JP2011090910A - 有機el装置用基板およびそれを用いた有機el装置の製造方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 77
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 108
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 43
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 42
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 5
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract description 5
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 abstract 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 193
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 28
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 28
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 24
- 239000010408 film Substances 0.000 description 20
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 19
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 18
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 16
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 15
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- -1 SiN Chemical class 0.000 description 9
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 9
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 4
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 4
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 3
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- FYGHSUNMUKGBRK-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-trimethylbenzene Chemical compound CC1=CC=CC(C)=C1C FYGHSUNMUKGBRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 2-phenylpyridine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N anisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 2
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- UOHMMEJUHBCKEE-UHFFFAOYSA-N prehnitene Chemical compound CC1=CC=C(C)C(C)=C1C UOHMMEJUHBCKEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003219 pyrazolines Chemical class 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NGQSLSMAEVWNPU-YTEMWHBBSA-N 1,2-bis[(e)-2-phenylethenyl]benzene Chemical class C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1\C=C\C1=CC=CC=C1 NGQSLSMAEVWNPU-YTEMWHBBSA-N 0.000 description 1
- SHXCHSNZIGEBFL-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzothiazole;zinc Chemical class [Zn].C1=CC=C2SC=NC2=C1 SHXCHSNZIGEBFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 1,4-benzoquinone Chemical compound O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFBJMPNFKOMEEW-UHFFFAOYSA-N 2,3-diphenylbut-2-enedinitrile Chemical group C=1C=CC=CC=1C(C#N)=C(C#N)C1=CC=CC=C1 VFBJMPNFKOMEEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-n-[4-[4-(n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]phenyl]-n-phenylaniline Chemical group CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DDTHMESPCBONDT-UHFFFAOYSA-N 4-(4-oxocyclohexa-2,5-dien-1-ylidene)cyclohexa-2,5-dien-1-one Chemical class C1=CC(=O)C=CC1=C1C=CC(=O)C=C1 DDTHMESPCBONDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005725 8-Hydroxyquinoline Substances 0.000 description 1
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N Aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJWRRBADQOOFSF-UHFFFAOYSA-N C1=CC=C2OC([Zn])=NC2=C1 Chemical class C1=CC=C2OC([Zn])=NC2=C1 AJWRRBADQOOFSF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UXYHZIYEDDINQH-UHFFFAOYSA-N C1=CNC2=C3C=NN=C3C=CC2=C1 Chemical class C1=CNC2=C3C=NN=C3C=CC2=C1 UXYHZIYEDDINQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930192627 Naphthoquinone Natural products 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000292 Polyquinoline Polymers 0.000 description 1
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical group C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical class N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical group C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001716 carbazoles Chemical class 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001246 colloidal dispersion Methods 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000011365 complex material Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 150000001893 coumarin derivatives Chemical class 0.000 description 1
