JPH0672494A - 液供給方法および装置 - Google Patents
液供給方法および装置Info
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- JPH0672494A JPH0672494A JP4321791A JP4321791A JPH0672494A JP H0672494 A JPH0672494 A JP H0672494A JP 4321791 A JP4321791 A JP 4321791A JP 4321791 A JP4321791 A JP 4321791A JP H0672494 A JPH0672494 A JP H0672494A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液体の供給元の容器が空か否かを簡便かつ正
確に判定する。 【構成】 キャニスタ１から液体２を外部に供給する液
供給配管４の経路に、当該液供給配管４の内部を流通す
る液体２における気泡の有無を検出する光センサ５を配
置し、キャニスタ１が空になった時に液供給配管４に混
入した気泡の有無を監視して、液体２の供給元のキャニ
スタ１が空か否かを判定する。
確に判定する。 【構成】 キャニスタ１から液体２を外部に供給する液
供給配管４の経路に、当該液供給配管４の内部を流通す
る液体２における気泡の有無を検出する光センサ５を配
置し、キャニスタ１が空になった時に液供給配管４に混
入した気泡の有無を監視して、液体２の供給元のキャニ
スタ１が空か否かを判定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液供給技術に関し、特
に、キャニスタに貯留された液体の空検出に適用して有
効な技術に関する。
に、キャニスタに貯留された液体の空検出に適用して有
効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、半導体装置の製造工程や、そ
の他の精密部品の洗浄工程においては、有機溶剤の蒸気
などによって洗浄後に製品の表面に付着している水滴な
どを置換除去する蒸気乾燥技術が知られている。ところ
で、このような蒸気乾燥装置においては、稼働中に消費
される有機溶剤を適宜補給すべく、キャニスタなどの容
器に当該有機溶剤を貯留して、随時、装置内部の蒸気発
生機構などに自動的に供給することが行われている。そ
の場合、キャニスタ内における有機溶剤などの有無、す
なわちキャニスタが空か否かを的確に把握して、有機溶
剤の補給や、キャニスタの交換などの作業を的確に行う
必要がある。
の他の精密部品の洗浄工程においては、有機溶剤の蒸気
などによって洗浄後に製品の表面に付着している水滴な
どを置換除去する蒸気乾燥技術が知られている。ところ
で、このような蒸気乾燥装置においては、稼働中に消費
される有機溶剤を適宜補給すべく、キャニスタなどの容
器に当該有機溶剤を貯留して、随時、装置内部の蒸気発
生機構などに自動的に供給することが行われている。そ
の場合、キャニスタ内における有機溶剤などの有無、す
なわちキャニスタが空か否かを的確に把握して、有機溶
剤の補給や、キャニスタの交換などの作業を的確に行う
必要がある。
【０００３】従来、このようなキャニスタの空検出方法
としては、たとえば、１）体重計などの計量装置を改造
し、有機溶剤の減少によるキャニスタの重量減を検知し
て、外部に検出信号を送出させるもの、あるいは、２）
いわゆるロードセル式の計量装置などによって、キャニ
スタの重量変化を精密に監視する方式のもの、などが考
えられる。
としては、たとえば、１）体重計などの計量装置を改造
し、有機溶剤の減少によるキャニスタの重量減を検知し
て、外部に検出信号を送出させるもの、あるいは、２）
いわゆるロードセル式の計量装置などによって、キャニ
スタの重量変化を精密に監視する方式のもの、などが考
えられる。
【０００４】なお、本発明者の調べた限りでは、上述の
ような液供給技術に関する具体的な文献は特にないが、
半導体装置の製造工程における精密洗浄技術などに関し
ては、たとえば株式会社工業調査会、昭和５６年１１月
１０日発行、「電子材料」１９８１年１１月号別冊、Ｐ
９５〜Ｐ１０２、などの文献がある。
ような液供給技術に関する具体的な文献は特にないが、
半導体装置の製造工程における精密洗浄技術などに関し
ては、たとえば株式会社工業調査会、昭和５６年１１月
