CN102067727A - 有机电致发光显示屏及其制造方法 - Google Patents

有机电致发光显示屏及其制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102067727A
CN102067727A CN2009801005832A CN200980100583A CN102067727A CN 102067727 A CN102067727 A CN 102067727A CN 2009801005832 A CN2009801005832 A CN 2009801005832A CN 200980100583 A CN200980100583 A CN 200980100583A CN 102067727 A CN102067727 A CN 102067727A
Authority
CN
China
Prior art keywords
color development
area
application
development zone
zone
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2009801005832A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102067727B (zh
Inventor
吉田英博
奥本健二
山室景成
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Joled Inc
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Publication of CN102067727A publication Critical patent/CN102067727A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102067727B publication Critical patent/CN102067727B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/121Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/10Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10Deposition of organic active material
    • H10K71/12Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H10K71/135Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/17Passive-matrix OLED displays

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

公开了有机EL显示屏,其包括:基板,其具有沿特定的方向而配置为相互的长轴平行的多个发色区域;隔堤,其形成在所述基板上,且在各个所述发色区域内规定沿所述发色区域的长轴排成一列的多个涂敷区域;以及像素电极,其排列在所述涂敷区域的内部,且具有与所述发色区域的长轴的方向平行的长轴,在所有的所述发色区域中,位于各个所述发色区域的长轴方向的端部的涂敷区域大于位于各个所述发色区域的长轴方向的中央部的所述涂敷区域。

