KR102452819B1 - 회전형 슬롯 다이 헤드 - Google Patents

회전형 슬롯 다이 헤드 Download PDF

Info

Publication number
KR102452819B1
KR102452819B1 KR1020210061835A KR20210061835A KR102452819B1 KR 102452819 B1 KR102452819 B1 KR 102452819B1 KR 1020210061835 A KR1020210061835 A KR 1020210061835A KR 20210061835 A KR20210061835 A KR 20210061835A KR 102452819 B1 KR102452819 B1 KR 102452819B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
head
slot die
die head
coating
coupled
Prior art date
Application number
KR1020210061835A
Other languages
English (en)
Inventor
박종운
김기은
Original Assignee
한국기술교육대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국기술교육대학교 산학협력단 filed Critical 한국기술교육대학교 산학협력단
Priority to KR1020210061835A priority Critical patent/KR102452819B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102452819B1 publication Critical patent/KR102452819B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like

Abstract

제1 본체와 제2 본체가 결합하여 헤드 립부재를 형성하고, 상기 제1 본체와 제2 본체 사이에 코팅부가 결합되어 코팅액이 토출되는 슬롯 다이 헤드에 있어서, 상기 헤드 립부재는, 등간격으로 분할된 형태의 복수 개의 헤드 립을 포함하고, 상기 코팅부는, 상기 헤드 립의 하단부로부터 돌출되는 마이크로 팁을 포함하는 메니스커스 가이드부재와, 슬릿채널이 형성된 심부재의 결합으로 구비되고, 인쇄하고자 하는 패턴의 선폭에 따라 슬롯 다이 헤드는 피인쇄체의 이동방향에 대해 소정의 각도로 회전하여 코팅액을 토출하는 것을 특징으로 하는 회전형 슬롯 다이 헤드를 제공한다.

