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Technisches Gebiet
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Verschiedene Ausführungsformen beziehen sich auf eine Behälterschalteinrichtung, ein System zum Liefern von Fluid und ein Verfahren zum Überwachen einer Fluidgeschwindigkeit in einem Halbleitertestsystem.
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Allgemeiner Stand der Technik
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Fertiggestellte Halbleiter werden oft auf Funktion getestet, nachdem die Halbleiter hergestellt sind. Zum Durchführen dieser Tests werden oft Testsysteme verwendet, die einen zum Handhaben des zu testenden Halbleiters oder der zu testenden Vorrichtungen konfigurierten Handler einschließen. Außerdem werden oft Niedrigtemperaturtestprozeduren durchgeführt, um den Halbleiter (z. B. Transistoren oder Leistungstransistoren) auch bei niedrigen Temperaturen zu testen. Zum Bereitstellen der Kühlung (Energie) werden im Allgemeinen Fluide wie Flüssiggas (z. B. flüssige Luft oder flüssiger Stickstoff) verwendet und durch einen Flüssiggaszylinder und ein Leitungs- oder Rohrsystem bereitgestellt. Um eine kontinuierliche Fluidversorgung bereitzustellen, wird eine Behälterschalteinrichtung verwendet, an welche mindestens zwei Flüssiggaszylinder angeschlossen sind, welche wahlweise Kühlfluid an die Behälterschalteinrichtung und den damit verbundenen Handler bereitstellen.
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Kurzdarstellung
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Verschiedene Ausführungsformen stellen eine Behälterschalteinrichtung für ein Halbleitertestsystem bereit, wobei die Behälterschalteinrichtung einen Verteiler umfasst, der eine erste Zufuhrleitung, eine zweite Zufuhrleitung, eine Auslassleitung und einen Durchflusssensor umfasst, wobei jede der Zufuhrleitungen konfiguriert ist, um an einen jeweiligen Fluidbehälter angeschlossen zu werden, und die Auslassleitung einen Auslassanschluss umfasst, welcher konfiguriert ist, um an einen Test-Handler angeschlossen zu werden, wobei jede der Zufuhrleitungen ein jeweiliges Steuerventil umfasst; wobei der Durchflusssensor vor dem Auslassanschluss in den Verteiler eingebaut ist und konfiguriert ist, ein die Durchflussrate eines Fluids anzeigendes Messsignal durch einen Ausgabeanschluss bereitzustellen und das Messsignal an eine Steuereinheit zu senden; und wobei jedes der Steuerventile konfiguriert ist, ein Steuersignal zu empfangen und auf das empfangene Steuersignal reagierend geöffnet oder geschlossen werden.
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Außerdem stellen verschiedene Ausführungsformen ein Halbleitertestsystem bereit, umfassend eine Behälterschalteinrichtung, einen Test-Handler umfassend einen an den Ausgabeanschluss der Behälterschalteinrichtung angeschlossenen Einlassanschluss; und eine Steuereinheit, konfiguriert, um ein Messsignal des Durchflusssensors zu empfangen und ein Steuersignal an die Steuerventile bereitzustellen.
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Des Weiteren stellen verschiedene Ausführungsformen ein Verfahren zum Überwachen einer Fluidgeschwindigkeit in einem Halbleitertestsystem bereit, wobei das Verfahren umfasst, ein Fluid durch eine Zufuhrleitung und eine Auslassleitung von einem Fluidbehälter an einen Handler zu liefern; eine Durchflussrate des gelieferten Fluids mittels eines Durchflusssensors zu messen; ein die gemessene Durchflussrate angebendes Messsignal zu erzeugen; und das Messsignal an die Steuereinheit zu richten.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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In den Zeichnungen beziehen sich gleiche Bezugszeichen allgemein über die verschiedenen Ansichten hinweg auf dieselben Teile. Die Zeichnungen sind nicht notwendigerweise maßstabsgerecht. Stattdessen liegt der Schwerpunkt allgemein darauf, die Grundgedanken der Erfindung zu veranschaulichen. In der folgenden Beschreibung werden verschiedene Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die folgenden Zeichnungen beschrieben, in denen:
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1 schematisch eine Behälterschalteinrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel veranschaulicht;
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2 schematisch ein Halbleitertestsystem gemäß einem Ausführungsbeispiel veranschaulicht;
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3 schematisch ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Überwachen einer Fluidgeschwindigkeit gemäß einem Ausführungsbeispiel abbildet; und
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4 schematisch ein Halbleitertestsystem gemäß einem Ausführungsbeispiel veranschaulicht.
