JP3947398B2 - 薬液供給装置および薬液供給方法 - Google Patents

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    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薬液などの液体を所定量吐出するようにした薬液供給装置に関し、たとえば、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を塗布するために使用して好適な薬液供給装置および薬液供給方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ製造技術を始めとして、液晶基板製造技術、磁気ディスク製造技術および多層配線基板製造技術などの種々の技術分野における製造プロセスにあっては、フォトレジスト液、スピニオンガラス液、ポリイミド樹脂液、純水、エッチング液、有機溶剤などの薬液が使用されており、これらの薬液の塗布には薬液供給装置が用いられている。
【０００３】
たとえば、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を塗布する場合には、半導体ウエハを水平面内において回転させた状態のもとで、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を薬液供給装置により一定量滴下するようにしている。
【０００４】
フォトレジスト液等の薬液を吐出する際に、装置内に気泡が混入すると、薬液を押し出そうとする圧力を気泡が吸収してしまい、薬液の吐出量が不安定になり、吐出精度が低下する。このため、半導体ウエハに形成される半導体集積回路を高品質に歩留まりよく製造することができなかった。
【０００５】
薬液中の気泡を捕捉するために、このような薬液供給装置にはフィルタが設けられており、薬液は、フィルタを透過することにより気泡等の異物が除去され、清浄度を高めるようになっている。フィルタ容器内に溜まった気泡は、通常、フィルタの排気ポートに接続された排気流路に脱気弁を取り付け、この脱気弁を開放することによって薬液供給装置の外へ排出させていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、フィルタの表面には気泡が徐々に付着して目詰まりを起こすので、その気泡捕捉能力は徐々に低下する。そのため、薬液中の気泡をフィルタで捕捉し切れず、気泡を含有した薬液が半導体ウエハの表面に吐出されることがあり、結果として半導体集積回路の製造歩留まりを向上することができなかった。
【０００７】
このように、フィルタにおいて気泡を除去し、フィルタから排気する従来の方法には限界があり、上述したような問題を解決するためには、供給装置内のフィルタ以外の箇所においても、適宜、薬液に含まれる気泡を除去し、装置外に排気する必要がある。
【０００８】
本発明の目的は、薬液供給装置から吐出される薬液の量を安定させ、吐出精度を向上させることにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、半導体集積回路を高品質に歩留まりよく製造することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の薬液供給装置は、薬液を収容する液体タンクに液体導入流路により接続される天壁部を有し、内部に液体貯留室が設けられたバッファタンク部と、前記バッファタンク部の底壁部に形成された液体吐出口に接続されるフィルタ入口を有するフィルタ部と、前記フィルタ部のフィルタ出口にポンプ入口側流路を介して接続されるポンプ入口と、吐出ノズルに接続される液体吐出流路が接続されるポンプ出口とを有し、膨張収縮するポンプ室が設けられたポンプと、前記ポンプ出口と前記バッファタンク部との間に接続され、前記ポンプ室から吐出された薬液を前記液体貯留室に戻す戻し流路と、前記バッファタンク部の前記天壁部に接続され、前記液体貯留室内の空気を排気する排気流路とを有し、前記液体導入流路と前記ポンプ入口側流路と前記液体吐出流路を閉じるとともに前記戻し流路と前記排気流路を開いた状態のもとで、前記ポンプ室を収縮させて前記戻し流路を介して前記バッファタンク部に薬液を戻して前記排気流路から前記バッファタンク部内の気体を排気することを特徴とする。本発明の薬液供給装置は、前記フィルタ部に接続され、前記フィルタ部内の気体を排出する排気流路を有していてもよい。