Description

회전형 슬롯 다이 헤드{A rotatable slot die head}
본 발명은 고밀도 미세 스트라이프 패턴을 형성할 수 있는 회전형 슬롯 다이 헤드에 관한 것이다.
최근 다양한 종류의 기판에 유기물질, 전도성 물질과 같은 기능성 잉크를 인쇄하여 각종 패턴을 형성함으로써 전자 소자를 제조하는 프린팅 기술이 개발되고 있다. 진공증착방식의 경우, 유기발광 다이오드(organic light emitting diode, OLED) 디스플레이 및 조명 패널 제작에 널리 사용되고 있지만, 인쇄 효율이 낮고, 장비가 고가이며, 롤투롤(roll to roll) 확장성이 떨어지는 단점이 있다.
진공증착방식과 달리, 습식 방식은 공정이 간단하고 확장성이 우수할 뿐만 아니라 고진공 환경과 미세 금속 마스크를 요구하지 않으므로 저가형 기능성 전자제품을 제작하는데 적합한 방식이라할 수 있다. 습식 방식 중 스트라이프 인쇄방식은 OLED 디스플레이 패널의 화소 영역, 즉 발광층을 형성하는데 적용할 수 있는데, 화소 형성 시 잉크를 가둬두기 위한 둑(bank) 구조물을 제작하지 않아도 되는 장점이 있다.
상기의 스트라이프 코팅 방식으로는 잉크젯 인쇄(inkjet printing), 전기수력학 제트 인쇄(electrohydrodynamic jet printing), 그라비어 오프셋 인쇄(gravure printing), 슬롯 다이 인쇄(slot-die coating) 등이 있다. 잉크젯 인쇄, 전기수력학 제트 인쇄 공정들은 미세 패턴을 형성하기 용이하지만, 용액 선택에 제한이 있고 속도가 느리며 장비의 유지보수가 어려운 단점이 있다.
한편 슬롯 다이 인쇄방식은 대면적 형성에 적합하고 용액 선택 폭이 넓으며 롤투롤 확장성이 용이하기 때문에 AMOLED의 공통층(정공 주입층, 정공 수송층), 대면적 OLED 면광원, 태양전지 제조에 주로 응용되고 있다.
슬롯-다이 인쇄를 이용한 스트라이프 코팅은 메니스커스 가이드(meniscus guide)와 슬릿채널(slit channel)을 갖는 심(shim)을 슬롯-다이 헤드에 삽입해 센티미터(cm) 단위의 폭 너비를 갖는 와이드 스트라이프(wide stripe)를 제작하여 태양전지에 적용된 사례가 있고, 마이크로 팁을 갖는 메니스커스 가이드를 이용하여 수십 마이크로 (μm) 단위의 폭 너비를 갖는 미세 스트라이프(fine stripe)가 제작되어 OLED 소자제조에 적용된 사례가 있다.
슬롯-다이 인쇄를 이용하여 멀티 스트라이프를 제작하는 경우, 고밀도의 스트라이프 패턴을 제작하기 위해서 마이크로 팁 간 간격을 줄이면 도 1과 같이 마이크로 팁(T)과 기판 사이에 형성되는 메니스커스가 합쳐지는 문제가 발생하며 이에 따라 각 스트라이프 패턴이 분리되지 않고 합쳐지는 인쇄불량을 일으킬 수 있으므로, 스트라이프 간 간격을 일정 이하로 줄일 수 없어 고밀도ㅇ고해상도의 스트라이프 제작이 어려울 수 있다. 또한, 스트라이프 간 간격을 줄이기 위하여 슬롯-다이 헤드를 회전시켜 스트라이프 코팅을 진행할 경우, 도2와 같이 용액(S)이 헤드 립(20)을 타고 이동하게 되어 마이크로 팁(T)에 의해 용액이 제어되지 않거나, 용액(S)이 일측으로 쏠리는 현상이 나타날 수 있다.
한국공개특허 제 10-2016-0038534호(공개일: 2016년 04월 07일) 한국등록특허 제 10-1155171호(등록일: 2012년 06월 04일)
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 코팅액이 헤드 립을 타고 흐르는 현상을 방지하고, 고밀도 고해상도 미세 스트라이프 패턴 형성을 위한 회전형 슬롯 다이 헤드를 제공하는 것에 목적이 있다.
또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 하나의 슬롯 다이 헤드로 두 가지 이상의 미세 스트라이프 패턴을 형성할 수 있는 회전형 슬롯 다이 헤드를 제공하는 것에 목적이 있다.
