KR100494971B1

KR100494971B1 - 유체 이송 시스템, 및 유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법

Info

Publication number: KR100494971B1
Application number: KR10-1999-7005602A
Authority: KR
Inventors: 다니엘 스켈
Original assignee: 체만드 코포레이션
Priority date: 1996-12-20
Filing date: 1997-12-19
Publication date: 2005-06-14
Also published as: AU5624398A; IL130519A; EP1007855A1; CN1130502C; KR20000062259A; DE69719818D1; EP1007855A4; IL130519A0; EP1007855B1; EA199900582A1; US6019116A; JP2001508517A; CA2275252A1; DE69719818T2; US5832948A; CN1244903A; ATE234430T1; ID23388A; WO1998028545A1

Abstract

본 발명의 유체 이송 시스템(10)은 유체 공급 탱크(14)와, 적어도 두 개의 가압 유체 지지 용기(34,42)를 포함한다. 상기 유체 지지 용기(34,42)는 상기 공급 탱크(14) 아래 위치되고, 유체 공급 라인(20)은 상기 공급 탱크(14)를 각각의 상기 용기(34,42)에 연결시킨다. 상기 유체 공급 라인(20)은 탱크(14)로부터 유체를 각각의 상기 용기(34,42)로 이동시키기 위해 탱크(14)로부터 각각의 상기 용기(34,42)에 사이펀 효과 기능을 갖고 작동한다. 각각의 상기 용기(34,42)들은 번갈아가면서 유체가 채워지고, 가압되어 유체를 유출시킴으로써, 하나의 용기에 유체가 채워지는 동안에 다른 용기에는 유체가 유출되어, 일정한 제어가능한 유체 유량을 달성할수 있다. 양호한 실시예에서, 유체 순도를 높이기 위해 내부 라인 필터와, 완전한 혼합을 이루기 위해 시스템(10)내에서 유체를 일정하게 이동시키거나 리사이클을 위해 유체 리사이클링 라인을 포함한다.

Description

유체 이송 시스템, 및 유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법 {LIQUID TRANSFER SYSTEM, AND METHOD FOR TRANSFERRING LIQUID FROM A LIQUID SUPPLY TANK TO A LIQUID OUTPUT LINE}

본 발명은 저장 탱크로부터 유출 라인으로 유체를 이송하는 시스템에 관한 것으로, 보다 상세히 기술하면 고순도 및 정확한 유량 제어가 필요한 반도체 산업에서 이용되는 유체 이송 시스템에 관한 것이다.

반도체 제조의 다수의 공정에서는 산(acids) 및 용매(solvents)와 같은 고 순도 유체를 필요로 한다. 제조 공정이 정확히 제어되어야 하기 때문에, 이와 유사하게 유량에서 최소 편차를 갖는 정확한 유량과 같이, 정확한 제어가 요구되고 있다. 그러므로, 유체를 이송하기 위해 펌프를 이용하는 유체 이송 시스템은 펌프를 이용하지 않고 유체를 이동하는 시스템보다 바람직하지 않다.

펌프를 이용하지 않는 종래의 유체 이송 시스템은 제어가능한 방식으로 용기(vessel)로부터 유체를 밀어내도록 가압 유체 지지 용기내에서 대체로 제어 가스 압력을 이용한다. 유체를 선택적으로 이송하기 위해 두 개의 가압 유체 지지 용기를 이용하는 시스템은 종래 기술에 공지되어 있으며, 제 1 용기가 채워져 있는 동안 제 2 용기가 유체를 분배하도록 가압된다. 교대로 두 가압형 용기에 유체를 채우고 상기 용기로부터 분배함으로써, 제어가능한 일정한 유량이 얻어진다. 그러나, 충전 사이클 진행중 용기로 유체의 유입이 문제화 될 수 있다. 종래기술은 충전 사이클 동안 공급 탱크로부터 각각의 용기로 유체를 이동 시키기 위해 일정한 진공, 펌핑작용 또는 유효 압력을 이용한다. 일정한 진공 또는 압력은 용매로부터 휘발성 유기 성분을 제거하거나, 미소 거품을 유체에 부가함으로써 다양한 유체의 미묘한 화학성분을 변형시킬 수 있다. 상기 거품은 유체에서 특정한 불순물로서 탐지된다. 이러한 고순도의 화학성분을 펌핑하면, 미립자 및 미량의 금속 이온으로 오염된다.

본 발명은 공급 탱크 아래 가압형 용기를 위치시켜 공급탱크로부터 용기로 유체를 이동시키는데 사이펀 효과(siphon effect)를 활용하여, 유체 이송 시스템을 개량하는 것이다. 사이펀 효과가 발생되면, 공급 탱크로부터 용기로 유체를 이송하기 위한 압력 또는 연속적인 진공효과가 더 이상 필요하지 않으므로, 시스템에서 유출하는 유체의 품질이 개선된다.

도 1은 본 발명의 기본적인 유체 이송 시스템의 개략적인 다이아그램.

도 2는 본 발명에서 사용된 3방 밸브의 단면도.

도 3은 본 발명에서 사용된 3방 밸브의 단면도.

도 4는 본 발명에서 사용된 3방 밸브의 단면도.

도 5는 본 발명의 확장형 유체 이송 시스템의 개략적인 다이아그램.

본 발명의 장점은, 공급 탱크로부터 유체 지지 용기로 유체를 이송하는데 압력 또는 진공 어느것도 필요하지 않게 되는 것이다. 본 발명의 또 다른 장점은 공급 탱크로부터 유체 지지 용기로 유체를 이송하기 위해 사이펀 효과를 이용하는 것이다.

본 발명의 또 다른 장점은 고순도 유체가 반도체 제조 공정 중에 제공될 수 있는 것이다.

본 발명의 또 다른 장점은 제공된 유체에서 미소 거품의 발생을 감소시킨다.

본 발명의 또 다른 장점은 제어된 유량으로 고순도 유체를 이송하는 자동 유체 이송 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명의 유체 이송 시스템은 유체 공급 탱크와, 적어도 2개의 가압 유체 지지 용기를 포함한다. 유체 지지 용기들은 공급 탱크 아래 위치되고, 유체 공급 라인은 공급 탱크를 각각의 용기에 연결된다. 유체 공급 라인은 탱크로부터 각각의 용기로 유체를 이송하기 위해 탱크로부터 각각의 용기에 사이펀 효과로서 작동된다. 각각의 용기는 유체가 채워지고 가압된 후, 유체를 유출시킨다. 결국, 하나의 용기에 유체가 채워지는 동안에 다른 용기는 유체를 유출시키고, 그럼으로써 일정하고 제어가능한 유체의 유동이 이루어진다. 양호한 실시예는 유체 순도를 높이기 위해 내부 라인 필터와, 완전한 혼합을 이루기 위해 시스템내에서 유체를 일정하게 이동시키거나 재사이클을 위해 유체 리사이클링 라인을 포함한다.