Description

有机电致发光显示屏及其制造方法
技术领域
本发明涉及有机EL(Electroluminescent:电致发光)显示屏及其制造方法。
背景技术
有机EL显示器的制造方法根据有机功能层的形成方法大致可分为以下两种。一种是通过蒸镀形成有机功能层的方法,另一种是通过溶剂涂敷法形成有机功能层的方法。
作为通过溶剂涂敷法形成有机功能层的代表性方法之一有下述方法,即,使用喷墨装置将含有有机功能材料的墨的液滴滴入显示器基板,形成有机功能层(例如,参照专利文献1)。
含有有机功能材料的墨涂敷在发色区域,该发色区域配置在显示器基板上。这里,所谓发色区域,指的是红(R)、绿(G)、蓝(B)中的任一子像素排成一列的区域。也就是说,在显示器基板上,沿特定的方向相互平行地配置三种发色区域(R、G、B)。
发色区域可以通过隔堤而按每个子像素地进行划分,或者不进行划分而成线状。在通过隔堤而按每个子像素区域划分发色区域时,隔堤规定各个子像素区域,并对每个子像素供给含有有机功能材料的墨(例如,参照专利文献2至5)。
另一方面,在不通过隔堤对发色区域进行划分时(发色区域为线状时),隔堤规定各个发色区域,并对每个发色区域供给含有有机功能材料的墨(例如,参照专利文献6至10)。
然而,已知从喷墨头所具有的喷嘴滴出的液滴的大小在每个喷嘴上存在偏差(例如,参照专利文献11)。
另外,提出了用于下述目的的技术,即,通过由隔堤包围多个子像素并错开由隔堤包围的区域,从而使涂敷的、含有有机功能材料的墨的干燥速度相等(例如,参照专利文献12)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:(日本)特开2004-362818号公报
专利文献2:(日本)特开2004-87509号公报
专利文献3:美国专利申请公开第2002/0097363号说明书
专利文献4:美国专利申请公开第2002/0008311号说明书
专利文献5:美国专利申请公开第2004/0021413号说明书
专利文献6:美国专利第7091660号专利说明书
专利文献7:(日本)特开2007-227127号公报
专利文献8:(日本)特开2004-288403号公报
专利文献9:美国专利申请公开第2002/0041150号说明书
专利文献10:美国专利申请公开第2007/0138943号说明书
专利文献11:(日本)特开2003-266669号公报
专利文献12:(日本)特开2007-115563号公报
在显示器基板上要通过喷墨装置形成有机功能层时,如图1所示那样,1)相对于基板10具有的发色区域12的长轴而将喷墨装置的喷墨头20配置在图中的上部(或下部)(此时,优选的是,配置为发色区域12的长轴与喷嘴21的排列方向垂直)、2)使喷墨头20与发色区域12的长轴平行地相对移动的同时、3)从喷嘴21将液滴滴入发色区域12,形成有机功能层。以下,将这样使喷墨头与发色区域的长轴平行地相对移动的方法称为“纵向涂敷”。
但是,如上所述,从喷墨头具有的喷嘴滴出的液滴的大小在每个喷嘴存在偏差,所以在纵向涂敷了显示器基板时,在发色区域间涂敷的墨的量产生偏差。例如,如图2所示那样喷墨头20具有不滴出墨的喷嘴21a时,在发色区域12a涂敷的墨的量少于在发色区域12b涂敷的墨的量。该发色区域间的墨的量的偏差造成发色区域间的有机功能层的膜厚的偏差。进而,发色区域间的有机功能层的膜厚的偏差造成发色区域间的亮度不均,在有机EL显示屏中成为所谓的“条纹不均”的原因。
作为用于解决“条纹不均”的问题的方法有图3中记载的方法。在图3中,1)将具有多个喷嘴的喷墨头20配置在显示器基板10的发色区域的长轴的侧部、2)使喷墨头20与发色区域的长轴垂直地相对移动的同时、3)从喷嘴21将有机功能材料的液滴滴入发色区域12,形成有机功能层。以下,将这样使喷墨头与发色区域的长轴垂直地相对移动的方法称为“横向涂敷”。在横向涂敷中,对1发色区域涂敷从多个喷嘴滴出的墨。
图4表示通过横向涂敷将墨滴入发色区域12的情形。如图4所示,在横向涂敷中,即使假定喷墨头具有不滴出墨的喷嘴21a,或者具有滴出大量的墨的喷嘴21b时,在各个发色区域12内也能涂敷相同量的墨。
但是,即使是图3中记载的方法也存在产生“干燥不均”的问题。所谓“干燥不均”指的是由于显示屏上的墨的干燥速度的偏差而产生的有机功能层的状态的不均。通常,在发色区域的长轴方向的端部(以下,简称为“发色区域的端部”)涂敷的墨的干燥速度比在发色区域的长轴方向的中央部分(以下,简称为“发色区域的中央部”)涂敷的墨的干燥速度快。这是因为,与发色区域的中央部的周围相比,在发色区域的端部的周围,溶剂蒸气的浓度较低。
这样的干燥速度的差造成像素间的有机功能层的状态(例如,膜厚等)的偏差。这样的像素间的有机功能层的状态的偏差成为亮度不均或发光色不均等的原因。
另外,在发色区域为线状时(例如,参照专利文献6),在发色区域涂敷的墨能够在发色区域内移动。因此,若在发色区域的端部涂敷的墨迅速干燥,则在发色区域的中央部涂敷的未干燥的墨被吸引到发色区域的端部,在发色区域内形成膜厚不均匀的有机功能层。
另一方面,在隔堤规定每个子像素区域时(例如,参照专利文献6),在发色区域涂敷的墨在发色区域内无法移动,所以能够防止上述的发色区域内的有机功能层的膜厚的偏差。但是,基板内的溶剂蒸气的浓度差依然发生,所以墨的干燥速度上产生差异,总之无法形成在像素间具有相同的膜厚的有机功能层。
为了解决这样的由干燥不均产生的问题,提出了下述技术,即,在基板的外周部侧扩大由隔堤规定的功能层形成区域,在基板的中央部侧缩小该区域(例如,参照特开2009-54395号公报、特开2009-48830号公报)。在特开2009-54395号公报和特开2009-48830号公报公开的有机EL显示屏上,基板端部的发色区域所包含的功能层形成区域的大小全部相同。
但是,为了解决由干燥不均产生的问题,特开2009-54395号公报和特开2009-48830号公报中公开的技术也并不充分。
发明内容
本发明的目的在于提供具有相同的膜厚的有机功能层的有机EL显示屏和其制造方法。
本发明人发现通过将发色区域划分为特定的区域而能够使墨的干燥速度相等,并通过进一步的研究而完成本发明。
本发明的第一方面是有关以下所示的有机EL显示屏。
[1]、有机EL显示屏包括:基板,其具有沿特定的方向而配置为各个的长轴平行的多个发色区域;隔堤,其形成在所述基板上,且在各个所述发色区域内规定沿所述发色区域的长轴排成一列的多个涂敷区域;以及像素电极,其排列在所述涂敷区域的内部,且具有与所述发色区域的长轴平行的长轴,在所有的所述发色区域中,位于各个所述发色区域的长轴方向的端部的所述涂敷区域大于位于各个所述发色区域的长轴方向的中央部的所述涂敷区域。
[2]、如[1]所述的有机EL显示屏,所述涂敷区域的大小为从所述发色区域的长轴方向的端部朝向所述发色区域的长轴方向的中央部广义单调减少。
[3]、如[1]或[2]所述的有机EL显示屏,在所有的所述发色区域中,排列在位于所述发色区域的长轴方向的端部的所述涂敷区域的内部的像素电极的数量多于排列在位于所述发色区域的长轴方向的中央部的所述涂敷区域的内部的像素电极的数量。
[4]、如[1]或[2]所述的有机EL显示屏,排列在各个所述涂敷区域的内部的所述像素电极的数量相同。
[5]、如[1]至[4]中任一个所述的有机EL显示屏,位于所述特定的方向上的基板端部的所述发色区域所包含的所述涂敷区域的平均面积大于位于所述特定的方向上的基板中央部的所述发色区域所包含的所述涂敷区域的平均面积。
[6]、如[1]至[5]中任一个所述的有机EL显示屏,位于所述特定的方向上的基板端部且位于所述发色区域的长轴方向的中央部的所述涂敷区域大于位于所述特定的方向上的基板中央部且位于所述发色区域的长轴方向的中央部的所述涂敷区域。
本发明的第二方面有关以下所示的有机EL显示屏的制造方法。
[7]、有机EL显示屏的制造方法包括以下步骤:准备TFT(薄膜晶体管)基板,所述TFT基板具有:基板,其具有沿特定的方向而配置为相互的长轴平行的多个发色区域;隔堤,其形成在所述基板上,且在各个所述发色区域内规定沿所述发色区域的长轴排成一列的多个涂敷区域;以及像素电极,其排列在所述涂敷区域的内部,且具有与所述发色区域的长轴平行的长轴;在所述发色区域的长轴方向的侧部且所述基板的所述发色区域以外的区域上配置喷墨头,所述喷墨头具有以规定的间距线状地排列的两个以上的喷嘴而且供给含有有机功能材料的墨;以及使所述喷墨头与所述发色区域的长轴垂直地相对移动,并从所述喷嘴将所述墨滴入所述涂敷区域来进行涂敷,在所有的所述发色区域中,位于各个所述发色区域的长轴方向的端部的所述涂敷区域大于位于各个所述发色区域的长轴方向的中央部的所述涂敷区域。
[8]、有机EL显示屏的制造方法包括以下步骤:准备TFT基板,所述TFT基板具有:基板,其具有沿特定的方向而配置为相互的长轴平行的多个发色区域;隔堤,其形成在所述基板上,且在各个所述发色区域内规定沿所述发色区域的长轴排成一列的多个涂敷区域;以及像素电极,其排列在所述涂敷区域的内部,且具有与所述发色区域的长轴平行的长轴;在所述发色区域的长轴方向的侧部且所述基板的所述发色区域以外的区域上配置喷墨头,该喷墨头具有以规定的间距线状地排列的两个以上的喷嘴而且供给含有有机功能材料的墨;从所述喷嘴将规定量的所述墨滴入所述基板的发色区域以外的区域,确定所述喷嘴中的不滴出墨的喷嘴的位置和数量;将与不滴出所述墨的喷嘴相邻的喷嘴滴出的所述墨的量设定得多于所述规定量;以及使所述喷墨头与所述发色区域的长轴垂直地相对移动,并从所述喷嘴将所述墨滴入所述涂敷区域来进行涂敷,在所有的所述发色区域中,位于各个所述发色区域的长轴方向的端部的所述涂敷区域大于位于各个所述发色区域的长轴方向的中央的所述涂敷区域。
根据本发明的有机EL显示器的制造方法,能够形成在像素间具有相同的膜厚的有机功能层,制造无发光不均的有机EL显示屏。
另外,根据本发明的有机EL显示屏的制造方法,即使在喷墨头具有一定数量的不滴出墨喷嘴的情况下,也能够向涂敷区域提供所需量的墨,提高成品率。
附图说明
图1是表示通过纵向涂敷制造的有机EL显示屏的的制造方法的图。
图2是表示通过纵向涂敷制造的有机EL显示屏的的制造方法的图。
图3是表示通过横向涂敷制造的有机EL显示屏的的制造方法的图。
图4是表示通过横向涂敷制造的有机EL显示屏的的制造方法的图。
