TWI496625B - 塗佈模組 - Google Patents

Description

塗佈模組

本發明是有關於一種塗佈模組，且特別是有關於一種可更換夾板的塗佈模組。

近年來，在工業製程中常利用塗佈裝置進行塗膜製程，例如是在陶瓷電容上形成薄帶生胚，或是在基材上塗佈光學保護膜等。以狹縫式的塗佈裝置為例，狹縫式的塗佈裝置可進行大面積的塗膜製程。塗佈裝置具有狹縫區(Restrictor)，液體經由定量幫浦而輸送至塗佈裝置內部，並從塗佈裝置的狹縫出口流出。定量幫浦可提供穩定的液體供應。因此，塗佈裝置塗佈液體的均勻程度便取決於狹縫區的表面平整度。

塗佈裝置通常是經由兩個不鏽鋼模塊夾持結構模板(Shims)所構成。結構模板上具有狹縫區以及連接狹縫區的導流結構例如是流道或是分流管(Manifold)，而導流結構將液體引導至狹縫區。導流結構主要包括三種類型：T型結構(T-die)、魚尾型結構(Fishtail)與衣架型結構(Coat-hanger)。T型結構的加工與製作較為容易且可使液體的流速均勻分佈，但液體容易在分流管末端形成滯留區。魚尾型結構可使液體均勻地在流道中擴散，但液體容易在導流結構中形成迴流區而影響流速。衣架型結構可改善液體在T型結構與魚尾型結構中形成滯留區或迴流區的 狀況，但其設計較為複雜且生產成本較高。因此，塗膜製程通常是依照塗佈液體的特性與塗佈方式而選擇具有不同的導流結構的塗佈裝置，使得塗佈裝置在不同塗膜製程中的共用性極低。

另一方面，為使塗佈裝置能均勻地塗佈液體，結構模板用以形成導流結構與狹縫區的表面需具有高平整度，特別是狹縫區的表面。因此，結構模板需經由研磨拋光等製程加工而提高表面平整度。另一方面，若結構模板具有設計較複雜的導流結構時，結構模板需進行額外的機械加工，並在每個加工面上進行研磨拋光，以使液體均勻地在結構模板上流動。這些加工過程提高了塗佈裝置的製造成本。此外，當此類塗佈裝置的狹縫區磨損時，必須重新更換結構模板，以確保塗佈流體的均勻性。因此，此類塗佈裝置的製造成本較高，使得經由此類塗佈裝置進行塗膜製程的產品的生產成本也間接提高。

本發明提供一種塗佈模組，具有較低的生產成本與較佳的重覆使用性。

本發明提出一種塗佈模組，適於將一液體塗佈至一基材上。塗佈模組包括兩夾板以及一導流結構。夾板之間具有一狹縫，狹縫的一端具有一狹縫入口，狹縫的另一端具有一狹縫出口。夾板之一具有一注入開口。導流結構將注入開口連通至狹縫入口。液體適於經由注入開口進入導流 結構，並經由導流結構流動至狹縫入口，再經由狹縫入口流入狹縫內，並經由狹縫出口流出狹縫以塗佈至基材上。

在本發明之一實施例中，上述之夾板的材質包括矽晶圓或玻璃。

在本發明之一實施例中，上述之導流結構包括一導流入口、一導流流道以及一分流管。導流入口連通注入開口。 導流流道連通導流入口。分流管將導流流道連通至狹縫入口，而液體適於經由分流管均勻地流動至狹縫入口。

在本發明之一實施例中，上述之導流結構具有一導流圖案，導流圖案位在導流流道上，用以引導液體在導流流道上的流動。

在本發明之一實施例中，上述之導流圖案包括一分流島，分流島位在狹縫出口。

在本發明之一實施例中，上述之塗佈模組更包括兩夾具，固定夾板於夾具之間。注入開口位在夾具之一上，導流結構由夾具之一的一部分所構成並將注入開口連通至狹縫入口。

在本發明之一實施例中，上述之各夾具具有一定位凹槽，夾板分別可拆卸地設置在定位凹槽內以形成狹縫。

在本發明之一實施例中，上述之夾具分別具有多個氣孔、一真空腔室以及一真空通道。氣孔位在定位凹槽上且連通真空腔室，真空腔室連通真空通道，真空通道適於連接至一真空裝置並經由真空裝置將夾板分別吸附於定位凹槽內以形成狹縫。