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Detaillierte Beschreibung
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Im Folgenden werden weitere Ausführungsbeispiele einer Behälterschalteinrichtung, eines Systems zum Liefern von Fluid, und eines Verfahrens zum Überwachen einer Fluidgeschwindigkeit in einem Halbleitertestsystem erläutert. Es sollte beachtet werden, dass die Beschreibung bestimmter Merkmale, die im Kontext eines bestimmten Ausführungsbeispiels beschrieben werden, auch mit anderen Ausführungsbeispielen kombiniert werden kann.
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Die Worte „beispielhaft” und „Beispiel” werden hierin im Sinne von „als ein Beispiel, Fallbeispiel, oder der Veranschaulichung dienend” verwendet. Alle hierin als „beispielhaft” oder „Beispiel” beschriebenen Ausführungsformen oder Gestaltungsformen sind nicht notwendigerweise als bevorzugt oder vorteilhaft gegenüber anderen Ausführungsformen oder Gestaltungsformen zu verstehen.
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Verschiedene Ausführungsbeispiele stellen eine Behälterschalteinrichtung für ein Halbleitertestsystem bereit, wobei die Behälterschalteinrichtung einen Verteiler umfasst, umfassend zwei Zufuhrleitungen und eine Auslassleitung, wobei ein Fluidströmungsweg von mindestens einer der Zufuhrleitungen und der Auslassleitung gebildet wird, wobei ein jeweiliges Steuerventil in jede Zufuhrleitung eingebaut ist und mindestens ein Durchflusssensor im Fluidströmungsweg eingebaut ist, wobei der Durchflusssensor dazu ausgelegt ist, eine Durchflussrate zu messen, ein die gemessene Durchflussrate angebendes Messsignal zu erzeugen und das Messsignal an eine Steuereinheit zu senden. Außerdem ist jedes der Steuerventile dazu ausgelegt, ein Steuersignal von der Steuereinheit zu empfangen, und abhängig vom Steuersignal geöffnet oder geschlossen zu werden.
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Insbesondere wird die Fluidströmung von einem Einlassanschluss (z. B. konfiguriert, um an einen Fluidbehälter gekoppelt zu werden) an einen Ausgabeanschluss (z. B. konfiguriert, um an einen Test-Handler gekoppelt zu werden) der Auslassleitung gerichtet oder geleitet. Insbesondere kann ein einzelner Durchflusssensor in die Auslassleitung eingebaut sein (während ein erstes Steuerventil in die erste Zufuhrleitung integriert sein kann und ein zweites Steuerventil in die zweite Zufuhrleitung integriert sein kann), und/oder ein erster Durchflusssensor und ein erstes Steuerventil können in die erste Zufuhrleitung eingebaut oder integriert sein, und ein zweiter Durchflusssensor und ein zweites Steuerventil ist in die zweite Zufuhrleitung eingebaut oder integriert. Der Durchflusssensor kann oder die Durchflusssensoren können entsprechend die Fluidströmung durch die Zufuhrleitungen überwachen und steuern. Insbesondere kann das Steuerventil ein Magnetventil oder eine beliebige andere Ventilsorte sein, welches bei verschiedenen (kalten) Temperaturniveaus verwendet werden kann. Es sollte beachtet werden, dass selbstverständlich mehr als zwei Zufuhrleitungen in einer Behälterschalteinrichtung implementiert bereitgestellt werden können, und daher mehr als zwei Behälter durch die Behälterschalteinrichtung angeschlossen und gesteuert werden können.
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Insbesondere kann die Steuereinheit, z. B. ein PLC-Controller, eine rechnende oder verarbeitende Einheit, konfiguriert zum Ermitteln einer tatsächlichen Durchflussrate aus dem empfangenen Messsignal und/oder zum Ermitteln, ob eine Durchflussrate über oder unter einem vorbestimmten Schwellenwert liegt, umfassen. Aufgrund dieser Ermittlung oder Berechnung kann die Steuereinheit das Steuersignal erzeugen. Das Steuersignal kann insbesondere angeben, dass ein das Steuersignal empfangendes Steuerventil ein- oder ausgeschaltet werden soll. Insbesondere kann das Steuerventil konfiguriert sein, um sich abhängig vom empfangenen Steuersignal aus- oder einzuschalten. Insbesondere können die Zufuhrleitungen und/oder die Auslassleitungen ein Plastikmaterial und/oder Metallmaterial, z. B. Stahl oder dergleichen, umfassen oder daraus bestehen.
