CN102189064B - 涂布液供给装置、涂布液供给方法以及缓冲箱 - Google Patents

Abstract

本发明提供涂布液供给装置、涂布液供给方法以及缓冲箱，其中能够避免涂布液被白白废弃，且能够抑制气泡混入到所供给的涂布液内。所述涂布液供给装置，包括存储涂布液的涂布液箱和暂时存储涂布液的缓冲箱，其中，通过加压涂布液箱使涂布液箱的涂布液供给到缓冲箱，且从缓冲箱输送涂布液，该装置还包括对涂布液箱内的涂布液残余量进行检测的残余量检测装置，通过该残余量检测装置，当检测出涂布液箱内的涂布液残余量很少时，进行停止从缓冲箱输送涂布液的液体输送停止动作，然后在停止从缓冲箱输送涂布液的动作状态下，进行将涂布液箱内的残留涂布液输送到缓冲箱的残余液体输送动作，然后进行更换涂布液箱的箱体更换动作。

Description

涂布液供给装置、涂布液供给方法以及缓冲箱

技术领域

本发明涉及向将涂布液涂布在基板上的涂布装置供给涂布液的涂布液供给装置、涂布液供给方法以及缓冲箱，特别涉及可以不浪费涂布液的残留液且能够抑制在气泡混入到涂布液中的状态下供给涂布液的涂布液供给装置、涂布液供给方法以及缓冲箱。

背景技术

在液晶显示器或等离子显示器等平板显示器中，使用的是在玻璃基板上涂布有抗蚀剂液的基板(以下称之为涂布基板)。所述涂布基板通过均匀涂布抗蚀剂或药液等涂布液的基板处理装置形成。如图11所示，所述基板处理装置包括作为涂布液供给源的涂布液供给装置100和将涂布液涂布在基板上的涂布装置105，其中，输送自涂布液供给装置100的涂布液被供给到涂布装置105的泵105a，通过使该泵105a工作，涂布液自涂布装置105的喷嘴105b排出到基板上，由此能够在基板上形成均匀的涂布膜。

一般来说，涂布液供给装置100包括存储涂布液的涂布液箱101和暂时存储涂布液的缓冲箱102，由于将来自涂布液箱101的涂布液暂时停留于缓冲箱102，因此能够防止气泡w混入涂布液中的现象。具体来说，在涂布液箱101内设有在容器内具有伸缩性的袋状软管101a，涂布液被存储在软管101a内。然后，通过加压容器内部使软管101a被收缩，因此软管101a内的涂布液被输送到缓冲箱102，同时涂布液从缓冲箱102输送到涂布装置105的泵上，由此涂布液从涂布液供给装置100可供给到涂布装置105。在此，假设涂布液内混入气泡w，则涂布液被暂时存储到缓冲箱102期间，通过浮力使气泡w上升而除去气泡w，由此在设置于缓冲箱102底面的液体排出部，能够供给已除去气泡w的涂布液(例如，参考下述专利文献1)。

由此，软管101a内的涂布液被供给到涂布装置105，如图12所示，在软管101a内的涂布液残余量变少的状态下，如果收缩软管101a，则软管101a内的空气混入到涂布液而导致所供给的涂布液中含有大量的气泡w。在该状态下，仅通过使涂布液暂时停留在缓冲箱102的方式无法充分地除去气泡w，会从缓冲箱102被供给混入气泡w的涂布液，因此成为涂布膜品质差的原因。因此，设置用于检测气泡w的传感器103，只要检测出输送自软管101a的涂布液内含有极少气泡w，就判断为软管101a内部已变空而更换新的涂布液箱101，由此不仅避免气泡w的混入，而且涂布液能够被继续供给到涂布装置105。

专利文献1：特开平5-304087号公报

发明内容

然而，上述的涂布液供给装置100存在抗蚀剂液等涂布液被白白废弃掉的问题。即，为了防止气泡w的混入，当检测出所输送的涂布液内含有气泡w时，被判断为涂布液箱101已变空而更换新的涂布液箱101，因此涂布液箱101以软管101a内还残留有一定量的涂布液的状态下被更换。尽管所残留的涂布液价格昂贵，但更换箱体时还是被废弃掉，因此存在需要花经营费用的问题。