图5是表示本发明的有机EL显示屏的的制造方法的图。
图6是表示本发明的有机EL显示屏的的制造方法的图。
图7是表示本发明的有机EL显示屏的的制造方法的图。
图8是表示本发明的有机EL显示屏的的制造方法的图。
图9是表示本发明的有机EL显示屏的的制造方法的图。
图10是本发明的有机EL显示屏的平面图。
图11是本发明的有机EL显示屏的剖面图。
图12是本发明的有机EL显示屏的剖面图。
图13是实施方式1的有机EL显示屏的平面图。
图14是实施方式2的有机EL显示屏的平面图。
图15是实施方式3的有机EL显示屏的平面图。
图16是实施方式3的有机EL显示屏的部分放大图。
图17A~图17C是实施方式3的有机EL显示屏的剖面图。
附图标记的说明
10基板
11隔堤
12发光区域
20喷墨头
21喷嘴
100、200、300TFT基板
101基板
103发色区域
105涂敷区域
107隔堤
109像素电极
111有机功能层
150喷墨头
151喷嘴
具体实施方式
1、关于本发明的有机EL显示屏的制造方法
本发明的有机EL显示屏的制造方法包括:1)第一步骤,准备形成有机功能层之前的TFT基板;以及2)第二步骤,通过喷墨在TFT基板涂敷含有有机功能材料的墨,形成有机功能层。
1)关于第一步骤
在第一步骤中,准备形成有机功能层之前的TFT基板(参照图13)。本发明的特征在于在第一步骤准备的TFT基板的构造。以下,详细地说明在第一步骤准备的TFT基板的构造。
在第一步骤准备的TFT基板包括:基板、形成在基板上的隔堤、矩阵状配置在基板上的多个像素电极以及与各个像素电极连接的薄膜晶体管(TFT)。各个像素电极具有长轴和短轴。
另外,在各个像素电极上也可以形成由过渡金属的氧化物构成的空穴输入层。作为过渡金属的氧化物的例子包括:钨氧化物(WOx)、钼氧化物(MoOx)、钒氧化物(VOx)、以及这些氧化物的组合等。
基板具有沿特定的方向而配置为相互的长轴平行的发色区域。这里,所谓发色区域指的是红(R)、绿(G)、蓝(B)中的任一子像素排成一列的区域(参照图13的103)。也就是说,在本发明中,沿特定的方向而相互平行地配置三种发色区域(R、G、B)。例如,在红色发色区域的旁边配置绿色发色区域,在绿色发色区域的旁边配置蓝色发色区域,在蓝色发色区域的旁边配置红色发色区域。如上所述,发色区域具有长轴,并且发色区域的长轴与上述的像素电极的长轴平行。在本发明中,其特征在于发色区域具有后述的排成一列的多个涂敷区域。
隔堤是用于规定涂敷墨的区域的绝缘性的部件,所述墨含有有机功能材料。隔堤形成在基板上。如果加工较容易且具有绝缘性,则并不特别限定隔堤的材料。
隔堤将发色区域划分为多个涂敷区域。也就是说,隔堤规定涂敷区域。在本发明中,所谓“涂敷区域”指的是涂敷含有有机功能材料的区域。有机功能材料至少含有有机发光材料,也可以含有空穴输入层的材料或空穴输送层的材料等。隔堤规定涂敷区域,以使1发色区域中多个涂敷区域沿发色区域的长轴排成一列。
在1涂敷区域内排列1或2个以上的像素电极。在涂敷区域具有2个以上的像素电极时,像素电极在涂敷区域内沿发色区域的长轴排成一列。
在本发明中,其特征在于涂敷区域的位置和涂敷区域的大小之间的关系。具体而言,各个涂敷区域的大小因各个涂敷区域的位置而不同。以下,更详细地说明TFT基板中的涂敷区域的位置和涂敷区域的大小之间的关系。
(i)关于发色区域内的涂敷区域的位置和涂敷区域的大小之间的关系
如上所述,发色区域具有沿发色区域的长轴而排成一列的多个涂敷区域。在本发明中,在所有的发色区域中,位于各个发色区域的长轴方向的端部的涂敷区域(以下称为“端部涂敷区域”)大于位于各个发色区域的长轴方向的中央部的涂敷区域(以下称为“中央部涂敷区域”)(参照图13、图14、图15)。这里所谓中央部涂敷区域指的是位于发色区域的长轴方向的中央的、含有像素电极的涂敷区域。
为了使端部涂敷区域大于中央部涂敷区域,例如使端部涂敷区域的长度比中央部涂敷区域的长度长即可。此时,排列在端部涂敷区域的内部的像素电极的数量多于排列在中央部涂敷区域的内部的像素电极的数量(参照图13)。这里所谓“涂敷区域的长度”指的是发色区域的长轴方向的涂敷区域的长度。
另外,使各个涂敷区域的长度相同,例如也可以通过使端部涂敷区域的宽度大于中央部涂敷区域的宽度,而使端部涂敷区域大于中央部涂敷区域(参照图14)。此时,排列在各个涂敷区域的内部的像素电极的数量相同。这里所谓“涂敷区域的宽度”指的是与发色区域的长轴垂直的方向上的涂敷区域的长度。
另外,也使规定端部涂敷区域的隔堤高于规定中央部涂敷区域的隔堤,或使规定端部涂敷区域的隔堤的锥角小于规定中央部涂敷区域的隔堤的锥角,由此使端部涂敷区域的容积大于中央部涂敷区域的容积(参照图16和图17)。
优选的是,涂敷区域的大小为从发色区域的长轴方向的端部朝向发色区域的长轴方向的中央部广义单调减少。这里所谓“从发色区域的长轴方向的端部朝向发色区域的长轴方向的中央部广义单调减少”指的是从端部涂敷区域直至中央部涂敷区域为止涂敷区域的面积至少不增加。
这样,通过使端部涂敷区域大于中央部涂敷区域,能够在发色区域内使后述的墨的干燥速度相等,并能够形成在发色区域内具有相同的膜厚的有机功能层。在后述的第二步骤的说明中,详细地说明通过使端部涂敷区域大于中央部涂敷区域而能够使墨的干燥速度相等的理由。
(ii)关于基板内的发色区域的位置和该发色区域具有的涂敷区域的大小之间的关系
如上所述,在TFT基板中,为了使发色区域内有机功能层的膜厚相同,在发色区域内调节涂敷区域的大小。在本发明中,还可以在每个发色区域调节涂敷区域的大小。通过在每个发色区域调节涂敷区域的大小,能够使发色区域间墨的干燥速度相等,并能够使发色区域间有机功能层的膜厚相同。也就是说,优选的是,本发明的有机EL显示屏的、位于特定的方向上的基板端部的发色区域(以下称为“端部发色区域”,参照图13、图14、图15的103X)所包含的涂敷区域的平均面积大于位于所述特定的方向上的基板中央部的发色区域(以下称为“中央部发色区域”,参照图13、图14、图15的103Y)所包含的涂敷区域的平均面积。
为了使端部发色区域所包含的涂敷区域的平均面积大于中央部发色区域所包含的涂敷区域的平均面积,例如,也可以使端部发色区域具有的涂敷区域的数量少于中央部发色区域具有的涂敷区域的数量(参照图13、图15)。
另外,优选的是,端部发色区域的中央部涂敷区域也大于中央部发色区域的中央部涂敷区域(参照图13、图14、图15)。
这样,使端部发色区域所包含的涂敷区域的平均面积大于中央部涂敷区域所包含的涂敷区域的平均面积,由此能够使发色区域间墨的干燥速度相等,并能够使发色区域间有机功能层的膜厚相同。在后述的第二步骤的说明中,详细地说明其效果。
2)关于第二步骤
在第二步骤中,在准备了的TFT基板上通过喷墨来涂敷含有有机功能材料的墨(以下简称为“墨”),形成有机功能层。
通过喷墨来涂敷墨时,使具有多个滴出墨的喷嘴的喷墨头对TFT基板相对移动即可。虽然有使喷墨头相对于上述的发色区域的长轴平行移动的方法(纵向涂敷)和使其相对于发色区域的长轴垂直移动的方法(横向涂敷),但优选后者。这是因为,在横向涂敷时,从多个喷嘴向一个涂敷区域滴入墨而进行涂敷,由此能够防止因每个喷嘴的滴出量的差造成有机功能层的膜厚不均(参照图4)。
以下,使用附图说明通过“横向涂敷”对TFT基板涂敷墨的方法。
第二步骤还包括:i)在发色区域的长轴的侧部且基板的发色区域以外的区域上配置具有多个喷嘴的喷墨头的步骤(图5)、ii)从喷嘴向基板的发色区域以外的区域滴出墨,确定喷墨头所具有的喷嘴中的、不滴出墨的喷嘴的位置和数量的步骤、iii)将与不滴出墨的喷嘴相邻的喷嘴滴出的所述墨的量设定得多于通常的量的步骤、以及iv)使喷墨头与发色区域的长轴垂直地相对移动,从喷嘴将墨滴入涂敷区域,进行涂敷的步骤(图6、图7、图8、图9、图10)。
图5表示步骤i)后的状态。在步骤i)中,在准备了的TFT基板100的发色区域103的长轴的侧部且基板101的发色区域103以外的区域上配置喷墨头。更具体而言,在多个发色区域103中的、最边端的发色区域103X的长轴的侧部配置喷墨头150。也可以是所配置的喷墨头150的喷嘴151的排列方向与发色区域103的长轴平行(参照图5)。
如图5所示,在配置在喷墨头150的喷嘴151(151-1~151-n)中从处于一端的喷嘴151-1至处于另一端的喷嘴151-n为止的距离优选与基板101的发色区域103的长轴方向的长度相同或为其以上的长度。这是因为,能够同时对发色区域103具有的所有涂敷区域105涂敷墨。另外,相对于发色区域103的长轴方向,喷墨头150的喷嘴151的排列方向倾斜时,“从喷嘴151-1至喷嘴151-n为止的距离的发色区域的长轴方向上的分量”优选与发色区域103的长轴方向的长度相同或为其以上的长度。
线状地排列在喷墨头150上的喷嘴151间的间距(pitch)优选为10μm~50μm,例如优选约为20μm。这是为了,使从喷嘴151滴出的墨在落入地点相互连结。另外,从喷嘴151滴出的液滴的每一滴的量优选为1pl~15pl,例如优选为3pl。
向喷墨头供给含有有机功能材料的墨。在本发明中,有机功能材料优选含有高分子有机发光材料。适当地选择高分子有机发光材料,以从发色区域产生期望的颜色(R,G,B)。
在步骤ii)中,从喷嘴151向基板101的发色区域103以外的区域滴入规定量的墨,确定喷墨头150所包含的喷嘴151中的、不滴出墨的喷嘴(以下称为“不滴出墨喷嘴”)的位置和数量。在确定不滴出墨喷嘴的位置和数量时,用摄像机观察从喷嘴滴出而落入基板上的墨,确认是否从任何喷嘴都滴出了墨即可。
在确定出的不滴出墨喷嘴的数量在一定数量以上时,不转移到步骤iii)而洗净喷墨头的喷嘴。例如,在不滴出墨喷嘴的比例为全体喷嘴的2%以上时,通过吹扫、擦拭等洗净喷墨头的喷嘴,在洗净后,再次返回到步骤ii)。另一方面,在步骤ii)确认出不滴出墨喷嘴的比例在2%以下时,转移到步骤iii)。
在喷墨装置中,有时由于喷头滴出面变干或墨凝集,喷嘴的滴出口堵塞。在喷嘴的滴出口堵塞时,需要进行洗净喷墨头等处理而使工作效率降低。另外,即使洗净了喷墨头,也难以完全地消除喷嘴的堵塞。因此,实际上要求使用含有一定数量的不滴出墨喷嘴的喷墨头来涂敷墨。