본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기의 문제를 해결하기 위하여 본 발명은 제1 본체와 제2 본체가 결합하여 헤드 립부재를 형성하고, 상기 제1 본체와 제2 본체 사이에 코팅부가 결합되어 코팅액이 토출되는 슬롯 다이 헤드에 있어서, 상기 헤드 립부재는, 등간격으로 분할된 형태의 복수 개의 헤드 립을 포함하고, 상기 코팅부는, 상기 헤드 립부재의 하단부로부터 돌출되는 마이크로 팁을 포함하는 메니스커스 가이드부재와, 슬릿채널이 형성된 심부재의 결합으로 구비되고, 인쇄하고자 하는 패턴의 선폭에 따라 슬롯 다이 헤드는 피인쇄체의 이동방향에 대해 소정의 각도로 회전하여 코팅액을 토출하는 것을 특징으로 하는 회전형 슬롯 다이 헤드를 제공할 수 있다.
상기 제1 본체 또는 제2 본체는, 외부로부터 코팅액이 주입되는 주입구와, 상기 코팅부와 마주하는 면에 형성되고 상기 주입구로부터 제공받은 코팅액이 위치하는 캐비티와, 상기 캐비티와 통공되는 벤트홀을 구비하는 것일 수 있다.
상기 캐비티는 상기 슬릿채널의 상단부에 대응하는 영역에 위치하는 것일 수 있다.
상기 마이크로 팁은 상기 각각의 헤드 립에 1 대 1 대응되어 헤드 립의 일측 가장자리 영역의 하단부로부터 돌출되며, 상기 슬릿 채널은 상기 마이크로 팁을 향하여 경사진 형태로 형성되는 것일 수 있다.
상기 회전형 슬롯 다이는, 상기 제1 본체와 제2 본체 사이에 결합된 제 3 본체를 포함하고, 상기 코팅부는, 상기 제1 본체와 제3 본체 사이에 결합된 제1 코팅부와, 상기 제3 본체와 제2 본체 사이에 결합된 제2 코팅부를 포함하는 것일 수 있다.
상기 제1 본체의 내측면은 상기 제1 코팅부의 심부재와 결합되며, 상기 제2 본체의 내측면은 상기 제2 코팅부의 심부재와 결합되는 것일 수 있다.
상기 코팅부는, 단일형 플레이트로 구비되되, 상기 헤드 립부재의 하단부까지 경사진 형태로 형성된 슬릿채널과, 상기 슬릿채널의 하단부 일측으로부터 돌출되는 마이크로 팁을 포함하는 것일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드는 등간격으로 분할된 형태의 복수 개의 헤드 립을 포함하는 헤드 립부재를 구비함으로써 코팅액이 헤드 립을 타고 흐르는 현상을 방지할 수 있으며, 피인쇄체의 이동방향에 대해 소정의 각도로 회전하여 패턴의 선폭을 조절할 수 있고, 그로 인해 고밀도 고해상도 미세 스트라이프 패턴 형성을 할 수 있는 장점이 있다. 또한, 복수의 코팅부를 구비함으로써 하나의 슬롯 다이 헤드로 두 가지 이상의 미세 스트라이프 패턴을 형성할 수 있는 장점이 있다.
도 1 및 도 2는 종래의 마이크로 팁을 갖는 슬롯-다이 인쇄를 이용하여 멀티 스트라이프 인쇄 시 발생하는 불량을 나타낸 도면,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드를 나타낸 사시도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드를 나타낸 분해 사시도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드의 코팅부를 나타낸 사시도,
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드의 제1 본체 및 제2 본체를 나타낸 사시도,
도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드의 인쇄 방법을 나타낸 사시도,
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드의 마이크로 팁과 용액의 토출 상태를 나타낸 정면도,
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드를 나타낸 분해사시도,
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드의 인쇄 방법을 나타낸 사시도,
