KR102261667B1 - 식각모듈이 구비된 코팅장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치는, 이동방향을 따라 이동되는 기판에 코팅액을 제공하여 코팅면을 형성하는 코팅모듈, 상기 코팅모듈과 연결되고, 상기 기판이 이동되면서 상기 코팅면의 작업영역에 식각액을 배출하여 상기 작업영역을 패터닝하는 식각모듈 및 상기 기판의 측방에서 상기 기판의 상부로 연장되게 형성되어 상기 코팅모듈 및 상기 식각모듈이 상기 기판의 상부에 배치되게 하는 구동모듈을 포함하는 식각모듈이 구비된 코팅장치를 제공한다.

Description

식각모듈이 구비된 코팅장치{COATING DEVICE EQUIPPED WITH ETCHING MODULE}
본 발명은 식각모듈이 구비된 코팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 코팅모듈과 식각모듈이 순차적으로 배열되어 구동모듈 또는 기판의 이동에 따라 코팅 막을 식각하여 패터닝하는 식각모듈이 구비된 코팅장치에 관한 것이다.
최근에는 방수 및 방습, 방화의 기능을 효과적으로 증대시키기 위해서 판매하는 제품에 특정한 용액을 코팅하여 제품의 내구성을 높이는 방법이 사용되고 있다.
그 외에도 LCD 디스플레이 패널을 생산하기 위해서 코팅액을 배출하여 원단, 필름, 유리판 등의 물체 위에 코팅장치에서 배출되는 용액을 균일한 두께로 도포하기도 한다.
그 예로는 슬롯 다이 코팅장치는 평판 디스플레이, 터치스크린, 태양 전지판, 잉크젯 페이퍼, 배터리, 냉장고 등의 광학용 또는 화학용 제품 등의 제조 공정에 자주 사용되고 있으며, 앞서 제시한 디스플레이 등의 반도체 생산 공정에서 코팅 및 노광, 식각 공정을 통해 이용되고 있다.
앞서 상술한 바와 같이 디스플레이에 삽입되는 평판 디스플레이에 해상도와 정밀도가 높은 패턴이 적용될 수 있도록 물리적으로 필요한 부분을 긁어내는 건식 식각 공정과 식각액을 이용하여 패터닝하는 습식 식각 공정이 있다.
다만, 습식 식각 공정의 경우는 식각액을 이용하여 패터닝하는 공정으로, 식각되는 것을 방지하는 막 등을 이용하여 패터닝이 필요한 영역을 제외한 영역을 보호한 상태에서 식각면이 식각액에 노출될 수 있도록 한 뒤, 식각액을 이용하여 식각 방지막이 도포되어 있지 않은 영역을 부분적으로 식각하게 된다. 식각액이 제거되는 과정에서 완벽하게 제거되지 않을 경우 과도한 식각이 발생하여 정밀도와 해상도가 떨어지는 불량품이 제작되는 등의 불편함이 있다.
또한, 코팅장치를 이용하여 코팅한 뒤 식각하는 공정이 별도로 필요하기 때문에 번거로움이 있으며, 얇은 Strip을 형성하는 라인 패터닝 공정의 경우는 식각액이 측면을 식각하게 되어 공정과정에서 불량품이 생산되는 불편함과 번거로움이 있었다.
따라서 이와 같은 단점을 극복하기 위하여 코팅장치가 원하는 부분을 식각하면서, 측면을 식각하여 불량품이 생산되는 것을 방지하고, 코팅공정과 식각공정을 단축하기 위한 방법이 활발하게 고안되고 있으며, 이와 같은 문제들을 해결할 수 있는 방법이 요구된다.