在本發明之一實施例中，上述之各夾具具有一彈性件，各彈性件位在對應的夾板與對應的定位凹槽之間以調整狹縫的寬度。

在本發明之一實施例中，上述之導流結構由夾板之一的一部分所構成或由兩夾板的一部分所共同構成並將注入開口連通至狹縫入口。

在本發明之一實施例中，上述之具有導流結構的夾板為一微加工夾板。

在本發明之一實施例中，上述之塗佈模組更包括兩夾具，固定夾板於夾具之間。夾具之一具有一固定凹槽，夾板可拆卸地固定在固定凹槽內。

在本發明之一實施例中，上述之塗佈模組更包括一密封軟墊，位在夾板之一與對應的夾具之間。

在本發明之一實施例中，上述之夾板之一與對應的夾具的材料為透明材料，以便於觀測液體於導流結構內的流動。

基於上述，本發明提出一種塗佈模組，其兩夾板之間具有狹縫，狹縫具有狹縫入口與狹縫出口。夾具固定夾板且具有注入開口。導流結構將注入開口連通至狹縫入口。液體可經由注入開口、導流結構、狹縫入口而流入狹縫內，再經由狹縫出口流出塗佈模組。據此，塗佈模組可將液體塗佈至基材上，而當塗佈模組的夾板磨損時，夾板可從夾具上移除並更換新的夾板。因此，塗佈模組具有較低的生產成本與較佳的重覆使用性。

為讓本發明之上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

圖1是本發明一實施例之塗佈模組應用於一塗佈系統的示意圖。請參考圖1，塗佈模組100適於連接至塗佈系統50，以將液體(未繪示)塗佈至基材90上。具體而言，塗佈模組100連接供液裝置51，以使液體從供液裝置51進入塗佈模組100的內部。基材90經由真空裝置52固定於吸附平台53上，而吸附平台53連接控制系統54。控制系統54提供分別沿著三個軸向移動的移動平台54a、54b、54c，以使基材90可相對於塗佈模組100移動。

塗佈模組100的塗佈速度與塗佈位置取決於吸附平台53的移動方向與速度。因此，吸附平台53連接至平台控制器55以控制吸附平台53的位移量與位移速度。此外，塗佈系統50還具有影像擷取系統56，影像擷取系統56連接至電腦57，以即時觀測塗佈模組100與基材90之間的間距以進行調整。

另一方面，圖2是本發明一實施例之塗佈模組應用於另一塗佈系統的示意圖。請參考圖2，塗佈模組100適於連接至塗佈系統60，以將液體塗佈至基材90上。具體而言，塗佈模組100連接供液裝置61，以使液體從供液裝置61進入塗佈模組100的內部。基材90經由滾輪系統62而相對於塗佈模組100移動。

塗佈模組100的塗佈速度與塗佈位置取決於滾輪系統62的移動方向與速度。因此，滾輪系統62連接滾輪控制器63以控制滾輪系統62的位移量與位移速度。此外，塗佈系統60還具有影像擷取系統64，影像擷取系統64連接至電腦65，以即時觀測塗佈模組100與基材90之間的間距以進行調整。

圖3A是本發明一實施例之塗佈模組的爆炸圖。圖3B是圖3A之塗佈模組於組合後的剖視圖。請參考圖3A與圖3B，在本實施例中，塗佈模組100包括兩夾板110a及110b以及導流結構130。具體而言，夾板110a與夾板110b對向設置，且夾板110a與夾板110b之間具有狹縫112(如圖3B所示)。狹縫112的一端具有狹縫入口112a，而狹縫112的另一端具有狹縫出口112b。

請參考圖3A與圖3B，在本實施例中，夾板110a具有注入開口114，注入開口114貫穿夾板110a而連通塗佈模組100的內部與外部。因此，液體可經由注入開口114注入塗佈模組100的內部，並經由狹縫112而從狹縫出口112b流出塗佈模組100。