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드를 나타낸 사시도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1 및 도 2는 종래의 마이크로 팁을 갖는 슬롯-다이 인쇄를 이용하여 멀티 스트라이프 인쇄 시 발생하는 불량을 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드를 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드를 나타낸 분해 사시도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드의 코팅부를 나타낸 사시도이고, 도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드의 제1 본체 및 제2 본체를 나타낸 사시도이고, 도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드의 인쇄 방법을 나타낸 사시도이고, 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드의 마이크로 팁과 용액의 토출 상태를 나타낸 정면도이고, 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드를 나타낸 분해사시도이고, 도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드의 인쇄 방법을 나타낸 사시도이고, 도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드를 나타낸 사시도이다.
도 1 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드(10)는 제1 본체(110)와 제2 본체(120)가 결합하여 헤드 립부재(102)을 형성하고, 상기 제1 본체(110)와 제2 본체(120) 사이에 코팅부(200)가 결합되어 코팅액(S)이 토출되는 슬롯 다이 헤드(10)에 있어서, 상기 헤드 립부재(102)는, 등간격으로 분할된 형태의 복수 개의 헤드 립을 포함하고, 상기 코팅부(200)는, 상기 헤드 립부재(102)의 하단부로부터 돌출되는 마이크로 팁(215)을 포함하는 메니스커스 가이드부재(210)와, 슬릿채널(225)이 형성된 심부재(220)의 결합으로 구비되고, 인쇄하고자 하는 패턴(P1, P2)의 선폭에 따라 슬롯 다이 헤드(10)는 피인쇄체(30)의 이동방향(A)에 대해 소정의 각도(θ1)로 회전하여 코팅액(S)을 토출하는 것일 수 있다.
상세히 설명하면, 상기 제1 본체(110) 또는 제2 본체(120)는, 외부로부터 코팅액(S)이 주입되는 주입구(114)와, 상기 코팅부(200)와 마주하는 면에 형성되고 상기 주입구(114)로부터 제공받은 코팅액(S)이 위치하는 캐비티(118)와, 상기 캐비티(118)와 통공되는 벤트홀(116)을 구비하는 것일 수 있다. 본 실시예에서는 제1 본체(110)에 주입구(114), 벤트홀(116), 캐비티(118)가 구비된 것으로 도면에 나타내었으나, 제2 본체(120)에 구비될 수도 있다. 예를 들어, 주입구(114)는 시린지 펌프와 연결되어 코팅액(S)을 캐비티(118)로 제공할 수 있으며, 캐비티(118)는 슬롯 다이 헤드(10)의 좌우로 균일하게 퍼질 수 있도록 선형으로 형성된 것일 수 있다. 또한 캐비티(118)와 통공되는 벤트홀(116)을 구비함으로써 코팅액(S)의 캐비티(118)의 충진 시 캐비티 내의 불필요한 공기를 제거할 수 있다.
등간격으로 분할된 형태의 복수 개의 헤드 립을 포함하는 헤드 립부재(102)에 대하여, 상기 마이크로 팁(215)은 상기 각각의 헤드 립에 1 대 1 대응되어 헤드 립의 일측 가장자리 영역의 하단부로부터 돌출되며, 상기 슬릿 채널(225)은 상기 마이크로 팁(215)을 향하여 경사진 형태로 형성되는 것일 수 있다.
즉, 헤드 립부재(102)는 패터닝된 형태로써 간격을 두고 복수 개로 구비되는 제1 본체(110)의 립(112)과 그에 대응하는 형태의 제2 본체(120)의 립(122)의 결합으로 등간격으로 분리된 형태를 취할 수 있다. 이에 따라 스트라이프 패턴(P1, P2) 형성 시 피인쇄체(30)인 기판의 이동방향(A)으로 코팅액(S)이 타고 흐를 수 있는 헤드 립의 폭이 최소화되므로, 마이크로 팁(215)에서 형성된 용액의 메니스커스는 슬롯 다이 헤드(10)를 회전시켜도 형상의 변화가 없으며 도 9와 같이 용액 쏠림 현상을 방지할 수 있다. 또한, 헤드 립부재(102)는 좁은 폭을 가지는 복수의 헤드 립으로 분리된 형상을 취하므로, 마이크로 팁(215)과 피인쇄체(30) 사이에 형성되는 메니스커스가 헤드 립부재(102)을 타고 이동하거나 인접한 마이크로 팁(215)에 위치하는 코팅액(S)과 합쳐지는 현상을 방지할 수 있다.
