JPH0258973B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0258973B2
JPH0258973B2 JP25842285A JP25842285A JPH0258973B2 JP H0258973 B2 JPH0258973 B2 JP H0258973B2 JP 25842285 A JP25842285 A JP 25842285A JP 25842285 A JP25842285 A JP 25842285A JP H0258973 B2 JPH0258973 B2 JP H0258973B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
conduit
container
dispensing
flow communication
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP25842285A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61125429A (ja
Inventor
Ei Deiregoro Josefu
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TORAITETSUKU IND Inc
Original Assignee
TORAITETSUKU IND Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TORAITETSUKU IND Inc filed Critical TORAITETSUKU IND Inc
Publication of JPS61125429A publication Critical patent/JPS61125429A/ja
Publication of JPH0258973B2 publication Critical patent/JPH0258973B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • B67D7/0277—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure
    • B67D7/0283—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants using negative pressure specially adapted for transferring liquids of high purity
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/06—Details or accessories
    • B67D7/08—Arrangements of devices for controlling, indicating, metering or registering quantity or price of liquid transferred
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/2931—Diverse fluid containing pressure systems
    • Y10T137/3109—Liquid filling by evacuating container
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/7287—Liquid level responsive or maintaining systems
    • Y10T137/7358—By float controlled valve
    • Y10T137/7368—Servo relay operation of control
    • Y10T137/7371—Fluid pressure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
  • Loading And Unloading Of Fuel Tanks Or Ships (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 発明の分野 本発明は薬液分配装置に関し、そして、より特
別に、薬液の一つの源容器から薬液の他の一つの
源容器に切り替えるための自動装置に関する。
先行技術の記述 集積超小形電子技術的構成要素であつて、一般
的に半導体チツプとして参照されている集積超小
形電子技術的構成要素の製造においては、受け入
れられる製品の歩どまりを最大にするには慎重に
制禦された処理工程状態を提供することが絶対必
要である。超小形電子技術的構成要素の代表的な
製造工程においては、数百箇或いはそれ以上の個
別の半導体チツプが同時に同じ製造的処理を受け
る。そして、従つて、少しの処理上の混乱や誤り
のために多数の製品が使いものにならなくさせら
れるのである。このことは特に写真平版処理工程
であつて該工程においては超小形電子技術的構成
要素の工程に絶対必要な微細構成的型を形成する
ためにシリコーン基板が化学的にエツチングされ
る写真平版処理工程において実情と一致してい
る。
半導体基板の化学的エツチングに連係して、フ
オトレジストとして知られているポリマー液の薬
液でシリコーン基板のある部分を塗布することは
良く知られている。紫外線照射にさらすことによ
り、フオトレジストは選択的に塗布された基板の
部分に保護層であつて後続のエツチング工程の間
じゆう化学的攻撃からその部分を保護する保護層
を形成する。フオトレジストのそのような塗布被
膜は薄くなければならないがしかし保護されるべ
き領域上で連続でなければならない。そうでない
と、塗布された領域の一部がエツチングを受けそ
して超小形電子技術的構成要素が無価値なものに
させられる。フオトレジスト層における不連続性
の一つの原因は追跡の結果空気泡であつてフオト
レジストが分配されるときの工程に導入された空
気泡であることが判明している。従つて、半導体
