KR20090093810A - 슬릿다이 및 도공장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 번거로운 조정작업을 필요로 하지 않고 또한 간단한 장치구성으로 고정밀도의 도공을 구현할 수 있는 슬릿다이 및 도공장치를 제공하고자 하는 것으로서, 전체가 가로로 긴 기둥 모양을 이루고 길이방향을 따라 매니폴드(26, 46)가 내부에 형성되고 또한 이 매니폴드(26, 46)에 공급되는 도포제(R)를 슬릿 모양으로 토출하는 립단면(211, 411)이 앞쪽 가장자리에 형성된 슬릿다이(2, 4)에 있어서, 립단면(211, 411)이 도포제(R)의 토출시에 발생하는 슬릿다이(2, 4) 자체의 탄성변형에 기인하는 당해 립단면(211, 411)의 평면도에 있어서의 불균일이 상쇄되는 형상으로 미리 가공되어 있다.

Description

슬릿다이 및 도공장치{SLIT DIE AND COATING DEVICE}

본 발명은 슬릿다이(slit die) 및 그 슬릿다이를 구비한 도공장치(塗工裝置)에 관한 것이다.

슬릿다이는, 전체가 가로로 긴 기둥 모양을 이루고 길이방향을 따라 내부에 매니폴드(manifold)가 형성되어 있다. 또한 이 매니폴드에 공급되는 도포제(塗布劑)를 슬릿 모양으로 토출(吐出)하는 립단면(lip端面)이 앞쪽 가장자리에 형성되어 있다. 이러한 슬릿다이를 사용하여 피도포 기재에 도공을 하는 도공장치에는, 백업롤(backup-roll)을 구비하는 타입과 백업롤을 구비하지 않는 타입이 있다.

백업롤을 구비하는 타입의 도공장치에서는, 립단면과 피도포 기재 사이에 소정의 틈을 형성한 상태에서, 도포제를 슬릿 모양으로 토출함으로써 도공을 한다. 또한 백업롤을 구비하지 않는 타입의 도공장치에서는, 립단면과 피도포 기재를 접촉시킨 상태에서 도포제를 슬릿 모양으로 토출함으로써 도공을 한다.

상기 슬릿다이에 있어서는, 매니폴드 내에 공급되는 도포제의 내압(耐壓)에 의하여 그 본체에 만곡(彎曲) 등의 왜곡이 발생하여 립단면이 탄성변형 한다. 그 변형은, 일반적으로는 립단면에 있어서의 슬릿다이의 길이방향의 중앙부가, 매니폴드와는 반대측 즉 피도포 기재의 측으로 팽창하는 모양이 된다. 또, 이러한 립단면의 탄성변형은, 매니폴드 내에 공급된 도포제의 내압에 기인하는 것으로 한정되지 않고, 슬릿다이의 자체 중량 및 슬릿다이의 조립 또는 부착 시에 있어서의 체결부재에 의한 체결력에 기인하는 경우도 있다.

상기한 백업롤을 구비하는 타입의 도공장치로 도공을 하는 경우에는, 립단면이 상기 변형을 일으킴으로써 립단면과 피도포 기재 사이의 틈이 일정하지 않게 되어, 형성되는 도포막이 불균일 하게 된다. 또한 백업롤을 구비하지 않는 타입의 도공장치로 도공을 하는 경우에는, 립단면이 상기 변형을 일으킴으로써 립단면과 피도포 기재가 불균일한 압력 하에서 접촉하게 되어, 피도포 기재의 폭방향으로 왜곡이 발생하거나 폭방향의 장력이 안정되지 않게 되거나 한다. 그 결과, 형성되는 도포막이 불균일 하게 된다.

이러한 불량을 해결할 수 있는 기술로서, 예를 들면 특허문헌1에 기재된 기술을 들 수 있다. 그러한 기술은, 선단립과는 반대측의 다이 배면부와, 이 다이 배면부와 대면하는 설치대 지지부 사이에 나사부재를 설치하고, 나사부재에 의하여 다이 배면부와 설치대 지지부를 이간(離間) 또는 접근(接近)시켜서 선단립과 피도포 기재 사이의 틈을 제어하는 것이다.