１０日発行、「電子材料」１９８１年１１月号別冊、Ｐ
９５〜Ｐ１０２、などの文献がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前述の１）
および２）の従来技術の場合には、何れも、キャニスタ
の重量の変化に基づいて、空か否かを判定するため、キ
ャニスタの風袋重量のばらつきを考慮する必要があり、
当該ばらつきの分だけ、キャニスタ内に有機溶剤が残留
した状態で、空と判定せざるを得ず、キャニスタ内に残
留した液が無駄になるという問題がある。
および２）の従来技術の場合には、何れも、キャニスタ
の重量の変化に基づいて、空か否かを判定するため、キ
ャニスタの風袋重量のばらつきを考慮する必要があり、
当該ばらつきの分だけ、キャニスタ内に有機溶剤が残留
した状態で、空と判定せざるを得ず、キャニスタ内に残
留した液が無駄になるという問題がある。
【０００６】また、前記１）の従来技術の場合には、体
重計を構成するばねなどに常時、荷重が作用するため、
ゼロ点がシフトし、キャニスタが空になっても検出でき
ないことが懸念される。
重計を構成するばねなどに常時、荷重が作用するため、
ゼロ点がシフトし、キャニスタが空になっても検出でき
ないことが懸念される。
【０００７】また、前記２）の従来技術の場合には、キ
ャニスタの重量変化の検出精度は良好となるが、ロード
セルが一般に高価であるため、液供給装置全体の価格が
必要以上に高くなるという問題がある。
ャニスタの重量変化の検出精度は良好となるが、ロード
セルが一般に高価であるため、液供給装置全体の価格が
必要以上に高くなるという問題がある。
【０００８】そこで、本発明の目的は、容器の空検出
を、簡便かつ高精度で行うことが可能な液供給技術を提
供することにある。
を、簡便かつ高精度で行うことが可能な液供給技術を提
供することにある。
【０００９】本発明の他の目的は、容器内の液体をより
有効に利用することが可能な液供給技術を提供すること
にある。
有効に利用することが可能な液供給技術を提供すること
にある。
【００１０】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００１２】すなわち、本発明になる液供給方法は、容
器から液体を取り出す配管内における気泡の混入の有無
に基づいて、容器が空か否かを判定するものである。
器から液体を取り出す配管内における気泡の混入の有無
に基づいて、容器が空か否かを判定するものである。
【００１３】また、本発明になる液供給装置は、液体が
貯留される容器と、この容器から液体を取り出す配管
と、配管への液体の供給動作を行う液供給機構とからな
る液供給装置であって、配管内を流通する液体中におけ
る気泡の有無を検出する検出手段を備えたものである。
貯留される容器と、この容器から液体を取り出す配管
と、配管への液体の供給動作を行う液供給機構とからな
る液供給装置であって、配管内を流通する液体中におけ
る気泡の有無を検出する検出手段を備えたものである。
【００１４】また、本発明になる液供給装置は、配管を
透明体で構成するとともに、検出手段を、透明な配管を
挟んで配置された光源および受光部と、光源から受光部
に到る光の強弱を検出する検出機構とで構成したもので
ある。
透明体で構成するとともに、検出手段を、透明な配管を
挟んで配置された光源および受光部と、光源から受光部
に到る光の強弱を検出する検出機構とで構成したもので
ある。
【００１５】また、本発明になる液供給装置は、検出手
段として、配管内を流通する液体中の気泡の有無に応じ
て変動する誘電率の変化を検出する静電センサを用いる
ものである。
段として、配管内を流通する液体中の気泡の有無に応じ
て変動する誘電率の変化を検出する静電センサを用いる
ものである。
【００１６】また、本発明になる液供給装置は、容器を
密閉し、液供給機構として、容器内に与圧気体を導入す
る加圧配管を含むものである。
密閉し、液供給機構として、容器内に与圧気体を導入す
る加圧配管を含むものである。
【００１７】また、本発明になる液供給装置は、液供給
機構として、配管の途中に介設され、容器からの液体の
吸い出し動作を行うポンプを含むものである。
機構として、配管の途中に介設され、容器からの液体の
吸い出し動作を行うポンプを含むものである。
【００１８】また、本発明になる液供給装置は、配管に
おける検出手段の配設位置の下流側に、容器内への液体
