JP2014008504A - コーティングモジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コーティングモジュールは、基板上に液体をコーティングするのに適しており、2つのプレートと、導流構造とを含む。これらのプレート間にはスロットがあり、スロットの一端は、スロット入口を有し、スロットの他端は、スロット出口を有するとともに、プレートのうちの1つは注入ポートを有する。導流構造は、注入ポートをスロット入口に連通させる。液体は、注入ポートを介して導流構造に流入した後、導流構造を介してスロット入口へと流れ、その後、スロット入口を介してスロットに流入して、スロット出口を介してスロットから流出し、基板上にコーティングされるよう構成される。
【選択図】図3a
Description
51、61 液体供給装置
52、92 真空装置
53 吸着ステージ
54 制御システム
54a、54b、54c 滑動ステージ
55 ステージコントローラ
57、65 コンピュータ
62 ローラーシステム
63 ローラーコントローラ
90 基板
90a ストライプ状フィルム
100、100a、100b、100c、100d、200、200a、200b コーティングモジュール
110a、110b、210a、210b プレート
112、212 スロット
112a、112b スロット入口
112b、212b スロット出口
114、124、224 注入ポート
120a、120b、220a、220b 取付け具
122 固定溝
130、230 導流構造
132、232 導流入口
134、234 導流路
136、236 マニホールド
138 導流パターン
138a 分流島
140 シーリングクッション
222a、222b 位置決め溝
226 開口
126、228 真空チャンバ
229 真空チャネル
240a 弾性部材
d 溝深さ
t プレート厚さ
w1、w2 スロット幅
Claims (16)
- 基板上に液体をコーティングするのに適したコーティングモジュールであって、
2つのプレートと、
導流構造と
を含み、
前記プレート間にスロットがあり、前記スロットの一端が、スロット入口を有し、前記スロットの他端が、スロット出口を有し、前記プレートのうちの1つが、注入ポートを有するとともに、
前記導流構造が、前記注入ポートを前記スロット入口に連通させ、前記液体が、前記注入ポートを介して前記導流構造に流入した後、前記導流構造を介して前記スロット入口に流入し、その後、前記スロット入口を介して前記スロットに流入して、前記スロット出口を介して前記スロットから流出し、前記基板上にコーティングされるよう構成されたコーティングモジュール。 - 前記プレートの材料が、シリコンウエハまたはガラスを含む請求項1に記載のコーティングモジュール。
- 前記導流構造が、前記注入ポートに連通した導流入口と、
前記導流入口に連通した導流路と、
前記導流路を前記スロット入口に連通させるマニホールドと
を含み、
前記液体が、前記マニホールドを介して前記スロット入口へと均等に流れるよう構成された請求項1または2に記載のコーティングモジュール。 - 前記導流構造が、導流パターンを有し、前記導流パターンが、前記導流路に流れる前記液体を導くための前記導流路に設置された請求項1から3のいずれか1項に記載のコーティングモジュール。
- 前記導流パターンが、分流島を含み、前記分流島が、前記スロット出口に設置された請求項1から4のいずれか1項に記載のコーティングモジュール。
- 2つの取付け具をさらに含み、前記取付け具の間に前記プレートを固定し、前記注入ポートが、前記取付け具のうちの1つに設置され、前記導流構造が、前記取付け具のうちの1つの一部によって形成されて、前記注入ポートを前記スロット入口に連通させる請求項1から5のいずれか1項に記載のコーティングモジュール。
- 前記各取付け具が、位置決め溝を有し、前記プレートが、前記位置決め溝内に着脱可能に配置され、前記スロットを形成する請求項1から6のいずれか1項に記載のコーティングモジュール。
- 前記各取付け具が、複数の開口と、真空チャンバと、真空路とを有し、
前記開口が、前記位置決め溝に設置されて、前記真空チャンバに連通し、
前記真空チャンバが、前記真空路に連通し、
前記真空路が、前記真空装置に接続され、前記真空装置を介して前記位置決め溝にそれぞれ前記プレートを吸着して、前記スロットを形成するよう構成される請求項1から7のいずれか1項に記載のコーティングモジュール。 - 前記各取付け具が、弾性部材を有し、
前記各弾性部材が、前記対応するプレートと前記対応する位置決め溝の間に配置されて、前記スロットの幅を調整する請求項1から8のいずれか1項に記載のコーティングモジュール。 - 前記導流構造が、前記プレートのうちの1つの一部によって形成されるか、あるいは、前記2つのプレートの一部によって同時に形成され、前記導流構造が、前記注入ポートを前記スロット入口に連通させる請求項1から9のいずれか1項に記載のコーティングモジュール。
- 前記導流構造を有する前記プレートが、微細加工プレートである請求項1から10のいずれか1項に記載のコーティングモジュール。
- 2つの取付け具をさらに含み、前記取付け具の間に前記プレートを固定し、前記取付け具のうちの1つが、固定溝を有し、前記プレートが、前記固定溝内に着脱可能に固定された請求項1から11のいずれか1項に記載のコーティングモジュール。
- 前記プレートのうちの1つと前記対応する取付け具の間に設置されたシーリングクッションをさらに含む請求項1から12のいずれか1項に記載のコーティングモジュール。
- 前記プレートおよび前記対応する取付け具のうちの1つの材料が、前記導流構造内の前記液体の前記流れを観察する透明材料である請求項1から13のいずれか1項に記載のコーティングモジュール。
- 前記取付け具のうちの1つに設置され、前記固定溝に連通した真空チャンバをさらに含み、前記真空チャンバが、前記真空装置に接続され、前記スロット出口で真空状態を形成するよう構成された請求項1から14のいずれか1項に記載のコーティングモジュール。
- 2対の前記プレートが、前記固定溝内に着脱可能に固定されることにより、前記液体が、前記スロット出口を介して前記スロットから流出し、前記基板上にコーティングされるのに適した請求項1から15のいずれか1項に記載のコーティングモジュール。
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