JP4612741B2 - 有機ｅｌディスプレイパネルおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は有機ＥＬディスプレイパネルおよびその製造方法に関する。
有機ＥＬディスプレイの製造方法は、有機機能層の形成方法によって、以下の２つに大別されうる。一つは、有機機能層を蒸着により形成する方法であり、もう一つは、有機機能層を溶媒塗布法により形成する方法である。
溶媒塗布法により有機機能層を形成する代表的な手段の一つに、インクジェット装置を用いて、有機機能材料を含むインクの液滴を、ディスプレイ基板に吐出して、有機機能層を形成する方法がある（例えば、特許文献１参照）。
有機機能材料を含むインクは、ディスプレイ基板に配置された発色領域に塗布される。ここで発色領域とは、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの副画素が１列に並んだ領域を意味する。すなわちディスプレイ基板では、３種類の発色領域（Ｒ、Ｇ、Ｂ）が特定の方向に沿って互いに平行に配置されている。
発色領域は、バンクによって副画素ごとに区切られていたり、区切られることなくライン状になっていてもよい。発色領域が、バンクによって副画素領域ごとに区切られている場合、バンクは各副画素の領域を規定し、有機機能材料を含むインクは副画素ごとに供給される（例えば、特許文献２〜５参照）。
一方、発色領域がバンクによって区切られていない場合（発色領域がライン状の場合）、バンクは各発色領域を規定し、有機機能材料を含むインクは発色領域ごとに供給される（例えば、特許文献６〜１０参照）。
ところで、インクジェットヘッドが有するノズルから吐出される液滴の大きさには、ノズルごとにばらつきがあることが知られている（例えば、特許文献１１参照）。
また、複数の副画素をバンクで囲み、バンクによって囲まれた領域をずらすことによって、塗布された有機機能材料を含むインクの乾燥スピードを均一にするための技術が提案されている（例えば、特許文献１２参照）。
ディスプレイ基板に、有機機能層を、インクジェット装置で形成しようとする場合には、図１に示されるように、
１）インクジェット装置のインクジェットヘッド２０を、基板１０が有する発色領域１２の長軸に対して図中の上部（または下部）に配置し（このとき、好ましくは、発色領域１２の長軸と、ノズル２１の配列方向とが垂直になるように配置し）、２）インクジェットヘッド２０を発色領域１２の長軸に対して平行に相対移動させながら、３）発色領域１２に、ノズル２１から液滴を吐出して、有機機能層を形成していた。このようにインクジェットヘッドを発色領域の長軸に対して平行に相対移動させる方法を、以下「縦塗り」という。
１）インクジェット装置のインクジェットヘッド２０を、基板１０が有する発色領域１２の長軸に対して図中の上部（または下部）に配置し（このとき、好ましくは、発色領域１２の長軸と、ノズル２１の配列方向とが垂直になるように配置し）、２）インクジェットヘッド２０を発色領域１２の長軸に対して平行に相対移動させながら、３）発色領域１２に、ノズル２１から液滴を吐出して、有機機能層を形成していた。このようにインクジェットヘッドを発色領域の長軸に対して平行に相対移動させる方法を、以下「縦塗り」という。
しかし、上述したように、インクジェットヘッドが有するノズルから吐出される液滴の大きさには、ノズルごとにばらつきがあることから、ディスプレイ基板を縦塗りした場合、発色領域間で塗布されるインクの量にばらつきが生じる。例えば、図２に示されるようにノズルヘッド２０がインクを吐出しないノズル２１ａを有する場合、発色領域１２ａに塗布されるインクの量は、発色領域１２ｂに塗布されるインクの量よりも少なくなる。この発色領域間におけるインクの量のばらつきは、発色領域間における有機機能層の膜厚のばらつきにつながる。さらに、発色領域間における有機機能層の膜厚のばらつきは、発色領域間における輝度のムラにつながり、有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、いわゆる「スジムラ」の原因となる。
「スジムラ」の問題を解決させるための方法として、図３に記載された方法がある。図３では、
１）複数のノズルを有するインクジェットヘッド２０を、ディスプレイ基板１０の発色領域の長軸に対する側部に配置し、２）インクジェットヘッド２０を発色領域の長軸に対して垂直に相対移動させながら、３）発色領域１２に、ノズル２１から有機機能材料の液滴を吐出して、有機機能層を形成する。このようにインクジェットヘッドを発色領域の長軸に対して垂直に相対移動させる方法を、以下「横塗り」という。横塗りでは、１の発色領域には、複数のノズルから吐出されたインクが塗布される。
１）複数のノズルを有するインクジェットヘッド２０を、ディスプレイ基板１０の発色領域の長軸に対する側部に配置し、２）インクジェットヘッド２０を発色領域の長軸に対して垂直に相対移動させながら、３）発色領域１２に、ノズル２１から有機機能材料の液滴を吐出して、有機機能層を形成する。このようにインクジェットヘッドを発色領域の長軸に対して垂直に相対移動させる方法を、以下「横塗り」という。横塗りでは、１の発色領域には、複数のノズルから吐出されたインクが塗布される。
図４は、横塗りで発色領域１２にインクを吐出している様子を示す。図４に示されるように、横塗りでは、仮にインクジェットヘッドがインクを吐出しないノズル２１ａを有していたり、インクを大量に吐出するノズル２１ｂを有する場合であっても、それぞれの発色領域１２内には、均一量のインクが塗布される。
しかし、図３に記載された方法であっても、「乾燥ムラ」が生じてしまうという問題があった。「乾燥ムラ」とは、パネル上におけるインクの乾燥速度のばらつきによって生じる、有機機能層の状態のムラを意味する。一般的に、発色領域の長軸方向の端部（以下単に「発色領域の端部」という）に塗布されたインクの乾燥速度は、発色領域の長軸方向の中央部（以下単に「発色領域の中央部」という）に塗布されたインクの乾燥速度よりも速い。発色領域の端部の周辺では、発色領域の中央部の周辺と比較して、溶媒蒸気の濃度が低いからである。
このような乾燥速度の差は、画素間における有機機能層の状態（例えば、膜厚など）のばらつきを生じさせる。このような画素間における有機機能層の状態のばらつきは、輝度ムラや発光色ムラなどの原因となってしまう。
また、発色領域がライン状の場合（例えば、特許文献６参照）、発色領域に塗布された
インクは、発色領域内を移動することができる。このため、発色領域の端部に塗布されたインクが早く乾いてしまうと、発色領域の中央部に塗布された未乾燥のインクは発色領域の端部に引き寄せられてしまい、発色領域内でも膜厚が不均一な有機機能層が形成されてしまう。
インクは、発色領域内を移動することができる。このため、発色領域の端部に塗布されたインクが早く乾いてしまうと、発色領域の中央部に塗布された未乾燥のインクは発色領域の端部に引き寄せられてしまい、発色領域内でも膜厚が不均一な有機機能層が形成されてしまう。
一方、バンクが副画素領域ごとを規定している場合（例えば、特許文献６参照）、発色領域に塗布されたインクは、発色領域内を移動することができないことから、上述したような発色領域内の有機機能層の膜厚のばらつきは防止される。しかし、基板内における溶媒蒸気の濃度差は、依然として生じるため、インクの乾燥速度に差が生じ、いずれにせよ画素間で一様な膜厚の有機機能層を形成することができない。
このような乾燥ムラによって生じる問題を解決するために、バンクによって規定された機能層形成領域を基板の外周部側で大きくし、基板の中央部側で小さくする技術が提案されている（例えば、特開２００９−５４３９５号公報、特開２００９−４８８３０号公報参照）。特開２００９−５４３９５号公報および特開２００９−４８８３０号公報に開示された有機ＥＬディスプレイパネルでは、基板端部の発色領域に含まれる機能層形成領域の大きさは、全て同じである。
しかし、特開２００９−５４３９５号公報および特開２００９−４８８３０号公報に開示された技術でも、乾燥ムラによって生じる問題を解決するためには十分でなかった。
本発明の目的は、一様な膜厚の有機機能層を有する有機ＥＬディスプレイパネルおよびその製造方法を提供することである。
本発明の目的は、一様な膜厚の有機機能層を有する有機ＥＬディスプレイパネルおよびその製造方法を提供することである。
本発明者は、発色領域を特定の領域に区切ることで、インクの乾燥速度を均一化できることを見出し、さらに検討を加えることで本発明を完成させた。
本発明の第１は、以下に示す有機ＥＬディスプレイパネルに関する。
［１］特定の方向に沿って、それぞれの長軸が平行になるように配置された複数の発色領域を有する基板と、前記基板上に形成されたバンクであって、それぞれの前記発色領域内に、前記発色領域の長軸に沿って一列に配列された複数の塗布領域を規定するバンクと、前記塗布領域の内部に配列された画素電極であって、前記発色領域の長軸と平行な長軸を有する画素電極と、を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、全ての前記発色領域において、それぞれの前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域は、それぞれの前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域よりも広く、全ての前記発色領域において、前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域の内部に配列された画素電極の数は、前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域の内部に配列された画素電極の数よりも多い、有機ＥＬディスプレイパネル。