본 발명의 다른 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 하기에 기술되는 실시예에 의해서 보다 상세히 드러날 것이다.

도 1은 본 발명의 양호한 유체 이송 시스템(10)을 상세히 도시한 도면으로서, 가스 파이프들이 단일 라인으로 도시하고 있고, 유체 파이프들은 이중라인으로 도시하고 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 유체 공급 탱크(14)는 두 개의 가압 유체 지지 용기(34,42)에 대해 수직으로 상승된 위치에 배치된다. 양호한 실시예에서, 상기 탱크(14)는 화학산업에서 통상적으로 사용되는 55개론 드럼을 수용할 수 있는 것을 사용하지만, 다른 크기의 토우트(totes) 및 캐니스터(canister)와 같은 다른 탱크가 본 발명에 사용될 수도 있다. 덮개(16)는 탱크(14)위에 배치된다. 몇몇 시스템 설치부에서, 덮개(16)가 대기압에 개방될 수도 있지만, 다른 시스템 설치부에서는 덮개(16)가 가압형 시일을 구비한 탱크에 연결될 수도 있으므로, 탱크(14)내의 유체의 화학적인 안정성이 최대화되어, 탱크(14)가 하기에 기술되는 바와 같이 가압된다. 유체 공급 라인(20)이 덮개(16)를 통해 탱크(14)에 연결되어, 유체 공급 라인(20)의 내부 탱크 라인 부분(22)은 탱크(14)의 하부에 배치된 라인 단부(24)가 하향으로 돌출된다. 상기 유체 공급 라인(20)이 탱크(14) 아래 있는 두 용기에 유체를 공급하므로, 단부(24)를 포함하는 내부 탱크 라인(22)은 사이펀라인(siphon line; 26)을 구비하고, 사이펀 효과는 탱크(14)로부터 용기(34,42)에 유체를 전달하는데 이용된다.

사이펀 라인(26)이 55 갤론 드럼을 수직 방향으로 간단히 배치하고 설치할 수 있도록 하고, 상기 드럼으로부터 유체를 효과적으로 제거한다는 점에서 중요하다. 많은 화학 공정이 상당한 화학적 순수함을 필요로 하기 때문에, 중요한 진공 수단을 이용하지 않고 탱크(14)로부터 유체를 제거할수 있는 장점을 갖게 된다. 상세히 기술하면, 유체를 이동시키는데 진공 수단을 이용하면 화학적 상태가 변화될 수 있으며, 그결과 화학적 성능이 감소된다. 그래서, 공급 라인(20)을 통해 사이펀 라인(26)을 이용하면, 중력을 활용할 수 있으며, 유체 이송 시스템(10)에서 화학적 성능을 개선시킨다. 상기 유체 이송 시스템(10)의 또다른 특징은 하기에 기술될 것이다.

유체 공급 라인(20)은 유체 공급 탱크(14)로부터 3방 밸브(3-way valve; 30, A로도 표시됨)에 연결되어 있으며, 상기 3방 밸브는 도 2를 참조하여 하기에 보다 상세히 기술될 것이다. 상기 라인(20)에서 라인 센서(28)는 라인(20)내에서의 유체의 존재를 확인하는데 사용된다. 상기 밸브(30)는 유체를 라인(38)을 통해 제 1 가압 유체 지지 용기(34)에 공급하거나, 라인(46)을 통해 제 2 가압 유체 지지 용기(42)에 공급하도록 작동된다. 상기 용기(34)내의 유체는 라인(54)을 통해 3방 밸브(50, B로도 표시되어 있으며, 도 3에서 보다 상세히 도시되어 있음)에 전달되며, 상기 용기(42)내의 유체는 라인(58)을 통해 3방 밸브(50)에 전달된다. 밸브(50)로부터 나온 유체는 유체 유동 라인(62)를 거쳐 2-방향 밸브(66, F로도 표시되어 있으며, 도 4에서 보다 상세히 도시되어 있음)로 전달된다. 유체가 정상적으로 밸브(66)를 통해 유체 공급 라인(70)으로 유동하여 필터(74)로 유동하지만, 밸브(66)가 작동되는 경우, 유체가 배수 라인(80)으로 유동한다. 양호한 실시예에서, 두 필터(74)들은 유체로부터 예기치 않은 불순물을 제거하기 위해 라인(70)에 평행하게 위치된다. 밸브(88)에 도달가능한 유체 복귀 라인(84)은 필터들로부터 공급 탱크(14)로 유체를 재순환시키는데 활용될 수 있다. 정상적으로, 필터(74)를 통과하는 유체는 평행 라인(92)을 통해 유체 유출 유동 제어 밸브(96) 및 센서(100)를 거쳐 출력 라인(104)으로 유동한다. 임의의 시스템 설치물에서, 유체 유입 복귀 라인(106)은 유체를 탱크(14)에 복귀하는데 이용될 수 있으며, 상기 탱크(14)는 라인(104)을 통해 이용자 프로세스로 출력을 보낸다.

용기(34,42)로부터 유체의 유동은 비록 공기 또는 다른 가스들이 다양하게 적용될 수 있지만, 질소와 같은 상대성 불활성 가스를 이용한 가스의 압력에 의해서 제어되는 것이 바람직하다. 도 1에 도시된 바와 같이, 공급원(120)으로부터 질소는 전송라인(124)을 통해 3방 밸브(128, E로도 표시됨)에 공급된다. 밸브(128)로부터의 제 1 게이팅(gating)에서, 가압 가스는 가스 조정기(136)에 의해 제어되는 라인(132)을 통해 3방 밸브(140, D로도 표시됨)에 공급된다. 이후, 가압 가스는 밸브(140)로부터 유출되어 가스 라인(144)을 통해 용기(34)로 또는 가스 라인(148)을 통해 용기(42)로 유동한다.

