JP2002246306A - 処理液供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】処理液のボトル交換時にボトル交換の誤りがあ
ってもその誤りを検出でき、それに基づいて所望のもの
と異なる薬液を基板に供給するようなことを防ぐ。 【解決手段】そこで本発明では、ボトルＢＴの開口２４
に対するキャップＣＰの塞がり状態が不完全であるとこ
とが検出されると、制御部５０は、そのまま、三方弁２
３をボトルＢＴ側に接続されたポートとトラップタンク
１０側に接続されたポートとの間を閉止させ、ボトルＢ
Ｔ側に接続されたポートと排気ラインＬ４側に接続され
たポートとの間が連通するように切り替えた状態を維持
せしめる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板、液晶
表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光
ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）を処
理するためのフォトレジスト（以下、単に「レジスト」
とする）等の処理液を供給する処理液供給装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、上記基板に対しては、レ
ジスト塗布処理、露光処理、現像処理およびそれらに付
随する熱処理を順次行わせることにより一連の基板処理
を達成している。これらの処理のうちレジスト塗布処
理、現像処理は、吐出ノズルからレジストまたは現像液
を基板に吐出することによって行われる。そして、吐出
ノズルには処理液供給装置からレジストまたは現像液が
供給されるようにされている。

【０００３】図４は、従来の処理液供給装置の概略構成
を示す図である。この処理液供給装置は、レジストを供
給する装置であり、レジストが貯留されたボトルＢＴか
らレジストを導き、吐出ノズルに供給する。ボトルＢＴ
のレジストは、供給ラインＬ１、Ｌ２によって吐出ノズ
ルまで導かれる。供給ラインＬ１の一端部は、ボトルＢ
ＴのキャップＣＰに内挿されて保持されており、キャッ
プＣＰは、ボトルＢＴの上端部に螺合されてボトルＢＴ
の上端部に形成された開口を塞いでボトルＢＴを密閉し
ている。

【０００４】供給ラインＬ１と供給ラインＬ２との間に
は、レジストを一時的に貯留するトラップタンク１１０
が設けられている。トラップタンク１１０に貯留された
レジストは、ポンプ１２０によって供給ラインＬ２内を
送られ、フィルタ１２１、供給バルブ１２２を介して図
外の吐出ノズルに供給される。

【０００５】また、トラップタンク１１０には、その上
部に排気ラインＬ３が接続されており、排気ラインＬ３
にはトラップタンク１１０を吸引する吸引ポンプ１３０
が設けられている。通常、図４の処理液供給装置によっ
て吐出ノズルにレジストが供給されているときは、吸引
ポンプ１３０は休止されるとともに、供給バルブ１２２
は開放されている。

【０００６】レジストの供給を続けていると、やがて、
ボトルＢＴのレジストが空になる。すると、供給ライン
Ｌ１からエアを導入することとなり、トラップタンク１
１０内のレジストの液面レベル（液位）が低下する。液
面レベルが所定のライン以下にまで低下すると、その旨
を液面検知センサ１４０が検知し、アラームを発する。
この時点において、ボトルＢＴの交換を行うとともにト
ラップタンク１１０に流入したエアを抜く作業を行う。

【０００７】従来におけるエア抜きの作業の手順は以下
の通りである。すなわち、まず、空になったボトルＢＴ
からキャップＣＰを取り外し、新しいボトルＢＴの上端
部にキャップＣＰを新たに螺合することによりボトル交
換を行なう。次に、吸引ポンプ１３０を駆動する。

【０００８】吸引ポンプ１３０が駆動されると、トラッ
プタンク１１０内に滞留していたエアがポンプ１３０に
よって吸引され、排気ラインＬ３を介して装置外に排出
される。このときに、供給ラインＬ１を介して新たなボ
トルＢＴからレジストが吸引される。そして、トラップ
タンク１１０内に滞留していたエアが吸引・排出される
に従って、トラップ内のレジストの液面レベルは徐々に
上昇し、やがて基準レベルに到達する。

【０００９】レジストの液面レベルが基準レベルに到達
した時点にて、液面検知センサ１４０がその旨を検知す
ると、そのまま継続してレジストを供給することが可能
となる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上述のようなエア抜き
作業時のボトルＢＴの交換時には、作業者が所望するも
のと異なる間違ったボトルＢＴを準備してしまうような
ことが発生する。その場合に従来は間違ったボトルＢＴ
であるかどうかどうかが検出されず、またボトルＢＴと
キャップＣＰとを螺合して接続する構成にすぎなかった
ため、多少ネジ山などにボトルＢＴ間で違いがあったと
してもそのままネジこまれて間違いに気づかずに使用さ
れる場合があった。その場合には、間違ったボトルＢＴ
から所望のものとは異なる処理液がそのまま供給される
こととなり、基板を無駄にしてしまうという不都合が発
生していた。

【００１１】また、例えば、ボトル交換時の誤りを防ぐ
ために、ボトルＢＴとキャップＣＰとがきちんと一致す
るように処理液の種類毎に位置を変えてボトルＢＴに凹
み部を設ける一方それに対するキャップＣＰに対応する
ボトルの凹み部に嵌合する凸部を設けるようにする構成
も考えられている。

【００１２】しかし、この場合であっても間違ったボト
ルＢＴであるかどうかの検出は行われず、またボトルＢ
ＴとキャップＣＰとはきちんと嵌合されなくとも供給ラ
インＬ１の一端はボトルＢＴの中に浸漬されるので、ボ
トル交換の誤りに気づかなかった場合には、同様に間違
ったボトルＢＴから所望のものとは異なる処理液がその
まま供給されることとなり、基板を無駄にしてしまうと
いう不都合が発生していた。

【００１３】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、処理液のボトル交換時にボトル交換の誤りがあ
ってもその誤りを検出でき、それに基づいて所望のもの
と異なる薬液を基板に供給するようなことを防ぐことの
できる処理液供給装置を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明は、基板を処理するための処理液を
ノズルに供給する処理液供給装置であって、開口部を有
し、処理液が貯留される貯留容器と、貯留容器に貯留さ
れた処理液をノズルに導く処理液供給経路と、処理液供
給経路の一端部が内挿され、貯留容器の開口を塞ぐ蓋体
と、処理液供給経路に設けられ、貯留容器から導かれた
処理液を一時貯留する一時貯留容器と、処理液供給経路
における一時貯留容器よりも下流側に設けられ、一時貯
留容器に貯留された処理液をノズルに導く処理液供給ポ
ンプと、処理液供給経路における一時貯留容器よりも上
流側に設けられた開閉弁と、貯留容器の開口に対する蓋
体の塞がり状態を検出する塞がり状態検出手段と、検出
手段によって、貯留容器の開口に対する蓋体の塞がり状
態の不完全が検出された場合に、開閉弁を貯留容器から
一時貯留容器への処理液の供給が遮断されるように閉止
させる制御手段とを備えたことを備えている。