另一方面，導流結構130位在注入開口114與狹縫112之間。在本實施例中，導流結構130由夾板110a的一部分與夾板110b的一部分所共同構成並將注入開口114連通至狹縫入口112a。換言之，導流結構130位在夾板110a與夾板110b上，而狹縫112是位在夾板110a及110b的尾端並連通導流結構130。因此，在液體從注入開口114進入 導流結構130後，液體經由位在夾板110a及110b上的導流結構130流動至狹縫入口112a，再經由狹縫入口112a流入狹縫112內，並經由狹縫出口112b流出塗佈模組100。

詳細而言，導流結構130包括導流入口132、導流流道134以及分流管136。導流入口132連通注入開口114。導流流道134連通導流入口132。分流管136將導流流道134連通至狹縫入口112a。在本實施例中，導流結構130大部份位在夾板110b上。另一方面，導流結構130可視為是位在夾板110b平面上的凹槽結構。因此，當兩夾板110a與110b例如是經由陽極接合而互相固定時，夾板110a抵靠夾板110b。此時，導流結構130的凹槽結構在緊貼的兩夾板110a及110b之間形成空間，如圖3B所示，使得液體可在導流結構130中流動。

同樣地，位在夾板110a及110b尾端並連通導流結構130的狹縫112也可視為是位在夾板110b上的凹槽結構並連通位在夾板110b上的部分導流結構130。當夾板110a及110b互相抵靠時，夾板110a與夾板110b之間的尾端經由凹槽結構而形成狹縫112，而塗佈模組100可經由調整夾板110b上的凹槽深度而控制狹縫112的狹縫寬度w1。

圖4A是本發明另一實施例之塗佈模組的爆炸圖。圖4B是圖4A之塗佈模組於組合後的剖視圖。請參考圖4A與圖4B，在本實施例中，塗佈模組100a與塗佈模組100的主要差異在於塗佈模組100a包括兩夾具120a及120b。夾具120a及120b對向設置而將夾板110a及110b固定於 夾具120a與夾具120b之間，以經由多個鎖固件(例如是螺絲)互相鎖固。據此，可使夾板110a及110b之間的結合關係更為穩定。

此外，請參考圖4A與圖4B，在本實施例中，夾具120b具有固定凹槽122，而夾板110a及110b可拆卸地固定在固定凹槽122內。因此，固定凹槽122可在夾具120a及120b固定夾板110a及110b時提供定位夾板110a及110b的功能。另外，夾具120a具有注入開口124，注入開口124貫穿夾具120a且對應注入開口114，以連通塗佈模組100a的內部與外部。因此，液體可經由注入開口114注入塗佈模組100a的內部，並經由狹縫112而從狹縫出口112b流出塗佈模組100a。

圖5是圖4A之塗佈模組的前視圖。下述有關夾板110a及110b與導流結構130的描述是以塗佈模組100a為例，但由於塗佈模組100a與塗佈模組100的主要差異處在於是否設置夾具120a與120b，因此下述有關夾板110a及110b與導流結構130的描述亦可應用於塗佈模組100中。

請參考圖4A與圖5，在本實施例中，導流入口132與注入開口114是位在夾具120a上對應注入開口124的開孔，而狹縫112是由平板型的夾板110a及110b所構成的細長型縫隙。因此，位在導流入口132與狹縫112之間的導流流道134與分流管136需將流入導流結構130內的液體從孔型均勻地分散成細長型，以使進入狹縫112內的液體可以均勻地在狹縫112內流動。

具體而言，在本實施例中，導流入口132連接約略呈現魚尾型的導流流道134，以使流入導流入口132的液體分散流動。分流管136為對應狹縫入口112a形狀的長條型凹槽且位在夾板110b上。在液體從導流流道134流出後，分流管136可擴大液體分散流動的效果，以使液體分散經由分流管136均勻地流動至細長型的狹縫入口112a。

此外，相較於導流入口132以及導流流道134，分流管136的深度大於導流入口132以及導流流道134的深度。在本實施例中，分流管136也設置在夾板110a上對應夾板110b的分流管136的位置。換言之，分流管136是由位在夾板110a及110b上的兩長條型凹槽所構成，用以提高分流管136的深度。因此，經由在夾板110a及110b上設置深度較深的分流管136，以分散從導流流道134流入分流管136的液體。