の逆流を阻止する逆止弁を備えたものである。
おける検出手段の配設位置の下流側に、容器内への液体
の逆流を阻止する逆止弁を備えたものである。
【００１９】
【作用】上記した本発明の液供給方法によれば、容器に
接続される配管は、当該容器内に液体がある内は、液面
下の没入した状態にあり、当該容器が空になると、容器
内の配管の先端部以下に液面が低下する。すなわち、容
器が空になり、液面が配管先端部以下に低下すると、配
管内には、気体が流れ込み、当該配管を通じて外部に送
出される液体中には気泡が混入した状態となる。
接続される配管は、当該容器内に液体がある内は、液面
下の没入した状態にあり、当該容器が空になると、容器
内の配管の先端部以下に液面が低下する。すなわち、容
器が空になり、液面が配管先端部以下に低下すると、配
管内には、気体が流れ込み、当該配管を通じて外部に送
出される液体中には気泡が混入した状態となる。
【００２０】本発明の液供給技術では、この配管内にお
ける気泡の混入の有無を検出手段によって監視し、気泡
の混入が認められたことに基づいて、容器の空を判定す
るので、容器の風袋重量のばらつきなどの影響を受ける
ことなく、精度良く容器が空か否かを判定することがで
きる。
ける気泡の混入の有無を検出手段によって監視し、気泡
の混入が認められたことに基づいて、容器の空を判定す
るので、容器の風袋重量のばらつきなどの影響を受ける
ことなく、精度良く容器が空か否かを判定することがで
きる。
【００２１】また、検出手段としては、安価な市販のホ
トカプラや、静電センサなどで間に合い、しかもこれら
は原理上経時変化が比較的小さく、またロードセルなど
に比較して低廉であるため、液供給装置全体が必要以上
に高価になることもない。
トカプラや、静電センサなどで間に合い、しかもこれら
は原理上経時変化が比較的小さく、またロードセルなど
に比較して低廉であるため、液供給装置全体が必要以上
に高価になることもない。
【００２２】
【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明の一実施
例である液供給方法および装置の一例について詳細に説
明する。図１は、本実施例の液供給装置構成の一例を模
式的に示す略断面図である。
例である液供給方法および装置の一例について詳細に説
明する。図１は、本実施例の液供給装置構成の一例を模
式的に示す略断面図である。
【００２３】キャニスタ１の内部には、たとえば、精密
洗浄工程における蒸気乾燥などに用いられる、イソプロ
ピルアルコールなどの液体２が貯留されている。
洗浄工程における蒸気乾燥などに用いられる、イソプロ
ピルアルコールなどの液体２が貯留されている。
【００２４】キャニスタ１の開口部は、キャップ１ａに
よって密閉されている。このキャップ１ａには、キャニ
スタ１の内部における液体２の液面上に開口し、たとえ
ば、与圧された窒素ガスなどの与圧気体３ａを随時導入
する加圧配管３と、内端部４ａが、キャニスタ１の内部
に貯留された液体２の液面下において、当該キャニスタ
１の底部に対して所定の間隙Ｈをなす高さに開口された
液供給配管４とが挿通されている。
よって密閉されている。このキャップ１ａには、キャニ
スタ１の内部における液体２の液面上に開口し、たとえ
ば、与圧された窒素ガスなどの与圧気体３ａを随時導入
する加圧配管３と、内端部４ａが、キャニスタ１の内部
に貯留された液体２の液面下において、当該キャニスタ
１の底部に対して所定の間隙Ｈをなす高さに開口された
液供給配管４とが挿通されている。
【００２５】そして、加圧配管３からキャニスタ１の内
部に導入される与圧気体３ａによって液体２を加圧する
ことにより、液供給配管４を通じて、液体２が外部の、
例えば図示しない蒸気乾燥装置などに供給されるもので
ある。
部に導入される与圧気体３ａによって液体２を加圧する
ことにより、液供給配管４を通じて、液体２が外部の、
例えば図示しない蒸気乾燥装置などに供給されるもので
ある。
【００２６】この場合、液供給配管４は、たとえば、透
明体で構成されているとともに、当該液供給配管４の経
路には、当該液供給配管４を挟んで対向するように配置
された、発光部５ａと受光部５ｂ、および当該発光部５
ａから、液供給配管４を透過して受光部５ｂに入射する
光５ｃの光量の変化を検出する演算部５ｄなどからなる
光センサ５が設けられている。そして、たとえば、後述
のように、発光部５ａから液供給配管４を透過して受光