【００１５】また、請求項２の発明は、請求項１の発明
にかかる処理液供給装置において、開閉弁は、その一方
が排気ラインに接続された三方弁よりなり、制御手段
は、検出手段によって、貯留容器の開口に対する蓋体の
塞がり状態の不完全が検出された場合に、開閉弁の開閉
状態を前記貯留容器と前記排気ラインを連通させるよう
に切り替えて貯留容器から一時貯留容器への処理液の供
給が遮断されるように貯留容器と一時貯留容器間を閉止
させるように制御するものであることを特徴としてい
る。

【００１６】また、請求項３の発明は、基板を処理する
ための処理液をノズルに供給する処理液供給装置であっ
て、それぞれ開口部を有し、処理液が貯留される第１お
よび第２の貯留容器と、第１および第２の貯留容器に貯
流された処理液をそれぞれ導く第１および第２の処理液
供給経路と、第１および第２の処理液供給経路と接続さ
れて処理液をノズルまで導く第３の処理液供給経路と、
第１および第２の処理液供給経路と第３の処理液供給経
路との接続箇所に設けられ、第１の処理液供給経路と第
３の処理液供給経路とが連通する状態と第２の処理液供
給経路と第３の処理液供給経路とが連通する状態とに切
り替える切り替え弁と、第１および第２の処理液供給経
路の一端部がそれぞれ内挿され、それぞれ第１および第
２の貯留容器の開口を塞ぐ第１および第２の蓋体と、第
１および第２の処理液供給経路にそれぞれ設けられ、第
１および第２の貯留容器から導かれた処理液を一時貯留
する第１および第２の一時貯留容器と、第１および第２
の一時貯留容器の上部にそれぞれ接続され、第１および
第２の一時貯留容器内に滞留した空気を排出する第１お
よび第２の空気排出経路と、第１および第２の空気排出
経路にそれぞれ設けられ、第１および第２の貯留容器内
を吸引する第１および第２の吸引手段と、第１および第
２の貯留容器内の処理液の残量の低下をそれぞれ検知し
て検出信号を出力する第１および第２の残量検知センサ
と、第２の処理液供給経路に設けられ、第１または第２
の処理液供給経路からの処理液を前記ノズルに供給する
処理液供給ポンプと、第１の貯留容器および第２の貯留
容器の開口に対する第１および第２の蓋体の塞がり状態
をそれぞれ検出する第１および第２の塞がり状態検出手
段と、第１および第２の残量検出センサのいずれかから
残量の低下を検出する検出信号を入力したときに、他方
の残量検出センサが残量低下を検出していないことを条
件に、第１の処理液供給経路および第２の処理液供給経
路のそれぞれと第３の処理液供給経路との連通状態を切
り替えるように切り替え弁を制御する切替え弁制御手段
と、第１および第２の塞がり状態検出手段のいずれかか
ら、塞がり状態の不完全が検出された場合に、前記第１
および第２の吸引手段のうちの対応する吸引手段を吸引
禁止状態に制御する吸引禁止状態制御手段とを備えたこ
とを特徴とする。

【００１７】また、請求項４の発明は、請求項１ないし
３の発明にかかる処理液供給装置において、塞がり状態
検出手段は、貯留容器の開口を塞ぐ蓋体に付設された近
接センサよりなることを特徴としている。

【００１８】また、請求項５の発明は、請求項１ないし
４の発明にかかる処理液供給装置において、前記塞がり
状態検出手段が、塞がり状態の不完全を検出した場合に
そのことを表示する表示手段を設けたことを特徴として
いる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について詳細に説明する。

【００２０】図１は、本発明にかかる処理液供給装置の
概略構成を示す図である。この処理液供給装置は、レジ
ストを供給する装置であり、交換可能に設置されたレジ
ストの貯留容器たるボトルＢＴからレジストを導き、図
外の吐出ノズルに供給する。ボトルＢＴのレジストは、
供給ラインＬ１、Ｌ２によって吐出ノズルまで導かれ
る。

【００２１】ボトルＢＴからレジストを導く処理液供給
経路途中、すなわち供給ラインＬ１と供給ラインＬ２と
の間には、レジストを一時的に貯留する一時貯留容器た
るトラップタンク１０が設けられている。トラップタン
ク１０は、３つの出入口を有する密閉容器である。３つ
の出入口としては、処理液入口１１と、処理液出口１３
と、通気口１２とが設けられている。なお、トラップタ
ンク１０の形状は図示の形状に限定されるものではな
く、処理液を貯留できるものであれば如何なる形状のも
のであってもよい。

【００２２】トラップタンク１０の側方には、トラップ
タンク１０に貯留されたレジストの液面レベルを検知す
るための液面検知センサ４０が設けられている。本実施
形態では、液面検知センサ４０として、非接触式の静電
容量センサを用いている。液面検知センサ４０は、トラ
ップタンク１０に貯留されたレジストの液面レベルが基
準レベルＴＨに達しているか否かを検知することができ
る。なお、液面検知センサ４０としては、静電容量セン
サに限らず、例えば発光素子と光電変換素子とを組み合
わせた光電式センサを用いてもよい。

【００２３】また、トラップタンク１０よりも下流側で
あって処理液出口１３に接続される供給ラインＬ２に
は、ポンプ２０と、フィルタ２１と、供給バルブ２２と
が設けられている。ポンプ２０は、トラップタンク１０
に貯留されたレジストを図外の吐出ノズルまで送給する
駆動源としての役割を有する。また、フィルタ２１は、
供給ラインＬ２を流れるレジストを浄化する。トラップ
タンク１０に貯留されたレジストは、ポンプ２０によっ
て供給ラインＬ２内を送られ、フィルタ２１、供給バル
ブ２２を介して吐出ノズルに供給される。

【００２４】トラップタンク１０よりも上流側であって
処理液入口１１には、供給ラインＬ１が接続されてい
る。供給ラインＬ１には、開閉弁としての三方弁２３が
介在されており、供給ラインＬ１の一端部は、ボトルＢ
Ｔの開口２４を塞ぐ蓋体としてのキャップＣＰに内挿さ
れて一体に保持されている。そして供給ラインＬ１の一
端は、ボトルＢＴの開口２４をキャップＣＰで塞ぐこと
によりレジストに浸漬される。また、三方弁の一つのポ
ートは、排気ラインＬ４に接続されている。

【００２５】ボトルＢＴの上端面には、凹み部２５が形
成されている。一方、ボトルＢＴの開口２４を塞ぐキャ
ップＣＰの下端面には、ボトルＢＴの上端部に形成され
た凹み部２５の位置に対応した箇所に凹み部２５に嵌合
する凸部２６が形成されている。そして、処理液の種類
毎に、ボトルＢＴの上端面に形成さられた凹み部とそれ
に対応するキャップＣＰの下端面に形成された凸部の位
置とが異なるようになっており、ボトルＢＴとキャップ
ＣＰとが一致しない場合には接続するボトルＢＴが誤り
であることが物理的にわかるようになっている。