특허문헌1 일본국 공개특허 특개2004-321915호 공보

그러나 특허문헌1의 기술에서는, 다이 배면부와 이 다이 배면부와 대면하는 설치대 지지부 사이에 나사부재를 설치할 필요가 있으므로, 부품수가 많게 되어 장치구조가 복잡하게 됨과 아울러 조정작업이 번거롭다고 하는 문제가 있었다. 본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 번거로운 조정작업을 필요로 하지 않고 또한 간단한 장치구성으로 고정밀도의 도공을 구현할 수 있는 슬릿다이 및 도공장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적은 하기의 본 발명에 의하여 달성된다. 「특허청구범위」 및 「과제해결수단」의 설명에 있어서 각 구성요소에 붙인 괄호 안의 부호는, 후술하는 실시예에 기재된 구체적 수단과의 대응 관계를 나타내는 것이다.

청구항1의 발명은, 전체가 가로로 긴 기둥 모양을 이루고 길이방향을 따라 매니폴드(26, 46)가 내부에 형성되고 또한 이 매니폴드(26, 46)에 공급되는 도포제(R)를 슬릿 모양으로 토출하는 립단면(211, 411)이 앞쪽 가장자리에 형성된 슬릿다이(2, 4)에 있어서, 립단면(211, 411)이 도포제(R)의 토출 시에 슬릿다이(2, 4) 자체의 탄성변형에 기인하는 당해 립단면(211, 411)의 평면도의 불균일이 상쇄되는 형상으로 미리 가공되는 것을 특징으로 한다.

청구항2의 발명에 의하면, 상기 탄성변형은, 매니폴드(26, 46) 내에 공급되는 도포제(R)의 내압, 슬릿다이(2, 4)의 자체 중량 및 슬릿다이(2, 4)의 조립 또는 부착 시에 있어서의 체결부재에 의한 체결력의 적어도 1개에 기인하는 것이다.

청구항3의 발명에서는, 슬릿다이(2, 4)에 있어서의 상기 립단면(211, 411)이, 그 길이방향 양단부에서 길이방향 중앙부를 향하여 연속적으로 매니폴드(26, 46) 측으로 서서히 들어가는 곡면을 이루는 역크라운 형상으로 미리 가공되어 있다.

그리고 청구항4의 발명에서는, 상기 역크라운 형상이, 도포제(R)의 토출동작 시에 탄성변형 하여 스트레이트 형상으로 탄성변형 된다.

또한 청구항5의 발명에서는, 슬릿다이(2, 4)에 있어서의 상기 립단면(211, 411)이, 그 길이방향 양단부에서 길이방향 중앙부를 향하여 연속적으로 매니폴드(26, 46)와는 반대측으로 서서히 팽창하는 곡면을 이루는 정크라운 형상으로 미리 가공되어 있다.

청구항6의 발명에서는, 상기 정크라운 형상이, 도포제(R)의 토출동작 시에 탄성변형 하여 스트레이트 형상으로 된다.

청구항7의 발명은, 전체가 가로로 긴 기둥 모양을 이루고 길이방향을 따라 매니폴드(46)가 내부에 형성되고 또한 이 매니폴드(46)에 공급되는 도포제(R)를 슬릿 모양으로 토출하는 립단면(411)이 앞쪽 가장자리에 형성된 슬릿다이(4)에 있어서, 립단면(411)이 도포제(R)의 토출 시에 탄성변형 하고, 그 길이방향 양단부에서 길이방향 중앙부를 향하여 연속적으로 매니폴드(46)와는 반대측으로 서서히 팽창하는 곡면을 이루는 정크라운 형상으로 되는 것을 특징으로 한다.

청구항8의 발명은, 청구항1에서부터 청구항6 중의 어느 한 항의 슬릿다이(2)를 구비하고 슬릿다이(2)에 의하여 피도포 기재(W)에 도포제(R)를 도포하도록 구성된 도공장치(10)로서, 슬릿다이(2)의 립단면(211)과 피도포 기재(W) 사이에 소정의 틈(D)을 형성하여 피도포 기재(W)를 지지하는 백업롤(3)을 더 갖춘 것을 특징으로 한다.

청구항9의 발명은, 청구항1에서부터 청구항7 중의 어느 한 항의 슬릿다이(4)를 구비하고 슬릿다이(4)에 의하여 피도포 기재(W)에 도포제(R)를 도포하도록 구성된 도공장치(10)로서, 슬릿다이(4)의 립단면(411)과 피도포 기재(W)가 접촉하도록 구성된 것을 특징으로 한다.