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Der Begriff „Zufuhrleitung” kann insbesondere eine Leitung oder ein Rohr des Verteilers, beginnend an einem Einlassanschluss (konfiguriert, um an den Fluidbehälter angeschlossen zu werden) zu einer Anschlussstelle, an welcher die eine Zufuhrleitung an eine weitere Zufuhrleitung angeschlossen wird, bedeuten. Der Begriff „Auslassleitung” kann insbesondere eine Leitung oder ein Rohr des Verteilers, beginnend an dieser Anschlussstelle zu einem Auslassanschluss (konfiguriert um an einen Test-Handler angeschlossen zu werden), bedeuten.
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Durch Bereitstellen einer einen Durchflusssensor oder ein Durchflussmessgerät anstelle eines anderen Sensors (wie einem Drucksensor) umfassenden Behälterschalteinrichtung kann es möglich sein, eine flexiblere Steuerung und direktere Steuerung einer Fluidversorgung (z. B. Kühlfluid) zu ermöglichen. Beispielsweise kann es möglich sein, Testprozeduren bei unterschiedlichen Druckniveaus auf einfache und wirksame Weise, verglichen mit einer druckgesteuerten Schalteinrichtung, durchzuführen. Es kann sogar möglich sein, unterschiedliche Arten von (Test-)Handlern auf einfache Weise mit der Testschalteinrichtung zu verwenden. Insbesondere kann es möglich sein, einen Grenz- oder Schwellenwert des bereitgestellten Fluids genauer anzupassen oder einzustellen, da die Menge des bereitgestellten Fluids direkt gesteuert wird und nicht indirekt, beispielsweise durch Ermitteln eines Drucks. Insbesondere kann die Behälterschalteinrichtung ein automatisches Schalten zwischen unterschiedlichen Flüssiggasbehältern oder -containern ermöglichen. Daher ist es unter Umständen nicht mehr notwendig, Steuerkarten oder dergleichen zum Managen einer manuellen Tätigkeit des Schaltens zwischen unterschiedlichen Behältern zu verwenden. Außerdem kann das automatische Schalten genügend Zeit für einen Wechsel zwischen den unterschiedlichen Fluidbehältern lassen.
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Diese direkte Steuerung der Fluidmenge kann insbesondere vorteilhaft sein, wenn für unterschiedliche Halbleiter ausgelegte unterschiedliche Test-Handler in Verbindung mit der Behälterschalteinrichtung verwendet werden, da jeder Test-Handler eine unterschiedliche Menge an Fluid per Zeitspanne, d. h. Fluidrate, benötigen kann. Daher kann es möglich sein, insgesamt eine Ausstattungseffizienz zu verbessern, möglicherweise während zur gleichen Zeit eine Temperaturstabilität und/oder Produktqualität während einer Testprozedur verbessert oder zumindest nicht verringert wird. Außerdem kann die Verwendung einer einen Durchflusssensor einschließenden Behälterschalteinrichtung eine effiziente Niveau- und/oder Konsumüberwachung ermöglichen.
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Im Folgenden sind Ausführungsbeispiele der Behälterschalteinrichtung beschrieben. Die Merkmale und Elemente, welche mit Bezug auf diese Ausführungsformen beschrieben werden, können jedoch mit Ausführungsbeispielen des Systems zum Liefern von Fluiden und eines Verfahrens zum Überwachen einer Fluidrate in einem Halbleitertestsystem kombiniert werden.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel umfasst die Behälterschalteinrichtung ferner mindestens ein weiteres Element, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einem Entlastungsventil, einem Manometer, und einem Rückschlagventil.
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Alle diese Elemente können als die Sicherheit der Behälterschalteinrichtung oder des gesamten Systems, in welchem die Behälterschalteinrichtung verwendet wird, erhöhende Sicherheitsmerkmale verwendet werden.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel umfasst die Behälterschalteinrichtung ferner eine Signalschnittstelle.
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Insbesondere kann die Signalschnittstelle eine Ethernet-Schnittstelle sein und/oder eine Ethernet-Verbindung ermöglichen. Beispielsweise kann das durch den Durchflusssensor bereitgestellte Signal konfiguriert sein, um durch die Signalschnittstelle, z. B. eine Ethernet-Schnittstelle, kommuniziert oder gesendet zu werden.
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Gemäß einem Anwendungsbeispiel der Behälterschalteinrichtung ist eine Isolierschicht um die Zufuhrleitungen und die Auslassleitung angeordnet.
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Das Bereitstellen einer Isolierschicht oder -manschette, z. B. aus einem Schaummaterial oder einer zusätzlichen äußeren Manschettenschicht gebildet, kann sicherstellen, dass sich eine Temperatur des Fluids während seines Durchströmens der Zufuhr- und Auslassleitungen im Wesentlichen nicht ändert. Zusätzlich kann sie das Bilden oder Entwickeln von Kondenswasser an der äußeren Oberfläche der Leitungen verringern.
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Gemäß einem Anwendungsbeispiel der Behälterschalteinrichtung ist der Durchflusssensor in der Auslassleitung eingebaut.
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Durch Anordnen des Durchflusssensors in der Auslassleitung und nicht in einer Zufuhrleitung kann es möglich sein, nur einen einzigen Durchflusssensor für das gesamte System, unabhängig von der Anzahl der Zufuhrleitungen und entsprechend angeschlossenen Fluidbehältern, zu verwenden. Solange ausschließlich ein einziger Fluidbehälter das Fluid liefert (d. h. ausschließlich das jeweilige Steuerventil offen ist), wird der durch den einen Durchflusssensor gemessene Wert der jeweiligen Zufuhrleitung entsprechen.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel umfasst die Behälterschalteinrichtung ferner einen weiteren Durchflusssensor, welcher konfiguriert ist, um ein die Durchflussrate des Fluids angebendes Messsignal bereitzustellen, wobei der Durchflusssensor in die erste Zufuhrleitung eingebaut ist und der weitere Durchflusssensor in die zweite Zufuhrleitung eingebaut ist.
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Indem zwei Durchflusssensoren (oder ein Durchflusssensor pro Zufuhrleitung im Fall von mehr als zwei verwendeten Zufuhrleitungen) verwendet werden, kann es möglich sein, die Fluidströmung flexibler zu überwachen und zu steuern. Beispielsweise können jeweils mehr als ein Steuerventil geöffnet sein, aber es kann immer noch möglich sein, jede Zufuhrleitung (und jeweiligen Fluidbehälter) unabhängig zu überwachen.
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Im Folgenden sind Ausführungsbeispiele des Systems zum Liefern von Fluid beschrieben. Die Merkmale und Elemente, welche mit Bezug auf diese Ausführungsformen beschrieben werden, können jedoch mit Ausführungsbeispielen der Behälterschalteinrichtung und eines Verfahrens zum Überwachen einer Fluidrate in einem Halbleitertestsystem kombiniert werden.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel des Halbleitertestsystems ist die Steuereinheit konfiguriert, um das Steuersignal bereitzustellen im Fall, dass die Steuereinheit ermittelt, dass das Messsignal des Durchflusssensors angibt, dass die Fluidströmung unter einem vorbestimmten Schwellenwert liegt.
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Es sollte jedoch beachtet werden, dass die Fluidströmung noch über Null liegt, d. h. das Steuerventil ist offen und der an die jeweilige Zufuhrleitung angeschlossene Fluidbehälter ist noch nicht komplett leer. Das bedeutet, der Durchflusssensor kann messen, dass die Durchflussrate sich in einem Intervall, begrenzt durch einen Wert größer als Null und durch den vorbestimmten Schwellenwert, befindet. Es sollte erwähnt werden, dass der vorbestimmte Schwellenwert selbstverständlich vom durchgeführten Test und/oder dem durch den Test getesteten Halbleiter abhängen kann. Daher ist es unter Umständen nicht möglich, einen absoluten Wert für den vorbestimmten Schwellenwert anzugeben, aber er kann für jede Anwendung einfach durch einen Fachmann, abhängig von der benötigten Menge Kühlfluid, berechnet und/oder ermittelt werden. Insbesondere kann der Schwellenwert durch die für eine gegebene Testprozedur benötigte oder gewünschte beabsichtigte Kühltätigkeit definiert werden.
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Beispielsweise kann im Fall, dass das Fluid ein Kühlfluid ist, wie flüssige Luft oder flüssiger Stickstoff, der vorbestimmte Schwellenwert (und daher die Menge an Fluid) von der Menge an zum Erreichen einer beabsichtigten Temperatur benötigten Kühlenergie oder kryogenen Energie oder Kühlfluid abhängen. Daher kann er ebenfalls von der Umgebungstemperatur des Testsystems, in dem er verwendet wird, der Anzahl getesteter Halbleiter, der Menge an während des Tests produzierter Wärme und dergleichen abhängen. Ein Fachmann kann jedoch solch einen vorbestimmten Schwellenwert klar und einfach ermitteln.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel des Halbleitertestsystems wird das Steuersignal an beide Steuerventile bereitgestellt.