超小形電子技術的構成要素の製造においてはフオ
トレジスト液体にとりこまれる空気の量を最小に
する方法でフオトレジストを分配することが重要
である。
代表的な超小形電子技術的製造工程において
は、フオトレジストは比較的小さな瓶からポンプ
輸送により分配される。この慣行は製品の純粋性
を維持することとそして定期的に分配されるフオ
トレジスト液体の量が正確に制禦されなければな
らないという事実にかかわつているだけでなく、
薬液の費用、毒性そして「貯蔵安定性」にもかか
わつている。フオトレジスト用の個々の容器は比
較的小さいので、容器が空になつたときに分配装
置の中の容器を取り替えることが定期的に必要と
なる。今まで、取替工程によつて屡々空気が分配
装置、特にポンプの中にとりこまれるようにさせ
られてきた。例えば、もしも源の容器が、それが
取り替えられる前に「乾燥状態に陥る」と、液体
の薬液ではなくむしろ空気が分配装置の中に吸引
されそして、後続的に、その空気によつて半導体
の基板上のフオトレジストの塗布被膜の中に欠陥
がひきおこされる。
発明の要約 本発明の第一位の目的は、フオトレジストのよ
うな薬液の液体を集積超小形電子技術的回路用製
造工程において直接利用するために容器から分配
するための改良された装置を提供することにあ
る。
より特別に、本発明の目的は、フオトレジスト
のような薬液の液体を分配するための改良された
装置であつて空気が該分配装置にとりこまれる機
会を最小にするように作用する改良された装置を
提供することにある。
さらに本発明のもう一つの目的は、フオトレジ
ストのような薬液の液体を分配するための改良さ
れた装置であつて、該装置においては、該装置が
薬液用の一つの源容器から他の一つの源容器に自
動的に切り替るように作用する改良された装置を
提供することである。
なお本発明のもう一つの目的は、フオトレジス
ト及び同様の薬液を分配するための改良された装
置であつて薬液の漏損を最小にする改良された装
置を提供することにある。
本発明の好ましい具体例は、一対の第一の或は
第二の源容器から二つのうちのどちらかを選んで
液体の流れを選択的に遮断する制禦可能弁に二つ
の源容器を連結している導管装置と、制禦可能弁
と液体の流れが通じている状態に連結されそして
受け取られた液体の実質的量を保有するための容
器を含有している貯槽装置と、貯槽装置の容器の
底部領域から液体をポンプ輸送する装置と、貯槽
装置の容器の中の液体の液位を監視しそして液位
があらかじめ定められた位置よりも下に落ちた時
は何時でも出力信号を提供する液位検出装置と、
そして液位検出装置からの出力信号を受け取るた
めに連結されそして該出力信号に応答して制禦可
能弁を作動させ、そのことにより前記容器の一つ
から前記容器の他の一つへ流体の流れの連通を切
り替えるように装着されてなる切替装置とを包含
している。本発明の装置の具体例においては、ベ
ンチユリ部材を含有するアスピレーターが貯槽装
置の容器からその中の液体の液位の上方の空気を
吸引するために貯槽装置に連結されている。
本発明の装置の運転については種々の方法が実
行され得るが、運転の好ましい方法においては液
位検出装置からの出力信号が、もしも貯槽装置内
の液位が監視されている液位より下に落ちると第
一のあらかじめ定められた時間の期間の間、貯槽
装置から空気を吸引するためにアスピレータを作
動さすように利用される。もしも第一のあらかじ
め定められた時間の期間の間に液位が監視される
液位より上方に上昇しないときには、液位検出装
置からの出力信号が、第一位置であつて、該第一
位置においては制禦可能弁装置の弁が第二導管を
介しての液体の流れを遮断し所が一方第一導管を
介しては液体を流れさせる第一位置から、第二位
置であつて、該第二位置においては制禦可能弁装
置の弁が第一導管を介しての液体の流れを遮断し
所が一方第二導管を介しては液体を流れさせる第
二位置へ切り替えるために制禦可能弁装置を作動
さすように利用される。言い換えれば、貯槽装置
が第一時間の期間の間に再充満しないときはいつ
でも、制禦可能弁は第一容器から第二容器へ切り
替るということである。
前述の記述によれば、本発明の第一の利点は、
集積超小形電子技術的回路構成要素用製造工程に
おいての直接的利用のために容器から、フオトレ
ジストのような、薬液の液体を分配するための改
良された装置の提供である。
本発明のもう一つの利点は、フオトレジストの
ような、薬液液体を分配するための改良された装
置であつて、分配装置の中にとり込まれる機会を
最小にするように、そして薬液液体の漏損を最小
にするように作用する改良された装置の提供であ
る。
本発明のなおまたもう一つの利点は、フオトレ
ジストのような、薬液液体を分配するための改良
された装置であつて、該装置において該装置が薬
液用の一つの源容器からもう一つのへ自動的に切
り替るように作用し、所が一方で空気が分配装置
のポンプの中にとり込まれる機会を最小にする装
置の提供である。
本発明の他の目的及び利点は図面の種々の図形
に例示されている好ましい具体例についての次の
詳細な記述を読んだあとには当業者には疑いもな
く明白となるであろう。
好ましい具体例の詳細な記述 一般的に、第１図は、フオトレジストのよう
な、薬液液体を一対の容器から二つのうちの一つ
を選んで分配するための改良された装置を示して
いる。より特別に、第１図は、第一容器１１が空
になるような時迄第一導管１３を介して第一容器
１１から薬液液体を自動的に分配するように作用
する装置を描いている。そして、次に該装置は第
二容器が空になるような時迄導管１７を介してそ
こから薬液液体を分配するように第二容器１５に
自動的に切り替るように機能する。装置が第二容
器１５から薬液液体を吸引している期間の間じゆ
う、運転者が第一容器１１を薬液液体で元どおり
一杯にするように、第一導管１３を通る液体の流
れを遮断するべく作用する。第二容器が空にされ
たあと、第１図の装置は容器１５から容器１１に
切り替るように自動的に作用し後続的に容器１１
から薬液液体を吸引し所が一方運転者が第二容器
１５を薬液液体で元どおり一杯にするように第二
導管１７を通る液体の流れを遮断する。
第１図の装置の実施においては、容器１１及び
１５はフオトレジストのような薬液液体を入れら