［２］前記塗布領域の広さは、前記発色領域の長軸方向の端部から、前記発色領域の長軸方向の中央部に向けて広義単調減少する、［１］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［３］前記特定の方向の端部に位置する前記発色領域に含まれる前記塗布領域の平均面積は、前記特定の方向の中央部に位置する前記発色領域に含まれる前記塗布領域の平均面積よりも広い、［１］または［２］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［４］前記特定の方向の端部に位置する前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域は、前記特定の方向の中央部に位置する前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域よりも広い、［１］〜［３］のいずれか一つに記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［１］特定の方向に沿って、それぞれの長軸が平行になるように配置された複数の発色領域を有する基板と、前記基板上に形成されたバンクであって、それぞれの前記発色領域内に、前記発色領域の長軸に沿って一列に配列された複数の塗布領域を規定するバンクと、前記塗布領域の内部に配列された画素電極であって、前記発色領域の長軸と平行な長軸を有する画素電極と、を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、全ての前記発色領域において、それぞれの前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域は、それぞれの前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域よりも広く、全ての前記発色領域において、前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域の内部に配列された画素電極の数は、前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域の内部に配列された画素電極の数よりも多い、有機ＥＬディスプレイパネル。
［２］前記塗布領域の広さは、前記発色領域の長軸方向の端部から、前記発色領域の長軸方向の中央部に向けて広義単調減少する、［１］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［３］前記特定の方向の端部に位置する前記発色領域に含まれる前記塗布領域の平均面積は、前記特定の方向の中央部に位置する前記発色領域に含まれる前記塗布領域の平均面積よりも広い、［１］または［２］に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
［４］前記特定の方向の端部に位置する前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域は、前記特定の方向の中央部に位置する前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域よりも広い、［１］〜［３］のいずれか一つに記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
本発明の第２は、以下に示す有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法に関する。
［５］特定の方向に沿って、それぞれの長軸が平行になるように配置された複数の発色領域を有する基板と、前記基板上に形成されたバンクであって、それぞれの前記発色領域内に、前記発色領域の長軸に沿って一列に配列された複数の塗布領域を規定するバンクと、前記塗布領域の内部に配列された画素電極であって、前記発色領域の長軸と平行な長軸を有する画素電極と、を有するＴＦＴ基板を準備するステップ、所定のピッチでライン状に配列された２以上のノズルを有し、有機機能材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、前記発色領域の長軸方向に対する側部であって、かつ前記基板の前記発色領域以外の領域上に配置するステップ、および前記インクジェットヘッドを、前記発色領域の長軸に対して垂直に、相対移動させ、前記塗布領域に、前記インクを前記ノズルから吐出して、塗布するステップ、を含む、有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、全ての前記発色領域において、それぞれの前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域は、それぞれの前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域よりも広く、全ての前記発色領域において、前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域の内部に配列された画素電極の数は、前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域の内部に配列された画素電極の数よりも多い、有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
［６］特定の方向に沿って、それぞれの長軸が平行になるように配置された複数の発色領域を有する基板と、前記基板上に形成されたバンクであって、それぞれの前記発色領域内に、前記発色領域の長軸に沿って一列に配列された複数の塗布領域を規定するバンクと、前記塗布領域の内部に配列された画素電極であって、前記発色領域の長軸と平行な長軸を有する画素電極と、を有するＴＦＴ基板を準備するステップ、所定のピッチでライン状に配列された２以上のノズルを有し、有機機能材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、前記発色領域の長軸方向に対する側部であって、かつ前記基板の前記発色領域以外の領域上に配置するステップ、前記基板の発色領域以外の領域に前記インクを前記ノズルから所定量吐出し、前記ノズルのうちインクを吐出しないノズルの位置および数を特定するステップ、前記インクを吐出しないノズルに隣接するノズルが吐出する前記インクの量を前記所定量よりも多く設定するステップ、および前記インクジェットヘッドを、前記発色領域の長軸に対して垂直に、相対移動させ、前記塗布領域に、前記インクを前記ノズルから吐出し、塗布するステップ、を含む、有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、全ての前記発色領域において、それぞれの前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域は、それぞれの前記発色領域の長軸方向の中央に位置する前記塗布領域よりも広い、有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
［５］特定の方向に沿って、それぞれの長軸が平行になるように配置された複数の発色領域を有する基板と、前記基板上に形成されたバンクであって、それぞれの前記発色領域内に、前記発色領域の長軸に沿って一列に配列された複数の塗布領域を規定するバンクと、前記塗布領域の内部に配列された画素電極であって、前記発色領域の長軸と平行な長軸を有する画素電極と、を有するＴＦＴ基板を準備するステップ、所定のピッチでライン状に配列された２以上のノズルを有し、有機機能材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、前記発色領域の長軸方向に対する側部であって、かつ前記基板の前記発色領域以外の領域上に配置するステップ、および前記インクジェットヘッドを、前記発色領域の長軸に対して垂直に、相対移動させ、前記塗布領域に、前記インクを前記ノズルから吐出して、塗布するステップ、を含む、有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、全ての前記発色領域において、それぞれの前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域は、それぞれの前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域よりも広く、全ての前記発色領域において、前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域の内部に配列された画素電極の数は、前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域の内部に配列された画素電極の数よりも多い、有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