【００１１】
本発明の薬液供給方法は、薬液を収容する液体タンクに液体導入流路により接続される天壁部を有し、内部に液体貯留室が設けられたバッファタンク部と、前記バッファタンク部の底壁部に形成された液体吐出口に接続されるフィルタ入口を有するフィルタ部と、前記フィルタ部のフィルタ出口にポンプ入口側流路を介して接続されるポンプ入口と、吐出ノズルに接続される液体吐出流路が接続されるポンプ出口とを有し、膨張収縮するポンプ室が設けられたポンプと、前記ポンプ出口と前記バッファタンク部との間に接続され、前記ポンプ室から吐出された薬液を前記液体貯留室に戻す戻し流路と、前記バッファタンク部の前記天壁部に接続され、前記液体貯留室内の空気を排気する排気流路とを有する薬液供給装置を用いた薬液供給方法であって、前記排気流路と前記液体吐出流路と前記戻し流路を閉じるとともに前記液体導入流路と前記ポンプ入口側流路を開いた状態のもとで前記ポンプを吸入動作して前記液体タンク内の薬液を前記バッファタンク部および前記フィルタ部を介して前記ポンプ室に向けて吸入する吸入工程と、前記ポンプ入口側流路と前記排気流路と前記液体吐出流路を閉じるとともに前記液体導入流路と前記戻し流路を開いた状態のもとで前記ポンプを吐出動作して前記ポンプ室内の薬液を前記バッファタンク部に戻す帰還工程と、前記ポンプ入口側流路と前記液体導入流路と前記液体吐出流路を閉じるとともに前記戻し流路と前記排気流路を開いた状態のもとで前記ポンプを吐出動作して前記ポンプ室内の薬液を前記戻し流路を介して前記バッファタンク部内に戻し、前記バッファタンク部内の気体を前記排気流路から排気する排気工程と、前記液体導入流路と前記ポンプ入口側流路と前記戻り流路と前記排気流路を閉じるとともに前記液体吐出流路を開いた状態のもとで前記ポンプを吐出動作して前記ポンプ室内の薬液を前記吐出ノズルから吐出する吐出工程とを有することを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１３】
図１は本発明の一つの実施の形態である薬液供給装置の概略を示す液体回路図である。図１に示すように、この薬液供給装置のバッファタンク部６は、内部に液体貯留室６１が設けられ、液体導入流路４２が接続される液体流入ポート６０ａと、戻し流路４８が接続される液体流入ポート６０ｂと、排気流路４９が接続される排気ポート６０ｃとが天壁部に形成されており、連通路４３が接続される液体吐出口６０ｄが底壁部に形成されている。
【００１４】
バッファタンク部６の液体流入ポート６０ａには、流路を開閉するための導入弁Ｖ１が設けられた液体導入流路４２の一端が接続されており、この液体導入流路４２の他端は液体タンク４６の内部に位置するように配置されている。従って、バッファタンク部６と液体タンク４６とは、液体導入流路４２を介して連通される。
【００１５】
フィルタ部４は、フィルタ収容室４０と、それに収容されるフィルタ４１とにより構成されており、フィルタ４１を透過することにより、液体中の気泡がフィルタ４１の表面に捕捉されるようになっている。
【００１６】
フィルタ収容室４０は、フィルタ入口４１ａとフィルタ出口４１ｂとを有し、バッファタンク部６の液体吐出口６０ｄには、連通路４３の一端が接続されており、この連通路４３の他端はフィルタ収容室４０のフィルタ入口４１ａに接続されている。従って、フィルタ収容室４０とバッファタンク部６とは連通路４３を介して連通される。また、フィルタ４１は排気ポート４１ｃを有し、流路を開閉するための脱気弁Ｖ２が設けられた排気流路４４が排気ポート４１ｃに接続されており、これにより、フィルタ４１によって捕捉され、フィルタ収容室４０に溜まった空気を排気ポート４１ｃからフィルタ４１の外部に排出することが可能となる。
【００１７】