在步骤iii)中,将在步骤ii)确定了位置的不滴出墨喷嘴的两侧的喷嘴滴出的墨的量设定得多于在步骤ii)滴出的“规定量”的墨。具体而言,将不滴出墨喷嘴的两侧的喷嘴滴出液滴的间隔(滴出1液滴后至滴出下一液滴为止的时间)设定为通常间隔的2/3。通过将喷嘴滴出液滴的间隔设定为通常间隔的2/3,使喷嘴在一定时间内滴出的液滴的量为通常的喷嘴滴出的液滴的量的1.5倍。通过使不滴出墨喷嘴的两侧的喷嘴滴出的墨的量分别为1.5倍,能够填补因不滴出墨喷嘴造成的墨的不足。
这样,通过步骤ii)和步骤iii),即使在喷墨头具有一定数量的不滴出墨喷嘴时,也能够进行调整,以将所需量的墨供给到涂敷区域内。由此,能够防止在步骤iv)产生未涂敷墨的区域,提高成品率。
图6、图7、图8以及图9表示进行步骤iv)的情形。在步骤iv)中,使喷墨头150在与TFT基板100的发色区域103的长轴垂直的方向上,相对于TFT基板100相对移动(图6)。在使喷墨头150相对于TFT基板100相对移动时,可以使喷墨头150移动,也可以移送TFT基板100,并且也可以使双方都移动。若喷墨头150的相对移动的结果为喷墨头150的喷嘴151到达一发色区域103,则从喷嘴151滴出墨的液滴。
发色区域103具有由隔堤107规定的多个涂敷区域105,由此滴出的墨的液滴落入涂敷区域105来进行涂敷。所涂敷的墨量为每1个子像素100~500pl。从一个喷嘴以通常规定的间隔滴出多个液滴,由此供给所需量的墨。
图7是表示喷嘴151向涂敷区域105滴出液滴的情形的示意图。如图7所示,对涂敷区域105由多个喷嘴151滴入墨而进行涂敷。
图7所示的喷嘴151a为不滴出墨的不滴出墨喷嘴。如上所述,通过步骤iii),不滴出墨喷嘴151a的两侧的喷嘴151b为了补充不滴出墨喷嘴造成的墨不足,调整为滴出比通常多的墨。在图7中,通常的喷嘴151滴入涂敷区域105的液滴的数量为四滴,但不滴出墨喷嘴151a的两侧的喷嘴151b滴出的液滴的数量为六滴。
这样,将不滴出墨喷嘴的两侧的喷嘴滴出的液滴的量设定为1.5倍,由此即使在喷墨头包含不滴出墨喷嘴的情况下,也能够将所需量的墨滴入所有的子像素。
有时从喷墨头150的喷嘴151滴出的液滴的量在每个喷嘴分别不同,但通过如本发明那样使喷墨头与发色区域的长轴垂直地相对移动,能够使发光区域间的墨的量相等。因此,即使从喷嘴151滴出的液滴量存在差异,在发光区域间涂敷膜的膜厚也相同。
对一个发色区域103的各个涂敷区域105滴完墨后,再使喷墨头150相对移动,使喷墨头150移动到应滴入墨的液滴的下一发色区域103(参照图8和图9)。通常,由于R的墨、G的墨以及B的墨分别以不同的扫描进行涂敷,所以每隔三个线区域地滴入墨的液滴。若喷墨头150到达所期望的发色区域103,则再次滴出墨的液滴并使液滴落入发色区域103的各个涂敷区域105。进而,以同样的方法涂敷其他颜色的墨,涂敷R、G、B的所有的墨反复进行上述动作,对所有的涂敷区域105涂敷墨,并使涂敷了的墨干燥,由此形成有机功能层111(参照图10)。
如上所述,在本发明中,端部涂敷区域大于中央部涂敷区域,所以能够使涂敷在涂敷区域的墨的干燥速度在发色区域内相等,并能够形成在发色区域内具有相同膜厚的有机功能层。
以下,说明端部涂敷区域大于中央部涂敷区域和使墨的干燥速度相等之间的关系。
图11是图10所示的TFT基板的AA线处的剖面图。另外,图11中的箭头表示墨的蒸发速度。箭头越粗表示墨的蒸发速度越快。
如图11所示,在发色区域103的两端的周围,溶剂蒸气的浓度较低,所以墨的蒸发速度较快。另一方面,在发色区域的中央的周围,溶剂蒸气的浓度较高,所以蒸发速度较慢。
另一方面,在本发明中,端部涂敷区域105X大于中央部涂敷区域105Y。也就是说,涂敷在端部涂敷区域105X的墨的量多于涂敷在中央部涂敷区域105Y的墨的量。因此,即使在发色区域103的端部墨的蒸发速度较快,由于涂敷在端部涂敷区域105X的墨的量较多,所以直至涂敷在端部涂敷区域105X的墨全部干燥为止比较耗费时间。另一方面,在发色区域103的中央部,蒸发速度较慢,但由于涂敷在中央部涂敷区域105Y的墨的量较少,所以直至涂敷在中央部涂敷区域105Y的墨全部干燥为止相对不耗费时间。
这样,通过使端部涂敷区域大于中央部涂敷区域,能够使端部涂敷区域的干燥速度和中央部涂敷区域的干燥速度相等,并能够使发色区域内有机功能层的膜厚相同。
另外,在本发明中,端部发色区域103X所包含的涂敷区域的平均面积也大于中央部发色区域103Y所包含的涂敷区域的平均面积,所以能够使涂敷在涂敷区域的墨的干燥速度在发色区域间相等,并能够形成在发色区域间具有相同的膜厚的有机功能层。
图12是图10所示的TFT基板的BB线处的剖面图。另外,图12中的箭头表示墨的蒸发速度。箭头越粗表示墨的蒸发速度越快。
如图12所示,在端部发色区域103X的周围,溶剂蒸气的浓度较低,所以墨的蒸发速度较快。另一方面,在中央部发色区域103Y的周围,溶剂蒸气的浓度较高,所以蒸发速度较慢。
另一方面,在本发明中,端部发色区域103X所包含的涂敷区域105的平均面积大于中央部发色区域103Y所包含的涂敷区域105的平均面积(参照图10)。因此,即使在端部发色区域103X的周围,墨的蒸发速度较快,直至涂敷在端部发色区域103X所包含的涂敷区域105的墨全部干燥为止也比较耗费时间。另一方面,在中央部发色区域103Y的周围,蒸发速度较慢,但直至涂敷在中央部发色区域103Y所包含的涂敷区域105的墨全部干燥为止相对不耗费时间。
这样,通过使端部发色区域所包含的涂敷区域的平均面积大于中央部发色区域所包含的涂敷区域的平均面积,能够使端部发色区域的干燥速度与中央部发色区域的干燥速度相等,并能够获得在发色区域间具有相同的膜厚的有机功能层。由此,能够制造无发光不均的有机EL显示屏。
另外,用隔堤将发色区域划分为多个涂敷区域,由此能够提高成品率。在有机EL显示器的制造过程中,有时在形成有机功能层之前,灰尘附着在发色区域内。在没有将发色区域规定为多个涂敷区域的情况下,所涂敷的墨被灰尘吸引,在发色区域内产生未形成有机功能层的区域。
另一方面,若如本发明那样通过隔堤将发色区域规定为多个涂敷区域,则由规定涂敷区域的隔堤来阻止所涂敷的墨被灰尘吸引。由此,即使灰尘附着在发色区域内,也难以在涂敷区域内产生未形成有机功能层的区域,从而提高成品率。
在有机功能层包含空穴输入层的情况下,在形成有机发光层之前,也可以与上述的形成方法同样,通过喷墨来涂敷含有空穴输入层的材料即PEDOT-PSS的墨,形成空穴输入层。
另外,在形成空穴输入层之后且形成有机发光层之前,也可以与上述的形成方法同样通过喷墨来涂敷含有聚苯胺类的材料的墨,形成空穴输送层。
在形成了有机电致EL层后,层叠电子输入输送层、对向电极等,还配置密封膜或玻璃基板等来制造显示器。
这样根据本发明的有机EL显示器的制造方法,能够形成在像素间具有相同的膜厚的有机功能层,制造无发光不均的有机EL显示屏。另外,根据本发明的有机EL显示屏的制造方法,即使在喷墨头具有一定数量的不滴出墨喷嘴的情况下,也能够向涂敷区域提供所需量的墨,提高成品率。
2、关于本发明的有机EL显示屏
本发明的有机EL显示屏包括基板、形成在基板上的隔堤以及矩阵状配置在基板上的多个像素电极。各个像素电极具有长轴和短轴。
像素电极是配置在基板上的导电性部件。像素电极通常作用为阳极,但也可以作用为阴极。另外,在各个像素电极上也可以形成由过渡金属的氧化物构成的空穴输入层。作为过渡金属的氧化物的例子包括:钨氧化物(WOx)、钼氧化物(MoOx)、钒氧化物(VOx)、以及这些氧化物的组合等。
可以在每个子像素形成由过渡金属的氧化物构成的空穴输入层,也可以由多个子像素共用一个空穴输入层。优选的是,在每个子像素形成由过渡金属的氧化物构成的空穴输入层。
基板也可以包括连接到像素电极的薄膜晶体管(TFT)。
基板具有沿特定的方向而配置为相互的长轴平行的发色区域。发色区域具有长轴,并且发色区域的长轴与上述的像素电极的长轴平行。
根据本发明的有机EL显示屏是底部发光型还是顶部发光型,基板的材料不同。例如,在为底部发光型时,要求基板具有绝缘性且是透明的。因此在为底部发光型时,基板的材料是玻璃或透明树脂等即可。另一方面,在为顶部发光型时,并不需要基板是透明的。因此,在为顶部发光型时,基板的材料只要具有绝缘性可以是任何材料。
隔堤将发色区域划分为多个涂敷区域。也就是说,隔堤规定涂敷区域。隔堤规定涂敷区域,以使在1发色区域中多个涂敷区域沿发色区域的长轴线状排列。隔堤的材料例如为聚酰亚胺等绝缘树脂。隔堤的高度(隔堤的底面与隔堤的上表面之间的距离)优选为0.1μm~2μm,特别优选为0.8μm~1.2μm。在隔堤的高度为2μm以上时,后述的对向电极有可能被隔堤切断。另外,在隔堤的高度为0.8μm以下时,涂敷在由隔堤规定的区域内的墨有可能从隔堤漏出。另外,隔堤优选为正锥状(参照图17)。
另外,也可以使规定端部涂敷区域的隔堤高于规定中央部涂敷区域的隔堤,或调节为规定端部涂敷区域的隔堤的锥角小于规定中央部涂敷区域的隔堤的锥角,由此使端部涂敷区域的容积大于中央部涂敷区域的容积(参照实施方式3)。
在1涂敷区域内排列1或2以上的像素电极。在涂敷区域具有2个以上的像素电极时,像素电极在涂敷区域内沿发色区域的长轴排成一列。像素电极的长轴优选为220~390μm,像素电极的短轴优选为70~125μm。
根据本发明的有机EL显示屏是底部发光型还是顶部发光型,像素电极的材料不同。在为底部发光型时,由于要求像素电极为透明电极,所以作为像素电极的材料的例子包括:ITO(氧化铟锡)、IZO(氧化铟锌)、ZnO(氧化锌)等。
在为顶部发光型时,要求像素电极具有光反射性,所以作为像素电极的材料的例子包括:含有银的合金更具体而言为银-钯-铜合金(也称为APC)或银-钌-金合金(也称为ARA)、MoCr(钼铬)、NiCr(镍铬)、铝-钕合金(也称为Al-Nd)等。
本发明的有机EL显示屏的特征在于涂敷区域的位置和涂敷区域的大小之间的关系。以下,说明有机EL显示屏中的涂敷区域的位置和涂敷区域的大小之间的关系。
(1)关于发色区域内的涂敷区域的位置和涂敷区域的大小之间的关系
在本发明的有机EL显示屏内,在所有的发色区域中,端部涂敷区域大于中央部涂敷区域。涂敷区域的大小优选为从端部涂敷区域至中央部涂敷区域为止广义地单调减少。为了使端部涂敷区域大于中央部涂敷区域,例如也可以使端部涂敷区域的长度比中央部涂敷区域的长度长。此时,排列在端部涂敷区域的内部的像素电极的数量多于排列在中央部涂敷区域的内部的像素电极的数量(参照图13)。例如,在某个发色区域中,使一方的端部涂敷区域所包含的像素电极的数量为该发色区域具有的像素电极的总数的0.5~15%,使中央部涂敷区域所包含的像素电极的数量为该发色区域具有的像素电极的总数的0.2~1.5%即可。
