JP2007523471A - ポリマー溶液を基板上に塗布する方法及び装置 - Google Patents
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Description
Claims (27)
- 基板の表面にポリマー溶液を塗布する方法であって、
基板を用意するステップと、
塗布装置を用いてポリマー溶液を基板上に小出しするステップとを有し、
前記塗布装置は、バッファタンク及びポリマー溶液源に直列に連結されたポンプを有し、このポンプは、ポリマー溶液を小出しするために、連続流路内のポリマー溶液を前記ポリマー溶液源及び前記バッファタンクから引き出し、
前記ポリマー溶液源は、ポリマー溶液を前記ポリマー溶液源から前記バッファタンク内に移送することができる圧力源に連結され、
前記バッファタンクは、ポリマー溶液を比較的一定のレベルに維持する方法。 - 更に、基板を回転させて、ポリマー溶液を広げるステップを有する、請求項1記載の方法。
- 更に、基板の表面上に小出しされたポリマー溶液から溶剤を蒸発させて、基板の表面上にポリマー層を形成するステップを有する、請求項1記載の方法。
- ポリマー溶液は、フォトレジスト溶液である、請求項1記載の方法。
- 更に、基板を回転可能なチャックに取り付けるステップを有する、請求項1記載の方法。
- 更に、圧力を前記ポリマー溶液源に加えて、ポリマー溶液を前記バッファタンク内に移送するステップを有する、請求項1記載の方法。
- 更に、圧力源を前記ポリマー溶液源に結合するステップと、
前記圧力源と前記ポリマー溶液源との間に設けられた瞬時弁を用意するステップと、を有し、
前記瞬時弁は、圧力を前記ポリマー溶液源に加えることが可能であり、圧力を前記ポリマー溶液源に加えるには、前記瞬時弁の制御された作動が必要である、請求項6記載の方法。 - 圧力が圧力源から前記ポリマー溶液源に加えられ、
圧力を所定の期間にわたって前記ポリマー溶液源に手動で加えるのに瞬時弁が用いられる、請求項6記載の方法。 - 更に、不活性ガスを前記ポリマー溶液源の中に流して、ポリマー溶液を前記バッファタンク内へ移送する前記圧力を生じさせるステップを有する、請求項6記載の方法。
- イネーブル弁が、前記バッファタンクと前記ポンプとの間に配置され、
前記イネーブル弁を開くことにより、ポリマー溶液を前記ポンプに流し、
前記ポリマー溶液源内のポリマー溶液レベルを検出するように構成され流体センサが、前記ポリマー溶液源に結合され、
前記流体センサは、前記ポリマー溶液源内のポリマー溶液レベルが実質的に低い又は空であると検出したとき、前記イネーブル弁を閉鎖することができる、請求項1記載の方法。 - 前記ポンプは、少なくとも第2のバッファタンク及び第2のポリマー溶液源に直列に連結され、第2のイネーブル弁が、前記第2のバッファタンクと前記ポンプとの間に配置され、前記第2のイネーブル弁の開放により、ポリマー溶液が前記ポンプに流れることが可能であり、
前記第2のポリマー溶液源内のポリマー溶液レベルを検出するよう構成された第2の流体センサが、前記第2のポリマー溶液源に結合され、前記第2のセンサは、前記第2のポリマー溶液源内のポリマー溶液レベルが実質的に低い又は空であると検出したとき、前記第2のイネーブル弁を閉鎖することができる、請求項10記載の方法。 - 前記第1のセンサ及び前記第2のセンサは各々、前記ポンプのポンプ送り方向を、空の又は実質的に低い前記ポリマー溶液源から遠ざける方向に切り換えることができる、請求項11記載の方法。
- ポリマー溶液塗布装置であって、
基板を支持する基板ステーションと、
ポリマー溶液を基板の表面の上に小出しするポンプと、
前記ポンプに直列に連結されたバッファタンク及びポリマー溶液源と、を有し、
前記バッファタンクは、前記ポリマー溶液源と前記ポンプとの間に連結され、
前記ポンプは、連続流路内のポリマー溶液を前記ポリマー容器源及び前記バッファタンクから引き出し、
前記バッファタンクは、ポリマー溶液を比較的一定のレベルに維持し、
更に、ポリマー溶液を前記バッファタンク内に移送するために前記ポリマー溶液源に加えられる圧力を制御する瞬時弁を有し、前記圧力は、所定の期間だけ加えられるポリマー溶液塗布装置。 - 前記瞬時弁は、圧力が前記ポリマー溶液源内に流れることを可能にするために、前記瞬時弁を押し下げるオペレータを必要とする、請求項13記載のポリマー溶液塗布装置。