本发明鉴于上述问题点，其目的在于提供一种避免涂布液被白白废弃且能够抑制所供给的涂布液中混入气泡w的涂布液供给装置、涂布液供给方法以及缓冲箱。

为了解决上述课题本发明的涂布液供给装置，包括存储涂布液的涂布液箱和暂时存储涂布液的缓冲箱，其中，通过加压所述涂布液箱使涂布液箱的涂布液供给到缓冲箱的同时自缓冲箱输送涂布液，由此供给涂布液箱的涂布液，其特征在于，包括对所述涂布液箱内的涂布液残余量进行检测的残余量检测装置，如果通过该残余量检测装置检测出所述涂布液箱内的涂布液残余量很少，则进行停止从所述缓冲箱输送涂布液的停止液体输送的工序，然后在停止从缓冲箱输送涂布液工序的状态下，进行将所述涂布液箱内的残留涂布液输送到缓冲箱的残余液体输送动作，然后进行更换涂布液箱的箱体更换动作。

根据上述涂布液装置，如果检测出涂布液箱的残余量很少，则通过停止液体输送动作停止输送自缓冲箱的供给。而且，在停止上述液体输送的状态下，通过残余液体输送动作将残留在涂布液箱的涂布液输送到缓冲箱，因此即使在大量气泡混入残留涂布液内的情况下，也能够防止气泡从缓冲箱流动到下游侧。残余液体输送动作结束后进行箱体更换动作，因此在更换箱体的所需时间内，被输送到缓冲箱的残留涂布液内的气泡受到浮力而上升，由此涂布液和气泡被分离。即，最后不仅能够使用完涂布液箱内的涂布液，而且也能够充分地除去涂布液内的气泡。因此，能够避免涂布液被白白废弃且能够抑制气泡混入到所供给的涂布液。

另外，设置有多个包括涂布液箱和缓冲箱的涂布液供给单元，这些涂布液供给单元的缓冲箱在共有供给路径上以择一的方式形成连通连接，在与所述供给路径进行连通连接的第一涂布液供给单元的缓冲箱中停止液体输送动作后，朝向所述供给路径的连接从第一涂布液供给单元切换到第二涂布液供给单元，由此形成由所述第二涂布液供给单元输送涂布液的构成。

根据该构成，停止第一涂布液供给单元的液体输送动作结束后，在所述供给路径上进行从第一涂布液供给单元切换到第二涂布液供给单元的连接交换，由此涂布液由第二涂布液供给单元进行输送。因此，第一涂布液供给单元停止液体输送动作后进行残余液体输送动作，由此输送在缓冲箱内混入有气泡的残留涂布液，因此在缓冲箱内进行分离气泡和涂布液的期间，在不停止涂布液供给的情况下由第二涂布液供给单元来供给涂布液。

另外，进行所述停止液体输送动作后、且进行残余液体输送动作之前，进行使所述缓冲箱的涂布液减少的涂布液减量动作，该减少量也可以被设定成通过所述残余液体输送动作所输送的涂布液箱内的残余液体量。

根据该构成，通过预先进行的残余液体输送动作，被供给到缓冲箱的涂布液量被减少，因此不需要在缓冲箱内另设容纳残余液体的容量。由此，能够抑制缓冲箱超过需求地大型化。

另外，所述缓冲箱也可以是下述结构，其包括：容器部，容纳所供给的涂布液；液体排出部，设置在该容器部的底面部，将所供给的涂布液排出而输送；液体供给部，将输送自涂布液箱的涂布液供给到所述容器部；其中，所述液体供给部包括从容器部的底面部延伸到容器部内部的导管部，且在所述导管部的前端具有排出涂布液的排出口。

根据该构成，将输送自涂布液箱的涂布液供给到容器部的液体供给部，被设置在延伸自容器部底面部的导管部的前端部分，另一方面，由于在底面部设置有排出容器部内的涂布液的液体排出部，因此液体供给部和液体排出部存在于相互分离的位置上。因此，即使残留涂布液供给自液体供给部的情况下，残留涂布液内的气泡也会从液体排出部马上被排出，因此能够抑制气泡流动到缓冲箱的下游侧。

另外，为了解决上述课题，根据本发明的涂布液供给方法，将涂布液供给到涂布液供给装置，其中所述涂布液供给装置包括存储涂布液的涂布液箱和暂时存储涂布液的缓冲箱，并使涂布液箱的涂布液经过缓冲箱后将涂布液供给到用来将涂布液涂布于基板的涂布装置上，其特征在于：所述涂布液供给装置具有检测出所述涂布液箱内的涂布液残余量的残余量检测装置，如果通过该残余量检测装置检测出所述涂布液箱内的涂布液的残余量很少，则包括以下步骤：停止从所述缓冲箱输送涂布液的液体输送停止工序；在停止从所述缓冲箱输送涂布液工序的状态下，进行将涂布液箱内的残留涂布液输送到缓冲箱的残余液体输送工序；更换涂布液箱的箱体更换工序。