【００２６】また、キャップＣＰの下端部には、近接セ
ンサ２７が付設されており、ボトルＢＴとキャップＣＰ
とが同じ処理液用のものであって、一致する場合にはボ
トルＢＴの開口２４がキャップＣＰによって塞がれた際
に、近接センサ２７が、ボトルＢＴの検知位置に対して
近接するので、ボトルＢＴの開口２４に対するキャップ
ＣＰの塞がり状態が良好であることが検出され、接続さ
れたボトルＢＴに誤りがないことが検出される。一方、
接続されたボトルＢＴに誤りがある場合には、ボトルＢ
Ｔの上端面に形成された凹み部の位置とキャップＣＰの
下端面に形成された凸部の位置とが一致せず、近接セン
サ２７がボトルＢＴの検知位置に対して近接しないの
で、ボトルＢＴの開口２４に対するキャップＣＰの塞が
り状態が不完全であることが検出され、接続されたボト
ルＢＴに誤りがあることが検出される。

【００２７】トラップタンク１０の上端部に設けられた
通気口１２には、トラップタンク１０内に滞留した空気
を排出する排気ラインＬ３が接続されている。排気ライ
ンＬ３にはトラップタンク１０内を吸引するポンプ３０
が設けられている。ポンプ３０は、定められた量を吸引
することができる定量ポンプであり、例えばストローク
が一定のシリンダー式ポンプや一定量の回転によって一
定量を吸引することができるスクリュー型ポンプを採用
することができる。

【００２８】また、本発明にかかる処理液供給装置は、
コンピュータを用いて構成される制御部５０を備えてい
る。制御部５０は、少なくとも、ポンプ３０、液面検知
センサ４０、ポンプ２０、供給バルブ２２、近接センサ
２７、三方弁２３、と電気的に接続されている。また制
御部５０は、ボトルＢＴが空になってボトルＢＴの交換
のタイミングであることを知らせる警報部５１、ボトル
ＢＴとキャップＣＰとの塞がり状態が不完全である場合
にその旨を表示する表示部５２、図外の複数の基板を処
理に順次送り出す基板処理装置の基板送り出し機構であ
るインデクサにも電気的に接続されている。制御部５０
は、液面検知センサ１０や近接センサ２７の検出信号を
受けて、予め入力されたプログラムに従ってこれらの動
作を制御する。

【００２９】次に、上述の構成を有する処理液供給装置
の動作について説明する。通常処理時に、吐出ノズルに
レジストが供給されているときは、ポンプ３０が停止さ
れるとともに、供給ラインＬ２の供給バルブ２２は開放
されている。また、三方弁２３は、ボトルＢＴ側に接続
されたポートとトラップタンク１０側に接続されたポー
トとが開かれており、排気ラインＬ４側に接続されたポ
ートは閉じられている。トラップタンク１０に貯留され
ているレジストは、ポンプ２０によって供給ラインＬ２
内を送られ、フィルタ２１によって浄化された後、吐出
ノズルに供給される。トラップタンク１０は密閉容器で
あるため、吐出ノズルに供給されるのと等量のレジスト
が供給ラインＬ１を介してボトルＢＴから吸引される。
したがって、ボトルＢＴに貯留されているレジストの液
面レベルは、通常処理時においては常に一定の高さに維
持されている。

【００３０】処理が進行し、やがて、ボトルＢＴが空に
なると、供給ラインＬ１からエアを吸引するようにな
る。吸引されたエアは、トラップタンク１０内にて上方
に溜まるため、供給ラインＬ２から吐出ノズルに入り込
むおそれはない。しかし、供給ラインＬ１から吸引され
たエアの量が増加するに従って、トラップタンク１０に
貯留されたレジストの液面レベルは徐々に低下し、やが
て基準レベルよりも低くなる。レジストの液面レベルが
基準レベルよりも低くなると、液面検知センサ４０がそ
の旨を検知し、制御部５０に伝達するとともに警報部５
１によってボトル交換の時期を知らせるアラームが発せ
られる。

【００３１】アラームが発せられると、ボトル交換に伴
ってエア抜き作業が行われる。なお、このときには、制
御部５０は、インデクサに対して新たな基板の払い出し
禁止の信号を送信し、新たな基板の払い出しは中断され
るとともに、処理途中にある基板についてはそのまま処
理が続行される。従って、トラップタンク１０における
基準レベルは、少なくとも処理途中にある基板の処理を
続行できるだけのレジストを確保できる位置に設定され
ている。

【００３２】処理途中にある基板についてもレジスト塗
布処理が終了し、吐出ノズルに新たなレジストを供給す
る必要がなくなると、ポンプ２０が停止し、供給ライン
Ｌ２の供給バルブ２２を閉鎖する。

【００３３】この空のボトルＢＴを新たなボトルＢＴに
交換するときに、ボトルＢＴからキャップＣＰが抜き取
られると近接センサは２７は、キャップＣＰの塞がり状
態が不完全であることを検出し、その信号を受けて制御
部５０は、表示部５２に塞がり状態不完全の旨の表示を
させるとともに三方弁２３を制御してボトルＢＴ側に接
続されたポートとトラップタンク１０側に接続されたポ
ートとの間を閉止させ、ボトルＢＴ側に接続されたポー
トと排気ラインＬ４側に接続されたポートとの間が連通
するように切り替える。そして、ボトルＢＴの交換が完
了し、ボトルＢＴにキャップＣＰが被せられて近接セン
サ２７がボトルＢＴの開口２４に対するキャップＣＰの
塞がり状態が良好であることを検出すると、制御部５０
で接続されたボトルＢＴに誤りがないことが判断され、
三方弁２３のボトルＢＴ側のポートとトラップタンク１
０側のポートとが連通させるように切り替わる。そし
て、排気ラインＬ３に設けられたポンプ３０を動作させ
ることによってエア抜き作業を実行する。ポンプ３０を
動作させると、トラップタンク１０内に滞留していたエ
アがポンプ３０によって吸引され、排気ラインＬ３を介
して装置外に排出されるとともに、供給ラインＬ１を介
して新たなボトルＢＴからレジストが吸引される。な
お、ポンプ３０を動作させるのと同時に、装置がエア抜
き作業状態にあることを制御部５０に認識させるように
しておく。

【００３４】トラップタンク１０内に滞留していたエア
が吸引・排出されるに従って、トラップタンク１０内の
レジストの液面レベルは徐々に上昇し、やがて基準レベ
ルに到達する。レジストの液面レベルが基準レベルに到
達した時点にて、液面検知センサ４０がその旨を検知
し、制御部５０に伝達する。装置がエア抜き作業状態に
あることを認識中の制御部５０は、液面検知センサ４０
からレジストの液面レベルが基準レベルに到達した旨の
信号を受けたときに、ポンプ３０の吸引動作を停止させ
る。

