JP2009202141A - スリットダイ及びスリットダイコータ - Google Patents

Abstract

【課題】面倒な調整作業を必要とせず且つ簡単な装置構成で高精度な塗工を実現できるスリットダイ及びスリットダイコータを提供すること。
【解決手段】全体が横長の柱状をなし長手方向に沿ってマニホールド（２６，４６）が内部に形成され且つこのマニホールド（２６，４６）から供給された塗布剤（Ｒ）をスリット状に吐出するリップ端面（２１１，４１１）が前縁に形成されたスリットダイ（２，４）において、リップ端面（２１１，４１１）は、塗布剤（Ｒ）の吐出時にスリットダイ（２，４）自体の弾性撓み変形に起因する当該リップ端面（２１１，４１１）の平面度の不均一が相殺される形状に予め加工されたことを特徴とする。
【選択図】 図３

Description

本発明はスリットダイ及びスリットダイコータに関する。

スリットダイは、全体が横長の柱状をなし、長手方向に沿って内部にマニホールドが形成されている。また、このマニホールドから供給された塗布剤をスリット状に吐出するリップ端面が前縁に形成されている。このようなスリットダイを用いて被塗布基材に塗工を行うスリットコータには、バックアップロールを備えるタイプと、バックアップロールを備えないタイプとがある。

前者タイプのスリットコータでは、リップ端面と被塗布基材との間に所定の間隙を形成した状態で、スリットダイと被塗布基材とを所定方向に相対移動させながら、塗布剤をスリット状に吐出することで塗工を行う。後者タイプのスリットコータでは、リップ端面と被塗布基材とを接触させた状態で、スリットダイと被塗布基材とを所定方向に相対移動させながら、塗布剤をスリット状に吐出することで塗工を行う。

スリットダイにおいては、マニホールド内に供給された塗布剤の内圧により、その本体に湾曲などの歪みが生じ、リップ端面が弾性変形する。その変形は、一般には、リップ端面におけるスリットダイの長手方向についての中央部が、マニホールドとは反対側、つまり被塗布基材の側に膨らむ形となる。なお、このようなリップ端面の弾性変形は、マニホールド内に供給された塗布剤の内圧に起因するものに限らず、スリットダイの自重、及びスリットダイの組み立て時または組み付け時における締結部材による締結力に起因することもある。

上述した前者タイプのスリットコータで塗工を行う場合は、リップ端面が上記変形を起こすことにより、リップ端面と被塗布基材との間隙が不揃いになり、形成される塗布膜が不均一なものとなる。後者タイプのスリットコータで塗工を行う場合は、リップ端面が上記変形を起こすことにより、リップ端面と被塗布基材とが不均一な押圧力で接触することになり、被塗布基材の幅方向に歪みが生じたり、幅方向の張力が安定しなくなったりし、その結果として、形成される塗布膜が不均一なものとなる。

このような不都合を解決することのできる技術として、例えば特許文献１に記載の技術を挙げることができる。その技術は、先端リップとは反対側のダイ背面部と、このダイ背面部に対面する架台支持部との間にねじ部材を設け、ねじ部材によってダイ背面部と架台支持部とを離間または接近させて先端リップとウェブ（被塗布基材）との間隙を制御するものである。
特開２００４−３２１９１５号公報

しかし、特許文献１の技術では、ダイ背面部と、このダイ背面部に対面する架台支持部との間にねじ部材を設ける必要があり、部品点数が多く装置構造が複雑になると共に調整作業が煩わしいという問題があった。本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、面倒な調整作業を必要とせず且つ簡単な装置構成で高精度な塗工を実現できるスリットダイ及びスリットダイコータを提供することを目的とする。

上記目的は、下記の本発明により達成される。なお「特許請求の範囲」及び「課題を解決するための手段」の欄において各構成要素に付した括弧書きの符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

請求項１の発明は、全体が横長の柱状をなし長手方向に沿ってマニホールド（２６，４６）が内部に形成され且つこのマニホールド（２６，４６）から供給された塗布剤（Ｒ）をスリット状に吐出するリップ端面（２１１，４１１）が前縁に形成されたスリットダイ（２，４）において、リップ端面（２１１，４１１）は、塗布剤（Ｒ）の吐出時にスリットダイ（２，４）自体の弾性撓み変形に起因する当該リップ端面（２１１，４１１）の平面度の不均一が相殺される形状に予め加工されたことを特徴とする。