然而，在本發明其他實施例中，分流管136可僅設置於夾板110a及110b的其中之一上。另外，在本發明其他未繪示的實施例中，整個導流結構130可僅位在夾板110a及110b的其中之一上，例如是位在夾板110a上，而導流入口132貫穿夾板110a而直接連通注入開口124。此時，夾板110b上不需設置任何凹槽而僅為一平板。然而，本發明不以此為限制，在本發明其他實施例中，塗佈模組可依照需求選擇導流結構的位置。

此外，在本實施例中，導流結構130具有導流圖案138。導流圖案138位在導流流道134且凸起於導流流道 134上的條狀凸柱，用以引導液體在導流流道134上的流動。然而，本發明不限制據此導流圖案的形狀與設置與否，塗佈模組可依照需求調整導流圖案的形狀而調整液體在導流流道134上的流動或不設置導流圖案。

另一方面，在本實施例中，夾板110a與對應的夾具120a可經由透明材料製成。因此，當夾板110a及110b固定於夾具120a及120b之間且液體流入導流結構130時，液體在導流結構130中的流動情形可從塗佈模組100a外部觀測，但本發明不以此為限制。

請參考圖4A，在本實施例中，塗佈模組100a具有兩個密封軟墊140，其分別位在夾板110a與夾具120a之間以及夾板110b與夾具120b之間，以避免液體從夾板110a與夾具120a之間或是夾板110b與夾具120b之間滲漏。然而，在本發明其他實施例中，塗佈模組100a可不設置密封軟墊140，或僅設置一個密封軟墊140於夾板110a與夾具120a之間或者夾板110b與夾具120b之間，本發明不以此為限制。

在本實施例中，夾板110a及110b的材質為矽晶圓，而在本發明其他實施例中，夾板的材質為玻璃或其他表面粗糙度為奈米等級的材質，本發明不以此為限制。利用表面平整度較高的材質製作夾板110a及110b，使得液體能均勻地在狹縫112中流動而不受狹縫112表面粗糙粒子的干擾。因此，在液體經由分流管136均勻地從狹縫入口112a的各處流入狹縫112後，液體均勻地在狹縫112內流動並 經由狹縫出口112b的各處均勻地流出。

此外，由於本實施例之導流結構130位在夾板110a及110b上。因此，夾板110a及110b可經由微加工製程(例如是微影及蝕刻製程)而形成於材質為矽晶圓的夾板110a及110b上。具體來說，以夾板110b而言，首先，形成光阻薄膜在夾板110b上。接著，將所需之導流結構130的圖案設置在光罩上，並經由光罩對夾板110b上的光阻薄膜進行曝光，最後對曝光後的光阻薄膜進行顯影，以圖案化光阻薄膜。

另一方面，以圖案化的光阻薄膜為蝕刻罩幕來蝕刻夾板110b以在夾板110b上形成一部分的導流結構130。最後，移除圖案化的光阻薄膜。同樣地，亦可經由上述的微加工製程(例如是微影及蝕刻製程)在夾板110a上形成其餘部分的導流結構130，本發明不以此為限制。

據此，塗佈模組100與塗佈模組100a可依照需求在夾板110a及110b上設計不同導流結構130，例如是設置T型或衣架型的導流結構130，或者調整導流圖案138的圖案或排列方式。當塗佈模組100與塗佈模組100a欲進行不同液體的塗佈，或者欲呈現不同的塗佈效果時，塗佈模組100與塗佈模組100a只需更換具有不同導流結構130的夾板110a及110b即可。因此，塗佈模組100與塗佈模組100a具有較高的適用性。

圖6是本發明更一實施例之塗佈模組的示意圖。圖6僅繪示塗佈模組100b的夾具120b與夾板110b，以使圖示 更為清楚。請參考圖6，在本實施例中，塗佈模組100b與塗佈模組100a的主要差異處在於，塗佈模組100b的導流圖案138具有兩個分流島138a。分流島138a位在狹縫出口112a，當液體經由狹縫出口112a流出塗佈模組100b而塗佈至基材90上時，分流島138a可使液體形成條紋式薄膜90a，即多個塗佈條紋。因此，藉由在狹縫出口112a設置不同數量的分流島138a，或者調整分流島138a的位置，可使塗佈模組100b塗佈具有不同條紋數量與條紋間距的條紋式薄膜。