部５ｂに入射する光５ｃの光量が所定の閾値以下になっ
た場合に、上位の図示しない制御装置などに、キャニス
タ１の空検出信号５ｅを送出する動作を行うものであ
る。
明体で構成されているとともに、当該液供給配管４の経
路には、当該液供給配管４を挟んで対向するように配置
された、発光部５ａと受光部５ｂ、および当該発光部５
ａから、液供給配管４を透過して受光部５ｂに入射する
光５ｃの光量の変化を検出する演算部５ｄなどからなる
光センサ５が設けられている。そして、たとえば、後述
のように、発光部５ａから液供給配管４を透過して受光
部５ｂに入射する光５ｃの光量が所定の閾値以下になっ
た場合に、上位の図示しない制御装置などに、キャニス
タ１の空検出信号５ｅを送出する動作を行うものであ
る。
【００２７】また、液供給配管４を通じて外部に送出さ
れる液体２の流出方向において、光センサ５の配置位置
の下流側における当該液供給配管４には、液体２のキャ
ニスタ１への逆流を防止する逆止弁６が配置されてお
り、当該液体２の逆流に伴う、外部から液供給配管４の
内部への気泡の混入を阻止する構造となっている。
れる液体２の流出方向において、光センサ５の配置位置
の下流側における当該液供給配管４には、液体２のキャ
ニスタ１への逆流を防止する逆止弁６が配置されてお
り、当該液体２の逆流に伴う、外部から液供給配管４の
内部への気泡の混入を阻止する構造となっている。
【００２８】以下、本実施例の液供給方法および装置の
作用の一例について説明する。
作用の一例について説明する。
【００２９】まず、キャニスタ１の内部に充分な量の液
体２が存在する場合には、液供給配管４のキャニスタ１
の内部における内端部４ａは、液体２の液面下に完全に
没した状態になっており、この状態で、加圧配管３を通
じて、与圧気体３ａをキャニスタ１の内部に導入して加
圧することにより、加圧された液体２は、液供給配管４
および逆止弁６などを通じて外部に流出供給される。
体２が存在する場合には、液供給配管４のキャニスタ１
の内部における内端部４ａは、液体２の液面下に完全に
没した状態になっており、この状態で、加圧配管３を通
じて、与圧気体３ａをキャニスタ１の内部に導入して加
圧することにより、加圧された液体２は、液供給配管４
および逆止弁６などを通じて外部に流出供給される。
【００３０】この時、図２に示されるように、液供給配
管４を流通する液体２には、気泡などが存在せず、たと
えば、発光部５ａから受光部５ｂに到る光５ｃの透過度
は、気泡３ｂなどが存在する場合よりも、良好となり、
演算部５ｄにおいては、所定の閾値よりも高い光量が検
出され、空検出信号５ｅの送出は抑止される。
管４を流通する液体２には、気泡などが存在せず、たと
えば、発光部５ａから受光部５ｂに到る光５ｃの透過度
は、気泡３ｂなどが存在する場合よりも、良好となり、
演算部５ｄにおいては、所定の閾値よりも高い光量が検
出され、空検出信号５ｅの送出は抑止される。
【００３１】一方、液体２の消費によって、液面が低下
し、当該液面がキャニスタ１の底部との間に間隙Ｈをな
す液供給配管４の内端部４ａの高さ以下になると、与圧
気体３ａの一部が、液体２の液面上に露出した液供給配
管４の内端部４ａを通じて、液体２とともに液供給配管
４の内部に流入し、同じく図２に示されるように、気泡
３ｂとなって外部に流出する。
し、当該液面がキャニスタ１の底部との間に間隙Ｈをな
す液供給配管４の内端部４ａの高さ以下になると、与圧
気体３ａの一部が、液体２の液面上に露出した液供給配
管４の内端部４ａを通じて、液体２とともに液供給配管
４の内部に流入し、同じく図２に示されるように、気泡
３ｂとなって外部に流出する。
【００３２】このため、この気泡３ｂが、発光部５ａか
ら液供給配管４を透過して受光部５ｂに到る光５ｃの光
路を横切ることとなり、この時、当該気泡３ｂのため
に、液供給配管４における光５ｃの透過度が減少し、受
光部５ｂにおいて検出される光量が所定の閾値以下に低
下し、これを検知した演算部５ｄは、キャニスタ１の空
検出信号５ｅを、上位の図示しない制御装置などに送出
する。これにより、当該制御装置はキャニスタ１が空に
なったことを認識し、たとえば、作業者などにキャニス
タ１が空になったことを知らせ、空のキャニスタ１の交
換を促すなどの動作を行う。
ら液供給配管４を透過して受光部５ｂに到る光５ｃの光
路を横切ることとなり、この時、当該気泡３ｂのため