상기 마이크로 팁(215)은 각각 분리된 헤드 립의 일측 하단부로부터 돌출됨으로써, 즉 헤드 립의 가장자리에 치우쳐서 마이크로 팁(215)이 위치함으로써, 마이크로 팁(215)을 타고 이동하는 코팅액(S)의 매니스커스 형상이 인접한 마이크로 팁(215)에 위치한 코팅액(S)의 매니스커스에 영향을 주는 것을 방지할 수 있으므로, 슬롯 다이 헤드(10)의 회전에 의한 미세 패턴 선폭 조절 능력을 더욱 향상시킬 수 있다.
상기 헤드 립부재(102)의 하단부로부터 돌출되는 마이크로 팁(215)을 포함하는 판형의 메니스커스 가이드부재(210)와, 상기 마이크로 팁(215)을 향하여 경사진 형태로 슬릿채널(225)이 형성된 판형의 심부재(220)의 결합으로 구비되는 코팅부(200)는, 캐비티(118)로 주입된 코팅액(S)의 경로 역할을 수행할 수 있다. 심부재(220)는 주입구(114)와 캐비티(118)를 통해 공급된 코팅액(S)이 메니스커스 가이드부재(210)의 마이크로 팁(215)까지 전달되도록 하는 슬릿채널(225)을 구비하며, 슬릿채널(225)은 캐비티(118)로부터 코팅액(S)이 마이크로 팁(215) 외에 다른 곳으로 분산되지 않도록 경사진 형태로 형성될 수 있다.
이 경우, 캐비티(118)로부터 코팅액(S)이 슬릿채널(225)로 용이하게 이동할 수 있도록 상기 캐비티(118)는 상기 슬릿채널(225)의 상단부에 대응하는 영역에 위치하는 것일 수 있다.
슬롯 다이 헤드(10)는 인쇄하고자 하는 패턴(P1, P2)의 선폭에 따라 도 7과 같이 피인쇄체(30)의 이동방향(A)과 평행하도록 위치하거나, 도 8과 같이 피인쇄체(30)의 이동방향(A)에 대해 소정의 각도(θ1)로 회전하여 코팅액(S)을 토출할 수 있다. 슬롯 다이 헤드(10)가 도 7과 같은 초기 위치(θ1=90ㅀ)에서 90ㅀ까지 회전(θ1=0ㅀ)하는 경우, 마이크로 팁(215)이 인쇄한 패턴 사이의 간격은 점점 좁아질 수 있다. 즉 P1보다 P2가 선폭의 간격이 더 미세해질 수 있다. 슬롯 다이 헤드(10)와 기판 사이의 각도가 수직을 이루게 되면 마이크로 팁(215)이 인쇄하는 스트라이프 패턴은 모두 겹쳐지게 되므로, 스트라이프 패턴이 겹쳐지기 전 각도까지 회전이 유효하다고 할 수 있다. 즉, 슬롯 다이 헤드(10)의 회전각도의 한계는 스트라이프 폭에 따라 가변될 수 있다. 따라서, 메니스커스 가이드부재(110)의 마이크로 팁(215) 크기 및 형성하고자 하는 패턴의 선폭에 따라 슬롯 다이 헤드(10)의 회전각도(θ1)는 조절될 수 있다. 즉, 슬롯 다이 헤드(10)를 회전시키면 마이크로 팁(215) 간의 간격이 좁아지므로, 인쇄하고자 하는 패턴(P1, P2)의 선폭에 따라 슬롯 다이 헤드(10)가 회전하는 각도를 조절함으로써 고밀도 스트라이프 패턴을 형성할 수 있다.
상기와 같이 본 발명의 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드(10)는 기존 대면적 코팅을 위해 길게 제작하던 슬롯-다이 헤드와 달리, 복수 개의 헤드 립으로 분리되고 각각의 헤드 립 일측 가장자리에 마이크로 팁(215)이 위치하도록 코팅부(200)가 제1 본체(110)와 제2 본체(120) 사이에 결합됨으로써 마이크로 팁(215)과 피인쇄체(30) 사이에 형성되는 메니스커스가 헤드 립부재(102)를 타고 이동하거나 인접한 마이크로 팁(215)에 위치하는 코팅액(S)과 합쳐지는 현상을 방지할 수 있으며, 마이크로 팁(215)을 타고 이동하는 코팅액(S)의 매니스커스 형상이 인접한 마이크로 팁(215)에 위치한 코팅액(S)의 매니스커스에 영향을 주는 것을 방지할 수 있으므로, 슬롯 다이 헤드(10)의 회전에 의한 미세 패턴 선폭 조절 능력을 더욱 향상시킬 수 있다. 또한, 경사진 형태의 슬릿채널(225)을 구비하는 심부재(220)로 인해 캐비티(118)로부터 코팅액(S)이 마이크로 팁(215) 외에 다른 곳으로 분산되지 않도록 함으로써 인쇄 불량을 더욱 방지할 수 있다.