れる従来の瓶、可撓性プラスチツク容器或いは同
様のものである。導管１３はその一端が第一容器
１１の中にその底部領域から液体を吸引するため
に延伸し；第一導管１３の他端は一般的に数字１
９で示される制禦可能弁に連結されている。同様
に、第二導管１７はその一端が第二容器１５の中
にそこから液体を吸引するために延伸し、そして
その反対端は制禦可能弁１９と液体の流れが通じ
ている状態に連結している。亦、制禦可能弁１９
に、液体の流れがそれと通じている状態に連結さ
れているのは、出口導管２０である。
制禦可能弁１９は、従来の三方向弁であつて、
第一位置においては、液体をして導管１３から出
口導管２０へ流れさせ所が一方第二導管１７を通
る流れを遮断する。その第二位置においては、制
禦可能弁１９は第一導管１３を通る流れを遮断す
るがしかし液体をして導管１７から出口導管２０
の中へと流れさせる。
好ましい具体例においては、弁１９は空気的に
制禦されている。そのような場合の如くに、弁１
９は、従来のパイロツトスイツチであつて、第１
図には分けて示されてなく、そして導管２１を介
して圧縮空気の流れによつて作動させられる従来
のパイロツトスイツチを含有する。引き続いて、
導管２１を通る圧縮空気の流れは従来の標準的に
閉じられるソレノイド弁２３であつて導管２１の
中にさしはさまれたソレノイド弁によつて制禦さ
れる。ソレノイド弁２３は、開いた位置であつ
て、そのときにおいて弁が圧縮空気をして導管２
１を介してパイロツトスイツチへ流れさせる開い
た位置になるためには配線２４を介しての電気的
操作を必要とすると理解されてもよい。代表的に
は、圧縮空気は約50psi（約3.51Kg／cm2）である。
出口導管２０は制禦可能弁１９から液体の流れ
が通じている状態で第１図中において一般的に数
字２７によつて示されている貯槽装置に延伸して
いる。貯槽装置２７は、本質的に、実質的量の液
体を入れられるように特別に設計された容器であ
る。（実施においては、貯槽装置２７は約300mlの
液体を含有する。）かくして、図解された具体例
においては、貯槽装置２７は、底部壁２９と、直
立円筒側壁３０と、そして上面密閉壁３１とを有
する容器を含有している。更に、孔３４ａ、及び
３４ｂが貯槽装置の底部壁２９を貫通して形成さ
れる。密閉可能にそれぞれの孔３４ａ及び３４ｂ
に連結されているのは導管３５ａ及び３５ｂであ
つて貯槽２７からそれぞれのポンプ３７ａ及び３
８ｂに通じている。（ポンプ３７ａ及び３７ｂか
らの出口は示されていない。） 更に第１図に示された具体例においては、孔５
２が貯槽装置２７の上面壁３１を貫通して設けら
れていて、そして導管５３が密閉可能にその孔に
取り付けられそのことにより貯槽の内側と空気が
流れる状態に通じている。導管５３の中にさしは
さまれているのは従来の一方向逆止弁５５であつ
て空気を貯槽装置２７から流れさせ所が一方反対
方向の（即ち、貯槽の中への）流れを防止してい
る。導管５３は、その他端において、導管５３の
中に減圧を作るための従来の装置であると理解さ
れ得るアスピレーター５７であつて、それによつ
て貯槽装置２７から空気流体を吸引させるアスピ
レーター５７へ連結されている。好ましい具体例
においては、アスピレーター装置５７は排水管５
８と圧縮された空気を受け取るための導管装置５
９とを持つている従来のベンチユリ部材を含有し
ている。ベンチユリ部材においては、ノドの制限
された領域を通つての圧縮された空気の流れがベ
ルヌーイの定理に従つて減圧された流体圧の領域
を作り出すのである。低圧のノド領域と流体の流
れが通じている状態に連結されている導管５３で
もつて、吸引力であつて貯槽２７から、空気を吸
引する吸引力が、導管５３の中に作り出される。
代表的には、ベンチユリのノドにおける減圧され
た空気は水銀柱で約20インチ（約50.80cm）であ
る。
図解された装置においては、アスピレーター５
７への圧縮された空気の流れは導管５９の中にさ
しはさまれた標準的に密閉されるソレノイド弁６
０によつて制禦される。ソレノイド弁６０は配線
６１を介して電気的に作動させられ前に記述され
たソレノイド弁２３と同じ型であると理解されて
よい。亦、導管５３に、或いは貯槽装置２７それ
自身の中にさしはさまれているのは、オーバーフ
ロー検出装置であつて、示されてはいないが、フ
ロートスイツチとして一体化されていてもよいオ
ーバーフロー検出装置である。
ポンプ３７ａ及び３７ｂはフオトレジストをポ
ンプ輸送するための従来の装置であると理解され
てもよい。この目的のために特別に有用で頼りに
なるポンプは米国特許第4483665号に開示されて
いる。そのようなポンプはそれぞれ本体３８ａ及
び３８ｂを含有している。
本発明によれば、壁２９及び３０によつて規定
されている容器内の液位を監視し、監視されてい
る液位があらかじめ定められた位置より下に落ち
たときにはいつでも出力信号を提供するために、
一般的に６５で示されている液位検出装置が貯槽
装置２７と係合されている。好ましい具体例にお
いては、液位検出装置は、容器本体３０の外側に
装着されそして圧力（即ち、接近性）を、或は容
器本体内に液のないことを容器本体の壁を通して
孔を形成する必要なしに検出するように操作し得
る静電容量型の近接センサーである。液位検出器
６５からの電気的出力信号は出力導線６７によつ
て第１図の装置の組み合わせた運転に利用される
制禦設備装置６９に運ばれる。
第１図の装置の運転は今や容易に理解され得
る。最初に、装置は一つの状態であつてそこにお
いては液体が容器１１から吸引されそして貯槽装
置２７の中へそれを液位検出装置６５のあらかじ
め選ばれた位置の上方の液位迄充満するために弁
１９を介して通過せしめられる状態にあり、そし
て同時に、少なくともポンプ３７ａと３７ｂのう
ちの一つが貯槽装置２７から液体を吸引するため
に運転中であると考えられるべきである。この期
間の間、ポンプの運転により貯槽装置内の圧が減
圧され、引き続いて、液位検出装置６５の作用を
誘発する液位の上方の液位に貯槽を充満された状
態に保持するように容器１１から液体が吸引され
る。（一方向性逆止弁５５は導管５３を介して貯
槽装置２７の中への空気の流入を防止するように
作用するということが思い出さるべきである。） 前の文節に記述されているように運転の間じゆ