- HFXKQSZZZPGLKQ-UHFFFAOYSA-N cyclopentamine Chemical class CNC(C)CC1CCCC1 HFXKQSZZZPGLKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CUIWZLHUNCCYBL-UHFFFAOYSA-N decacyclene Chemical compound C12=C([C]34)C=CC=C4C=CC=C3C2=C2C(=C34)C=C[CH]C4=CC=CC3=C2C2=C1C1=CC=CC3=CC=CC2=C31 CUIWZLHUNCCYBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003759 ester based solvent Substances 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N ethyl methyl carbonate Chemical compound CCOC(=O)OC JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2C3=C[CH]C=CC3=CC2=C1 RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008376 fluorenones Chemical class 0.000 description 1
- JVZRCNQLWOELDU-UHFFFAOYSA-N gamma-Phenylpyridine Natural products C1=CC=CC=C1C1=CC=NC=C1 JVZRCNQLWOELDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M hexanoate Chemical compound CCCCCC([O-])=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940083761 high-ceiling diuretics pyrazolone derivative Drugs 0.000 description 1
- 150000007857 hydrazones Chemical class 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229940079865 intestinal antiinfectives imidazole derivative Drugs 0.000 description 1
- 150000002503 iridium Chemical class 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052976 metal sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N n,n-diphenyl-4-[4-(n-phenylanilino)phenyl]aniline Chemical class C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical group C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002791 naphthoquinones Chemical class 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N o-biphenylenemethane Natural products C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical compound C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960003540 oxyquinoline Drugs 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N perinone Chemical class C12=NC3=CC=CC=C3N2C(=O)C2=CC=C3C4=C2C1=CC=C4C(=O)N1C2=CC=CC=C2N=C13 DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FIZIRKROSLGMPL-UHFFFAOYSA-N phenoxazin-1-one Chemical compound C1=CC=C2N=C3C(=O)C=CC=C3OC2=C1 FIZIRKROSLGMPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UOMHBFAJZRZNQD-UHFFFAOYSA-N phenoxazone Natural products C1=CC=C2OC3=CC(=O)C=CC3=NC2=C1 UOMHBFAJZRZNQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003057 platinum Chemical class 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 150000004033 porphyrin derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000004032 porphyrins Chemical class 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N pyrazol-3-one Chemical class O=C1C=CN=N1 JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003233 pyrroles Chemical class 0.000 description 1
- MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N quinolin-8-ol Chemical compound C1=CN=C2C(O)=CC=CC2=C1 MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002943 quinolinyl group Chemical group N1=C(C=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000001846 repelling effect Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical class C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N stilbene Chemical class C=1C=CC=CC=1C=CC1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005504 styryl group Chemical group 0.000 description 1
- 229940042055 systemic antimycotics triazole derivative Drugs 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003518 tetracenes Chemical class 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VLLMWSRANPNYQX-UHFFFAOYSA-N thiadiazole Chemical compound C1=CSN=N1.C1=CSN=N1 VLLMWSRANPNYQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 150000001651 triphenylamine derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract
【課題】隣接する塗布領域での膜厚のばらつきを抑え、画素間の輝度差を小さくすることができることで、高い品質を図ることができる有機EL装置用基板および有機EL装置の製造方法を提供する。
【解決手段】有機EL装置用基板1は、互いが平行な複数の画素電極列3が形成された支持基板2と、画素電極列3上に塗布されるインクの塗布領域S1を区画する隔壁5とを備えている。隔壁5は、各画素電極列3の間に、画素電極列3に沿って形成されたストライプ隔壁51と、複数の画素電極列3全体を囲む枠隔壁52とから形成されている。そして、ストライプ隔壁51には、両端部に切欠部51aが設けられている。この切欠部51aのより隣接する塗布領域Sは連通しているので、有機EL層を形成するためのインクを塗布するときに、塗布量の多い方から少ない方へ切欠部51aを通って隣接する塗布領域S1へ流動するので、膜厚のばらつきを抑えることができる。
【選択図】図1
【解決手段】有機EL装置用基板1は、互いが平行な複数の画素電極列3が形成された支持基板2と、画素電極列3上に塗布されるインクの塗布領域S1を区画する隔壁5とを備えている。隔壁5は、各画素電極列3の間に、画素電極列3に沿って形成されたストライプ隔壁51と、複数の画素電極列3全体を囲む枠隔壁52とから形成されている。そして、ストライプ隔壁51には、両端部に切欠部51aが設けられている。この切欠部51aのより隣接する塗布領域Sは連通しているので、有機EL層を形成するためのインクを塗布するときに、塗布量の多い方から少ない方へ切欠部51aを通って隣接する塗布領域S1へ流動するので、膜厚のばらつきを抑えることができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス(organic electroluminescence、以下、「有機EL」と称す。)装置の製造に使用され、支持基板上に画素を区画する隔壁が形成された有機EL装置用基板およびそれを用いた有機EL装置の製造方法に関するものである。