도 10 및 도 11을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드(10')는 상기 제1 본체(110)와 제2 본체(120) 사이에 결합된 제 3 본체(130)를 포함하고, 상기 코팅부(200')는, 상기 제1 본체(110)와 제3 본체(130) 사이에 결합된 제1 코팅부(201)와, 상기 제3 본체(130)와 제2 본체(120) 사이에 결합된 제2 코팅부(202)를 포함하는 것일 수 있다. 이는 코팅부(200')가 2개로 이루어진 듀얼타입이라 할 수 있으며, 이 경우 듀얼 타입의 슬롯 다이 헤드(10')의 헤드 립의 수는 단일형 슬롯 다이 헤드(10)의 2배수가 되므로, 이에 따라 코팅 가능한 스트라이프 패턴(P3, P4)의 수가 2배로 증가할 수 있다. 본 발명의 일실시예와 마찬가지로, 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬롯 다이 헤드(10')를 회전시키면, 마이크로 팁(215') 간의 간격이 좁아지므로 인쇄하고자 하는 패턴(P3, P4)의 선폭에 따라 회전하는 각도를 조절함으로써 고밀도 스트라이프 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 상기 제1 본체(110)와 제2 본체(120)는 각각 주입구(114), 벤트홀(116), 캐비티(118)를 구비하여, 제1 본체(110)와 제2 본체(120) 각각에 코팅액(S)을 주입할 수 있다. 이 경우, 제1 본체(110)와 제2 본체(120) 각각에 주입되는 코팅액(S)은 서로 다른 시린지 펌프를 이용하여 토출이 제어될 수 있으며, 서로 동일하거나 상이한 종류일 수 있고, 용도에 따라 코팅액(S)의 종류가 결정될 수 있다. 따라서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드(10')는 복수의 코팅부(201, 202)를 구비함으로써 하나의 슬롯 다이 헤드(10')로 두 가지 이상의 미세 스트라이프 패턴(P3, P4)을 형성할 수 있다. 즉, P3와 P4는 서로 다른 조성의 물질로 이루어진 패턴일 수 있다.
제1 본체(110)와 제2 본체(120)의 캐비티(118, 128)로 주입된 코팅액(S)이 슬릿채널(225)로 흐름이 용이하도록 상기 제1 본체(110)의 내측면은 상기 제1 코팅부(201)의 심부재(220a)와 결합되며, 상기 제2 본체(120)의 내측면은 상기 제2 코팅부(202)의 심부재(220b)와 결합되는 것일 수 있다. 즉, 제3 본체(130)의 양측면은 제1 코팅부(201)와 제2 코팅부(202)의 메니스커스 가이드부재(210a, 210b)와 결합될 수 있다. 따라서, 제3 본체(130)는 마이크로 팁(215')에 대응되는 패터닝된 형상의 헤드립(132)을 구비할 수 있다.
도 12를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드(10″)는 단일형 플레이트로 구비되는 코팅부(200″)를 구비하며, 상기 코팅부(200″)는 상기 헤드 립부재(102)의 하단부까지 경사진 형태로 형성된 슬릿채널(225″)과, 상기 슬릿채널(225″)의 하단부 일측으로부터 돌출되는 마이크로 팁(215″)을 포함하는 것일 수 있다. 즉, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 회전형 슬롯 다이 헤드(10″)는 메니스커스 가이드부재와 심부재가 일체화된 단일형 플레이트 구조라 할 수 있으며, 이로 인해 슬롯 다이 헤드(10″)의 제조가 간소화되어 비용을 절감할 수 있으며, 더욱 슬림화된 회전형 슬롯 다이 헤드(10″)를 구현할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10; 회전형 슬롯 다이 헤드
20, 102; 헤드 립부재
30; 피인쇄체
110; 제1 본체
114; 주입구
116; 벤트홀
118; 캐비티
120; 제2 본체
130; 제3 본체
200, 200', 200″; 코팅부
201; 제1 코팅부
202; 제2 코팅부
210, 210a, 210b; 메니스커스 가이드부재
T, 215; 마이크로 팁
220, 220a, 220b; 심부재
225; 슬릿채널
A; 이동방향
P1, P2, P3, P4; 패턴
θ1, θ2; 슬롯 다이 헤드의 회전 각도
S; 코팅액