밸브(128)로 다시 돌아가면, 밸브(128)로부터 나온 가압 가스는 왼쪽으로 가스 조정기(150) 및 라인(152)을 통해 가스 제어 밸브(156, G로도 표시됨)로 유동한다. 밸브(156)가 작동하면, 가압 가스는 라인(160)을 통과하여 조정기(164)를 통해 공급 탱크(14)로 유동한다. 상기 조정기(164)는 가스를 탱크(14)속으로 유동시켜 탱크(14)로부터 제거된 유체를 대신하여 상당량의 가스를 제공하거나, 사이펀 효과를 향상시킨다.

유체로 상기 탱크(34,42)를 채우기 위해, 유입되는 유체로 대체될 용기(34,42)내에 존재하는 임의의 가스를 유출시켜야 한다. 용기(34,42)로부터 가스의 유출을 완성하기 위해, 3방 밸브(180)는 가스 라인(184,188)에 의해서 라인(144,148)에 각기 결합된다. 3방 밸브(180)는 가스 배출구(200)에 연결된 벤튜리 밸브(196)의 흡입 오리피스(192)에 양호하게도 연결되어 있다. 상기 벤튜리 밸브(196)를 작동시키기 위해 가압 가스는 가스 조정기(208)를 통해 연결된 가압형 가스 라인(152)에 전달되고, 상기 가스 라인(152)은 밸브(128)에 연결되어 있다. 그러므로, 밸브(180)가 개방될 때, 탱크에 유체를 채우는 동안에 용기(34,42)로부터 가스가 유출된다. 또한, 만약 벤튜리 밸브(196)가 작동하면, 흡입력은 밸브(180)를 통해 적용되어 용기(34,42)로부터 가스의 유출을 용이하게 한다. 배수 라인 가스 배출 라인(220)은 배수 라인(80) 및 배출구(200)사이에 연결된다.

그러므로, 유체가 공급 탱크(14)에 존재하고, 밸브(30)가 용기(34,42) 중 어느 하나에 개방될 때, 사이펀 효과[유체가 라인(20)에 존재한다고 추정됨]는 밸브(128,156)를 통해 탱크(14)속으로 가스를 유동시키는 대신에 공급탱크(14)로부터 유체를 용기(34,42)로 유동시킨다.상기 탱크(14)로부터 사이펀 작용을 시작하게 하는 제 1 수단은 사이펀 라인(26)으로부터 진공으로 구성된다. 진공을 형성하기 위해, 가스 밸브(128)는 개방되고 밸브(156)는 폐쇄되어 가압 가스가 라인(204)을 통해 벤튜리 밸브(196)로 유동하게 된다. 이것은 벤튜리 밸브(196)의 흡입 오리피스(192)로부터 밸브(180)까지의 진공을 발생시키는 원인이 된다. 상기 밸브(180)는 라인(184 또는 188)을 통해 용기(34,42)중 하나에 개방되고, 밸브(30)가 용기(34 또는 42)로부터 각각 적절한 라인(38 또는 46)에 개방될 때, 진공은 라인(20)으로부터 탱크(14)로 역으로 형성되기 시작한다. 사이펀 유동이 시작되면, 시스템에서 필요할 때, 사이펀 유동을 유발하는 중력이 탱크(14)로부터 유체 유동을 연속적으로 일으키는 경우 진공 효과는 불연속적이다. 사이펀 효과를 발생하는 진공 압력을 제거 하자 마자 유체내에서 VOCs는 보호가능하고, 유체의 화학적 성능에는 영향을 미치지 않는다는 것이 중요하다. 또한, 과도한 진공의 노출은 유체에 거품을 첨가시키고, 그결과 초 고순도의 적용(ultra high purity applications)에서 화학적 성능을 제공하기 어렵다.

또한, 파이프(20)를 통해 사이펀 효과가 나타내기 시작하는 제 2 수단으로서, 밸브(128,156)가 적절히 작동하게 되면 가압 가스는 공급 탱크(14)속으로 유입되어 탱크(14)로부터의 유체를 라인(20)을 통해 용기(34,42)속으로 유동시키는데 도움을 주며, 그러므로서 용기(34,42)를 유체로 채운다. 이 같은 사이펀 효과에 대한 압력 보조는 사이펀 효과를 시작하고 점성 유체가 시스템(10)에서 처리될 때 이용가능하다.

교대로 충전하고 텅비게하는 공정은 용기(34,42)로부터의 유체를 밸브(50)를 통해 라인(70)으로 전송시킨다. 용기(34)로부터 유체를 전송하기 위해, 밸브(128,140)가 적절히 개방되어 가압 가스를 라인(144)을 통해 용기(34)로 유동시키고, 밸브(50)는 개방되어 용기(34)로부터 유체를 유동하게 한다. 용기(34)가 거의 비어질 때, 밸브(140)는 작동되어 가압 가스를 라인(148)을 통해 용기(42)로 유동시킨다. 동시에, 밸브(50)는 작동되어 유체를 용기(42)로부터 라인(70)으로 유동시킨다. 용기(42)로부터의 유체가 라인(70)을 통해 비워지는 동안에, 공급탱크(14)로부터의 유체는 상술된 바와 같이 용기(34)에 채워진다. 용기(42)가 거의 비어질 때, 밸브(140)는 작동되어 가압 가스를 라인(144)을 통해 유동시키며 용기(34)로부터 유체를 유동시키고, 밸브(50)는 적절히 작동되어 용기(34)로부터 유체를 유동시킨다. 용기(34)로부터 유체가 유동하는 동안, 용기(42)는 유체로 채워진다. 그러므로, 유체는 용기(34)와 용기(42)에 번갈아 채워지고 비워지게 함으로써 라인(70)을 통해 항상 전달된다. 상기 시스템의 다양한 밸브들을 적절히 제어함으로써, 라인을 통과하는 유체 유량을 일정하게 유지할 수 있다. 또한, 유체 이송 시스템(10)는 왕복이동 펌프 또는 맥동형 가압 유체(pulsating pressurized liquid)를 유동시키는 다른 장치를 사용하지 않아도 된다. 오히려, 상기 유체 이송 시스템(10)은 제어 밸브(96)를 통해 낮은 유동으로 용이하게 제어가능한 일정 압력의 유동 유체를 제공한다. 가스 제어 및 가스의 안전한 유출을 위해 체크 밸브(230,232)는 가스 라인(234)을 통해 탱크(14)용 가스 이송 라인(160)에 결합된다.