有機EL装置は、携帯電話用などとして既に実用に供されている。有機EL装置は、陽極および陰極と、これら電極に挟まれた発光層を含む1層以上の有機EL層とを有する積層体からなる有機EL素子を含む。発光層は電圧が印加されて電流が流れると発光する有機化合物で形成される。有機EL素子は様々な特性を有するが、薄膜を積層して形成できるため、これを実装する表示装置などの装置を極めて薄型にし得る点が大きな特徴の一つとなっている。
有機EL素子は、通常、支持基板上に画素を区画する隔壁が形成された有機EL装置用基板に、電極と発光層を含む1層以上の有機EL層とを所定の順序で積層させて作製され、この有機EL素子が多数配列されたものが有機EL装置である。
既に実用化されている有機EL装置においては、各有機EL素子の有機EL層はマスクを用いた真空蒸着法を用いて形成されている。しかしマスクのたわみによるパターニング精度の問題や大型真空装置の必要性による成膜コストの問題などから、大画面化が困難とされている。
既に実用化されている有機EL装置においては、各有機EL素子の有機EL層はマスクを用いた真空蒸着法を用いて形成されている。しかしマスクのたわみによるパターニング精度の問題や大型真空装置の必要性による成膜コストの問題などから、大画面化が困難とされている。
一方で、有機EL層形成手法として、塗布法の検討もなされている。塗布法は、有機EL層を構成する成分、すなわち有機EL材料を含むインクを塗布し、これを乾燥等により硬化させて層を形成する方法である。塗布法としては、例えば、インクジェット法(液滴塗布法)、ノズルプリンティング法(液柱塗布法)が挙げられる(例えば、特許文献1)。インクジェット法は、有機EL材料の塗布量を精密に制御でき、また数ミクロン単位での精密な位置制御が可能であり、大画面化の技術として、開発が進められている。ノズルプリンティング法は、吐出ノズルからインクを連続的に液柱として吐出させて、基板上にインクを塗布する方法であり、上述のインクジェット法と同様の利点に加えて、ノズル孔の閉塞が起こりづらいという利点もある。
インクジェット法やノズルプリンティング法などの湿式プロセスを用いた成膜では、基板に多数の有機EL素子を形成するための塗布パターンに応じた隔壁を設け、塗布領域を制御する方法が一般的に採用されている。
ところで、隔壁形状としては、それぞれの画素を格子状の配置とするボックス形状の隔壁や、特許文献1で開示されているような塗布方向に平行なストライプ形状の隔壁が知られている。
しかしながら、ボックス形状の隔壁では画素単位でインクが塗布されるため、画素単位での塗布量がばらつけば有機EL層の膜厚のばらつきとなってしまう。また、ストライプ形状の隔壁では、同じストライプ内の画素では膜厚のばらつきは抑えられるものの、ストライプ間ではやはり膜厚のばらつきが発生する可能性がある。
膜厚のばらつきは、有機EL層が発光層であれば、輝度差となって現れる。表示装置として品質上重要な要素として画素間の輝度差が小さいことが挙げられる。従って、この膜厚のばらつきを抑えることが重要である。
しかしながら、ボックス形状の隔壁では画素単位でインクが塗布されるため、画素単位での塗布量がばらつけば有機EL層の膜厚のばらつきとなってしまう。また、ストライプ形状の隔壁では、同じストライプ内の画素では膜厚のばらつきは抑えられるものの、ストライプ間ではやはり膜厚のばらつきが発生する可能性がある。
膜厚のばらつきは、有機EL層が発光層であれば、輝度差となって現れる。表示装置として品質上重要な要素として画素間の輝度差が小さいことが挙げられる。従って、この膜厚のばらつきを抑えることが重要である。
そこで、本発明は、隣接する塗布領域での膜厚のばらつきを抑え、画素間の輝度差を小さくすることのできる高い品質の表示装置を与える有機EL装置用基板および有機EL装置を提供することを目的とする。
本発明の有機EL装置用基板は、互いに平行な複数の画素電極列が形成された支持基板と、前記画素電極列上に塗布されるインクの塗布領域であって、発光層を含む1層以上の有機EL層を形成するためのインクの塗布領域を区画する隔壁とを備え、前記隔壁は、前記画素電極列のそれぞれの間に、前記画素電極列に沿って形成されたストライプ隔壁と、前記複数の画素電極列全体を囲む矩形状の枠隔壁とから形成され、前記ストライプ隔壁には、隣接する塗布領域を連通させる切欠部が設けられていることを特徴とする。
本発明の有機EL装置用基板には、支持基板に互いが平行な複数の画素電極列が形成され、有機EL層を形成するためのインクの塗布領域を区画する隔壁が形成されている。隔壁は、この画素電極列の間に設けられたストライプ隔壁と、複数の画素電極列全体を囲む枠隔壁とから形成されている。ストライプ隔壁には、隣接する塗布領域を連通させる切欠部が設けられていることで、塗布領域に塗布されたインクは、塗布量の多い方から少ない方へ、連通した塗布領域の間で流動して平準化する。従って、有機EL層の膜厚を塗布領域の間(ストライプ間)で、そのばらつきを抑えることができる。
本発明の有機EL装置用基板には、支持基板に互いが平行な複数の画素電極列が形成され、有機EL層を形成するためのインクの塗布領域を区画する隔壁が形成されている。隔壁は、この画素電極列の間に設けられたストライプ隔壁と、複数の画素電極列全体を囲む枠隔壁とから形成されている。ストライプ隔壁には、隣接する塗布領域を連通させる切欠部が設けられていることで、塗布領域に塗布されたインクは、塗布量の多い方から少ない方へ、連通した塗布領域の間で流動して平準化する。従って、有機EL層の膜厚を塗布領域の間(ストライプ間)で、そのばらつきを抑えることができる。
上記において、前記切欠部が、前記ストライプ隔壁の一端部または両端部に設けられていると、ノズルが塗布領域の一端部から他端部まで、または他端部から一端部まで移動しながら塗布する際に、インクの波がノズルの移動と共に同方向に発生して枠隔壁に衝突する。インクの波は、枠隔壁へ衝突して広がりながら戻る。そして、切欠部を介して隣接する塗布領域に流れ込むので、塗布領域間での有機EL層の膜厚の平準化を促進させることができる。
また、前記切欠部が、それぞれのストライプ隔壁について、一端部と他端部とに交互に設けられていると、例えばノズルプリンティング法を行う場合には、蛇行するように塗布領域を塗布するノズルの塗布順序に合わせて塗布領域の連通を図ることもできる。
前記切欠部が、前記ストライプ隔壁の前記一端部と前記他端部との間の中間部に、1以上設けられていると、枠隔壁から戻ったインクによる波を中間部に設けられた切欠部から隣接した塗布領域に流れ込ませることができる。
さらに、画素電極列を構成するそれぞれの画素電極を区画する画素規制層が設けられていることが望ましい。このような構成をとることにより、インク塗布の際に生じ得る画素電極間の空隙発生を抑制するとともに、インクの流動性を抑制して、塗布領域内におけるインクの塗布膜の膜厚むらを少なくすることができる。
前記隔壁は有機材料から形成され、前記画素規制層は無機材料から形成されていると、有機EL装置用基板を容易に製造でき好ましい。
次に、本発明の有機EL装置の製造方法は、本発明の有機EL装置用基板における前記ストライプ隔壁および端部隔壁によって区画された塗布領域に、有機EL材料を含有するインクを塗布した後、前記インクを乾燥させて有機EL層を形成する工程を含むことを特徴とする。
また、本発明の有機EL装置は、本発明の有機EL装置の製造方法により得られることを特徴とする。
このような構成とすることで、塗布領域に塗布されたインクを、連通した同色の塗布領域の間で流動させることができるので、インクを平準化させることができる。従って、有機EL層の膜厚を塗布領域の間(ストライプ間)で、そのばらつきを抑えることができる有機EL装置用基板を得ることができ、この有機EL装置用基板を用いた有機EL装置を得ることができる。
また、本発明の有機EL装置は、本発明の有機EL装置の製造方法により得られることを特徴とする。
このような構成とすることで、塗布領域に塗布されたインクを、連通した同色の塗布領域の間で流動させることができるので、インクを平準化させることができる。従って、有機EL層の膜厚を塗布領域の間(ストライプ間)で、そのばらつきを抑えることができる有機EL装置用基板を得ることができ、この有機EL装置用基板を用いた有機EL装置を得ることができる。
本発明によると、ストライプ隔壁の切欠部によって連通した塗布領域同士で、塗布されたインクが流動するので、隣接する塗布領域での膜厚のばらつきを抑え、画素間の輝度差を小さくすることができることで、得られる表示装置の高品質化を図ることができる。
(実施の形態1)
本発明の実施の形態に係る有機EL装置用基板について、図面に基づいて説明する。また、図面における各部材の縮尺は実際とは異なる場合がある。
本発明の実施の形態に係る有機EL装置用基板について、図面に基づいて説明する。また、図面における各部材の縮尺は実際とは異なる場合がある。
図1から図3に示すように、本発明の実施形態における有機EL装置用基板1は、単色発光用の基板である。有機EL装置用基板1は、支持基板2と、互いが平行となるように支持基板2に形成された複数の画素電極列3と、画素電極列3を構成する画素電極31を区画する画素規制層4と、発光層を含む有機EL層を形成するためのインクの塗布領域S1をストライプ状に区画する隔壁5とを備えている。なお、画素とは、画素規制層4で規定された発光領域のことをいう。