슬릿다이(2, 4)와 이것과 대향하도록 배치되는 피도포 기재(W) 사이의 틈(D)은, 최근의 측정기술 및 시뮬레이션 기술에 의하여 용이하고 또한 정확하게 예측 가능하게 되어 있다. 본 발명에서는, 도공 중에 발생하는 상기 틈(D)의 불균일한 수치 만큼을 슬릿다이의 가공에 반영시켜, 다이 선단인 립단면(211, 411)에 상기 역크라운 가공 또는 상기 정크라운 가공을 미리 실시하여 보정하도록 하고 있다.

슬릿다이(2)와 백업롤(3)을 구비하는 타입의 도공장치에서는, 립단면(211)과 피도포 기재(W) 사이에 소정의 틈(D)을 형성한 상태에서, 도포제(R)를 슬릿 모양으로 토출함으로써 도공을 한다. 본 발명의 슬릿다이 (2)에서는, 립단면(211)은, 도포제(R)의 토출 시에 슬릿다이(2) 자체의 탄성변형에 기인하는 당해 립단면(211)의 평면도의 불균일이 상쇄되는 형상으로 미리 가공되어 있다. 따라서 실제의 도공 시에 있어서, 립단면(211)과 이것과 대향하는 피도포 기재(W) 사이의 틈(D)을 일정하게 유지할 수 있으므로, 고정밀도의 도공을 구현할 수 있다. 본 발명에서는, 립단면(211)과 이것과 대향하는 피도포 기재(W) 사이의 틈(D)을 일정하게 유지하는 데에 있어서, 종래기술과는 달리, 슬릿다이(2) 자체에 나사부재를 설치할 필요가 없고 또한 그 나사부재에 의한 조정을 할 필요도 없다. 즉, 번거로운 조정작업을 필요로 하지 않고 또한 간단한 장치구성에 의하여 고정밀도의 도공을 구현할 수 있다.

한편 슬릿다이(4) 만을 구비할 뿐 백업롤(3)을 구비하지 않는 타입의 도공장치에서는, 립단면(411)과 피도포 기재(W)를 접촉시킨 상태에서, 도포제(R)를 슬릿 모양으로 토출함으로써 도공을 한다. 본 발명의 슬릿다이(4)에서는, 립단면(411)은, 도포제(R)의 토출 시에 슬릿다이(4) 자체의 탄성변형에 기인하는 당해 립단면(411)의 평면도의 불균일이 상쇄되는 형상으로 미리 가공되어 있다. 따라서 실제의 도공 시에 있어서, 슬릿다이(4)와 피도포 기재(W)는 균일한 압력 하에서 접촉하여 피도포 기재(W)의 폭방향(Y)의 왜곡을 교정하거나 또는 폭방향(Y)의 장력을 안정시켜, 고정밀도의 도공이 가능하게 된다.

또한 슬릿다이(4) 만을 구비하고 백업롤(3)을 구비하지 않는 타입의 도공장치에 있어서는, 슬릿다이(4)의 립단면(411)이 도포제(R)의 토출 시에 탄성변형 하고, 그 길이방향 양단부에서 길이방향 중앙부를 향하여 연속적으로 매니폴드(46)와는 반대측으로 서서히 팽창하는 곡면을 이루는 정크라운 형상으로 되는 것과 같은 슬릿다이를 사용하는 것도 가능하고, 정크라운 형상으로 변형함으로써 피도포 기재(W)에 있어서의 폭방향 중앙부의 압력이 폭방향 단부보다 늘어나서, 주름 펴기의 효과가 현저해진다.

상기 탄성변형은, 매니폴드(26, 46) 내에 공급되는 도포제(R)의 내압, 슬릿다이(2, 4)의 자체 중량 및 슬릿다이(2, 4)의 조립 시 또는 조립시의 체결력의 적어도 1개에 기인한 것이 포함된다.

립단면(211, 411)의 가공형상은, 역크라운 형상 또는 정크라운 형상인 것이 바람직하다. 역크라운 형상이라 함은, 립단면(211, 411)의 길이방향 양단부에서 길이방향 중앙부를 향하여 연속적으로 서서히 들어가는 곡면을 이루는 형상이다. 들어가는 방향은 매니폴드(26, 46)의 형성 측이다. 그리고 이 역크라운 형상의 곡면형상은, 도포제(R)의 토출동작 시에 스트레이트 형상으로 탄성변형 하는 것이다.