【００３５】その後、トラップタンク１０に貯留されて
いるレジストは、継続してポンプ２０によって供給ライ
ンＬ２内を送られ、吐出ノズルに供給されて通常の処理
が行われる。

【００３６】一方、ボトルＢＴが交換されても交換に誤
りがあった場合には、交換されたボトルＢＴにキャップ
ＣＰが完全に嵌まり込まず、近接センサ２７がボトルＢ
Ｔの開口２４に対するキャップＣＰの塞がり状態が不完
全であることを検出したままとなる。すると、制御部５
０ではボトルＢＴの開口２４に対するキャップＣＰの塞
がり状態が不完全であるとの判断を続け、制御部５０
は、そのまま表示部５２にキャップＣＰの塞がり状態が
不完全であることを表示させるとともに、三方弁２３を
ボトルＢＴ側に接続されたポートとトラップタンク１０
側に接続されたポートとの間を閉止させ、ボトルＢＴ側
に接続されたポートと排気ラインＬ４側に接続されたポ
ートとの間が連通するように切り替えた状態を維持せし
める。このとき、三方弁２３のボトルＢＴ側に接続され
たポートとトラップタンク１０側に接続されたポートと
の間は閉止されているので、例え、ポンプ３０が駆動さ
れたとしても供給ラインＬ１を介して新たなボトルＢＴ
からトラップタンク１０へ向けてレジストが吸引される
ことはなく、誤った処理液が吐出ノズルに供給されるこ
とはない。

【００３７】このようにすれば、例え作業者がボトルＢ
ＴとキャップＣＰとがきちんと嵌合していないことにす
ら気づかず、ボトルＢＴの交換を誤ったことに気づかな
かった場合でもエア抜き作業の際に、誤ったボトルＢＴ
から所望しない処理液がトラップタンクに供給されるこ
とを防止でき、基板に対して不適切な処理液を供給する
ようなことがなくなり、基板を無駄にするようなことを
防ぐことができる。

【００３８】本実施形態においては、ボトルＢＴが貯留
容器に相当し、供給ラインＬ１、Ｌ２が処理液供給経路
に相当し、ポンプ２０が処理液供給ポンプに相当し、キ
ャップＣＰが蓋体に相当し、トラップタンクが一時貯留
容器に相当し、三方弁２３が開閉弁に相当し、近接セン
サ２７が塞がり状態検出手段に相当し、制御部５０が制
御手段に相当する。

【００３９】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、この発明は上記の例に限定されるものではない。
例えば、上記実施形態の処理液供給装置は、レジストを
供給する装置であったが、これに代えて現像液を供給す
る装置としてもよい。

【００４０】また、上記実施形態においては、１本のボ
トルＢＴを順次交換する方式の装置としていたが、これ
を２本以上のボトルを接続しておき、それを適宜切り替
えて使用する方式の装置としても良い。図２は、２本以
上のボトルが接続される処理液供給装置を示す概略構成
図である。

【００４１】図２に示すように、この処理液供給装置
は、２つのトラップタンク１０ａ、１０ｂを備えてい
る。トラップタンク１０ａには、供給ラインＬ１ａが接
続され、供給ラインＬ１ａの一端部は、ボトルＢＴ１の
開口２４ａを塞ぐ蓋体としてのキャップＣＰ１に内挿さ
れて一体に保持されている。そして供給ラインＬ１ａの
一端は、ボトルＢＴ１の開口２４ａをキャップＣＰ１で
塞ぐことによりレジストに浸漬される。また、供給ライ
ンＬ１ａには、三方弁２３ａが介在されており、その三
方弁２３ａの一つのポートは、排気ラインＬ４ａに接続
されている。また、トラップタンク１０ａには、排気ラ
インＬ３ａが接続され、排気ラインＬ３ａにはポンプ３
１が設けられている。さらに、トラップタンク１０ａの
側方には、液面検知センサ４１が設けられている。

【００４２】ボトルＢＴ１の上端面には、凹み部２５ａ
が形成されている。一方、ボトルＢＴ１の開口２４ａを
塞ぐキャップＣＰ１の下端面には、ボトルＢＴの上端部
に形成された凹み部２５ａの位置に対応した箇所に凹み
部２５ａに嵌合する凸部２６ａが形成されている。そし
て、処理液の種類毎に、ボトルＢＴの上端面に形成さら
れた凹み部とそれに対応するキャップＣＰの下端面に形
成された凸部の位置とが異なるようになっており、ボト
ルＢＴとキャップＣＰとが一致しない場合には接続する
ボトルＢＴが誤りであることがわかるようになってい
る。

【００４３】また、キャップＣＰ１の下端部には、近接
センサ２７ａが付設されており、ボトルＢＴ１とキャッ
プＣＰ１とが同じ処理液用のものであって、一致する場
合にはボトルＢＴ１の開口２４ａがキャップＣＰ１によ
って塞がれた際に、近接センサ２７ａが、ボトルＢＴ１
の検知位置に対して近接するので、ボトルＢＴの開口２
４ａに対するキャップＣＰ１の塞がり状態が良好である
ことが検出され、接続されたボトルＢＴ１に誤りがない
ことが検出される。一方、接続されたボトルＢＴ１に誤
りがある場合には、ボトルＢＴ１の上端面に形成された
凹み部の位置とキャップＣＰの下端面に形成された凸部
の位置とが一致せず、近接センサ２７ａがボトルＢＴの
検知位置に対して近接しないので、ボトルＢＴの開口２
４ａに対するキャップＣＰ１の塞がり状態が不完全であ
ることが検出され、接続されたボトルＢＴ１に誤りがあ
ることが検出される。

【００４４】一方、トラップタンク１０ｂには、供給ラ
インＬ１ｂが接続され、供給ラインＬ１ｂの一端部は、
ボトルＢＴ２の開口２４ｂを塞ぐ蓋体としてのキャップ
ＣＰ２に内挿されて一体に保持されている。そして供給
ラインＬ１ｂの一端は、ボトルＢＴ２の開口２４ｂをキ
ャップＣＰ２で塞ぐことによりレジストに浸漬される。
また、供給ラインＬ１ｂには、三方弁２３ｂが介在され
ており、その三方弁２３ｂの一つのポートは、排気ライ
ンＬ４ｂに接続されている。また、トラップタンク１０
ｂには、排気ラインＬ３ｂが接続され、排気ラインＬ３
ｂにはポンプ３２が設けられている。さらに、トラップ
タンク１０ｂの側方には、液面検知センサ４２が設けら
れている。