う、液位検出装置６５からの出力信号はない。そ
のような状態は、しかしながら、容器１１がその
内容物について本質的に空にさせられるか或い
は、ある他の理由で、液体がもはや容器１１から
流出しなくなるようなまさにその時迄、続くであ
ろう。その時のことが起ると、貯槽装置２７の液
体液位は検出装置６５によつて監視される位置よ
り下に落ちる。その位置が通過されると、検出装
置６５が導線６７に出力信号を提供する。これに
応答して、制禦設備６９が標準的に閉じられるソ
レノイド弁６０を動かす。弁６０が開かさられる
と、圧縮された空気がアスピレーター５７に流入
し、圧力降下であつて導管５３を介して貯槽装置
２７に通じている圧力降下を起させる。従つて、
もしも容器１１が充分な液体を有しているなら
ば、容器１１からの液体の流れに小さな遮断があ
つても、アスピレーター５７によつて提供される
補足的吸引力により、液体は再び正常に貯槽装置
２７に流入するようにさせられる。貯槽装置が再
充満している期間の間じゆう、制禦設備６９はア
スピレーター５７を作動して貯槽装置から空気を
吸引させる。そのような状態の下でのある時間の
運転の後には、貯槽装置２７が液位検出装置６５
によつて監視される液位より上方に迄再充満され
そして液位検出装置からの出力信号が再び零に落
ちる。好ましい運転方法においては、制禦設備６
９はソレノイド弁６０を作動してあらかじめ定め
られた時間の期間、例えば約３秒の間、液位検出
装置からの出力信号が零になつた後に、開いてい
るようにさせ；このことによりアスピレーター５
７が液位検出装置６５によつて監視される液位の
実質的に上方に貯槽装置２７内の液体液位を引き
寄せるように作動し続けることを確実にし、その
ことによりアスピレーター５７を屡々作動さす必
要性を明確にする。
この情況において、アスピレーター５７が貯槽
装置２７に関して注入的機能を提供することが理
解され得る。即ち、アスピレーターが貯槽装置の
中に液体に引き入れるのである。従つて、実施に
おいては、貯槽２７に注入することが要望される
ときにはアスピレーター５７が手動で作動される
ような制禦プログラムの手動的上積みを提供する
ことが望ましい。
もしも貯槽装置２７が充満されそして導管５３
を介して吸引されていると、そのような状態はオ
ーバーフロー検出装置によつて検出される。オー
バーフロー状態の間じゆう、オーバーフロー検出
装置からの出力信号がソレノイド弁６０を作動さ
せないようにし、引き続いて、アスピレーター５
７を作動させないようにすることに利用されう
る。
あるあらかじめ定められた時間の期間の後に、
もしも液体が貯槽装置２７を液位検出装置６５に
よつて監視される液位の上方に迄充満しないと、
液位検出装置からの出力信号が制禦設備６９に標
準的に閉じられるソレノイド弁２３を開かさせ、
それで、圧縮された空気をして制禦弁１９と係合
されているパイロツトスイツチを作動させるため
に導管２１を介して流入せしめる。パイロツトス
イツチの作動で、弁１９はその第一位置から第二
位置へと動く。第二位置において、制禦可能弁１
９は第一導管１３を介しての液体の流入を遮断し
所が一方第二導管１７を介して出口導管２０の中
へ液体を流入させる。
制禦可能弁装置１９は、それが空気で制されて
いるので、それを介して通過する液体の過熱を引
き起さない。そして、それ故、例えば、電気的に
作動される弁で引き起されるごとき分配される薬
液の性質に影響を与えないという良さが理解され
得る。
制禦可能弁１９が容器１１から容器１５へ流通
変更を実施したあとにも、液位検出装置６５は貯
槽が再充満するような時迄貯槽装置２７内の液体
の低い液位を示す出力信号を提供し続ける。従つ
て、この期間の間、制禦設備６９は標準的に密閉
されたソレノイド弁６０を開いて保持し、第二容
器１５から貯槽に液体を吸引するために貯槽装置
２７内に負の圧力を提供するようにアスピレータ
ー５７を作動さす。貯槽装置が検出装置６５によ
つて監視される液位より上方の液位に迄充満した
あとに、検出装置からの出力は終了する。その後
にも、アスピレーター５７は、制禦設備６９によ
つて決定されているある時間の期間の間、或いは
オーバーフロー状態が示される迄負圧を提供し続
ける。
装置が第二容器１５から液体を吸引しはじめた
ときに、この状態そして、従つて、第一容器１１
が再充満を必要としているという事実の表示を提
供すると便利である。そのような表示は可聴性の
或いは可視性の警報により制禦設備６９において
容易に提供されうる。かくして、液が第二容器１
５から吸引されている期間の間に、運転者は第一
容器１１を再充満する充分な機会を持つことにな
る。
第一容器から液体が吸引されている間、装置の
運転は、液体が第一容器から吸引されている間の
運転に対して前に記述された運転の方法と本質的
に同じである。即ち、貯槽装置２７の中の液体液
位が最初に監視された液位より下に落ちると、第
二容器１５から如何なる一時的な液の遮断も克服
して貯槽装置の中に減圧された圧力を生じさせる
ように制禦設備６９が最初にアスピレーターを起
動させる。もしも流れの停止が単に一時的である
と判明すると、装置は第二容器１５から液体を吸
引する。しかし、もしも第二容器からの流れの停
止が短い期間の時間よりより長い間続くと、制禦
設備６９は制禦弁１９の作動をして第二容器１５
から第一容器１１へ切り替るようにさせる。その
ような切替があると、運転者に第二容器１５が再
充満を必要としていることを合図で知らせるため
に表示警報や警告が提供される。
この情況において、貯槽装置２７が分配用ポン
プに空気が入ることを防止するために源容器と分
配ポンプとの間の中間保持容器として効果的に作
用していることの良さが理解され得る。そのよう
な作用は装置が液保持容器１１及び１５の一つか
ら他へ切り替つている時の間ずつと特に有益であ
る。
本発明は図解されてなる好ましい具体例を特に
参照して記述されたけれども、そのような開示は
制限として解釈されるべきではないということが
理解されるべきである。種々の他の交代物、変形
そして具体例は当業者には前の開示を読了の後に
は疑いもなく明白となろう。従つて、添付された
特許請求の範囲がすべてのそのような交代物、変
形そして具体例を本発明の真の精神と範囲の中に