Claims (7)

  1. 제1 본체와 제2 본체가 결합하여 헤드 립부재를 형성하고, 상기 제1 본체와 제2 본체 사이에 코팅부가 결합되어 코팅액이 토출되는 슬롯 다이 헤드에 있어서,
    상기 헤드 립부재는, 등간격으로 분할된 형태의 복수 개의 헤드 립을 포함하고,
    상기 코팅부는, 상기 헤드 립부재의 하단부로부터 돌출되는 마이크로 팁을 포함하는 메니스커스 가이드부재와, 슬릿채널이 형성된 심부재의 결합으로 구비되고,
    인쇄하고자 하는 패턴의 선폭에 따라 슬롯 다이 헤드는 피인쇄체의 이동방향에 대해 소정의 각도로 회전하여 코팅액을 토출하고,
    상기 마이크로 팁은 각각의 헤드 립에 1 대 1 대응되어 헤드 립의 일측 가장자리 영역의 하단부로부터 돌출되며,
    상기 슬릿 채널은 상기 마이크로 팁을 향하여 경사진 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 회전형 슬롯 다이 헤드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 본체 또는 제2 본체는, 외부로부터 코팅액이 주입되는 주입구와, 상기 코팅부와 마주하는 면에 형성되고 상기 주입구로부터 제공받은 코팅액이 위치하는 캐비티와, 상기 캐비티와 통공되는 벤트홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 회전형 슬롯 다이 헤드.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 캐비티는 상기 슬릿채널의 상단부에 대응하는 영역에 위치하는 것을 특징으로 하는 회전형 슬롯 다이 헤드.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 회전형 슬롯 다이 헤드는, 상기 제1 본체와 제2 본체 사이에 결합된 제 3 본체를 포함하고,
    상기 코팅부는, 상기 제1 본체와 제3 본체 사이에 결합된 제1 코팅부와, 상기 제3 본체와 제2 본체 사이에 결합된 제2 코팅부를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 슬롯 다이 헤드.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 본체의 내측면은 상기 제1 코팅부의 심부재와 결합되며, 상기 제2 본체의 내측면은 상기 제2 코팅부의 심부재와 결합되는 것을 특징으로 하는 회전형 슬롯 다이 헤드.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 코팅부는, 단일형 플레이트로 구비되되,
    상기 헤드 립부재의 하단부까지 경사진 형태로 형성된 슬릿채널과, 상기 슬릿채널의 하단부 일측으로부터 돌출되는 마이크로 팁을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 슬롯 다이 헤드.
KR1020210061835A 2021-05-13 2021-05-13 회전형 슬롯 다이 헤드 KR102452819B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210061835A KR102452819B1 (ko) 2021-05-13 2021-05-13 회전형 슬롯 다이 헤드