【００４５】ボトルＢＴ２の上端面には、凹み部２５ｂ
が形成されている。一方、ボトルＢＴ２の開口２４ｂを
塞ぐキャップＣＰ２の下端面には、ボトルＢＴ２の上端
面に形成された凹み部２５ｂの位置に対応した箇所に凹
み部２５ｂに嵌合する凸部２６ｂが形成されている。そ
して、ボトルＢＴ２とキャップＣＰ２とが一致しない場
合には接続するボトルＢＴが誤りであることがわかるよ
うになっている。

【００４６】また、キャップＣＰ２の下端部には、近接
センサ２７ｂが付設されており、ボトルＢＴ２とキャッ
プＣＰ２とが同じ処理液用のものであって、一致する場
合にはボトルＢＴ２の開口２４ｂがキャップＣＰ２によ
って塞がれた際に、近接センサ２７ｂが、ボトルＢＴ２
の検知位置に対して近接するので、ボトルＢＴ２の開口
２４ｂに対するキャップＣＰ２の塞がり状態が良好であ
ることが検出され、接続されたボトルＢＴ２に誤りがな
いことが検出される。一方、接続されたボトルＢＴ２に
誤りがある場合には、ボトルＢＴ２の上端面に形成され
た凹み部の位置とキャップＣＰ２の下端面に形成された
凸部の位置とが一致せず、近接センサ２７ｂがボトルＢ
Ｔ２の検知位置に対して近接しないので、ボトルＢＴ２
の開口２４に対するキャップＣＰ２の塞がり状態が不完
全であることが検出され、接続されたボトルＢＴ２に誤
りがあることが検出される。

【００４７】トラップタンク１０ａおよびトラップタン
ク１０ｂは、三方弁６０を介して供給ラインＬ２に接続
されている。供給ラインＬ２には、上記実施形態と同様
のポンプ２０、フィルタ２１、供給バルブ２２が設けら
れている。

【００４８】なお、トラップタンク１０ａ，１０ｂは上
記実施形態のトラップタンク１０と同じである。同様
に、ポンプ３１，３２はポンプ３０と、液面検知センサ
４１，４２は液面検知センサ４０と同じである。

【００４９】すなわち、図２の処理液供給装置において
は、上記実施形態のトラップタンク１０、ポンプ３０、
三方弁２３、近接センサ２７、液面検知センサ４０から
なる構成が三方弁６０を介して２つ接続されていること
になる。そして制御部５０は、少なくとも、ポンプ３
１、３２、液面検知センサ４１、４２、ポンプ２０、供
給バルブ２２、近接センサ２７ａ、２７ｂ、三方弁２３
ａ、２３ｂと電気的に接続されている。また制御部５０
は、ボトルＢＴが空になってボトルＢＴ１またはＢＴ２
の交換のタイミングであることを知らせる警報部５１、
ボトルＢＴ１とキャップＣＰ１またはＢＴ２とキャップ
ＣＰ２の塞がり状態が不完全である場合にその旨を表示
する表示部５２、図外の複数の基板を処理に順次送り出
す基板処理装置の基板送り出し機構であるインデクサに
も電気的に接続されている。制御部５０は、液面検知セ
ンサ４１、４２や近接センサ２７ａ、２７ｂの検出信号
を受けて、予め入力されたプログラムに従ってこれらの
動作を制御する。

【００５０】このような構成のもと、例えばボトルＢＴ
１が空になったときには以下のように動作する。すなわ
ち、ボトルＢＴ１が空になると、供給ラインＬ１ａから
エアを吸引するようになる。吸引されたエアは、トラッ
プタンク１０ａ内にて上方に溜まるため、供給ラインＬ
２から吐出ノズルに入り込むおそれはない。しかし、供
給ラインＬ１ａから吸引されたエアの量が増加するに従
って、トラップタンク１０ａに貯留されたレジストの液
面レベルは徐々に低下し、やがて基準レベルよりも低く
なる。レジストの液面レベルが基準レベルよりも低くな
ると、液面検知センサ４０がその旨を検知し、制御部５
０に伝達するとともに警報部５１によってアラームが発
せられる。

【００５１】このとき制御部５０は、三方弁６０を切り
替えるように制御して、トラップタンク１０ｂ、すなわ
ちボトルＢＴ２からレジストを吐出ノズルに供給するこ
とができる。従って、上記実施形態のように、新たな基
板の払い出しを中断する必要はなく、通常の基板処理を
連続して行うことができる。

【００５２】そして、三方弁６０を切り替えた後、空の
ボトルＢＴ１を新たなボトルＢＴ１に交換し、トラップ
タンク１０ａのエア抜き作業を行う。このときのエア抜
き作業は上記実施形態と同じである。すなわち、制御部
５０による制御の下、ポンプ３１の吸引動作によって行
う。但し、図２の処理液供給装置では、ボトルＢＴ２か
らの通常のレジスト供給が続行されているため、エア抜
き作業に時間的余裕を持たせることができる。

【００５３】この空のボトルＢＴ１を新たなボトルＢＴ
１に交換するときに、ボトルＢＴ１からキャップＣＰ１
が抜き取られると近接センサは２７ａは、キャップＣＰ
１の塞がり状態が不完全であることを検出し、その信号
を受けて制御部５０は、表示部５２に塞がり状態が不完
全の旨の表示をさせるとともに三方弁２３ａを制御して
ボトルＢＴ１側に接続されたポートとトラップタンク１
０ａ側に接続されたポートとの間を閉止させ、ボトルＢ
Ｔ１側に接続されたポートと排気ラインＬ４ａ側に接続
されたポートとの間が連通するように切り替える。そし
て、ボトルＢＴ１の交換が完了し、ボトルＢＴ１にキャ
ップＣＰ１が被せられて近接センサ２７ａがボトルＢＴ
１の開口２４ａに対するキャップＣＰ１の塞がり状態が
良好であることを検出すると、制御部５０で交換された
ボトルＢＴ１に誤りがないことが判断され、三方弁２３
ａのボトルＢＴ１側のポートとトラップタンク１０ａ側
のポートとを連通する状態に切り替えられる。排気ライ
ンＬ３ａに設けられたポンプ３１を動作させることによ
ってエア抜き作業を実行する。ポンプ３１を動作させる
と、トラップタンク１０ａ内に滞留していたエアがポン
プ３１によって吸引され、排気ラインＬ３ａを介して装
置外に排出されるとともに、供給ラインＬ１ａを介して
新たなボトルＢＴ１からレジストが吸引される。なお、
ポンプ３０を動作させるのと同時に、装置がエア抜き作
業状態にあることを制御部５０に認識させるようにして
おく。

【００５４】トラップタンク１０ａ内に滞留していたエ
アが吸引・排出されるに従って、トラップタンク１０ａ
内のレジストの液面レベルは徐々に上昇し、やがて基準
レベルに到達する。レジストの液面レベルが基準レベル
に到達した時点にて、液面検知センサ４１がその旨を検
知し、制御部５０に伝達する。装置がエア抜き作業状態
にあることを認識中の制御部５０は、液面検知センサ４
１からレジストの液面レベルが基準レベルに到達した旨
の信号を受けたときに、ポンプ３１の吸引動作を停止さ
せる。