支持基板2は、それを構成する材料が電極や有機EL層を形成する際に化学的に安定なものであればよく、例えばガラス、プラスチック、高分子フィルム、シリコン基板、金属板、これらを積層したものなどが用いられる。
画素電極列3は、画素電極31が直列状に規則的に並べられた電極である。画素電極31は、それぞれが画素規制層4によって区画されている。画素規制層4は、画素電極列3において各画素電極31間を区切るものであればよい。本実施の形態では、画素規制層4は画素電極31を囲むように配置されて、画素電極31を区画している。画素電極31上には、発光層を含む1層以上の有機EL層が形成される。有機EL層のうちの少なくとも1層は発光層であり、その他の有機EL層としては、後述の正孔輸送層、電子ブロック層等が挙げられる。有機EL層は、これら発光層等の有機EL層を構成する材料(以下、「有機EL材料」と称す。)およびインク溶媒を含む溶液、懸濁液またはコロイド分散液であるインクを使用して作製される。なお、本明細書においては、「溶媒」の用語は、特に断らない限り、有機EL材料を溶解させる液体および有機EL材料を分散させる液体の双方を含む概念として用いる。
画素規制層4は、発光領域を規定すると共に、支持基板2上に配置された画素電極31同士の絶縁性を確保する目的で設けられ、画素規制層4で区画されることにより、画素電極31は一定間隔に配列されている。また、画素規制層4を設けることにより、インク塗布の際に生じ得る画素電極31間の空隙発生を抑制することもできる。
画素規制層4の材質としては絶縁体であることが望ましく、SiO2などの無機酸化物、SiNなどの無機窒化物のような無機材料や、ポリイミド、ノボラック樹脂などの耐熱性樹脂材料のような有機材料などが挙げられ、無機材料が好ましく用いられる。
画素規制層4の材質としては絶縁体であることが望ましく、SiO2などの無機酸化物、SiNなどの無機窒化物のような無機材料や、ポリイミド、ノボラック樹脂などの耐熱性樹脂材料のような有機材料などが挙げられ、無機材料が好ましく用いられる。
隔壁5は、画素電極31からなる画素電極列3に沿って一列ずつ区切るように、一定間隔に、かつ平行に配置されたストライプ隔壁51と、ストライプ隔壁51と共に塗布領域S1を区画する枠隔壁52とを備えている。
ストライプ隔壁51は、後述するノズルプリンティングの場合には、インクを連続塗布する方向(ノズルスキャン方向)に対して平行とすればよい。ストライプ隔壁51には、両端部に切欠部51aが設けられている。この切欠部51aにより発光層を含む1層以上の有機EL層を形成するためのインクの塗布領域S1同士を連通している。本実施の形態1では、ストライプ隔壁51全部の両端部に切欠部51aが設けられているため、塗布領域S1全部が連通している。また、インクジェットの場合には、ストライプ隔壁51は、インクを連続塗布する方向(ノズルスキャン方向)に対して平行でもよいし、垂直でもよい。
ストライプ隔壁51は、後述するノズルプリンティングの場合には、インクを連続塗布する方向(ノズルスキャン方向)に対して平行とすればよい。ストライプ隔壁51には、両端部に切欠部51aが設けられている。この切欠部51aにより発光層を含む1層以上の有機EL層を形成するためのインクの塗布領域S1同士を連通している。本実施の形態1では、ストライプ隔壁51全部の両端部に切欠部51aが設けられているため、塗布領域S1全部が連通している。また、インクジェットの場合には、ストライプ隔壁51は、インクを連続塗布する方向(ノズルスキャン方向)に対して平行でもよいし、垂直でもよい。
枠隔壁52は、画素電極列3全体を囲い、ストライプ隔壁51の一端部と他端部との両方が接続された隔壁である。枠隔壁52は、ストライプ隔壁51の両側に位置し、ストライプ隔壁51と平行に形成された第1枠隔壁521と、ストライプ隔壁51の両端側に位置し、ストライプ隔壁51と直交する方向に形成された第2枠隔壁522とにより矩形状に形成されている。本実施の形態1では、ストライプ隔壁51全部の両端部に切欠部51aが設けられている。
隔壁5は、それぞれの画素電極列3に塗布されるインクが、各列間の塗布領域S1で混ざり合うことを回避するために配置される。そのため、隔壁5の高さは、塗布されたインクを保持するために十分な高さとなるように設計される。
隔壁5は、電気絶縁性の材料であれば良く、例えば、ポリイミド、ノボラック樹脂等の絶縁性樹脂材料のような有機材料が挙げられ、好ましく用いられる。また、塗布されたインクの保持性能を高めるため、隔壁の表面に、インクを弾く撥液性を付与しても良い。例えば、隔壁5をCF4プラズマ処理することで、隔壁5を撥液性とすることができる。
隔壁5は、電気絶縁性の材料であれば良く、例えば、ポリイミド、ノボラック樹脂等の絶縁性樹脂材料のような有機材料が挙げられ、好ましく用いられる。また、塗布されたインクの保持性能を高めるため、隔壁の表面に、インクを弾く撥液性を付与しても良い。例えば、隔壁5をCF4プラズマ処理することで、隔壁5を撥液性とすることができる。
次に本実施の形態1に係る有機EL装置用基板1を用いた有機EL装置の製造方法について、図面を参照して説明する。なお、本明細書において、画素電極31および画素電極31と対をなす電極の間に挟まれた発光層を含む1層以上の有機EL層との積層体を「有機EL素子」と定義し、有機EL素子を2次元配置してなる平板状の表示装置を「有機EL装置」と定義する。また、「有機EL層」は、有機EL材料からなる層を意味する。
さらに、有機EL装置においては電極のリード線等の部材も存在するが、電気的配線、電気回路等については、発光素子、表示装置などの技術分野における通常の知識に基づいて様々な態様を実施可能であり、本発明の説明として直接的には関係はないため詳細な説明は省略している。
さらに、有機EL装置においては電極のリード線等の部材も存在するが、電気的配線、電気回路等については、発光素子、表示装置などの技術分野における通常の知識に基づいて様々な態様を実施可能であり、本発明の説明として直接的には関係はないため詳細な説明は省略している。
図4および図5にて、塗布方法の一例であるノズルプリンティング法によるインク塗布工程の様子を示す。支持基板2上に、画素電極列3と、画素規制層4と、隔壁5とが設けられた有機EL装置用基板1が、図4に示すように、Dd方向へと搬送される。ノズルプリンティング装置(本体不図示)のノズル20から、有機EL層の各層を形成するためのインクが吐出される。ノズル20は、有機EL装置用基板1の搬送方向Ddに対し、直交する方向Nmに反復移動する。
ノズルプリンティング法において、インクは、非断続的に液柱として連続して吐出される。ノズルプリンティング装置は、微小なノズルから液柱状のインクを連続的に吐出することができる装置である。
図6にて、塗布方法の一例であるインクジェット法によるインク塗布工程の様子を示す。図5と同様に、有機EL装置用基板1においては、支持基板2上に、画素電極列3と、画素規制層4と、隔壁5とが設けられているが、図示を省略している。図6に示すように、有機EL装置用基板1においては、Dd方向へと搬送される。インクジェット装置(本体不図示)の複数のノズル21から、有機EL層の各層を形成するためのインクが吐出される。また、図6において、インクジェットによる塗布方向は、画素電極列3の方向に対して垂直方向になるが、塗布方向は、画素電極列3の方向に対して平行方向であってもよい。
インクジェット法において、インクは、断続的に液滴として連続して吐出される。インクジェット装置は、微小なノズルからインク液滴を連続的に吐出することができる装置である。
使用されるインクは、有機EL層を構成する正孔輸送層、電子ブロック層、発光層等の材料(以下、「有機EL材料」と称す。)およびインク溶媒を含む溶液、懸濁液またはコロイド溶液である。上述したが、本明細書においては、「溶媒」の用語は、特に断らない限り、有機EL材料を溶解させる液体および有機EL材料を分散させる液体の双方を含む概念として用いる。
インク溶媒は、有機EL材料の溶解性や基板との親和性等の条件によって適宜選択してよい。インク溶媒として、好ましくは、揮発性、層形成成分の溶解性または分散性などに関し、インク溶媒としての好ましい諸要件を満たすことが好適である。インク溶媒として好ましくは、例えば、水、アルコール溶媒、グリコール溶媒、エーテル溶媒、エステル溶媒、含塩素溶媒および芳香族炭化水素溶媒からなる群より選ばれる1種またはこれらの2種以上の混合物が挙げられる。アルコール溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノールなどが挙げられる。グリコール溶媒としては、エチレングリコール、プロピレングリコール等が挙げられる。エーテル溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、メトキシベンゼン等が挙げられる。エステル溶媒としては、例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル等が挙げられる。含塩素溶媒としては、クロロホルム、クロロベンゼン、塩化メチレン等が挙げられる。芳香族炭化水素溶媒としては、例えば、トルエン、キシレン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等が挙げられる。
次に、インクの塗布の一例として、ノズルプリンティング法による塗布について詳細に説明するが、本発明において塗布はこれに限られず、インクジェット法によりインクを塗布してもよい。ノズルプリンティングにおいては、図4に示すように、ノズル20の下に有機EL装置用基板1が搬送され、ノズルがNm方向に反復移動することにより、相対的にノズル20は図5に示す蛇行するような軌道Ipを描くように、有機EL装置用基板1上を移動することになる。ノズル20の軌道Ipは、画素電極列3を長手方向に一列移動した後、次の列へと移動し、新たな画素電極列3を長手方向に移動する。有機EL装置用基板1が、ノズル20の下方を通過する際にノズル20からインクが吐出され、インクが塗布されていく。