に、液供給配管４における光５ｃの透過度が減少し、受
光部５ｂにおいて検出される光量が所定の閾値以下に低
下し、これを検知した演算部５ｄは、キャニスタ１の空
検出信号５ｅを、上位の図示しない制御装置などに送出
する。これにより、当該制御装置はキャニスタ１が空に
なったことを認識し、たとえば、作業者などにキャニス
タ１が空になったことを知らせ、空のキャニスタ１の交
換を促すなどの動作を行う。
【００３３】また、本実施例の場合には、液供給配管４
の経路に、逆止弁６が介設されているので、当該液供給
配管４を通じての液体２の供給が停止した場合でも、自
重などによって、液体２が逆流することが阻止されるの
で、逆流によって液供給配管４の内部に供給先の側から
気泡などが混入して光センサ５の位置を通過することが
なく、外部側から混入した気泡が光センサ５の位置を通
過することなどに起因して、空検出信号５ｅが誤って送
出されることがなく、誤動作の発生を確実に防止するこ
とができる。
の経路に、逆止弁６が介設されているので、当該液供給
配管４を通じての液体２の供給が停止した場合でも、自
重などによって、液体２が逆流することが阻止されるの
で、逆流によって液供給配管４の内部に供給先の側から
気泡などが混入して光センサ５の位置を通過することが
なく、外部側から混入した気泡が光センサ５の位置を通
過することなどに起因して、空検出信号５ｅが誤って送
出されることがなく、誤動作の発生を確実に防止するこ
とができる。
【００３４】このように、本実施例の液供給方法および
装置によれば、液供給配管４における気泡３ｂの混入の
有無を、光センサ５によって検出することにより、キャ
ニスタ１が空か否かを判定するので、たとえば、キャニ
スタ１を含めた全体の重量の変化などに基づいて空の判
定を行う場合に比較して、キャニスタ１の風袋重量のば
らつきや、重量計自体の経時変化などの影響受けること
なく、キャニスタ１の正確な空検出を行うことができ
る。また、光センサ５は、市販の安価な部品によって容
易に構築することができ、装置の価格が必要以上に高く
なることもない。
装置によれば、液供給配管４における気泡３ｂの混入の
有無を、光センサ５によって検出することにより、キャ
ニスタ１が空か否かを判定するので、たとえば、キャニ
スタ１を含めた全体の重量の変化などに基づいて空の判
定を行う場合に比較して、キャニスタ１の風袋重量のば
らつきや、重量計自体の経時変化などの影響受けること
なく、キャニスタ１の正確な空検出を行うことができ
る。また、光センサ５は、市販の安価な部品によって容
易に構築することができ、装置の価格が必要以上に高く
なることもない。
【００３５】さらに、逆止弁６の配置によって、液体２
の逆流による誤動作も確実に防止できる。
の逆流による誤動作も確実に防止できる。
【００３６】また、キャニスタ１の底部と、液供給配管
４の内端部４ａとの間隙Ｈ、すなわち、空検出時に、キ
ャニスタ１の内部に残留する液体２の量は、当該キャニ
スタ１の使用開始などに際して当該間隙Ｈを小さくする
ことで、充分に少なくすることが可能であり、利用され
ずに廃棄される液体２の量を必要最小限に止めることが
でき、液体２を無駄なく利用することができる。
４の内端部４ａとの間隙Ｈ、すなわち、空検出時に、キ
ャニスタ１の内部に残留する液体２の量は、当該キャニ
スタ１の使用開始などに際して当該間隙Ｈを小さくする
ことで、充分に少なくすることが可能であり、利用され
ずに廃棄される液体２の量を必要最小限に止めることが
でき、液体２を無駄なく利用することができる。
【００３７】次に、図３によって、本発明の液供給方法
および装置の他の実施例を説明する。この図３の実施例
の場合には、液供給配管４の途中に、当該液供給配管４
の内部における気泡３ｂの有無を検出する手段として、
静電センサ７を配置したところが、前記図１の実施例の
場合と異なっている。
および装置の他の実施例を説明する。この図３の実施例
の場合には、液供給配管４の途中に、当該液供給配管４
の内部における気泡３ｂの有無を検出する手段として、
静電センサ７を配置したところが、前記図１の実施例の
場合と異なっている。
【００３８】すなわち、静電センサ７は、液供給配管４
の内部を流通する液体２と、気泡３ｂの誘電率の違いを
検出し、気泡３ｂが検出された際に、キャニスタ１の空
検出信号７ｅを外部に送出するものである。
の内部を流通する液体２と、気泡３ｂの誘電率の違いを