【００５５】一方、ボトルＢＴ１が交換されても交換に
誤りがあった場合には、交換されたボトルＢＴ１にキャ
ップＣＰ１が完全に嵌まり込まず、近接センサ２７ａが
ボトルＢＴ１の開口２４ａに対するキャップＣＰ１の塞
がり状態が不完全であることを検出したままとなる。す
ると、制御部５０ではボトルＢＴ１の開口２４ａに対す
るキャップＣＰ１の塞がり状態が不完全であるとの判断
を続け、制御部５０は、そのまま表示部５２にキャップ
ＣＰ１の塞がり状態が不完全であることを表示させると
ともに、三方弁２３ａをボトルＢＴ１側に接続されたポ
ートとトラップタンク１０ａ側に接続されたポートとの
間を閉止させ、ボトルＢＴ１側に接続されたポートと排
気ラインＬ４ａ側に接続されたポートとの間が連通する
ように切り替えた状態を維持せしめる。このとき、三方
弁２３ａのボトルＢＴ１側に接続されたポートとトラッ
プタンク１０ａ側に接続されたポートとの間は閉止され
ているので、例え、ポンプ３１が駆動されても供給ライ
ンＬ１ａを介して新たなボトルＢＴ１からトラップタン
ク１０ａへ向けて誤った処理液が吸引されることはな
く、誤った処理液が吐出ノズルに供給されることはな
い。

【００５６】このようにすれば、例え作業者がボトルＢ
Ｔ１とキャップＣＰ１とがきちんと嵌合していないこと
にすら気づかず、ボトルＢＴ１の交換を誤ったことに気
づかなかった場合でもエア抜き作業の際に、誤ったボト
ルＢＴ１から所望しない処理液がトラップタンク１０ａ
に供給されることを防止でき、基板に対して不適切な処
理液を供給するようなことがなくなり、基板を無駄にす
るようなことを防ぐことができる。

【００５７】このボトルＢＴ１の交換が誤りであった場
合にも、ボトルＢＴ２のレジストが逐次使用されてゆ
き、ボトルＢＴ２が空になり、トラップタンク１０ｂに
貯留されたレジストの液面レベルは徐々に低下し、やが
て基準レベルよりも低くなる。レジストの液面レベルが
基準レベルよりも低くなると、液面検知センサ４２がそ
の旨を検知し、制御部５０に伝達するとともに警報部５
１によってアラームが発せられる。しかし、このときボ
トルＢＴ１は、誤って交換されたボトルであったため三
方弁２３ａは、そのボトルＢＴ１側に接続されたポート
とトラップタンク１０ａ側に接続されたポートとの間が
閉止されたままであり、トラップタンク１０ａにはレジ
ストが貯め込まれていない。そこで制御部５０は、その
旨の液面検知センサ４１からの検出信号を受けて三方弁
６０を切替えることなく、図外のインデクサに新たな基
板の払い出しを禁ずる旨の信号を送信する。

【００５８】そして、このときトラップタンク１０ｂに
残量しているレジストでその時点で既に払い出されてい
る基板に対してレジストを供給して処理を行っていく。
従って、トラップタンク１０ｂにおける基準レベルは、
少なくとも処理途中にある基板の処理を続行できるだけ
のレジストを確保できる位置に設定されている。

【００５９】そして、ボトルＢＴ１ではなく、ボトルＢ
Ｔ２を交換しようとしてこの交換も誤った場合でも、ボ
トルＢＴ２からキャップＣＰ２をはずした時点から引き
続き、近接センサ２７ｂがボトルＢＴ２の開口２４ｂに
対するキャップＣＰ２の塞がり状態が不完全であること
を検出したままとなる。すると、制御部５０ではボトル
ＢＴ２の開口２４ｂに対するキャップＣＰ２の塞がり状
態が不完全であるとの判断を続け、制御部５０は、その
まま表示部５２にキャップＣＰ２の塞がり状態が不完全
であることを表示させるとともに、三方弁２３ｂをボト
ルＢＴ２側に接続されたポートとトラップタンク１０ｂ
側に接続されたポートとの間を閉止させ、ボトルＢＴ２
側に接続されたポートと排気ラインＬ４ｂ側に接続され
たポートとの間が連通するように切り替えた状態を維持
せしめる。このとき、三方弁２３ｂのボトルＢＴ１側に
接続されたポートとトラップタンク１０ｂ側に接続され
たポートとの間は閉止されているので、例え、ポンプ２
０が駆動されても供給ラインＬ１ｂを介して交換を誤っ
た新たなボトルＢＴ２からトラップタンク１０ｂへ向け
て誤った処理液が吸引されることはなく、誤った処理液
が吐出ノズルに供給されることはない。

【００６０】このようにすれば、例え作業者がボトルＢ
Ｔ２とキャップＣＰ２とがきちんと嵌合していないこと
にすら気づかず、ボトルＢＴ２の交換をも誤ったことに
気づかなかった場合でもエア抜き作業の際に、誤ったボ
トルＢＴ２から所望しない処理液がトラップタンク１０
ｂに供給されることを防止でき、基板に対して不適切な
処理液を供給するようなことがなくなり、基板を無駄に
するようなことを防ぐことができる。

【００６１】本実施形態においては、ボトルＢＴ１およ
びＢＴ２が貯留容器に相当し、供給ラインＬ１ａ、Ｌ１
ｂ、Ｌ２が処理液供給経路に相当し、キャップＣＰ１、
ＣＰ２が蓋体に相当し、トラップタンク１０ａ、１０ｂ
が一時貯留容器に相当し、三方弁２３ａ、２３ｂが開閉
弁に相当し、近接センサ２７ａ、２７ｂが塞がり状態検
出手段に相当し、制御部５０が制御手段に相当する。

【００６２】次に第３の実施の形態につき図３に基づき
説明する。図３も２本以上のボトルが接続される処理液
供給装置を示す概略構成図である。図３の処理液供給装
置は、供給ラインＬ１ａおよびＬ１ｂにそれぞれ三方弁
２３ａ、２３ｂを備えない点、排気ラインＬ４ａ、Ｌ４
ｂを備えない点、およびボトルＢＴ１に対するキャップ
ＣＰ１の不完全な塞がり状態またはボトルＢＴ２に対す
るキャップＣＰ２の不完全な塞がり状態が検出された際
にそれに対応するポンプ３１または３２を吸引禁止状態
に制御する点で、図２の処理液供給装置と異なる。その
他の構成については、図２の処理液供給装置と同じであ
り、同一の符号を付している。