このとき、隔壁5によって列間が区画された塗布領域S1は、切欠部51aが、ストライプ隔壁51の両端部に設けられているので、両端部同士が連通している。従って、ノズル20が塗布領域S1の一端部から他端部まで、または他端部から一端部まで移動しながら塗布する際に、インクによる波がノズル20の移動と共に同方向に発生して枠隔壁52の第2枠隔壁522に衝突する。インクによる波は、第2枠隔壁522へ衝突してより戻しとなって広がる。そして、切欠部51aを介して塗布量の多い方から少ない方へ隣接する塗布領域S1に流れ込むので、塗布領域S1間での有機EL層の膜厚の平準化を促進させることができる。
ノズルプリンティングにおいて、インクは、ノズル20から非断続的に液柱の状態で連続して吐出されていくため、軌道Ipが示すように、インクは画素電極31および画素電極列3の長手方向にある画素規制層4の上にも非断続的に連続して塗布される。従って、インクは、図7(A)および同図(B)に示すように、画素電極列3の長手方向に並ぶ複数の画素電極31および画素規制層4の上に非断続的な線状に塗布されていく。
隔壁5は十分な高さを有するため、塗布されたインクは隔壁5を越えて隣接する区画領域S1に混入し難い。また、隔壁5はインクを弾く撥液処理が施されていてもよい。インクの塗布が完了後、乾燥工程において有機EL装置用基板1は所定の雰囲気下に置かれ、インクから溶媒が蒸発し硬化して乾燥したインク72の層が形成される。
また、ストライプ隔壁51および枠隔壁52の表面は、インクを良好に保持するため、インクを弾く撥水性を有しても良い。撥液性を付与する方法としては、ストライプ隔壁51を構成する成分に撥液性の成分を混合させておいても良いし、あるいは、ストライプ隔壁51表面に撥液性の被膜を設けてもよい。インクがストライプ隔壁51を越えて隣接する区画領域S1に混入することを、より良好に防ぐためには、ストライプ隔壁51の表面全体が撥液性を備えることがより好ましい。
インクの塗布工程に続く、インクの乾燥工程では、インクから溶媒が蒸発して除去され、区画領域S1に有機EL材料が固定され有機EL層となる。インクの乾燥温度は使用した溶媒などに応じて適宜選択すればよい。また、上記のような乾燥後、インクを焼成する工程を設けてもよい。
このように、それぞれの塗布領域S1に塗布されたインクを平準化させることができるので、有機EL層の膜厚を均一にすることができる。従って、それぞれの塗布領域S1において、有機EL層の膜厚のばらつきを抑えることができることにより、画素間の輝度差を小さくすることができるので、高い品質を図ることができる。
なお、本実施の形態1に係る有機EL装置用基板1では、ストライプ隔壁51の両端部全部に切欠部51aが設けられているが、所定数のストライプ隔壁51毎に切欠部51aを設けるようにしてもよい。また、図1に示すように1画素分の長さの切欠部51aとしているが、2画素分以上であってもよい。
なお、本実施の形態1に係る有機EL装置用基板1では、ストライプ隔壁51の両端部全部に切欠部51aが設けられているが、所定数のストライプ隔壁51毎に切欠部51aを設けるようにしてもよい。また、図1に示すように1画素分の長さの切欠部51aとしているが、2画素分以上であってもよい。
次に、本発明の製造方法により製造し得る有機EL装置に実装される有機EL素子の構造について、より具体的に説明する。
有機EL素子は、少なくとも一対の電極と、当該電極間に挟まれた発光層を含む有機EL層とで形成される積層体である。有機EL素子は、下記に説明するように、発光層以外にも、様々な種類の有機EL層を設けてよい。また、層の積層順序等も様々な変形例をとり得る。
有機EL素子は、少なくとも一対の電極と、当該電極間に挟まれた発光層を含む有機EL層とで形成される積層体である。有機EL素子は、下記に説明するように、発光層以外にも、様々な種類の有機EL層を設けてよい。また、層の積層順序等も様々な変形例をとり得る。
本発明によって製造される有機EL素子は、下記の有機EL素子に限定されるわけではない。また、本発明の製造方法においては、有機EL素子を構成する有機EL層のうちの少なくとも一層は、インクを使用して、上記に説明した実施形態などに示されるように所定の塗布工程と乾燥工程とを含む工程によって形成された層である。したがって、他の層の形成においては、他の方法により層を形成させてもよい。
また、一般に、有機EL素子を構成する各有機EL層は極めて薄いものであり、その層形成には各種の成膜方法を採用し得る。そのため以下の説明においては、層形成のことを成膜という場合がある。
また、一般に、有機EL素子を構成する各有機EL層は極めて薄いものであり、その層形成には各種の成膜方法を採用し得る。そのため以下の説明においては、層形成のことを成膜という場合がある。
有機EL素子は、陽極、発光層及び陰極を必須に有するのに加えて、前記陽極と前記発光層との間、及び/又は前記発光層と前記陰極との間にさらに他の層を有することができる。
有機EL素子の陽極としては、光を透過可能な透明電極を用いることが、陽極を通して発光する素子を構成しうるため好ましい。かかる透明電極としては、電気伝導度の高い金属酸化物、金属硫化物や金属の薄膜を用いることができ、透過率の高いものが好適に利用でき、用いる有機層により適宜、選択して用いる。具体的には、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、ITO、インジウム亜鉛酸化物(Indium Zinc Oxide:略称IZO)から成る薄膜や、金、白金、銀、銅、アルミニウム、またはこれらの金属を少なくとも1種類以上含む合金等が用いられる。
陰極の材料としては、仕事関数の小さく発光層への電子注入が容易な材料及び/又は電
気伝導度が高い材料及び/又は可視光反射率の高い材料が好ましい。金属では、アルカリ金属やアルカリ土類金属、遷移金属やIII−B族金属を用いることができる。
気伝導度が高い材料及び/又は可視光反射率の高い材料が好ましい。金属では、アルカリ金属やアルカリ土類金属、遷移金属やIII−B族金属を用いることができる。
発光層は、有機化合物を含む。通常、主として蛍光またはりん光を発光する有機物(低分子化合物および高分子化合物)が含まれる。なお、さらにドーパント材料を含んでいてもよい。本発明において用いることができる発光層を形成する材料としては、例えば、以下の色素系材料、金属錯体系材料、高分子系材料、およびドーパント材料などが挙げられる。
色素系材料としては、例えば、シクロペンダミン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体化合物、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、ピロール誘導体、チオフェン環化合物、ピリジン環化合物、ペリノン誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、トリフマニルアミン誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマーなどが挙げられる。
金属錯体系材料としては、例えば、イリジウム錯体、白金錯体等の三重項励起状態からの発光を有する金属錯体、アルミキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾリル亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、ユーロピウム錯体など、中心金属に、Al、Zn、BeなどまたはTb、Eu、Dyなどの希土類金属を有し、配位子にオキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造などを有する金属錯体などを挙げることができる。
高分子系材料としては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、上記色素体や金属錯体系発光材料を高分子化したものなどが挙げられる。
発光層中に発光効率の向上や発光波長を変化させるなどの目的で、ドーパントを添加することができる。このようなドーパント材料としては、例えば、ペリレン誘導体、クマリン誘導体、ルブレン誘導体、キナクリドン誘導体、スクアリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、スチリル系色素、テトラセン誘導体、ピラゾロン誘導体、デカシクレン、フェノキサゾンなどを挙げることができる。なお、発光層の厚さは、通常約2nm〜2000nmである。
有機EL素子において、発光層は通常1層設けられるが、これに限らず2層以上の発光層を設けることもできる。その場合、2層以上の発光層は、直接接して積層することもでき、かかる層の間に発光層以外の層を設けることができる。
次に有機EL素子における陽極、発光層及び陰極以外の層について説明する。
陽極と発光層の間に設けるものとしては、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロック層等があげられる。正孔注入層及び正孔輸送層の両方が設けられる場合、陽極に近い層が正孔注入層となり、発光層に近い層が正孔輸送層となる。また、正孔注入層、若しくは正孔輸送層が電子の輸送を堰き止める機能を有する場合には、これらの層が電子ブロック層を兼ねることがある。