由此可知，當基材90上欲塗佈不同性質的液體，或者欲呈現不同的塗佈效果例如是形成條紋式薄膜時，塗佈模組100只需更換具有不同導流結構130的夾板110a及110b即可。此外，當表面平整度較高的夾板110a及110b經由液體分子的流動而造成損傷時，夾板110a及110b可從固定凹槽122中拆除，並更換新的夾板110a及110b。由於塗佈模組100不需因為狹縫112表面磨損便更換整個塗佈模組100，僅需更換夾板110a及110b即可。因此，塗佈模組100具有較低的生產成本與較佳的重覆使用性。

圖7是本發明另一實施例之塗佈模組的爆炸圖。圖8是圖7之塗佈模組於組合後的剖視圖。請參考圖7與圖8，在本實施例中，塗佈模組200包括兩夾板210a及210b、兩夾具220a及220b以及導流結構230。夾板210a與夾板210b對向設置，且夾板210a與夾板210b之間具有狹縫212(如圖8所示)。狹縫212的一端具有狹縫入口212a，而 狹縫212的另一端具有狹縫出口212b。

另一方面，夾具220a與夾具220b對向設置。夾具220a及220b將夾板210a及210b固定於夾具220a及220b之間，其中夾具220a及220b上具有多個鎖固孔(例如是螺絲孔)，使得夾具220a及220b能經由多個鎖固件(例如是螺絲)互相鎖固。

在本實施例中，夾具220a及220b分別具有定位凹槽222a及222b，而夾板210a及210b分別可拆卸地設置在定位凹槽222a及222b內。具體而言，夾板210a可拆卸地設置在定位凹槽222a內，而夾板210b可拆卸地設置在定位凹槽222b內，而夾板210a及210b維持對向設置。因此，這些定位凹槽222a及222b可在夾具220a及220b固定夾板210a及210b時提供定位夾板210a及210b的功能。

此外，請參考圖8，在本實施例中，定位凹槽222a具有凹槽深度d，夾板210a具有夾板厚度t，而凹槽210a之凹槽深度d大於夾板210a之夾板厚度t。此外，在本實施例中，夾板210b的表面與定位凹槽222b外的夾具220b的表面齊平，但本發明不以此為限制。因此，當夾板210a及210b分別設置於對應的定位凹槽222a及222b時，夾板210a完全位在定位凹槽222a內，而夾板210b完全位在定位凹槽222b內。當兩夾具220a及220b互相鎖固時，夾具220a抵靠夾具220b，但夾板210a不抵靠夾板210b。據此，夾板210a與夾板210b之間經由凹槽深度d與夾板厚度t的尺寸差距而形成狹縫212。

另一方面，狹縫212具有狹縫寬度w2。當夾板210a及210b分別設置於對應的定位凹槽222a及222b內而使夾板210a與夾板210b之間形成狹縫212時，狹縫寬度w2取決於凹槽深度d與夾板厚度t的尺寸差距。因此，塗佈模組200可經由調整凹槽深度d與夾板厚度t的尺寸差距而控制狹縫212的狹縫寬度w2。

請參考圖7與圖8，在本實施例中，夾具220a具有注入開口224，注入開口224貫穿夾具220a而連通塗佈模組200的內部與外部。因此，液體可經由注入開口224注入塗佈模組200的內部，並經由狹縫212而從狹縫出口212b流出塗佈模組200。

另一方面，導流結構230位在注入開口224與狹縫212之間。在本實施例中，導流結構230由夾具220a的一部分所構成並將注入開口224連通至狹縫入口212a。因此，在液體從注入開口224進入導流結構230後，液體經由位在夾具220a上的導流結構230流動至狹縫入口212a，再經由狹縫入口212a流入狹縫212內，並經由狹縫出口212b流出塗佈模組200。

詳細而言，導流結構230包括導流入口232、導流流道234以及分流管236。導流入口232連通注入開口224。導流流道234連通導流入口232。分流管236將導流流道234連通至狹縫入口212a。在本實施例中，導流結構230位在夾具220a上，並將注入開口224經由連通至位在同一夾具220a上的定位凹槽222a而連通至狹縫入口212a。換 言之，導流結構230是位在夾具220a平面上的凹槽結構。因此，當夾具220a抵靠夾具220b時，導流結構230的凹槽結構在緊貼的夾具220a及220b之間形成空間，使得液體可在導流結構230中流動。