정크라운 형상이라 함은, 립단면(211, 411)이 그 길이방향 양단부에서 길이방향 중앙부를 향하여 연속적으로 서서히 팽창하는 곡면을 이루는 형상이다. 팽창하는 방향은 매니폴드(26, 46)의 반대측이다. 그리고 이 정크라운 형상의 곡면형상은, 도포제(R)의 토출동작 시에 스트레이트 형상으로 탄성변형 하는 것이다.

본 발명에 의하면, 번거로운 조정작업을 필요로 하지 않고 또한 간단한 장치구성으로 고정밀도의 도공을 구현할 수 있는 슬릿다이 및 도공장치가 제공된다.

도1은, 본 발명에 관한 도공장치를 나타내는 정면 개략도이다.

도2는 본 발명에 관한 제1슬릿다이의 횡단면도이다.

도3은 본 발명에 관한 제1슬릿다이의 길이방향 단면도이다.

도4는 본 발명에 관한 제2슬릿다이의 횡단면도이다.

도5는, 본 발명에 관한 제1슬릿다이의 작용효과를 설명하기 위한 길이방향을 나타내는 도면이다.

도6은, 본 발명에 관한 제2슬릿다이의 작용효과를 설명하기 위한 길이방향을 나타내는 도면이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

2 제1슬릿다이(슬릿다이) 3 백업롤

4 제2슬릿다이(슬릿다이) 10 도공장치

26 매니폴드 46 매니폴드

211 립단면 411 립단면

D　틈 R　레지스트액(도포제）

W　필름 기판(피도포 기재)

도1은 본 발명에 관한 도공장치(10)를 나타내는 정면 개략도, 도2는 본 발명에 관한 제1슬릿다이의 정면 일부 단면도, 도3은 본 발명에 관한 제1슬릿다이의 측면 일부 단면도, 도4는 본 발명에 관한 제2슬릿다이의 정면 일부 단면도이다.

도1에 나타나 있는 바와 같이 본 발명에 관한 도공장치(10)는, 기판 송출부(1), 제1슬릿다이(2), 백업롤(3), 제2슬릿다이(4), 롤러(5), 레지스트액(도포제R) 공급부(6), 건조장치(7) 및 기판 권취부(8) 등을 구비하고, 반송된 필름 기판(W)의 제1면(W1)과 제2면(W2)의 양면에 레지스트액(R)을 도포하여 소정의 두께의 레지스트막을 형성하도록 구성된다. 이들 각 도면에 있어서, 직교 좌표계의 3축을 X, Y, Z로 하여 ＸＹ평면을 수평면, Z축방향을 연직방향으로 한다.

기판 송출부(1)는, 회전 구동축(11) 및 권취체(12)를 구비한다. 회전 구동축(11)은, 권취체(12)를 수평축을 중심으로 하여 회전구동 가능하게 축지(軸支)하는 구성으로 한다. 권취체(12)는, 레지스트액(R)의 도포대상이 되는 필름 기판(W)을 롤 모양으로 마는 것이다. 필름 기판(W)은, 예를 들면 ＰＥＴ(폴리에틸렌 테레프탈레이트)을 재질로 하는 긴 띠 모양의 2축 연장체(2軸 延長體)로 이루어진다.

제1슬릿다이(2)는 예를 들면 스테인레스 계의 금속을 재질로 하여, 도2에 나타나 있는 바와 같이 도공 상류측(도포하려고 하는 측)의 백업립(backup lip)(21)과, 도공 하류측(이미 도포된 측)의 독터립(doctor lip)(22)이 짝을 이루어 이루어진다. 백업립(21)과 독터립(22)은, 체결부재로서의 볼트(23)를 나사 구멍(24)에 삽입하여 체결함으로써 일체형으로 조립할 수 있다. 그 형상은, 전체가 가로로 긴 기둥 모양을 하고 내부에는 레지스트액 공급 포트(25), 매니폴드(26) 및 랜드(27)가 형성된다.

레지스트액 공급 포트(25)는, 레지스트액 공급부(6)로부터 공급되는 레지스트액(R)을 매니폴드(26)로 유도하는 유로(流路)로서, 일단측은 매니폴드(26)로 통하고, 타단측은 배관 접속용의 너트 구멍(251)으로 가공되어 있다.