【００６３】このような構成のもと、例えばボトルＢＴ
１が空になったときには以下のように動作する。すなわ
ち、ボトルＢＴ１が空になると、トラップタンク１０ａ
に貯留されたレジストの液面レベルは徐々に低下し、や
がて基準レベルよりも低くなる。レジストの液面レベル
が基準レベルよりも低くなると、液面検知センサ４１が
その旨を検知し、制御部５０に伝達するとともに警報部
５１によってボトル交換の時期を知らせるアラームが発
せられる。

【００６４】このとき制御部５０は、三方弁６０を切り
替えるように制御して、トラップタンク１０ｂ、すなわ
ちボトルＢＴ２からレジストを吐出ノズルに供給するこ
とができる。従って、新たな基板の払い出しを中断する
必要はなく、通常の基板処理を連続して行うことができ
る。

【００６５】そして、三方弁６０を切り替えた後、空の
ボトルＢＴ１を新たなボトルＢＴ１に交換し、トラップ
タンク１０ａのエア抜き作業を行う。このときのエア抜
き作業は上記実施形態と同じである。すなわち、制御部
５０による制御の下、ポンプ３１の吸引動作によって行
う。但し、図３の処理液供給装置では、ボトルＢＴ２か
らの通常のレジスト供給が続行されているため、エア抜
き作業に時間的余裕を持たせることができる。

【００６６】この空のボトルＢＴ１を新たなボトルＢＴ
１に交換するときに、ボトルＢＴ１からキャップＣＰ１
が抜き取られると近接センサは２７ａは、キャップＣＰ
１の塞がり状態が不完全であることを検出し、その信号
を受けて制御部５０は、表示部５２に塞がり状態が不完
全の旨の表示をさせるとともに排気ラインＬ３ａに設け
られたポンプ３１の動作を禁止させるように制御する。
そして、ボトルＢＴ１の交換が完了し、ボトルＢＴ１に
キャップＣＰ１が被せられて近接センサ２７ａがボトル
ＢＴ１の開口２４ａに対するキャップＣＰ１の塞がり状
態が良好であることを検出すると、制御部５０で交換さ
れたボトルＢＴ１に誤りがないことが判断され、ポンプ
３１を能動状態に制御して動作させることによってエア
抜き作業を実行する。ポンプ３１を動作させると、トラ
ップタンク１０ａ内に滞留していたエアがポンプ３１に
よって吸引され、排気ラインＬ３ａを介して装置外に排
出される。このときに、供給ラインＬ１ａを介して新た
なボトルＢＴ１からレジストが吸引される。なお、ポン
プ３１を動作させるのと同時に、装置がエア抜き作業状
態にあることを制御部５０に認識させるようにしてお
く。

【００６７】トラップタンク１０ａ内に滞留していたエ
アが吸引・排出されるに従って、トラップタンク１０ａ
内のレジストの液面レベルは徐々に上昇し、やがて基準
レベルに到達する。レジストの液面レベルが基準レベル
に到達した時点にて、液面検知センサ４１がその旨を検
知し、制御部５０に伝達する。装置がエア抜き作業状態
にあることを認識中の制御部５０は、液面検知センサ４
１からレジストの液面レベルが基準レベルに到達した旨
の信号を受けたときに、ポンプ３１の吸引動作を停止さ
せる。

【００６８】一方、ボトルＢＴ１が交換されても交換に
誤りがあった場合には、交換されたボトルＢＴ１にキャ
ップＣＰ１が完全に嵌まり込まず、近接センサ２７ａが
ボトルＢＴ１の開口２４ａに対するキャップＣＰ１の塞
がり状態が不完全であることを検出したままとなる。す
ると、制御部５０ではボトルＢＴ１の開口２４ａに対す
るキャップＣＰ１の塞がり状態が不完全であるとの判断
を続け、制御部５０は、そのまま表示部５２にキャップ
ＣＰ１の塞がり状態が不完全であることを表示させると
ともに、ポンプ３１に対しての動作を禁止した状態を維
持せしめる。したがって、ポンプ３１が駆動されないの
で供給ラインＬ１ａを介して新たなボトルＢＴ１からト
ラップタンク１０ａへ向けて処理液が吸引されることは
なく、誤った処理液がノズルに供給されることはない。

【００６９】このようにすれば、例え作業者がボトルＢ
Ｔ１とキャップＣＰ１とがきちんと嵌合していないこと
にすら気づかず、ボトルＢＴ１の交換を誤ったことに気
づかなかった場合でもエア抜き作業の際に、誤ったボト
ルＢＴ１から所望しない処理液がトラップタンク１０ａ
に供給されることを防止でき、基板に対して不適切な処
理液を供給するようなことがなくなり、基板を無駄にす
るようなことを防ぐことができる。

【００７０】このボトルＢＴ１の交換が誤りであった場
合にも、ボトルＢＴ２のレジストが逐次使用されてゆ
き、ボトルＢＴ２が空になり、トラップタンク１０ｂに
貯留されたレジストの液面レベルは徐々に低下し、やが
て基準レベルよりも低くなる。レジストの液面レベルが
基準レベルよりも低くなると、液面検知センサ４２がそ
の旨を検知し、制御部５０に伝達するとともに警報部５
１によってアラームが発せられる。しかし、このときボ
トルＢＴ１は、誤って交換されたボトルであったためポ
ンプ３１の駆動は禁止された状態となっており、トラッ
プタンク１０ａにはレジストが貯め込まれていない。そ
こで制御部５０は、その旨の液面検知センサ４１からの
検出信号を受けて三方弁６０を切替えることなく、図外
のインデクサに新たな基板の払い出しを禁ずる旨の信号
を送信する。このように三方弁６０は、切り替わらない
ので供給ラインＬ１ａから誤った処理液が供給ラインＬ
２に供給されることはない。

【００７１】そして、このときトラップタンク１０ｂに
残量しているレジストでその時点で既に払い出されてい
る基板に対してレジストを供給して処理を行っていく。
従って、トラップタンク１０ｂにおける基準レベルは、
少なくとも処理途中にある基板の処理を続行できるだけ
のレジストを確保できる位置に設定されている。

【００７２】本実施形態においては、ボトルＢＴ１およ
びＢＴ２がそれぞれ第１および第２の貯留容器に相当
し、供給ラインＬ１ａおよびＬ１ｂがそれぞれ第１およ
び第２の処理液供給経路に相当し、供給ラインＬ２が第
３の処理液供給経路に相当し、三方弁６０が切り替え弁
に相当し、キャップＣＰ１およびＣＰ２がそれぞれ第１
および第２の蓋体に相当し、トラップタンク１０ａおよ
び１０ｂがそれぞれ第１および第２の一時貯留容器に相
当し、排気ラインＬ３ａおよびＬ３ｂがそれぞれ第１お
よび第２の空気排出経路に相当し、ポンプ３１および３
２がそれぞれ第１および第２の吸引手段に相当し、液面
検知センサ４１および４２がそれぞれ第１および第２の
残量検知センサに相当し、ポンプ２０が処理液供給ポン
プに相当し、近接センサ２７ａおよび２７ｂがそれぞれ
第１および第２の塞がり状態検出手段に相当し、制御部
５０が切り替え弁制御手段と吸引禁止状態制御手段に相
当する。