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Insbesondere kann das Steuersignal konfiguriert sein, um ein Steuerventil zu schließen, während es ebenfalls konfiguriert ist, das andere Steuerventil zu öffnen. Das Steuersignal kann daher aus zwei Teilsteuersignalen gebildet sein, wovon eines ein „Öffnen”- oder „Ein”-Steuersignal repräsentiert, und das andere ein „Schließen”- oder „Aus”-Steuersignal repräsentiert. Daher kann es möglich sein, ein Steuerventil zu schließen, während zur gleichen Zeit oder mit dem gleichen Steuersignal das andere Steuerventil geöffnet wird. Deshalb wird der das Fluid an die Auslassleitung bereitstellende oder liefernde Behälter geändert oder gewechselt.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel des Halbleitertestsystems ist das Steuersignal ein „Aus”-Steuersignal und wird zum Öffnen des Steuerventils bereitgestellt.
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Insbesondere kann das offene Steuerventil der Zufuhrleitung oder den Zufuhrleitungen (oder einer davon), welche tatsächlich Fluid zum Auslassanschluss liefern, d. h. welche offen und nicht geschlossen ist, entsprechen oder darin eingebaut sein. Das bedeutet im Fall des Verwendens von zwei Zufuhrleitungen und zwei Durchflusssensoren, dass der eine der beiden Durchflusssensoren derjenige ist, der eine Durchflussrate unter dem vorbestimmten Schwellenwert misst. Insbesondere ist das Steuersignal und/oder das Steuerventil konfiguriert, um ausgeschaltet zu werden im Fall, dass es das „Aus”-Steuersignal empfängt.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel des Halbleitertestsystems ist das Steuersignal ein „Ein”-Steuersignal und wird einem geschlossenen Steuerventil bereitgestellt.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel umfasst das Halbleitertestsystem ferner zwei, jeweils an eine jeweilige der Zufuhrleitungen der Behälterschalteinrichtung gekoppelte, Fluidbehälter.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel umfasst das Halbleitertestsystem ferner eine zum Anzeigen eines Füllstands von mindestens einem der Fluidbehälter konfigurierte Anzeigetafel.
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Insbesondere kann die Steuereinheit konfiguriert sein, um den anzuzeigenden Füllstand aus einem empfangenen Messsignal zu ermitteln. Daher kann es möglich sein, einen tatsächlichen Füllstandsstatus visuell anzugeben. Beispielsweise kann die Anzeigetafel ein Teil der Steuereinheit sein oder kann eine separate Einheit sein.
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Im Folgenden werden Ausführungsbeispiele des Verfahrens zum Überwachen einer Fluidrate in einem Halbleitertestsystem beschrieben. Die Merkmale und Elemente, welche unter Bezugnahme auf diese Ausführungsformen beschrieben werden, können jedoch auch mit Ausführungsbeispielen der Behälterschalteinrichtung und des Systems zum Liefern von Fluid kombiniert werden.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel umfasst das Verfahren ferner ein Ermitteln, ob das Messsignal eine Durchflussrate unter einem vorbestimmten Schwellenwert angibt; und ein Erzeugen eines Steuersignals, falls ermittelt wird, dass die ermittelte Durchflussrate unter einem vorbestimmten Schwellenwert liegt.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel umfasst das Verfahren ferner ein Senden des Steuersignals an ein in die Zufuhrleitung eingebautes Steuerventil.
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Insbesondere ist das Steuersignal ein Ausschaltesignal. Daher kann das das Steuersignal empfangende Steuerventil ausgeschaltet werden. Deshalb kann die jeweilige Zufuhrleitung geschlossen werden, so dass ein an eine mit dem Steuerventil verbundene Zufuhrleitung angeschlossener Fluidbehälter von einer Auslassleitung des Halbleitertestsystems entkoppelt wird. Selbstverständlich kann ein weiteres Steuersignal an das zweite Steuerventil gesendet werden, um selbiges zu öffnen, so dass die jeweilige Zufuhrleitung zum Liefern von Fluid an die Auslassleitung verwendet werden kann.
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Im Folgenden werden spezifische Ausführungsbeispiele einer Behälterschalteinrichtung, eines Systems zum Liefern von Fluid, und des Verfahrens zum Überwachen einer Fluidrate in einem Halbleitertestsystem unter Bezugnahme auf die Figuren ausführlicher erläutert.