検出し、気泡３ｂが検出された際に、キャニスタ１の空
検出信号７ｅを外部に送出するものである。
【００３９】この図３の実施例の場合にも、前記図１の
実施例の場合と同様の効果を得ることができる。
実施例の場合と同様の効果を得ることができる。
【００４０】図４は、本発明のさらに他の実施例である
液供給方法および装置の構成の一例を示す略断面図であ
る。
液供給方法および装置の構成の一例を示す略断面図であ
る。
【００４１】本実施例の場合には、吸い出し式に液体２
を外部に供給するところが、前記図１の実施例の場合と
異なっている。
を外部に供給するところが、前記図１の実施例の場合と
異なっている。
【００４２】すなわち、開放状態のタンク１０の内部に
は、液体２が貯留されており、この液体２の液面下に内
端部４ａが没するように液供給配管４が設けられてお
り、この液供給配管４の経路には、光センサ５，逆止弁
６およびポンプ１１が順に配設されている。
は、液体２が貯留されており、この液体２の液面下に内
端部４ａが没するように液供給配管４が設けられてお
り、この液供給配管４の経路には、光センサ５，逆止弁
６およびポンプ１１が順に配設されている。
【００４３】そして、このポンプ１１の吸い出し作用に
よって、タンク１０の内部に貯留されている液体２が、
液供給配管４を通じて外部に送出されるものである。
よって、タンク１０の内部に貯留されている液体２が、
液供給配管４を通じて外部に送出されるものである。
【００４４】この図４の実施例の場合にも、タンク１０
の内部が空になると、液供給配管４には外気が混入し、
気泡３ｂとなって液体２とともに流出するので、この外
気による気泡３ｂを光センサ５によって検出することに
より、当該タンク１０が空か否かを的確に知ることがで
きる。また、逆止弁６の作用によって、液体２の逆流時
の気泡３ｂの混入などによる誤動作が発生することもな
い。
の内部が空になると、液供給配管４には外気が混入し、
気泡３ｂとなって液体２とともに流出するので、この外
気による気泡３ｂを光センサ５によって検出することに
より、当該タンク１０が空か否かを的確に知ることがで
きる。また、逆止弁６の作用によって、液体２の逆流時
の気泡３ｂの混入などによる誤動作が発生することもな
い。
【００４５】以上、説明したように、本実施例の液供給
技術によれば、押し出し方式および吸い出し方式のいず
れの場合にも、キャニスタ１やタンク１０の空検出を簡
便かつ正確に行うことができる。
技術によれば、押し出し方式および吸い出し方式のいず
れの場合にも、キャニスタ１やタンク１０の空検出を簡
便かつ正確に行うことができる。
【００４６】この結果、たとえば、精密洗浄工程におけ
る蒸気乾燥装置の稼働率の向上や、イソプロピルアルコ
ールなどの液体の有効活用を実現することができる。
る蒸気乾燥装置の稼働率の向上や、イソプロピルアルコ
ールなどの液体の有効活用を実現することができる。
【００４７】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４８】たとえば、配管中の気泡の有無を検出する
手段としては、前述の各実施例において例示した光セン
サや静電センサなどに限らず、たとえば、超音波、その
他、当該気泡の有無を検出可能なものであれば、いかな
るものであってもよい。
手段としては、前述の各実施例において例示した光セン
サや静電センサなどに限らず、たとえば、超音波、その
他、当該気泡の有無を検出可能なものであれば、いかな
るものであってもよい。
【００４９】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００５０】すなわち、本発明になる液供給技術によれ
ば、容器が空になり、液面が配管先端部以下に低下する
と、配管内には、気体が流れ込み、当該配管を通じて外
部に送出される液体中には気泡が混入した状態となり、
この配管内における気泡の混入の有無を検出手段によっ
て監視し、気泡の混入が認められたことに基づいて、容
器の空を判定するので、容器の風袋重量のばらつきなど
の影響を受けることなく、精度良く容器が空か否かを判
定することができる。
ば、容器が空になり、液面が配管先端部以下に低下する
と、配管内には、気体が流れ込み、当該配管を通じて外
部に送出される液体中には気泡が混入した状態となり、
この配管内における気泡の混入の有無を検出手段によっ
て監視し、気泡の混入が認められたことに基づいて、容