매니폴드(26)는, 제1슬릿다이(2)의 길이방향을 따라 형성되고, 당해 길이방향과 수직인 평면으로 자른 단면이 대략 원형이다. 여기에서 이 단면 형상은 대략 원형으로 한정되지 않고 반원형 등이라도 좋다. 매니폴드(26)는, 제1슬릿다이(2)의 길이방향으로 상기 단면 형상을 가지고 연장되는 액체 저장공간이다. 그 유효연장의 길이는, 도포폭과 동등하거나 또는 약간 길게 하는 것이 일반적이고, 레지스트액 공급 포트(25)로부터 공급을 받은 레지스트액(R)을 슬릿 폭방향(Y방향)으로 확산시키는 기능을 구비한다.

랜드(27)는, 매니폴드(26)로부터 필름 기판(W)으로 레지스트액(R)을 유도하는 유로로서, 일단은 매니폴드(26)로 통하고, 타단은 슬릿 모양으로 개구한 개구부(271)가 된다. 랜드(27)는, 매니폴드(26)와 마찬가지로, 제1슬릿다이(2)의 길이방향으로 슬릿 모양의 단면 형상을 가지면서 연장된 통액공간(通液空間)이다. 개구부(271)의 개구폭은, 폭제한판(幅制限板)(272)(도3참조)을 사용하여 대강 도포폭과 같은 길이의 폭이 되도록 조정할 수 있다. 개구부(271)는, 립단면(211)에 형성되어 레지스트액(R)을 슬릿 모양으로 토출하는 토출구(吐出口)로서 기능한다.

립단면(211)에는 미리 역크라운 가공이 실시되어 있어, 제1슬릿다이(2)의 길이방향과 직교하는 방향에서 볼 때(즉 앞쪽 가장자리의 측면에서 볼 때의 형상)에 도3에 나타나 있는 바와 같이 역크라운 형상으로 되어 있다. 여기에서 「역크라운 형상」이라 함은, 립단면(211)의 길이방향 양단부에서 길이방향 중앙부를 향하여 연속적으로 서서히 들어가는 곡면을 이루는 형상이다. 들어가는 방향은 매니폴드(26)가 형성된 측이다. 그리고 역크라운 형상의 곡면 형상은, 레지스트액(R)의 토출동작 시에, 도3에 있어서의 기준선(L0)으로 나타나 있는 바와 같이 스트레이트 형상으로 탄성변형 한다.

더 구체적으로는, 립단면(211)을 제1슬릿다이(2)의 길이방향과 직교하는 방향(X방향)에서 본 때의 윤곽 형상이, 매니폴드(26)의 측에 중앙에서 볼록이 되는 대략 2차곡선이 되도록 가공된다. 이러한 대략 2차곡선의 정상부는, 제1슬릿다이(2)가 스트레이트 형상으로 변형했을 때의 립단면(211)의 윤곽선을 기준선(L0)으로 하여, 이 기준선(L0)으로부터 매니폴드(26)의 측으로 0.2μm∼200μm의 범위 내에서 적절하게 격리된 위치(P0)로 하는 것이 바람직하다.

제1슬릿다이(2)는, 레지스트액(R)의 토출방향이 가로방향이 되도록 개구부(271)를 가로방향으로 한 배치이다.

백업롤(3)은, 필름 기판(W)을 사이에 두고 제1슬릿다이(2)와 대향하는 위치에 배치된다. 백업롤(3)이 배치되는 것은, 제1슬릿다이(2)와 대향하는 위치 뿐이고 제2슬릿다이(4)의 대향위치에는 이에 대응하는 것은 아무것도 배치되지 않는다.

제2슬릿다이(4)는, 도4에 나타나 있는 바와 같이 제1슬릿다이(2)와 대략 같은 구성으로 된다. 즉 슬릿다이(4)에 있어서의 립단면(411)은, 제1슬릿다이(2)와 같이, 레지스트액(R)의 토출동작 시에 스트레이트 형상으로 탄성변형 하도록 역크라운 가공이 미리 실시되어 있다. 또, 이와는 달리 다음과 같이 가공되는 경우도 있다. 즉 레지스트액(R)의 토출시에 립단면(411)이 정크라운 형상으로 변형하도록 스트레이트 형상으로 가공해 둔다. 정크라운 형상으로 변형했을 때에, 그러한 대략 2차곡선의 정상부는, 제2슬릿다이(4)가 스트레이트 형상으로 되었을 때의 립단면(411)의 윤곽선을 기준선으로 하여, 이 기준선으로부터 매니폴드(46)와는 반대측으로 0.1μm∼3mm 격리된 위치가 되는 것이 바람직하다. 또한 제2슬릿다이(4)는, 레지스트액(R)의 토출방향이 위를 향하도록 개구부(471)를 상방을 향하게 하는 배치로 한다. 이 때에 립단면(411)은 필름 기판(W)에 접촉하는 배치로 한다.

