之间设置泵。

13.如权利要求12所述的涂布装置，其特征在于，

所述泵为容积式泵。

14.一种涂布方法，其特征在于，

使用权利要求1～7中的任意一项所述的膜状涂布喷嘴，一边通过移动机构使被涂布物和/或喷嘴移动一边将液体材料进行膜状涂布。

15.如权利要求14所述的涂布方法，其特征在于，

将高粘性的液体材料进行膜状涂布。

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