[과제고유번호] 2019-B-G041-010106
[과제명] 투명 디스플레이용 전자 이동형 투과도 가변 소자 개발
[사업분야] 충청권(LINC플러스-산학협력고도화형)
[연구기관] 한국기술교육대학교 산학협력단
[연구기간] 2019-05-31 ~ 2020-01-13
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 토출유닛과 흡입유닛이 기판의 이동방향으로 순차적으로 배열되어 코팅액이 도포된 작업영역에 패터닝을 진행할 수 있고, 코팅모듈과 식각모듈이 연결되어 코팅모듈과 식각모듈을 함께 동작시켜, 코팅 후 패터닝하는 과정을 단축함을 통해 작업시간을 단축할 수 있다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 식각모듈이 구비된 코팅장치는, 이동방향을 따라 이동되는 기판에 코팅액을 제공하여 코팅면을 형성하는 코팅모듈, 상기 코팅모듈과 연결되고, 상기 기판이 이동되면서 상기 코팅면의 작업영역에 식각액을 배출하여 상기 작업영역을 패터닝하는 식각모듈 및 상기 기판의 측방에서 상기 기판의 상부로 연장되게 형성되어 상기 코팅모듈 및 상기 식각모듈이 상기 기판의 상부에 배치되게 하는 구동모듈을 포함한다.
여기서 상기 구동모듈은, 상기 이동방향과 수직한 수직방향을 따라 상기 코팅모듈 및 상기 식각모듈이 이동 가능하도록 레일이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 구동모듈은, 상기 레일상에서 상기 이동방향을 따라 연장되어 상기 코팅모듈 및 상기 식각모듈이 순차적으로 배치되게 구비되는 연장유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 구동모듈은, 상기 식각모듈이 결합되고 상기 연장유닛상에서 회전 가능하게 축 결합되는 회전유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 식각모듈은, 상기 작업영역 상부에 위치하여 상기 코팅면의 일부를 용해하기 위해 상기 작업영역을 향해 상기 식각액을 토출하는 토출유닛 및 상기 토출유닛과 인접하게 배치되고, 상기 기판이 이동되면서 상기 식각액을 흡입하는 흡입유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 식각모듈은, 상기 기판이 이동되면서 상기 식각액을 흡입하기 위해 상기 이동방향을 따라 상기 토출유닛과 상기 흡입유닛이 순차적으로 배열되는 것을 특징으로 한다.
여기서 상기 식각모듈은, 패터닝하면서 흔들리는 것을 방지하기 위해 상기 식각모듈을 고정시키는 홀딩유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 홀딩유닛은, 상기 식각모듈이 내측에 삽입되도록 상기 식각모듈의 형상과 대응되는 공간이 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 식각모듈이 구비된 코팅장치는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 토출유닛을 통해 원하는 라인 또는 부분적 식각이 가능하기 때문에 패터닝의 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
둘째, 코팅모듈과 식각모듈이 연결되어 코팅모듈의 작업과 동시에 식각모듈을 동작시켜 코팅과 패터닝을 진행하여 작업시간을 단축시킬 수 있는 장점이 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 전체적인 모습을 도시한 도면;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 구동모듈 및 식각모듈을 설명하기 위해 도시한 도면;
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 식각모듈을 보다 상세하게 설명하기 위해 도시한 도면;
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 홀딩유닛을 설명하기 위해 도시한 도면;
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 작동 상황을 설명하기 위해 도시한 도면;
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치가 패터닝하는 상황을 설명하기 위해 도시한 도면;
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 코팅모듈 및 식각모듈이 이동되거나 회전되는 상황을 설명하기 위해 도시한 도면;
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 식각모듈이 회전되는 상황을 설명하기 위해 도시한 도면;
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 패터닝을 설명하기 위해 도시한 도면; 및
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 식각 전 후를 대비하여 설명하기 위해 도시한 도면이다.
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
먼저 도 1 내지 도 4를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 구성을 설명할 수 있다.
구체적으로 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 전체적인 모습을 도시한 도면, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 구동모듈 및 식각모듈을 설명하기 위해 도시한 도면, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 식각모듈을 보다 상세하게 설명하기 위해 도시한 도면 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 홀딩유닛을 설명하기 위해 도시한 도면이다.
여기서 도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치는 코팅모듈(100), 식각모듈(200), 구동모듈(300)을 포함할 수 있다.