另一方面，請參考圖7，在本實施例中，導流入口232是位在夾具220a上對應注入開口224的開孔，而狹縫212是由平板型的夾板210a及210b所構成的細長型縫隙。因此，位在導流入口232與狹縫212之間的導流流道234與分流管236需將流入導流結構230內的液體從孔型均勻地分散成細長型，以使進入狹縫212內的液體可以均勻地在狹縫212內流動。

具體而言，在本實施例中，導流入口232連接略呈魚尾型的導流流道234，以使流入導流入口232的液體分散流動。分流管236為對應狹縫入口212a形狀的長條型凹槽且位於定位凹槽222a內。因此，夾板210a的長度小於夾板210b的長度。夾板210a可銜接於分流管236的底部，如圖7所示，使得分流管236連通至狹縫入口212a。在液體從導流流道234流出後，分流管236可擴大液體分散流動的效果，以使液體分散經由分流管236均勻地流動至細長型的狹縫入口212a。

此外，相較於導流入口232以及導流流道234，分流管236的深度大於導流入口232以及導流流道234的深度。因此，經由在夾具220a上設置深度較深的分流管236，可分散從導流流道234流入分流管236的液體。

在本實施例中，夾板210a及210b的材質為矽晶圓，而在本發明其他實施例中，夾板的材質為玻璃或其他表面粗糙度為奈米等級的材質，本發明不以此為限制。利用表面平整度較高的材質製作夾板210a及210b，使得液體能均勻地在狹縫212中流動而不受狹縫212表面粗糙粒子的干擾。因此，在液體經由分流管236均勻地從狹縫入口212a的各處流入狹縫212後，液體均勻地在狹縫212內流動並經由狹縫出口212b的各處均勻地流出。

另一方面，在本實施例中，夾板210a及210b可經由黏著劑或其他貼合方式貼附至對應的定位凹槽222a及222b內。夾板210a及210b經由黏貼而固定至定位凹槽222a及222b內，並可經由適當的溶劑將夾板210a及210b從定位凹槽222a及222b內移除。此處需注意的是，用以黏貼夾板210a及210b的黏著劑需不與在塗佈模組200內流動的液體反應，以避免液體流入塗佈模組200之後使黏著劑失效而造成夾板210a及210b的剝離。

圖9是本發明更一實施例之塗佈模組的爆炸圖。圖10是圖9之塗佈模組於組合後的剖視圖。在本發明又一實施例中，塗佈模組200a將夾板210a及210b設置於對應的定位凹槽222a及222b內的方式為經由真空裝置92將夾板210a及210b吸附於定位凹槽222a及222b而固定夾板210a及210b。

具體而言，塗佈模組200a在夾具220a及220b分別設置多個氣孔226、真空腔室228以及真空通道229。以夾 具220a而言，這些氣孔226位在定位凹槽222a上且連通真空腔室228。真空腔室228連通真空通道229，而真空通道229連通至夾具220a外部並連接真空裝置92。同樣地，夾具220b也經由氣孔226、真空腔室228以及真空通道229連通至夾具220b外部並連接真空裝置92。

另一方面，為使氣孔226、真空腔室228以及真空通道229的製作更簡易，在本實施例中，各夾具220a及220b可個別分成二部份進行製作。以夾具220a而言，夾具220a可分成兩個固定模塊。定位凹槽222a位於靠近夾板210a的固定模塊上面對夾板210a的一側，而氣孔226從定位凹槽222a貫穿至此固定模塊的另一側。真空腔室228以及真空通道229位在另一個遠離夾板210a的固定模塊上並共同連通此固定模塊的相對兩側，如圖9所示。因此，當此二固定模塊連接而形成夾具220a時，氣孔226、真空腔室228以及真空通道229互相連通，使得夾板210a可經由真空裝置92吸附於定位凹槽222a內。