［６］特定の方向に沿って、それぞれの長軸が平行になるように配置された複数の発色領域を有する基板と、前記基板上に形成されたバンクであって、それぞれの前記発色領域内に、前記発色領域の長軸に沿って一列に配列された複数の塗布領域を規定するバンクと、前記塗布領域の内部に配列された画素電極であって、前記発色領域の長軸と平行な長軸を有する画素電極と、を有するＴＦＴ基板を準備するステップ、所定のピッチでライン状に配列された２以上のノズルを有し、有機機能材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、前記発色領域の長軸方向に対する側部であって、かつ前記基板の前記発色領域以外の領域上に配置するステップ、前記基板の発色領域以外の領域に前記インクを前記ノズルから所定量吐出し、前記ノズルのうちインクを吐出しないノズルの位置および数を特定するステップ、前記インクを吐出しないノズルに隣接するノズルが吐出する前記インクの量を前記所定量よりも多く設定するステップ、および前記インクジェットヘッドを、前記発色領域の長軸に対して垂直に、相対移動させ、前記塗布領域に、前記インクを前記ノズルから吐出し、塗布するステップ、を含む、有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、全ての前記発色領域において、それぞれの前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域は、それぞれの前記発色領域の長軸方向の中央に位置する前記塗布領域よりも広い、有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
本発明の有機ＥＬディスプレイの製造方法によれば、画素間で一様な膜厚の有機機能層を形成することができ、発光ムラのない有機ＥＬディスプレイパネルを製造することができる。
また、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法によれば、インクジェットヘッドが一定数の不吐出ノズルを有する場合であっても、塗布領域に必要な量のインクを提供することができ、歩留まりを向上させることができる。
１．本発明の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法について
本発明の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法は、１）有機機能層が形成される前のＴＦＴ基板を準備する第１ステップ、２）インクジェットで、ＴＦＴ基板に有機機能材料を含むインクを塗布して、有機機能層を形成する第２ステップを含む。
本発明の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法は、１）有機機能層が形成される前のＴＦＴ基板を準備する第１ステップ、２）インクジェットで、ＴＦＴ基板に有機機能材料を含むインクを塗布して、有機機能層を形成する第２ステップを含む。
１）第１ステップについて
第１ステップでは、有機機能層を形成する前のＴＦＴ基板を準備する（図１３参照）。本発明は、第１ステップで準備するＴＦＴ基板の構造に特徴を有する。以下、第１ステップで準備するＴＦＴ基板の構造について詳細に説明する。
第１ステップでは、有機機能層を形成する前のＴＦＴ基板を準備する（図１３参照）。本発明は、第１ステップで準備するＴＦＴ基板の構造に特徴を有する。以下、第１ステップで準備するＴＦＴ基板の構造について詳細に説明する。
第１ステップで準備するＴＦＴ基板は、基板、基板上に形成されたバンク、基板上にマトリクス状に配置された複数の画素電極および各画素電極に接続された薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を有する。各画素電極は長軸および短軸を有する。
また各画素電極上には遷移金属の酸化物かなる正孔注入層が形成されていてもよい。遷移金属の酸化物の例には、ＷＯｘ（タングステンオキサイド）、ＭｏＯｘ（モリブデンオキサイド）、ＶＯｘ（バナジウムオキサイド）およびこれらの組み合わせなどが含まれる。
基板は、特定の方向に沿って、それぞれの長軸が平行になるように配置された発色領域を有する。ここで発色領域とは、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの副画素が１列に配列された領域を意味する（図１３の１０３参照）。すなわち本発明では、３種類の発色領域（Ｒ、Ｇ、Ｂ）が特定の方向に沿って互いに平行に配置されている。例えば、赤発色領域の隣に緑発色領域を配置し、緑発色領域の隣に青発色領域を配置し、青発色領域の隣に赤発色領域を配置する。上述のように発色領域は長軸を有し、発色領域の長軸は上述した画素電極の長軸と平行である。本発明では、発色領域が後述する一列に配列された複数の塗布領域を有することを特徴とする。
バンクとは、有機機能材料を含むインクが塗布される領域を規定するための絶縁性の部材である。バンクは、基板上に形成される。バンクの材料は加工が容易で、絶縁性であれば特に限定はされない。
バンクは、発色領域を複数の塗布領域に区切る。すなわちバンクは塗布領域を規定する。本発明において「塗布領域」とは、有機機能材料を含むインクが塗布される領域を意味する。有機機能材料には、少なくとも有機発光材料が含まれ、正孔注入層の材料や、正孔輸送層の材料などが含まれてもよい。バンクは、１の発色領域に複数の塗布領域が、発色領域の長軸に沿って一列に配列されるように塗布領域を規定する。
１の塗布領域内には、１または２以上の画素電極が配列される。塗布領域が２以上の画素電極を有する場合、画素電極は塗布領域内に、発色領域の長軸に沿って１列に配列される。
本発明では、塗布領域の位置と塗布領域の広さとの関係に特徴を有する。具体的には、それぞれの塗布領域の広さは、それぞれの塗布領域の位置によって異なる。以下、ＴＦＴ基板における塗布領域の位置と塗布領域の広さとの関係についてより詳細に説明する。
（ｉ）発色領域内における塗布領域の位置と塗布領域の広さとの関係について
上述のように発色領域は、発色領域の長軸に沿って一列に配列された複数の塗布領域を有する。本発明では、全ての発色領域において、それぞれの発色領域の長軸方向の端部に位置する塗布領域（以下「端部塗布領域」という）は、それぞれの発色領域の長軸方向の中央部に位置する塗布領域（以下「中央部塗布領域」という）よりも広い（図１３、図１４、図１５参照）。ここで中央部塗布領域とは、発色領域の長軸方向の中央に位置する画素電極を含む塗布領域を意味する。
上述のように発色領域は、発色領域の長軸に沿って一列に配列された複数の塗布領域を有する。本発明では、全ての発色領域において、それぞれの発色領域の長軸方向の端部に位置する塗布領域（以下「端部塗布領域」という）は、それぞれの発色領域の長軸方向の中央部に位置する塗布領域（以下「中央部塗布領域」という）よりも広い（図１３、図１４、図１５参照）。ここで中央部塗布領域とは、発色領域の長軸方向の中央に位置する画素電極を含む塗布領域を意味する。
端部塗布領域を中央部塗布領域よりも広くするために、例えば、端部塗布領域の長さを中央部塗布領域の長さよりも長くすればよい。この場合、端部塗布領域の内部に配列された画素電極の数が、中央部塗布領域の内部に配列された画素電極の数よりも多くなる（図１３参照）。ここで「塗布領域の長さ」とは、発色領域の長軸方向の塗布領域の長さを意味する。
また、それぞれの塗布領域の長さを同じにし、例えば端部塗布領域の幅を、中央部塗布領域の幅よりも広げることで、端部塗布領域を中央部塗布領域よりも広くしてもよい（図１４参照）。この場合、それぞれの塗布領域の内部に配列された画素電極の数は同じになる。ここで「塗布領域の幅」とは、発色領域の長軸に対して垂直方向の塗布領域の長さを意味する。
また、端部塗布領域を規定するバンクを、中央部塗布領域を規定するバンクよりも高くしたり、端部塗布領域を規定するバンクのテーパ角度を、中央部塗布領域を規定するバンクのテーパ角度よりも小さくすることで、端部塗布領域の容積を中央部塗布領域の容積よりも大きくしてもよい（図１６および図１７参照）。
塗布領域の広さは、発色領域の長軸方向の端部から、発色領域の長軸方向の中央部に向けて広義単調減少することが好ましい。ここで「発色領域の長軸方向の端部から、発色領域の長軸方向の中央部に向けて広義単調減少する」とは、端部塗布領域から中央部塗布領域塗まで塗布領域の面積が、少なくとも増加しないことを意味する。
このように、端部塗布領域を中央部塗布領域よりも広くすることで、後述するインクの乾燥速度を発色領域内で均一にすることができ、発色領域内で一様な膜厚を有する有機機能層を形成することができる。端部塗布領域を中央部塗布領域よりも広くすることで、インクの乾燥速度を均一化することができる理由については、後述する第２ステップの説明において、詳細に説明する。
（ii）基板内における発色領域の位置と、その発色領域が有する塗布領域の広さとの関係について