이 때, 상기 코팅모듈(100)은 기판(B)이 이동되면서 상기 기판(B)에 코팅액(S)을 제공하여 상기 식각모듈(200)이 패터닝(Patterning)할 수 있는 작업영역을 형성할 수 있다.
또한, 상기 코팅모듈(100)은 상기 코팅액(S)을 제공하는 코팅펌프(30)와 연결되어 상기 기판(B)을 향해 상기 코팅액(S)을 제공할 수 있다.
여기서 상기 식각모듈(200)은 토출유닛(220), 흡입유닛(240), 홀딩유닛(260), 피팅유닛(280)으로 구성될 수 있으며, 상기 식각모듈(200)은 상기 코팅모듈(100)과 연결되고, 상기 코팅모듈(100)이 형성하는 상기 작업영역 상부에 위치되어 식각액(E)을 배출하여 상기 작업영역을 패터닝할 수 있다.
또한, 상기 식각모듈(200)은 토출펌프(10)에서 제공되는 상기 식각액(E)을 상기 토출유닛(220)을 통해 상기 작업영역에 배출하고, 상기 토출유닛(220)과 인접하게 배치되는 상기 흡입유닛(240)을 통해 상기 작업영역을 식각하는 상기 식각액(E)을 흡입하도록 흡입력을 제공하는 흡입펌프(20)와 연결될 수 있다.
한편, 상기 구동모듈(300)은 연장유닛(320)과 회전유닛(340)으로 구성될 수 있으며, 상기 코팅모듈(100)을 상기 기판(B)의 이동방향과 수직하게 이동시킬 수 있고, 상기 구동모듈(300)은 상기 기판(B)의 측방에서 상부를 향해 연장되어 상기 코팅모듈(100)과 상기 식각모듈(200)이 상기 기판(B)의 상부에 배치되도록 결합되며, 상기 코팅모듈(100)과 상기 식각모듈(200)이 상기 기판(B)과 소정거리 이격된 상태를 유지할 수 있도록 고정할 수 있다.
여기서 상기 연장유닛(320)은 상기 코팅모듈(100)이 상기 작업영역을 형성하고, 상기 기판(B)이 이동되면서 상기 식각모듈(200)이 상기 식각액(E)을 상기 작업영역을 향해 배출하여 상기 작업영역을 식각할 수 있도록 상기 코팅모듈(100)과 상기 식각모듈(200)이 상기 기판(B)의 이동방향을 따라 순차적으로 배열되도록 결합될 수 있다.
앞서 제시한 구성들은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 기판(B) 상부에서 상기 구동모듈(300)에 의해서 소정거리 이격되도록 결합되고, 상기 코팅모듈(100)에서 상기 식각모듈(200)을 향해 연장되는 상기 연장유닛(320)과 상기 연장유닛(320)에서 상기 기판(B)의 이동방향으로 상기 식각모듈(200)을 향해 연장되어 상기 식각모듈(200)의 상기 홀딩유닛(260)과 결합되어 상기 식각모듈(200)을 회전시킬 수 있다.
또한, 상기 식각모듈(200)의 상기 토출유닛(220) 및 상기 흡입유닛(240)은 튜브(40)를 통해 상기 토출펌프(10), 상기 흡입펌프(20)와 각각 연결될 수 있다.
여기서 상기 식각모듈(200)은 보다 상세하게 도 3에 도시된 바와 같이 상기 토출펌프(10)를 통해 제공되는 상기 식각액(E)을 토출하는 상기 토출유닛(220)과 상기 토출유닛(220)을 통해 배출된 상기 식각액(E)을 흡입펌프(20)가 제공하는 흡입력을 통해서 흡입하는 상기 흡입유닛(240)이 상기 기판(B)을 향해 길게 형성되고, 상기 토출유닛(220) 및 상기 흡입유닛(240)은 상기 펌프(10, 20)와 튜브(40)를 통해 연통되고, 상기 튜브(40)와 상기 토출유닛(220) 및 상기 흡입유닛(240)과 연결되도록 상기 튜브(40)와 상기 토출유닛(220) 또는 상기 흡입유닛(240) 사이에 구비되는 상기 피팅유닛(280)을 통해 연결될 수 있다.