請求項２の発明では、前記弾性撓み変形は、マニホールド（２６，４６）内に供給された塗布剤（Ｒ）の内圧、スリットダイ（２，４）の自重、及びスリットダイ（２，４）の組み立て時または組み付け時における締結部材による締結力の少なくとも一つに起因したものである。

請求項３の発明では、前記リップ端面（２１１，４１１）は、その長手方向両端部から長手方向中央部に向かうに従い左右対称に連続的にマニホールド（２６，４６）の形成側に向けて徐々に凹む曲面をなす逆クラウン型に加工される。

請求項４の発明では、前記逆クラウン型の曲面形状は、塗布剤（Ｒ）の吐出動作時にストレート型に弾性変形する形状とされる。

請求項５の発明では、前記リップ端面（２１１，４１１）は、その長手方向両端部から長手方向中央部に向かうに従い左右対称に連続的にマニホールド（２６，４６）の非形成側に向けて徐々に膨らむ曲面をなす正クラウン型に加工される。

請求項６の発明では、前記正クラウン型の曲面形状は、塗布剤（Ｒ）の吐出動作時にストレート型に弾性変形する形状とされる。

請求項７の発明は、全体が横長の柱状をなし長手方向に沿ってマニホールド（４６）が内部に形成され且つこのマニホールド（４６）から供給された塗布剤（Ｒ）をスリット状に吐出するリップ端面（４１１）が前縁に形成されたスリットダイ（４）において、
リップ端面（４１１）は、塗布剤（Ｒ）の吐出時にその長手方向両端部から長手方向中央部に向かうに従い左右対称に連続的にマニホールド（４６）の非形成側に向けて徐々に膨らむ曲面をなす正クラウン型に変形するように予め加工されたことを特徴とする。

請求項８の発明は、請求項１から請求項６のいずれかに記載のスリットダイ（２）を構成要素として備え、スリットダイ（２）により被塗布基材（Ｗ）に塗布剤（Ｒ）を塗布するように構成されたスリットダイコータ（１０）であって、スリットダイ（２）のリップ端面（２１１）と被塗布基材（Ｗ）との間に所定の間隙（Ｄ）が形成されるように被塗布基材（Ｗ）を支持するバックアップロール（３）と、スリットダイ（２）と被塗布基材（Ｗ）とをスリットダイ（２）の長手方向に直交し且つ被塗布基材（Ｗ）に平行な方向に相対移動させる相対移動手段（１，８）とを備えることを特徴とする。

請求項９の発明は、請求項１から請求項７のいずれかに記載のスリットダイ（４）を構成要素として備え、スリットダイ（４）により被塗布基材（Ｗ）に塗布剤（Ｒ）を塗布するように構成されたスリットダイコータ（１０）であって、スリットダイ（４）のリップ端面（４１１）と被塗布基材（Ｗ）とが接触するように構成され、スリットダイ（４）と被塗布基材（Ｗ）とをスリットダイ（４）の長手方向に直交し且つ被塗布基材（Ｗ）に平行な方向に相対移動させる相対移動手段（１，８）を備えることを特徴とする。

スリットダイ（２，４）とこれに対向配置される被塗布基材（Ｗ）との間隙（Ｄ）は、近年の測定技術及びシミュレーション技術により容易且つ正確に予測可能となっている。本発明では、この間隙（Ｄ）の数値分をスリットダイの加工に反映させ、ダイ先端であるリップ端面（２１１，４１１）に逆クラウニング加工または正クラウニング加工を施している。

