KR100370030B1 - 평판표시소자 및 그 제조 방법 - Google Patents

평판표시소자 및 그 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판표시소자 및 그 제조 방법을 제공하기 위한 것으로서, 기판 위에 각각 다수 개의 하부 전극과 상부 전극이 서로 수직하게 교차되는 위치에 각각 형성된 발광픽셀을 갖는 평판표시소자에 있어서, 하부 전극과 수직한 방향으로 하부 전극과 겹치지 않도록 하부 전극 중 가장자리에 형성된 하부 전극의 일측에 다수 개로 형성된 연결 탭; 하부 전극 및 상부 전극 사이에 위치하고, 연결 탭의 소정 영역을 덮고, 각 발광픽셀을 제외한 영역에 형성된 절연막; 연결 탭 중 말단에 형성된 연결 탭의 각 양측에 형성되고, 절연막의 필링(peeling) 현상을 방지하는 보조 패턴을 포함하여 구성되며, 절연막 패터닝 공정시 절연막과 접착력이 좋지 않은 기판 부분에 절연막과 접착력이 우수한 보조 패턴을 형성하여 절연막의 필링(peeling) 현상을 방지하여 상기 소자의 성능이나 수명을 향상시킨다.

Description

평판표시소자 및 그 제조 방법{flat display device and method for the same}
본 발명은 평판표시소자 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
평판표시소자를 만드는데 있어서 절연막의 사용은 필수적이다.
절연막은 크게 두 종류로 분류가 되는데, 하나는 옥사이드, 나이트라이드류의 무기 절연막, 또 한가지는 폴리이미드, 폴리아크릴, 포토레지스트 등의 유기 절연막이다.
무기 절연막을 사용할 경우 고가의 장비를 구입해야 하기 때문에 기존의 PR 라인만으로도 공정 수행이 가능하여 별도의 장비를 필요로 하지 않는 유기 절연막을 사용하는 것이 최근의 추세이다.
디스플레이 패널 제조 시 종래에 유기 절연막 형성은 유리 위나 ITO 위에 형성한다. 즉 ITO(보조 전극을 포함)가 패터닝 된 글레스 기판 위에 유기 절연막의 패턴을 형성하게 된다.
그러나 도 1 및 도 2 에 도시된 바와 같이 유기 절연막 패턴 형성시 문제점이 있는데, 대부분의 유기 절연막은 ITO 와의 접착력은 좋지만 글레스 기판과의 접착력이 좋지 않다. 유기 절연막 패턴 현상시 ITO 쪽은 그대로 붙어있지만 글레스 쪽에서는 유기 절연막이 벗겨지는 필링 현상이 나타남을 알 수 있다.
이상에서 설명한 종래 기술에 따른 평판표시소자는 패터닝 공정시 유기 절연막의 잔막이 남거나, 유기 절연막 패턴의 모양이 원하는 대로 형성되지 않는 문제점을 유발하게 되어 소자의 성능이나 수명 등을 나쁘게 하는 심각한 상황을 유발한다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 디스플레이 패널 상에 유기 절연막 형성시 필링(peeling) 현상을 없애는 평판표시소자 및 그 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1 및 도 2 는 유기 절연막 패턴 형성시 필링 현상을 나타낸 도면
도 3a 내지 도 3e 는 본 발명에 따른 평판표시소자의 제조 공정을 나타낸 도면
도 4a 및 도 4b 는 본 발명에 따른 보조 패턴 형상도
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 글레스 기판 2 : 양극/하부 전극
3-1 : 연결 탭 3-2 : 보조 패턴
4 : 절연막 5 : 발광픽셀
6 : 절연 격벽 7 : 유기 EL 층
8 : 음극/상부 전극
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시소자의 특징은 기판 위에 각각 다수 개의 하부 전극과 상부 전극이 서로 수직하게 교차되는 위치에 각각 형성된 발광픽셀을 갖는 평판표시소자에 있어서, 상기 하부 전극과 수직한 방향으로 상기 하부 전극과 겹치지 않도록 상기 하부 전극 중 가장자리에 형성된 하부 전극의 일측에 다수 개로 형성된 연결 탭; 상기 하부 전극 및 상부 전극 사이에 위치하고, 상기 연결 탭의 소정 영역을 덮고, 상기 각 발광픽셀을 제외한 영역에 형성된 절연막; 상기 연결 탭들 중 가장자리에 형성된 연결 탭의 양측에 형성되고, 상기 절연막의 필링(peeling) 현상을 방지하는 보조 패턴을 포함하여 구성되는데 있다.
상기 보조 패턴은 상기 하부 전극과 각 연결 탭 사이에 더 형성되기도 하고, 투명 전극 물질로 형성되며 주로 ITO 물질로 형성된다.
