DE19857593A1 - System zur pulsationsfreien Förderung von Flüssigkeiten - Google Patents

System zur pulsationsfreien Förderung von Flüssigkeiten

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein druckbeaufschlagtes System zur pulsationsfreien Förderung von Flüssigkeiten, das für hochreine flüssige Chemikalien in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden kann.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein System zur pulsationsfreien Förde­ rung von Flüssigkeiten, das für hochreine, flüssige Chemikalien in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden kann.
In Produktionsverfahren der Halbleiterindustrie werden üblicherweise hochreine Chemikalien eingesetzt, an die sehr hohe Anforderungen be­ züglich der Partikelfreiheit gestellt werde. Da es sich bei den verwendeten Chemikalien häufig um stark ätzende oder oxidierende Substanzen han­ delt werden entsprechend hohe Ansprüche an die Resistenz der mit den Chemikalien in Berührung kommenden Materialien gestellt. Besonders kritisch bezüglich der Partikelfreisetzung sind in diesem Zusammenhang Stellen, an denen die Chemikalien mit beweglichen Teilen im System in Berührung kommen. Durch bisher bekannte Vorrichtungen konnte dieses Problem nicht in zufriedenstellender Weise gelöst werden.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung war es daher, ein System zur Verfü­ gung zu stellen, welches möglichst wenige bewegliche Teile, wie z. B. Pumpen aufweist.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt durch ein Flüssigkeitsfördersystem zur pulsationsfreien Förderung, welches Flüssigkeiten in einem Rezirkulati­ onskreislauf fördert und nur einen Speicherbehälter aufweist.
In diesem Erfindungsgemäßen System sind zwei parallel geschaltete kleine Druckbehälter eingebunden, welche eine Druckdifferenz aufweisen und eine Pumpe ersetzen.
Von diesen zwei parallel geschalteten kleinen Druckbehältern wird der ei­ ne mittels einer Pumpe befüllt, während der andere mit einem Überdruck beaufschlagt wird und die Flüssigkeit von ihm ausgehend im Kreislauf för­ dert, wobei die Regelung des Flüssigkeitsstroms durch elektrisch steuer­ bare Ventile erfolgt.
Charakteristisch ist für dieses Fördersystem, daß der kleine Behälter, welcher den höheren Druck aufweist, einen Überdruck von 2 bis 6 bar besitzt.
Erfindungsgemäß erfolgt die Lösung der Aufgabe auch dadurch, daß der eine der parallel geschalteten kleinen Behältern einen Druck aufweist, welcher sich aus einer Höhendifferenz zwischen dem Lagertank und der Höhe der kleinen Behälter ergibt, die sich auf einer tieferen Ebene befin­ den als der Lagertank.
In einer besonderen Ausführungsform ist der eine der parallel geschalte­ ten kleinen Behälter mit einem Druck beaufschlagt, der sich aus einer Hö­ hendifferenz von im zwischen dem Lagertank und den beiden parallel ge­ schalteten Behältern ergibt.
Erfindungsgemäß kann die Befüllung der Druckbehälter aus dem Lager­ behälter erfolgen, indem die Flüssigkeit mittels leichtem Überdruck durch kommunizierende Rohrleitungen in die Druckbehälter gefördert wird.
Am Ende des Rezirkulationskreislaufs des Fördersystems wird der Druck auf den Innendruck des Lagerbehälter reduziert wird.
Diese Druckreduzierung kann durch ein Ventil, eine Blende oder eine Rohrverengung erfolgen.
Die Lösung der dieser Erfindung zugrunde liegenden Aufgabe kann ins­ besondere durch ein Fördersystem erfolgen, dessen Lagerbehälter einen Überdruck von größer gleich 0,1 bar aufweist, wobei einer oder beide der kleinen Druckbehälter als Behälter für hohen Druck ausgelegt ist (sind).
Das erfindungsgemäße Flüssigkeitsfördersystem ermöglicht die Förde­ rung von Flüssigkeiten in einem Rezirkulationskreislauf, wobei nur ein größerer Speicherbehälter oder Lagerbehälter (Day-Tank) benötigt wird.
Ein besonderer Vorteil dieses Fördersystems ist, daß eine Pumpe durch zwei parallel geschaltete, kleine Druckbehälter ersetzt werden kann. Die­ se Druckbehälter können insbesondere ein Volumen von 1-200 l besitzen. Während der eine Druckbehälter durch die Druckdifferenz, die sich aus der statische Höhendifferenz (< 1 m) des Lagertanks (B1) zu den Druck­ behältern (D1, D2) ergibt, oder mittels einer Pumpe befüllt wird, fördert der andere durch Anlegen eines höheren Überdrucks (2-6 bar) die Flüs­ sigkeit im Kreislauf. Dies läßt sich durch entsprechendes Schalten von elektronisch steuerbaren Ventilen bewerkstelligen. Am Ende des Rezirku­ lationskreislaufes wird der Druck auf den Innendruck des Lagerbehälter B1 mittels eines Ventils, einer Blende oder Rohrverengung vermindert. Die Befüllung des Lagertanks von außen kann mittels Pumpen (Semi-Pump­ system) oder auch durch Druck (Drucksystem erfolgen).