器の空を判定するので、容器の風袋重量のばらつきなど
の影響を受けることなく、精度良く容器が空か否かを判
定することができる。
【００５１】また、検出手段としては、市販の安価なホ
トカプラや、静電センサなどで間に合い、しかもこれら
は原理上経時変化が比較的小さく、またロードセルなど
に比較して低廉であるため、液供給装置全体が必要以上
に高価になることもない。
トカプラや、静電センサなどで間に合い、しかもこれら
は原理上経時変化が比較的小さく、またロードセルなど
に比較して低廉であるため、液供給装置全体が必要以上
に高価になることもない。
【００５２】この結果、簡便かつ正確に液体が貯留され
る容器が空か否かを判定することができる。
る容器が空か否かを判定することができる。
【図１】本発明の一実施例の液供給装置構成の一例を模
式的に示す略断面図である。
式的に示す略断面図である。
【図２】本発明の一実施例である液供給方法および装置
の作用の一例を説明する略断面図である。
の作用の一例を説明する略断面図である。
【図３】本発明の液供給方法および装置の他の実施例を
示す略断面図である。
示す略断面図である。
【図４】本発明のさらに他の実施例である液供給方法お
よび装置の構成の一例を示す略断面図である。
よび装置の構成の一例を示す略断面図である。
１ キャニスタ １ａ キャップ ２ 液体 ３ 加圧配管 ３ａ 与圧気体 ３ｂ 気泡 ４ 液供給配管 ４ａ 内端部 ５ 光センサ ５ａ 発光部 ５ｂ 受光部 ５ｃ 光 ５ｄ 演算部 ５ｅ 空検出信号 ６ 逆止弁 ７ 静電センサ ７ｅ 空検出信号 １０ タンク １１ ポンプ Ｈ 間隙
Claims (7)
- 【請求項１】 容器から液体を取り出す配管内における
気泡の混入の有無に基づいて、前記容器が空か否かを判
定することを特徴とする液供給方法。 - 【請求項２】 液体が貯留される容器と、この容器から
前記液体を取り出す配管と、前記配管への前記液体の供
給動作を行う液供給機構とからなる液供給装置であっ
て、前記配管内を流通する前記液体中における気泡の有
無を検出する検出手段を設けたことを特徴とする液供給
装置。 - 【請求項３】 前記配管が透明体で構成され、前記検出
手段は、透明な前記配管を挟んで配置された光源および
受光部と、前記光源から前記受光部に到る光の強弱を検
出する検出機構とからなることを特徴とする請求項２記
載の液供給装置。 - 【請求項４】 前記検出手段が、前記配管内を流通する
前記液体中の前記気泡の有無に応じて変動する誘電率の
変化を検出する静電センサからなることを特徴とする請
求項２記載の液供給装置。 - 【請求項５】 前記容器が密閉され、前記液供給機構
は、前記容器内に与圧気体を導入する加圧配管からなる
ことを特徴とする請求項２，３または４記載の液供給装
置。 - 【請求項６】 前記液供給機構が、前記配管の途中に介
設され、前記容器からの前記液体の吸い出し動作を行う
ポンプからなることを特徴とする請求項２，３，４また
は５記載の液供給装置。 - 【請求項７】 前記配管における前記検出手段の配設位
置の下流側には、前記容器内への前記液体の逆流を阻止
する逆止弁が設けられていることを特徴とする請求項
２，３，４，５または６記載の液供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4321791A JPH0672494A (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 液供給方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4321791A JPH0672494A (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 液供給方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0672494A true JPH0672494A (ja) | 1994-03-15 |
Family