제1슬릿다이(2)와 제2슬릿다이(4)는, 필름 기판(W)의 반송경로를 따라 서로 떨어진 곳에 배치되어 있고, 필름 기판(W)의 제1면(W1)에 대한 도포와 제2면(W2)에 대한 도포는, 도공장치(10) 내에서 각각의 위치에서 이루어진다.

레지스트액 공급부(6)는, 레지스트액 탱크(61), 펌프(62), 제어 밸브(63) 및 배관(64) 등으로 이루어진다. 레지스트액 탱크(61)에는 도포제인 레지스트액(R)이 충전(充塡)되어 있다. 여기에서 레지스트액(R)이 충전되어 있는 레지스트액 탱크(61)의 내부와 도공장치(10)가 설치되어 있는 장소와의 온도차이가 0.3°C 이내로 관리되어 있는 것이 바람직하다. 레지스트액 탱크(61)는, 펌프(62) 및 제어 밸브(63)를 통하여 배관(64)에 의하여 제1슬릿다이(2) 및 제2슬릿다이(4)에 접속된다.

건조장치(7)는, 챔버(71) 및 노즐군(nozzle群)(72)을 구비한다. 챔버(71)는, 양면 도포가 종료된 필름 기판(W)의 입구(73) 및 출구(74)를 구비한다. 노즐군(72)은, 챔버 내를 통과하는 필름 기판(W)의 상하에 각각 설치된 복수의 온풍 분사 노즐(721)로 이루어진다.

기판 권취부(8)는, 회전 구동축(81) 및 축심체(82)를 구비한다. 회전 구동축(81)은, 축심체(82)를 회전구동 함으로써 양면 도포 및 건조가 종료된 필름 기판(W)을 릴 모양으로 감는 부재이다.

다음에 도5, 6도 참조하여 이상과 같이 구성된 도공장치(10)에 의한 도공동작에 대하여 설명한다. 도5는 본 발명에 관한 제1슬릿다이의 작용효과를 설명하기 위한 도면이다. 도5(A)는 매니폴드(26)에 레지스트액(R)을 공급하기 전의 제1슬릿다이(2)의 형상을 나타내고, 도5(B)는 매니폴드(26)에 레지스트액(R)을 공급한 후(즉 레지스트액(R)의 토출 시)의 제1슬릿다이(2)의 형상을 나타낸다. 도6은 본 발명에 관한 제2슬릿다이의 작용효과를 설명하기 위한 도면이다. 도6(A)는 매니폴드(46)에 레지스트액(R)을 공급하기 전의 제2슬릿다이(4)의 형상을 나타내고, 도6(B)은 매니폴드(46)에 레지스트액(R)을 공급한 후의 제2슬릿다이(4)의 형상을 나타낸다.

필름 기판(W)은 회전 구동축(11)과 회전 구동축(81)의 회전속도를 조정함으로써, 소정의 장력이 주어진 상태에서 일정한 속도로 반송된다.

먼저, 제1슬릿다이(2)에 의하여 필름 기판(W)의 제1면(W1)에 레지스트액(R)이 공급되어서 도포된다. 필름 기판(W)은, 제1면(W1)에 레지스트액(R)이 도포될 때에는 백업롤(3)에 의하여 제2면(W2)이 지지되어 있다. 필름 기판(W)은, 백업롤(3)에 의하여 가압됨으로써 필름 기판(W)의 제1면(W1)에 레지스트액(R)이 일정한 두께로 도포된다.

제1면(W1)에 대한 레지스트액(R)의 도포에 있어서, 레지스트액 탱크(61) 내의 레지스트액(R)은, 펌프(62), 제어 밸브(63) 및 배관(64)을 통하여 제1슬릿다이(2)의 매니폴드(26)에 공급된다. 이 때에 제1슬릿다이(2)는, 레지스트액(R)의 내압에 의하여 길이방향 중앙부가 매니폴드(26)와는 반대측으로 팽창하도록 탄성변형 하여 스트레이트 형상으로 된다.