Die Befüllung der Druckbehälter D1 bzw. D2 aus dem Lagerbehälter B1 läßt sich auch durch einen leichten Überdruck in B1 (< 0.1 bar) bewerkstel­ ligen (s. o.). In diesem Fall muß aber B1 der Druckbehälterverordnung ge­ nügen.
Durch den hier beschriebenen Aufbau des erfindungsgemäßen Fördersy­ stems ergeben sich folgende Vorteile gegenüber herkömmlichen Syste­ men:
Das System kombiniert die Vorteile von Pumpsystemen, durch die ein größerer Druckbehälter eingespart werden kann, mit denen der Drucksy­ steme, welche sich durch einen kontinuierlichen Fluß und durch das Feh­ len von beweglichen Verschleißteilen auszeichnen. Dieses System ist vorteilhaft im Einsatz als Versorgungssystem von Elektronikchemikalien, da besonders bei der Partikelreduktion deutliche Verbesserungen gegen­ über Pumpsystemen gefunden wurden. Ein anderer wesentlicher Vorteil gegenüber bekannten Versorgungssystemen ist die pulsationsarme Fahr­ weise des gesamten Systems.
Weiterhin ist dieses System erheblich preisgünstiger als andere übliche Drucksysteme, bei denen z. B. mit zwei größeren Lagerbehältern (Druckbehältern, < 3 bar) gearbeitet wird, da hier nur ein druckloser La­ gerbehälter und zwei kleine Druckbehälter (< 2 bar) benötigt werden.
Der durch das System erzeugte kontinuierliche, gleichmäßige Flüssig­ keitsfluß ist mit einer Partikelreduktion verbunden. Dadurch arbeiten in den Kreislauf eingebaute Filter effektiver, weil dieses System im Gegen­ satz zu mit Membran- oder Faltenbalgpumpen aufgebauten System pulsationsfrei läuft. Es unterliegt auch der Druck an den Entnahmestellen (POU) keiner Pulsation und läßt sich sehr stabil halten.
Ein ganz besonderer Vorteil des erfindungsgemäßen Systems besteht in der Reduktion mechanisch beweglicher Teile:
  • - Das Fördersystem besitzt außer den Ventilen keine beweglichen Teile. Auf Pumpen kann innerhalb des Rezirkulationskreislaufes verzichtet wer­ den. Auf diese Weise ist das System im Betrieb deutlich sicherer in Bezug auf Störungsanfälligkeit. Es ist weniger Service notwendig und es ergeben sich geringere Standzeiten, in denen Verschleißteile wie z. B. Pumpenteile ausgetauscht werden müssen
  • - Da die Flüssigkeit nicht durch die mechanisch beweglichen Teile der Pumpe gefördert wird , wie z. B. beim Faltenbalg-, beziehungsweise bei Membran- oder Kreiselpumpen, werden weniger Partikel in die Flüssigkeit abgegeben, was bei der Förderung von Elektronikchemikalien von beson­ derem Vorteil ist.
Zum besseren Verständnis und zur Verdeutlichung wird im folgenden bei­ spielhaft ein Fließschema eines solchen Fördersystems gegeben, das im Rahmen des Schutzbereichs der vorliegenden Erfindung liegt, nicht je­ doch geeignet ist, die Erfindung auf dieses Beispiel zu beschränken.
Fig. 1 zeigt eine Skizze eines Chemikalienförder- bzw. Chemikalienver­ sorgungssystems mit Chemikalienrezirkulationseinheit, worin B1 ein Transportcontainer oder Mischbehälter darstellt, der durch Pumpen oder Druck entleert werden kann. B1 und die Druckbehälter D1 und D2 befin­ den sich auf verschiedenen Ebenen, so daß sich zwischen dem Füll­ standsniveau von D1 (D2)max und dem des Behälters B1min eine minimale statische Höhendifferenz ergibt, die ausreicht um den Druckbehälter zu befüllen.
Fig. 2 zeigt eine Pumpeneinheit, mit der das erfindungsgemäße Förder­ system versehen sein kann. Es handelt sich um einen Ausschnitt der Fig. 1.
Bezugszeichenliste
C1 Chemikalienzuleitung (aus Misch- und Transportbehälter)
RK Rezirkulationskreislauf
B1 Lagerbehälter (Day-Tank)
D1, D2 Druckbehälter (5 bis 200 l, bis 6 bar)
V1.1, V1.2 Befüllungsventile
V2.1, V2.2 Ventile auf Druckseite
V3.1, V3.2 N2
-Einlaßventile
V4.1, V4.2 N2
-Entlüftungsventile
V5 Ventil zum Steuern der Durchflußmenge oder des Durchflus­ ses
V6 Ventil zum POUPOU Chemikalienabnahmestelle (point of use)
F Filtrationselemente
S Füllstandssensor (optional)