유체 이송 시스템(10)의 작동을 보다 완벽히 이해하기 위해, 밸브 표가 하기의 표 1에 존재하고, 표 1에서 “ O ”는 개방을 의미하고, “ C ”는 폐쇄를 의미하고, “ A ”는 밸브(30)를 언급하는 것이고, “ B ”는 밸브(50)를 언급하는 것이고,“ C ”는 밸브(180)를 언급하는 것이고,“ D ”는 밸브(140)를 언급하는 것이고,“ E ”는 밸브(128)를 언급하는 것이고,“ F ”는 밸브(66)를 언급하는 것이고,“ G ”는 밸브(150)를 언급하는 것이다. 표 1에서 드러난 바와 같이 밸브 셋팅은 도 1을 참조함으로써 본 기술분야의 통상의 전문가에 의해서 용이하게 이해할 수 있으므로 더 이상의 설명은 생략한다.

바람직하게는 밸브(30)로서 이용되는 3방 밸브의 단면이 도 2에 도시되어 있다. 이러한 밸브는 밸브 모델 넘버.1003WDTSANPC로서 매사츄세츠 툭스버리(Tewksbury) 소재의 마크밸브 코포레이션(Marcvalve Corporation)에 의해 제조되어 유통되고 있는 것이다. 밸브의 중요한 특징은 공기식 액츄에이터(pneumatic actuator)를 갖춘 PTFE 밸브 몸체(260) 및 PTFE 테프론 격판(264)이 있는 것이다. 밸브(30)는 상부 유입 오리피스(268)와, 하부 유출 오리피스(272,276)으로 지향된다. 밸브(30)의 중요한 특징은 유출 오리피스(272,276)의 하부 배치로 인하여 격판 챔버내에 유체가 모아지지 않는다는 것이다.

도 3은 양호한 3방 밸브(50)의 단면도이다. 이러한 밸브는 공기식 액츄에이터를 갖춘 PTFE 밸브 몸체(300) 및 PTFE 테프론 격판(304)을 구비한 밸브 모델 넘버.1003WMSBANPC로서 마크밸브 코포레이션에 의해 제조되어 유통되고 있는 것이다. 밸브가 적절히 설치될 때, 유입 오리피스(308)가 밸브 몸체(300) 중간에 배치되어 있으며, 유출 오리피스(310)는 밸브 몸체(300) 하부에 배치되어 있다. 상기와 같은 배치에서, 밸브(50)가 자체 배수되므로 최소한의 유체가 밸브 몸체(30)내에 잔류하게 된다.

도 4에는 양호한 2-방향 밸브(66)가 단면도로 도시되어 있다. 이러한 밸브(66)는 PTFE 밸브 몸체(320), 공기식 액츄에이터 및 PTFE 테프론 격판(324)을 구비한 밸브 모델 넘버.1002WTLFANPC으로서 마크밸브 코포레이션에 의해 제조되어 유통되고 있는 것이다. 적합한 배치를 보면, 밸브 유입구(326)가 상방으로 향하고, 정상 밸브 유출구(328)가 중간에 배치되고, 밸브 배수 유출구(332)는 격판(324)의 하부에 하향으로 배치되어 있다. 밸브(66)가 작동될때, 유체가 유출구(332)를 통해 배수되므로, 격판(324)의 챔버내에 유체가 잔류하지 않는다.

도 5에는 전체적으로 도 1에 대하여 상술한 유체 이송 시스템을 포함하는 확장형 유체 이송 시스템(400)이 도시되어 있으며, 구조적으로 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면부호를 표시하였다. 상기 시스템(400)은 주요구성요소가 전체적으로 단일 캐비넷 구조물(402)내에 포함되고 및/또는 결합되어 있으며, 상기 구조물은 외부 부품의 상호 연결부 뿐만아니라 유체 및 가스의 유입구 및 유출구를 위한 다수의 외부 연결부를 포함한다. 탱크(14)는 덮개(16)를 구비하며 55 개론 드럼(또는 캐니스터 또는 토우토등)으로 구성될 수도 있고, 상기 덮개는 순도 및 화학적 성질을 갖는 상태에서 대기압에 개방될 수 있거나, 시스템에서 필요로 하는 형태의 밀봉형 덮개일 수 있다. 이와 달리, 양호한 실시예에서, 탱크(14)가 캐비넷 구조물(402)내에 배열되고, 덮개가 가압형 시일(pressurizable seal)을 갖춘 탱크(14)에 결합하지 않는 동안에, 상기 캐비넷 구조물은 밀봉가능하고 가압가능하다. 이러한 구성에서, 캐비넷 구조물(402)의 가압은 탱크(14)내의 유체상에 압력을 발생하는데 사용될 수도 있으며, 탱크(14)가 어떠한 파열의 위험없이 효과적으로 가압될 수 없는 55개론 드럼으로 구성될 때, 상기와 같은 구성은 특히 유용하다.

상기 유체 이송 시스템(400)은 유체 공급 탱크(14)와, 라인(20)을 통해 유체를 두 개의 가압 유체 지지 용기(34,42)에 전송하는 사이펀 라인(26)을 포함한다. 도 1의 시스템(10)에서와 같이, 용기(34,42)가 탱크(14) 아래 배열되므로, 중력 및 사이펀 라인(26)은 탱크(14)로부터 유체를 용기(34,42)로 전송하는데 주로 활용된다. 공급원(120)으로부터의 질소 가스가 밸브(140)를 통해 공급되어 용기(34,42)에 교대로 가압하므로, 상기 시스템(10)에 대해 상술된 바와 같이 용기(34,42)로부터 유체를 전송시킨다. 상기 시스템(10)에서 기술된 바와 같이, 사이펀 효과는 양호하게 벤튜리 밸브(196)에 의해 시작되는 진공을 활용하여 용기(34,42)를 통해 탱크(14)에 전달된다.

상기 시스템(10)과 시스템(400)의 차이는 밸브(140)로의 질소 가스 라인이 시스템(10)에서 지시된 바와 같이 밸브(128)를 통과하지 않는다. 오히려, 시스템(400)에서 공급원(120)으로부터의 질소 가스는 공기 작동식 비례 밸브(408)를 통과한다. 상기 밸브(408)는 용기(34,42)내의 가스 압력의 작동을 제어하고, 그럼으로써 용기(34,42)로부터 유동하는 유량을 제어할 수 있다. 용기(34,42)로부터의 유체는 밸브(50)를 통해 라인(70)에 전송되며, 상기 라인(70)은 공기 작동식 밸브(409)에 의해 제어된다. 이와 달리, 밸브(50)로부터 유체는 공기 작동식 밸브(409)를 통해 배수구로 유동한다. 각각의 용기(34,42)에는 유체 레벨 탐지기(410)가 제공되며, 상기 탐지기는 용기(34,42)가 가득 채워져 있는지 비워 있는지에 대한 제어 정보를 제공한다. 추가로, 센서(404)는 탱크(14)로부터 유동하는 유체를 탐지하는데 이용된다. 양호한 실시예에서, 라인에서 공기를 감지하는 용량성 센서(capacitive sensor)는 탱크가 비워질 때를 나타내기 위해 이용된다. 탱크(14)에서 유체의 양을 결정하는 다른 방법은 스케일(406)위에 탱크(14)를 놓는 것이며, 상기 스케일의 출력은 탱크(14)의 충전 상태를 나타낸다.