根据上述涂布液供给方法，如果检测出涂布液箱的残余量剩下很少，则通过停止液体输送工序，从缓冲箱输送液体的工序被停止。而且，在停止该涂布液输送的状态下，通过残余液体输送工序将残留在涂布液箱的涂布液输送到缓冲箱，因此即使在大量气泡混入残留涂布液内的情况下，从缓冲箱输送涂布液的工序也被停止，因此能够防止气泡从缓冲箱流动到下游侧。而且，结束残余液体输送工序后进行箱体更换工序，因此在进行箱体更换工序的所需时间内，被输送到缓冲箱的残留涂布液内的气泡受到浮力而上升，由此涂布液和气泡被分离。即，最后不仅能够使用完涂布液箱内的涂布液，而且也能够充分地除去涂布液内的气泡。因此，能够避免涂布液被白白废弃、且能够抑制气泡混入到供给的涂布液中。

另外，为了解决上述课题，根据本发明的缓冲箱，其特征在于，包括：容器部，容纳所供给的涂布液；液体排出部，被设置在所述容器部的底面部且排出并输送所供给的涂布液；液体供给部，将输送自涂布液箱的涂布液供给到所述容器部；其中，所述液体供给部包括从容器部的底面部延伸到容器部内部的导管部，且在该导管部的前端上具有排出涂布液的排出口。

根据该构成，将输送自涂布液箱的涂布液供给到容器部的液体供给部被设置在从容器部的底面部延伸的导管部的前端部分，另一方面，由于排出容器部内的涂布液的液体排出部设置在底面部，因此液体供给部和液体排出部存在于互相分开的位置上。因此，即使残留涂布液被液体供给部所供给的情况下，残留涂布液内的气泡也从液体排出部马上被排出，因此能够抑制气泡流动到缓冲箱的下游侧。由此，混入有大量气泡的涂布液箱的残留涂布液被供给到缓冲箱的情况下，也能够抑制气泡流动到下游侧，因此能够避免涂布液被白白废弃。

根据本发明的涂布液供给装置、涂布液供给方法以及缓冲箱，不仅可以避免涂布液被白白废弃，而且能够进一步抑制气泡w混入到所供给的涂布液。

附图说明

图1为表示本发明一实施方式的涂布液供给装置的概略图；

图2为表示本发明一实施方式的缓冲箱的概略图；

图3为表示涂布液供给到缓冲箱的状态的图；

图4为表示涂布液供给装置动作的流程图；

图5为表示填充缓冲箱工序中阀的开闭状态的图；

图6为表示供给涂布液工序中阀的开闭状态的图；

图7为表示停止液体输送工序中阀的开闭状态的图；

图8为表示调整缓冲箱液量工序中阀的开闭状态的图；

图9为表示输送残留液工序中阀的开闭状态的图；

图10为表示更换箱体工序中阀的开闭状态的图；

图11为表示现有涂布液供给装置的图；

图12为在现有涂布液供给装置中表示涂布液变少的状态的图。

附图标记说明

10涂布液供给单元(第一涂布液供给单元)

11涂布液箱

12缓冲箱

20涂布液供给单元(第二涂布液供给单元)

41容器部

42液体供给部

43液体排出部

44排气部

45导管部

45a排出口

48气体导入部

60共有流路

F1a、F1b气泡检测传感器

具体实施方式

以下利用附图对涉及本发明的涂布液供给装置、涂布液供给方法和缓冲箱的实施方式进行说明。

图1为表示本发明一实施方式的涂布液供给装置的概略图；图2为表示缓冲箱的图。

如图1、图2所示，涂布液供给装置包括涂布液供给单元10(第一涂布液供给单元)、涂布液供给单元20(第二涂布液供给单元)，其中，上述涂布液供给装置是由该涂布液供给单元10、20朝向箱体或涂布装置的泵供给抗蚀剂液等涂布液的装置。本实施方式的图1表示的是涂布液从涂布液供给单元10、20经过备用箱2供给到涂布装置3的泵3a的例。本实施方式的涂布液供给装置表示的是具有两个涂布液供给单元10、20的例，其中，涂布液是由任一个涂布液供给单元10(或者涂布液供给单元20)供给，例如，如果一个涂布液供给单元10(或涂布液供给单元20)的涂布液结束供给，则由另一个涂布液供给单元20(或涂布液供给单元10)来供给涂布液。

在本实施方式中，涂布液可以从涂布液供给单元10、20被输送到备用箱2、涂布装置3，但是也可以直接输送到涂布装置3，在上述任一个构成中，均将液体被输送的一侧特别称为下游侧。

涂布液供给单元10包括存储涂布液的涂布液箱11和暂时存储涂布液的缓冲箱12，其中，涂布液箱11的涂布液被暂时存储在缓冲箱12后被供给到备用箱2。具体来说，涂布液箱11和缓冲箱12通过配管D1a形成连通连接，因此涂布液箱11的涂布液通过该配管D1a而供给到缓冲箱12。即，使设置在配管D1a的阀V1a处于打开状态而使涂布液从涂布液箱11进行输送，由此涂布液被供给到缓冲箱12。

涂布液箱11是存储大量涂布液的箱体，其存储相当于通过涂布装置涂布多个基板所需量的涂布液。该涂布液箱11包括：涂布液箱主体11a；气体导入部11b，用来向涂布液箱主体11a内导入气体；涂布液排出部11c，排出涂布液。

涂布液箱主体11a是存储涂布液的容器。该涂布液箱主体11a以可更换的方式构成，因此在没有涂布液的情况下，可以更换填充有涂布液的涂布液箱主体11a自身。该涂布液箱主体11a的上方部分设置有气体导入部11b，该气体导入部11b通过配管D2a与未图示的空气压缩机相连接。而且，在该配管D2a设置有阀V2a，通过打开和关闭该阀V2a的动作，能够将空气供给到涂布液箱主体11a。作为该阀V2a使用空气启动式阀，并通过后述的控制装置可控制开闭动作。然后，通过控制该阀V2a的开闭动作将空气供给到涂布液箱主体11a并进行加压，由此能够将涂布液箱主体11a的涂布液输送到缓冲箱12。即，如果在打开阀V2a的状态下空气被供给到涂布液箱主体11a，则涂布液箱主体11a的压力上升，由此涂布液箱主体11a的涂布液受到压力后通过涂布液排出部11c而排出到D1a并被输送到缓冲箱12。

另外，涂布液排出部11c中，呈导管状的管状部件按照从涂布液箱主体11a的上方延伸到下方的方式进行设置，且该管状部件与配管D1a相连接。而且，该管状部件被设置成延伸至涂布液箱主体11a的底面部分的方式，由此，当涂布液箱主体11a的涂布液残余量较少的情况下(液面在底面部附近的情况)通过配管D1a能够将涂布液输送到缓冲箱12。

在配管D1a上安装有用于检测气泡的气泡检测传感器F1a。该气泡检测传感器F1a是检测出涂布液箱主体11a的涂布液残余量变少情况的传感器。即，当涂布液箱主体11a内的涂布液残余量较少时，涂布液箱主体11a内的空气也会与涂布液一起被带走，因此涂布液以混入有气泡的状态被输送。因此即使是涂布液中混入微量气泡w的状态，也能够被检测出来，因此能够防止大量的气泡w被供给到缓冲箱12。

在图1所示的例中，虽然涂布液箱主体11a被表示成壳体部件，但其可以为壳体部件内包括软管状的袋部件的构成，通过增加壳体部件内部压力使袋部件内的涂布液被供给到缓冲箱12的构成。

另外，缓冲箱12是暂时存储输送自涂布液箱11的涂布液且除去涂布液内气泡的箱体。如图2所示，缓冲箱12包括：容器部41，其用于存储涂布液；液体供给部42，将输送自涂布液箱体11的涂布液供给到容器部41；液体排出部43，将涂布液排出到下游侧；以及排气部44，排出容器部41内的气体。

容器部41是能够存储涂布液的圆筒形状的壳体部件。该容器部41可以分割成上侧容器部41a和下侧容器部41b，且上侧容器部41a的凸缘部和下侧容器部41b的凸缘部以夹有密封部件的状态被连接固定。由此能够密封容器部41内的涂布液。另外，在容器部41中，上侧容器部41a和下侧容器部41b形成连接固定的使用状态下，容器部41的上面部41c和底面部41d形成互相面对面的状态，且底面部41d位于垂直方向下侧的状态。如果涂布液从涂布液箱11供给，则涂布液从容器部41的底面部41d依次被填满。

另外，液体供给部42是朝向容器部41供给涂布液的部分，在本实施方式中，液体供给部42具有从容器部41的底面部41d延伸至容器部41内部的导管部45。具体来说，底面部41d上形成有与配管D1a相连接的供给孔，且在该供给孔上安装有导管部45。而且，在导管部45的前端部分形成有朝向容器部41开口的排出口45a，因此如果涂布液从涂布液箱11通过配管D1a被输送，则涂布液能够从排出口45a供给到容器部41。具体来说，该导管部45a按照在垂直方向上可维持直立姿势的方式进行固定，因此通过配管D1a被输送的涂布液从排出口45a涌出并沿着导管部45的侧面部45b而供给到容器部41。即，沿着导管部45的侧面部45b进行供给，因此与以从排出口45a猛烈喷出的方式供给涂布液的情况相比，供给涂布液时气泡产生的情况能够得到抑制，能够从容器部41的底面部41d平静地填满涂布液。

在此，容器部11中设置有液面传感器C1a、C2a，因此能够检测出供给到容器部41的涂布液容量。即，在本实施方式中，液面传感器C1a作为检测出涂布液液量上限的传感器设置在导管部45的排出口45a的上方。而且，如果涂布液液面与液面传感器C1a的高度一致，则液面传感器C1a做出反应，因此能够防止容器部41内的涂布液被供给至该液面高度以上。另外，液面传感器C2a作为控制涂布液液量下限的传感器设置在低于导管部45排出口45a的下方。在本实施方式中，液面传感器C2a被设置在与液面传感器C1a做出反应的上限值相比，少于规定量上做出反应的位置上。具体来说，按照涂布液箱11的残余涂布液量变得极少、且与气泡检测传感器F1a做出反应时的涂布液箱11的涂布液量几乎相同的方式进行设定。

另外，排气部44是排出容器部41内的气体的部分，在本实施方式中排气部44设置在上侧容器部41a上。具体来说，排气孔朝向上侧容器部41a的上面部41c开口而形成，在该排气孔上连通连接有配管D4a。在该配管D4a上设置有阀V4a，且配管D4a的端部处于向大气开口的状态。而且，所使用的阀V4a是空气启动式阀，通过控制装置能够控制阀的开闭动作。由此，通过控制阀V4a的开闭动作而排出容器部41内气体，同时能够调节容器部41内的压力。由此，涂布液从液体供给部42被供给到容器部41且控制上述阀V4a的开闭动作使容器部41内的气体排出，因此能够抑制容器部41内的压力上升，以便使规定量的涂布液能够稳定地被供给到容器部41。

液体排出部43是将存储在容器部41的涂布液排出到涂布装置3一侧的部分，在本实施方式中，所排出的涂布液被输送到下游侧的备用箱2。该液体排出部43是朝向底面部41d开口而形成的排出孔。而且，液体排出部43和备用箱2通过配管D3a相连接，因此存储在容器部41的涂布液通过配管从液体排出部43排出到备用箱2。具体来说，配管D3a和共有流路60通过阀V3a而被连接，共有流路60与备用箱2形成连通连接。所使用的阀V3a是空气启动式阀且通过控制装置可控制阀的开闭动作。因此如果在阀V4a处于关闭状态且阀V1a、V2a和阀V3a处于打开状态的情况下空气被供给到涂布液箱主体11a，则涂布液箱主体11a的涂布液被输送到缓冲箱12，该被输送的涂布液使缓冲箱12内的压力上升，因此缓冲箱12内的涂布液受到压力后通过配管D3a和共有流路60而被输送到下游侧的备用箱2。而且，由于液体排出部43设置在底面部41d上，因此假定涂布液中混入气泡w的情况下也能够除去涂布液中的气泡w。即，如图3所示，如果涂布液和气泡w从液体供给部42的排出口45a一同被供给，则气泡w虽然与涂布液一起流向底面部41d，但是因受到浮力而马上上升，因此气泡w与涂布液一同从液体排出部43排出的情况能够得到抑制。另外，液体供给部42的排出口45a被配置在离开设有液体排出部43的底面部41d的位置上。因此即使在供给自液体供给部42的排出口45a的涂布液中混入气泡w的情况下，也能够抑制气泡w与涂布液从液体排出部43一同排出的情况，且能够除去涂布液内的气泡w。

另外，容器部41的上面部41c上设置有气体导入部48。该气体导入部48具有与涂布液箱11的气体导入部11b相同的功能，空气从该气体导入部48供给，因此即使涂布液没有从涂布液箱11进行输送的情况下，也可以将容器部41内的涂布液排出到下游侧。具体来说，气体导入部48与未图示的空气压缩机通过配管D5a相连接。而且，在该配管D5a上设置有阀V5a，通过对该阀V5a的开闭动作能够将空气供给到容器部41。所使用的该阀V5a为空气启动式阀，通过控制装置可控制阀的开闭动作。通过控制该阀V5a的开闭动作，朝向容器部41供给空气，由此容器部41的涂布液能够被输送到备用箱2。即，如果在阀V3a、阀V5a处于打开状态且阀V1a、阀V4a处于关闭的状态下空气被供给到容器部41，则容器部41的压力上升而使容器部41的涂布液受到压力，由此涂布液通过液体排出部43排出到配管D3a，且经过共有流路60(共有的供给流路)被输送到备用箱2。

另外，在本实施方式中，除了涂布液供给单元10以外另设有涂布液供给单元20。该涂布液供给单元20具有与涂布液供给单元10相同的构成，且在图1中，位于对应位置关系的构成部件具有同样的功能。因此，对于涂布液供给单元20，省略该部分的说明。

这些涂布液供给单元10、20与共有流路60形成连通连接，且通过切换与该共有流路60的连接，能够由涂布液供给单元10、20的任一个单元朝向涂布装置3供给涂布液。即，将阀V3a设定成打开状态、将阀V3b设定成关闭状态时，共有流路60与涂布液供给单元10形成连通连接，因此由涂布液供给单元10来供给涂布液。另外，将阀V3b设定成打开状态、将阀V3a设定成关闭状态时，共有流路60与涂布液供给单元20形成连通连接，因此由涂布液供给单元20来供给涂布液。

另外，在该涂布液供给装置上设置有未图示的控制装置。通过该控制装置，涂布液供给装置被全面控制。具体来说，接收来自气泡检测传感器F1a、F1b、液面传感器C1a、C2a、C1b、C2b等各个传感器的信号，由此可控制各阀V1a、V2a…的开闭动作。通过控制各阀V1a、V2a…的开闭动作，对涂布液箱11、21和缓冲箱12、22的液体输送、停止等进行控制。

以下，根据图4所示的流程图以及图5～图10的各工序中表示阀的开闭状态的图，对上述涂布液供给装置的动作进行说明。其中，在图5～图10中，未涂黑的阀表示打开状态，涂黑的阀表示关闭状态，另外，在该说明中，对最初由涂布液供给单元10供给涂布液、之后由涂布液供给单元20供给涂布液的例进行说明。

首先，通过步骤S1进行缓冲箱的填充(缓冲箱填充工序)。即，由涂布液供给单元10的涂布液箱11来输送涂布液，由此规定量的涂布液被填充到缓冲箱12。具体来说，如图5所示，阀V1a、V2a、V4a被设成打开状态，如果空气通过气体导入部11b从配管D2a进行供给，则涂布液箱主体11a的涂布液受到压力后，涂布液通过涂布液排出部11c排出到配管D1a并被输送到缓冲箱12。然后，通过配管D1a进行输送的涂布液从液体供给部42的排出口45a涌出并沿着导管部45的侧面部45b而供给到容器部41。然后，涂布液被填充到缓冲箱12的容器部41，打开液面传感器C2a的开关，涂布液被进一步供给，由此打开液面传感器C1a的开关，由此当被判断为规定量的涂布液已被供给到缓冲箱12时，填充缓冲箱的工序就结束。

然后，通过步骤S2朝向涂布装置供给涂布液(涂布液供给工序)。即，缓冲箱12的涂布液通过备用箱2被供给到涂布装置3。具体来说，如图6所示，打开液面传感器C1a的开关时，阀V4a处于关闭状态、阀V3a处于打开状态，由此缓冲箱12的涂布液被供给到涂布装置3。即，如果通过形成图6所示的阀的开闭状态，空气从配管D2a通过气体导入部11b而被供给时，则涂布液箱主体11a的涂布液被输送到缓冲箱12，通过该输送的涂布液使缓冲箱12内的压力上升，排出自液体排出部43的涂布液通过配管D3a和共有流路60并经过备用箱2输送到涂布装置3。由此，被供给的涂布液通过泵3a的驱动被排出来，由此涂布液被涂布在作为涂布对象的基板等上。

其次，通过步骤S3停止液体输送(液体输送停止工序)。即，如果涂布液箱11的涂布液残余量极少，则为了防止排出自液体排出部43的涂布液中混入有大量气泡w而停止液体输送。具体来说，如果通过气泡检测传感器F1a，检测出配管D1a内的涂布液中含有气泡，则如图7所示，一直处于打开状态的阀V1a、V3a被关闭，由此停止液体输送。即，通过阀V1a、V3a被关闭，由此不仅防止新的气泡w被供给到缓冲箱12，且防止供给到缓冲箱12的气泡w自液体排出部43排出。由此，通过气泡检测传感器F1a检测出的气泡w即使被供给到缓冲箱12，由于阀V1a、V3a处于关闭状态而使液体输送处于停止状态、且液体供给部42与液体排出部43相分离，因此被排出自液体供给部42的排出口45a的气泡w通过浮力而上升。由此，能够防止气泡w从液体排出部43排出。其中，在处于停止液体输送状态的情况下，只要配管D1a中的气泡w被检测出，则马上处于停止液体输送的状态，因此在涂布液箱11中尚残存有废弃掉太可惜的涂布液量。