이와 같이 상술된 상기 식각모듈(200)은 상기 구동모듈(300)을 통해 상기 기판(B)과 소정거리 이격되도록 결합되고, 상기 작업영역 상부에서 상기 식각액(E)을 토출하여 상기 작업영역을 패터닝할 수 있는 것이다.
이 때, 상기 식각모듈(200)이 상기 구동모듈(300)에 의해 상기 기판(B)과 소정거리 이격되는 것은 상기 토출유닛(220)을 통해 토출된 상기 식각액(E)이 상기 기판(B)이 이동되면서 상기 식각액(E)을 흡입해야 하지만 상기 기판(B)과 거리가 멀어짐에 따라서 흡입력이 저하되는 것은 자명한 사실이기 때문에 상기 기판(B)과 상기 식각모듈(200) 사이의 거리가 과도하게 멀어지거나 과도하게 가까워지면서 상기 식각액(E)이 상기 기판(B)에 이전되지 않거나, 동일한 상기 작업영역에 과도하게 상기 식각액(E)이 토출되는 것을 방지하도록 상기 구동모듈(300)을 통해 상기 기판(B)과 소정거리 이격되도록 결합되는 것이다.
예를 들어, 상기 기판(B)과 상기 식각모듈(200) 사이의 간격은 20μm~200μm 정도 이격되어 있는 것이 바람직할 수 있다.
한편, 상기 식각모듈(200)은 상기 토출유닛(220) 및 상기 흡입유닛(240)의 둘레를 감싸면서 구비되는 상기 홀딩유닛(260)이 구비될 수 있고, 상기 홀딩유닛(260)은 상기 식각모듈(200)이 상기 구동모듈(300)의 움직임 또는 상기 기판(B)의 움직임 혹은 상기 토출펌프(10)의 압력이나 상기 흡입펌프(20)의 압력에 의해 흔들리는 것을 방지할 수 있다.
여기서 상기 홀딩유닛(260)은 상기 식각모듈(200)의 상기 토출유닛(220) 및 상기 흡입유닛(240)과 대응되는 제1 공간(H1)과 제2 공간(H2)이 형성되고, 상기 제1 공간(H1)에는 상기 흡입유닛(240)이 삽입되어 흔들리는 것이 방지되고, 상기 제2 공간(H2)에는 상기 토출유닛(220)이 삽입되어 흔들리는 것이 방지될 수 있다.
이와 같이 상기 홀딩유닛(260)을 통해 상기 토출유닛(220) 및 상기 흡입유닛(240)은 흔들림이 방지되어 상기 작업영역 상부에서 의도하지 않은 영역에 상기 식각액(E)이 토출되는 것을 방지하고, 사용자가 원하는 부분을 식각하여 종래의 기술에 따라 제작하는 습식 식각 공정과 같이 측면으로 퍼지는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
앞서 설명한 구성을 바탕으로 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 공정 과정을 도 5 내지 도 9를 통해 설명할 수 있다.
구체적으로 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 작동 상황을 설명하기 위해 도시한 도면, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치가 패터닝하는 상황을 설명하기 위해 도시한 도면, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 코팅모듈 및 식각모듈이 이동되거나 회전되는 상황을 설명하기 위해 도시한 도면, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 식각모듈이 회전되는 상황을 설명하기 위해 도시한 도면, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 패터닝을 설명하기 위해 도시한 도면이다.
먼저 도 5에 도시된 바와 같이 상기 식각모듈(200)은 상기 코팅모듈(100)과 함께 연동되어 상기 식각액(E)을 토출할 수 있다.
예를 들어, 상기 코팅모듈(100)은 상기 기판(B)이 이동되면서 상기 기판(B)을 향해 상기 코팅액(S)을 제공하여 상기 작업영역을 형성하고, 상기 코팅모듈(100)이 형성한 상기 작업영역은 상기 기판(B)의 이동방향을 향해 이동되어 상기 식각모듈(200)을 향해 이동되며, 상기 식각모듈(200)은 상기 코팅모듈(100)이 형성한 상기 작업영역 상부에서 상기 식각액(E)을 토출하여 상기 작업영역의 상기 코팅액(S)을 식각하고, 상기 기판(B)의 이동에 따라 상기 흡입유닛(240)이 상기 코팅액(S)을 용해한 상기 식각액(E)을 흡입할 수 있다.