端部涂敷区域和中央部涂敷区域具有的像素电极的具体数量因有机EL显示屏的大小等而变动,但例如在为20英寸(1366×768像素)的有机EL显示屏时,可以使端部涂敷区域具有的像素电极的数量为5~100,使中央部涂敷区域具有的像素电极的数量为2~10。
另外,也可以使各个涂敷区域的长度相同,使端部涂敷区域的宽度大于中央部涂敷区域的宽度,由此使端部涂敷区域大于中央部涂敷区域(参照图14)。例如,将端部涂敷区域的宽度设为60~90μm,并将中央部涂敷区域的宽度设为50~70μm即可。此时,各个涂敷区域具有的像素电极的数量相同(参照图14)。
(2)关于基板内的发色区域的位置和该发色区域具有的涂敷区域的大小之间的关系
在本发明的有机EL显示屏中优选的是,端部发色区域所包含的涂敷区域的平均面积大于中央部涂敷区域所包含的涂敷区域的平均面积。
为了使端部发色区域所包含的涂敷区域的平均面积大于中央部发色区域所包含的涂敷区域的平均面积,例如,也可以使端部发色区域具有的涂敷区域的数量少于中央部发色区域具有的涂敷区域的数量(参照图13)。
另外,优选的是,端部发色区域的中央部涂敷区域也大于中央部发色区域的中央部涂敷区域(参照图13、图14)。
这样,使涂敷区域的大小根据涂敷区域的位置而不同,由此能够使涂敷在基板上的各个涂敷区域的墨的干燥速度相等,并能够获得在像素间具有相同的膜厚的有机功能层的有机EL显示屏。
有机功能层配置在像素电极上。有机功能层至少包含有机发光层,其为在由隔堤规定的涂敷区域内通过涂敷法形成的层。
有机功能层所包含的有机发光层含有有机发光材料。有机发光材料既可以为低分子有机发光材料,也可以为高分子有机发光材料,但优选为高分子有机发光材料。这是因为,含有高分子有机发光材料的有机发光层容易通过涂敷法形成。作为高分子有机发光材料的例子包括:聚亚乙基苯(polyphenylenevinylene)以及其衍生物、聚乙炔(Poly acetylene)以及其衍生物、聚苯(Poly phenylene)以及其衍生物、聚对亚乙基苯(Poly para phenyleneethylene)以及其衍生物、聚3-己基噻吩(Poly 3-hexyl thiophene(P3HT))以及其衍生物、聚芴(polyfluorene(PF))以及其衍生物等。
有机功能层还可以包含空穴输入层和空穴输送层等。
在有机功能层包含空穴输入层时,作为空穴输入层的材料的例子包括掺杂了聚乙烯磺酸的聚(3、4-亚乙基二氧噻吩)(称为PEDOT-PSS)或其衍生物(共聚物等)。
另外,空穴输送层具有阻断电子被输送到空穴输入层的作用,并具有将空穴高效率地运送到有机功能层的作用。在像素电极(或空穴输入层)和有机功能层之间配置空穴输送层。作为空穴输送层的材料的例子包括聚苯胺等。空穴输送层的厚度通常可为10nm以上且100nm以下,可约为40nm。
本发明的有机EL显示屏在有机功能层上具有对向电极。对向电极是配置在有机功能层上的导电部件。对向电极通常作用为阴极,但也可以作用为阳极。根据有机EL显示屏是底部发光型还是顶部发光型,对向电极的材料不同。在为顶部发光型时需要对向电极是透明的,所以作为对向电极的材料的例子包括ITO或IZO等。
另一方面,在为底部发光型时,不需要对向电极是透明的,只要对向电极的材料具有绝缘性,就可以是任何材料。对向电极形成在配置于各个子像素区域的有机功能层上即可,但也可以横跨所有的发色区域而形成对向电极。
在本发明的有机EL显示屏还可以在形成了对向电极的面上设置覆盖材料来进行密封。通过覆盖材料,抑制水分或氧的侵入。
以下,参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(实施方式1)
在本实施方式中说明,在所有的发色区域中,端部涂敷区域的长度(发色区域的长轴方向的长度)比中央部涂敷区域的长度长的例子。也就是说,在实施方式1中说明,端部涂敷区域具有的像素电极的数量多于中央部涂敷区域具有的像素电极的数量的例子。
图13是从本实施方式的有机EL显示屏中除去对向电极后的显示屏(TFT基板)。另外,图13也是从图10的显示屏(TFT基板)中除去有机功能层111后的显示屏。
如图13所示,本实施方式的TFT基板100包括:基板101、隔堤107以及像素电极109。
基板101具有沿X方向排列的、相互平行的发色区域103。
隔堤107将发色区域103划分为多个涂敷区域105。也就是说,隔堤107规定涂敷区域105。涂敷区域105在发色区域103内,沿发色区域103的长轴排成一列。
在涂敷区域105内排列像素电极109。涂敷区域105具有的像素电极的数量根据涂敷区域105的位置而不同。例如,在中央部发色区域103Y中,端部涂敷区域105X具有四个像素电极109。另一方面,中央部涂敷区域105Y具有一个像素电极109。另外,也可以在中央部涂敷区域105Y和端部涂敷区域105X之间,排列多个与端部涂敷区域105X相同大小(具有四个像素电极)的涂敷区域105。此时,在一个发色区域103中,两个端部涂敷区域105X以及与端部涂敷区域105X相同大小(具有四个像素电极)的多个涂敷区域105所包含的像素电极109的总数为该发色区域103具有的像素电极109的总数的50~95%,中央部涂敷区域105Y所包含的像素电极109的数量为该发色区域103具有的像素电极109的总数的10%以下。
另外,端部发色区域103X的端部涂敷区域105X具有五个像素电极,端部发色区域103X的中央部涂敷区域105Y具有三个涂敷区域。因此,端部发色区域103X所包含的涂敷区域105的平均面积大于中央部发色区域103Y所包含的涂敷区域105的平均面积。
这样,在本实施方式中,使涂敷区域的大小根据涂敷区域的位置而不同,由此能够使涂敷在基板上的各个涂敷区域的墨的干燥速度相等,并能够获得在像素间具有相同的膜厚的有机功能层的有机EL显示屏。
(实施方式2)
在实施方式1中说明了端部涂敷区域的长度比中央部涂敷区域的长度长的例子。在实施方式2中说明,在所有的发色区域中,各个涂敷区域的长度相同,端部涂敷区域的宽度大于中央部涂敷区域的宽度的例子。也就是说,在实施方式2中说明各个涂敷区域具有的像素电极的数量相同的例子。
图14是从本实施方式的有机EL显示屏中除去对向电极和有机功能层后的显示屏(TFT基板)。
如图14所示,本实施方式的TFT基板200包括:基板101、隔堤107以及像素电极109。
基板101具有沿X方向排列的、相互平行的发色区域103。
隔堤107将发色区域103划分为多个涂敷区域105。也就是说,隔堤107规定涂敷区域105。涂敷区域105在发色区域103内,沿发色区域103的长轴线状排列。
涂敷区域105的大小根据涂敷区域105的位置而不同。例如,端部涂敷区域105X的宽度和面积大于中央部涂敷区域105Y的宽度和面积。另外,端部发色区域103X的端部涂敷区域105X的宽度和面积大于端部发色区域103X的中央部涂敷区域105Y的宽度和面积。
另外,端部发色区域103X具有五个面积最大的涂敷区域103,但中央部发色区域103Y仅具有四个面积最大的涂敷区域103。另外,端部发色区域103X具有的中央部涂敷区域105Y也大于中央部发色区域103Y具有的中央部涂敷区域105Y。因此,端部发色区域103X所包含的涂敷区域105的平均面积大于中央部发色区域103Y所包含的涂敷区域105的平均面积。
在本实施方式中将涂敷区域105所包含的像素电极109的数量作为一个例子进行了说明,但涂敷区域105所包含的像素电极的数量也可以是2个以上。
这样,在本实施方式中,使涂敷区域的大小根据涂敷区域的位置而不同,由此能够使涂敷在基板上的各个涂敷区域的墨的干燥速度相等,并能够获得在像素间具有相同的膜厚的有机功能层的有机EL显示屏。
(实施方式3)
在实施方式3中说明,根据在有机EL显示屏上的位置,隔堤的锥角不同的本发明的有机EL显示屏。
图15是从实施方式3的有机EL显示屏300中除去对向电极和有机功能层后的显示屏(TFT基板)的平面图。图16是图15的四边形α包围的区域的放大图。
图17A是图16所示的有机EL显示屏300的AA线处的剖面图。也就是说,图17A表示用于规定中央部涂敷区域105Y的隔堤107的剖面图。图17B是图16所示的有机EL显示屏300的BB线处的剖面图。图17C是图16所示的有机EL显示屏300的CC线处的剖面图。也就是说,图17C表示用于规定端部涂敷区域105X的隔堤107的剖面图。
除了根据在有机EL显示屏上的位置,隔堤的锥角不同以外,实施方式3的有机EL显示屏300与实施方式1的有机EL显示屏100相同。对与实施方式1的有机EL显示屏100相同的构成部件标注相同附图标记,并省略其说明。
如图17A至图17C所示,在本实施方式中,具有正锥形的隔堤107。
另外,本实施方式的特征在于隔堤107的锥角θ是变化的。具体而言,规定中央部涂敷区域105Y的隔堤107的锥角θ较大(参照图17A),规定端部涂敷区域105X的隔堤107的锥角θ较小(参照图17C)。优选的是,隔堤107的锥角沿发色区域的长轴方向的中心部朝向发色区域的长轴方向的端部逐渐变小(参照图17A~图17C)。
为了调节隔堤107的锥角,在通过光刻法形成隔堤时适当地选择多阶掩膜(灰阶掩膜或半色调掩膜)的浓淡即可。例如,将正型的光致抗蚀剂作为隔堤的材料,通过越是发色区域的长轴方向的端部透光度越增加的掩膜,对光致抗蚀剂进行曝光,并进行图案化即可。
这样减小用于规定隔堤的端部涂敷区域的隔堤的锥角,增大用于规定中央部涂敷区域的隔堤的锥角,由此能够进一步增大端部涂敷区域的容积。因此,能够增加在端部涂敷区域涂敷的墨的量,并能够使涂敷到各个涂敷区域的墨的干燥速度相等。
本申请主张基于2008年8月29日提交的特愿第2008-222552号的优先权。该申请说明书中所记载的内容,全部被本申请说明书引用。
工业实用性
根据本发明的有机EL显示器的制造方法,能够形成在像素间具有相同的膜厚的有机功能层,制造无发光不均的有机EL显示屏。另外,根据本发明的有机EL显示屏的制造方法,即使在喷墨头具有一定数量的不滴出墨喷嘴的情况下,也能够向涂敷区域提供所需量的墨,提高成品率。