여기에서 제1슬릿다이(2)는, 도5(A)에 나타나 있는 바와 같이 매니폴드(26)에 공급된 레지스트액(R)에 의한 내압에 의하여 립단면(211)이 스트레이트 형상으로 탄성변형 하도록 역크라운 형상으로 되어 있다. 따라서 도포 시에 있어서 제1슬릿다이(2)는, 도5(B)에 나타나 있는 바와 같이 스트레이트 형상으로 탄성변형 하고, 립단면(211)은, 제1슬릿다이(2)의 길이방향 전 범위에 대하여 필름 기판(W)의 제1면(W1)에 대하여 일정한 틈(D)을 유지할 수 있다. 이에 따라 도포 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.

제1면(W1)에 레지스트액(R)이 도포된 필름 기판(W)은, 아직 레지스트액(R)의 도포되어 있지 않은 제2면(W2)이 롤러(5)에 의하여 지지되어서 반송된다. 롤러(5)에 근접한 위치에는 제2슬릿다이(4)가 설치되어 있고, 필름 기판(W)의 제2면(W2)에 레지스트액(R)이 공급되어서 도포된다.

제2슬릿다이(4)에 의한 도포 시에 있어서도, 제1슬릿다이(2)에 의한 도포 시와 마찬가지의 이유에서, 립단면(411)은 스트레이트 형상으로 탄성변형 하여(도6 참조), 제2슬릿다이(4)와 필름 기판(W)은 균일한 압력으로 접촉하고, 필름 기판(W)의 폭방향(Y)의 비뚤어짐을 교정하거나 또는 폭방향(Y)의 장력을 안정시켜서 고정밀도의 도공이 가능하게 된다. 또한 제2슬릿다이(4)로서, 레지스트액(R)의 토출시에 립단면(411)이 정크라운 형상으로 변형하도록 가공(스트레이트 형상)을 실시한 것을 사용하였을 경우에는, 토출시에 립단면(411)이 정크라운 형상으로 변형함으로써 필름 기판(W)에 있어서의 폭방향 중앙부의 압력이 폭방향 단부보다 커져서 주름 펴기의 효과가 현저해진다.

제1면(W1)과 제2면(W2)에 대하여 레지스트액(R)이 도포된 필름 기판(W)은 건조장치(7)로 반송되어, 입구(73)로부터 챔버(71) 내로 반입된다. 챔버(71) 내에서는 필름 기판(W)의 제1면(W1)의 상방 및 제2면(W2)의 하방으로부터 온풍 분사 노즐(721)이 온풍을 분사함으로써 양면에 도포된 레지스트액(R)이 건조된다. 그리고 건조된 측(도1에서는 좌측 부분)으로부터 순서대로 출구(74)로부터 반출된다.

건조를 끝낸 필름 기판(W)은, 회전 구동축(81)의 회전에 의하여 축심체(82)에 롤 모양으로 감겨진다.

본 발명의 실시예에서는 제1슬릿다이(2) 및 제2슬릿다이(4)의 립단면(211, 411)을 미리 가공하여 두는 형상을 역크라운 형상 만으로 하였지만, 매니폴드(26, 46)에 레지스트액(R)을 공급했을 때의 본체의 왜곡특성에 따라 정크라운 형상으로 할 수도 있다. 여기에서 「정크라운 형상」이라고 함은, 제1슬릿다이(2) 또는 제2슬릿다이(4)에 있어서의 립단면(211, 411)의 길이방향 중앙부분이, 매니폴드(26, 46)와는 반대측으로 팽창되는 형상으로서, 이러한 정역크라운 형상의 곡면 형상은 레지스트액(R)의 토출동작 시에 스트레이트 형상으로 탄성변형 한다.

이러한 슬릿다이의 립단면에 있어서의 탄성변형은, 매니폴드 내에 공급되는 도포제의 내압에 기인할 뿐만 아니라, 슬릿다이의 자체 중량, 슬릿다이 자체의 조립 시에 있어서의 체결부재에 의한 체결력, 슬릿다이를 슬릿다이코터에 조립할 때에 있어서의 체결부재에 의한 체결력에 기인하는 경우도 있다.