예를 들어, 상기 기판(B) 상부에 플레이트를 위치시켜 상기 플레이트에 상기 코팅모듈(100)이 상기 코팅액(S)을 제공하여 상기 작업영역을 형성하면 상기 식각모듈(200)은 상술한 바와 같이 상기 식각액(E)을 토출하여 상기 작업영역을 패터닝할 수 있다.
상술한 내용을 보다 이해하기 쉽도록 도 6을 참조하여 설명하면, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 식각모듈(200)은 상기 코팅액(S)으로 도포된 상기 작업영역 상부에서 상기 식각액(E)을 토출하여 패터닝할 수 있는 것이다.
상술한 바는 도 5 내지 도 6에 도시된 바와 같이 상기 코팅모듈(100)이 상기 코팅액(S)을 상기 기판(B)을 향해 제공하고, 상기 토출유닛(220)이 상기 코팅모듈(100)이 형성한 상기 작업영역에 상기 식각액(E)을 토출하여 상기 코팅액(S)을 식각하며, 상기 흡입유닛(240)이 상기 식각액(E)을 흡입함을 통해서 상기 코팅모듈(100)을 이용한 코팅공정과 상기 식각모듈(200)을 이용한 식각공정을 별도로 시행하여 작업시간이 늘어나는 것을 방지하여 작업시간을 단축할 수 있는 효과가 있을 수 있다.
또한, 상기 기판(B)에 미세 Strip을 형성하는 미세 라인 패터닝(Line Patterning) 공정의 경우, 상기 코팅모듈(100)에서 상기 기판(B)에 상기 코팅액(S)을 제공하여 상기 기판(B)이 이동되면서 형성하는 라인형상의 상기 작업영역의 내측에서 상기 작업영역의 폭보다 좁은 영역에 상기 식각액(E)을 토출하여 상기 코팅모듈(100)이 상기 코팅액(S)을 상기 기판(B)에 제공하여 형성한 라인 형상의 상기 작업영역을 보다 미세한 Strip을 형성하는 것이 가능할 수 있다.
즉, 상기 식각모듈(200)이 상기 코팅모듈(100)이 형성하는 상기 작업영역의 내측에서 식각하여 상기 작업영역을 보다 미세한 Strip으로 형성할 수 있기 때문에 보다 정밀한 작업이 가능할 수 있는 것이다.
하지만 앞서 상술한 바와 같이 상기 코팅모듈(100)과 상기 식각모듈(200)이 함께 연동되어 작동될 수도 있지만 상기 식각모듈(200)만 별도로 작동되어 상기 작업영역을 패터닝할 수 있다.
이 때, 상기 식각모듈(200)만 작동되는 상황을 설명하기 위해 도 7을 참조할 수 있다.
상술한 바와 같이 상기 식각모듈(200)이 상기 코팅모듈(100)과 별도로 작동되어 상기 작업영역을 식각하는 것은 상기 구동모듈(100)에 의해 상기 코팅모듈(100)이 상기 기판(B)과 수직한 방향으로 이동되는 경우에 별도로 동작될 수 있다.
예를 들어, 상기 코팅모듈(100)만 별도로 작동되어 상기 기판(B) 상부에 위치되는 플레이트에 상기 작업영역을 형성하고, 상기 식각모듈(200)이 상기 구동모듈(100)에 형성되는 레일을 따라 이동되어 상기 작업영역을 상기 기판(B)의 이동방향과 수직한 수직방향을 향해 패터닝하는 경우가 있을 수 있다.