Claims (8)

1.有机电致发光显示屏,包括:
基板,其具有沿特定的方向而配置为相互的长轴平行的多个发色区域;
隔堤,其形成在所述基板上,且在各个所述发色区域内规定沿所述发色区域的长轴排成一列的多个涂敷区域;以及
像素电极,其排列在所述涂敷区域的内部,且具有与所述发色区域的长轴平行的长轴,
在所有的所述发色区域中,位于各个所述发色区域的长轴方向的端部的所述涂敷区域大于位于各个所述发色区域的长轴方向的中央部的所述涂敷区域。
2.如权利要求1所述的有机电致发光显示屏,
所述涂敷区域的大小为从所述发色区域的长轴方向的端部朝向所述发色区域的长轴方向的中央部广义单调减少。
3.如权利要求1所述的有机电致发光显示屏,
在所有的所述发色区域中,排列在位于所述发色区域的长轴方向的端部的所述涂敷区域的内部的像素电极的数量多于排列在位于所述发色区域的长轴方向的中央部的所述涂敷区域的内部的像素电极的数量。
4.如权利要求1所述的有机电致发光显示屏,
排列在各个所述涂敷区域的内部的所述像素电极的数量相同。
5.如权利要求1所述的有机电致发光显示屏,
位于所述特定的方向上的基板端部的所述发色区域所包含的所述涂敷区域的平均面积大于位于所述特定的方向上的基板中央部的所述发色区域所包含的所述涂敷区域的平均面积。
6.如权利要求5所述的有机电致发光显示屏,
位于所述特定的方向上的基板端部且位于所述发色区域的长轴方向的中央部的所述涂敷区域大于位于所述特定的方向上的基板中央部且位于所述发色区域的长轴方向的中央部的所述涂敷区域。
7.有机电致发光显示屏的制造方法,包括以下步骤:
准备薄膜晶体管基板,所述薄膜晶体管基板具有:基板,其具有沿特定的方向而配置为相互的长轴平行的多个发色区域;隔堤,其形成在所述基板上,且在各个所述发色区域内规定沿所述发色区域的长轴排成一列的多个涂敷区域;以及像素电极,其排列在所述涂敷区域的内部,且具有与所述发色区域的长轴平行的长轴;
在所述发色区域的长轴方向的侧部且所述基板的所述发色区域以外的区域上配置喷墨头,所述喷墨头具有以规定的间距线状地排列的两个以上的喷嘴而且供给含有有机功能材料的墨;以及
使所述喷墨头与所述发色区域的长轴垂直地相对移动,并从所述喷嘴将所述墨滴入所述涂敷区域来进行涂敷,
在所有的所述发色区域中,位于各个所述发色区域的长轴方向的端部的所述涂敷区域大于位于各个所述发色区域的长轴方向的中央部的所述涂敷区域。
8.有机电致发光显示屏的制造方法,包括以下步骤:
准备薄膜晶体管基板,所述薄膜晶体管基板具有:基板,其具有沿特定的方向而配置为相互的长轴平行的多个发色区域;隔堤,其形成在所述基板上,且在各个所述发色区域内规定沿所述发色区域的长轴排成一列的多个涂敷区域;以及像素电极,其排列在所述涂敷区域的内部,且具有与所述发色区域的长轴平行的长轴;
在所述发色区域的长轴方向的侧部且所述基板的所述发色区域以外的区域上配置喷墨头,所述喷墨头具有以规定的间距线状地排列的两个以上的喷嘴而且供给含有有机功能材料的墨;
从所述喷嘴将规定量的所述墨滴入所述基板的发色区域以外的区域,确定所述喷嘴中的不滴出墨的喷嘴的位置和数量;
将与不滴出所述墨的喷嘴相邻的喷嘴滴出的所述墨的量设定得多于所述规定量;以及
使所述喷墨头与所述发色区域的长轴垂直地相对移动,并从所述喷嘴将所述墨滴入所述涂敷区域来进行涂敷,
在所有的所述发色区域中,位于各个所述发色区域的长轴方向的端部的所述涂敷区域大于位于各个所述发色区域的长轴方向的中央部的所述涂敷区域。
CN200980100583.2A 2008-08-29 2009-08-17 有机电致发光显示屏及其制造方法 Expired - Fee Related CN102067727B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008222552 2008-08-29
JP222552/08 2008-08-29
PCT/JP2009/003909 WO2010023839A1 (ja) 2008-08-29 2009-08-17 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102067727A true CN102067727A (zh) 2011-05-18
CN102067727B CN102067727B (zh) 2013-02-27