同樣地，夾板210b也可經由真空裝置92吸附於定位凹槽222b內。然而，本發明不限定氣孔226、真空腔室228以及真空通道229須先設置在兩個不同的固定模塊後再將兩固定模塊連接成夾具220a的製作方式。另外，當真空裝置92停止運作時，夾板210a及210b可從定位凹槽222a及222b內移除。然而，本發明不以此為限制，在本發明其他實施例中，夾板可經由其他方式可拆卸地設置於定位凹槽內。

圖11是本發明更一實施例之塗佈模組的剖視圖。在本發明其他實施例中，塗佈模組200b的夾具220a及220b可分別在對應的夾板210a及210b與對應的定位凹槽222a及222b之間設置彈性件240a及240b或僅在其中一側設置彈性件，圖11僅在夾板210a與定位凹槽222a之間設置彈性件240a，但本發明不以此為限。換言之，彈性件240a設置在夾板210a與定位凹槽222a之間。

因此，當真空裝置92將夾板210a及210b分別吸附至對應的定位凹槽222a及222b內時，彈性件240a提供彈力而使夾板210a不緊貼定位凹槽222a。據此，選擇適當彈性係數的彈性件240a，可用以調整狹縫212的狹縫寬度w2。此外，本發明不限定彈性件的數量，塗佈模組200b可依據需求選擇彈性件的數量與設置位置。

由此可知，夾板210a及210b可固定在定位凹槽222a及222b內，亦可從定位凹槽222a及222b內移除。當表面平整度較高的夾板210a及210b經由液體分子的流動而磨損時，夾板210a及210b可從定位凹槽222a及222b內移除，並更換新的夾板210a及210b。塗佈模組200不需因為狹縫212表面磨損便更換整個塗佈模組200，僅需更換夾板210a及210b即可。因此，塗佈模組200具有較低的生產成本與較佳的重覆使用性。

綜上所述，本發明提出一種塗佈模組，其兩夾板之間具有狹縫，狹縫具有狹縫入口與狹縫出口。夾具固定夾板且具有注入開口。導流結構將注入開口連通至狹縫入口。 液體可經由注入開口進入塗佈模組的內部，並經由導流結構、狹縫入口而流入狹縫內，再經由狹縫出口流出，以將液體塗佈至基材上。此外，夾板可拆卸地設置於夾具的凹槽內，當狹縫表面磨損時，可將夾板從夾具上移除並更換新的夾板，而不需更換整個塗佈模組。另外，塗佈模組可依照需求設計不同導流結構。當塗佈模組欲塗佈不同液體或者欲呈現不同的塗佈效果時，塗佈模組只需更換具有不同導流結構的夾板即可。因此，塗佈模組具有較高的適用性，較低的生產成本與較佳的重覆使用性。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，故本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