上述したようにＴＦＴ基板では、発色領域内で有機機能層の膜厚を一様にするため、発色領域内で塗布領域の広さが調節されている。本発明ではさらに発色領域ごとに塗布領域の広さを調節してもよい。発色領域ごとに塗布領域の広さを調節することで、発色領域間
でインクの乾燥速度を均一化することができ、発色領域間で有機機能層の膜厚を一様にすることができる。つまり、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルの、特定の方向の端部に位置する発色領域（以下「端部発色領域」という。図１３、図１４、図１５の１０３Ｘ参照）に含まれる塗布領域の平均面積は、前記特定の方向の中央部に位置する発色領域（以下「中央部発色領域」という。図１３、図１４、図１５の１０３Ｙ参照）に含まれる塗布領域の平均面積よりも広いことが好ましい。
上述したようにＴＦＴ基板では、発色領域内で有機機能層の膜厚を一様にするため、発色領域内で塗布領域の広さが調節されている。本発明ではさらに発色領域ごとに塗布領域の広さを調節してもよい。発色領域ごとに塗布領域の広さを調節することで、発色領域間
でインクの乾燥速度を均一化することができ、発色領域間で有機機能層の膜厚を一様にすることができる。つまり、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルの、特定の方向の端部に位置する発色領域（以下「端部発色領域」という。図１３、図１４、図１５の１０３Ｘ参照）に含まれる塗布領域の平均面積は、前記特定の方向の中央部に位置する発色領域（以下「中央部発色領域」という。図１３、図１４、図１５の１０３Ｙ参照）に含まれる塗布領域の平均面積よりも広いことが好ましい。
端部発色領域に含まれる塗布領域の平均面積を中央部発色領域に含まれる塗布領域の平均面積よりも広くするには、例えば、端部発色領域が有する塗布領域の数を、中央部発色領域が有する塗布領域の数よりも少なくしてもよい（図１３、図１５参照）。
また、端部発色領域の中央部塗布領域は、中央部発色領域の中央部塗布領域よりも広いことが好ましい（図１３、図１４、図１５参照）。
また、端部発色領域の中央部塗布領域は、中央部発色領域の中央部塗布領域よりも広いことが好ましい（図１３、図１４、図１５参照）。
このように、端部発色領域に含まれる塗布領域の平均面積を中央部塗布領域に含まれる塗布領域の平均面積よりも大きくすることで、発色領域間でインクの乾燥速度を均一にすることができ、発色領域間で有機機能層の膜厚を一様にすることができる。この効果については、後述する第２ステップの説明において、詳細に説明する。
２）第２ステップについて
第２ステップでは、準備したＴＦＴ基板にインクジェットで、有機機能材料を含むインク（以下、単に「インク」とも言う）を塗布して、有機機能層を形成する。
第２ステップでは、準備したＴＦＴ基板にインクジェットで、有機機能材料を含むインク（以下、単に「インク」とも言う）を塗布して、有機機能層を形成する。
インクジェットで、インクを塗布するには、インクを吐出するノズルを複数有するインクジェットヘッドをＴＦＴ基板に対して相対移動すればよい。インクジェットヘッドは、上述した発色領域の長軸に対して平行に移動させる方法（縦塗り）と、発色領域の長軸に対して垂直に移動させる方法（横塗り）とがあるが、後者がより好ましい。横塗りの場合、複数のノズルから、１つの塗布領域にインクが吐出され、塗布されることから、ノズルごとのインクの吐出量の差による有機機能層の膜厚ムラが防止されるからである（図４参照）。
以下、「横塗り」によって、ＴＦＴ基板にインクを塗布する方法について、図面を用いて説明する。
以下、「横塗り」によって、ＴＦＴ基板にインクを塗布する方法について、図面を用いて説明する。
第２ステップは、さらにｉ）複数のノズルを有するインクジェットヘッドを、発色領域の長軸に対する側部であって、かつ基板の発色領域以外の領域上に配置するステップ（図５）、ii）基板の発色領域以外の領域にインクをノズルから吐出し、インクジェットヘッドが有するノズルのうちインクを吐出しないノズルの位置および数を特定するステップ、iii）インクを吐出しないノズルに隣接するノズルが吐出する前記インクの量を通常よりも多く設定するステップ、およびiv）インクジェットヘッドを、発色領域の長軸に対して垂直に相対移動させ、塗布領域に、インクをノズルから吐出し、塗布するステップを有する（図６、７、８、９、１０）。
図５はステップｉ）後の状態を示す。ステップｉ）では、インクジェットヘッドを、準備したＴＦＴ基板１００の発色領域１０３の長軸に対する側部であって、かつ基板１０１の発色領域１０３以外の領域上に配置する。より具体的には複数の発色領域１０３のうち、最も端の発色領域１０３Ｘの、長軸に対する側部に、インクジェットヘッド１５０を配置する。配置されたインクジェットヘッド１５０のノズル１５１の配列方向と、発色領域１０３の長軸とは、平行であってもよい（図５参照）。
図５に示されたように、インクジェットヘッド１５０に配置されたノズル１５１（１５１−１〜１５１−ｎ）のうち、一方の端にあるノズル１５１−１から、もう一方の端にあ
るノズル１５１−ｎまでの距離は、基板１０１の発色領域１０３の長軸方向の長さと同じか、またはそれ以上であることが好ましい。発色領域１０３が有する全ての塗布領域１０５に、同時に、インクを塗布することができるからである。また、発色領域１０３の長軸方向に対して、インクジェットヘッド１５０のノズル１５１の配列方向を傾けた場合には、「ノズル１５１−１からノズル１５１−ｎまでの距離の発色領域の長軸方向の成分」が、発色領域１０３の長軸方向の長さと同じか、またはそれ以上であることが好ましい。
るノズル１５１−ｎまでの距離は、基板１０１の発色領域１０３の長軸方向の長さと同じか、またはそれ以上であることが好ましい。発色領域１０３が有する全ての塗布領域１０５に、同時に、インクを塗布することができるからである。また、発色領域１０３の長軸方向に対して、インクジェットヘッド１５０のノズル１５１の配列方向を傾けた場合には、「ノズル１５１−１からノズル１５１−ｎまでの距離の発色領域の長軸方向の成分」が、発色領域１０３の長軸方向の長さと同じか、またはそれ以上であることが好ましい。
インクジェットヘッド１５０にライン状に配列されるノズル１５１間の間隔（ピッチ）は、１０μｍ〜５０μｍであることが好ましく、例えば約２０μｍであることが好ましい。ノズル１５１から吐出されたインクが着弾地点で互いに連結するようにするためである。また、ノズル１５１から吐出される液滴の一滴当たりの量は、１ｐｌ〜１５ｐｌであることが好ましく、例えば３ｐｌであることが好ましい。
インクジェットヘッドには有機機能材料を含むインクが供給される。本発明では、有機機能材料は、高分子有機発光材料を含むことが好ましい。高分子有機発光材料は発色領域から所望の発色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）が生じるように、適宜選択される。
ステップii）では、基板１０１の発色領域１０３以外の領域にインクをノズル１５１から所定量吐出し、インクジェットヘッド１５０に含まれるノズル１５１のうちインクを吐出しないノズル（以下「不吐出ノズル」という）の位置および数を特定する。不吐出ノズルの位置および数を特定するにはノズルから吐出され基板上に着弾したインクをカメラで観察して、いずれのノズルからインクが吐出されていないかを確認すればよい。
特定された不吐出ノズルの数が一定数以上であった場合、ステップiii）には移行せず、インクジェットヘッドのノズルは洗浄される。例えば、不吐出ノズルの割合がノズル全体の２％以上であった場合、インクジェットヘッドのノズルはパージ、ワイピング等によって洗浄され、洗浄後、再びステップii）が繰り返される。一方で、ステップii）で不吐出ノズルの割合が２％以下であると確認された場合、ステップiii）に移行する。
インクジェット装置では、ヘッド吐出面が乾いたり、インクが凝集したりすることにより、ノズルの吐出口が詰まることがある。ノズルの吐出口が詰まった場合、インクジェットヘッドを洗浄するなどの処理が必要になり作業効率が低下する。また、インクジェットを洗浄したとしても完全にノズルの詰りをなくすことは困難である。そのため実際には、一定の不吐出ノズルを含むインクジェットヘッドを用いてインクを塗布することが要求される。
ステップiii）では、ステップii）で位置を特定した不吐出ノズルの両隣のノズルが吐出するインクの量をステップii）で吐出した「所定量」よりも多く設定する。具体的には、不吐出ノズルの両隣のノズルの液滴を吐出するインターバル（１の液滴を吐出してから、次の液滴を吐出するまでの時間）を通常の２／３に設定する。ノズルの液滴を吐出するインターバルを通常の２／３に設定することで、ノズルが一定時間に吐出する液滴の量は、通常のノズルが吐出する液滴の量の１．５倍になる。不吐出ノズルの両隣のノズルが吐出するインクの量をそれぞれ１．５倍にすることで、不吐出ノズルによるインクの不足をカバーすることができる。
このように、ステップii）およびステップiii）によって、ノズルヘッドが一定の数の不吐出ノズルを有する場合であっても、必要な量のインクが塗布領域内に供給されるように調整することができる。これによりステップiv）でインクが塗布されない領域が生じることを防止することができ、歩留まりを向上させることができる。