Family

ID=41721024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200980100583.2A Expired - Fee Related CN102067727B (zh) 2008-08-29 2009-08-17 有机电致发光显示屏及其制造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8242516B2 (zh)
JP (1) JP4612741B2 (zh)
CN (1) CN102067727B (zh)
WO (1) WO2010023839A1 (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103918351A (zh) * 2011-11-09 2014-07-09 昭和电工株式会社 发光装置和发光装置的制造方法
CN105191501A (zh) * 2013-03-21 2015-12-23 索尼公司 显示设备、制造该显示设备的方法以及电子设备
CN107871694A (zh) * 2016-09-23 2018-04-03 东京毅力科创株式会社 涂敷装置、涂敷方法和有机el显示器
WO2018149023A1 (zh) * 2017-02-20 2018-08-23 深圳市华星光电技术有限公司 发光器件及显示装置

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102067727B (zh) * 2008-08-29 2013-02-27 松下电器产业株式会社 有机电致发光显示屏及其制造方法
JP2011090910A (ja) * 2009-10-22 2011-05-06 Sumitomo Chemical Co Ltd 有機el装置用基板およびそれを用いた有機el装置の製造方法
CN102474939B (zh) 2009-11-04 2015-03-04 松下电器产业株式会社 显示面板装置及其制造方法
KR20130010879A (ko) * 2010-07-15 2013-01-29 파나소닉 주식회사 유기 el 표시 패널, 유기 el 표시 장치의 제조 방법
JP6040441B2 (ja) * 2012-02-22 2016-12-07 株式会社Joled 機能膜の塗布装置とこれを用いる製造方法
JP6032659B2 (ja) * 2015-04-16 2016-11-30 株式会社Joled 有機発光パネルおよび有機表示装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007090134A (ja) * 2005-09-27 2007-04-12 Seiko Epson Corp 膜パターンの形成方法、デバイスの製造方法
US20090072724A1 (en) * 2007-09-14 2009-03-19 Seiko Epson Corporation Organic electroluminescent apparatus and elctronic appratus