スリットダイ（２）とバックアップロール（３）とを備えるタイプのスリットコータでは、リップ端面（２１１）と被塗布基材（Ｗ）との間に所定の間隙（Ｄ）を形成した状態で、スリットダイ（２）と被塗布基材（Ｗ）とをスリットダイ（２）の長手方向に直交し且つ被塗布基材（Ｗ）に平行な方向に相対移動させながら、塗布剤（Ｒ）をスリット状に吐出することで塗工を行う。本発明のスリットダイ（２）では、リップ端面（２１１）は、塗布剤（Ｒ）の吐出時にスリットダイ（２）自体の弾性撓み変形に起因する当該リップ端面（２１１）の平面度の不均一が相殺される形状に予め加工されている。従って、実際の塗工時において、リップ端面（２１１）とこれに対向する被塗布基材（Ｗ）との間隙（Ｄ）を一定（均一）に保つことができ、高精度な塗工を実現できる。本発明では、リップ端面（２１１）とこれに対向する被塗布基材（Ｗ）との間隙（Ｄ）を一定に保つにあたり、従来技術とは異なり、スリットダイ（２）自体にねじ部材を設ける必要がなく且つそのねじ部材による調整を行う必要もない。つまり、面倒な調整作業を必要とせず且つ簡単な装置構成で高精度な塗工を実現できる。

一方、スリットダイ（４）のみでバックアップロール（３）を備えないタイプのスリットコータでは、リップ端面（４１１）と被塗布基材（Ｗ）とを接触させた状態で、スリットダイ（４）と被塗布基材（Ｗ）とをスリットダイ（４）の長手方向に直交し且つ被塗布基材（Ｗ）に平行な方向に相対移動させながら、塗布剤（Ｒ）をスリット状に吐出することで塗工を行う。本発明のスリットダイ（４）では、リップ端面（４１１）は、塗布剤（Ｒ）の吐出時にスリットダイ（４）自体の弾性撓み変形に起因する当該リップ端面（４１１）の平面度の不均一が相殺される形状に予め加工されている。従って、実際の塗工時において、スリットダイ（４）と被塗布基材（Ｗ）とは均一な押圧力で接触し、被塗布基材（Ｗ）の幅方向（Ｙ）の歪みを矯正し、或いは幅方向（Ｙ）の張力を安定させ、高精度な塗工が可能になる。

なお、スリットダイ（４）のみでバックアップロール（３）を備えないタイプのスリットコータでは、スリットダイ（４）におけるリップ端面（４１１）は、平面度の不均一が相殺される形状に予め加工されているものに限らず、次のように加工されているものでもよい。即ち、塗布剤（Ｒ）の吐出時にその長手方向両端部から長手方向中央部に向かうに従い左右対称に連続的にマニホールド（２６，４６）の非形成側に向けて徐々に膨らむ曲面をなす正クラウン型に変形するような加工である。吐出時にリップ端面（４１１）が正クラウン型に変形することにより、被塗布基材（Ｗ）における幅方向中央部の押圧力が幅方向端部よりも増し、皺伸ばしの効果が顕著になる。

上記弾性撓み変形には、マニホールド（２６，４６）内に供給された塗布剤（Ｒ）の内圧、スリットダイ（２，４）の自重、及びスリットダイ（２，４）の組み立て時または組み付け時における締結部材による締結力の少なくとも一つに起因したものが含まれる。

リップ端面（２１１，４１１）の加工形状は、逆クラウン型または正クラウン型であることが好ましい。逆クラウン型とは、リップ端面（２１１，４１１）の長手方向両端部から長手方向中央部に向かうに従い左右対称に連続的に徐々に凹む曲面をなす形状である。凹む方向はマニホールド（２６，４６）の形成側である。そして、逆クラウン型の曲面形状は、塗布剤（Ｒ）の吐出動作時にストレート型に弾性変形する形状とされる。

正クラウン型とは、リップ端面（２１１，４１１）の長手方向両端部から長手方向中央部に向かうに従い左右対称に連続的に徐々に膨らむ曲面をなす形状である。膨らむ方向はマニホールド（２６，４６）の非形成側である。そして、正クラウン型の曲面形状は、塗布剤（Ｒ）の吐出動作時にストレート型に弾性変形する形状とされる。

本発明によると、面倒な調整作業を必要とせず且つ簡単な装置構成で高精度な塗工を実現できるスリットダイ及びスリットダイコータが提供される。

図１は本発明に係る両面塗工装置を示す正面概略図、図２は本発明に係る第１スリットダイの正面一部断面図、図３は本発明に係る第１スリットダイの側面一部断面図、図４は本発明に係る第２スリットダイの正面一部断面図である。

図１に示すように、本発明に係る両面塗工装置１０は、基板送出部１、第１スリットダイ２、バックアップロール３、第２スリットダイ４、ローラ５、レジスト液供給部６、乾燥装置７及び基板巻取部８などを備え、搬送されたフィルム基板Ｗの第１面Ｗ１と第２面Ｗ２との両面にレジスト液Ｒを塗布して所定厚さのレジスト膜を形成するように構成される。これら各図において、直交座標系の３軸をＸ，Ｙ，Ｚとし、ＸＹ平面を水平面、Ｚ軸方向を鉛直方向とする。

基板送出部１は、回転駆動軸１１及び巻取体１２を備える。回転駆動軸１１は、巻取体１２を水平軸回りに回転駆動可能に軸支する構成とされる。巻取体１２は、レジスト液Ｒの塗布対象となるフィルム基板Ｗをロール状に巻き取ったものである。フィルム基板Ｗは、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）を材質とした長尺帯状の二軸延伸体からなる。

第１スリットダイ２は、例えばステンレス系の金属を材質とし、図２に示すように、塗工上流側（これから塗布されていく側）のバックアップリップ２１と、塗工下流側（既に塗布された側）のドクタ−リップ２２とが組み合わされてなる。バックアップリップ２１とドクタ−リップ２２とは、締結部材としてのボルト２３をねじ孔２４に挿入して締結することによって一体形に組み立てられる。その形状は、全体が横長の柱状をなし、内部には、レジスト液供給ポート２５、マニホールド２６及びランド２７が形成される。

レジスト液供給ポート２５は、レジスト液供給部６から供給されたレジスト液Ｒをマニホールド２６へ導く流路であり、一端側はマニホールド２６に連通し、他端側は配管接続用の雌ねじ穴２５１とされる。

マニホールド２６は、第１スリットダイ２の長手方向に沿って形成され、当該長手方向に垂直な平面で切った断面が略円形とされる。なお、この断面形状は略円形に限らず半円形などでもよい。マニホールド２６は、第１スリットダイ２の長手方向に上記断面形状をもって延長された液溜め空間である。その有効延長の長さは、塗布幅と同等か或いは若干長めにするのが一般的であり、レジスト液供給ポート２５から供給を受けたレジスト液Ｒをスリット幅方向（Ｙ方向）へ拡散させる機能を有する。

ランド２７は、マニホールド２６からフィルム基板Ｗへレジスト液Ｒを導く流路であり、一端はマニホールド２６に連通し、他端はスリット状に開口した開口部２７１とされる。ランド２７は、マニホールド２６と同様に、第１スリットダイ２の長手方向に方向にスリット状の断面形状をもって延長された通液空間である。開口部２７１の開口幅は、幅規制板２７２を用いて概ね塗布幅と同じ長さの幅になるように調整することができる。開口部２７１は、リップ端面２１１に形成され、レジスト液Ｒをスリット状に吐出する吐出口として機能する。

リップ端面２１１には逆クラウニング加工が施されており、第１スリットダイ２の長手方向に直交する方向から視たとき（すなわち前縁の側面視形状）、図３に示すように逆クラウン型とされる。ここで「逆クラウン型」とは、リップ端面２１１の長手方向両端部から長手方向中央部に向かうに従い左右対称に連続的に徐々に凹む曲面をなす形状である。凹む方向はマニホールド２６の形成側である。そして、逆クラウン型の曲面形状は、レジスト液Ｒの吐出動作時に、図３における基準線Ｌ０に示すようにストレート型に弾性変形する形状とされる。

更に具体的には、リップ端面２１１を第１スリットダイ２の長手方向に直交する方向（Ｘ方向）から視たときの輪郭形状が、マニホールド２６の側に中央で凸となる略２次曲線となるように加工される。この略２次曲線の頂部は、第１スリットダイ２がストレート型に変形したときのリップ端面２１１の輪郭線を基準線Ｌ０として、この基準線Ｌ０からマニホールド２６の側へ０．２μｍ〜２００μｍ離隔した位置Ｐ０にすることが好ましい。