- イネーブル弁が、前記バッファタンクと前記ポンプとの間に配置され、前記イネーブル弁を開くことにより、ポリマー溶液が前記ポンプに流れることを可能にし、
前記ポリマー溶液源内のポリマー溶液レベルを検出するよう構成された流体センサが、前記ポリマー溶液源に結合され、前記流体センサは、前記ポリマー溶液源内のポリマー溶液レベルが実質的に低い又は空であると検出したとき、前記イネーブル弁を閉鎖することができる、請求項13記載のポリマー溶液塗布装置。 - 更に、前記ポンプに直列に連結された少なくとも1つの第2のバッファタンク及び1つの第2のポリマー溶液源を有する、請求項15記載のポリマー溶液塗布装置。
- 更に、第2のイネーブル弁及び第2のセンサを有し、
前記第2のイネーブル弁は、前記第2のバッファタンクと前記ポンプとの間に配置され、前記第2のイネーブル弁の開放により、ポリマー溶液は、前記ポンプに流れることが可能であり、
前記第2の流体センサは、前記第2のポリマー溶液源に結合され、前記第2のポリマー溶液源内のポリマー溶液レベルを検出するよう構成され、前記第2のセンサは、前記第2のポリマー溶液源内のポリマー溶液レベルが実質的に低い又は空であると検出したとき、前記第2のイネーブル弁を閉鎖することができる、請求項16記載のポリマー溶液塗布装置。 - 前記イネーブル弁及び前記第2のイネーブル弁は各々、前記ポンプのポンプ送り方向を、空の又は実質的に低い前記ポリマー溶液源から遠ざける方向に切り換えることができる、請求項16記載のポリマー溶液塗布装置。
- ポリマー溶液は、フォトレジストポリマーである、請求項13記載のポリマー溶液塗布装置。
- 前記基板ステーションは、回転可能なチャック上に配置されている、請求項13記載のポリマー溶液塗布装置。
- ポリマー溶液を前記バッファタンク内へ移送するための圧力が前記ポリマー溶液源に加えられる、請求項13記載のポリマー溶液塗布装置。
- 前記圧力を生じさせるために、不活性ガスが前記ポリマー溶液源内に流される、請求項21記載のポリマー溶液塗布装置。
- 基板の表面にポリマー溶液を塗布する方法であって、
基板を回転可能な基板ステーション上に固定するステップと、
ポンプを用いて、ポリマー溶液を基板の表面上に小出しするステップと、を有し、
ポリマー溶液を小出しする前記ステップは、バッファタンク及びポリマー溶液源に直列に連結されたポンプを有する塗布装置を用いてポリマー溶液を引き出すステップを有し、前記ポンプは、ポリマー溶液を基板の表面上に小出しするために、連続流路内のポリマー溶液を前記ポリマー溶液源及び前記バッファタンクから引き出し、
更に、前記バッファタンク内のポリマー溶液を一定レベルに維持するステップと、、
基板をスピンさせて、小出しされたポリマー溶液を表面全体に塗布するステップとを有する方法。 - 更に、前記ポリマー溶液源に結合されている瞬時弁を押し下げて、不活性ガスを前記ポリマー溶液源内に供給し、前記ポンプが空気を引き込むのを防止するのに十分な量のポリマー溶液を前記バッファタンク内に移送するステップを有し、前記瞬時弁は、不活性ガスをポリマー溶液源に供給するのに手動による作動を必要とする、請求項23記載の方法。
- 更に、第1のバッファタンク及び第1のポリマー溶液源を前記ポンプに直列に連結するステップを有し、前記第1のバッファタンクは、前記第1のポリマー溶液源と前記ポンプとの間に連結され、
更に、第2のバッファタンク及び第2のポリマー溶液源を前記ポンプに直列に連結するステップを有し、前記第2のバッファタンクは、前記第2のポリマー溶液源と前記ポンプとの間に連結され、
更に、前記第1のポリマー溶液源及び前記第2のポリマー溶液源の各々について、ポリマー溶液レベルを検出するセンサを用意するステップと、
前記センサ及び前記ポンプと連通状態にあるイネーブル弁を用意するステップと、を有し、前記イネーブル弁は、前記ポンプの方向を空の前記ポリマー溶液源から遠ざける方向にすることができる、請求項23記載の方法。 - 更に、基板を回転させて、ポリマー溶液を広げるステップを有する、請求項23記載の方法。
- 更に、基板の表面上に小出しされたポリマー溶液から溶剤を蒸発させ、基板の表面上にポリマー層を形成するステップを有する、請求項23記載の方法。
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