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100627091B1 (ko) * 1997-08-21 2006-09-22 세이코 엡슨 가부시키가이샤 액티브 매트릭스형 표시장치
JP2002033418A (ja) * 2000-07-17 2002-01-31 Nec Kyushu Ltd 半導体装置およびその製造方法
KR100370030B1 (ko) * 2000-10-06 2003-01-30 엘지전자 주식회사 평판표시소자 및 그 제조 방법
JP4042692B2 (ja) 2000-11-27 2008-02-06 セイコーエプソン株式会社 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
JP2003266669A (ja) 2002-03-18 2003-09-24 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置とその描画方法、およびデバイス製造装置とデバイス製造方法並びにデバイス
JP2004031070A (ja) * 2002-06-25 2004-01-29 Toshiba Corp 有機el材料塗布装置とその塗布方法および有機el表示装置
GB2391686B (en) * 2002-07-31 2006-03-22 Dainippon Printing Co Ltd Electroluminescent display and process for producing the same
KR100528910B1 (ko) * 2003-01-22 2005-11-15 삼성에스디아이 주식회사 고분자 유기 전계 발광 소자
JP4255724B2 (ja) 2003-03-19 2009-04-15 オプトレックス株式会社 有機elディスプレイの製造方法および有機elディスプレイ
JP2004362818A (ja) 2003-06-02 2004-12-24 Seiko Epson Corp 薄膜パターンの製造方法、有機電界発光素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法、プラズマディスプレイパネルの製造方法、液晶表示パネルの製造方法及び電子機器
JP2005222928A (ja) * 2004-01-07 2005-08-18 Seiko Epson Corp 電気光学装置
JP4148933B2 (ja) * 2004-08-31 2008-09-10 シャープ株式会社 機能膜の製造方法、機能膜形成用塗液、機能素子、電子デバイス及び表示装置
JP4894150B2 (ja) * 2005-03-15 2012-03-14 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置の製造方法、液滴吐出装置
JP2006326541A (ja) * 2005-05-30 2006-12-07 Seiko Epson Corp 液滴吐出方法、ヘッドユニット、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器
JP2007103349A (ja) 2005-09-08 2007-04-19 Seiko Epson Corp 膜パターンの形成方法、有機el装置の製造方法、カラーフィルタ基板の製造方法、液晶表示装置の製造方法
JP2007115563A (ja) 2005-10-21 2007-05-10 Seiko Epson Corp 電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器
JP4251329B2 (ja) * 2005-12-20 2009-04-08 カシオ計算機株式会社 表示装置及びその製造方法
JP2007227127A (ja) 2006-02-23 2007-09-06 Seiko Epson Corp 発光装置およびその製造方法
JP4439589B2 (ja) * 2007-12-28 2010-03-24 パナソニック株式会社 有機elデバイスおよび有機elディスプレイパネル、ならびにそれらの製造方法
EP2270896B1 (en) * 2008-02-28 2014-12-24 Panasonic Corporation Organic el display panel
JP2009247934A (ja) * 2008-04-02 2009-10-29 Seiko Epson Corp 液状体吐出方法、有機elパネルの製造方法、カラーフィルタの製造方法、表示装置、および電子機器
KR100984574B1 (ko) * 2008-06-06 2010-09-30 파나소닉 주식회사 유기 el 디스플레이 패널 및 그 제조 방법
CN102067727B (zh) * 2008-08-29 2013-02-27 松下电器产业株式会社 有机电致发光显示屏及其制造方法
JP2010103500A (ja) * 2008-09-26 2010-05-06 Toppan Printing Co Ltd 有機電界発光素子及びその製造方法、画像表示装置、照明装置
JP2011009017A (ja) * 2009-06-24 2011-01-13 Panasonic Corp 有機elディスプレイパネル
US8729534B2 (en) * 2009-06-29 2014-05-20 Panasonic Corporation Organic EL display panel
JP2011146184A (ja) * 2010-01-13 2011-07-28 Seiko Epson Corp 有機el装置の製造方法、有機el装置、電子機器
JP5519532B2 (ja) * 2010-04-19 2014-06-11 パナソニック株式会社 有機el表示パネルおよびそれを備えた有機el表示装置並びに有機el表示パネルの製造方法
JP5320430B2 (ja) * 2010-06-02 2013-10-23 パナソニック株式会社 塗布方法、および有機elディスプレイの製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007090134A (ja) * 2005-09-27 2007-04-12 Seiko Epson Corp 膜パターンの形成方法、デバイスの製造方法
US20090072724A1 (en) * 2007-09-14 2009-03-19 Seiko Epson Corporation Organic electroluminescent apparatus and elctronic appratus

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103918351A (zh) * 2011-11-09 2014-07-09 昭和电工株式会社 发光装置和发光装置的制造方法
CN105191501A (zh) * 2013-03-21 2015-12-23 索尼公司 显示设备、制造该显示设备的方法以及电子设备
CN105191501B (zh) * 2013-03-21 2017-12-22 索尼公司 显示设备、制造该显示设备的方法以及电子设备
US10334692B2 (en) 2013-03-21 2019-06-25 Sony Corporation Display unit, method of manufacturing of display unit, and electronic apparatus with improved color productivity
US10368418B2 (en) 2013-03-21 2019-07-30 Sony Corporation Display unit, method of manufacturing the same, and electronic apparatus
US11284483B2 (en) 2013-03-21 2022-03-22 Sony Corporation Display unit, method of manufacturing the same, and electronic apparatus
US11968754B2 (en) 2013-03-21 2024-04-23 Sony Corporation Display unit, method of manufacturing the same, and electronic apparatus
CN107871694A (zh) * 2016-09-23 2018-04-03 东京毅力科创株式会社 涂敷装置、涂敷方法和有机el显示器
WO2018149023A1 (zh) * 2017-02-20 2018-08-23 深圳市华星光电技术有限公司 发光器件及显示装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN102067727B (zh) 2013-02-27
JP4612741B2 (ja) 2011-01-12
US20100219424A1 (en) 2010-09-02
WO2010023839A1 (ja) 2010-03-04
US8242516B2 (en) 2012-08-14
JPWO2010023839A1 (ja) 2012-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102067727B (zh) 有机电致发光显示屏及其制造方法
CN101689559B (zh) 有机电致发光显示屏及其制造方法
CN101766058B (zh) 有机电致发光显示器及其制造方法
CN101064335B (zh) 有机电致发光器件及其制造方法
CN102017800B (zh) 有机电致发光显示面板
CN104022139B (zh) 一种有机电致发光显示面板及显示装置
US20020145381A1 (en) Method for manufacture of a matrix arrangement of organic conductive materials and the matrix manufactured
CN102405686A (zh) 有机电致发光显示面板、具备该有机电致发光显示面板的有机电致发光显示装置以及有机电致发光显示面板的制造方法
CN101904220A (zh) 有机电致发光元件及其制造方法
CN110224007B (zh) 显示基板及其制备方法、显示面板
CN102217420A (zh) 有机电致发光装置
US11716889B2 (en) Organic light emitting diode display device with non-straight vertical banks
CN104094670A (zh) 有机el面板及其制造方法
KR20120126353A (ko) 유기발광표시장치 및 이의 제조방법
CN104752459B (zh) 有机发光二极管阵列
CN109817669B (zh) 一种有机发光二极管显示器
CN104752457B (zh) 有机发光二极管阵列的制备方法
JP2009238708A (ja) 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
US10269878B2 (en) Organic EL display panel and organic EL display device
US7619243B2 (en) Color organic electroluminescent display and method for fabricating the same
US8021202B2 (en) Method of manufacturing an organic EL display panel

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: JANPAN ORGANIC RATE DISPLAY CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO, LTD.

Effective date: 20150820

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20150820

Address after: Tokyo, Japan

Patentee after: JOLED Inc.

Address before: Osaka Japan

Patentee before: Matsushita Electric Industrial Co.,Ltd.

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20130227