ポンプ１１のポンプ入口１１ａには、流路を開閉するためのポンプ入口側弁Ｖ３が設けられたポンプ入口側流路４５の一端が接続されており、このポンプ入口側流路４５の他端は、フィルタ４１のフィルタ出口４１ｂに接続されている。
【００１８】
ポンプ１１は、フィルタ４１を透過した液体をポンプ室１７の拡張時にポンプ入口１１ａからポンプ室１７の内部に吸入し、収縮時にポンプ出口１１ｂから吐出する。また、ポンプ１１のポンプ出口１１ｂには、流路を開閉するための吐出弁Ｖ４が設けられた液体吐出流路４７の一端が接続されており、ポンプ１１から吐出された液体を吐出ノズル５０に案内するようになっている。
【００１９】
液体吐出流路４７のポンプ出口１１ｂと吐出弁Ｖ４との間の箇所には、流路を開閉するための戻し弁Ｖ５が設けられた戻し流路４８の一端が接続されており、この戻し流路４８の他端はバッファタンク部６の液体流入ポート６０ｂに接続されている。したがって、ポンプ１１から液体吐出流路４７に吐出された薬液が戻し流路４８を介してバッファタンク部６の液体貯留室６１に戻される。
【００２０】
排気流路４９は、この流路を開閉するための脱気弁Ｖ６が設けられており、その一端がバッファタンク部６の排気ポート６０ｃに接続されており、液体貯留室６１内の空気は排気流路４９から排出される。図１に示された実施の形態では、排気流路４９の他端は、排気流路４４に接続されているが、排気流路４４に接続されず、互いに独立に排気される構造であってもよい。
【００２１】
図２は図１の液体回路図により構成される薬液供給装置の詳細な構造を示す断面図、図３は図２に示すポンプの詳細を示す断面図である。図２および図３に示すように、ポンプ１１は弾性材料により形成されて径方向に弾性拡張収縮自在の可撓性チューブ１３と、この外側に配置されるとともに弾性材料により形成されて軸方向に弾性変形自在のベローズ１４とを備えている。
【００２２】
可撓性チューブ１３は垂直方向を向いて配置されており、その下端部には第１アダプタ１５が取り付けられ、上端部には第２アダプタ１６が取り付けられており、両方のアダプタ１５，１６の間における可撓性チューブ１３内は拡張収縮するポンプ室１７となっている。
【００２３】
ベローズ１４は、図3に示すように、軸方向中央部の作動ディスク部２１と、有効径ｄを有する小型ベローズ部２２と、有効径ｄよりも大きな有効径Ｄを有する大型ベローズ部２３とを有し、両方のベローズ部２２，２３は作動ディスク部２１を介して一体となっている。ベローズ１４の両端部には固定ディスク部２４，２５が一体となって設けられており、大型ベローズ部２３側の固定ディスク部２４は可撓性チューブ１３を介して第１アダプタ１５に固定され、小型ベローズ部２２側の固定ディスク部２５は可撓性チューブ１３を介して第２アダプタ１６に固定されている。
【００２４】
この可撓性チューブ１３は、供給される薬液がフォトレジスト液であることから、薬液と反応しないように、フッ素樹脂であるテトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等の樹脂材料により形成されており、アダプタ１５，１６も同様の材料により形成されている。また、ベローズ１４も同様の樹脂材料により、ディスク部２１，２４，２５とベローズ部２２，２３とが一体となって形成されている。ただし、樹脂材料としては、ＰＦＡに限られず、弾性変形する材料であれば、他の樹脂材料を用いてもよい。また、可撓性チューブ１３とベローズ１４とを一体に形成するようにしてもよく、その場合にはアダプタ１５，１６は不要となる。更に、ベローズ１４については、金属製としてもよい。
【００２５】
可撓性チューブ１３とこの外側に配置されたベローズ１４との間の空間は駆動室２６となっており、この駆動室２６内には液体等の非圧縮性媒体２７が充填されている。したがって、ベローズ１４をその中央部分の作動ディスク部２１で軸方向に弾性変形すると、ベローズ１４の全長は変化することなく、小型ベローズ部２２と大型ベローズ部２３の内側の容積が変化することになる。これにより、非圧縮媒体２７を介して可撓性チューブ１３が径方向つまり横方向に拡張収縮して可撓性チューブのポンプ室はポンプ動作することになる。図３に示すポンプ１１の構造は、本出願人が提案した特開平10−61558号公報に記載されたものと基本的に同様となっており、可撓性チューブ１３の断面形状としては、前記公報に記載されるように、長方形、円形、あるいは異形断面など種々の形状とすることができる。