第１スリットダイ２は、レジスト液Ｒの吐出方向が横向きとなるように開口部２７１を横向きにした配置とされる。

バックアップロール３は、フィルム基板Ｗを隔てて第１スリットダイ２と対向する位置に配置される。バックアップロール３が配置されるのは、第１スリットダイ２の対向位置のみであり、第２スリットダイ４の対向位置には、これに対応するものは何も配置されない。

第２スリットダイ４は、図４に示すように、第１スリットダイ２とほぼ同様な構成とされる。即ち、スリットダイ４におけるリップ端面４１１は、スリットダイ２のように、レジスト液Ｒの吐出動作時にストレート型に弾性変形するような逆クラウン型とされる。なお、これとは異なり次のように加工されているものでもよい。即ち、レジスト液Ｒの吐出時にリップ端面４１１が正クラウン型に変形するような加工である。正クラウン型に変形したとき、その略２次曲線の頂部は、第２スリットダイ４がストレート型であるとしたときのリップ端面４１１の輪郭線を基準線として、この基準線からマニホールド４６の非形成側へ０．１μｍ〜３ｍｍ離隔した位置になることが好ましい。また、第２スリットダイ４は、レジスト液Ｒの吐出方向が上向きとなるように開口部４７１を上向きにした配置とされる。このときリップ端面４１１はフィルム基板Ｗに接触する配置とされる。

第１スリットダイ２と第２スリットダイ４とは、フィルム基板Ｗの搬送経路に沿って、互いに離れたところに配置されており、フィルム基板Ｗの第１面Ｗ１への塗布と第２面Ｗ２への塗布は、両面塗工装置１０内の別々の位置で行われる。

レジスト液供給部６は、レジスト液タンク６１、ポンプ６２、制御バルブ６３及び配管６４などからなる。レジスト液タンク６１には、塗布剤であるレジスト液Ｒが充填されている。なお、レジスト液タンク６１内のレジスト液Ｒと、両面塗工装置１０の設置してある部屋の温度との差が０．３°Ｃ以内に管理されていることが好ましい。レジスト液タンク６１は、ポンプ６２及び制御バルブ６３を介して配管６４により、第１スリットダイ２及び第２スリットダイ４に接続される。

乾燥装置７は、チャンバー７１及びノズル群７２を備える。チャンバー７１は、両面塗布が終了したフィルム基板Ｗの入口７３及び出口７４を備える。ノズル群７２は、チャンバー内を通過するフィルム基板Ｗの上下にそれぞれ設けられた複数の温風吹き付けノズル７２１からなる。

基板巻取部８は、回転駆動軸８１及び軸芯体８２を備える。回転駆動軸８１は、軸芯体８２を回転駆動することで、両面塗布及び乾燥が終了したフィルム基板Ｗをリール状に巻き取る部位である。

次に、図５，６も参照して、以上のように構成された両面塗工装置１０による塗工動作について説明する。図５は本発明に係る第１スリットダイの作用効果を説明するための図である。図５（Ａ）はマニホールド２６にレジスト液Ｒを供給する前の第１スリットダイ２の形状を示し、図５（Ｂ）はマニホールド２６にレジスト液Ｒを供給した後（即ち、レジスト液Ｒの吐出時）の第１スリットダイ２の形状を示す。図６は本発明に係る第２スリットダイの作用効果を説明するための図である。図６（Ａ）はマニホールド４６にレジスト液Ｒを供給する前の第２スリットダイ４の形状を示し、図６（Ｂ）はマニホールド４６にレジスト液Ｒを供給した後の第２スリットダイ４の形状を示す。

フィルム基板Ｗは、回転駆動軸１１と回転駆動軸８１との回転速度を調整することによって、所定の張力を与えられた状態で一定の速度で搬送される。

最初に、第１スリットダイ２によって、フィルム基板Ｗの第１面Ｗ１にレジスト液Ｒが供給されて塗布される。フィルム基板Ｗは、第１面Ｗ１にレジスト液Ｒが塗布されるときには、バックアップロール３によって第２面Ｗ２が支持されている。フィルム基板Ｗは、バックアップロール３に押し当てられることによって、フィルム基板Ｗの第１面Ｗ１にレジスト液Ｒが一定の厚みで塗布される。

