JP5534591B2 - 塗布液供給装置、及び、塗布液供給方法 - Google Patents
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Description
11 塗布液タンク
12 バッファタンク
20 塗布液供給ユニット(第2塗布液供給ユニット)
41 容器部
42 液供給部
43 液排出部
44 排気部
45 パイプ部
45a 吐出口
48 ガス導入部
60 共通流路
F1a、F1b 気泡検知センサ
Claims (5)
- 塗布液を貯留する塗布液タンクと、塗布液を一時的に貯留するバッファタンクとを備え、前記塗布液タンクを加圧することにより、塗布液をバッファタンクに送液させるとともに、バッファタンクから塗布液を送液させて、
塗布液タンクの塗布液を供給する塗布液供給装置であって、
前記塗布液タンク内の塗布液の残量を検出する残量検知手段を備え、
この残量検知手段により、前記塗布液タンク内の塗布液の残量が僅かであることを検知すると、前記バッファタンクから塗布液を送液するのを停止させる送液停止動作を行った後、バッファタンクからの送液を停止させた状態で、前記塗布液タンク内の残留塗布液をバッファタンクに送液させる残液送液動作が行われ、その後、塗布液タンクの交換を行うタンク交換動作が行われることを特徴とする塗布液供給装置。 - 前記塗布液タンクと前記バッファタンクとを有する塗布液供給ユニットが複数設けられ、これらの塗布液供給ユニットのバッファタンクは、共通の供給経路に択一的に連通して連結されており、前記供給経路に連通して連結された第1の塗布液供給ユニットのバッファタンクにおける送液停止動作が行われた後、第1の塗布液供給ユニットから第2の塗布液供給ユニットに前記供給経路への繋ぎ換えが行われ、前記第2の塗布液供給ユニットから塗布液が送液される一方で、
前記第1の塗布液供給ユニットのバッファタンクからの送液を停止させた状態で、
前記第1の塗布液供給ユニットの塗布液タンク内の残留塗布液を前記第1の塗布液供給ユニットのバッファタンクに送液させる前記残液送液動作が行われ、
その後、前記第1の塗布液供給ユニットにおいて前記タンク交換動作が行われることを特徴とする請求項1に記載の塗布液供給装置。 - 前記送液停止動作が行われた後、残液送液動作が行われる前に、前記バッファタンクの塗布液を減少させる塗布液減量動作が行われ、その減少量は、前記残液送液動作により塗布液タンク内の残液が送液される量であることを特徴とする請求項1又は2に記載の塗布液供給装置。
- 前記バッファタンクは、
供給された塗布液を収容する容器部と、
この容器部の底面部に設けられるとともに、供給された塗布液を排出して送液する液排出部と、
塗布液タンクから送液された塗布液を前記容器部に供給する液供給部と、
を備え、
前記液供給部は、容器部の底面部から容器部の内部まで延伸するパイプ部を有し、このパイプ部の先端に塗布液を吐出する吐出口を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の塗布液供給装置。 - 塗布液を貯留する塗布液タンクと、塗布液を一時的に貯留するバッファタンクとを備え、塗布液タンクの塗布液をバッファタンクを経て、基板上に塗布液を塗布する塗布装置に塗布液を供給する塗布液供給方法であって、
前記塗布液タンク内の塗布液の残量を検出する残量検知手段を備え、
この残量検知手段により、前記塗布液タンク内の塗布液の残量が僅かであることを検知すると、前記バッファタンクから塗布液を送液するのを停止させる送液停止工程と、バッファタンクからの送液を停止させた状態で、塗布液タンク内の残留塗布液をバッファタンクに送液する残液送液工程と、塗布液タンクの交換を行うタンク交換工程とを有することを特徴とする塗布液供給方法。
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