JPH0433440Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は複数のタンクに接続した切換弁を交互
に開閉することで、タンク内の液体を連続的にガ
ス圧により圧送するようにした液体の連続供給装
置に関する。

（従来の技術） タンク内の液体を連続的に供給する装置として
第１図に示すような構造の装置が従来から用いら
れている。

この装置は、２個のタンク１，２を用意し、そ
れぞれのタンク１，２に圧気源Ａからの不活性ガ
スを導入するためのパイプ３，４を接続するとと
もに、それぞれのタンク１，２にタンク内に充填
した液体５を導出するためのパイプ６，７を接続
し、各パイプ３，４，６，７には切換弁８，９，
１０，１１を設け、更に各タンク１，２には液面
検知用のフロートスイツチ１２，１３を設けた構
造となつている。

そして、タンク１，２内の液体５を連続的に供
給するには、例えば切換弁８，１０を開、切換弁
９，１１を閉とした状態で圧気源からチツ素等の
不活性ガスをタンク１内に導入し、タンク内を高
圧とし、この圧力でタンク１内の液体５をパイプ
６を介して使用側へ供給し、タンク内の液体５の
液面が所定位置まで加工したならばこれをフロー
トスイツチ１２によつて検知し、この検知信号に
基づいて切換弁８，１０を閉、切換弁９，１１を
開とし、タンク２内の液体５をタンク１内の液体
５に引続いて使用側へ供給するようにしている。

（考案が解決しようとする問題点） 上述した従来の装置によりタンク内の液体を連
続的に供給する場合、フロートスイツチの構造上
の制限からタンク内の液体を完全に消費すること
ができず、ある程度タンク底部に液体が残つた状
態でタンクの交換を行わなければならない。

また、液面がタンク底部近くまで下つた時点で
液体導出用のパイプ内にガスが入り易く、この状
態のまま、新たなタンクを接続して液体の供給を
行うと液体にガスが混入した状態で供給すること
になり、例えばホトレジストを現像するために該
装置を用いて現像液を供給した場合には、現像不
良を生じることがある。

（問題点を解決するための手段） 上記問題点を解決すべく本考案は、複数のタン
クに、それぞれ切換弁を備えた液体導出用のパイ
プを接続し、該切換弁を交互に切換えることで連
続的にタンク内の液体を供給するようにした装置
において、前記液体導出用のパイプの途中に液面
検知用のスイツチを備えたサブタンクを設け、液
体を供給しているタンクが空になつたことを該ス
イツチにて検知し、他のタンクからの供給に切換
えるようにした。

（実施例） 以下に本考案の実施例を第２図に基づいて説明
する。

第２図は本考案に係る液体の連続供給装置の概
略図であり、この実施例にあつては２個のタンク
２１，２２を用いた例を示している。

即ちタンク２１，２２内には現像液等の液体２
５が充填され、各タンク２１，２２はパイプ２
３，２４を介して圧気源Ａにつながり、これらパ
イプ２３，２４にはタンク２１，２２内への圧気
源Ａからのガス、例えばチツ素ガスの流入をオ
ン・オフする切換弁２８，２９が設けられてい
る。

またタンク２１，２２には液体２５を使用側へ
圧送するためパイプ２６，２７が接続されてい
る。このパイプ２６，２７は一端がタンク２１，
２２底部近傍まで伸び、中間にはサブタンク３
２，３３と液体２５の供給をオン・オフする切換
弁３０，３１が設けられ、サブタンク３２，３３
は切換弁３０，３１よりも上流側に位置してい
る。

サブタンク３２，３３は内部に液体２５を貯溜
することが可能となつており、この液体２５の液
面を検知するフロートスイツチ３４，３５が各サ
ブタンクに取り付けられ、また各サブタンク３
２，３３にはサブタンク内のガスを外部へ放出す
るためのパイプ３６，３７が接続され、各パイプ
３６，３７にはガスの放出をオン・オフするため
の切換弁３８，３９が設けられている。