第１面Ｗ１へのレジスト液Ｒの塗布にあたり、レジスト液タンク６１内のレジスト液Ｒは、ポンプ６２、制御バルブ６３及び配管６４を介して、第１スリットダイ２のマニホールド２６に供給される。このとき第１スリットダイ２は、レジスト液Ｒの内圧により、長手方向中央部がマニホールド２６の非形成側に膨らむように弾性変形する。

ここで、第１スリットダイ２は、図５（Ａ）に示すように、逆クラウン型とされており、その具体的形状は、マニホールド２６に供給されたレジスト液Ｒによる内圧により、リップ端面２１１がストレート型に弾性変形される形状とされている。従って、塗布時において第１スリットダイ２は、図５（Ｂ）に示すようにストレート型に弾性変形し、リップ端面２１１は、第１スリットダイ２の長手方向全範囲についてフィルム基板Ｗの第１面Ｗ１に対して一定の間隙Ｄを保つことができる。これにより塗布精度の向上を図ることができる。

第１面Ｗ１にレジスト液Ｒが塗布されたフィルム基板Ｗは、未だレジスト液Ｒの塗布されていない第２面Ｗ２をローラ５によって支持されて搬送される。ローラ５に近接した位置には第２スリットダイ４が設けられており、フィルム基板Ｗの第２面Ｗ２にレジスト液Ｒが供給されて塗布される。

第２スリットダイ４による塗布時においても、第１スリットダイ２による塗布時と同様な理由で、リップ端面４１１はストレート型に弾性変形し（図６参照）、第２スリットダイ４とフィルム基板Ｗとは均一な押圧力で接触し、フィルム基板Ｗの幅方向Ｙの歪みを矯正し、或いは幅方向Ｙの張力を安定させ、高精度な塗工が可能になる。なお、第２スリットダイ４として、レジスト液Ｒの吐出時にリップ端面４１１が正クラウン型に変形するような加工を施したものを使用した場合は、吐出時にリップ端面４１１が正クラウン型に変形することにより、フィルム基板Ｗにおける幅方向中央部の押圧力が幅方向端部よりも増し、皺伸ばしの効果が顕著になる。

第１面Ｗ１と第２面Ｗ２とにレジスト液Ｒが塗布されたフィルム基板Ｗは、乾燥装置７に搬送され、入口７３からチャンバー７１内に搬入される。チャンバー７１内では、フィルム基板Ｗの第１面Ｗ１の上方及び第２面Ｗ２の下方から温風吹き付けノズル７２１が温風を吹き付けることで、両面に塗布されたレジスト液Ｒが乾燥する。そして乾燥した側（図１では左側部分）から順に出口７４より搬出される。

乾燥を終えたフィルム基板Ｗは、回転駆動軸８１の回転により軸芯体８２にロール状に巻き取られる。

なお、本形態では第１スリットダイ２及び第２スリットダイ４として逆クラウン型のみを示したが、マニホールド２６，４６にレジスト液Ｒを供給したときの本体の歪み特性に応じて、正クラウン型とすることもできる。ここで「正クラウン型」とは、第１スリットダイ２または第２スリットダイ４におけるリップ端面２１１，４１１の長手方向中央部分が、マニホールド２６，４６の反対側に膨らむ形状である。また、このようなリップ端面の弾性変形として、マニホールド内に供給された塗布剤の内圧に起因するものを記述したが、これに限らず、スリットダイの自重、スリットダイ自体の組み立て時における締結部材による締結力、スリットダイをスリットダイコータに組み付ける時における締結部材による締結力に起因するものも含むようにしてもよい。

以上、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上に開示した実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこの実施の形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、更に特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更を含むことが意図される。つまり両面塗工装置１０、第１スリットダイ２、第２スリットダイ４などの各部又は全体の構成、形状、寸法、材質、数量、動作のタイミングなどは、本発明の主旨に沿って上述した以外に適宜変更することができる。

本発明に係る両面塗工装置を示す正面概略図である。 本発明に係る第１スリットダイの正面一部断面図である。 本発明に係る第１スリットダイの側面一部断面図である。 本発明に係る第２スリットダイの正面一部断面図である。 本発明に係る第１スリットダイの作用効果を説明するための図である。 本発明に係る第２スリットダイの作用効果を説明するための図である。

符号の説明

２ 第１スリットダイ（スリットダイ）
３ バックアップロール
４ 第２スリットダイ（スリットダイ）
１０ 両面塗工装置（スリットダイコータ）
２６ マニホールド
４６ マニホールド
２１１ リップ端面
４１１ リップ端面
Ｄ 間隙
Ｒ レジスト液（塗布剤）
Ｗ フィルム基板（被塗布基材）

Claims (9)

1. 全体が横長の柱状をなし長手方向に沿ってマニホールド（２６，４６）が内部に形成され且つこのマニホールド（２６，４６）から供給された塗布剤（Ｒ）をスリット状に吐出するリップ端面（２１１，４１１）が前縁に形成されたスリットダイ（２，４）において、
   リップ端面（２１１，４１１）は、塗布剤（Ｒ）の吐出時にスリットダイ（２，４）自体の弾性撓み変形に起因する当該リップ端面（２１１，４１１）の平面度の不均一が相殺される形状に予め加工されたことを特徴とするスリットダイ。
2. 前記弾性撓み変形は、マニホールド（２６，４６）内に供給された塗布剤（Ｒ）の内圧、スリットダイ（２，４）の自重、及びスリットダイ（２，４）の組み立て時または組み付け時における締結部材による締結力の少なくとも一つに起因したものである請求項１に記載のスリットダイ。
3. 前記リップ端面（２１１，４１１）は、その長手方向両端部から長手方向中央部に向かうに従い左右対称に連続的にマニホールド（２６，４６）の形成側に向けて徐々に凹む曲面をなす逆クラウン型に加工された請求項１または請求項２に記載のスリットダイ。
4. 前記逆クラウン型の曲面形状は、塗布剤（Ｒ）の吐出動作時にストレート型に弾性変形する形状とされた請求項３に記載のスリットダイ。
5. 前記リップ端面（２１１，４１１）は、その長手方向両端部から長手方向中央部に向かうに従い左右対称に連続的にマニホールド（２６，４６）の非形成側に向けて徐々に膨らむ曲面をなす正クラウン型に加工された請求項１または請求項２に記載のスリットダイ。
6. 前記正クラウン型の曲面形状は、塗布剤（Ｒ）の吐出動作時にストレート型に弾性変形する形状とされた請求項５に記載のスリットダイ。
7. 全体が横長の柱状をなし長手方向に沿ってマニホールド（４６）が内部に形成され且つこのマニホールド（４６）から供給された塗布剤（Ｒ）をスリット状に吐出するリップ端面（４１１）が前縁に形成されたスリットダイ（４）において、
   リップ端面（４１１）は、塗布剤（Ｒ）の吐出時にその長手方向両端部から長手方向中央部に向かうに従い左右対称に連続的にマニホールド（４６）の非形成側に向けて徐々に膨らむ曲面をなす正クラウン型に変形するように予め加工されたことを特徴とするスリットダイ。
8. 請求項１から請求項６のいずれかに記載のスリットダイ（２）を構成要素として備え、スリットダイ（２）により被塗布基材（Ｗ）に塗布剤（Ｒ）を塗布するように構成されたスリットダイコータ（１０）であって、
   スリットダイ（２）のリップ端面（２１１）と被塗布基材（Ｗ）との間に所定の間隙（Ｄ）が形成されるように被塗布基材（Ｗ）を支持するバックアップロール（３）と、
   スリットダイ（２）と被塗布基材（Ｗ）とをスリットダイ（２）の長手方向に直交し且つ被塗布基材（Ｗ）に平行な方向に相対移動させる相対移動手段（１，８）と
   を備えることを特徴とするスリットダイコータ。
9. 請求項１から請求項７のいずれかに記載のスリットダイ（４）を構成要素として備え、スリットダイ（４）により被塗布基材（Ｗ）に塗布剤（Ｒ）を塗布するように構成されたスリットダイコータ（１０）であって、
   スリットダイ（４）のリップ端面（４１１）と被塗布基材（Ｗ）とが接触するように構成され、
   スリットダイ（４）と被塗布基材（Ｗ）とをスリットダイ（４）の長手方向に直交し且つ被塗布基材（Ｗ）に平行な方向に相対移動させる相対移動手段（１，８）
   を備えることを特徴とするスリットダイコータ。

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