JP2007058179A - 印刷板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁基板61に所定深さを有する第1トレンチ64を形成する段階と、第1トレンチ64を含む絶縁基板61の全面に有機膜65を形成する段階と、有機膜65を選択的に除去し、第1トレンチ64と対応する部分に第1トレンチ64よりも狭い幅を有する第2トレンチ67を形成する段階とを備える。
【選択図】図3H
Description
図1A乃至図1Cは、従来の印刷ロール及び印刷板を用いて基板上にパターンを形成する工程を示した工程断面図である。
次いで、図1Bに示すように、所定形状に刻み込まれた印刷板40上に、パターン物質30が塗布された印刷ロール20を回転させ、印刷板40の突出部に一部のパターン物質30bを転写し、印刷ロール20には、残りのパターン物質30aが残存するようにして、印刷ロール20に所定形状のパターンを形成する。
次いで、図1Cに示すように、基板50上にパターン物質30aの残存する印刷ロール20を回転させ、基板50上に残りのパターン物質30aを転写する。
上記のように、印刷ロール20を用いたパターン形成方法には、印刷板40が必要となる。
すなわち、金属膜パターンをマスクとして、絶縁基板を一括エッチングして所望の深さを有するトレンチを形成するため、等方性エッチングの特性上、エッチングCD(Critical Dimension:限界寸法)が大きく発生し、精密な印刷板製作が難しかった。
Claims (11)
- 絶縁基板に所定深さを有する第1トレンチを形成する段階と、
前記第1トレンチを含む前記絶縁基板の全面に有機膜を形成する段階と、
前記有機膜を選択的に除去し、前記第1トレンチと対応する部分に前記第1トレンチよりも狭い幅を有する第2トレンチを形成する段階と
を備えることを特徴とする印刷板の製造方法。 - 前記第2トレンチを含む全面に、印刷特性及び印刷板の耐久性を向上させるために物質層を形成する段階をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の印刷板の製造方法。
- 前記物質層は、無機膜または金属膜であることを特徴とする請求項2に記載の印刷板の製造方法。
- 前記無機膜は、SiNx、a−Si、SiOのいずれか1つからなることを特徴とする請求項3に記載の印刷板の製造方法。
- 前記金属膜は、Cr、Mo、Al、Cuのいずれか1つからなることを特徴とする請求項3に記載の印刷板の製造方法。
- 前記第2トレンチは、前記有機膜上にマスク層を形成し、前記マスク層をマスクとしてF系列のエッチングガスで前記有機膜を選択的に除去して形成されることを特徴とする請求項1に記載の印刷板の製造方法。
- 前記マスク層は、ハードマスクを使用することを特徴とする請求項6に記載の印刷板の製造方法。
- 前記F系列のエッチングガスは、SF6またはSF4であることを特徴とする請求項6に記載の印刷板の製造方法。
- 前記第1トレンチは、等方性エッチングで前記絶縁基板を選択的にエッチングして形成されることを特徴とする請求項1に記載の印刷板の製造方法。
- 前記第2トレンチは、乾式エッチングで前記有機膜を選択的にエッチングして形成されることを特徴とする請求項1に記載の印刷板の製造方法。
- 前記有機膜は、アクリル系列、BCB系列、SOG系列のいずれか1つからなることを特徴とする請求項1に記載の印刷板の製造方法。
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