以上の如き構成からなる装置の作用を以下に述
べる。

先ず、タンク２１内の液体２５を使用側へ圧送
するには、あらかじめサブタンク３２と切換弁３
０間のパイプ中に液体２５を満しておいてから、
切換弁２８，３８を開とするとともに、切換弁２
９，３０，３１，４０を閉とする。すると圧気源
Ａからのガスがタンク２１内に導入され、タンク
２１内が高圧となつて、タンク２１内の液体２５
はパイプ２６を介してサブタンク３２に入る。サ
ブタンク３２内の液面が上限の所定位置まで上昇
したならば、フロートスイツチ３４が作動し、切
換弁３８を閉、切換弁３０を開とし、タンク２１
内の液体２５はサブタンク３２を経由してパイプ
２６から使用側へ圧送される。ここでサブタンク
３２に接続されるパイプ３６の切換弁３８は閉と
なつているため、サブタンク３２内の液面は一定
に保たれる。

一方タンク２１内の液体を圧送中に、液体２５
を充填したタンク２２を次の供給用として準備し
ておく。すなわち、切換弁２９，３９を開とし、
切換弁３１，４１を閉とすると、圧気源Ａからの
ガスがタンク２２内に導入され、タンク２２内が
高圧となり、タンク２２内の液体２５はパイプ２
７を介してサブタンク３３に入る。このときにも
あらかじめサブタンク３３と切換弁３１間のパイ
プ中には液体を満たしてガスの混入を防止してお
く。サブタンク３３の液面が上限の所定位置まで
上昇したならばフロートスイツチ３５が作動して
切換弁３９を閉とし、そのままの状態でタンク２
２は待機する。

タンク２１内の液体２５が全て圧送されると、
サブタンク３２内への液体２５の供給がなくなる
ので、サブタンク３２内の液面が下限の所定位置
まで下降したならばフロートスイツチ３４が作動
して切換弁２８，３０を閉とし、切換弁３１，４
０を開とする。するとあらかじめ高圧となつてい
たタンク２２内の液体２５がパイプ２７、サブタ
ンク３３を介して使用側へ液体はとぎれることな
く連続的に、また同圧力で供給される。

そしてこの間にタンク２１を新たなタンクと交
換し、前記したタンク２２の準備を同様にして新
たなタンク２１内を加圧しサブタンク３２内のエ
アー抜きを行つて次のタンク２２からタンク２１
への切り換えまで新たなタンク２１は加圧された
状態で待機させておく。

このようにしてタンク２２内の液体２５を全て
圧送したならば、前記同様サブタンク３３のフロ
ートスイツチ３５が下限の所定位置まで達すると
検知信号を発して切換弁２９，３１を閉、切換弁
３０，４１を開とし連続的に液体を使用側へ供給
する。

尚、実施例にあつては２個のタンク２１，２２
を用いる例を説明したが、その数は任意である。

また、各種切換弁及びフロートスイツチの検知
のための操作プログラミングは市販のシーケンサ
ーにより容易に実施可能である。

（考案の効果） 以上に説明した如く本考案によれば、複数のタ
ンクを用意しこのタンク内の液体を切換弁を用い
て交互に圧送するようにするにあたり、各タンク
からの液体導出用のパイプの途中に液面検知用の
スイツチを備えたサブタンクを設け、該スイツチ
によりタンク内の液体がなくなつたことを検知し
て他のタンクによる供給に切換えるようにしたた
め、タンク内の液体を最後まで圧送しても、圧送
用のガスが液体中に混入することがなく、また装
置自体も単に液体導出用のパイプにサブタンクを
付設するだけで足りるため既存の設備に大幅な変
更を加える必要がない等多くの効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の液体の連続供給装置の概略構成
図、第２図は本考案に係る液体の連続供給装置の
概略構成図である。 尚、図面中、２１，２２はタンク、２３，２４
はガス導入用のパイプ、２５は液体、２６，２７
は液体導出用のパイプ、２８，２９，３０，３
１，３８，３９は切換弁、３２，３３はサブタン
ク、３４，３５は液面検知用のフロートスイツチ
である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 空になると液体充填タンクと交換される複数の
   タンク２１，２２…にそれぞれ切換弁２８，２
   ９，３０，３１を備えたガス導入用のパイプ２
   ３，２４及び液体導出用のパイプ２６，２７を着
   脱自在に接続し、タンク内に導入したガスの圧力
   でタンク内の液体を液体導出用のパイプ２６，２
   ７を介して圧送するようにした供給装置におい
   て、前記液体導出用のパイプ２６，２７には切換
   弁３０，３１よりも上流側に夫々サブタンク３
   ２，３３を設け、これらサブタンク３２，３３に
   は夫々ガス排出用のパイプ３６，３７を接続する
   とともに液面検知用のスイツチ３４，３５を設け
   たことを特徴とする液体の連続供給装置。