正孔注入層は、陽極と正孔輸送層との間、または陽極と発光層との間に設けることができる。正孔注入層を構成する正孔注入層材料としては、特に制限はなく、公知の材料を適宜用いることができ、例えばフェニルアミン系、スターバースト型アミン系、フタロシアニン系、ヒドラゾン誘導体、カルバゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、アミノ基を有するオキサジアゾール誘導体、酸化バナジウム、酸化タンタル、酸化タングステン、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、酸化アルミニウム等の酸化物、アモルファスカーボン、ポリアニリン、ポリチオフェン誘導体等が挙げられる。
正孔輸送層を構成する正孔輸送層材料としては特に制限はないが、例えばN,N’−ジフェニル−N,N’−ジ(3−メチルフェニル)4,4’−ジアミノビフェニル(TPD)、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(NPB)等の芳香族アミン誘導体、ポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、ポリシラン若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン誘導体、ピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体、ポリアニリン若しくはその誘導体、ポリチオフェン若しくはその誘導体、ポリアリールアミン若しくはその誘導体、ポリピロール若しくはその誘導体、ポリ(p−フェニレンビニレン)若しくはその誘導体、又はポリ(2,5−チエニレンビニレン)若しくはその誘導体などが例示される。
陰極と発光層の間に設け得る層としては、電子注入層、電子輸送層、正孔ブロック層等が挙げられる。電子注入層及び電子輸送層の両方が設けられる場合、陰極に近い層が電子注入層となり、発光層に近い層が電子輸送層となる。また、電子注入層、若しくは電子輸送層が正孔の輸送を堰き止める機能を有する場合には、これらの層が正孔ブロック層を兼ねることがある。
電子注入層としては、発光層の種類に応じて、アルカリ金属やアルカリ土類金属、或いは前記金属を1種類以上含む合金、或いは前記金属の酸化物、ハロゲン化物及び炭酸化物、或いは前記物質の混合物などが挙げられる。
電子輸送層を構成する電子輸送材料としては、特に制限はなく公知のものが使用でき、例えば、オキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタン若しくはその誘導体、ベンゾキノン若しくはその誘導体、ナフトキノン若しくはその誘導体、アントラキノン若しくはその誘導体、テトラシアノアントラキノジメタン若しくはその誘導体、フルオレノン誘導体、ジフェニルジシアノエチレン若しくはその誘導体、ジフェノキノン誘導体、又は8−ヒドロキシキノリン若しくはその誘導体の金属錯体、ポリキノリン若しくはその誘導体、ポリキノキサリン若しくはその誘導体、ポリフルオレン若しくはその誘導体等が例示される。
さらに具体的には、有機EL素子は、下記の層構成のいずれかを有することができる:
a) 陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
b) 陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
c) 陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極
d) 陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/陰極
e) 陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
f) 陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/陰極
g) 陽極/正孔注入層/発光層/電子注入層/陰極
h) 陽極/正孔注入層/発光層/陰極
i) 陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
j) 陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
k) 陽極/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極
l) 陽極/正孔輸送層/発光層/陰極
m) 陽極/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
n) 陽極/発光層/電子輸送層/陰極
o) 陽極/発光層/電子注入層/陰極
p) 陽極/発光層/陰極
(ここで、/は各層が隣接して積層されていることを示す。)
a) 陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
b) 陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
c) 陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極
d) 陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/陰極
e) 陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
f) 陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/陰極
g) 陽極/正孔注入層/発光層/電子注入層/陰極
h) 陽極/正孔注入層/発光層/陰極
i) 陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
j) 陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
k) 陽極/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極
l) 陽極/正孔輸送層/発光層/陰極
m) 陽極/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
n) 陽極/発光層/電子輸送層/陰極
o) 陽極/発光層/電子注入層/陰極
p) 陽極/発光層/陰極
(ここで、/は各層が隣接して積層されていることを示す。)
本発明により製造し得る有機EL装置は、上記のようにして有機EL素子で構成された画素が複数実装された装置である。電気的配線、駆動手段等の設置については、通常の有機EL装置の製造における様々な態様を採用し得る。
本発明により製造し得る有機EL装置は、面状光源、セグメント表示装置、ドットマトリックス表示装置、液晶表示装置のバックライトとして用いることができる。
有機EL装置を用いて面状の発光を得るためには、面状の陽極と陰極が重なり合うように配置すればよい。また、パターン状の発光を得るためには、前記面状の発光素子の表面にパターン状の窓を設けたマスクを設置する方法、非発光部の有機物層を極端に厚く形成し実質的に非発光とする方法、陽極または陰極のいずれか一方、または両方の電極をパターン状に形成する方法がある。これらのいずれかの方法でパターンを形成し、いくつかの電極を独立にON/OFFできるように配置することにより、数字や文字、簡単な記号などを表示できるセグメントタイプの表示装置が得られる。更に、ドットマトリックス素子とするためには、陽極と陰極をともにストライプ状に形成して直交するように配置するパッシブマトリックス用基板、あるいは薄膜トランジスタを配置した画素単位で制御を行うアクティブマトリックス用基板を用いればよい。さらに、発光色の異なる発光材料を塗り分ける方法や、カラーフィルターまたは蛍光変換フィルターを用いる方法により、部分カラー表示、マルチカラー表示が可能となる。これらの表示素子は、コンピュータ、テレビ、携帯端末、携帯電話、カーナビゲーション、ビデオカメラのビューファインダーなどの表示装置として用いることができる。
さらに、前記面状の発光装置は、自発光薄型であり、液晶表示装置のバックライト用の面状光源、あるいは面状の照明用光源として好適に用いることができる。また、フレキシブルな基板を用いれば、曲面状の光源や表示装置としても使用できる。
(実施の形態2)
本発明の実施の形態2に係る有機EL装置用基板1bについて、図8に基づいて説明する。なお、図8については、図1と同じ構成のものは同符号を付して説明を省略する。
図8に示す有機EL装置用基板1bは、発光層の発光色が単色の場合に用いられるもので、切欠部51aがストライプ隔壁51の一端部のみに設けられていることを特徴とするものである。つまり、隣接する塗布領域S1は、一端部側だけで連通している。
有機EL装置用基板1bは、ストライプ状に形成された塗布領域S1が、ストライプ隔壁51の一端部に設けられた切欠部51aにより連通しているので、有機EL層を形成するためのインクを、塗布量の多い方から少ない方へ、切欠部51aから隣接する塗布領域S1へ流動させることができる。従って、それぞれの塗布領域S1に塗布されたインクを平準化させることができるので、有機EL層の膜厚を均一にすることができる。
本発明の実施の形態2に係る有機EL装置用基板1bについて、図8に基づいて説明する。なお、図8については、図1と同じ構成のものは同符号を付して説明を省略する。
図8に示す有機EL装置用基板1bは、発光層の発光色が単色の場合に用いられるもので、切欠部51aがストライプ隔壁51の一端部のみに設けられていることを特徴とするものである。つまり、隣接する塗布領域S1は、一端部側だけで連通している。