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1 veranschaulicht schematisch eine Behälterschalteinrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Insbesondere zeigt 1 einen Verteiler 101, umfassend eine erste Zufuhrleitung oder ein erstes Zufuhrrohr 102 mit einem Einlassanschluss 103, eine zweite Zufuhrleitung 104 mit einem Einlassanschluss 105 und eine Auslassleitung 106 mit einem Auslassanschluss 107. Während die Einlassanschlüsse an einen jeweiligen Fluidbehälter, z. B. einen Flüssiggaszylinder, angeschlossen oder gekoppelt sein können, kann der Auslassanschluss an einen (Test-)Handler angeschlossen sein, der konfiguriert ist, Testprozeduren mit zu testenden Halbleitern durchzuführen. Es sollte beachtet werden, dass der Verteiler 101 selbstverständlich mehr als zwei Zufuhrleitungen umfassen kann und/oder auch mehr als eine Auslassleitung umfassen kann. Vorzugsweise wird jedoch nur eine einzelne Auslassleitung bereitgestellt.
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Im durch die erste Zufuhrleitung 102 gebildeten Fluidweg ist ein erster Durchflusssensor oder Durchflussmesser 108, konfiguriert um eine Durchflussrate von durch die erste Zufuhrleitung 102 strömendem Fluid zu messen und ein jeweiliges Messsignal an eine Steuereinheit zu senden, enthalten. Außerdem ist auch ein erstes Steuerventil, z. B. ein (kryogenes) Magnetventil 109, in der ersten Zufuhrleitung 102 enthalten und ist konfiguriert, um ein Steuersignal von der Steuereinheit zu empfangen und auf das Steuersignal reagierend geschlossen oder geöffnet zu werden.
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Im durch die zweite Zufuhrleitung 104 gebildeten Fluidweg ist ein zweiter Durchflusssensor oder Durchflussmesser 110, konfiguriert um eine Durchflussrate von durch die zweite Zufuhrleitung 102 strömendem Fluid zu messen und ein jeweiliges Messsignal an eine Steuereinheit zu senden, enthalten. Außerdem ist auch ein zweites Steuerventil, z. B. ein (kryogenes) Magnetventil 111, in der ersten Zufuhrleitung 104 enthalten und ist konfiguriert, um ein Steuersignal von der Steuereinheit zu empfangen und auf das Steuersignal reagierend geschlossen oder geöffnet zu werden.
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2 veranschaulicht schematisch ein Halbleitertestsystem 200 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Insbesondere umfasst das Halbleitertestsystem 200 eine Testschalteinrichtung 100 (wie unter Bezugnahme auf 1 beschrieben). Der Einlassanschluss 103 der ersten Zufuhrleitung 102 ist durch einen ersten Leitungsabschnitt 221 und einen flexiblen Steckverbinder 222 an einen ersten Behälter 220 mit flüssiger Luft oder flüssigem Stickstoff angeschlossen. Gleichzeitig ist der Einlassanschluss 105 der zweiten Zufuhrleitung 104 an einen zweiten Behälter 223 mit flüssiger Luft durch einen zweiten Leitungsabschnitt 224 und einen flexiblen Steckverbinder 225 angeschlossen.
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Insbesondere sind die jeweiligen flexiblen Steckverbinder 222 und 225 an die jeweiligen Manometer 226 und 227 angeschlossen. Zusätzlich umfassen die Behälter ein Entlüftungsventil 228 und ein Transferventil 229 und sind mit flüssigem Stickstoff 230 gefüllt (durch die Linien im Fluidbehälter angegeben). Ferner umfassen die Behälter eine Vakuumummantelung 231, um eine thermische Isolierung bereitzustellen.
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Außerdem umfasst das Halbleitertestsystem 200 einen Handler 232 zum Bereitstellen oder Durchführen des tatsächlichen Testens der zu testenden Halbleiter. Der Handler 232 ist an den Auslassanschluss 107 der Auslassleitung 106 angeschlossen, welcher schematisch in 2 durch Pfeil 233 angegeben ist.
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Des Weiteren umfasst das Halbleitertestsystem 200 eine Steuereinheit 234, z. B. eine Prozessor- oder Berechnungseinheit, welche elektrisch an beide Durchflusssensoren und Steuerventile, wie durch Linien 235 angegeben, angeschlossen ist. Die Steuereinheit ist konfiguriert, um aus den von beiden Durchflusssensoren 108 und 110 bereitgestellten Messsignalen eine tatsächliche Durchflussrate zu ermitteln. Aufgrund der ermittelten tatsächlichen Durchflussrate kann die Steuereinheit entscheiden, ob ein Steuerventil aus- oder eingeschaltet werden soll, um einen kontinuierlichen Durchfluss von Kühlfluid zum Handler bereitzustellen.