가스 유동 계량기(412)가 밸브(128)와 탱크(14)사이의 가스 라인(152)에 배열되어 가압형 탱크(14)로 유입되는 가스 압력을 제어한다. 상기 계랑기(412)는 0 ~ 0.5CFH의 범위를 갖는다. 한 방향의 체크밸브(416)가 가스 라인(152)에 제공되어 시스템(400)을 통하여 추가로 가스 유동을 제어하고, 가스 라인(160)은 체크 밸브(416)로부터 탱크(14)내로 가스를 유동시킨다. 가스 압력을 제어하기 위해, 1 방향의 체크 밸브(420)에 의해 제어되는 가스 배출 라인(418)은 가스 공급 라인(160)과 결합하게 된다. 체크 밸브(420)에 의해 허용되는 압력 보다 큰 가스 압력이 시스템 가스 라인에서 발생될 경우 가스 배출 라인(418)은 시스템의 배출구에 제공된다. 추가로, 양호한 실시예가 질소 가스 분무 노즐(422)을 포함하며, 상기 노즐은 가스 공급 라인(124)으로부터 라인(426)에서 결합되는 공기 작동식 밸브(424)에 의해서 제어된다.

상기 시스템(400)은 추가적인 특징요소로서 샘플 포트(430) 및 배출부(440, sump)를 포함하고 있지만, 도 1의 이송 시스템(10)에는 상기 요소들이 포함되어 있지 않다. 상기 샘플 포트(430)는 시스템(400)을 통해 유동하는 유체의 선택가능한 샘플을 조작자에게 제공하는데 이용된다. 이것을 달성하기 위해, 샘플 라인(434)은 필터(74)로부터의 유출 라인(84)과 결합하게 된다. 공기 작동식 밸브(436)는 샘플라인(434)을 통해 샘플 포트(430)로 유동하는 유체를 제어하는데 이용된다. 샘플 포트 배수 라인(438)은 샘플 포트(430)로부터 배출부(440)로 유체를 배출하는데 이용된다. 상기 배출부(440)는 유체 탐지기(444) 및 배출 펌프(448)를 포함하며, 상기 배출 펌프(448)는 배출 라인(452)을 통하여 배출부(440)에 존재하는 임의 유체를 펌프하는데 사용되며, 체크 밸브(456)를 통하여 배수 라인(460)에 제공한다. 상기 배수 라인(460)은 배수 라인(80)에 연결된다. 양호한 실시예에서, 배출 펌프(448)는 세척 건조 공기(CDA)의 공급원(468)으로부터 공기 라인(464)을 통해 작동된다. 상기 세척 건조 공기는 수동 밸브(472) 및 공기 작동식 밸브(476)에 의해 제어된다. 샘플 포트(430)를 용이하게 세척하기 위해, 공기 제어식 밸브(484)를 통해 작동가능한 질소 공급 라인(480)이 샘플 포트 공급 라인(434)과 결합하므로, 질소 가스는 샘플 포트(430)로 유동하여 샘플 포트를 세척하고 건조시킨다.탈 이온수 공급 시스템(490)은 시스템(400)내에 포함된다. 상기 탈 이온수 공급 시스템(490)은 수동 밸브(498) 및 가스 작동식 밸브(504)를 통해 작동가능한 탈 이온수 공급 라인(494) 뿐만 아니라, 수동 밸브(512)를 통해 작동가능한 탈 이온수 복귀 라인(508)을 포함한다. 상기 복귀 라인은 탈 이온수의 정체(stagnation)를 방지하고, 상기 침체로부터 발생되는 물의 순도문제를 방지하기 위해 탈 이온수가 시스템을 통해 유동하지 않을 때 공급 및 복귀 라인을 통해 탈 이온수의 일정한 이동을 유지하는데 이용된다. 도 5에 도시된 바와 같이, 공기 밸브(504)의 작동을 통해 탈 이온수는 라인(514)을 통해 샘플 포트(430)에 제공되어 샘플 포트(430)를 세정한다. 탈 이온수 분무 노즐(516)은 라인(515)을 통해 공급 라인(494)에 결합하고, 공기 작동식 밸브(520)에 의해서 제어된다.

탈 이온수는 라인(524)을 통해 유체 이송 라인(20)에 배치되는 공기 작동식 밸브(528)로 공급된다. 그래서, 탈 이온수는 밸브(30,50) 및 대체로 모든 유체 공급 시스템 라인 및 용기(34,42)를 세정하도록, 밸브(528)를 이용하여 라인(524)을 통해 라인(20)속으로 유입될 수 있다. 추가로, 밸브(528)를 통해 탈 이온수가 탱크(14)내의 유체를 포함하여 시스템(400)내의 유체에 제어가능하게 첨가될 수 있으므로, 시스템에 걸쳐 유동하는 유체의 농도를 제어가능하게 조정한다. 유체 농도 제어 정보를 제공하기 위해, 유도성 전극(534)과 같은 테스트 장치가 필터(74)로부터 탱크(14)사이의 유체 복귀 라인(84)에서와 같은 유체 이송 라인 시스템에 설치된다. 그래서, 유체 이송 시스템(400)을 이용하여, 탈 이온수는 탐지기(534)가 예정된 농도의 도달을 나타낼 때까지 재순환 라인(84)을 통해 탱크(14)내의 유체와 제어가능하게 혼합되고, 상기 혼합 유체는 라인(104)을 통해 유출된다.

유출 라인(104)을 통한 유체의 유출은 수동 밸브(540), 공기 작동식 밸브(544) 및 수동 밸브(548)에 의해 제어된다. 추가로, 압력 변환기(552)가 유체 유출 압력 및 유량에 대한 제어 정보를 제공하기 위해 유출 라인(104)에 연결되어 있다. 상기 제어 정보는 제어신호를 비례식 밸브(408)에 제공하는데 이용가능하므로, 용기(34,42)에 유입되는 가스 압력을 제어하고, 그럼으로써 유출되는 유량을 제어한다.