有機EL装置用基板1bは、ストライプ状に形成された塗布領域S1が、ストライプ隔壁51の一端部に設けられた切欠部51aにより連通しているので、有機EL層を形成するためのインクを、塗布量の多い方から少ない方へ、切欠部51aから隣接する塗布領域S1へ流動させることができる。従って、それぞれの塗布領域S1に塗布されたインクを平準化させることができるので、有機EL層の膜厚を均一にすることができる。
(実施の形態3)
本発明の実施の形態3に係る有機EL装置用基板1cについて、図9に基づいて説明する。なお、図9については、図1と同じ構成のものは同符号を付して説明を省略する。
図9に示す有機EL装置用基板1cは、切欠部51aが、それぞれのストライプ隔壁51について、一端部と他端部とに交互に設けられていることを特徴とするものである。
このようにストライプ隔壁51に切欠部51aが設けられていることで、蛇行するように塗布領域S1を塗布するノズル20(図5参照)の塗布順序に合わせて塗布領域S1の連通を図ることができる。
本発明の実施の形態3に係る有機EL装置用基板1cについて、図9に基づいて説明する。なお、図9については、図1と同じ構成のものは同符号を付して説明を省略する。
図9に示す有機EL装置用基板1cは、切欠部51aが、それぞれのストライプ隔壁51について、一端部と他端部とに交互に設けられていることを特徴とするものである。
このようにストライプ隔壁51に切欠部51aが設けられていることで、蛇行するように塗布領域S1を塗布するノズル20(図5参照)の塗布順序に合わせて塗布領域S1の連通を図ることができる。
(実施の形態4)
本発明の実施の形態4に係る有機EL装置用基板1dについて、図10に基づいて説明する。なお、図10については、図1と同じ構成のものは同符号を付して説明を省略する。
図10に示す有機EL装置用基板1dは、切欠部51aが、ストライプ隔壁51の一端部と他端部との間に、1以上設けられていることを特徴としたものである。
本実施の形態4では、切欠部51aがストライプ隔壁51に所定間隔ごとに設けられている。
切欠部51aがストライプ隔壁51の中間部に設けられていることで、枠隔壁52の第2枠隔壁522に衝突したインクの波が戻り、切欠部51aから隣接した塗布領域S1に流動させることができる。
なお、本実施の形態4に係る有機EL装置用基板1dにおいては、図10に示すように、切欠部51aがストライプ隔壁51の中間部にのみ設けられているが、中間部と両端部(実施の形態1に係る有機EL装置用基板1a(図1参照))、中間部と一端部(実施の形態2に係る有機EL装置用基板1b(図8参照))、および中間部と一端部および他端部を交互に配置したもの(実施の形態3に係る有機EL装置用基板1c(図9参照))の組み合わせとすることも可能である。
なお、本実施の形態4では、切欠部51aをストライプ隔壁51の中間部に所定間隔ごとに設けているが、隣接する塗布領域S1同士でインクの流動性が確保できれば、切欠部51aは1以上あればよい。
本発明の実施の形態4に係る有機EL装置用基板1dについて、図10に基づいて説明する。なお、図10については、図1と同じ構成のものは同符号を付して説明を省略する。
図10に示す有機EL装置用基板1dは、切欠部51aが、ストライプ隔壁51の一端部と他端部との間に、1以上設けられていることを特徴としたものである。
本実施の形態4では、切欠部51aがストライプ隔壁51に所定間隔ごとに設けられている。
切欠部51aがストライプ隔壁51の中間部に設けられていることで、枠隔壁52の第2枠隔壁522に衝突したインクの波が戻り、切欠部51aから隣接した塗布領域S1に流動させることができる。
なお、本実施の形態4に係る有機EL装置用基板1dにおいては、図10に示すように、切欠部51aがストライプ隔壁51の中間部にのみ設けられているが、中間部と両端部(実施の形態1に係る有機EL装置用基板1a(図1参照))、中間部と一端部(実施の形態2に係る有機EL装置用基板1b(図8参照))、および中間部と一端部および他端部を交互に配置したもの(実施の形態3に係る有機EL装置用基板1c(図9参照))の組み合わせとすることも可能である。
なお、本実施の形態4では、切欠部51aをストライプ隔壁51の中間部に所定間隔ごとに設けているが、隣接する塗布領域S1同士でインクの流動性が確保できれば、切欠部51aは1以上あればよい。
本発明の有機EL装置用基板は、有機EL装置をノズルプリンティング法、インクジェット法などによりインク塗布によって作製するのに好適である。該基板を使用することにより、塗りむらが小さく、高品質な有機EL装置を得ることができるため、工業的に極めて有用である。
1,1b〜1d 有機EL装置用基板
2 支持基板
3 画素電極列
31 画素電極
4 画素規制層
5 隔壁
51 ストライプ隔壁
51a 切欠部
52 枠隔壁
521 第1枠隔壁
522 第2枠隔壁
71,72 インク
S1 塗布領域
20,21 ノズル
Dd 有機EL装置用基板の搬送方向
Ip ノズルの軌道
Nm ノズルの移動方向
2 支持基板
3 画素電極列
31 画素電極
4 画素規制層
5 隔壁
51 ストライプ隔壁
51a 切欠部
52 枠隔壁
521 第1枠隔壁
522 第2枠隔壁
71,72 インク
S1 塗布領域
20,21 ノズル
Dd 有機EL装置用基板の搬送方向
Ip ノズルの軌道
Nm ノズルの移動方向
Claims (8)
- 互いに平行な複数の画素電極列が形成された支持基板と、
前記画素電極列上に塗布されるインクの塗布領域であって、発光層を含む1層以上の有機EL層を形成するためのインクの塗布領域を区画する隔壁とを備え、
前記隔壁は、前記画素電極列のそれぞれの間に、前記画素電極列に沿って形成されたストライプ隔壁と、前記複数の画素電極列全体を囲む矩形状の枠隔壁とから形成され、
前記ストライプ隔壁には、隣接する塗布領域を連通させる切欠部が設けられていることを特徴とする有機EL装置用基板。 - 前記切欠部が、前記ストライプ隔壁の一端部または両端部に設けられている請求項1記載の有機EL装置用基板。
- 前記切欠部が、それぞれのストライプ隔壁について、一端部と他端部とに交互に設けられている請求項1記載の有機EL装置用基板。
- 前記切欠部が、前記ストライプ隔壁の前記一端部と前記他端部との間の中間部に、1以上設けられている請求項1から3のいずれかの有機EL装置用基板。
- 前記画素電極列を構成するそれぞれの画素電極を区画する画素規制層が設けられている請求項1から4のいずれかの有機EL装置用基板。
- 前記隔壁は有機材料から形成され、
前記画素規制層は無機材料から形成されている請求項5記載の有機EL装置用基板。 - 前記請求項1〜6のいずれかに記載の有機EL装置用基板における前記ストライプ隔壁および端部隔壁によって区画された塗布領域に、有機EL材料を含有するインクを塗布した後、前記インクを乾燥させて有機EL層を形成する工程を含むことを特徴とする有機EL装置の製造方法。
- 前記請求項7に記載の有機EL装置の製造方法により得られた有機EL装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009243842A JP2011090910A (ja) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | 有機el装置用基板およびそれを用いた有機el装置の製造方法 |
KR1020127012876A KR20120098716A (ko) | 2009-10-22 | 2010-10-18 | 유기 el 장치용 기판 및 그것을 사용한 유기 el 장치의 제조 방법 |
US13/503,309 US20120268005A1 (en) | 2009-10-22 | 2010-10-18 | Substrate for organic electroluminescense device and method of manufacturing organic electroluminscense device employing same |
EP10825074A EP2493271A1 (en) | 2009-10-22 | 2010-10-18 | Substrate for organic electroluminescence device and method of manufacturing organic electroluminescence device employing same |
PCT/JP2010/068781 WO2011049225A1 (ja) | 2009-10-22 | 2010-10-18 | 有機el装置用基板およびそれを用いた有機el装置の製造方法 |
CN2010800475320A CN102577617A (zh) | 2009-10-22 | 2010-10-18 | 有机el装置用基板以及使用了其的有机el装置的制造方法 |
TW099135400A TW201126784A (en) | 2009-10-22 | 2010-10-18 | Substrate for use in organice electroluminescence device and manufacturing method of organic electroluminescence device using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009243842A JP2011090910A (ja) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | 有機el装置用基板およびそれを用いた有機el装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011090910A true JP2011090910A (ja) | 2011-05-06 |
Family
ID=43900448
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009243842A Pending JP2011090910A (ja) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | 有機el装置用基板およびそれを用いた有機el装置の製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120268005A1 (ja) |
EP (1) | EP2493271A1 (ja) |
JP (1) | JP2011090910A (ja) |
KR (1) | KR20120098716A (ja) |
CN (1) | CN102577617A (ja) |
TW (1) | TW201126784A (ja) |
WO (1) | WO2011049225A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012256587A (ja) * | 2011-05-19 | 2012-12-27 | Sony Corp | 表示装置および電子機器 |
WO2014115334A1 (ja) * | 2013-01-28 | 2014-07-31 | パイオニア株式会社 | 発光装置 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102070219B1 (ko) * | 2013-05-27 | 2020-01-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 프린팅 마스크 및 유기 발광층 프린팅 장치 |
US9046682B2 (en) | 2013-11-05 | 2015-06-02 | Amazon Technologies, Inc. | Mechanical stress mitigation in electrowetting display structures |
CN105140420A (zh) | 2015-07-07 | 2015-12-09 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种oled显示面板及其封装方法 |
CN106876437B (zh) | 2017-03-06 | 2020-03-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板、显示面板及显示基板的制作方法 |
EP3616241A4 (en) * | 2017-04-27 | 2021-01-20 | BOE Technology Group Co., Ltd. | ARRAY SUBSTRATE, METHOD FOR MANUFACTURING AN ARRAY SUBSTRATE, DISPLAY BOARD, AND METHOD FOR MANUFACTURING A DISPLAY BOARD |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999010862A1 (fr) * | 1997-08-21 | 1999-03-04 | Seiko Epson Corporation | Afficheur a matrice active |
JP2004227944A (ja) * | 2003-01-23 | 2004-08-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置の製造方法 |
JP2007123282A (ja) * | 2004-02-26 | 2007-05-17 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置及び電子機器 |
WO2008149499A1 (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Panasonic Corporation | 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法 |
JP2010170767A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-08-05 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置、発光装置、及び電子機器 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100370030B1 (ko) * | 2000-10-06 | 2003-01-30 | 엘지전자 주식회사 | 평판표시소자 및 그 제조 방법 |
JP2002123282A (ja) * | 2000-10-17 | 2002-04-26 | Brother Ind Ltd | 翻訳装置および記録媒体 |
KR100528910B1 (ko) * | 2003-01-22 | 2005-11-15 | 삼성에스디아이 주식회사 | 고분자 유기 전계 발광 소자 |
US8242516B2 (en) * | 2008-08-29 | 2012-08-14 | Panasonic Corporation | Organic EL display panel and method of manufacturing the same |
-
2009
- 2009-10-22 JP JP2009243842A patent/JP2011090910A/ja active Pending
-
2010
- 2010-10-18 US US13/503,309 patent/US20120268005A1/en not_active Abandoned
- 2010-10-18 KR KR1020127012876A patent/KR20120098716A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-10-18 TW TW099135400A patent/TW201126784A/zh unknown
- 2010-10-18 EP EP10825074A patent/EP2493271A1/en not_active Withdrawn
- 2010-10-18 WO PCT/JP2010/068781 patent/WO2011049225A1/ja active Application Filing
- 2010-10-18 CN CN2010800475320A patent/CN102577617A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999010862A1 (fr) * | 1997-08-21 | 1999-03-04 | Seiko Epson Corporation | Afficheur a matrice active |
JP2004227944A (ja) * | 2003-01-23 | 2004-08-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置の製造方法 |
JP2007123282A (ja) * | 2004-02-26 | 2007-05-17 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置及び電子機器 |
WO2008149499A1 (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Panasonic Corporation | 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法 |
JP2010170767A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-08-05 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置、発光装置、及び電子機器 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012256587A (ja) * | 2011-05-19 | 2012-12-27 | Sony Corp | 表示装置および電子機器 |
WO2014115334A1 (ja) * | 2013-01-28 | 2014-07-31 | パイオニア株式会社 | 発光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011049225A1 (ja) | 2011-04-28 |
EP2493271A1 (en) | 2012-08-29 |
KR20120098716A (ko) | 2012-09-05 |
CN102577617A (zh) | 2012-07-11 |
TW201126784A (en) | 2011-08-01 |
US20120268005A1 (en) | 2012-10-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130430 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20131001 |