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Falls beispielsweise die tatsächliche Durchflussrate durch die erste Zufuhrleitung zur Auslassleitung unter einen vorbestimmten Schwellenwert, z. B. durch eine ausreichende oder erwünschte Kühlrate definiert, fällt, kann die Steuereinheit ein an das erste Steuerventil 109 weitergeleitete Steuersignal erzeugen, das angibt, dass selbiges geschlossen werden soll (so dass der jeweilige Fluidbehälter gewechselt werden kann, d. h. ein voller, neuer Behälter kann an den Einlassanschluss 103 angeschlossen werden). Gleichzeitig kann ein weiteres (oder das gleiche) Steuersignal an das zweite Steuerventil 111 gesendet werden, angebend, dass selbiges geöffnet werden soll, so dass Kühlfluid vom zweiten Behälter an die Auslassleitung und den Handler bereitgestellt wird, z. B. den aktiven Behälter bildet.
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Zusätzlich kann das Halbleitertestsystem 200 eine Anzeigetafel 236 zum Anzeigen des Status des Halbleitertestsystems 200 umfassen, z. B. welches Steuerventil geöffnet ist und/oder die tatsächliche Durchflussrate und/oder den Füllstand des aktiven Behälters. Die Anzeigetafel 236 kann durch eine separate Vorrichtung oder Einheit gebildet werden oder kann Teil der Steuereinheit 234 sein.
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3 bildet schematisch ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Überwachen einer Fluidrate 300 gemäß einem Ausführungsbeispiel ab. Insbesondere umfasst das Verfahren ein Liefern eines Fluids durch eine Zufuhrleitung und eine Auslassleitung (Schritt 301). Das Fluid, z. B. ein Kühlfluid, kann von einem Fluidbehälter an einen Handler oder Test-Handler für einen Testprozess von Halbleitern verwendbar bereitgestellt werden. Die tatsächliche Durchflussrate des Fluids in der Zufuhrleitung (und daher zur Auslassleitung, falls im Wesentlichen keine Verluste an Fluid auftreten) wird während des Lieferns durch einen in die Zufuhrleitung eingebauten Durchflusssensor gemessen (Schritt 302). Von dieser gemessenen Durchflussrate wird ein die tatsächliche Durchflussrate angebendes Messsignal erzeugt (Schritt 303).
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Wahlweise kann das Verfahren ferner einen Ermittlungsschritt umfassen, in welchem ermittelt wird, ob das Messsignal eine Durchflussrate unter einem vorbestimmten Schwellenwert angibt, welcher Schritt von einem Erzeugen eines Steuersignals gefolgt werden kann, falls ermittelt wird, dass die ermittelte Durchflussrate unter einem vorbestimmten Schwellenwert liegt. Daher kein ein Steuersignal auf Grundlage einer gemessenen tatsächlichen Fluidströmung erzeugt werden, welches zum Steuern oder Schalten der Steuerventile und daher der Fluidströmung durch die jeweiligen Zufuhrleitungen verwendet werden kann.
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Das erzeugte Steuersignal kann an die jeweiligen Steuerventile zum Steuern derselben gesendet werden, z. B. zum Einschalten des einen, während das andere ausgeschaltet wird. Insbesondere das mit einer Zufuhrleitung und einem Fluidbehälter, welcher einen geringen Füllstand an Fluid aufweist, verbundene Steuerventil kann ausgeschaltet werden, so dass der jeweilige Behälter (mit dem geringen Füllstand) durch einen vollen Behälter ersetzt werden kann, welcher an den jeweiligen Einlassanschluss der Behälterschalteinrichtung angeschlossen ist.
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4 veranschaulicht schematisch ein Halbleitertestsystem gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel. Insbesondere ist das Halbleitertestsystem 400 dem in 2 abgebildeten ähnlich. Anstelle der zwei Durchflusssensoren (einer in jeder der abgebildeten Zufuhrleitungen) in der Ausführungsform von 2 ist in der Ausführungsform von 4 jedoch nur ein einzelner Durchflusssensor 440 in einer Auslassleitung 406 eingebaut oder angeordnet. Detaillierter umfasst das Halbleitertestsystem 400 eine Testschalteinrichtung 441. Der Einlassanschluss 403 der ersten Zufuhrleitung 402 ist durch einen ersten Leitungsabschnitt 421 und einen flexiblen Steckverbinder 422 an einen ersten Behälter 420 mit flüssiger Luft oder flüssigem Stickstoff angeschlossen. Gleichzeitig ist der Einlassanschluss 405 der zweiten Zufuhrleitung 404 an einen zweiten Behälter 423 mit flüssiger Luft durch einen zweiten Leitungsabschnitt 424 und einen flexiblen Steckverbinder 425 angeschlossen.