落ちるとして覆つているものとして解釈されると
いうことが意図されている。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る液体薬液の図式的な一覧
図である。 図中；１１，１５：薬液用容器、１３，１７：
薬液用及び減圧空気用導管、１９：制禦可能三方
弁、２７：貯槽装置、３７ａ，３７ｂ：ポンプ、
５５：逆止弁、５７：アスピレーター、６５：液
位検出装置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ フオトレジストのような薬液を一対の容器か
    ら分配するための改良された装置であつて、該装
    置が： ａ 一対の容器の中の第一容器と液体の流れが通
    じている状態に装着されている第一導管装置で
    あつて第一容器から液体を運ぶための第一導管
    装置と； ｂ 一対の容器の中の第二容器と液体の流れが通
    じている状態に装着されている第二導管装置で
    あつて第二容器から液体を運ぶための第二導管
    装置と； ｃ 第一導管装置と及び第二導管装置と液体の流
    れが通じている状態に連結されている制禦可能
    な弁装置であつて、第一位置においては、第二
    導管装置を介して液体の流れを選択的に封鎖し
    所が一方第一導管装置を介して液体の流れを流
    れさせておき、そして、第二位置においては、
    第一導管装置を介して液体の流れを選択的に封
    鎖し所が一方第二導管装置を介して液体の流れ
    を流れさせておく制禦可能な弁装置と； ｄ 制禦可能な弁装置を介して第一導管装置及び
    第二導管装置から液体を受け取るために制禦可
    能弁装置と液体の流れが通じている状態に連結
    されている貯槽装置であつて、受け取られた量
    の液体を保有するための容器を含有している貯
    槽装置と； ｅ 前記容器と液体の流れが通じている状態に連
    結されているポンプ装置であつて前記容器から
    液体を取出すためのポンプ装置と； ｆ 前記容器内の液体の液位を監視しそして液位
    があらかじめ定められた位置より下に落ちたか
    どうかを表わす出力信号を提供するための液位
    検出装置と；そして ｇ 液位検出装置からの出力信号を受け取るため
    に連結されそしてそのような信号に応答して一
    対の容器の中の一つの容器と液体の流れが通じ
    ている状態から一対の容器の中の他の一つの容
    器と液体の流れが通じている状態に切り替える
    ように制禦可能弁装置をさせるために装着され
    ている切替装置とを含有することを特徴とする
    フオトレジストのような薬液を一対の容器から
    分配するための改良された装置。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の薬液分配装置が
    更に貯槽装置からその中の液体の液位の上方の空
    気を吸引するために貯槽装置に連結されている空
    気吸引装置を含有していることを特徴とする薬液
    分配装置。 ３ 特許請求の範囲第２項記載の薬液分配装置に
    おいて、空気吸引装置がアスピレーターを含有す
    ることを特徴とする薬液分配装置。 ４ 特許請求の範囲第３項記載の薬液分配装置に
    おいて、前記アスピレーターが： ａ ベンチユリ部材と、 ｂ 前記ベンチユリ部材のノドの中に減圧領域を
    作り出すために前記ベンチユリ部材を介して圧
    縮された空気を選択的にさし向けるために前記
    ベンチユリ部材に連結されている装置と、そし
    て ｃ 貯槽装置と流体の流れが通じている状態に前
    記減圧領域を連結してなる装置であつて、その
    ことにより空気が貯槽装置から前記ベンチユリ
    部材内の減圧創作によつて吸引される装置とを
    含有することを特徴とする薬液分配装置。 ５ 特許請求の範囲第４項記載の薬液分配装置が
    更に前記容器への空気流入を防止するために貯槽
    装置と減圧領域とを連結している前記装置にさし
    はさまれてなる一方向逆止弁を含有していること
    を特徴とする薬液分配装置。 ６ 特許請求の範囲第４項記載の薬液分配装置が
    貯槽装置を液体で充満させた時を検出するために
    貯槽装置に操作可能に連結されているオーバーフ
    ロー検出装置を含有していることを特徴とする薬
    液分配装置。 ７ 特許請求の範囲第１項記載の装置において、
    貯槽装置の下部の領域から液体を吸引するために
    ポンプ装置が連結されていることを特徴とする装
    置。 ８ 特許請求の範囲第１項記載の薬液分配装置に
    おいて、制禦可能弁装置と係合させられてなる切
    替装置が空気作動型パイロツトスイツチと第一位
    置と第二位置との間で制禦可能弁装置を作動させ
    るために前記パイロツトスイツチに圧縮された空
    気をさし向けるための導管装置とを含有すること
    を特徴とする薬液分配装置。 ９ 特許請求の範囲第８項記載の薬液分配装置に
    おいて、前記パイロツトスイツチに圧縮された空
    気をさし向けるための前記導管装置が液位検出装
    置から出力信号を受け取るために連結されそして
    前記液位検出装置からのそのような信号のない場
    合に前記パイロツト弁への空気の流入を妨止する
    ように操作可能であることを特徴とする薬液分配
    装置。 １０ 特許請求の範囲第１項記載の薬液分配装置
    において、前記容器内の液位があらかじめ定めら
    れた位置より下に落ちたことを示す液位検出装置
    からの信号を受けとると第一位置から第二位置へ
    制禦可能弁を作動させるために切替装置が操作可
    能であることを特徴とする薬液分配装置。 １１ フオトレジストのような薬液を、一対の容
    器から分配するための装置の運転の方法におい
    て、該装置が： ａ 一対の容器の第一容器と液体の流れが通じて
    いる状態に装着されてなる第一導管装置であつ
    て第一容器から液体を運ぶための第一導管装置
    と； ｂ 一対の容器の第二容器と液体の流れが通じて