이상, 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였지만, 상기에서 개시한 실시예는 어디까지나 하나의 예시로서, 본 발명의 범위는 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 범위는, 특허청구범위의 기재에 의하여 나타나 있고 또한 특허청구범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경을 포함한다. 즉, 도공장치(10), 제1슬릿다이(2), 제2슬릿다이(4) 등의 각 부재 또는 전체의 구성, 형상, 치수, 재질, 수량, 동작의 타이밍 등은, 본 발명의 취지에 따라 상기한 이외에 적절하게 변경할 수 있다.

Claims (9)

1. 전체가 가로로 긴 기둥 모양을 이루고 길이방향을 따라 매니폴드(26, 46)가 내부에 형성되고 또한 이 매니폴드(26, 46)에 공급되는 도포제(R)를 슬릿 모양으로 토출하는 립단면(211, 411)이 앞쪽 가장자리에 형성된 슬릿다이(2, 4)에 있어서,

   립단면(211, 411)이, 도포제(R)의 토출시에 발생하는 슬릿다이(2, 4) 자체의 탄성변형에 기인하는 당해 립단면(211, 411)의 평면도의 불균일이 상쇄되는 형상으로 미리 가공되는 것을 특징으로 하는 슬릿다이.
2. 제1항에 있어서,

   상기 탄성변형은, 매니폴드(26, 46) 내에 공급되는 도포제(R)의 내압, 슬릿다이(2, 4)의 자체 중량 및 슬릿다이(2, 4)의 조립 시 또는 조립 시에 있어서의 체결부재에 의한 체결력의 적어도 1개에 기인한 것을 특징으로 하는 슬릿다이.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 립단면(211, 411)이, 그 길이방향 양단부에서 길이방향 중앙부를 향하여 연속적으로 매니폴드(26, 46) 측으로 서서히 들어가는 곡면을 이루는 역크라운 형상으로 미리 가공되어 있는 것을 특징으로 하는 슬릿다이.
4. 제3항에 있어서,

   상기 역크라운 형상이, 도포제(R)의 토출동작 시에 탄성변형 하여 스트레이트 형상으로 되는 것을 특징으로 하는 슬릿다이.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 립단면(211, 411)이, 그 길이방향 양단부에서 길이방향 중앙부를 향하여 연속적으로 매니폴드(26, 46)와는 반대측으로 서서히 팽창하는 곡면을 이루는 정크라운 형상으로 미리 가공되어 있는 것을 특징으로 하는 슬릿다이.
6. 제5항에 있어서,

   상기 정크라운 형상이, 도포제(R)의 토출동작 시에 탄성변형 하여 스트레이트 형상으로 되는 것을 특징으로 하는 슬릿다이.
7. 전체가 가로로 긴 기둥 모양을 이루고 길이방향을 따라 매니폴드(46)가 내부에 형성되고 또한 이 매니폴드(46)에 공급되는 도포제(R)를 슬릿 모양으로 토출하는 립단면(411)이 앞쪽 가장자리에 형성된 슬릿다이(4)에 있어서,

   립단면(411)이, 도포제(R)의 토출시에 탄성변형 하여 그 길이방향 양단부에서 길이방향 중앙부를 향하여 연속적으로 매니폴드(46)와는 반대측으로 서서히 팽창하는 곡면을 이루는 정크라운 형상으로 되는 것을 특징으로 하는 슬릿다이.
8. 제1항에서부터 제6항 중의 어느 하나의 슬릿다이(2)를 구비하고, 슬릿다이(2)에 의하여 피도포 기재(W)에 도포제(R)를 도포하도록 구성된 도공장치(塗工裝置)(10)로서,

   슬릿다이(2)의 립단면(211)과 피도포 기재(W) 사이에 소정의 틈(D)을 형성하고 피도포 기재(W)를 지지하는 백업롤(3)을 더 구비한 것을 특징으로 하는 도공장치.
9. 제1항에서부터 제7항 중의 어느 하나의 슬릿다이(4)를 구비하고 슬릿다이(4)에 의하여 피도포 기재(W)에 도포제(R)를 도포하도록 구성된 도공장치(10)로서,

   슬릿다이(4)의 립단면(411)과 피도포 기재(W)가 접촉하도록 구성된 것을 특징으로 하는 도공장치.