다양한 산업에 적용해보면, 외부 탱크(600)와 결합하는 것이 유익하며, 상기 외부 탱크는 55개론 드럼 이상의 데이 탱크(day tank)(시스템의 하루 작동중 사용되는 유체의 량을 지지할수 있는 탱크)로 구성되며, 또는 다른 유체 지지 탱크가 탱크(14)에 연결된다. 작동가능하게 탱크(600)의 설치물은 압력 시일 덮개(602)와, 탱크(600)로부터 라인(20)에 결합되어 있는 공기 작동식 밸브(608)에 연결되는 유체 공급 라인(604)을 포함한다. 그러므로, 탱크(600)로부터의 유체는 밸브(608)를 통해 바로 라인(20)으로 유동하며, 추가로 용기(34,42)로 유동한다. 라인(604)의 단부(610)는 탱크(14)의 라인(20)의 단부(24)와 유사한 방식으로 탱크(600)의 하부에 양호하게 위치된다. 탱크에서와 마찬가지로, 라인 센서(612)는 탱크의 가득 채워진 상태를 감지하기 위해 탱크(600)에 연결된 유출 라인(604)상에서 이용되며, 유체 레벨 센서(616)는 탱크에서의 유체 레벨의 높고 낮은 정보를 제공하는데 이용된다. 양호한 실시예에서, 탱크(600)가 용기(34,42) 위에 놓여지므로, 라인(604)을 통한 사이펀 효과는 달성될 수 있다. 그래서, 탱크(14)와 관련하여 상술된 바와 같이, 사이펀 효과의 유익한 활용은 탱크(600)에서도 동일하게 달성될 수 있다. 가스 라인(620)은 라인(152)과 결합하여 가압 가스를 압력 밀봉형 덮개(602)를 통해 탱크(600)에 제공한다. 라인(620)을 통한 가스는 사이펀 효과를 시작하고, 유체가 탱크(600)로부터 사이펀될 때 대체 가스를 제공하기 위해 라인(604)을 통한 유체에 힘을 가하는데 이용된다.

유체 복귀 라인(630)은 유체를 탱크(600)로 복귀하기 위해 제공된다. 유체 복귀 라인(630)은 라인(104)에 있는 교차점(634)을 통해, 그리고 라인(642)에 있는 공기 작동식 밸브(638)를 통해 공기 작동 밸브(646)로 작동가능하다. 상기 밸브(646)는 유체를 복귀 라인(84)을 통해 탱크(14)에 또는 복귀 라인(630)을 통해 탱크(600)에 유동시킨다. 상기 복귀 라인(630)은 공기 작동식 밸브(648)에 의해 제어된다. 시스템 배수 라인(650)은 교차점(634)에 연결되며, 공기 작동식 밸브(652) 및 체크 밸브(654)로 제어되어 유체를 배수 라인(80)에 연결된다.

외부 필터(660)가 필터(74)외에 이용될 수 있다. 이것을 달성하기 위해, 필터 공급 라인(664)은 평행하게 배열된 다수의 외부 필터(660)와 유체 이송 라인(70)에 결합되며, 결국 복귀 라인(668)에 결합된다. 상기 복귀 라인(668)은 공기 작동식 밸브(672)에 의해 제어되어 유체 유출 라인(104)에 연결된다. 그러므로, 필터(660)는 필터(74)와 평행하게 설치된다.

상술된 유체 이송 시스템(400)은 유체 이송 작업을 완성하기 위해 다수의 공기 제어식 밸브[예를들어, 밸브(424)]를 이용하는 자동 시스템이다. 양호한 실시예에서, 각각의 공기 제어식 밸브는 공기 튜브(680)를 통해 전자 제어식 솔레노이드 공기 밸브(684)에 연결되며, 상기 밸브(684)는 제어 패널(688)에 통상적으로 배열된다. 각각의 솔레노이드 밸브(684)는 컴퓨터화된 제어기(692)에 의해서 전기적으로 제어된다. 제어기(692)에 조작자 지시와 함께, 시스템(400)의 여러 센서로부터의 전자 신호들은 시스템(400)을 작동하는데 이용된다. 본 발명의 양호한 실시예가 도시 및 상술되어 있으며, 이것은 본 기술분야의 통상의 전문가에 의해서 이해될 수 있을 것이다. 또한, 상술된 실시예 및 다른 실시예가 본 기술분야의 통상의 전문가에 의해서 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않으면서 실시될 수 있다. 그러므로, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 모든 사상이 보호받게 된다.

Claims

유체 공급 탱크,

두 개 이상의 가압 유체 지지 용기,

상기 탱크로부터 각각의 상기 용기에 유체를 공급하기 위해 상기 탱크와 각각의 상기 용기 사이에 연결되어 있고, 상기 탱크로부터 상기 유체를 유출시켜 상기 유체를 상기 용기에 공급하는 유체 사이펀 효과로 작동하도록 상기 탱크에 결합되어 있는 유체 공급 라인,

상기 사이펀 효과를 받은 유체가 상기 유체 공급 탱크로부터 상기 유체 지지 용기로 통과하는 표시를 제공하도록 상기 유체 공급 시스템내에 기능적으로 결합되는 사이펀식 유체 센서 수단, 및

상기 유체의 이동을 위해 상기 유체 지지 용기에 기능적으로 결합되는 유체 유출 라인을 포함하는,

유체 이송 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 용기내의 유체 레벨이 항상 상기 탱크내의 유체 레벨보다 낮도록 상기 용기들이 상기 탱크 아래 배치되고,

상기 사이펀식 유체 센서 수단은 상기 유체 공급 라인내의 사이펀 효과를 받은 유체의 존재를 탐지하도록 상기 유체 공급 시스템내에 기능적으로 결합되는,

유체 이송 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 두 개 이상의 가압 유체 지지 용기들 중 하나 이상의 용기의 진공 상태가 상기 사이펀 효과를 발생하기 위해 이용되는,

유체 이송 시스템.
제 3 항에 있어서,

상기 용기내에 상기 진공을 형성하도록, 가스 라인이 상기 용기에 결합되어 있는,

유체 이송 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 진공 상태가 상기 유체 공급 라인에 적용되는,

유체 이송 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 탱크는 가압가능하고, 사이펀 효과를 발생하기 위해 가압 가스를 상기 탱크에 공급하도록 가스 공급 라인이 상기 탱크에 결합되는,

유체 이송 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 탱크로부터 유출되는 유체에 대해 대체할 용적 가스를 공급하도록 상기 탱크에 가스 공급 라인이 결합되는,