【００２６】
ベローズ１４はそれぞれの固定ディスク部２４，２５の部分で支持台３０に取り付けられており、固定ディスク部２４はこれに嵌め込まれた固定ブラケット３１により支持台３０に取り付けられ、固定ディスク部２５はこれに嵌め込まれた固定ブラケット３２により支持台３０に取り付けられている。
【００２７】
作動ディスク部２１を軸方向に変位させてポンプ動作を行うために、作動ディスク部２１に嵌め込まれた作動ブラケット３３は、支持台３０にベローズ１４と平行に延びて回転自在に取り付けられたボールねじ軸３４にねじ結合されたボールナット３５に連結されている。ボールナット３５は支持台３０に設けられたガイドレール３６に対して摺動自在に接触しており、ボールねじ軸３４の回転によって軸方向に駆動されるようになっている。このボールねじ軸３４を回転駆動するために、支持台３０に取り付けられたモータ３７のシャフトに固定されたプーリー３８と、ボールねじ軸３４に固定されたプーリー３９との間にはベルト７０が装着されている。
【００２８】
ポンプ１１のポンプ動作に伴い、導入弁Ｖ１〜脱気弁Ｖ６の開閉を行いそれぞれの流路を開閉することにより、この薬液供給装置はフォトレジスト液を塗布するための薬液吐出供給動作を行うことができる。なお、これら導入弁Ｖ１〜脱気弁Ｖ６としては、電気信号により作動する電磁弁、または空気圧により作動するエアオペレートバルブなどを用いることができる。
【００２９】
第１アダプタ１５の底面部にはフィルタ部４とバッファタンク部６とが着脱自在に装着される。バッファタンク部６には、ブラケットに固定されて液体検出手段としてのセンサ２０と最低液位検出手段としてのセンサ２１とが設けられている。センサ２０は液体貯留室６１の内部に供給されるフォトレジスト液の液面が最高になる位置に配置されており、センサ２１は液体貯留室６１の内部に供給されるフォトレジスト液の液面が最低になる位置に配置されている。したがって、センサ２０，２１により液体貯留室６１の内部に収容されるフォトレジスト液の最高液面と最低液面とを検出することができる。
【００３０】
本実施の形態にあっては、センサ２０，２１はそれぞれフォトレジスト液の液面が最高もしくは最低になる位置に配置されているが、これに限らず、これらの中間位置に設けてもよい。また、これらのセンサ２０，２１は光の透過と遮断による検出を行っているが、これに限らず、光の屈折率を検出するタイプのものや、静電容量の変化を検出するもの、または超音波の変化を検出するものなどを用いてもよい。更に、本実施の形態にあっては、センサ２０，２１はバッファタンク部６の外部に設けられているが、バッファタンク部６の内部に設けるようにしてもよく、その場合、浮力を利用した検出手段を用いてもよい。
【００３１】
図２および図３に示すように、第１アダプタ１５にはポンプ入口側流路４５と液体吐出側流路４７とが形成され、第２アダプタ１６には戻し流路４８が形成されているので、ポンプ入口側流路４５からポンプ室１７に薬液とともに流入した気泡は薬液に比して比重が小さいことから、液体吐出流路４７に回り込むことなく、徐々にポンプ室１７内を上昇して戻し流路４８に移動することになる。
【００３２】
図２に示す実施形態では、これらの液体導入流路４２、連通路４３、排気流路４４、ポンプ入口側流路４５、液体吐出流路４７、戻し流路４８および排気流路４９は、前述したＰＦＡなどの樹脂により第２アダプタ１６などと共に一体に成形されたブロックの中に成形されているが、ホースなどにより形成してもよい。
【００３３】
フィルタ４１としては、中空糸膜により形成されたものや、シート状の膜により形成されたものが用いられるが、薬液を濾過できるものであれば、これらに限定されるものではない。
【００３４】
次に、この薬液供給装置の動作について説明する。
【００３５】
まず、液体タンク４６と液体貯留室にフォトレジスト液を満たし、センサ２０，２１とともにフォトレジスト液を検出する初期状態とする。この状態で、導入弁Ｖ１とポンプ入口側弁Ｖ３とを開き、脱気弁Ｖ２，Ｖ６と吐出弁Ｖ４と戻し弁Ｖ５とを閉じた状態としてポンプ１１を吸入動作させる。このポンプ１１の吸入動作により、液体タンク４６に収容されたフォトレジスト液は液体導入流路４２を経由して液体貯留室６１に供給された後、液体吐出流路４３を経由してフィルタ部４に供給された後、フィルタ４１によって濾過され、更にポンプ入口流路４５を経由してポンプ室１７に吸入される。
【００３６】
吸入動作を終えた後、吐出弁Ｖ４を開き、ポンプ入口側弁Ｖ３と戻し弁Ｖ５とを閉じた状態としてポンプ１１を吐出動作させる。このポンプ１１の吐出動作により、ポンプ室１７の内部に収容されていたフォトレジスト液は液体吐出流路４７を経由して吐出ノズル５０から吐出され、半導体ウエハの表面に塗布される。このような吸入動作と吐出動作とを交互に行うことにより、この薬液供給装置は薬液吐出供給動作を行うことができる。
【００３７】
この薬液供給装置は、フォトレジスト液の清浄度を高めるために薬液の循環濾過を行うことができる。循環濾過は、導入弁Ｖ１とポンプ入口側弁Ｖ３とを開き、脱気弁Ｖ２，Ｖ６と吐出弁Ｖ４と戻し弁Ｖ５とを閉じた状態としてポンプ室１７の内部にフォトレジスト液を吸入する吸入動作の後、戻し弁Ｖ５を開き、ポンプ入口側弁Ｖ３と吐出弁Ｖ４とを閉じた状態とし、導入弁Ｖ１を開いてポンプ１１を吐出動作させる帰還動作を行う。この帰還動作を行うことにより、ポンプ室１７の内部に吸入されたフォトレジスト液は、液体吐出流路４７に排出された後、戻し流路４８を経由してバッファタンク部６の液体貯留室６１に戻される。バッファタンク部６に戻された液体は、既にフィルタ４１を透過した液体であり、フィルタ４１によって脱気されており、清浄度は高い。この清浄度の高い液体を再度フィルタ４１を透過してポンプ１１に吸入するので、より清浄度の高いフォトレジスト液を吐出供給することができる。
【００３８】
この薬液供給装置は、液体タンク４６内に収容されている液体中に含まれる気泡を外部に排出するために、排気動作を行うことができる。排気動作は、循環濾過の帰還動作においてフォトレジスト液を液体貯留室６１に戻した後、再度、前記同様の吸入動作をし、戻し弁Ｖ５と脱気弁Ｖ６とを開き、導入弁Ｖ１とポンプ入口側弁Ｖ３と吐出弁Ｖ４とを閉じた状態としてポンプ１１を吐出動作させる。この動作を行うことにより、液体貯留室６１内に溜まった空気を排気流路４９から排出することができる。したがって、フィルタ４１を透過しても除去し切れなかった液体内の気泡は、循環濾過および排気動作を実行することにより、バッファタンク部６の液体貯留室６１に連通する排気流路４９から外部に排出される。
【００３９】
新たな液体タンク４６が薬液供給装置に装填されたときには、上述の循環濾過および排気動作を所定回数繰り返して、液体塗布動作を行う状態に準備することができる。
【００４０】
本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。たとえば、以上の説明では、薬液供給装置を半導体ウエハにフォトレジスト液を塗布するために使用した場合について説明したが、レジスト液に限らず、種々の液体を供給するために本発明を適用することが可能であり、特に、気泡が発生しやすい液をフィルタ４１に透過させて吐出する場合に用いて有効である。また、ポンプ１１の形式としては、容積変化式のポンプであれば、ダイヤフラム式のポンプでもよい。
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば、薬液供給装置から吐出される薬液の量を安定させ、吐出精度を向上させることができる。
【００４２】
本発明によれば、半導体集積回路を高品質に歩留まりよく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である薬液供給装置の概略を示す液体回路図である。
【図２】図１の液体回路図により構成される薬液供給装置の詳細な構造を示す断面図である。
【図３】図２のポンプの詳細を示す断面図である。
【符号の説明】
１１ ポンプ
１１ａ ポンプ入口
１１ｂ ポンプ出口
１２ ポンプ駆動部
１３ 可撓性チューブ
１４ ベローズ
１５ 第１アダプタ
１６ 第２アダプタ
１７ ポンプ室
２１ 作動ディスク部
２２ 小型ベローズ部
２３ 大型ベローズ部
２４，２５ 固定ディスク部
２６ 駆動室
２７ 非圧縮性媒体
３０ 支持台
３１，３２ 固定ブラケット
３３ 作動ブラケット
３４ ボールねじ軸
３５ ボールナット
３６ ガイドレール
３７ モータ
３８，３９ プーリー
４ フィルタ部
４０ フィルタ収容室
４１ フィルタ
４１ａ フィルタ入口
４１ｂ フィルタ出口
４１ｃ 排気ポート
４２ 液体導入流路
４３ 連通路
４４，４９ 排気流路
４５ ポンプ入口側流路
４６ 液体タンク
４７ 液体吐出流路
４８ 戻し流路
５０ 吐出ノズル
６ バッファタンク部
６０ａ，６０ｂ 液体流入ポート
６０ｃ 排気ポート
６０ｄ 液体吐出口
６１ 液体貯留室
７０ ベルト
Ｖ１ 導入弁
Ｖ２，Ｖ６ 脱気弁
Ｖ３ ポンプ入口側弁
Ｖ４ 吐出弁
Ｖ５ 戻し弁

Claims (3)

  1. 薬液を収容する液体タンクに液体導入流路により接続される天壁部を有し、内部に液体貯留室が設けられたバッファタンク部と、
    前記バッファタンク部の底壁部に形成された液体吐出口に接続されるフィルタ入口を有するフィルタ部と、
    前記フィルタ部のフィルタ出口にポンプ入口側流路を介して接続されるポンプ入口と、吐出ノズルに接続される液体吐出流路が接続されるポンプ出口とを有し、膨張収縮するポンプ室が設けられたポンプと、
    前記ポンプ出口と前記バッファタンク部との間に接続され、前記ポンプ室から吐出された薬液を前記液体貯留室に戻す戻し流路と、
    前記バッファタンク部の前記天壁部に接続され、前記液体貯留室内の空気を排気する排気流路とを有し、
    前記液体導入流路と前記ポンプ入口側流路と前記液体吐出流路を閉じるとともに前記戻し流路と前記排気流路を開いた状態のもとで、前記ポンプ室を収縮させて前記戻し流路を介して前記バッファタンク部に薬液を戻して前記排気流路から前記バッファタンク部内の気体を排気することを特徴とする薬液供給装置。
  2. 請求項１記載の薬液供給装置において、前記フィルタ部に接続され、前記フィルタ部内の気体を排出する排気流路を有することを特徴とする薬液供給装置。
  3. 薬液を収容する液体タンクに液体導入流路により接続される天壁部を有し、内部に液体貯留室が設けられたバッファタンク部と、前記バッファタンク部の底壁部に形成された液体吐出口に接続されるフィルタ入口を有するフィルタ部と、前記フィルタ部のフィルタ出口にポンプ入口側流路を介して接続されるポンプ入口と、吐出ノズルに接続される液体吐出流路が接続されるポンプ出口とを有し、膨張収縮するポンプ室が設けられたポンプと、前記ポンプ出口と前記バッファタンク部との間に接続され、前記ポンプ室から吐出された薬液を前記液体貯留室に戻す戻し流路と、前記バッファタンク部の前記天壁部に接続され、前記液体貯留室内の空気を排気する排気流路とを有する薬液供給装置を用いた薬液供給方法であって、
    前記排気流路と前記液体吐出流路と前記戻し流路を閉じるとともに前記液体導入流路と前記ポンプ入口側流路を開いた状態のもとで前記ポンプを吸入動作して前記液体タンク内の薬液を前記バッファタンク部および前記フィルタ部を介して前記ポンプ室に向けて吸入する吸入工程と、
    前記ポンプ入口側流路と前記排気流路と前記液体吐出流路を閉じるとともに前記液体導入流路と前記戻し流路を開いた状態のもとで前記ポンプを吐出動作して前記ポンプ室内の薬液を前記バッファタンク部に戻す帰還工程と、
    前記ポンプ入口側流路と前記液体導入流路と前記液体吐出流路を閉じるとともに前記戻し流路と前記排気流路を開いた状態のもとで前記ポンプを吐出動作して前記ポンプ室内の薬液を前記戻し流路を介して前記バッファタンク部内に戻し、前記バッファタンク部内の気体を前記排気流路から排気する排気工程と、
    前記液体導入流路と前記ポンプ入口側流路と前記戻り流路と前記排気流路を閉じるとともに前記液体吐出流路を開いた状態のもとで前記ポンプを吐出動作して前記ポンプ室内の薬液を前記吐出ノズルから吐出する吐出工程とを有することを特徴とする薬液供給方法。
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