其次，通过步骤S4进行缓冲箱的液量调整(缓冲箱液量调整工序)。即，通常来说，缓冲箱12也存在空间性问题，缓冲箱的大小被设计成难以从液面传感器C1a反应的状态进一步添加涂布液的大小。因此，为了将残留在涂布液箱11的涂布液输送到缓冲箱12，必须调整缓冲箱12的液量，以使缓冲箱12的涂布液量减少相当于残留在涂布液箱11的涂布液量。具体来说，如图8所示，打开阀V3a、V5a，通过气体导入部48将空气从配管D5a供给到容器部41内。由此，涂布液通过液体排出部43排出到配管D3a，并经过共有流路60被输送到备用箱2。上述涂布液输送一直进行到液面传感器C2a的OFF为止，由此减少缓冲箱12的液量。于是，如果缓冲箱12的液量减少且液面传感器C2a关闭，则阀V1a、V3a处于关闭状态并结束缓冲箱的液量调整。

另一方面，如果通过该缓冲箱的液量调整而阀V1a、V3a处于关闭状态，则进行切换到涂布液供给单元20的准备。即，打开阀V1b、V2b、V4b以将涂布液供给到缓冲箱22，由此进行涂布液供给单元20的缓冲箱填充工序。

其次，通过步骤S5进行输送残余液体的动作(残余液体输送工序)。即，不浪费残留在涂布液箱11的涂布液，将其输送到缓冲箱12。具体来说，如图9所示，在打开阀V1a、V2a、V4a的状态下，如果空气通过气体导入部11b从配管D2a进行供给，则涂布液通过涂布液排出部11c而排出到配管D1a且被输送到缓冲箱12。即，在液面传感器C1a处于ON状态之前，一直输送残留在涂布液箱11的涂布液。在此，由于涂布液箱11的涂布液残余量处于较少的状态，因此大量的空气会与涂布液一起进入到涂布液排出部11c，因此涂布液以混入有大量气泡w的状态被供给到缓冲箱12。即，混入有大量气泡w的涂布液从液体供给部42的排出口45a处供给，因此容器部41内分散着大量的气泡w，但是由于排出口45a与液体排出部42配置在相分离的位置、而且阀V3a一直维持关闭状态，因此不产生从液体排出部43朝向配管D3a的流动，由此混入在涂布液中的气泡w会残存于容器部41内。

其次，进行涂布液箱的更换(箱体更换工序)。具体来说，朝向涂布装置3的涂布液供给是由涂布液供给单元20进行，并涂布液供给单元10的涂布液箱11被更换成填充有涂布液的涂布液箱11。即，如图10所示，如果针对与涂布液供给单元10的缓冲箱液量调整工序结束的同时开始进行的涂布液供给单元20的缓冲箱填充动作结束，则在阀V2b、V1b、V3b处于打开的状态下，空气通过气体导入部21b从配管D2b进行供给，因此涂布液箱主体21a的涂布液被输送到缓冲箱22，且通过被输送的上述涂布液而缓冲箱22内的压力上升，并排出自液体排出部53的涂布液通过配管D3b和共有流路60，经过备用箱2被输送到涂布装置3。由此，涂布液能够无中断地继续供给到涂布装置3。

另外，由于进行上述涂布液箱11的更换，因此可利用该箱体更换工序时间除去涂布液供给单元10的容器部41内的气泡w。即，在涂布液供给单元20进行涂布液供给的同时更换涂布液供给单元10的涂布液箱11期间，并下一个涂布液供给单元10的缓冲箱12开始输送液体之前，能够确保充分的时间，因此能够使存在于供给到缓冲箱12的涂布液中的所有气泡w通过浮力上升。即，能够使涂布液内的大量气泡w从液体排出部43分离，并除去残留在涂布液内的大量气泡w。由此，即使供给含有大量气泡w的涂布液，也能够抑制气泡w被供给到涂布装置3一侧的情况，因此能够无浪费地使用涂布液箱11的涂布液。

其次，根据图4的流程图，在涂布液供给单元20上也进行上述的涂布液供给单元10的动作。另外，从涂布液供给单元20再次切换为涂布液供给单元10，由此能够继续向涂布装置3供给涂布液。

综上所述，根据上述实施方式的涂布液供给装置，如果检测出涂布液箱的残余量很少，则通过停止输送液体的动作停止从缓冲箱的液体输送。然后，在停止该液体输送的状态下，通过残余液体输送动作将残留在涂布液箱的涂布液输送到缓冲箱，由此，即使在大量的气泡混入于所残留的涂布液内的情况下，也能够防止气泡通过缓冲箱流动到下游侧。另外，进行残余液体输送动作后进行箱体更换动作，由此在更换箱体的所需时间内，存在于被输送到缓冲箱的残留涂布液内的气泡受到浮力而上升，由此能够使涂布液和气泡分离。即，能够用尽涂布液箱内的涂布液，同时也能够充分除去涂布液内的气泡。因此，能够避免涂布液被白白废弃，且能够抑制气泡混入到供给的涂布液内。

另外，在上述实施方式中，虽然对设置两个涂布液供给单元的实施方式进行了说明，但是也可以是设置三个以上的涂布液供给单元的结构。此时，一个涂布液供给单元结束涂布液供给后，剩下的两个涂布液供给单元结束涂布液供给期间，能够充分确保使涂布液和气泡w分离的时间，因此与设置两个涂布液供给单元的实施方式相比，能够可靠地除去气泡w。另外，也可以是不设置多个涂布液供给单元的结构，仅设置一个涂布液供给单元的结构。即使在这种情况下，在更换箱体的工序中可以利用更换排尽涂布液的涂布液箱的时间而除去气泡w。

Claims (5)

1.一种涂布液供给装置，包括：涂布液箱，存储涂布液；缓冲箱，暂时存储涂布液，其中，通过加压所述涂布液箱使涂布液箱的涂布液供给到缓冲箱，且从缓冲箱输送涂布液，其特征在于：

包括：残余量检测装置，对所述涂布液箱内的涂布液残余量进行检测，

通过该残余量检测装置，当检测出所述涂布液箱内的涂布液残余量很少，则进行停止从所述缓冲箱输送涂布液的液体输送停止动作，然后在停止从缓冲箱输送涂布液的动作状态下，进行将所述涂布液箱内的残留涂布液输送到缓冲箱的残余液体输送动作，然后进行更换涂布液箱的箱体更换动作。

2.如权利要求1所述的涂布液供给装置，其特征在于：

设置有多个包括所述涂布液箱和所述缓冲箱的涂布液供给单元，这些涂布液供给单元的缓冲箱在共有供给路径上以择一的方式形成连通连接，在与所述供给路径形成连通连接的第一涂布液供给单元的缓冲箱中停止液体输送动作后，朝向所述供给路径的连接从第一涂布液供给单元切换到第二涂布液供给单元，由所述第二涂布液供给单元输送涂布液。

3.如权利要求1或2所述的涂布液供给装置，其特征在于：

在所述液体输送动作停止后、且在残余液体输送动作进行之前，进行使所述缓冲箱的涂布液减少的涂布液减量动作，该减少量为通过所述残余液体输送动作进行输送的涂布液箱内的残余量。

4.如权利要求1～3中任一项所述的涂布液供给装置，其特征在于：所述缓冲箱包括：

容器部，容纳所供给的涂布液；

液体排出部，设置在所述容器部的底面部，排出并输送所供给的涂布液；

液体供给部，将输送自涂布液箱的涂布液供给到所述容器部；

其中，所述液体供给部包括从容器部的底面部延伸到容器部内部的导管部，且在该导管部的前端上具有排出涂布液的排出口。

5.一种涂布液供给方法，将涂布液供给到涂布液供给装置，其中所述涂布液供给装置包括存储涂布液的涂布液箱和暂时存储涂布液的缓冲箱，并将涂布液箱的涂布液经过缓冲箱后供给到用来将涂布液涂布于基板的涂布装置上，其特征在于：

所述涂布液供给装置包括对所述涂布液箱内的涂布液残余量进行检测的残余量检测装置，

当通过该残余量检测装置检测出所述涂布液箱内的涂布液残余量很少时，包括以下步骤：停止从所述缓冲箱输送涂布液的液体输送停止工序；在停止从所述缓冲箱输送涂布液工序的状态下，将涂布液箱内的残留涂布液输送到缓冲箱的残余液体输送工序；更换涂布液箱的箱体更换工序。