図６、図７、図８および図９はステップiv）が行われる様子を示す。ステップiv）では、インクジェットヘッド１５０を、ＴＦＴ基板１００の発色領域１０３の長軸に対して垂直方向に、ＴＦＴ基板１００に対して相対的に移動させる（図６）。インクジェットヘッド１５０を、ＴＦＴ基板１００に対して相対的に移動させるには、インクジェットヘッド１５０を移動させてもよいし、ＴＦＴ基板１００を搬送してもよいし、両方を移動させてもよい。インクジェットヘッド１５０の相対移動の結果、インクジェットヘッド１５０のノズル１５１が発色領域１０３の一つに到達したら、ノズル１５１からインクの液滴を吐出する。
発色領域１０３は、バンク１０７によって規定された複数の塗布領域１０５を有することから、吐出されたインクの液滴は、塗布領域１０５に着弾し塗布される。塗布されるインク量は、副画素１つあたり１００〜５００ｐｌである。１つのノズルは通常所定のインターバルで、複数の液滴を吐出し、それにより必要量のインクを供給する。
図７は、ノズル１５１が塗布領域１０５に液滴を吐出している様子を示す模式図である。図７に示されるように塗布領域１０５には複数のノズル１５１によってインクが吐出され塗布される。
図７に示されたノズル１５１ａは、インクを吐出しない、不吐出ノズルである。上述のようにステップiii）によって、不吐出ノズル１５１ａの両隣のノズル１５１ｂが、不吐出ノズルを補うために通常よりも多くのインクを吐出するように調整されている。図７では通常のノズル１５１が、塗布領域１０５に吐出する液滴の数は４つであるが、不吐出ノズル１５１ａの両隣のノズル１５１ｂが吐出する液滴の数は６つである。
このように、不吐出ノズルの両隣が吐出する液滴の量を１．５倍に設定することで、インクジェットヘッドが不吐出ノズルを含む場合であっても、全ての副画素に必要な量のインクを吐出することができる。
このように、不吐出ノズルの両隣が吐出する液滴の量を１．５倍に設定することで、インクジェットヘッドが不吐出ノズルを含む場合であっても、全ての副画素に必要な量のインクを吐出することができる。
インクジェットヘッド１５０のノズル１５１から吐出される液滴の量は、ノズル毎に異なることがあるが、本発明のようにインクジェットヘッドを発色領域の長軸に対して垂直に相対移動させることで、発光領域間のインクの量が均一化される。したがって、ノズル１５１からの液滴量に差があったとしても、発光領域間で塗布膜の膜厚が一様になる。
１つの発色領域１０３のそれぞれの塗布領域１０５へのインクの吐出が完了したら、インクジェットヘッド１５０をさらに相対移動させて、インクの液滴を吐出するべき次の発色領域１０３にインクジェットヘッド１５０を移動させる（図８および図９参照）。通常は、Ｒのインク、ＧのインクおよびＢのインクは、それぞれ別の走査で塗布するので、３つのライン領域毎に、インクの液滴を吐出する。インクジェットヘッド１５０が所望の発色領域１０３に到達したら、再びインクの液滴を吐出して発色領域１０３のそれぞれの塗布領域１０５に液滴を着弾させる。さらに、別の色のインクを同様の方法で塗布して、Ｒ，Ｇ，Ｂの全てのインクを塗布する。これを繰り返して、塗布領域１０５の全てにインクを塗布し、塗布したインクを乾燥させることで有機機能層１１１を形成する（図１０参照）。
上述したように本発明では、端部塗布領域が中央部塗布領域よりも広いことから、塗布領域に塗布されたインクの乾燥速度を、発色領域内で均一化することができ、発色領域内で一様な膜厚を有する有機機能層を形成することができる。
以下、端部塗布領域が中央部塗布領域よりも広いこととインクの乾燥速度の均一化との関係について説明する。
以下、端部塗布領域が中央部塗布領域よりも広いこととインクの乾燥速度の均一化との関係について説明する。
図１１は、図１０で示したＴＦＴ基板のＡＡ線による断面図である。また、図１１にお
ける矢印はインクの蒸発速度を示す。矢印が太いほどインクの蒸発速度が速いことを示す。
ける矢印はインクの蒸発速度を示す。矢印が太いほどインクの蒸発速度が速いことを示す。
図１１に示すように、発色領域１０３の両端の周辺では、溶媒蒸気の濃度が低いことから、インクの蒸発速度が速い。一方で、発色領域の中央の周辺では溶媒蒸気の濃度が高いことから蒸発速度が遅い。
一方で、本発明では、端部塗布領域１０５Ｘは、中央部塗布領域１０５Ｙよりも広い。すなわち端部塗布領域１０５Ｘに塗布されるインクの量は、中央部塗布領域１０５Ｙに塗布されるインクの量よりも多い。したがって、発色領域１０３の端部でインクの蒸発速度が速くても、端部塗布領域１０５Ｘに塗布されるインクの量は多いことから、端部塗布領域１０５Ｘに塗布されたインクが全て乾燥するまでには比較的時間がかかる。一方で、発色領域１０３の中央部では、蒸発速度が遅いが、中央部塗布領域１０５Ｙに塗布されたインクの量は少ないことから、中央部塗布領域１０５Ｙに塗布されたインクが全て乾燥するまでには比較的時間がかからない。
このように、端部塗布領域を、中央部塗布領域よりも広くすることで、端部塗布領域の乾燥速度と中央部塗布領域の乾燥速度とを均一化することができ、発色領域内で有機機能層の膜厚を一様にすることができる。
また、本発明では、端部発色領域１０３Ｘに含まれる塗布領域の平均面積は、中央部発色領域１０３Ｙに含まれる塗布領域の平均面積よりも広いことから、塗布領域に塗布されたインクの乾燥速度を、発色領域間で均一化することができ、発色領域間で一様な膜厚を有する有機機能層を形成することができる。
図１２は、図１０で示したＴＦＴ基板のＢＢ線による断面図である。また、図１２における矢印はインクの蒸発速度を示す。矢印が太いほどインクの蒸発速度が速いことを示す。
図１２に示すように、端部発色領域１０３Ｘの周辺では、溶媒蒸気の濃度が低いことから、インクの蒸発速度が速い。一方で、中央部発色領域１０３Ｙの周辺では溶媒蒸気の濃度が高いことから蒸発速度が遅い。
一方で、本発明では、端部発色領域１０３Ｘに含まれる塗布領域１０５の平均面積は、中央部発色領域１０３Ｙに含まれる塗布領域１０５の平均面積よりも広い（図１０参照）。したがって、たとえ端部発色領域１０３Ｘの周辺でインクの蒸発速度が速くても、端部発色領域１０３Ｘに含まれる塗布領域１０５に塗布されたインクが全て乾燥するまでには比較的時間がかかる。一方で、中央部発色領域１０３Ｙの周辺では、蒸発速度が遅いが、中央部発色領域１０３Ｙに含まれる塗布領域１０５に塗布されたインクが全て乾燥するまでには比較的時間がかからない。
このように、端部発色領域に含まれる塗布領域の平均面積を、中央部発色領域に含まれる塗布領域の平均面積よりも広くすることで、端部発色領域の乾燥速度と中央部発色領域の乾燥速度とを均一化することができ、発色領域間で一様な膜厚の有機機能層を得ることができる。これにより発光ムラのない有機ＥＬディスプレイパネルを製造することができる。
また、発色領域をバンクで複数の塗布領域に区切ることで、歩留まりを向上させることができる。有機ＥＬディスプレイの製造過程において、有機機能層の形成前に、発色領域内にホコリが付着することがある。発色領域が複数の塗布領域に規定されていない場合、
塗布されたインクはホコリに吸引され、発色領域内に有機機能層が形成されない領域が発生する。
一方、本発明のように発色領域がバンクによって複数の塗布領域に規定されていると、塗布されたインクがホコリに吸引されることを、塗布領域を規定するバンクがブロックする。これにより、仮に発色領域内にホコリが付着していたとしても、塗布領域内に有機機能層が形成されない領域が発生しにくくなり、歩留まりが向上する。
塗布されたインクはホコリに吸引され、発色領域内に有機機能層が形成されない領域が発生する。
一方、本発明のように発色領域がバンクによって複数の塗布領域に規定されていると、塗布されたインクがホコリに吸引されることを、塗布領域を規定するバンクがブロックする。これにより、仮に発色領域内にホコリが付着していたとしても、塗布領域内に有機機能層が形成されない領域が発生しにくくなり、歩留まりが向上する。
有機機能層が正孔注入層を含む場合、有機発光層の形成前に、上述した形成方法と同様に、インクジェットで正孔注入層の材料であるＰＥＤＯＴ−ＰＳＳを含むインクを塗布して、正孔注入層を形成してもよい。
また、正孔注入層の形成後、有機発光層の形成前に、上述した形成方法と同様にインクジェットでポリアニリン系の材料を含むインクを塗布して、正孔輸送層を形成してもよい。
有機電界ＥＬ層を形成したのち、電子注入輸送層、対向電極などを積層し、さらに封止膜やガラス基板などを配置してディスプレイを製造する。
このように本発明の有機ＥＬディスプレイの製造方法によれば、画素間で一様な膜厚の有機機能層を形成することができ、発光ムラのない有機ＥＬディスプレイパネルを製造することができる。また、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法によれば、インクジェットヘッドが一定数の不吐出ノズルを有する場合であっても、塗布領域に必要な量のインクを提供することができ、歩留まりを向上させることができる。
２．本発明の有機ＥＬディスプレイパネルについて
本発明の有機ＥＬディスプレイパネルは、基板、基板上に形成されたバンクおよび基板上にマトリクス状に配置された複数の画素電極を有する。各画素電極は長軸および短軸を有する。
本発明の有機ＥＬディスプレイパネルは、基板、基板上に形成されたバンクおよび基板上にマトリクス状に配置された複数の画素電極を有する。各画素電極は長軸および短軸を有する。