이 때, 상기 식각모듈(200)은 상기 연장유닛(320)을 통해 상기 코팅모듈(100)과 연동되어 움직이며, 상기 구동모듈(300)은 상기 코팅모듈(100)을 상기 수직방향으로 이동시킬 수 있도록 레일이 형성되어 상기 식각모듈(200)을 상기 수직방향으로 상기 코팅모듈(100)과 연동되어 움직일 수 있다.
하지만 상기 식각모듈(200)이 상기 구동모듈(300)에 의해서 상기 수직방향으로 이동되면 상기 토출유닛(220)이 토출한 상기 식각액(E)을 상기 흡입유닛(240)이 흡입할 수 없기 때문에 상기 토출유닛(220)과 상기 흡입유닛(240)이 상기 수직방향으로 상기 식각액(E)을 흡입할 수 있도록 순차적으로 배열되게 상기 연동유닛(320)과 연결되어 상기 식각모듈(200)의 상기 홀딩유닛(260) 측면과 결합되는 상기 회전유닛(340)을 통해 회전될 수 있다.
예를 들어, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 회전유닛(340)은 상기 연장유닛(320)과 축 결합되어 상기 연장유닛(320)을 중심으로 축 회전되어 상기 토출유닛(220)과 상기 흡입유닛(240)이 상기 수직방향을 향해 순차적으로 배열될 수 있도록 할 수 있다.
즉, 도 9에 도시된 바와 같이 상기 식각모듈(200)이 상기 작업영역을 식각할 수 있다.
여기서 도 9(a)는 앞서 제시한 상기 구동모듈(300)이 상기 식각모듈(200)을 상기 수직방향으로 이동시키는 경우, 상기 토출유닛(220)과 상기 흡입유닛(240)이 상기 수직방향으로 순차적으로 배열되도록 상기 회전유닛(340)이 상기 식각모듈(200)을 회전시킬 수 있는 것이다.
상술한 바와 같이 상기 식각모듈(200)이 회전되어 패터닝하는 경우, 도 9(a)와 같이 라인 패터닝된 상기 작업영역에 수직한 방향으로 상기 식각모듈(200)이 개별로 작동되어 식각해야하는 경우에 상기 식각모듈(200)을 회전시켜 상기 작업영역을 식각할 수 있다.
또한, 도 9(b)에 도시된 바와 같이 상기 코팅모듈(100)이 형성하는 상기 작업영역의 폭이 상기 식각모듈(200)의 폭보다 넓게 형성되어 상기 작업영역 내측에서 여러 차례 식각을 진행해야 하는 경우, 상기 식각모듈(200)이 상기 기판(B)이 이동되면서 상기 작업영역에서 라인 패터닝하고, 상기 회전유닛(340)이 상기 식각모듈(200)을 상기 기판(B)의 이동방향상에서 상기 토출유닛(220)과 상기 흡입유닛(240)의 위치를 대칭되도록 뒤집어서 상기 기판(B)이 상기 이동방향상에서 왕복 운동하면서 상기 작업영역 내측에서 상기 식각모듈(200)이 상기 회전유닛(340)에 의해 전방과 후방이 변경되고, 상기 구동모듈(300)에 의해서 상기 수직방향으로 이동되면서 상기 기판(B)의 상기 작업영역을 원하는 폭으로 형성할 수 있는 것이다.
앞서 상술된 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 실험결과를 도 10을 통해 예시를 설명할 수 있다.
구체적으로 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각모듈이 구비된 코팅장치의 식각 전 후를 대비하여 설명하기 위해 도시한 도면이다.
여기서 도 10에 도시된 바와 같이 상기 식각모듈(200)이 라인 패터닝된 상기 작업영역에 상기 회전유닛(340)에 의해 회전되어 상기 작업영역을 재 식각하게 되면 도 10의 식각 전 100μm 폭을 가지는 상기 작업영역에 수직한 방향으로 상기 식각모듈(200)을 통해 식각하여 188μm 너비의 공백을 형성하여 패터닝할 수 있으며 그 예를 나타낸 것이다.
또한, 도 10과 같이 상기 식각모듈(200)이 상기 작업영역을 패터닝하는 경우, 상기 토출유닛(220)과 상기 흡입유닛(240) 사이의 거리는 패터닝하고자 하는 작업공정에 따라 변경될 수 있다.
예를 들어, 상기 토출유닛(220)을 통해 토출된 상기 식각액(E)이 상기 코팅액(S)을 용해할 수 있는 시간보다 빠르게 상기 흡입유닛(240)이 상기 식각액(E)을 흡입하는 경우, 상기 작업영역이 제대로 패터닝되지 않아 불량이 발생할 수 있기 때문에 상기 토출유닛(220)과 상기 흡입유닛(240)은 상기 식각액(E)이 상기 코팅액(S)을 용해할 수 있는 시간을 고려하여 설정하여야 하며, 상기 토출유닛(220)이 상기 흡입유닛(240)과 거리가 멀어 상기 식각액(E)이 증발되는 경우에는 상기 식각액(E)이 측면의 상기 작업영역을 식각하여 불량이 발생할 수 있다.
그렇기 때문에 상기 토출유닛(220)과 상기 흡입유닛(240)은 상기 식각액(E)이 상기 코팅액(S)을 용해하는 시간, 상기 기판(B) 또는 상기 구동모듈(300)에 의해 상기 식각모듈(200)이 이동되는 속도를 고려하여 거리를 설정하는 것이 보다 효과적일 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
B: 기판
E: 식각액
S: 코팅액
H1: 제1 공간
H2: 제2 공간
10: 토출펌프
20: 흡입펌프
30: 코팅펌프
40: 튜브
100: 코팅모듈
200: 식각모듈
220: 토출유닛
240: 흡입유닛
260: 홀딩유닛
280: 피팅유닛
300: 구동모듈
320: 연장유닛
340: 회전유닛

Claims (8)

  1. 이동방향을 따라 이동되는 기판에 코팅액을 제공하여 코팅면을 형성하는 코팅모듈;
    상기 코팅모듈과 연결되고, 상기 기판이 이동되면서 상기 코팅면의 작업영역에 식각액을 배출하여 상기 작업영역을 패터닝하는 식각모듈; 및
    상기 기판의 측방에서 상기 기판의 상부로 연장되게 형성되어 상기 코팅모듈 및 상기 식각모듈이 상기 기판의 상부에 배치되게 하는 구동모듈을 포함하고,
    상기 식각모듈은, 상기 작업영역 상부에 위치하여 상기 코팅면의 일부를 용해하기 위해 상기 작업영역을 향해 상기 식각액을 토출하는 토출유닛 및 상기 토출유닛과 인접하게 배치되고, 상기 기판이 이동되면서 상기 식각액을 흡입하는 흡입유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    식각모듈이 구비된 코팅장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동모듈은,
    상기 이동방향과 수직한 수직방향을 따라 상기 코팅모듈 및 상기 식각모듈이 이동 가능하도록 레일이 형성되는 것을 특징으로 하는,
    식각모듈이 구비된 코팅장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 구동모듈은,
    상기 레일상에서 상기 이동방향을 따라 연장되어 상기 코팅모듈 및 상기 식각모듈이 순차적으로 배치되게 구비되는 연장유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    식각모듈이 구비된 코팅장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 구동모듈은,
    상기 식각모듈이 결합되고 상기 연장유닛상에서 회전 가능하게 축 결합되는 회전유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    식각모듈이 구비된 코팅장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 식각모듈은,
    상기 기판이 이동되면서 상기 식각액을 흡입하기 위해 상기 이동방향을 따라 상기 토출유닛과 상기 흡입유닛이 순차적으로 배열되는 것을 특징으로 하는,
    식각모듈이 구비된 코팅장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 식각모듈은,
    패터닝하면서 흔들리는 것을 방지하기 위해 상기 식각모듈을 고정시키는 홀딩유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    식각모듈이 구비된 코팅장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 홀딩유닛은,
    상기 식각모듈이 내측에 삽입되도록 상기 식각모듈의 형상과 대응되는 공간이 형성되는 것을 특징으로 하는,
    식각모듈이 구비된 코팅장치.


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