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210061835A KR102452819B1 (ko) 2021-05-13 2021-05-13 회전형 슬롯 다이 헤드

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102452819B1 true KR102452819B1 (ko) 2022-10-07

Family

ID=83596018

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210061835A KR102452819B1 (ko) 2021-05-13 2021-05-13 회전형 슬롯 다이 헤드

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102452819B1 (ko)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101155171B1 (ko) 2011-10-05 2012-06-12 주식회사 펨스 잉크 가이드 방식을 이용한 슬롯다이 모듈
JP2015192992A (ja) * 2014-03-20 2015-11-05 東レ株式会社 ノズル及び塗液の排出方法
KR20160038534A (ko) 2014-09-30 2016-04-07 코오롱인더스트리 주식회사 슬롯 다이 및 이를 이용한 유기태양전지의 제조방법
KR20170037174A (ko) * 2015-09-25 2017-04-04 코오롱인더스트리 주식회사 슬롯 다이 및 이를 이용한 유기태양전지의 제조방법
KR20190081429A (ko) * 2017-12-29 2019-07-09 한국기술교육대학교 산학협력단 고 해상도용 슬롯 다이 헤드
KR20190081425A (ko) * 2017-12-29 2019-07-09 한국기술교육대학교 산학협력단 픽셀 코팅용 슬롯 다이 헤드 내 백 플레이트 제조 방법 및 슬롯 다이 헤드

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101155171B1 (ko) 2011-10-05 2012-06-12 주식회사 펨스 잉크 가이드 방식을 이용한 슬롯다이 모듈
JP2015192992A (ja) * 2014-03-20 2015-11-05 東レ株式会社 ノズル及び塗液の排出方法
KR20160038534A (ko) 2014-09-30 2016-04-07 코오롱인더스트리 주식회사 슬롯 다이 및 이를 이용한 유기태양전지의 제조방법
KR20170037174A (ko) * 2015-09-25 2017-04-04 코오롱인더스트리 주식회사 슬롯 다이 및 이를 이용한 유기태양전지의 제조방법
KR20190081429A (ko) * 2017-12-29 2019-07-09 한국기술교육대학교 산학협력단 고 해상도용 슬롯 다이 헤드
KR20190081425A (ko) * 2017-12-29 2019-07-09 한국기술교육대학교 산학협력단 픽셀 코팅용 슬롯 다이 헤드 내 백 플레이트 제조 방법 및 슬롯 다이 헤드

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9172064B2 (en) Mask for deposition and method for manufacturing organic light emitting diode display using the same
KR20060063894A (ko) 패턴 코팅 방법
JP4612741B2 (ja) 有機ｅｌディスプレイパネルおよびその製造方法
JP7046061B2 (ja) 塗布方法、塗布装置および発光デバイス
JP7262453B2 (ja) 液体案内部品及びその使用方法、応用
KR20130112884A (ko) 전자 장치의 제작에 사용하기 위한 프린트 방법
KR20150037112A (ko) 슬롯 다이 및 이를 이용한 유기 태양전지의 제조방법
KR102452819B1 (ko) 회전형 슬롯 다이 헤드
CN109148533B (zh) 一种有机发光二极管显示器
KR102031631B1 (ko) 고 해상도용 슬롯 다이 헤드
KR102121908B1 (ko) 메니스커스 가이딩 펜, 가이딩 펜 모듈 부재 및 스트라이프 코팅 시스템
US20190305060A1 (en) Pixel defining structure and fabrication method thereof, display substrate and jet printing method
KR102124793B1 (ko) 스트라이프 코팅용 슬롯 다이 헤드
US20030057492A1 (en) Assembly for a thin-film optical device, organic electroluminescent display device and method of manufacturing same
KR102131298B1 (ko) 화소 형성용 슬롯 다이 헤드
KR102024561B1 (ko) 픽셀 코팅용 슬롯 다이 헤드 내 백 플레이트 제조 방법 및 슬롯 다이 헤드
Lee et al. Increased stripe density of slot-coated PEDOT: PSS using a meniscus guide with linearly tapered μ-tips for OLEDs
KR102416875B1 (ko) 미세 정렬모듈이 구비된 슬롯 다이 코팅장치
WO2017006810A1 (ja) 蒸着装置および蒸着方法
KR102161899B1 (ko) 슬롯 다이 헤드
KR102352056B1 (ko) 니들이 배열 삽입된 코팅용 헤드
JP2008168216A (ja) インク塗布装置、インク塗布方法、インクジェットヘッド、表示装置構成部材の製造方法
JP2009301719A (ja) 電子デバイス用基材並びに機能膜の製造方法および製造装置
KR102204306B1 (ko) 능동형 슬롯다이 코팅장치
WO2013084640A1 (ja) 回路基板及び回路パターンの形成方法

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant