JP2000189880A - 塗布方法および装置ならびにカラ―フィルタの製造方法 - Google Patents
塗布方法および装置ならびにカラ―フィルタの製造方法Info
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- JP2000189880A JP2000189880A JP10373802A JP37380298A JP2000189880A JP 2000189880 A JP2000189880 A JP 2000189880A JP 10373802 A JP10373802 A JP 10373802A JP 37380298 A JP37380298 A JP 37380298A JP 2000189880 A JP2000189880 A JP 2000189880A
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- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/26—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface
- B05D1/265—Extrusion coatings
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の異なる液を混合してなる塗布液を塗布
する際の省力化および高信頼化を図る。 【解決手段】 塗布液供給装置により塗布液吐出用のス
リットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給しつつ、被塗
布材を保持するステージと前記塗布ヘッドとを相対的に
移動させることにより、被塗布材表面に塗膜を形成する
際、２つ以上の異なる塗布液の一定の比率での混合と、
その混合液の前記塗布ヘッドへの供給とを実質的に併行
する。
する際の省力化および高信頼化を図る。 【解決手段】 塗布液供給装置により塗布液吐出用のス
リットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給しつつ、被塗
布材を保持するステージと前記塗布ヘッドとを相対的に
移動させることにより、被塗布材表面に塗膜を形成する
際、２つ以上の異なる塗布液の一定の比率での混合と、
その混合液の前記塗布ヘッドへの供給とを実質的に併行
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、塗布液吐出用ス
リットを介して被塗布材表面に塗布液を塗布する方法お
よび装置に関する。このような方法および装置は、特に
カラーテレビ、パーソナルコンピュータ、パチンコ遊戯
台等に使用されるカラーフィルタを製造する際、好適に
用いられる。
リットを介して被塗布材表面に塗布液を塗布する方法お
よび装置に関する。このような方法および装置は、特に
カラーテレビ、パーソナルコンピュータ、パチンコ遊戯
台等に使用されるカラーフィルタを製造する際、好適に
用いられる。
【０００２】
【従来の技術】従来、カラーフィルタの製造方法として
は、染料法、顔料分散法、電着法、印刷法等がある。し
かしながら、これらの方法においては、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色
を着色するために同一工程を３回繰り返す必要があり、
工程数が多いために、歩留まりが低下し、コストが高く
なる、等の欠点を有するという問題がある。また、電着
法は、形成可能なパターンの形状が限定されるため、Ｔ
ＦＴへの適用が困難である。また印刷法は、解像性が悪
く、パターン微細化への対応が困難である等の欠点も有
する。
は、染料法、顔料分散法、電着法、印刷法等がある。し
かしながら、これらの方法においては、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色
を着色するために同一工程を３回繰り返す必要があり、
工程数が多いために、歩留まりが低下し、コストが高く
なる、等の欠点を有するという問題がある。また、電着
法は、形成可能なパターンの形状が限定されるため、Ｔ
ＦＴへの適用が困難である。また印刷法は、解像性が悪
く、パターン微細化への対応が困難である等の欠点も有
する。
【０００３】そこで、これらの欠点を補うべく、ガラス
基板上にインクジェットを吐出させてフィルタのパター
ンを形成する技術が提案されている（特開昭５９−７５
２０５等）。この技術では、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の画素を同
時に形成するため、工程の大幅な短縮が可能である。し
かし、この技術では、液滴状態でＲＧＢ各色を描画する
ため、各色間での色が混じりあう混色という現象が起こ
る。
基板上にインクジェットを吐出させてフィルタのパター
ンを形成する技術が提案されている（特開昭５９−７５
２０５等）。この技術では、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の画素を同
時に形成するため、工程の大幅な短縮が可能である。し
かし、この技術では、液滴状態でＲＧＢ各色を描画する
ため、各色間での色が混じりあう混色という現象が起こ
る。
【０００４】このような混色を防止するため、特開平８
−７５９１６には、基板上に、インク受容性を有し光や
熱等によって硬化しまたは親水基残量が減少してインク
受容性が低下する樹脂または樹脂組成物の層（インク受
容層）を形成し、画素間の非画素領域の少なくとも一部
を硬化または親水基残量を減少させて撥インク性化して
混色防止層（撥インク層）を形成することにより、自画
素の色抜けおよび隣接画素へのインクの滲みや混色を防
止する技術が提案されている。
−７５９１６には、基板上に、インク受容性を有し光や
熱等によって硬化しまたは親水基残量が減少してインク
受容性が低下する樹脂または樹脂組成物の層（インク受
容層）を形成し、画素間の非画素領域の少なくとも一部
を硬化または親水基残量を減少させて撥インク性化して
混色防止層（撥インク層）を形成することにより、自画
素の色抜けおよび隣接画素へのインクの滲みや混色を防
止する技術が提案されている。
【０００５】また、カラーフィルタの製造工程において
は、上記のインク受容層や撥インク層以外にも、着色面
を保護するための保護層（オーバーコート）が樹脂で形
成される。さらに、このカラーフィルタを用いて表示す
る際の高コントラスト化または高精彩化のためのブラッ
クマトリクスをエッチングするための感光剤も樹脂であ
り、またブラックマトリクス自体が樹脂（樹脂マトリク
ス）で形成される場合もある。
は、上記のインク受容層や撥インク層以外にも、着色面
を保護するための保護層（オーバーコート）が樹脂で形
成される。さらに、このカラーフィルタを用いて表示す
る際の高コントラスト化または高精彩化のためのブラッ
クマトリクスをエッチングするための感光剤も樹脂であ
り、またブラックマトリクス自体が樹脂（樹脂マトリク
ス）で形成される場合もある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
樹脂層または樹脂膜を形成するための塗布液は、通常、
２つ以上の液状成分を一定の比率で混合して用いられ
る。従来、このような混合液は、予め半日分または１日
分というように比較的大量に作成され、これを図２に示
すように塗料タンク４１に貯蔵してそのタンク４１から
被塗布材７へ供給するようにしていた。図２において、
５は口金、６は塗膜、７は被塗工材、８は搬送ステー
ジ、４１は塗料タンク、４２は配管、４３は定量ポン
プ、４４は開閉弁、４５はフィルタ、５４は塗料スリッ
トである。
樹脂層または樹脂膜を形成するための塗布液は、通常、
２つ以上の液状成分を一定の比率で混合して用いられ
る。従来、このような混合液は、予め半日分または１日
分というように比較的大量に作成され、これを図２に示
すように塗料タンク４１に貯蔵してそのタンク４１から
被塗布材７へ供給するようにしていた。図２において、
５は口金、６は塗膜、７は被塗工材、８は搬送ステー
ジ、４１は塗料タンク、４２は配管、４３は定量ポン
プ、４４は開閉弁、４５はフィルタ、５４は塗料スリッ
トである。
【０００７】上記のような混合液は、時間の経過ととも
に粘度が変化して塗布厚の制御が困難であったり、塗布
液供給経路内にゲル等が発生して塗布欠陥が生じるため
高頻度の洗浄を余儀なくされたり、また、ポットライフ
（使用時限）の制約により、混合および塗料タンク４１
への充填の頻度が増えたり、混合液が無駄になる等の問
題があった。
に粘度が変化して塗布厚の制御が困難であったり、塗布
液供給経路内にゲル等が発生して塗布欠陥が生じるため
高頻度の洗浄を余儀なくされたり、また、ポットライフ
（使用時限）の制約により、混合および塗料タンク４１
への充填の頻度が増えたり、混合液が無駄になる等の問
題があった。
【０００８】この発明は、上述の従来例における問題点
に鑑みてなされたもので、複数の異なる液を混合してな
る塗布液を塗布する際の省力化および高信頼化を図るこ
とを目的とする。
に鑑みてなされたもので、複数の異なる液を混合してな
る塗布液を塗布する際の省力化および高信頼化を図るこ
とを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
めこの発明の塗布方法では、塗布液供給装置により塗布
液吐出用のスリットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給
しつつ、被塗布材を保持するステージと前記塗布ヘッド
とを相対的に移動させることにより、被塗布材表面に塗
膜を形成する際、２つ以上の異なる塗布液の一定の比率
での混合と、その混合液の前記塗布ヘッドへの供給とを
同時並行的に行なうようにしている。
めこの発明の塗布方法では、塗布液供給装置により塗布
液吐出用のスリットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給
しつつ、被塗布材を保持するステージと前記塗布ヘッド
とを相対的に移動させることにより、被塗布材表面に塗
膜を形成する際、２つ以上の異なる塗布液の一定の比率
での混合と、その混合液の前記塗布ヘッドへの供給とを
同時並行的に行なうようにしている。
【００１０】
【作用】この発明によれば、複数の異なる液を混合して
なる塗布液の塗布の際、液の混合を塗布の直前に行なう
ことができ、塗布液のポットライフに制約なく塗布が可
能となる。また、塗布液供給経路内にゲル等の発生を抑
止することができ、これによる塗布欠陥を防止すること
ができる。
なる塗布液の塗布の際、液の混合を塗布の直前に行なう
ことができ、塗布液のポットライフに制約なく塗布が可
能となる。また、塗布液供給経路内にゲル等の発生を抑
止することができ、これによる塗布欠陥を防止すること
ができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、添付図面によってこの発明
の好ましい実施の形態を詳細に説明する。図１はこの発
明の枚葉塗工方法が実施される塗工装置の一例を示す概
略図である。同図において、２液混合タイプの塗料は塗
料タンク１１および塗料タンク２１からそれぞれ定量ポ
ンプ１４、定量ポンプ２４によって送液される。この定
量ポンプ１４および定量ポンプ２４とはギヤポンプ、ダ
イヤフラムポンプ、シリンジポンプなどの容積式ポンプ
を示している。またポンプのほかの塗料供給機構として
塗料タンクを圧力容器に入れ、この圧力容器に対して加
圧ポンプにより加圧空気を供給することによって塗料を
押し出す形式も可能である。定量ポンプ１４から送り出
される液の流量と定量ポンプ２４から送り出される液の
流量の比率は一定に保たれている。
の好ましい実施の形態を詳細に説明する。図１はこの発
明の枚葉塗工方法が実施される塗工装置の一例を示す概
略図である。同図において、２液混合タイプの塗料は塗
料タンク１１および塗料タンク２１からそれぞれ定量ポ
ンプ１４、定量ポンプ２４によって送液される。この定
量ポンプ１４および定量ポンプ２４とはギヤポンプ、ダ
イヤフラムポンプ、シリンジポンプなどの容積式ポンプ
を示している。またポンプのほかの塗料供給機構として
塗料タンクを圧力容器に入れ、この圧力容器に対して加
圧ポンプにより加圧空気を供給することによって塗料を
押し出す形式も可能である。定量ポンプ１４から送り出
される液の流量と定量ポンプ２４から送り出される液の
流量の比率は一定に保たれている。
【００１２】定量ポンプ１４および定量ポンプ２４から
送り出された塗料は撹拌ユニット３によって均一に混合
される。この撹拌ユニット３とはらせん状の流路を持つ
スタティックミキサー、ギアやファンを回転させて撹拌
を行なうタイプのダイナミックミキサーなどを示してい
る。また塗料タンク１１および２１から定量ポンプ１４
および２４までの配管１２および２２の経路にはフィル
タ１３および２３が設けられさらに必要に応じて開閉弁
を設けても良い。
送り出された塗料は撹拌ユニット３によって均一に混合
される。この撹拌ユニット３とはらせん状の流路を持つ
スタティックミキサー、ギアやファンを回転させて撹拌
を行なうタイプのダイナミックミキサーなどを示してい
る。また塗料タンク１１および２１から定量ポンプ１４
および２４までの配管１２および２２の経路にはフィル
タ１３および２３が設けられさらに必要に応じて開閉弁
を設けても良い。
【００１３】均一に混合された液は撹拌３を経てリザー
バタンク２５に一度貯留される。そして定量ポンプ４３
によって口金に供給される。しかし、リザーバタンク２
５を介さず定量ポンプ４３へ直接混合塗料を供給する形
態や、撹拌ユニット３から直接口金５に混合塗料を供給
する形態も可能である。なお、リザーバタンク２５を介
さずに混合塗料を供給する場合であっても、被塗工材端
部で混合塗料の供給を停止する等の場合、攪拌機３から
流出する混合塗料を一時貯留するバッファタンクとして
前記リザーバタンク２５を接続しておくことが好まし
い。また、リザーバタンク２５は、図２の従来装置にお
いて混合液を貯蔵するために用いていた塗料タンク４１
をそのまま用いてもよいが、より小容量のタンクでも足
りる。
バタンク２５に一度貯留される。そして定量ポンプ４３
によって口金に供給される。しかし、リザーバタンク２
５を介さず定量ポンプ４３へ直接混合塗料を供給する形
態や、撹拌ユニット３から直接口金５に混合塗料を供給
する形態も可能である。なお、リザーバタンク２５を介
さずに混合塗料を供給する場合であっても、被塗工材端
部で混合塗料の供給を停止する等の場合、攪拌機３から
流出する混合塗料を一時貯留するバッファタンクとして
前記リザーバタンク２５を接続しておくことが好まし
い。また、リザーバタンク２５は、図２の従来装置にお
いて混合液を貯蔵するために用いていた塗料タンク４１
をそのまま用いてもよいが、より小容量のタンクでも足
りる。
【００１４】リザーバタンク２５から口金５に至る配管
４２の経路内に必要に応じて開閉弁４４が設けられる。
４２の経路内に必要に応じて開閉弁４４が設けられる。
【００１５】フロントリップ５１およびリアリップ５２
からなる口金５には塗料供給口および塗料が塗料供給口
から塗料スリット５４へと流れる間に塗料の圧力分布を
均一とさせるためのマニホールド５３を備えている。
からなる口金５には塗料供給口および塗料が塗料供給口
から塗料スリット５４へと流れる間に塗料の圧力分布を
均一とさせるためのマニホールド５３を備えている。
【００１６】口金５は一定の間隙（クリアランス）を介
して被塗工材７に相対して設置する。このクリアランス
は５００μｍから２０μｍの範囲が好ましい。被塗工材
７は平坦な搬送ステージ８上に設置されており、塗工中
にずれることのないよう搬送ステージ８に真空吸着され
ている。
して被塗工材７に相対して設置する。このクリアランス
は５００μｍから２０μｍの範囲が好ましい。被塗工材
７は平坦な搬送ステージ８上に設置されており、塗工中
にずれることのないよう搬送ステージ８に真空吸着され
ている。
【００１７】口金５に塗料を定量ポンプ４３から供給を
開始し、直ちにまたは一定時間経過後口金５または搬送
ステージ８を平行移動する。被塗工材端部に達しようと
するときに定量ポンプ４３からの塗料の供給を停止し、
口金５または搬送ステージ８の移動も停止する。こうし
て均一な膜厚分布の薄膜が塗工される。
開始し、直ちにまたは一定時間経過後口金５または搬送
ステージ８を平行移動する。被塗工材端部に達しようと
するときに定量ポンプ４３からの塗料の供給を停止し、
口金５または搬送ステージ８の移動も停止する。こうし
て均一な膜厚分布の薄膜が塗工される。
【００１８】
【実施例】以下、この発明の実施例および比較例を説明
する。 （実施例１）２液硬化型樹脂であるＳＳ−６６９９Ｇ
（主剤）およびその硬化剤であるＳＳ−０６９９Ｇ（と
もにＪＳＲ製）を塗料として採用し、３６０ｍｍ×４６
５ｍｍ×０．７ｍｍの無アルカリガラス基板１７３７
（コーニング製）全面に３層低反射クロム膜を成膜した
基板を被塗工材として使用し、図１に示すような構成の
塗工装置によって塗工を行なった。
する。 （実施例１）２液硬化型樹脂であるＳＳ−６６９９Ｇ
（主剤）およびその硬化剤であるＳＳ−０６９９Ｇ（と
もにＪＳＲ製）を塗料として採用し、３６０ｍｍ×４６
５ｍｍ×０．７ｍｍの無アルカリガラス基板１７３７
（コーニング製）全面に３層低反射クロム膜を成膜した
基板を被塗工材として使用し、図１に示すような構成の
塗工装置によって塗工を行なった。
【００１９】定量ポンプ１４、２４、４３はすべて高精
度ダイヤフラムポンプを使用した。撹拌ユニット３とし
てはギアを用いたダイナミックミキサーを用いた。基板
搬送ステージ８の駆動には高精度サーボモータを採用し
た。
度ダイヤフラムポンプを使用した。撹拌ユニット３とし
てはギアを用いたダイナミックミキサーを用いた。基板
搬送ステージ８の駆動には高精度サーボモータを採用し
た。
【００２０】前述のＳＳ−６６９９Ｇを塗料タンク１１
に、ＳＳ−０６９９Ｇを塗料タンク２１に仕込み、予め
口金５に至るまでの送液路内を混合塗料で満たした。
に、ＳＳ−０６９９Ｇを塗料タンク２１に仕込み、予め
口金５に至るまでの送液路内を混合塗料で満たした。
【００２１】定量ポンプ１４の流量を６１．４μｌ／ｓ
ｅｃに、定量ポンプ２４の流量を１２．７μｌ／ｓｅｃ
に設定し、主剤と硬化剤の体積比を２９：６に保つよう
にした。
ｅｃに、定量ポンプ２４の流量を１２．７μｌ／ｓｅｃ
に設定し、主剤と硬化剤の体積比を２９：６に保つよう
にした。
【００２２】また、リザーバタンクの容量は５０ｍｌと
し、２０ｍｌ付近の位置と５０ｍｌの位置に液面センサ
（不図示）を設け、２０ｍｌまでリザーバタンク内の混
合塗料の液量が減少したとき定量ポンプ１４および２４
の供給を再開し、５０ｍｌまでリザーバタンクの混合塗
料の液量が達したとき、この供給を停止することとし
た。
し、２０ｍｌ付近の位置と５０ｍｌの位置に液面センサ
（不図示）を設け、２０ｍｌまでリザーバタンク内の混
合塗料の液量が減少したとき定量ポンプ１４および２４
の供給を再開し、５０ｍｌまでリザーバタンクの混合塗
料の液量が達したとき、この供給を停止することとし
た。
【００２３】スリットギャップを３０μｍ、口金先端か
ら被塗工材表面の距離（クリアランス）を５０μｍに設
定した。また混合塗料が被塗工材７の側面および裏面へ
回り込まないよう、スリット先端の吐出口の渡り方向の
幅を３５６ｍｍとした。
ら被塗工材表面の距離（クリアランス）を５０μｍに設
定した。また混合塗料が被塗工材７の側面および裏面へ
回り込まないよう、スリット先端の吐出口の渡り方向の
幅を３５６ｍｍとした。
【００２４】基板搬送速度５２ｍｍ／ｓｅｃ、定量ポン
プ４３の流量を７４．１μｌ／ｓｅｃの吐出レートと
し、塗工開始点、終了点が基板端部より１．０ｍｍ内側
となるように塗工した。得られた塗工基板を９０℃のオ
ーブンにて２０分乾燥を行なった後、さらに２３０℃の
オーブンで６０分焼成を行ない塗膜６を得た。
プ４３の流量を７４．１μｌ／ｓｅｃの吐出レートと
し、塗工開始点、終了点が基板端部より１．０ｍｍ内側
となるように塗工した。得られた塗工基板を９０℃のオ
ーブンにて２０分乾燥を行なった後、さらに２３０℃の
オーブンで６０分焼成を行ない塗膜６を得た。
【００２５】新しい塗料を塗料タンク１１および２１に
満たし、上記の塗工方法により塗工を１分おきに連続し
て行なった。そして新液の供給直後から２４時間後ま
で、４時間おきに塗工基板を抜き取り、日立電子エンジ
ニアリング製のパーティクルカウンタＧＩ−４７００に
て基板上のパーティクルの数を計測した。また、これら
抜き取り基板は塗工装置投入前にも予め同じ測定方法で
パーティクル数を測定している。この２つのパーティク
ル測定結果の差より塗工工程において発生したと考えら
れるパーティクルの数が測定される。なお、測定される
パーティクルは直径１μｍ以上５μｍ未満を対象として
いる。この測定結果を表１に示す。
満たし、上記の塗工方法により塗工を１分おきに連続し
て行なった。そして新液の供給直後から２４時間後ま
で、４時間おきに塗工基板を抜き取り、日立電子エンジ
ニアリング製のパーティクルカウンタＧＩ−４７００に
て基板上のパーティクルの数を計測した。また、これら
抜き取り基板は塗工装置投入前にも予め同じ測定方法で
パーティクル数を測定している。この２つのパーティク
ル測定結果の差より塗工工程において発生したと考えら
れるパーティクルの数が測定される。なお、測定される
パーティクルは直径１μｍ以上５μｍ未満を対象として
いる。この測定結果を表１に示す。
【００２６】（実施例２）３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×
０．７ｍｍの無アルカリガラス基板１７３７（コーニン
グ製）を被塗工材として使用し、塗料としては実施例１
と同様に２液硬化型樹脂であるＳＳ−６６９９Ｇ（主
剤）およびその硬化剤であるＳＳ−０６９９Ｇ（ともに
ＪＳＲ製）を採用し、以下実施例１と同様の塗工方法を
用いて塗膜６を得た。
０．７ｍｍの無アルカリガラス基板１７３７（コーニン
グ製）を被塗工材として使用し、塗料としては実施例１
と同様に２液硬化型樹脂であるＳＳ−６６９９Ｇ（主
剤）およびその硬化剤であるＳＳ−０６９９Ｇ（ともに
ＪＳＲ製）を採用し、以下実施例１と同様の塗工方法を
用いて塗膜６を得た。
【００２７】新液の供給直後から２４時間後まで、４時
間おきに塗工基板を抜き取り、テンコール社製触針式膜
厚計ＦＰ−２０を用いて基板内の９点の位置で塗膜の膜
厚を測定した。この９点の膜厚の平均値を代表値とし
て、この測定結果を表２に示す。
間おきに塗工基板を抜き取り、テンコール社製触針式膜
厚計ＦＰ−２０を用いて基板内の９点の位置で塗膜の膜
厚を測定した。この９点の膜厚の平均値を代表値とし
て、この測定結果を表２に示す。
【００２８】（実施例３）ブラックマトリックスの形成
されたガラス基板上に、下記に示すアクリル系重合体か
らなる感光性樹脂組成物を塗布して樹脂層を形成した。
具体的には感光性樹脂組成物をスピナー塗布した後９０
℃で２０分間プリベーク処理を行ない、膜厚１μｍの感
光性樹脂層を形成した。
されたガラス基板上に、下記に示すアクリル系重合体か
らなる感光性樹脂組成物を塗布して樹脂層を形成した。
具体的には感光性樹脂組成物をスピナー塗布した後９０
℃で２０分間プリベーク処理を行ない、膜厚１μｍの感
光性樹脂層を形成した。
【００２９】
【化１】
【００３０】次いで、ブラックマトリックスの幅よりも
狭い開口部を有するフォトマスクを介して１Ｊ／ｃｍ2
の露光量でブラックマトリックス上の樹脂層の一部をパ
ターン露光した。さらにインクジェット記録装置を用い
て未露光部を下記組成の染料インクによりＲ，Ｇ，Ｂの
マトリックスパターンを着色した。
狭い開口部を有するフォトマスクを介して１Ｊ／ｃｍ2
の露光量でブラックマトリックス上の樹脂層の一部をパ
ターン露光した。さらにインクジェット記録装置を用い
て未露光部を下記組成の染料インクによりＲ，Ｇ，Ｂの
マトリックスパターンを着色した。
【００３１】
【化２】
【００３２】さらに、９０℃のホットプレートで５分イ
ンク乾燥を行ない、さらに２３０℃のオーブンにて樹脂
層の硬化処理を行なった。次いで、二液型の熱硬化性樹
脂ＳＳ−６６９９Ｇ（ＪＳＲ製）を実施例１に記載の方
法にてオーバーコート層として形成した。
ンク乾燥を行ない、さらに２３０℃のオーブンにて樹脂
層の硬化処理を行なった。次いで、二液型の熱硬化性樹
脂ＳＳ−６６９９Ｇ（ＪＳＲ製）を実施例１に記載の方
法にてオーバーコート層として形成した。
【００３３】このようにして作成された液晶用カラーフ
ィルタを光学顕微鏡により観察したところ、混色、色ム
ラ、色抜け等の障害は観察されなかった。また、このカ
ラーフィルタを用いて液晶パネルを作成し、駆動したと
ころ高精細なカラー表示が可能であった。
ィルタを光学顕微鏡により観察したところ、混色、色ム
ラ、色抜け等の障害は観察されなかった。また、このカ
ラーフィルタを用いて液晶パネルを作成し、駆動したと
ころ高精細なカラー表示が可能であった。
【００３４】（比較例１）２液硬化型樹脂であるＳＳ−
６６９９Ｇ（主剤）およびその硬化剤であるＳＳ−０６
９９Ｇ（ともにＪＳＲ製）を塗料として採用し、３６０
ｍｍ×４６５ｍｍ×０．７ｍｍの無アルカリガラス基板
１７３７（コーニング製）全面に３層低反射クロム膜を
成膜した基板を被塗工材として使用し、図２に示すよう
な構成の塗工装置によって塗工を行なった。定量ポンプ
４３は高精度ダイヤフラムポンプを使用した。基板搬送
ステージ８の駆動には高精度サーボモータを採用した。
前述のＳＳ−６６９９Ｇ、ＳＳ−０６９９Ｇを体積比２
９：６の割合で均一に混合し、塗料タンク４１に仕込
み、予め口金５に至るまでの送液路内を塗料で満たし
た。スリットギャップを３０μｍ、口金先端から被塗工
材表面の距離（クリアランス）を５０μｍに設定した。
また塗料が被塗工材側面および裏面へ回り込まないよ
う、スリット先端の吐出口の渡り方向の幅を３５６ｍｍ
とした。
６６９９Ｇ（主剤）およびその硬化剤であるＳＳ−０６
９９Ｇ（ともにＪＳＲ製）を塗料として採用し、３６０
ｍｍ×４６５ｍｍ×０．７ｍｍの無アルカリガラス基板
１７３７（コーニング製）全面に３層低反射クロム膜を
成膜した基板を被塗工材として使用し、図２に示すよう
な構成の塗工装置によって塗工を行なった。定量ポンプ
４３は高精度ダイヤフラムポンプを使用した。基板搬送
ステージ８の駆動には高精度サーボモータを採用した。
前述のＳＳ−６６９９Ｇ、ＳＳ−０６９９Ｇを体積比２
９：６の割合で均一に混合し、塗料タンク４１に仕込
み、予め口金５に至るまでの送液路内を塗料で満たし
た。スリットギャップを３０μｍ、口金先端から被塗工
材表面の距離（クリアランス）を５０μｍに設定した。
また塗料が被塗工材側面および裏面へ回り込まないよ
う、スリット先端の吐出口の渡り方向の幅を３５６ｍｍ
とした。
【００３５】基板搬送速度５２ｍｍ／ｓｅｃ、定量ポン
プ４３の流量を７４．１μｌ／ｓｅｃの吐出レートと
し、塗工開始点、終了点が基板端部より１．０ｍｍ内側
となるように塗工した。得られた塗工基板を９０℃のオ
ーブンにて２０分乾燥を行なった後、さらに２３０℃の
オーブンで６０分焼成を行ない塗膜６を得た。
プ４３の流量を７４．１μｌ／ｓｅｃの吐出レートと
し、塗工開始点、終了点が基板端部より１．０ｍｍ内側
となるように塗工した。得られた塗工基板を９０℃のオ
ーブンにて２０分乾燥を行なった後、さらに２３０℃の
オーブンで６０分焼成を行ない塗膜６を得た。
【００３６】新しい塗料を塗料タンク４１に満たし、上
記の塗工方法により塗工を１分おきに連続して行なっ
た。そして新液の供給直後から２４時間後まで、４時間
おきに塗工基板を抜き取り、日立電子エンジニアリング
製のパーティクルカウンタＧＩ−４７００にて基板上の
パーティクルの数を計測した。また、これら抜き取り基
板は塗工装置投入前にも予め同じ測定方法でパーティク
ル数を測定している。この２つのパーティクル測定結果
の差より塗工工程において発生したと考えられるパーテ
ィクルの数が測定される。なお、測定されるパーティク
ルは直径１μｍ以上５μｍ未満を対象としている。
記の塗工方法により塗工を１分おきに連続して行なっ
た。そして新液の供給直後から２４時間後まで、４時間
おきに塗工基板を抜き取り、日立電子エンジニアリング
製のパーティクルカウンタＧＩ−４７００にて基板上の
パーティクルの数を計測した。また、これら抜き取り基
板は塗工装置投入前にも予め同じ測定方法でパーティク
ル数を測定している。この２つのパーティクル測定結果
の差より塗工工程において発生したと考えられるパーテ
ィクルの数が測定される。なお、測定されるパーティク
ルは直径１μｍ以上５μｍ未満を対象としている。
【００３７】この測定結果を実施例１の結果とともに表
１に示す。
１に示す。
【００３８】
【表１】 この結果に基づくと、新液供給後、時間を経るにつれて
本比較例の場合はパーティクル数が増大する傾向にある
のに対し、実施例１の場合は混合を随時行ない、混合後
の時間経過を最小限とすることにより、塗工工程でのパ
ーティクルの発生を低く抑えることが可能となっている
ことがわかる。
本比較例の場合はパーティクル数が増大する傾向にある
のに対し、実施例１の場合は混合を随時行ない、混合後
の時間経過を最小限とすることにより、塗工工程でのパ
ーティクルの発生を低く抑えることが可能となっている
ことがわかる。
【００３９】（比較例２）３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×
０．７ｍｍの無アルカリガラス基板１７３７（コーニン
グ製）を被塗工材として使用し、塗料としては比較例１
と同様に２液硬化型樹脂であるＳＳ−６６９９Ｇ（主
剤）およびその硬化剤であるＳＳ−０６９９Ｇ（ともに
ＪＳＲ製）を採用し、以下実施例１と同様の塗工方法を
用いて塗膜を得る。
０．７ｍｍの無アルカリガラス基板１７３７（コーニン
グ製）を被塗工材として使用し、塗料としては比較例１
と同様に２液硬化型樹脂であるＳＳ−６６９９Ｇ（主
剤）およびその硬化剤であるＳＳ−０６９９Ｇ（ともに
ＪＳＲ製）を採用し、以下実施例１と同様の塗工方法を
用いて塗膜を得る。
【００４０】新液の供給直後から２４時間後まで、４時
間おきに塗工基板を抜き取り、テンコール社製触針式膜
厚計ＦＰ−２０を用いて基板内の９点の位置で塗膜の膜
厚を測定した。この９点の膜厚の平均値を代表値とし
て、この測定結果を実施例１の結果とともに表２に示
す。
間おきに塗工基板を抜き取り、テンコール社製触針式膜
厚計ＦＰ−２０を用いて基板内の９点の位置で塗膜の膜
厚を測定した。この９点の膜厚の平均値を代表値とし
て、この測定結果を実施例１の結果とともに表２に示
す。
【００４１】
【表２】 この結果に基づくと、新液供給後、時間を経るにつれて
本比較例の場合は膜厚が増大する傾向にあるのに対し、
実施例２の場合は混合を随時行ない、混合後の時間経過
を最小限とすることにより、膜厚が時間とともにほぼ変
化せず安定して塗工が行なわれていることがわかる。
本比較例の場合は膜厚が増大する傾向にあるのに対し、
実施例２の場合は混合を随時行ない、混合後の時間経過
を最小限とすることにより、膜厚が時間とともにほぼ変
化せず安定して塗工が行なわれていることがわかる。
【００４２】
【発明の適用範囲】なお、上述においては、この発明を
主にカラーフィルタの製造工程で用いるものとして説明
したが、この発明は、半導体製造の際のフォトレジスト
等、ポットライフ（使用時限）の制約を受ける塗料全般
を塗装する際に適用することができる。
主にカラーフィルタの製造工程で用いるものとして説明
したが、この発明は、半導体製造の際のフォトレジスト
等、ポットライフ（使用時限）の制約を受ける塗料全般
を塗装する際に適用することができる。
【００４３】
【発明の効果】以上のように、この発明の塗布装置およ
び塗布方法によれば、例えばカラーフィルタのオーバー
コート液など、複数の異なる液を混合して成る塗布液の
塗布において、液の混合を塗布の直前に行なうことがで
き、塗布液のポットライフに制約なく塗布が可能とな
る。また、塗布液供給経路内にゲル等の発生を抑止する
ことができ、これによる塗布欠陥を防止することができ
る。
び塗布方法によれば、例えばカラーフィルタのオーバー
コート液など、複数の異なる液を混合して成る塗布液の
塗布において、液の混合を塗布の直前に行なうことがで
き、塗布液のポットライフに制約なく塗布が可能とな
る。また、塗布液供給経路内にゲル等の発生を抑止する
ことができ、これによる塗布欠陥を防止することができ
る。
【００４４】さらに、この発明の塗装方法または装置を
カラーフィルタの製造に適用すれば、設備稼働率が向上
するとともに高品質なカラーフィルタを歩留まり良く製
造することが可能となる。
カラーフィルタの製造に適用すれば、設備稼働率が向上
するとともに高品質なカラーフィルタを歩留まり良く製
造することが可能となる。
【図１】 本発明の一実施例に係る塗工装置の構成を示
す図である。
す図である。
【図２】 従来の塗工装置の構成例を示す図である。
３：撹拌ユニット、５：口金、６：塗膜、７：被塗工
材、８：搬送ステージ、１１，２１：塗料タンク、１
２，２２，４２：配管、１３，２３，４５：フィルタ、
１４，２４，４３：定量ポンプ、２５：リザーバタン
ク、４１：塗料タンク、４４：開閉弁、５１：フロント
リップ、５２：リアリップ、５３：マニホールド、５
４：塗料スリット。
材、８：搬送ステージ、１１，２１：塗料タンク、１
２，２２，４２：配管、１３，２３，４５：フィルタ、
１４，２４，４３：定量ポンプ、２５：リザーバタン
ク、４１：塗料タンク、４４：開閉弁、５１：フロント
リップ、５２：リアリップ、５３：マニホールド、５
４：塗料スリット。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩田 研逸 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 坂本 淳一 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内 Ｆターム(参考） 2H048 BA64 BB02 BB14 BB23 BB41 4D075 AC04 AC84 BB16X CA47 DA06 DB13 DC24 EA60 4F041 AA02 CA03 CA04 CA15 CA16 4F042 AA02 BA04 BA11 CB11
Claims (5)
- 【請求項１】 塗布液供給装置により塗布液吐出用のス
リットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給しつつ、被塗
布材を保持するステージと前記塗布ヘッドとを相対的に
移動させることにより、被塗布材表面に塗膜を形成する
塗布方法において、 ２つ以上の異なる塗布液を一定の比率で混合する混合工
程と、その混合液を前記塗布ヘッドへ供給する供給工程
とを実質的に併行させることを特徴とする塗布方法。 - 【請求項２】 塗布液吐出用のスリットを有する塗布ヘ
ッドに塗布液を供給する塗布液供給装置と、被塗布材を
保持するステージと、該ステージと前記塗布ヘッドとを
相対的に移動させる駆動手段とを備える塗布装置におい
て、 前記塗布液供給装置は、２つ以上の異なる塗布液を一定
の比率で混合する混合手段と、その混合液を前記塗布ヘ
ッドへ供給する混合液供給手段とを具備することを特徴
とする塗布装置。 - 【請求項３】 ２液混合型の塗布液を前記被塗布材表面
に塗布して塗膜を形成するための塗布装置であって、 前記塗布液供給装置は、前記混合手段へ第１のタンクか
ら第１の塗布液を第１の流量で供給する第１の供給手段
と、該混合手段へ第２のタンクから第２の塗布液を第２
の流量で供給する第２の定量供給手段と、該混合手段で
得られた混合液を第３の流量で前記塗布ヘッドに供給す
る前記混合液供給手段とを具備することを特徴とする塗
布装置。 - 【請求項４】 前記混合液を一時貯蔵するバッファタン
クをさらに備え、前記混合液供給手段は、前記混合液を
該バッファタンクより前記塗布ヘッドに供給することを
特徴とする請求項３記載の塗布装置。 - 【請求項５】 請求項３の塗布方法を用いてカラーフィ
ルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの製造
方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10373802A JP2000189880A (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 塗布方法および装置ならびにカラ―フィルタの製造方法 |
| US09/470,210 US6517979B1 (en) | 1998-12-28 | 1999-12-22 | Coating method, coating system, method of manufacturing color filter substrate employing the coating method, and liquid crystal display device employing the color filter substrate manufactured in accordance with the coating method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10373802A JP2000189880A (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 塗布方法および装置ならびにカラ―フィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000189880A true JP2000189880A (ja) | 2000-07-11 |
Family
ID=18502786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10373802A Pending JP2000189880A (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 塗布方法および装置ならびにカラ―フィルタの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6517979B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000189880A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002136912A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 溶液の供給装置 |
| JP2007523471A (ja) * | 2003-12-29 | 2007-08-16 | エーエスエムエル ホールデイング エヌ．ブイ． | ポリマー溶液を基板上に塗布する方法及び装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7241341B2 (en) * | 2002-05-10 | 2007-07-10 | Nanometrix Inc. | Method and apparatus for two dimensional assembly of particles |
| JP4717533B2 (ja) | 2005-07-06 | 2011-07-06 | 株式会社 日立ディスプレイズ | 表示装置 |
| US20100209852A1 (en) * | 2009-02-19 | 2010-08-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Track nozzle system for semiconductor fabrication |