유체 이송 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 유체가 상기 용기안으로 유입될 때 상기 용기로부터 가스를 제거하도록 각각의 상기 용기에 용기 가스 라인이 결합되는,

유체 이송 시스템.
제 8 항에 있어서,

상기 용기로부터 유체를 이송하도록, 상기 용기 가스 라인을 통해 각각의 상기 용기에 가압 가스의 공급이 가능한,

유체 이송 시스템.
제 9 항에 있어서,

상기 유체 공급 탱크로부터 각각의 상기 용기로 상기 유체를 선택적으로 분배하기 위해 상기 유체 공급 라인에 배치되는 제 1 유체 유동 제어 밸브를 더 포함하는,

유체 이송 시스템.
제 10 항에 있어서,

상기 각각의 용기로부터 유체를 수용하고 상기 유체를 유체 유출 라인으로 유출시키도록 배치되는 제 2 유체 유동 제어 밸브를 더 포함하는,

유체 이송 시스템.
제 11 항에 있어서,

상기 용기로부터 상기 탱크로 유체를 공급하기 위한 유체 복귀 라인을 더 포함하며, 상기 용기로부터 상기 유체 복귀 라인으로 유체를 선택적으로 공급하기 위해 상기 유체 유출 라인내에 배치되는 제 3 유체 유동 제어 밸브를 포함하는,

유체 이송 시스템.
제 12 항에 있어서,

상기 유체 유출 라인을 통과하는 유체를 여과하기 위해 상기 유체 유출 라인내에 결합되는 유체 여과 시스템을 더 포함하는,

유체 이송 시스템.
제 9 항에 있어서,

상기 용기에 공급되는 상기 가스 압력을 선택적으로 제어하기 위해 상기 용기 가스 공급 라인내에 가스 압력 제어 밸브가 배치되어 상기 용기로부터 유체 유량을 제어하는,

유체 이송 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 유체 공급 라인내에서 상기 유체와 탈 이온수를 상호 혼합시키기 위해 상기 유체 공급 라인내로 상기 탈 이온수를 제공하도록 탈 이온수 공급 라인이 상기 유체 공급 라인에 결합되는,

유체 이송 시스템.
제 15 항에 있어서,

상기 시스템에서 유체와 상호 혼합하는 상기 탈 이온수의 양을 제어하기 위해 상기 시스템내에 함유된 유체의 농도 데이터를 제공하는 유체 농도 탐지 수단을 더 포함하는,

유체 이송 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 유체의 분석용으로 상기 유체 유출 라인으로부터 유체를 수용하기 위해 상기 유체 유출 라인과 결합되는 유체 샘플 포트를 더 포함하는,

유체 이송 시스템.
제 17 항에 있어서,

상기 유체 샘플 포트를 세정하기 위해, 탈 이온수가 상기 유체 샘플 포트에 공급되는,

유체 이송 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 유체 지지 용기에 유체를 더 공급하기 위해 제 2 유체 공급 라인과 결합되는 하나 이상의 다른 유체 지지 탱크를 더 포함하는,

유체 이송 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 탱크가 가압형 캐비넷내에 배열되어 있는,

유체 이송 시스템.
제 11 항에 있어서,

상기 시스템을 작동시키도록 프로그램가능한 전자 제어 유닛이 제 1 유체 제어 밸브 및 제 2 유체 제어 밸브의 개방을 제어하는데 이용되는,

유체 이송 시스템.
다수의 가압 유체 지지 용기들에 유체를 채우기 위해, 유체 공급 탱크로부터 유체 공급 라인을 통해 상기 다수의 가압 유체 지지 용기에 유체를 사이펀 작용하는 단계,

상기 사이펀 효과를 받은 유체가 용기로 유동하는지를 확인하기 위해, 상기 유체 공급 시스템내의 사이펀 효과를 받은 유체의 존재를 탐지하는 단계,

상기 용기로부터 상기 유체 유출 라인으로 유체를 제거하기 위해 유체 지지 용기를 가스로 가압하는 단계를 포함하는,

유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법.
제 22 항에 있어서,

상기 유체의 사이펀 효과를 발생하기 위해 상기 다수의 가압 유체 지지 용기들 중 하나 이상의 용기내에 진공을 형성하는 단계를 포함하는,

유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법.
제 22 항에 있어서,

상기 유체의 사이펀 효과를 발생하기 위해 상기 유체 공급 탱크를 가압하는 단계를 포함하는,

유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법.
제 22 항에 있어서,

상기 유체가 상기 하나의 용기로부터 제거되는 동안 또 다른 상기 용기에는 유체가 채워지도록, 상기 용기들에 유체를 채우고 상기 용기들로부터 유체를 제거하는 단계가 교대로 일어나도록 하는 단계를 더 포함하는,

유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법.
제 25 항에 있어서,

상기 용기에 유체가 채워질 때, 상기 각각의 용기내의 가스를 제거하는 단계, 및

유체가 상기 탱크로부터 제거될 때, 가압 가스를 상기 유체 공급 탱크로 제공하는 단계를 더 포함하는,

유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법.
제 26 항에 있어서,

상기 유체 공급 라인내의 유체 농도를 희석하도록 상기 유체 공급 라인내의 유체와 탈 이온수를 상호 혼합하는 단계를 더 포함하는,

유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법.
제 22 항에 있어서,

상기 유체 유출 라인으로부터 상기 유체 공급 탱크로 유체를 선택적으로 복귀시키는 단계를 더 포함하는,

유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법.
제 14 항에 있어서,

상기 가스 유압 제어 밸브의 개방을 제어하기 위해 프로그램 가능한 전자 제어 유닛이 이용되는,

유체 이송 시스템.
유체 공급 탱크,

두 개 이상의 가압 유체 지지 용기,

상기 탱크로부터 각각의 상기 용기에 유체를 공급하기 위해 상기 탱크와 각각의 상기 용기 사이에 연결되어 있고, 상기 탱크로부터 상기 유체를 유출시켜 상기 용기에 상기 유체를 공급하는 사이펀 효과로 작동하도록 상기 탱크에 결합되어 있는 유체 공급 라인,

상기 유체 공급 라인내의 상기 유체 사이펀 효과를 발생하기 위해 상기 유체 공급 라인에 기능적으로 결합되어 있는 진공 수단,

상기 사이펀 효과를 받은 유체가 상기 유체 공급 탱크로부터 상기 유체 지지 용기로 통과하는 표시를 제공하도록 상기 유체 공급 시스템내에 기능적으로 결합되는 사이펀식 유체 센서 수단,