50、60‧‧‧塗佈系統

51、61‧‧‧供液裝置

52、92‧‧‧真空裝置

53‧‧‧吸附平台

54‧‧‧控制系統

54a、54b、54c‧‧‧移動平台

55‧‧‧平台控制器

56、64‧‧‧影像擷取系統

57、65‧‧‧電腦

62‧‧‧滾輪系統

63‧‧‧滾輪控制器

90‧‧‧基材

90a‧‧‧條紋式薄膜

100、100a、100b、200、200a、200b‧‧‧塗佈模組

110a、110b、210a、210b‧‧‧夾板

112、212‧‧‧狹縫

112a、212a‧‧‧狹縫入口

112b、212b‧‧‧狹縫出口

114、124、224‧‧‧注入開口

120a、120b、220a、220b‧‧‧夾具

122‧‧‧固定凹槽

130、230‧‧‧導流結構

132、232‧‧‧導流入口

134、234‧‧‧導流流道

136、236‧‧‧分流管

138‧‧‧導流圖案

138a‧‧‧分流島

140‧‧‧密封軟墊

222a、222b‧‧‧定位凹槽

226‧‧‧氣孔

228‧‧‧真空腔室

229‧‧‧真空通道

240a、240b‧‧‧彈性件

d‧‧‧凹槽深度

t‧‧‧夾板厚度

w1、w2‧‧‧狹縫寬度

圖1是本發明一實施例之塗佈模組應用於一塗佈系統的示意圖。

圖2是本發明一實施例之塗佈模組應用於另一塗佈系統的示意圖。

圖3A是本發明一實施例之塗佈模組的爆炸圖。

圖3B是圖3A之塗佈模組於組合後的剖視圖。

圖4A是本發明另一實施例之塗佈模組的爆炸圖。

圖4B是圖4A之塗佈模組於組合後的剖視圖。

圖5是圖4A之塗佈模組的前視圖。

圖6是本發明又一實施例之塗佈模組的示意圖。

圖7是本發明另一實施例之塗佈模組的爆炸圖。

圖8是圖7之塗佈模組於組合後的剖視圖。

圖9是本發明更一實施例之塗佈模組的爆炸圖。

圖10是圖9之塗佈模組於組合後的剖視圖。

圖11是本發明更一實施例之塗佈模組的剖視圖。

100‧‧‧塗佈模組

110a、110b‧‧‧夾板

114‧‧‧注入開口

130‧‧‧導流結構

132‧‧‧導流入口

134‧‧‧導流流道

136‧‧‧分流管

138‧‧‧導流圖案

Claims (14)

1. 一種塗佈模組，適於將一液體塗佈至一基材上，該塗佈模組包括：兩夾板，該些夾板之間具有由該些夾板構成的一狹縫，該狹縫的一端具有一狹縫入口，該狹縫的另一端具有一狹縫出口，而該些夾板之一具有一注入開口；以及一導流結構，將該注入開口連通至該狹縫入口，該液體適於經由該注入開口進入該導流結構，並經由該導流結構均勻地流動至該狹縫入口，再經由該狹縫入口流入該狹縫內，並經由該狹縫出口均勻地流出該狹縫以塗佈至該基材上。
2. 如申請專利範圍第1項所述之塗佈模組，其中該些夾板的材質包括矽晶圓或玻璃。
3. 如申請專利範圍第1項所述之塗佈模組，其中該導流結構包括：一導流入口，連通該注入開口；一導流流道，連通該導流入口；以及一分流管，將該導流流道連通至該狹縫入口，該液體適於經由該分流管均勻地流動至該狹縫入口。
4. 如申請專利範圍第3項所述之塗佈模組，其中該導流結構具有一導流圖案，該導流圖案位在該導流流道上，用以引導該液體在該導流流道上的流動。
5. 如申請專利範圍第4項所述之塗佈模組，其中該導流圖案包括一分流島，該分流島位在該狹縫出口。
6. 如申請專利範圍第1項所述之塗佈模組，更包括：兩夾具，固定該些夾板於該些夾具之間，其中該注入開口位在該些夾具之一上，該導流結構由該些夾具之一的一部分所構成並將該注入開口連通至該狹縫入口。
7. 如申請專利範圍第6項所述之塗佈模組，其中各該夾具具有一定位凹槽，該些夾板分別可拆卸地設置在該些定位凹槽內以形成該狹縫。
8. 如申請專利範圍第7項所述之塗佈模組，其中該些夾具分別具有多個氣孔、一真空腔室以及一真空通道，該些氣孔位在該些定位凹槽上且連通該真空腔室，該真空腔室連通該真空通道，該真空通道適於連接至一真空裝置並經由該真空裝置將該些夾板分別吸附於該些定位凹槽內以形成該狹縫。
9. 如申請專利範圍第7項所述之塗佈模組，其中各該夾具具有一彈性件，各該彈性件位在對應的該夾板與對應的該定位凹槽之間以調整該狹縫的寬度。
10. 如申請專利範圍第1項所述之塗佈模組，其中該導流結構由該些夾板之一的一部分所構成或由該些夾板的一部分所共同構成並將該注入開口連通至該狹縫入口。
11. 如申請專利範圍第10項所述之塗佈模組，其中具有該導流結構的該夾板為一微加工夾板。
12. 如申請專利範圍第10項所述之塗佈模組，更包括：兩夾具，固定該些夾板於該些夾具之間，其中該些夾 具之一具有一固定凹槽，該些夾板可拆卸地固定在該固定凹槽內。
13. 如申請專利範圍第12項所述之塗佈模組，更包括：一密封軟墊，位在該些夾板之一與對應的該夾具之間。
14. 如申請專利範圍第12項所述之塗佈模組，其中該些夾板之一與對應的該夾具的材料為透明材料，以便於觀測該液體於該導流結構內的流動。