| JP5471281B2 (ja) * | 2009-10-19 | 2014-04-16 | 大日本印刷株式会社 | 給液システム、給液方法、および塗布装置 |
| JP5534591B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2014-07-02 | 東レエンジニアリング株式会社 | 塗布液供給装置、及び、塗布液供給方法 |
| CN104777541B (zh) * | 2015-04-24 | 2017-05-10 | 东莞市微科光电科技有限公司 | 一种利用上下移方式查找红外截止膜制作偏差原因的方法 |
| CN105127046B (zh) * | 2015-07-22 | 2018-04-20 | 北京东方雨虹防水技术股份有限公司 | 一种基于用于改性沥青卷材生产的涂布装置所实施的涂布方法 |
| US10386723B2 (en) | 2016-03-04 | 2019-08-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Lithography patterning with flexible solution adjustment |
| CN109317357A (zh) * | 2017-07-31 | 2019-02-12 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 薄膜封装装置、薄膜固化系统和薄膜固化方法 |
| CN107983552A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-05-04 | 贵州航天乌江机电设备有限责任公司 | 一种采用液压二氧化碳为溶剂的喷涂设备 |
| US11407176B2 (en) * | 2019-03-20 | 2022-08-09 | Magnum Venus Products, Inc. | Pumping system and method for 3D printing |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5975205A (ja) | 1982-10-25 | 1984-04-27 | Seiko Epson Corp | カラ−フイルタの製造方法 |
| DE4225618A1 (de) * | 1992-08-03 | 1994-02-17 | Elastogran Gmbh | Auftragsvorrichtung für Mehrkomponentenkunststoffe |
| JP2872594B2 (ja) | 1993-11-24 | 1999-03-17 | キヤノン株式会社 | カラーフィルターの製造方法及び液晶パネルの製造方法 |
| TW417034B (en) | 1993-11-24 | 2001-01-01 | Canon Kk | Color filter, method for manufacturing it, and liquid crystal panel |
| JP3927654B2 (ja) | 1996-08-07 | 2007-06-13 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタおよび液晶表示装置の製造方法 |
| JP3996979B2 (ja) | 1996-08-08 | 2007-10-24 | キヤノン株式会社 | カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター及び液晶表示装置 |
| JPH1099765A (ja) * | 1996-09-27 | 1998-04-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 回収塗液の調整方法、回収塗液の調整装置及び塗工機 |
| JP3333121B2 (ja) * | 1996-12-25 | 2002-10-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布装置 |
| US5888679A (en) | 1997-03-27 | 1999-03-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Production process of color filter, color filter produced thereby and liquid crystal display device using such color filter |
-
1998
- 1998-12-28 JP JP10373802A patent/JP2000189880A/ja active Pending
-
1999
- 1999-12-22 US US09/470,210 patent/US6517979B1/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002136912A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 溶液の供給装置 |
| JP2007523471A (ja) * | 2003-12-29 | 2007-08-16 | エーエスエムエル ホールデイング エヌ．ブイ． | ポリマー溶液を基板上に塗布する方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6517979B1 (en) | 2003-02-11 |
| US20030017403A1 (en) | 2003-01-23 |
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