    いる状態に装着されてなる第二導管装置であつ
    て第二容器から液体を運ぶための第二導管装置
    と； ｃ 第一導管装置と及び第二導管装置と液体の流
    れが通じている状態に連結されている制禦可能
    な弁装置であつて、第一位置においては、第二
    導管装置を介して液体の流れを選択的に封鎖し
    所が一方第一導管装置を介して液体の流れを流
    れさせておき、そして、第二位置においては、
    第一導管装置を介して液体の流れを選択的に封
    鎖し所が一方第二導管装置を介して液体の流れ
    を流れさせておく制禦可能な弁装置と； ｄ 制禦可能な弁装置を介して第一導管装置及び
    第二導管装置から液体を受け取るために制禦可
    能弁装置と液体の流れが通じている状態に連結
    されている貯槽装置であつて、受け取られた量
    の液体を保有するための容器を含有している貯
    槽装置と； ｅ 前記容器と液体の流れが通じている状態に連
    結されているポンプ装置であつて前記容器から
    液体を取出すためのポンプ装置と； ｆ 前記容器内の液体の液位を監視しそして液位
    があらかじめ定められた位置より下に落ちたか
    どうかを表わす出力信号を提供するための液位
    検出装置と；そして ｇ 液位検出装置からの出力信号を受け取るため
    に連結されそしてそのような信号に応答して一
    対の容器の中の一つの容器と液体の流れが通じ
    ている状態から一対の容器の中の他の一つの容
    器と液体の流れが通じている状態に切り替える
    ように制禦可能弁装置をさせるために装着され
    ている切替装置とを含有し、該装置を運転する
    方法が： 前記貯槽装置内の液位が液位検出装置によ
    つて監視されるあらかじめ定められた液位よ
    り下に落ちると、液位検出装置からの出力を
    利用して貯槽装置からその中の液体の液位よ
    り上方の空気を吸引する装置を第一予選択期
    間の時間の間作動させる段階と、 貯槽装置内の液体の液位が第一予選択期間
    の時間と同時に始まるが前記第一予選択期間
    よりもより短い第二予選択期間の時間以内で
    液位検出装置によつて監視される液位の上方
    に上がらないときに、液位検出装置からの出
    力信号を利用して前記第一位置から前記第二
    位置へ動くように前記制禦可能弁装置を作動
    させる段階とを含有することを特徴とするフ
    オトレジストのような薬液を、一対の容器か
    ら分配するための装置の運転の方法。 １２ 特許請求の範囲第１１項記載の薬液分配装
    置運転方法が更に： 貯槽装置が液体で充満されているという状態を
    検出する段階と、そして、そのような状態の発生
    のときに、 貯槽装置から空気を吸引する装置の運転を遮断
    する段階とを含有することを特徴とする薬液分配
    装置運転方法。
JP60258422A 1984-11-19 1985-11-18 薬液分配装置 Granted JPS61125429A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/672,798 US4601409A (en) 1984-11-19 1984-11-19 Liquid chemical dispensing system
US672798 1984-11-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61125429A JPS61125429A (ja) 1986-06-13
JPH0258973B2 true JPH0258973B2 (ja) 1990-12-11

Family

ID=24700043

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60258422A Granted JPS61125429A (ja) 1984-11-19 1985-11-18 薬液分配装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US4601409A (ja)
JP (1) JPS61125429A (ja)

Families Citing this family (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3430934C2 (de) * 1984-08-22 1986-07-03 Bosch-Siemens Hausgeräte GmbH, 7000 Stuttgart Schaltungsanordnung zum geregelten Auffüllen und Nachfüllen von Behältern mit Flüssigkeiten
US4945955A (en) * 1988-03-23 1990-08-07 Burr-Brown Corporation Hazardous waste removal devices
US4950134A (en) * 1988-12-27 1990-08-21 Cybor Corporation Precision liquid dispenser
US5167837A (en) * 1989-03-28 1992-12-01 Fas-Technologies, Inc. Filtering and dispensing system with independently activated pumps in series
US5316181A (en) * 1990-01-29 1994-05-31 Integrated Designs, Inc. Liquid dispensing system
JP3039689B2 (ja) * 1990-01-29 2000-05-08 インテグレイテッド・デザインズ・リミテッド・パートナーシップ 液体分配装置及び液体分配方法並びに液体分配装置の処理方法
FI85563C (fi) * 1990-08-08 1992-05-11 Cimcorp Oy Faergnyanseringsmaskin.