Claims (10)

1. Flüssigkeitsfördersystem zur pulsationsfreien Förderung, dadurch ge­ kennzeichnet, daß es Flüssigkeiten in einem Rezirkulationskreislauf fördert und nur einen Speicherbehälter (B1) aufweist.
2. Fördersystem gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es zwei parallel geschaltete kleine Druckbehälter (D1, D2) aufweist, wel­ che eine Druckdifferenz aufweisen und eine Pumpe ersetzen.
3. Fördersystem gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es zwei parallel geschaltete kleine Druckbehälter (D1, D2) aufweist, wo­ von der eine mittels einer Pumpe befüllt wird, während der andere mit einem Überdruck beaufschlagt wird und die Flüssigkeit im Kreislauf fördert, wobei die Regelung des Flüssigkeitsstroms durch elektrisch steuerbare Ventile (V1.1 bis V4.2) erfolgt.
4. Fördersystem gemäß der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der kleine Behälter (D1 oder D2), welcher den höheren Druck auf­ weist, einen Überdruck von 2 bis 6 bar besitzt.
5. Fördersystem gemäß der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der eine der parallel geschalteten kleinen Behältern (D1) einen Druck aufweist, der sich aus einer Höhendifferenz zwischen dem Lager­ tank und der Höhe der kleinen Behälter ergibt, welche sich auf einer tieferen Ebene befinden als der Lagertank.
6. Fördersystem gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der eine der parallel geschalteten kleinen Behältern (D1) einen Druck auf­ weist, der sich aus einer Höhendifferenz von 1 m ergibt.
7. Fördersystem gemäß der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Befüllung der Druckbehälter (D1, D2) aus dem Lagerbehälter erfolgt, indem die Flüssigkeit mittels leichtem Überdruck durch kom­ munizierende Rohrleitungen in die Druckbehälter gefördert wird.
8. Fördersystem gemäß der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet daß am Ende des Rezirkulationskreislaufs (RK) der Druck auf den In­ nendruck des Lagerbehälter reduziert wird.
9. Fördersystem gemäß der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet daß der Druck durch ein Ventil, eine Blende oder eine Rohrverengung reduziert wird.
10. Fördersystem gemäß Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der Lagerbehälter (B1) einen Überdruck von größer gleich 0,1 bar auf­ weist und einer oder beide der kleinen Druckbehälter (D1 und/oder D2) als Behälter für hohen Druck ausgelegt ist (sind).
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US09/857,692 US6623248B1 (en) 1998-12-14 1999-12-02 System for conveying liquids without pulsing
JP2000588535A JP2002532656A (ja) 1998-12-14 1999-12-02 脈動のない送出しのための液体送出しシステム
TW088121512A TW469323B (en) 1998-12-14 1999-12-08 System for the pulsation-free delivery of liquids