ID=12657751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4321791A Pending JPH0672494A (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 液供給方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0672494A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012148184A (ja) * | 2009-07-01 | 2012-08-09 | Fresenius Medical Care Holdings Inc | 薬物送達デバイスならびに関連するシステムおよび方法 |
| CN107093564A (zh) * | 2016-02-18 | 2017-08-25 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种全纵深高分辨在线实时气泡监控装置及监控方法 |
| WO2017221164A1 (en) * | 2016-06-23 | 2017-12-28 | Elbi International S.P.A. | Method and apparatus for controlling the supply of a level of a liquid contained in a vessel |
| US9890529B2 (en) | 2013-02-19 | 2018-02-13 | Sang-Gu Kim | Sanitary toilet |
| US10064987B2 (en) | 2011-01-31 | 2018-09-04 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Preventing over-delivery of drug |
-
1991
- 1991-03-08 JP JP4321791A patent/JPH0672494A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012148184A (ja) * | 2009-07-01 | 2012-08-09 | Fresenius Medical Care Holdings Inc | 薬物送達デバイスならびに関連するシステムおよび方法 |
| US10064987B2 (en) | 2011-01-31 | 2018-09-04 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Preventing over-delivery of drug |
| US10518016B2 (en) | 2011-01-31 | 2019-12-31 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Preventing over-delivery of drug |
| US9890529B2 (en) | 2013-02-19 | 2018-02-13 | Sang-Gu Kim | Sanitary toilet |
| CN107093564A (zh) * | 2016-02-18 | 2017-08-25 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种全纵深高分辨在线实时气泡监控装置及监控方法 |
| CN107093564B (zh) * | 2016-02-18 | 2021-01-26 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种全纵深高分辨在线实时气泡监控装置及监控方法 |
| WO2017221164A1 (en) * | 2016-06-23 | 2017-12-28 | Elbi International S.P.A. | Method and apparatus for controlling the supply of a level of a liquid contained in a vessel |
| US10684151B2 (en) | 2016-06-23 | 2020-06-16 | Elbi International Spa | Method and apparatus for controlling the supply of a level of a liquid contained in a vessel |
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