US5271526A (en) * 1990-12-07 1993-12-21 Titan Industries, Inc. Programmable additive controller
US5118008A (en) * 1990-12-07 1992-06-02 Titan Industries, Inc. Programmable additive controller
US5234035A (en) * 1992-01-06 1993-08-10 Minnesota Valley Engineering, Inc. Bulk delivery system for carbonated beverages
US5251785A (en) * 1992-02-06 1993-10-12 The Lubrizol Corporation Additive injection system and method
US5527161A (en) * 1992-02-13 1996-06-18 Cybor Corporation Filtering and dispensing system
US5310087A (en) * 1992-08-24 1994-05-10 National Semiconductor Corporation Continuous feed, chemical switching unit
US5293893A (en) * 1993-01-27 1994-03-15 Fsi International, Inc. Empty drum detecting apparatus
US5490765A (en) * 1993-05-17 1996-02-13 Cybor Corporation Dual stage pump system with pre-stressed diaphragms and reservoir
US5383574A (en) * 1993-07-19 1995-01-24 Microbar Sytems, Inc. System and method for dispensing liquid from storage containers
US5607000A (en) * 1994-10-31 1997-03-04 Motorola, Inc. Hazardous material liquid dispensing system and method
US6425408B1 (en) 1995-08-02 2002-07-30 Marcus J. Engle Vacuum transfer system utilizing biased ball
US5839484A (en) * 1995-08-02 1998-11-24 Engle; Marcus J. Vacuum transfer system and method for food grade product
US5700401A (en) * 1995-12-22 1997-12-23 Microbar Systems, Inc. Liquid auto-level apparatus and method
US5868278A (en) * 1996-12-09 1999-02-09 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Eliminating microbubbles in developer solutions to reduce photoresist residues
US6148838A (en) * 1997-05-28 2000-11-21 Vanguard International Semiconductor Corporation Automated processing liquid drain system
US6171367B1 (en) * 1997-06-05 2001-01-09 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Method and apparatus for delivering and recycling a bubble-free liquid chemical
US6021921A (en) * 1997-10-27 2000-02-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Liquid dispensing system and method for dispensing
US6134941A (en) * 1998-03-23 2000-10-24 Motorola, Inc. Method of testing sensors and apparatus therefor
IT1304458B1 (it) * 1998-07-24 2001-03-19 Azionaria Costruzioni Acma Spa Metodo e serbatoio per l'erogazione di sostanze liquide all'internodi contenitori.
US6059146A (en) * 1998-07-29 2000-05-09 Perrier Group Of America Liquid delivery system that automatically delivers liquid from a plurality of containers
US8172546B2 (en) * 1998-11-23 2012-05-08 Entegris, Inc. System and method for correcting for pressure variations using a motor
US7029238B1 (en) * 1998-11-23 2006-04-18 Mykrolis Corporation Pump controller for precision pumping apparatus
US6098843A (en) * 1998-12-31 2000-08-08 Silicon Valley Group, Inc. Chemical delivery systems and methods of delivery
US20030010792A1 (en) * 1998-12-30 2003-01-16 Randy Forshey Chemical mix and delivery systems and methods thereof
DE69912323T2 (de) 1998-12-30 2004-07-29 The Boc Group, Inc. Anlage und Verfahren zur Abgabe von Chemikalien
US6131771A (en) * 1999-06-04 2000-10-17 Bobrick Washroom Equipment, Inc. Fluid dispensing system with flow control
US6276552B1 (en) 1999-07-06 2001-08-21 Steve Vervisch Sealed container latch system
KR100754342B1 (ko) 1999-10-18 2007-09-03 인터그레이티드 디자인즈 엘.피. 유체 분배 방법 및 장치
US6325932B1 (en) * 1999-11-30 2001-12-04 Mykrolis Corporation Apparatus and method for pumping high viscosity fluid
US6338361B2 (en) * 2000-02-04 2002-01-15 United Microelectronics Corp. Apparatus with a check function for controlling a flow resistance of a photoresist solution
US6616014B1 (en) * 2000-02-25 2003-09-09 The Boc Group, Inc. Precision liquid mixing apparatus and method
DE10017379C2 (de) * 2000-04-07 2002-01-24 Bartec Componenten & Syst Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Förderung eines Mediums
JP4808859B2 (ja) * 2001-05-02 2011-11-02 日本エア・リキード株式会社 液体有無検出装置及び液体有無検出方法
KR100470682B1 (ko) * 2001-09-11 2005-03-07 나노에프에이 주식회사 포토레지스트의 흘림 길이를 조절할 수 있는 포토레지스트공급 장치 및 이를 이용한 포토레지스트 공급 방법
JP3890229B2 (ja) * 2001-12-27 2007-03-07 株式会社コガネイ 薬液供給装置および薬液供給装置の脱気方法
JP3947398B2 (ja) * 2001-12-28 2007-07-18 株式会社コガネイ 薬液供給装置および薬液供給方法
US20040140812A1 (en) * 2003-01-21 2004-07-22 Ademir Scallante Arrangements containing electrical assemblies and methods of cleaning such electrical assemblies
GB0321455D0 (en) * 2003-09-12 2003-10-15 Aesseal Plc Self regulating re-circulation system for use with vacuum pumps
JP4575386B2 (ja) * 2004-09-27 2010-11-04 キッコーマン株式会社 醤油諸味の移送装置
KR101231945B1 (ko) 2004-11-23 2013-02-08 엔테그리스, 아이엔씨. 가변 홈 위치 토출 장치용 시스템 및 방법
US7910074B2 (en) * 2005-10-13 2011-03-22 Beckman Coulter, Inc. System and method for continuously transferring and processing liquids