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109268687A (zh) * 2018-10-16 2019-01-25 迈得医疗工业设备股份有限公司 供液装置
CN114636106A (zh) * 2022-03-15 2022-06-17 中国电子科技集团公司第十研究所 一种便携式移动排液装置

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6955529B2 (en) * 2003-12-11 2005-10-18 Ho Lee Co., Ltd. Bidirectional air pump assembly for inflatable objects
US7275474B2 (en) * 2005-05-31 2007-10-02 Parker-Hannifincorporation Optical position sensing and method
US7540143B1 (en) 2005-06-30 2009-06-02 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Boiler and pressure balls monopropellant thermal rocket engine
US9765769B2 (en) 2015-04-22 2017-09-19 C. Anthony Cox Sterile liquid pump with single use elements
US10030674B2 (en) 2015-04-22 2018-07-24 C. Anthony Cox Sterile liquid pump with single use elements
US11761582B2 (en) * 2019-09-05 2023-09-19 Dhf America, Llc Pressure regulation system and method for a fluidic product having particles
JP7223195B1 (ja) 2022-06-24 2023-02-15 岩井ファルマテック株式会社 送液システム

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1600505A (en) * 1921-10-01 1926-09-21 Sullivan Machinery Co Control mechanism
US2192727A (en) * 1937-03-15 1940-03-05 Stuart A Courtis Fluid circulating system
GB552771A (en) * 1941-10-21 1943-04-23 William King Porteous Improvements relating to control systems for regulating the co-ordinated filling and emptying of a number of tanks or containers
US2446358A (en) 1946-08-03 1948-08-03 Fluor Corp Liquid seal pulsation dampener
US3005417A (en) * 1957-04-26 1961-10-24 United States Steel Corp Pneumatic system for pumping liquid
US3524714A (en) * 1968-10-30 1970-08-18 Us Air Force Pneumatic bellows pump
GB1490996A (en) 1975-04-03 1977-11-09 Secretary Industry Brit Hydraulic pressure surge protection devices
DE2706484C3 (de) 1977-02-16 1981-12-24 Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt Vorrichtung zur Dämpfung von Pulsationen in einer Anlage zur Verdampfung tiefsiedender verflüssigter Gase
US4323452A (en) * 1979-11-01 1982-04-06 Caterpillar Tractor Co. Pumpless flow system for a corrosive liquid
HU191726B (en) 1984-11-29 1987-03-30 Energiagazdalkodasi Intezet Connection arrangement of damping dashpot
DE8603263U1 (de) * 1986-02-07 1986-05-07 Bauschik, Karl, 7000 Stuttgart Wiederlösbare Haft-Markierungsscheibe
US5148945B1 (en) * 1990-09-17 1996-07-02 Applied Chemical Solutions Apparatus and method for the transfer and delivery of high purity chemicals
US5251852A (en) * 1991-09-06 1993-10-12 General Electric Company Thermal fuel transfer and tank isolation to reduce unusable fuel
US5722447A (en) * 1994-04-29 1998-03-03 Texas Instruments Incorporated Continuous recirculation fluid delivery system and method
US5832948A (en) * 1996-12-20 1998-11-10 Chemand Corp. Liquid transfer system
KR100294808B1 (ko) * 1999-03-18 2001-07-12 임정남 자동 공압펌프

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109268687A (zh) * 2018-10-16 2019-01-25 迈得医疗工业设备股份有限公司 供液装置
CN114636106A (zh) * 2022-03-15 2022-06-17 中国电子科技集团公司第十研究所 一种便携式移动排液装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2000036329A1 (de) 2000-06-22
ATE253709T1 (de) 2003-11-15
JP2002532656A (ja) 2002-10-02
EP1141611B1 (de) 2003-11-05
DE59907661D1 (de) 2003-12-11
TW469323B (en) 2001-12-21
EP1141611A1 (de) 2001-10-10
US6623248B1 (en) 2003-09-23

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