상기 사이펀식 유체 센서 수단 및 상기 진공 수단에 결합되며, 상기 사이펀 효과를 받은 유체의 통과가 표시될 때 상기 진공 수단의 작동이 중단되도록 작동하는 프로그램 가능한 전자 제어 유닛을 포함하는,

유체 이송 시스템.
제 30 항에 있어서,

상기 두 개 이상의 가압 유체 지지 용기들 중 하나 이상의 용기의 진공 상태가 상기 사이펀 효과를 발생하기 위해 이용되는,

유체 이송 시스템.
제 31 항에 있어서,

상기 유체가 상기 용기안으로 유입될 때 상기 용기로부터 가스를 제거하도록 각각의 상기 용기에 용기 가스 라인이 결합되어 있는,

유체 이송 시스템.
제 32 항에 있어서,

상기 용기로부터 유체를 이송하도록, 가압 가스가 상기 용기 가스 라인을 통해 각각의 상기 용기에 공급가능한,

유체 이송 시스템.
제 30 항에 있어서,

상기 유체 유출 라인을 통과하는 유체를 여과하기 위해 상기 유체 유출 라인에 결합되는 유체 여과 시스템을 더 포함하는,

유체 이송 시스템.
유체 공급 수단,

두 개 이상의 가압 유체 지지 용기,

상기 유체 공급 수단으로부터 각각의 상기 용기에 유체를 공급하기 위해 상기 유체 공급 수단과 각각의 상기 용기 사이에 연결되어 있고, 상기 탱크로부터 상기 유체를 유출시켜 상기 유체를 상기 용기에 공급하는데 유체 사이펀 효과로서 작동하도록 상기 유체 공급 수단에 결합되어 있는 유체 공급 라인,

상기 유체 공급 라인내의 사이펀 효과를 발생하기 위해 상기 유체 공급 수단에 기능적으로 결합되어 있는 가스 압력 수단,

상기 유체 지지 용기로부터 유체의 이동을 위해 유체 지지 용기에 기능적으로 결합되어 있는 유체 유출 라인을 포함하는,

유체 이송 시스템.
제 35 항에 있어서,

상기 사이펀 효과를 받은 유체가 유체 공급 탱크로부터 상기 유체 지지 용기로 통과하는 표시를 제공하도록 상기 유체 공급 시스템내에 기능적으로 결합되는 사이펀식 유체 센서 수단, 및

상기 사이펀식 유체 센서 수단 및 상기 가스 압력 수단과 결합되며, 상기 사이펀 효과를 받은 유체의 통과를 표시할 때 상기 압력 수단의 작동을 중단하도록 작동하는 프로그램 가능한 전자 제어 유닛을 더 포함하는,

유체 이송 시스템.
제 35 항에 있어서,

상기 유체 공급 수단은 유체 공급 탱크로 구성되며, 상기 유체 공급 탱크는 가압가능하고, 상기 가스 압력 수단은 가압 가스를 상기 유체 공급 탱크에 제공하도록 상기 유체 공급 탱크에 기능적으로 결합되는,

유체 이송 시스템.
제 35 항에 있어서,

상기 유체 공급 수단은 가압형 외부형성체 내에 배열되는 비-가압형 유체 공급 탱크를 포함하는,

유체 이송 시스템.
제 35 항에 있어서,

상기 유체 공급 수단은 대기 압력 개구가 관통하는 유체 공급 탱크를 포함하며, 상기 탱크는 가압형 외부형성체내에 배열되며,

상기 사이펀 효과를 발생하기 위해 상기 가압형 외부형성체로 가압 가스를 공급하도록 상기 가압형 외부 형성체에 가스 압력 수단이 기능적으로 결합되며,

상기 유체 공급 라인내에 사이펀 효과를 받은 유체의 존재를 감지하도록 사이펀식 유체 센서 수단을 포함하며,

상기 사이펀식 유체 센서 수단과 상기 가스 압력 수단으로 프로그램가능한 전자 제어 유닛이 결합되고 상기 프로그램가능한 전자 제어 유닛은 사이펀 효과를 받은 유체가 상기 유체 공급 라인내에서 감지될 때 상기 가스 압력 수단의 작동을 중간하도록 작동되는,

유체 이송 시스템.
용기에 유체를 채우기 위해, 유체 공급 탱크로부터 다수의 가압 유체 지지 용기에 유체의 사이펀 효과를 발생하도록 유체 공급 라인에 진공 압력을 적용하는 단계,

상기 유체 공급 라인내의 사이펀 효과를 받은 유체의 존재를 탐지하는 단계,

상기 유체 공급 라인내의 사이펀 효과를 받은 유체의 탐지후 진공 상태를 차단하는 단계,

상기 용기로부터 상기 유체 유출 라인으로 유체를 제거하도록 상기 유체 지지 용기를 가압하는 단계를 더 포함하는,

유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법.
제 40 항에 있어서,

상기 탐지 단계는 전자 신호를 전자 제어 수단에 제공하는 단계를 더 포함하고, 상기 전자 제어 수단은 상기 진공 압력을 발생하기 위해 진공장치의 작동을 중단하도록 반응 전자 신호를 제공하는,

유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법.
다수의 가압 유체 지지 용기에 유체를 채우기 위해, 유체 공급 탱크로부터 유체 공급 라인을 통해 상기 다수의 가압 유체 지지 용기에 유체 사이펀 효과를 발생하도록 상기 유체 공급 탱크에 가압 가스를 적용하는 단계,

상기 용기로부터 상기 유체 유출 라인으로 유체를 제거하도록 상기 유체 지지 용기를 가압하는 단계를 포함하는,

유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법.
제 42 항에 있어서,

상기 유체 공급 라인을 통한 사이펀 효과를 받은 유체 유동을 탐지하는 단계, 및

상기 유체 공급 라인내의 사이펀 효과를 받은 유체의 탐지후 상기 유체 공급 탱크에 대해 상기 가압 가스를 차단하는 단계를 더 포함하는,

유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법.
제 43 항에 있어서,

상기 탐지 단계는 전자 신호를 상기 전자 제어 수단에 제공하는 단계를 더 포함하고, 상기 전자 제어 수단은, 상기 유체 공급 탱크에 가압 가스를 공급하는 가스 압력 장치의 작동을 중단하도록 반응 전자 신호를 제공하는,

유체 공급 탱크로부터 유체 유출 라인으로 유체를 이송하는 방법.