【００７３】上記各実施の形態においては、ボトルに対
するキャップの塞がり状態を近接センサを用いて簡単な
構成で容易に検出することができる。但し、塞がり状態
を検出する構成はこれに限られるものではない。

【００７４】また、上記各実施の形態においては、ボト
ルに対するキャップの塞がり状態が不完全であった場合
に表示部で表示できる構成としているので、オペレータ
が塞がり状態を容易に確認することができる。

【００７５】また、上記実施の形態のおいては、処理液
としてレジストを用いた場合について説明したが、それ
に限られるものではなく、現像液、層間絶縁膜形成用塗
布液、溶剤、洗浄液など各種の処理液に本発明は適用可
能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる処理液供給装置の概略構成を示
す図である。

【図２】本発明にかかる処理液供給装置の他の例の概略
構成を示す図である。

【図３】本発明にかかる処理液供給装置の他の例の概略
構成を示す図である。。

【図４】従来の処理液供給装置の概略構成を示す図であ
る。

【符号の説明】

１０、１０ａ、１０ｂ トラップタンク ２０ 処理液供給ポンプ ２３、２３ａ、２３ｂ 三方弁 ２７、２７ａ、２７ｂ 近接センサ ４０、４１、４２ 液面検知センサ ５０ 制御部 ５２ 表示部 ６０ 三方弁 Ｌ１、Ｌ１ａ、Ｌ１ｂ、Ｌ２ 供給ライン ＢＴ、ＢＴ１、ＢＴ２ ボトル ＣＰ、ＣＰ１、ＣＰ２ キャップ Ｌ３、Ｌ３ａ、Ｌ３ｂ 排気ライン Ｌ４、Ｌ４ａ、Ｌ４ｂ 排気ライン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H025 AB16 AB20 EA04 4F042 AA07 BA08 CB02 CB08 CB13 CB20 5F046 JA01

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を処理するための処理液をノズルに
   供給する処理液供給装置であって、 開口部を有し、処理液が貯留される貯留容器と、 前記貯留容器に貯留された処理液を前記ノズルに導く処
   理液供給経路と、 前記処理液供給経路の一端部が内挿され、前記貯留容器
   の開口を塞ぐ蓋体と、 前記処理液供給経路に設けられ、前記貯留容器から導か
   れた処理液を一時貯留する一時貯留容器と、 前記処理液供給経路における前記一時貯留容器よりも下
   流側に設けられ、前記一時貯留容器に貯留された処理液
   を前記ノズルに導く処理液供給ポンプと、 前記処理液供給経路における前記一時貯留容器よりも上
   流側に設けられた開閉弁と、 前記貯留容器の開口に対する前記蓋体の塞がり状態を検
   出する塞がり状態検出手段と、 前記検出手段によって、前記貯留容器の開口に対する蓋
   体の塞がり状態の不完全が検出された場合に、前記開閉
   弁を前記貯留容器から一時貯留容器への処理液の供給が
   遮断されるように閉止させる制御手段とを備えたことを
   特徴とする処理液供給装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の処理液供給装置におい
   て、 前記開閉弁は、その一方が排気ラインに接続された三方
   弁よりなり、前記制御手段は、前記検出手段によって、
   前記貯留容器の開口に対する蓋体の塞がり状態の不完全
   が検出された場合に、前記開閉弁の開閉状態を前記貯留
   容器と前記排気ラインとを連通させるように切り替えて
   前記貯留容器から一時貯留容器への処理液の供給が遮断
   されるように前記貯留容器と一時貯留容器間を閉止させ
   るように制御するものであることを特徴とする処理液供
   給装置。
3. 【請求項３】 基板を処理するための処理液をノズルに
   供給する処理液供給装置であって、 それぞれ開口部を有し、処理液が貯留される第１および
   第２の貯留容器と、 前記第１および第２の貯留容器に貯留された処理液をそ
   れぞれ導く第１および第２の処理液供給経路と、 前記第１および第２の処理液供給経路と接続されて処理
   液を前記ノズルまで導く第３の処理液供給経路と、 前記第１および第２の処理液供給経路と第３の処理液供
   給経路との接続箇所に設けられ、前記第１の処理液供給
   経路と第３の処理液供給経路とが連通する状態と前記第
   ２の処理液供給経路と第３の処理液供給経路とが連通す
   る状態とに切り替える切り替え弁と、 前記第１および第２の処理液供給経路の一端部がそれぞ
   れ内挿され、それぞれ前記第１および第２の貯留容器の
   開口を塞ぐ第１および第２の蓋体と、 前記第１および第２の処理液供給経路にそれぞれ設けら
   れ、前記第１および第２の貯留容器から導かれた処理液
   を一時貯留する第１および第２の一時貯留容器と、 前記第１および第２の一時貯留容器の上部にそれぞれ接
   続され、前記第１および第２の一時貯留容器内に滞留し
   た空気を排出する第１および第２の空気排出経路と、 前記第１および第２の空気排出経路にそれぞれ設けら
   れ、前記第１および第２の貯留容器内を吸引する第１お
   よび第２の吸引手段と、 前記第１および第２の貯留容器内の処理液の残量の低下
   をそれぞれ検知して検出信号を出力する第１および第２
   の残量検知センサと、 前記第２の処理液供給経路に設けられ、前記第１または
   第２の処理液供給経路からの処理液を前記ノズルに供給
   する処理液供給ポンプと、 前記第１の貯留容器および第２の貯留容器の開口に対す
   る前記第１および第２の蓋体の塞がり状態をそれぞれ検
   出する第１および第２の塞がり状態検出手段と、 前記第１および第２の残量検出センサのいずれかから残
   量の低下を検出する検出信号を入力したときに、他方の
   残量検出センサが残量低下を検出していないことを条件
   に、前記第１の処理液供給経路および第２の処理液供給
   経路のそれぞれと第３の処理液供給経路との連通状態を
   切り替えるように前記切り替え弁を制御する切替え弁制
   御手段と、 前記第１および第２の塞がり状態検出手段のいずれかか
   ら、塞がり状態の不完全が検出された場合に、前記第１
   および第２の吸引手段のうちの対応する吸引手段を吸引
   禁止状態に制御する吸引禁止状態制御手段とを備えたこ
   とを特徴とする処理液供給装置。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３に記載の処理液供給装
   置において、 前記塞がり状態検出手段は、前記貯留容器の開口を塞ぐ
   蓋体に付設された近接センサよりなることを特徴とする
   処理液供給装置。
5. 【請求項５】 請求項１ないし４に記載の処理液供給装
   置において、 前記塞がり状態検出手段が、塞がり状態の不完全を検出
   した場合にそのことを表示する表示手段を設けたことを
   特徴とする処理液供給装置。