상기 하부 전극 및 연결 탭은 상기 투명 전극 물질로 형성되고, 상기 절연막은 옥사이드(oxide), 나이트라이드(nitride)류, 솔벤트(solvent)에 녹인 무기물, 고분자의 폴리머(polymer), 포토 레지스트(photoresist), 폴리이미드(polyimide), 폴리올레핀(polyolefin) 중 어느 하나로 형성된다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조 방법의 특징은 각각 다수 개의 하부 전극과 상부 전극이 서로 수직하게 교차되는 위치에 각각 형성된 발광픽셀을 갖는 평판표시소자 제조 방법에 있어서, 기판 위에 다수 개의 하부 전극을 형성하는 제 1 단계; 상기 하부 전극과 수직한 방향으로 상기 하부 전극과 겹치지 않도록 상기 하부 전극 중 가장자리에 형성된 하부 전극의 일측에 다수 개로 연결 탭을 형성하는 제 2 단계; 상기 다수 개의 연결 탭 중 가장자리에 형성된 연결 탭 양측에 보조 패턴을 형성하는 제 3 단계; 상기 연결 탭의 소정 영역을 덮고, 상기 각 발광픽셀을 제외한 영역에 절연막을 형성하는 제 4 단계; 상기 하부 전극에 대해 수직한 방향으로 인접한 상기 발광픽셀 사이에 절연 격벽을 형성하는 제 5 단계; 상기 발광픽셀에 유기 EL 층을 형성하는 제 6 단계; 상기 하부 전극과 수직한 방향으로 상부 전극을 형성하는 제 7 단계를 포함하여 이루어지는데 있다.
그리고, 상기 보조 패턴은 상기 연결 탭과, 상기 연결 탭과 인접한 상기 하부 전극사이에 더 형성되기도 하고, 상기 보조 패턴을 형성 후에 상기 하부 전극 및 연결 탭의 소정 영역에 보조 전극을 더 형성하기도 한다.
본 발명의 특징에 따른 작용은 기판 위에 전극을 패터닝 시 보조 패턴을 함께 형성하여 기판과 절연막과의 접착력을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 다른 목적, 특성 및 잇점들은 첨부한 도면을 참조한 실시예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.
본 발명에 따른 평판표시소자 및 그 제조 방법의 바람직한 실시 예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 3a 내지 도 3e 는 본 발명에 따른 평판표시소자의 제조 공정을 나타낸 도면이다.
먼저 도 3a 에 도시된 바와 같이 글레스 기판(1) 위에 ITO 또는 기타 투명 전극으로 스트립 형태의 양극(2)을 형성한다.
이때 연결 탭(3-1)과 보조 패턴(3-2)을 미리 형성한다.
보조 패턴(3-2)은 투명 전극 물질로 형성되고, ITO가 주로 이용된다.
보조 패턴(3-2)은 평판표시소자에서의 역할은 없고 단순히 절연막의 필링(peeling)을 방지하기 위함이다.
그 위에 양극(2)의 저항을 줄이기 위해 보조 전극(bus electrode)을 형성하기도 한다.
이 보조 전극으로 쓰이는 물질은 ITO 보다 상대적으로 저항이 작은 금속을 쓰면 된다. 예를 들면 Cr, Al, Cu, W, Au, Ni, Ag 등이다.
이오 도 3b 에 도시된 바와 같이 절연막(4)을 형성한다.
절연막(4)은 발광픽셀(5) 영역을 제외하고 상기 연결 탭(3-1) 및 보조 패턴(3-2)의 소정 영역을 덮도록 형성된다.
상기 보조 패턴(3-2)은 글레스 기판(1)에 비해 상대적으로 상기 절연막(4)과 접착력이 좋은 투명 전극 물질로 이루어지기 때문에 글레스 기판(1)에서의 상기 절연막(4)이 벗겨지는 현상(peeling)을 줄인다.
상기 절연막(4)은 무기물, 유기물의 절연체를 사용한다. 무기물인 경우 옥사이드(oxide), 나이트라이드(nitride) 류를 사용하고, 스핀 가능하게 솔벤트(solvent)에 녹인 무기물도 가능하다. 유기물의 경우에는 고분자의 폴리머(polymer)가 좋으며, 포토 레지스트(photoresist), 폴리이미드(polyimide),폴리올레핀(polyolefin)류가 적당하다.
도 4a 는 도 3b 의 A 부분을 확대한 도면이다.
a 부분은 연결 탭(3-1), 즉 소자에 원래 있어야 할 패턴의 끝부분 위에 절연막(5)이 올라온 부분이고, b 부분은 단순히 절연막(4) 필링 억제용으로 미리 만들어 놓은 ITO 보조 패턴(3-2) 위에 절연막(4)이 형성된 부분이다.
a, b 두 부분으로 인하여 절연막(4)의 필링은 억제된다.
또한 도 4b 에 도시된 바와 같이 보조 패턴(3-2), 연결 탭(3-1) 및 절연막(4)을 형성할 수도 있다.
연결 탭(3-1)을 도시된 바와 같이 형성하고, 양극(2)과 상기 연결 탭(3-1) 사이와 상기 연결 탭(3-1)의 가장자리 부분의 양측에 보조 패턴(3-2)을 미리 형성한다.
상기와 같이 보조 패턴(3-2)을 형성하는 것은 소자의 수명과 수율과 관계가 있다.
이어 도 3c 에 도시된 바와 같이 음극 사이를 절연하기 위해 절연 격벽(6)을 형성시킨다.
이어 도 3d 에 도시된 바와 같이 유기 EL 층(7)을 증착시킨다.
이어 도 3e 에 도시된 바와 같이 음극(8) 물질을 형성한다.
상기 음극(8) 물질은 Mg-Ag 합금, Al 또는 기타 도전성 물질 등이다.
이어 산소 흡착층, 수분 흡착층, 방습층과 같은 보호막층을 형성시키고, 봉지재와 봉지판을 이용하여 캡슐화하여 소자를 완성한다.
이상에서 설명한 평판표시소자 및 그 제조 방법은 기판과 접착력이 좋지 않은 절연막을 형성함에 있어, 절연막 패터닝 공정시 절연막과 접착력이 좋지 않은 기판 부분에 미리 기판에 비해 상기 절연막과 접착력이 우수한 전극 패턴을 형성하여 절연막의 필링(peeling) 현상을 방지함으로써 원하는 형태의 절연막을 형성하여 상기 소자의 성능이나 수명을 향상시킨다.
이상을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시 예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.