EP1952022B1 (en) 2005-11-21 2014-11-12 Entegris, Inc. System and method for a pump with reduced form factor
US8753097B2 (en) 2005-11-21 2014-06-17 Entegris, Inc. Method and system for high viscosity pump
CN101356715B (zh) * 2005-12-02 2012-07-18 恩特格里公司 用于泵中的阀的排序的系统和方法
US7878765B2 (en) 2005-12-02 2011-02-01 Entegris, Inc. System and method for monitoring operation of a pump
JP4845969B2 (ja) * 2005-12-02 2011-12-28 エンテグリース，インコーポレイテッド ポンプ制御装置を結合する入出力システム、方法、および装置
WO2007067343A2 (en) * 2005-12-02 2007-06-14 Entegris, Inc. O-ring-less low profile fittings and fitting assemblies
WO2007067358A2 (en) 2005-12-02 2007-06-14 Entegris, Inc. System and method for pressure compensation in a pump
US8083498B2 (en) * 2005-12-02 2011-12-27 Entegris, Inc. System and method for position control of a mechanical piston in a pump
US7850431B2 (en) * 2005-12-02 2010-12-14 Entegris, Inc. System and method for control of fluid pressure
KR101308175B1 (ko) 2005-12-05 2013-09-26 엔테그리스, 아이엔씨. 분배 체적의 오차 보상 방법, 다단계 펌프, 및 시스템 컴플라이언스 보상 방법
US20070202603A1 (en) * 2006-02-27 2007-08-30 Steven Wayne Counts Apparatus and method for sampling and correcting fluids
TWI402423B (zh) 2006-02-28 2013-07-21 Entegris Inc 用於一幫浦操作之系統及方法
US7684446B2 (en) * 2006-03-01 2010-03-23 Entegris, Inc. System and method for multiplexing setpoints
US7494265B2 (en) 2006-03-01 2009-02-24 Entegris, Inc. System and method for controlled mixing of fluids via temperature
US20080035667A1 (en) * 2006-06-07 2008-02-14 Osg Norwich Pharmaceuticals, Inc. Liquid delivery system
US8580117B2 (en) 2007-03-20 2013-11-12 Taiwan Semiconductor Manufactuing Company, Ltd. System and method for replacing resist filter to reduce resist filter-induced wafer defects
JP5416117B2 (ja) 2007-08-28 2014-02-12 インテグリス・インコーポレーテッド 流体分配方法及び装置
US20100329927A1 (en) * 2009-06-26 2010-12-30 Perez Carlos A Pipelining Assembly For A Blood Analyzing Instrument
EP3645402A1 (en) 2017-06-26 2020-05-06 3M Innovative Properties Company Liquid additive delivery system and methods for ensuring substantially only a liquid is disposed within a container
CN112786479B (zh) * 2019-11-08 2022-12-02 夏泰鑫半导体(青岛)有限公司 管理液体供应的系统与方法
US20210245077A1 (en) * 2020-02-12 2021-08-12 Tokyo Electron Limited Vacuum Assisted Filtration

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1459962A (en) * 1923-06-26 Exhaust-pressure governor eob
US2294798A (en) * 1939-03-08 1942-09-01 Oliver J Nelson Pumping equipment
US3051192A (en) * 1960-04-20 1962-08-28 Us Rubber Co Control system
DE2620117A1 (de) * 1976-05-06 1977-11-24 Leipold Dieter Dipl Braumstr Vorrichtung zur entnahme von fluessigkeiten, insbesondere bier, aus behaeltern
US4305527A (en) * 1977-06-13 1981-12-15 The Cornelius Company Method of dispensing a carbonated beverage
US4377246A (en) * 1977-06-13 1983-03-22 The Cornelius Company Apparatus for dispensing a carbonated beverage
US4247018A (en) * 1979-12-14 1981-01-27 The Coca-Cola Company Non-pressurized fluid transfer system
US4560089A (en) * 1981-05-11 1985-12-24 The Cornelius Company Apparatus for dispensing a carbonated beverage
US4412568A (en) * 1981-08-24 1983-11-01 Otto K. Henke Fill valve
US4483665A (en) * 1982-01-19 1984-11-20 Tritec Industries, Inc. Bellows-type pump and metering system
US4493435A (en) * 1982-11-10 1985-01-15 Product Research And Development Liquid dispensing system and automatic selector therefor

Also Published As

Publication number Publication date
US4601409A (en) 1986-07-22
JPS61125429A (ja) 1986-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0258973B2 (ja)
US5383574A (en) System and method for dispensing liquid from storage containers
TWI458554B (zh) 包含氣體移除設備之液體分配系統
US6171367B1 (en) Method and apparatus for delivering and recycling a bubble-free liquid chemical
JP6238930B2 (ja) 空検出機能付きライナ式液体保存・分配システム
KR930000225B1 (ko) 밀폐형 반환식 통으로부터의 약액 공급방법 및 장치
US4344469A (en) Liquid transfer apparatus
JP3628895B2 (ja) 処理液供給装置
US10365665B2 (en) Automatic detection system for detecting disruptions in the flow to a dispensing apparatus
US3969942A (en) Liquid level responsive apparatus
US4887475A (en) Apparatus and method for marking bulk loaded containers to indicate the presence of metallic contaminants
JP3039689B2 (ja) 液体分配装置及び液体分配方法並びに液体分配装置の処理方法
JPH1085653A (ja) 液体供給装置
KR200204391Y1 (ko) 화학용액 공급시스템의 오버필된 화학용액 처리장치
JPH10340845A (ja) レジストボトル及びレジストコーティング装置
JPH0153572B2 (ja)
JPH0672494A (ja) 液供給方法および装置
JPH0661208A (ja) 自動薬液秤量装置
EP0489047B1 (en) Dispensing apparatus
AU636381B2 (en) Dispensing apparatus
JPH0153573B2 (ja)
KR200146296Y1 (ko) 반도체장비의 케미칼 공급 시스템
KR100558487B1 (ko) 밸브
KR200251906Y1 (ko) 버퍼탱크의 약액 배출장치
JPH09183493A (ja) 液体供給装置