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Insbesondere sind die jeweiligen flexiblen Steckverbinder 422 und 425 an die jeweiligen Manometer 426 und 427 angeschlossen. Zusätzlich umfassen die Behälter ein Entlüftungsventil 428 und ein Transferventil 429 und sind mit flüssigem Stickstoff 430 gefüllt (durch die Linien im Fluidbehälter angegeben). Ferner umfassen die Behälter eine Vakuumummantelung 431, um eine thermische Isolierung bereitzustellen.
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Außerdem umfasst das Halbleitertestsystem 400 einen Handler 432 zum Bereitstellen oder Durchführen des tatsächlichen Testens der zu testenden Halbleiter. Der Handler 432 ist an den Auslassanschluss 407 der Auslassleitung 406 angeschlossen, welcher schematisch in 4 durch Pfeil 433 angegeben ist.
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Des Weiteren umfasst das Halbleitertestsystem 400 eine Steuereinheit 434, z. B. eine Prozessor- oder Berechnungseinheit, welche elektrisch an die Durchflusssensoren und die Steuerventile, wie durch Linien 435 angegeben, angeschlossen ist. Die Steuereinheit ist konfiguriert, um aus den vom in der Auslassleitung 406 und vor dem Auslassanschluss 407 angeordneten Durchflusssensor 440 bereitgestellten Messsignalen eine tatsächliche Durchflussrate zu ermitteln. Aufgrund der ermittelten tatsächlichen Durchflussrate kann die Steuereinheit entscheiden, ob ein Steuerventil aus- oder eingeschaltet werden soll, um einen kontinuierlichen Durchfluss von Kühlfluid zum Handler bereitzustellen.
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Falls beispielsweise die tatsächliche Durchflussrate durch die Auslassleitung zum Auslassanschluss unter einen vorbestimmten Schwellenwert, z. B. durch eine ausreichende oder erwünschte Kühlrate definiert, fällt, kann die Steuereinheit ein an das Steuerventil, welches gegenwärtig offen ist, weitergeleitete Steuersignal erzeugen und angeben, dass selbiges geschlossen werden soll (so dass der jeweilige Fluidbehälter gewechselt werden kann, d. h. ein voller, neuer Behälter kann an den Einlassanschluss angeschlossen werden). Gleichzeitig kann ein weiteres (oder das gleiche) Steuersignal an das andere Steuerventil (welches geschlossen ist) gesendet werden, angebend, dass selbiges geöffnet werden soll (so dass Kühlfluid vom Fluidbehälter an die Auslassleitung und den Handler bereitgestellt wird, z. B. den aktiven Behälter bildet).
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Zusätzlich kann das Halbleitertestsystem 400 eine Anzeigetafel 436 zum Anzeigen des Status des Halbleitertestsystems 400 umfassen, z. B. welches Steuerventil geöffnet ist und/oder die tatsächliche Durchflussrate und/oder den Füllstand des aktiven Behälters. Die Anzeigetafel 436 kann durch eine separate Vorrichtung oder Einheit gebildet werden oder kann Teil der Steuereinheit 434 sein.
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Es sollte auch beachtet werden, dass der Begriff „umfassend” andere Elemente oder Merkmale nicht ausschließt und dass „ein” oder „eine” sowie deren Deklinationen eine Mehrzahl nicht ausschließen. Außerdem können Elemente kombiniert werden, die im Zusammenhang mit unterschiedlichen Ausführungsformen beschrieben sind. Es sollte ebenfalls beachtet werden, dass Bezugszeichen nicht als den Schutzbereich der Ansprüche einschränkend anzusehen sind. Obwohl die Erfindung insbesondere unter Bezugnahme auf bestimmte Ausführungsformen dargestellt und beschrieben wurde, sollte Fachleuten klar sein, dass verschiedene Änderungen in Gestalt und Detail daran vorgenommen werden können, ohne vom Grundgedanken und Schutzbereich der Erfindung abzuweichen, die durch die beigefügten Ansprüche definiert sind. Der Schutzbereich der Erfindung ist somit durch die beigefügten Ansprüche angegeben und sämtliche Änderungen, die innerhalb der Bedeutung und des Äquivalenzbereichs der Ansprüche liegen, gelten daher als darin einbezogen.