Claims (9)

  1. 기판 위에 각각 다수 개의 하부 전극과 상부 전극이 서로 수직하게 교차되는 위치에 각각 형성된 발광픽셀을 갖는 평판표시소자 제조 방법에 있어서,
    상기 하부 전극과 수직한 방향으로 상기 하부 전극과 겹치지 않도록 상기 하부 전극 중 가장자리에 형성된 하부 전극의 일측에 다수 개로 형성된 연결 탭;
    상기 하부 전극 및 상부 전극 사이에 위치하고, 상기 연결 탭의 소정 영역을 덮고, 상기 각 발광픽셀을 제외한 영역에 형성된 절연막;
    상기 연결 탭들 중 가장자리에 형성된 연결 탭의 양측에 형성되고, 상기 절연막의 필링(peeling) 현상을 방지하는 보조 패턴을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시소자.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 보조 패턴은 상기 하부 전극과 각 연결 탭 사이에 더 형성됨을 특징으로 하는 평판표시소자.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 보조 패턴은 투명 전극 물질임을 특징으로 하는 평판표시소자.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 투명 전극 물질은 ITO 물질임을 특징으로 하는 평판표시소자.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 하부 전극 및 연결 탭은
    상기 투명 전극 물질임을 특징으로 하는 평판표시소자.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 절연막은
    옥사이드(oxide), 나이트라이드(nitride)류, 솔벤트(solvent)에 녹인 무기물, 고분자의 폴리머(polymer), 포토 레지스트(photoresist), 폴리이미드(polyimide), 폴리올레핀(polyolefin) 중 어느 하나임을 특징으로 하는 평판표시소자.
  7. 각각 다수 개의 하부 전극과 상부 전극이 서로 수직하게 교차되는 위치에 각각 형성된 발광픽셀을 갖는 평판표시소자 제조 방법에 있어서,
    기판 위에 다수 개의 하부 전극을 형성하는 제 1 단계;
    상기 하부 전극과 수직한 방향으로 상기 하부 전극과 겹치지 않도록 상기 하부 전극 중 가장자리에 형성된 하부 전극의 일측에 다수 개로 연결 탭을 형성하는 제 2 단계;
    상기 다수 개의 연결 탭 중 가장자리에 형성된 연결 탭 양측에 보조 패턴을 형성하는 제 3 단계;
    상기 연결 탭의 소정 영역을 덮고, 상기 각 발광픽셀을 제외한 영역에 절연막을 형성하는 제 4 단계;
    상기 하부 전극에 대해 수직한 방향으로 인접한 상기 발광픽셀 사이에 절연 격벽을 형성하는 제 5 단계;
    상기 발광픽셀에 유기 EL 층을 형성하는 제 6 단계;
    상기 하부 전극과 수직한 방향으로 상부 전극을 형성하는 제 7 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 3 단계에서 상기 보조 패턴은 상기 연결 탭과, 상기 연결 탭과 인접한 상기 하부 전극사이에 더 형성됨을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 3 단계는 상기 보조 패턴을 형성 후에 상기 하부 전극 및 연결 탭의 소정 영역에 보조 전극을 더 형성함을 특징으로 하는 평판표시소자 제조 방법.
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