画素電極は、基板上に配置された導電性部材である。画素電極は、通常陽極として機能するが、陰極として機能してもよい。また各画素電極上には遷移金属の酸化物かなる正孔注入層が形成されていてもよい。遷移金属の酸化物の例には、ＷＯｘ（タングステンオキサイド）、ＭｏＯｘ（モリブデンオキサイド）、ＶＯｘ（バナジウムオキサイド）およびこれらの組み合わせなどが含まれる。
遷移金属の酸化物からなる正孔注入層は副画素ごとに形成されてもよいし、複数の副画素が１つの正孔注入層を共有してもよい。遷移金属の酸化物からなる正孔注入層は、副画素ごとに形成されることが好ましい。
基板は、画素電極に接続された、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を有していてもよい。
基板は、特定の方向に沿って、互いの長軸が平行になるように配置された、発色領域を有する。発色領域は長軸を有し、発色領域の長軸は上述した画素電極の長軸と平行である。
基板の材料は、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型か、トップエミッション型かによって異なる。例えば、ボトムエミッション型の場合は、基板が絶縁性かつ透明であることが求められる。したがってボトムエミッション型の場合、基板の材料はガラスや透明樹脂などであればよい。一方、トップエミッション型の場合は、基板が透明である必要はない。したがって、トップエミッション型の場合、基板の材料は絶縁
性であれば任意である。
性であれば任意である。
バンクは、発色領域を複数の塗布領域に区切る。すなわちバンクは塗布領域を規定する。バンクは、１の発色領域に複数の塗布領域が、発色領域の長軸に沿ってライン状に配列されるように塗布領域を規定する。バンクの材料は例えば、ポリイミドなどの絶縁樹脂である。バンクの高さ（バンクの底面とバンクの上面との距離）は、０．１μｍ〜２μｍであり、特に０．８μｍ〜１．２μｍであることが好ましい。バンクの高さが２μｍ以上であった場合、後述する対向電極がバンクによって分断される恐れがある。また、バンクの高さが０．８μｍ以下であった場合、バンクによって規定された領域内に塗布されたインクがバンクから漏れ出すおそれがある。また、バンクは順テーパ状であることが好ましい（図１７、図１８参照）。
また、端部塗布領域を規定するバンクを、中央部塗布領域を規定するバンクよりも高くしたり、端部塗布領域を規定するバンクのテーパ角度を、中央部塗布領域を規定するバンクのテーパ角度を調節することで、端部塗布領域の容積を中央部塗布領域の容積よりも大きくしてもよい（実施の形態３参照）。
１の塗布領域内には、１または２以上の画素電極が配列される。塗布領域が２以上の画素電極を有する場合、画素電極は塗布領域内に、発色領域の長軸に沿って１列に配列される。画素電極の長軸は、２２０〜３９０μｍであり、画素電極の短軸は７０〜１２５μｍであることが好ましい。
画素電極の材料は、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルがボトムエミッション型か、トップエミッション型かによって異なる。ボトムエミッション型の場合、画素電極が透明電極であることが求められることから、画素電極の材料の例は、ＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）やＩＺＯ（酸化インジウム・亜鉛）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）などを含む。
トップエミッション型の場合、画素電極に光反射性が求められることから、画素電極の材料の例は、銀を含む合金、より具体的には銀−パラジウム−銅合金（ＡＰＣとも称する）や銀−ルテニウム−金合金（ＡＲＡとも称する）、ＭｏＣｒ（モリブデンクロム）、ＮｉＣｒ（ニッケルクロム）、アルミニウム−ネオジム合金（Ａｌ−Ｎｄとも称する）などを含む。
トップエミッション型の場合、画素電極に光反射性が求められることから、画素電極の材料の例は、銀を含む合金、より具体的には銀−パラジウム−銅合金（ＡＰＣとも称する）や銀−ルテニウム−金合金（ＡＲＡとも称する）、ＭｏＣｒ（モリブデンクロム）、ＮｉＣｒ（ニッケルクロム）、アルミニウム−ネオジム合金（Ａｌ−Ｎｄとも称する）などを含む。
本発明の有機ＥＬディスプレイパネルは、塗布領域の位置と塗布領域の広さとの関係に特徴を有する。以下、有機ＥＬディスプレイパネルにおける塗布領域の位置と塗布領域の広さとの関係について説明する。
（１）発色領域内における塗布領域の位置と塗布領域の広さとの関係について
本発明の有機ＥＬディスプレイパネルでは、全ての発色領域において、端部塗布領域が中央部塗布領域よりも広い。塗布領域の広さは、端部塗布領域から中央部塗布領域まで広義に単調減少することが好ましい。端部塗布領域を中央部塗布領域よりも広くするには、例えば、端部塗布領域の長さを中央部塗布領域の長さよりも長くしてもよい。この場合、端部塗布領域の内部に配列された画素電極の数は、中央部塗布領域の内部に配列された画素電極の数よりも多くなる（図１３参照）。例えば、ある発色領域において、一方の端部塗布領域に含まれる画素電極の数を、その発色領域が有する画素電極の総数の０．５〜１５％とし；中央部塗布領域に含まれる画素電極の数を、その発色領域が有する画素電極の総数の０．２〜１．５％とすればよい。
本発明の有機ＥＬディスプレイパネルでは、全ての発色領域において、端部塗布領域が中央部塗布領域よりも広い。塗布領域の広さは、端部塗布領域から中央部塗布領域まで広義に単調減少することが好ましい。端部塗布領域を中央部塗布領域よりも広くするには、例えば、端部塗布領域の長さを中央部塗布領域の長さよりも長くしてもよい。この場合、端部塗布領域の内部に配列された画素電極の数は、中央部塗布領域の内部に配列された画素電極の数よりも多くなる（図１３参照）。例えば、ある発色領域において、一方の端部塗布領域に含まれる画素電極の数を、その発色領域が有する画素電極の総数の０．５〜１５％とし；中央部塗布領域に含まれる画素電極の数を、その発色領域が有する画素電極の総数の０．２〜１．５％とすればよい。
端部塗布領域および中央部塗布領域が有する画素電極の具体的な数は、有機ＥＬディスプレイパネルの大きさ等によって変動するが、例えば、２０インチ（１３６６×７６８画素）の有機ＥＬディスプレイパネルの場合、端部塗布領域が有する画素電極の数を５〜１
００とし、中央部塗布領域が有する画素電極を２〜１０としてもよい。
００とし、中央部塗布領域が有する画素電極を２〜１０としてもよい。
また、それぞれの塗布領域の長さを同じにし、端部塗布領域の幅を中央部塗布領域の幅よりも広げることで、端部塗布領域を中央部塗布領域よりも広くしてもよい（図１４参照）。例えば、端部塗布領域の幅を６０〜９０μｍとし、中央部塗布領域の幅を５０〜７０μｍとすればよい。この場合、それぞれの塗布領域が有する画素電極の数は同じになる（図１４参照）。
（２）基板内における発色領域の位置と、その発色領域が有する塗布領域の広さとの関係について
本発明の有機ＥＬディスプレイパネルでは、端部発色領域に含まれる塗布領域の平均面積は、中央部塗布領域に含まれる塗布領域の平均面積よりも広いことが好ましい。
本発明の有機ＥＬディスプレイパネルでは、端部発色領域に含まれる塗布領域の平均面積は、中央部塗布領域に含まれる塗布領域の平均面積よりも広いことが好ましい。
端部発色領域に含まれる塗布領域の平均面積を中央部発色領域に含まれる塗布領域の平均面積よりも広くするには、例えば、端部発色領域が有する塗布領域の数を、中央部発色領域が有する塗布領域の数よりも少なくしてもよい（図１３参照）。
また、端部発色領域の中央部塗布領域は、中央部発色領域の中央部塗布領域よりも広いことが好ましい（図１３、図１４参照）。
また、端部発色領域の中央部塗布領域は、中央部発色領域の中央部塗布領域よりも広いことが好ましい（図１３、図１４参照）。
このように、塗布領域の広さを塗布領域の位置によって違えることで、基板上のそれぞれの塗布領域に塗布されるインクの乾燥速度を均一化することができ、画素間で一様な膜厚の有機機能層を有する有機ＥＬディスプレイパネルが得られる。
画素電極上には有機機能層が配置される。有機機能層は、少なくとも有機発光層を含み、バンクによって規定された塗布領域内に塗布法によって形成される層である。
有機機能層に含まれる有機発光層は、有機発光材料を含む。有機発光材料は低分子有機発光材料であっても、高分子有機発光材料であってもよいが、高分子有機発光材料であることが好ましい。高分子有機発光材料を含む有機発光層は、塗布法によって形成しやすいからである。高分子有機発光材料の例には、ポリフェニレンビニレンおよびその誘導体、ポリアセチレン（Poly acetylene）およびその誘導体、ポリフェニレン（Poly phenylene
（PP））およびその誘導体、ポリパラフェニレンエチレン（Poly para phenylene ethylene）およびその誘導体、ポリ３−ヘキシルチオフェン（Poly 3-hexyl thiophene （P3HT））およびその誘導体、ポリフルオレン（Poly fluorene （PF））およびその誘導体などが含まれる。
（PP））およびその誘導体、ポリパラフェニレンエチレン（Poly para phenylene ethylene）およびその誘導体、ポリ３−ヘキシルチオフェン（Poly 3-hexyl thiophene （P3HT））およびその誘導体、ポリフルオレン（Poly fluorene （PF））およびその誘導体などが含まれる。
有機機能層は、さらに正孔注入層や正孔輸送層などを含んでいてもよい。
有機機能層が正孔注入層を含む場合、正孔注入層の材料の例には、ポリエチレンスルホン酸をドープしたポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）（ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳと称される）や、その誘導体（共重合体など）が含まれる。
また正孔輸送層は、正孔注入層に電子が輸送されることをブロックする役割や、有機機能層に正孔を効率よく運ぶ役割などを有する。正孔輸送層は、画素電極（または正孔注入層）と有機機能層との間に、配置される。正孔輸送層の材料の例には、ポリアニリンなどが含まれる。正孔輸送層の厚さは通常、１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であり、約４０ｎｍでありうる。
本発明の有機ＥＬディスプレイパネルは、有機機能層上に対向電極を有する。対向電極は、有機機能層上に配置される導電性部材である。対向電極は通常陰極として機能するが
、陽極として機能してもよい。対向電極層の材料は、有機ＥＬディスプレイパネルが、ボトムエミッション型か、トップエミッション型かによって、異なる。トップエミッション型の場合には対向電極が透明である必要があることから、対向電極の材料の例は、ＩＴＯやＩＺＯなどを含む。
一方、ボトムエミッション型の場合には対向電極が透明である必要はなく、対向電極の材料は、導電性であれば任意である。対向電極は、各副画素領域に配置された有機機能層上に形成されていればよいが、全ての発色領域に亘って形成されていてもよい。
、陽極として機能してもよい。対向電極層の材料は、有機ＥＬディスプレイパネルが、ボトムエミッション型か、トップエミッション型かによって、異なる。トップエミッション型の場合には対向電極が透明である必要があることから、対向電極の材料の例は、ＩＴＯやＩＺＯなどを含む。
一方、ボトムエミッション型の場合には対向電極が透明である必要はなく、対向電極の材料は、導電性であれば任意である。対向電極は、各副画素領域に配置された有機機能層上に形成されていればよいが、全ての発色領域に亘って形成されていてもよい。
本発明の有機ＥＬディスプレイパネルに、さらに対向電極を形成した面にカバー材を設けて封止してもよい。カバー材により水分や酸素の浸入を抑制する。
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
（実施の形態１）
本実施の形態では、全ての発色領域において、端部塗布領域の長さ（発色領域の長軸方向の長さ）が中央部塗布領域の長さよりも長い例について説明する。すなわち、実施の形態１では、端部塗布領域が有する画素電極の数が、中央部塗布領域が有する画素電極の数よりも多い例について説明する。
本実施の形態では、全ての発色領域において、端部塗布領域の長さ（発色領域の長軸方向の長さ）が中央部塗布領域の長さよりも長い例について説明する。すなわち、実施の形態１では、端部塗布領域が有する画素電極の数が、中央部塗布領域が有する画素電極の数よりも多い例について説明する。
図１３は、本実施の形態の有機ＥＬディスプレイパネルから対向電極を取り除いたディスプレイパネル（ＴＦＴ基板）である。また、図１３は、図１０のディスプレイパネル（ＴＦＴ基板）から有機機能層１１１を取り除いたディスプレイパネルでもある。
図１３に示されたように、本実施の形態のＴＦＴ基板１００は、基板１０１、バンク１０７、画素電極１０９を有する。
基板１０１は、Ｘ方向に沿って並んだ互いに平行な発色領域１０３を有する。
バンク１０７は発色領域１０３を複数の塗布領域１０５に区分する。すなわちバンク１０７は塗布領域１０５を規定する。塗布領域１０５は発色領域１０３内に、発色領域１０３の長軸に沿って一列に配列される。
塗布領域１０５内には画素電極１０９が配列される。塗布領域１０５が有する画素電極の数は塗布領域１０５の位置によって異なる。例えば、中央部発色領域１０３Ｙでは、端部塗布領域１０５Ｘは４つの画素電極１０９を有する。一方で中央部塗布領域１０５Ｙは１つの画素電極１０９を有する。また、中央部塗布領域１０５Ｙと端部塗布領域１０５Ｘとの間には、端部塗布領域１０５Ｘと同じ大きさの（４つの画素電極を有する）塗布領域１０５が複数個配列されていてもよい。この場合、一つの発色領域１０３において、２つの端部塗布領域１０５Ｘおよび端部塗布領域１０５Ｘと同じ大きさの（４つの画素電極を有する）複数の塗布領域１０５に含まれる画素電極１０９の総数は、その発色領域１０３が有する画素電極１０９の総数の５０〜９５％であり；中央部塗布領域１０５Ｙに含まれる画素電極１０９の数は、その発色領域１０３が有する画素電極１０９の総数の１０％以下である。
また、端部発色領域１０３Ｘの端部塗布領域１０５Ｘは、５つの画素電極を有し、端部発色領域１０３Ｘの中央部塗布領域１０５Ｙは、３つの塗布領域を有する。このため、端部発色領域１０３Ｘに含まれる塗布領域１０５の平均面積は、中央部発色領域１０３Ｙに含まれる塗布領域１０５の平均面積よりも大きい。
また、端部発色領域１０３Ｘの端部塗布領域１０５Ｘは、５つの画素電極を有し、端部発色領域１０３Ｘの中央部塗布領域１０５Ｙは、３つの塗布領域を有する。このため、端部発色領域１０３Ｘに含まれる塗布領域１０５の平均面積は、中央部発色領域１０３Ｙに含まれる塗布領域１０５の平均面積よりも大きい。
このように、本実施の形態では、塗布領域の広さを塗布領域の位置によって違えることで、基板上のそれぞれの塗布領域に塗布されるインクの乾燥速度を均一化することができ
、画素間で一様な膜厚の有機機能層を有する有機ＥＬディスプレイパネルが得られる。
、画素間で一様な膜厚の有機機能層を有する有機ＥＬディスプレイパネルが得られる。
（実施の形態２）
実施の形態１では、端部塗布領域の長さが中央部塗布領域の長さよりも長い例について説明した。実施の形態２では、全ての発色領域において、それぞれの塗布領域の長さが同じで、端部塗布領域の幅が中央部塗布領域の幅よりも大きい例について説明する。すなわち、実施の形態２では、それぞれの塗布領域が有する画素電極の数が同じ例について説明する。
実施の形態１では、端部塗布領域の長さが中央部塗布領域の長さよりも長い例について説明した。実施の形態２では、全ての発色領域において、それぞれの塗布領域の長さが同じで、端部塗布領域の幅が中央部塗布領域の幅よりも大きい例について説明する。すなわち、実施の形態２では、それぞれの塗布領域が有する画素電極の数が同じ例について説明する。
図１４は、本実施の形態の有機ＥＬディスプレイパネルから対向電極および有機機能層を取り除いたディスプレイパネル（ＴＦＴ基板）である。
図１４に示されたように、本実施の形態のＴＦＴ基板２００は、基板１０１、バンク１０７、画素電極１０９を有する。
基板１０１は、Ｘ方向に沿って並んだ互いに平行な発色領域１０３を有する。
バンク１０７は発色領域１０３を複数の塗布領域１０５に区分する。すなわちバンク１０７は塗布領域１０５を規定する。塗布領域１０５は発色領域１０３内に、発色領域１０３の長軸に沿ってライン状に配列される。
塗布領域１０５の広さは、塗布領域１０５の位置によって異なる。例えば、端部塗布領１０５Ｘは、中央部塗布領域１０５Ｙよりも幅が広く面積が広い。また、端部発色領域１０３Ｘの端部塗布領域１０５Ｘは、端部発色領域１０３Ｘの中央部塗布領域１０５Ｙよりも幅が広く面積が広い。
また、端部発色領域１０３Ｘは、面積が最大の塗布領域１０３を５つ有するが、中央部発色領域１０３Ｙは、面積が最大の塗布領域１０３を４つしか有さない。さらに端部発色領域１０３Ｘが有する中央部塗布領域１０５Ｘは、中央部発色領域１０３Ｙが有する中央部塗布領域１０５Ｘよりも大きい。このため、端部発色領域１０３Ｘに含まれる塗布領域１０５の平均面積は、中央部発色領域１０３Ｙに含まれる塗布領域１０５の平均面積よりも大きい。
本実施の形態では、塗布領域１０５に含まれる画素電極１０９の数は、１つである例について説明したが、塗布領域１０５に含まれる画素電極の数は２以上であってもよい。
このように、本実施の形態では、塗布領域の広さを塗布領域の位置によって違えることで、基板上のそれぞれの塗布領域に塗布されるインクの乾燥速度を均一化することができ、画素間で一様な膜厚の有機機能層を有する有機ＥＬディスプレイパネルが得られる。
（実施の形態３）
実施の形態３では、有機ＥＬディスプレイパネル上の位置によってバンクのテーパ角度が異なる本発明の有機ＥＬディスプレイパネルについて説明する。
実施の形態３では、有機ＥＬディスプレイパネル上の位置によってバンクのテーパ角度が異なる本発明の有機ＥＬディスプレイパネルについて説明する。
図１５は、実施の形態３の有機ＥＬディスプレイパネル３００から対向電極および有機機能層を取り除いたティスプレイパネル（ＴＦＴ基板）の平面図である。図１７は、図１５の四角αで囲まれた領域の拡大図である。
図１７Ａは、図１６に示された有機ＥＬディスプレイパネル３００のＡＡ線による断面図である。すなわち、図１７Ａには、中央部塗布領域１０５Ｙを規定するバンク１０７の
断面図が示される。図１７Ｂは、図１６に示された有機ＥＬディスプレイパネル３００のＢＢ線による断面図である。図１７Ｃは、図１６に示された有機ＥＬディスプレイパネル３００のＣＣ線による断面図である。すなわち、図１７Ｃには、端部塗布領域１０５Ｘを規定するバンク１０７の断面図が示される。
断面図が示される。図１７Ｂは、図１６に示された有機ＥＬディスプレイパネル３００のＢＢ線による断面図である。図１７Ｃは、図１６に示された有機ＥＬディスプレイパネル３００のＣＣ線による断面図である。すなわち、図１７Ｃには、端部塗布領域１０５Ｘを規定するバンク１０７の断面図が示される。
実施の形態３の有機ＥＬディスプレイパネル３００は、有機ＥＬディスプレイパネル上の位置によってバンクのテーパ角度が異なる以外は、実施の形態１の有機ＥＬディスプレイパネル１００と同じである。実施の形態１の有機ＥＬディスプレイパネル１００と同一の構成部材については同一の符号を付し、説明を省略する。
図１７Ａ〜Ｃに示されるように、本実施の形態では、順テーパ状のバンク１０７を有する。
また、本実施の形態は、バンク１０７のテーパ角度θが変化することを特徴とする。具体的には、中央部塗布領域１０５Ｙを規定するバンク１０７のテーパ角度θは大きく（図１７Ａ参照）、端部塗布領域１０５Ｘを規定するバンク１０７のテーパ角度θは、小さい（図１７Ｃ参照）。バンク１０７のテーパ角度は、発色領域の長軸方向の中心部から発色領域の長軸方向の端部に向って徐々に小さくなることが好ましい（図１７Ａ〜Ｃ参照）。
バンク１０７のテーパ角度を調節するには、フォトリソグラフィ法でバンクを形成する際に多階調マスク（グレイトーンマスクやハーフトーンマスク）の濃淡を適宜調節すればよい。例えば、バンクの材料をポジ型のフォトレジストとし、発色領域の長軸方向の端部になるほど光透過度が増加するマスクを介して、フォトレジストを露光し、パターニングすればよい。
このようにバンクの端部塗布領域を規定するバンクのテーパ角度を小さくし、中央部塗布領域を規定するバンクのテーパ角度を大きくすることで、端部塗布領域の容積をさらに大きくすることができる。このため、端部塗布領域に塗布するインクの量を増やすことができ、それぞれの塗布領域に塗布されたインクの乾燥スピードを均一にすることができる。
本出願は、２００８年８月２９日出願の特願２００８−２２２５５２に基づく優先権を主張する。当該出願明細書に記載された内容は、すべて本願明細書に援用される。
本発明の有機ＥＬディスプレイの製造方法によれば、画素間で一様な膜厚の有機機能層を形成することができ、発光ムラのない有機ＥＬディスプレイパネルを製造することができる。また、本発明の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法によれば、インクジェットヘッドが一定数の不吐出ノズルを有する場合であっても、塗布領域に必要な量のインクを提供することができ、歩留まりを向上することができる。
１０ 基板
１１ バンク
１２ 発光領域
２０ インクジェットヘッド
２１ ノズル
１００、２００、３００ ＴＦＴ基板
１０１ 基板
１０３ 発色領域
１０５ 塗布領域
１０７ バンク
１０９ 画素電極
１１１ 有機機能層
１５０ インクジェットヘッド
１５１ ノズル
１１ バンク
１２ 発光領域
２０ インクジェットヘッド
２１ ノズル
１００、２００、３００ ＴＦＴ基板
１０１ 基板
１０３ 発色領域
１０５ 塗布領域
１０７ バンク
１０９ 画素電極
１１１ 有機機能層
１５０ インクジェットヘッド
１５１ ノズル
Claims (6)
- 特定の方向に沿って、それぞれの長軸が平行になるように配置された複数の発色領域を有する基板と、
前記基板上に形成されたバンクであって、それぞれの前記発色領域内に、前記発色領域の長軸に沿って一列に配列された複数の塗布領域を規定するバンクと、
前記塗布領域の内部に配列された画素電極であって、前記発色領域の長軸と平行な長軸を有する画素電極と、を有する有機ＥＬディスプレイパネルであって、
全ての前記発色領域において、それぞれの前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域は、それぞれの前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域よりも広く、
全ての前記発色領域において、前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域の内部に配列された画素電極の数は、前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域の内部に配列された画素電極の数よりも多い、有機ＥＬディスプレイパネル。 - 前記塗布領域の広さは、前記発色領域の長軸方向の端部から、前記発色領域の長軸方向の中央部に向けて広義単調減少する、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
- 前記特定の方向の端部に位置する前記発色領域に含まれる前記塗布領域の平均面積は、前記特定の方向の中央部に位置する前記発色領域に含まれる前記塗布領域の平均面積よりも広い、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
- 前記特定の方向の端部に位置する前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域は、
前記特定の方向の中央部に位置する前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域よりも広い、
請求項３に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。 - 特定の方向に沿って、それぞれの長軸が平行になるように配置された複数の発色領域を有する基板と、前記基板上に形成されたバンクであって、それぞれの前記発色領域内に、前記発色領域の長軸に沿って一列に配列された複数の塗布領域を規定するバンクと、前記塗布領域の内部に配列された画素電極であって、前記発色領域の長軸と平行な長軸を有する画素電極と、を有するＴＦＴ基板を準備するステップ、
所定のピッチでライン状に配列された２以上のノズルを有し、有機機能材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、前記発色領域の長軸方向に対する側部であって、かつ前記基板の前記発色領域以外の領域上に配置するステップ、および
前記インクジェットヘッドを、前記発色領域の長軸に対して垂直に、相対移動させ、前記塗布領域に、前記インクを前記ノズルから吐出して、塗布するステップ、
を含む、有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、
全ての前記発色領域において、それぞれの前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域は、それぞれの前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域よりも広く、全ての前記発色領域において、前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域の内部に配列された画素電極の数は、前記発色領域の長軸方向の中央部に位置する前記塗布領域の内部に配列された画素電極の数よりも多い、有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。 - 特定の方向に沿って、それぞれの長軸が平行になるように配置された複数の発色領域を有する基板と、前記基板上に形成されたバンクであって、それぞれの前記発色領域内に、前記発色領域の長軸に沿って一列に配列された複数の塗布領域を規定するバンクと、前記塗布領域の内部に配列された画素電極であって、前記発色領域の長軸と平行な長軸を有する画素電極と、を有するＴＦＴ基板を準備するステップ、
所定のピッチでライン状に配列された２以上のノズルを有し、有機機能材料を含有するインクが供給されるインクジェットヘッドを、前記発色領域の長軸方向に対する側部であって、かつ前記基板の前記発色領域以外の領域上に配置するステップ、
前記基板の発色領域以外の領域に前記インクを前記ノズルから所定量吐出し、前記ノズルのうちインクを吐出しないノズルの位置および数を特定するステップ、
前記インクを吐出しないノズルに隣接するノズルが吐出する前記インクの量を前記所定量よりも多く設定するステップ、および
前記インクジェットヘッドを、前記発色領域の長軸に対して垂直に、相対移動させ、前記塗布領域に、前記インクを前記ノズルから吐出し、塗布するステップ、
を含む、有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、
全ての前記発色領域において、それぞれの前記発色領域の長軸方向の端部に位置する前記塗布領域は、それぞれの前記発色領域の長軸方向の中央に位置する前記塗布領域よりも広い、有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
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